DE19604529A1 - Durchflußmesser - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft einen Durchflußmesser mit einem Meßrohr, einer Anregungseinrichtung, die das Rohr an­ treibt, einer Sensoreinrichtung und einer aktiven Kom­ pensierungseinrichtung für Schwingungen.

DE 44 17 332 A1 zeigt ein nach dem Coriolisprinzip ar­ beitendes Massendurchflußmeßgerät, bei der die Anre­ gungseinrichtung und die Sensoreinrichtungen nicht am Gehäuse abgestützt sind, sondern mit einer Trägheits­ masse verbunden sind, die als Abstützung dient.

Ein Durchflußmesser der eingangs genannten Art ist aus US 5 323 658 bekannt. Hierbei ist das Meßrohr über Bal­ gen mit Zufluß- bzw. Abflußanschlüssen verbunden. Das Meßrohr wird etwa in seiner Mitte von einer Anregungs­ einrichtung beaufschlagt. An seinen Enden kurz vor den Balgen ist das Meßrohr mit einer Hilfseinrichtung in einem Gehäuse festgelegt. Hierbei ist die Hilfseinrich­ tung an ihrem inneren Ende im Gehäuse eingespannt. Auf das äußere Ende der Hilfseinrichtung wirken Antriebs­ einrichtungen auf die Hilfseinrichtung, die die Hilfs­ einrichtung und damit das Rohr an den Enden bewegen können. Diese Bewegungen werden von Sensoren gesteuert, die die Bewegungen erfassen. Die Antriebe sollen nun im Bereich der Enden des Rohres die Schwingungen kompen­ sieren, die von der Anregungseinrichtung dort hin ge­ laufen sind. Durch diese Schwingungskompensierung soll ein Energieaustausch mit der Umgebung vermindert wer­ den.

Nachteilig bei dieser Ausgestaltung ist allerdings, daß am Rohrende sozusagen eine gegenphasige Bewegung er­ zeugt werden muß, um an der Einspannstelle das Rohr in Ruhe zu halten oder in Ruhe zu bringen. Damit vollführt das Rohrende gegenüber dem Gehäuse teilweise erhebliche Bewegungen, die nur dadurch zugelassen sind, daß man an dieser Stelle eine Rohrverbindung über einen Balgen realisiert. Balgen sind aber unzweckmäßig, wenn Fluide gemessen werden sollen, die unter einem höheren Druck stehen. Außerdem kann bei dieser Ausgestaltung eine negative Rückwirkung der Antriebe auf das Rohr erfol­ gen, weil sich die Schwingungen naturgemäß auch auf das Gehäuse, auf denen die Antriebe abgestützt sind, fort­ pflanzen. Es entsteht damit eine unkontrollierte Schwingungsanregung, die das Meßergebnis verfälschen kann.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die Messung mit einem derartigen Durchflußmesser zu verbessern.

Diese Aufgabe wird bei einem Durchflußmesser der ein­ gangs genannten Art dadurch gelöst, daß die Kompensie­ rungseinrichtung zwischen Einspannstellen des Rohres auf das Rohr wirkt.

Man verlagert also den Angriffsort der Kompensierungs­ einrichtung, die nun auf einen Rohrabschnitt innerhalb der Einspannstellen auf das Rohr wirkt. Damit erreicht man eine verbesserte Schwingungskompensierung, denn es ist nun nicht mehr notwendig, Bereiche des Rohres anzu­ treiben oder mit Bewegungen zu beaufschlagen, die au­ ßerhalb der Einspannstellen liegen, also zwischen Ein­ spannstelle und Rohrende. Damit treten praktisch keine Bewegungen mehr an den Rohrenden auf, so daß man hier ein stabilere Verbindung als eine Balgenverbindung wäh­ len kann. Damit können auch Massenströme von Medien oder Fluiden gemessen werden, die unter einem höheren Druck stehen, der von Balgenverbindungen nur schwer aufgenommen werden kann. Da die Rohrenden bei dieser Ausgestaltung nun keine oder praktisch keine Bewegungen mehr durchführen, besteht auch nicht die Gefahr einer Rückkopplung vom Gehäuse auf das Rohr durch Reflektio­ nen oder ähnliches. Das Prinzip ist sowohl bei geraden Rohren anwendbar, die quer zu ihrer Längserstreckung angetrieben werden, als auch bei gekrümmten oder gebo­ genen Rohren, bei denen die Anregung auf andere Art erfolgt, beispielsweise quer zur Durchflußrichtung.

Vorzugsweise ist die Kompensierungseinrichtung als Trägheitskompensierungseinrichtung ausgebildet. Dies ist eine sehr einfache Art der Realisierung. Es müssen lediglich Massen verwendet werden, die vom Rohr selbst mit in Bewegung gesetzt werden müssen und damit auf das Rohr zurückwirken.

Vorzugsweise ist die Kompensierungseinrichtung vom Ge­ häuse entkoppelt. Während bei der Ausgestaltung nach US 5 323 658 die Antriebe zwischen dem Gehäuse und dem Rohr bzw. den Anschlußteilen des Rohres eingespannt sind, ist dies nun nicht mehr notwendig. Damit besteht auch nicht die Gefahr, daß sich Schwingungen vom Gehäu­ se über die Antriebseinrichtungen auf das Rohr zurück­ koppeln. Die Meßergebnisse werden dadurch freier von Störungen und damit genauer.

Hierbei ist besonders bevorzugt, daß die Kompensie­ rungseinrichtung mindestens eine Masse für jedes Roh­ rende aufweist, die durch eine Antriebseinrichtung ver­ lagerbar ist. Mit einer derartigen Antriebseinrichtung kann die Masse jeweils so verlagert werden, daß sie eine zur noch störenden Bewegung des Rohres entgegen­ gesetzte Kraftkomponente erzeugt. Damit wird die stö­ rende Bewegungskomponente des Rohres eliminiert. Schwingungen in diesem Bereich werden daher zuverlässig kompensiert. Durch die Antriebseinrichtung läßt sich die Größe der Massen relativ klein halten. Die notwen­ dige Kraft entspricht dem Produkt aus Masse und Be­ schleunigung. Auch bei kleinen Massen kann man durch eine entsprechend größere Beschleunigung die notwendi­ gen hohen Kräfte erzeugen.

Vorzugsweise weist die Antriebseinrichtung mindestens zwei Freiheitsgrade für die Bewegung der Masse auf. Damit lassen sich Schwingungen in entsprechend vielen Richtungen kompensieren.

Hierbei ist bevorzugt, daß einer der Freiheitsgrade eine Bewegung der Masse im wesentlichen parallel zur Längserstreckung des Rohres beinhaltet. Damit läßt sich beispielsweise die auf das Rohr wirkende Längsspannung verändern. Auch dies ist eine wirkungsvolle Methode, um die Schwingungen auf dem Rohr zu dämpfen oder sogar zu kompensieren.

Zusätzlich oder alternativ dazu kann einer der Frei­ heitsgrade eine Bewegung im wesentlichen quer zur Läng­ serstreckung des Rohres beinhalten. Dies ist genau die Richtung, bei der die größten Schwingungsprobleme auf­ treten. Wenn die Masse entsprechend gegenphasig schwingt, kann man derartige Schwingungen kompensieren.

Vorzugsweise wirkt die Masse über einen Hebelarm auf das Rohr. Damit kann man Biegemomente erzeugen, die noch besser für eine Schwingungskompensierung geeignet sind.

Vorzugsweise weist die Antriebseinrichtung für jede Masse paarweise angeordnete Einzelantriebe auf. Diese Einzelantriebe können sowohl gleichsinnig als auch ge­ gensinnig angesteuert werden. Wenn sie gleichsinnig angesteuert werden, ergibt sich eine im wesentlichen translatorische Bewegung der einzelnen Masse. Wenn sie gegensinnig angesteuert werden, vollführt die Masse eine Kippbewegung, die insbesondere dann zu einem Bie­ gemoment auf das Rohrende führt, wenn die beiden Massen an einem Hebelarm angeordnet sind.

Vorzugsweise sind die Einzelantriebe in verschiedenen Entfernungen vom Rohr angeordnet. Damit lassen sich auch über die Hebelarme unterschiedliche Wirkungen zur Schwingungskompensierung auf das Rohr ausüben.

Mit Vorteil sind die Einzelantriebe als elektrostrikti­ ve, magnetostriktive oder elektromagnetische Elemente, insbesondere als Piezoelemente, ausgebildet. Derartige Elemente können elektrisch oder magnetisch angesteuert werden. Sie haben kurze Reaktionszeiten und sind rela­ tiv präzise zu betätigen.

Vorzugsweise weist die Kompensierungseinrichtung einen durch einen Antrieb längenveränderbaren Stößel auf, der zwischen zwei Punkten auf dem Rohr wirkt, die beider­ seits der Anregungseinrichtung auf einer Längsseite des Rohres angeordnet sind. Wenn nun dieser Stößel verlän­ gert wird, indem der Antrieb betätigt wird, ergibt sich ein entsprechendes Biegemoment auf das Rohr. Wenn er verkürzt wird, ergibt sich die Biegung in umgekehrte Richtung. Auch dies ist eine Möglichkeit, um die Schwingungsbewegung des Rohres zu kontrollieren und zu kompensieren.

Vorzugsweise sind zwischen der Anregungseinrichtung und den Einspannstellen des Rohres Kompensationssensoren angeordnet, die mit einer Steuereinrichtung verbunden sind, die die Kompensationseinrichtung steuert. An die­ sen Kompensationssensoren ist demnach die Auslenkung des Rohres zu ermitteln. Man kann also zuverlässig dar­ auf schließen, ob noch eine Bewegung an den Enden des Rohres stattfindet oder nicht.

Hierbei ist besonders bevorzugt, daß die Kompensations­ sensoren sowohl Momente als auch translatorische Kräfte auf das Rohr ermitteln. Dadurch läßt sich eine dynami­ sche Unterdrückung von Kräften und Momenten erzielen.

Vorzugsweise bildet die Steuereinrichtung einen Teil eines Regelkreises, dem ein Sollwert Null vorgegeben wird. Die Kompensationssensoren geben den Istwert für den Regelkreis vor. Da die Auslenkung oder Bewegung des Rohres im Bereich der Kompensationssensoren aber dem Sollwert Null nachgeführt werden soll, ergibt sich da­ durch ein künstlich geschaffener Knoten bei der Schwin­ gung des Rohres, an dem das Rohr in Ruhe ist. Es ergibt sich damit auch bei einer Ankopplung des Rohres an das Gehäuse im Bereich seiner Anschlüsse ein frei schwin­ gendes Rohr, bei dem sich aus den Schwingungen mit ho­ her Güte ein Maß für die Masse des durchgeflossenen Mediums ableiten läßt.

Vorzugsweise ist die Kompensierungseinrichtung zwischen den Kompensationssensoren angeordnet. Die Kompensie­ rungseinrichtung ist also nicht nur zwischen der Anre­ gungseinrichtung und den Rohrenden, sondern auch zwi­ schen der Anregungseinrichtung und den Kompensations­ sensoren angeordnet. Auf diese Weise läßt sich die von der Kompensierungseinrichtung aufgezwungene Bewegung innerhalb der Kompensationssensoren und damit innerhalb der künstlichen Nullstellen halten.

Vorzugsweise macht die Steuereinrichtung das Rohr zu­ mindest in vorbestimmten Bereichen zugspannungsfrei. Diese Zugspannungsfreiheit erfolgt natürlich nur inner­ halb sehr kurzer zeitlicher Abschnitte, weil die Kom­ pensationseinrichtung mit Trägheit arbeitet. Diese kur­ zen Abschnitte reichen aber aus, wenn sie zeitlich richtig gelegt sind, um eine zuverlässige Unterdrückung von parasitären Schwingungen zu bewirken.

Mit Vorteil ist die Steuereinrichtung als festverdrah­ tete elektronische Schaltung ausgebildet. Eine derarti­ ge Schaltung ist in vielen Fällen schneller als ein softwaremäßig realisierter Regler.

Die Erfindung wird im folgenden anhand von bevorzugten Ausführungsbeispielen beschrieben. Hierin zeigen:

Fig. 1 ein erstes Ausführungsbeispiel eines Durchfluß­ messers und

Fig. 2 ein zweites Ausführungsbeispiel eines Durchfluß­ messers.

Ein Durchflußmesser 1 nach Fig. 1 weist ein geradlinig ausgebildetes Rohr 2 auf, das mit seinen beiden Enden 3, 4 in einem nur schematisch dargestellten Gehäuse 5 festgelegt ist. Über das Gehäuse werden Zu- bzw. Ab­ flußanschlüsse geführt.

Das Rohr 2 ist in an und für sich bekannter Art und Weise in seiner Mitte mit einer Antriebseinrichtung 6 versehen, die das Rohr 2 quer zu seiner Längser­ streckung in Bewegung, insbesondere in Schwingungen verset­ zen kann. Auch eine Anregung in Form von Impulsen ist möglich. Zwischen der Antriebseinrichtung 6 und den Rohrenden 3, 4 sind elektromagnetische Aufnehmer 7, 8 vorgesehen, die die durch die Antriebseinrichtung 6 angeregte Bewegung des Rohres 2 aufnehmen und einer nicht näher dargestellten Meßeinrichtung zuführen.

Zwischen der Antriebseinrichtung 6 und den Enden 3, 4 des Rohres 2 ist jeweils eine Kompensierungseinrichtung 9, 10 angeordnet, mit deren Hilfe Schwingungen des Roh­ res am Ende kompensiert oder eliminiert werden können.

Zwischen den Kompensierungseinrichtungen 9, 10 und den Enden 3, 4 des Rohres sind Kompensationssensoren 11, 12 angeordnet, die piezoelektrische Sensoren 13, 14 auf­ weisen. Selbstverständlich kann man anstelle der piezo­ elektrischen Sensoren auch andere geeignete Sensoren verwenden. Im dargestellten Ausführungsbeispiel dient der piezoelektrische Sensor 13 dazu, Bewegungen des Rohres in Längsrichtung zu ermitteln, während der pie­ zoelektrische Sensor 14 dazu verwendet wird, Querbewe­ gungen des Rohres 2 zu erfassen. Beide Bewegungen müs­ sen nicht isoliert voneinander auftreten. Wenn das Rohr beispielsweise durchgebogen wird, werden beide Sensoren entsprechende Signale abgeben.

Die Kompensierungseinrichtungen 9, 10 weisen jeweils zwei Kompensierungsmassen 15, 16 auf, die über eine Antriebseinrichtung 17 an einem Hebelarm 18 befestigt sind. Die Antriebseinrichtung 17 weist vier Einzelan­ triebe 19-22 auf, die im vorliegenden Ausführungsbei­ spiel als piezoelektrische Antriebe ausgebildet sind. Jeweils zwei dieser Antriebe sind paarweise zusammen­ gefaßt und zwar so, daß in Querrichtung des Rohres 2 nebeneinander liegende Antriebe ein Paar 19, 20; 21, 22 bilden.

Zusätzlich kann man weitere Antriebe vorsehen, die aus Gründen der Übersichtlichkeit nicht dargestellt sind. Beispielsweise kann man in eine Richtung senkrecht zur Zeichenebene der Fig. 1 weitere Antriebspaare vorsehen, so daß anstelle der dargestellten vier Antriebe 19-22 dann acht Antriebe vorgesehen sind. Bei dieser Ausge­ staltung kann man die Massen 15, 16 nicht nur in Längs­ richtung des Rohres 2 und parallel zur Zeichenebene beschleunigen. Auch eine Bewegung der Massen 15, 16 senkrecht zur Zeichenebene ist möglich. Damit erhöht sich die Anzahl der Freiheitsgrade, so daß eine noch bessere Kompensierung der Schwingungsbewegungen des Rohrendes möglich wird.

Anstelle der eben erwähnten acht Antriebe läßt sich in vielen Fällen eine Lösung auch dann finden, wenn an­ stelle eines Antriebspaares 19, 20 oder 21, 22 drei zu­ sammenwirkende Antriebe verwendet werden. Auch hier ist man dann nicht mehr auf Bewegungen der Massen 15, 16 in der Zeichenebene oder parallel zu ihr beschränkt. Man kann diese Bewegungen auch senkrecht zur Zeichenebene durchführen lassen.

Alternativ dazu können die Massen 15, 16 auch als Ring ausgebildet werden, der um das Meßrohr 2 herumgeführt ist. Dieser Ring wird dann beispielsweise mit drei He­ belarmen mit dem Meßrohr verbunden, die in Umfangsrich­ tung um 120° zueinander versetzt sind. Mit einer ent­ sprechenden Anzahl von Antrieben läßt sich mit einer derartigen Ausgestaltung ebenfalls eine Schwingungsbe­ wegung in nahezu alle Richtungen durchführen.

Abgesehen von der Verbindung der Enden 3, 4 des Rohres 2 mit dem Gehäuse 5 ergibt sich keine weitere Verbin­ dung mit dem Gehäuse 5. Die Kompensierungseinrichtungen 9, 10 erlauben es vielmehr, daß das Rohr 2 wie ein freier Körper schwingen kann. Der Durchflußmesser 1 kann damit bei allen Dichten des durchfließenden Medi­ ums ins Gleichgewicht gebracht werden.

Eine Rückkopplung vom Gehäuse durch die Kompensierungs­ einrichtungen 9, 10 erfolgt nicht. Die Kompensierungs­ einrichtungen sind vielmehr als Trägheitskompensie­ rungseinrichtungen ausgebildet, die vom Gehäuse entkop­ pelt sind. Mit Hilfe der Antriebe 19-22 lassen sich die Kompensierungsmassen 15, 16 bewegen. Bei der Beschleu­ nigung dieser Massen entstehen Kräfte, die auf das Rohr 2 zurückwirken. Werden die Einzelantriebe 19, 20; 21, 22 eines Paares gleichsinnig bewegt, entsteht eine Kraft, die im wesentlichen parallel zur Längser­ streckung des Rohres 2 wirkt. Diese Kraft wird über den He­ belarm 18 auf das Rohr 2 übertragen und kann dort zu einem Drehmoment führen. Werden hingegen die beiden Einzelantriebe 19, 20; 21, 22 eines Paares gegensinnig bewegt, dann werden die Kompensierungsmassen 15, 16 verschwenkt, weil sie jeweils über Hebel 24, 25 mit den Antrieben 19-22 verbunden sind.

Die Steuereinrichtung 23 ist nun Bestandteil eines Re­ gelkreises, bei dem der Istwert durch die Kompensa­ tionssensoren 11, 12 ermittelt wird. Das Stellglied wird durch die Kompensierungseinrichtungen 9, 10 gebil­ det. Vorgegeben als Sollwert ist der Wert Null, d. h. im Bereich der Kompensationssensoren 11, 12 soll das Rohr 2 keine Bewegungen ausführen und zwar keine translato­ rische und keine Biegebewegung. Dementsprechend dürfen auch keine Kräfte auf die Kompensationssensoren 11, 12 wirken, wenn die Einrichtung ausgeglichen ist. Dement­ sprechend werden die Kompensierungseinrichtungen 9, 10 bzw. deren Antriebseinrichtungen 17 so angetrieben, daß die mit Hilfe der beschleunigten Kompensationsmassen 15, 16 erzeugten Kräfte auf das Rohr ausreichen, um das Rohr in den Kompensationssensor-Positionen zur Ruhe zu bringen. Damit erzeugt man bei den Kompensationssenso­ ren 11, 12 künstliche Knotenpunkte. Alle Vibrationen des Rohres 2 werden zwischen diesen beiden Knotenpunk­ ten gehalten.

Die Einzelantriebe können durch Piezoelemente gebildet werden, die relativ rasch reagieren und gut ansteuerbar sind. Aufgrund der mehreren Einzelantriebe 19-22 für jede Antriebseinrichtung 17 kann man Kräfte in mehreren Freiheitsgraden erzeugen. Wie oben erwähnt, läßt sich beispielsweise eine Kraft parallel zur Längserstreckung des Rohres erzeugen, während eine andere Kraft quer dazu gerichtet ist. Auch Biegemomente können auf das Rohr ausgeübt werden.

Um die Meßergebnisse noch genauer zu erhalten, kann man vorsehen, daß die Zugkraft auf das Meßrohr ermittelt wird. Die Zugkraft kann beispielsweise gemessen werden, wenn die Antriebseinrichtung 6 und die Aufnehmer 7, 8 mit wenigstens zwei verschiedenen Frequenzen arbeiten. Alternativ dazu kann man auch einen Spannungsmesser, beispielsweise einen Dehnungs-Meßstreifen auf dem Meß­ rohr 2 montieren.

Fig. 2 zeigt eine alternative Ausgestaltung, bei der gleiche Elemente mit gleichen Bezugszeichen versehen worden sind. Entsprechende Elemente sind mit gestriche­ nen Bezugszeichen versehen.

Geändert hat sich nunmehr, daß die Kompensierungsein­ richtungen 9′, 10′ nicht mehr vier Einzelantriebe 19- 22, sondern nur noch drei Einzelantriebe 19-21 aufwei­ sen, von denen die Einzelantriebe 19, 20 paarweise zu­ sammen gesetzt sind. Auch die zweite Kompensierungsmas­ se 16 fehlt. Statt dessen ist zwischen den beiden He­ belarmen 18, die mit dem Rohr 2 verbunden sind, ein Stößel 26 vorgesehen, wobei zwischen dem Hebelarm 18 und dem Stößel 26 der Einzelantrieb 21 vorgesehen ist. Damit ist der Abstand zwischen den Hebelarmen 18 par­ allel zum Rohr 2 veränderbar. Man kann auch sagen, daß der Stößel 26 längenveränderbar ist. Wenn der Stößel 26 (mit den Einzelantrieben 21) genau so lang ist, wie der Abstand der Hebelarme 18 im Ruhezustand, dann ist das Rohr 2 geradlinig. Wenn der Stößel 26 verlängert wird, wird das Rohr 2 konvex durchgebogen. Wenn der Stößel 26 verkürzt wird, wird das Rohr 2 konkav durchgebogen. Auch auf diese Weise lassen sich Bewegungen des Rohres 2 an den Enden mit entsprechend entgegengesetzten Bewe­ gungen überlagern, so daß das Rohr 2 an seinen Enden 3, 4 in Ruhe bleibt oder gehalten wird.

Claims (18)

1. Durchflußmesser mit einem Meßrohr, einer Anregungs­ einrichtung, die das Rohr antreibt, einer Sensor­ einrichtung und einer aktiven Kompensierungsein­ richtung für Schwingungen, dadurch gekennzeichnet, daß die Kompensierungseinrichtung (9, 10; 9′, 10′) zwischen Einspannstellen (3, 4) des Rohres (2) auf das Rohr (2) wirkt.

2. Durchflußmesser nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Kompensierungseinrichtung (9, 10; 9′, 10′) als Trägheitskompensierungseinrichtung ausgebildet ist.

3. Durchflußmesser nach Anspruch 2, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Kompensierungseinrichtung (9, 10; 9′, 10′) vom Gehäuse (5) entkoppelt ist.

4. Durchflußmesser nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Kompensierungsein­ richtung (9, 10; 9′, 10′) mindestens eine Masse (15, 16) für jedes Rohrende (3, 4) aufweist, die durch eine Antriebseinrichtung (17, 17′) verlager­ bar ist.

5. Durchflußmesser nach Anspruch 4, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Antriebseinrichtung (17, 17′) mindestens zwei Freiheitsgrade für die Bewegung der Masse (15, 16) aufweist.

6. Durchflußmesser nach Anspruch 5, dadurch gekenn­ zeichnet, daß einer der Freiheitsgrade eine Bewe­ gung der Masse (15, 16) im wesentlichen parallel zur Längserstreckung des Rohres (2) beinhaltet.

7. Durchflußmesser nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß einer der Freiheitsgrade eine Bewegung im wesentlichen quer zur Längserstreckung des Rohres (2) beinhaltet.

8. Durchflußmesser nach einem der Ansprüche 4 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Masse (15, 16) über einen Hebelarm (18) auf das Rohr (2) wirkt.

9. Durchflußmesser nach einem der Ansprüche 4 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebseinrichtung (17, 17′) für jede Masse (15, 16) paarweise ange­ ordnete Einzelantriebe (19, 20; 21, 22) aufweist.

10. Durchflußmesser nach Anspruch 9, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Einzelantriebe (19, 20; 21, 22) in verschiedenen Entfernungen vom Rohr (2) angeord­ net sind.

11. Durchflußmesser nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Einzelantriebe (19-22) als elektrostriktive, magnetostriktive oder elektroma­ gnetische Elemente, insbesondere als Piezoelemente, ausgebildet sind.

12. Durchflußmesser nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Kompensierungsein­ richtung (9′, 10′) einen durch einen Antrieb (21) längenveränderbaren Stößel (26) aufweist, der zwi­ schen zwei Punkten auf dem Rohr (2) wirkt, die bei­ derseits der Anregungseinrichtung (6) auf einer Längsseite des Rohres (2) angeordnet sind.

13. Durchflußmesser nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Anregungs­ einrichtung (6) und den Einspannstellen (3, 4) des Rohres (2) Kompensationssensoren (11, 12) angeord­ net sind, die mit einer Steuereinrichtung (23) ver­ bunden sind, die die Kompensationseinrichtung (9, 10; 9′, 10′) steuert.

14. Durchflußmesser nach Anspruch 13, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Kompensationssensoren (11, 12) sowohl Momente als auch translatorische Kräfte auf das Rohr (2) ermitteln.

15. Durchflußmesser nach Anspruch 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuereinrichtung (23) ei­ nen Teil eines Regelkreises bildet, dem ein Soll­ wert Null vorgegeben ist.

16. Durchflußmesser nach einem der Ansprüche 13 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Kompensierungsein­ richtung (9, 10; 9′, 10′) zwischen den Kompensa­ tionssensoren (11, 12) angeordnet ist.

17. Durchflußmesser nach einem der Ansprüche 13 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuereinrichtung (23) das Rohr (2) zumindest in vorbestimmten Berei­ chen zugspannungsfrei macht.

18. Durchflußmesser nach einem der Ansprüche 13 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuereinrichtung (23) als festverdrahtete elektronische Schaltung ausgebildet ist.