DE1959093C2 - Vorrichtung zur Handhabung leicht zerbrechlicher Werkstücke, insbesondere von Plättchen für die Herstellung von Halbleiterbauelementen - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung gemäß dem n> Gattungsbegriff des Anspruchs 1.

Vorrichtungen dieser Art sind bereits bekannt. So zeigen die US-Patenschriften 27 78 691. 31 03 388 und 31 60 443 bereits solche Vorrichtungen, bei denen die Schubdüsen entweder in der Gleitbahn enthalten oder oberhalb und seitlich davon angeordnet sind. Die bekannten Vorrichtungen bezwecken die schonende Förderung von Werkstücken von einer oder mehreren Beschickungsstellen zu einer Abgabestelle.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine n> Vorrichtung der eingangs genannten Gattung so auszubilden, daß sie die an einer oder mehreren längs der Gleitbahn vorgesehenen Bearbeitungsstellen erfolgende Bearbeitung der Werkstücke selbsttätig einzeln nachfii ander ermöglicht, ohne daß die Werkstücke mit der I ..d berührt zu werden brauchen.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch einen -Oieitbahnabschnitt von solcher Anordnung und Ausbildung gelöst, daß durch das aus den Schubdüsen austretende Strömungsmittel jeweils das unterste von feiner Gruppe in einem auswechselbaren, schrittweise schaltbaren Magazinkörper eines Beschickungsmagazins enthaltener Werkstücke entnommen, mindestens einer Bearbeitungsstelle zugeführt dort bearbeitet und auf einen weiteren Gleitbahnabschnitt überführt wird, der eine solche Anordnung und Ausbildung hat, daß durch das aus seinen Schubdüsen ausströmende Strömungsmittel das auf ihm bewegte Werkstück in das jeweils unterste freie Fach eines im Beschickungsmagazin körpergleichen, auswechselbaren, schrittweise schaltbaren Abgabemagazinkörpers eingeführt wird.

Möglichkeiten zur besonders vorteilhaften weiteren Ausgestaltung einer solchen Vorrichtung sind in den Ansprüchen 2 bis 17 angegeben.

Als Strömungsmittel kann, wie an sich bekannt, Luft verwendet werden.

Im folgenden ist die Erfindung anhand eines in den Zeichnungen dargestellten Ausführungsbeispiels erläutert. Es zeigt

F i g. 1 die schematische Darstellung einer Vorrichtung gemäß der Erfindung mit einer ßearbeitungsstelle, F i g. 2 einen Grundriß der Vorrichtung,

Fig.3 eine Seitenansicht der Vorrichtung mit Blickrichtung auf die Schnittebene 3-3 von F i g. 2,

Fig.4 eine Draufsicht, teilweise abgebrochen, der Zentriereinheit und eines daran angrenzenden, zur Abführung der Werkstücke dienenden Begleitbahnabschnitts.

Fig.5 zeigt einen Senkrechtschnitt durch die Zentriereinheit und den angrenzenden Gleitbahnabschnitt mit Blickrichtung auf die Schnittebene 5-5 von Fig. 4,

Fig.6 einen Senkrechtschnitt durch den zur Abführung der Werstücke dienenden Gleitbahnabschnitt mit Blickrichtung auf die Ebene 6-6 von F i g. 4,

F i g. 7 einen Senkrechtschnitt durch die Gleitbahnschiene mit Blickrichtung auf die Ebene 7-7 von F i g. 6, F i g. 8 einen Senkrechtschnitt durch einen Stab einer Gleilbahnscliiene mit Blickrichtung auf die Ebene 8-8 von F i g. 7,

F i g. 9 einen Senkrechtschnitt durch die Zentriereinheit mit Blickrichtung auf die Ebene 9-9 von F i g. 3,

Fig. 10 zeigt einen Teil der Aufsicht auf die Vorrichtung mit Blickrichtung auf die Ebene 10-10 von Fig. 9,

F i g. 11 einen Senkrechtschnitt durch die Dreheinheit mit Blickrichtung auf die Ebene 11-11 von F i g. 2,

Fig. 12 einen waagerechten Schnitt durch einen Teil der Vorrichtung mit Blickrichtung auf die Ebene 12-12 von F i g. 3,

Fig. 13 eine Seitenansicht auf die in Fig. 12 dargestellte Baugruppe mit Blickrichtung auf die Ebene 13-13 von F ig. 12,

Fig. 14 zeigt einen Teil der Draufsicht auf den zweiten Gleitbahnabschnitt mit Blickrichtung auf die Ebene 14-14 von F ig. 3,

Fig. 15 einen Senkrechtschnitt durch den zweiten Gleitbahnabschnitt mit Blickrichtung auf die Ebene 15-15 von F ig. 14,

Fig. 16 einen waagerechten Schnitt durch den Gleitbahnabschnitt mit Blickrichtung auf die Ebene 16-16 von Fig. 15,

F i g. 17 ist eine Draufsicht auf eine abgewandelte Ausführung der Gleitbahn mit Zweirichtungs-Bewegungsmöglichkeit,

Fig. 18 ein Senkrechtschnitt durch die Ausführung von Fig. 17 Mit Blickrichtung auf die Ebene 18-18 von Fig. 17,

Fig. 19 ein Senkrechtschnitt durch die Ausführung von Fig. 17 mit Blickrichtung auf die Ebene 19-19 von F i g. l«jjnd

F i g. 20 das Schema einer für die als Ausführungsbeispiel dargestellte Vorrichtung zu verwendenden Ventilsteuerung.

Anhand von F i g. 1 sei zunächst der Arbeitsablauf bei der Handhabung einer Jleihe von Werkstücken, beispielsweise dünner Siliziumplättchen, erläutert, wie sie für die Herstellung von Halbleiterelementen gebraucht werden. Mehrere solcher Plättchen, die jeweils mit Wm den Zeichnungen bezeichnet sind, z. B. 20 Stück oder mehr, werden zunächst in einen Magazinkörper 11 eingelegt Der gefüllte Magazinkörper 11 wird dann von Hand oder auf andere V/eise in ein Beschickungsmagazin 1 eingeladen. Der auswechselbare Magazinkörper 11 ist schrittweise in senkrechter Richtung schaltbar, so daß nacheinander einzelne Plättchen in eine Ausgabestellung gebracht werden können. Ein Gleitbahnabschnitt 2 ist für das Entnehmen jeweils eines Plättchens aus dem Magazinkörper \ 1 des Beschickungsmägazins 1 ausgebildet. Der Gleitbahnabschnitt 2 übernimmt also nacheinander je ein Plättchen aus dem Beschickungsmagazin. Er überführt das Plättchen bei diesem Ausführungsbeispiel zu einer Zentriereinheit 3. Die Zentriereinheit dient zur Ausrichtung der Plättchen. Diese Ausrichtung wird bei der Übergabe der Plättchen von der Zentriereinheit durch

eine Aufnahme- und Übergabevorrichtung 4 eingehalten.

Die Übergabevorrichtung 4, vorzugsweise mit Sauggreifern, nimmt die Plättchen auf und transportiert sie nacheinander von der Zentriereinheit zu einer Bearbeitungsstelle 6. Bei dem hier beschriebenen Ausführungsbeispiel ist diese Bearbeitungsstelle als Dreh- und Beschichtungsvorrichtung ausgebildet. Jedes Plättchen wird in Umlauf versetzt und eine abgemessene Menge eines flüssigen Stoffes, wie z. B. eines Photoresists, wird ι ο darauf aufgebracht und durch die Zentrifugalkraft gleichmäßig darauf verteilt.

Danach werden die Plättchen nacheinander mittels einer zweiten Übergabevorrichtung 7, vorzugsweise mit Sauggreifern, über einen Gleitbahnabschnitt 8 einem Abgabemagazin 9 zugeleitet, das in ähnlicher Weise wie das Beschickungsmagazin 1 einen auswechselbaren, schrittweise schaltbaren Magazinkörper 11' enthält.

Wenn alle noch nicht bearbeiteten Werkstücke aus dem Beschickungsmagazin 1 entnommen sind und das Abgabemagazin gefüllt ist, werden der Beschickungsmagazinkörper und der Abgabemagazinkörper ausgewechselt und der Arbeitsabiauf kann von neuem beginnen.

Der Beschickungsmagazinkörper 11 besteht aus einem Kunststoff, wie z. B. einem Polyamid, und ist, im Schnitt gesehen, etwa U-förmig gestaltet, wie aus F i g. 2 erkennbar. Er hat einen Y-iörmigen Ausschnitt 12, der das Einsetzen oder Herausnehmen der Plättchen beim Be- und Entladen erleichtert Wie F i g. 5 und 6 erkennen lassen, stehen mit dem Ausschnitt eine Reihe von Lippen 13 in Verbindung, die Abstände in senkrechter Richtung voneinander haben, den Ausschnitt begrenzen und zv/ischen sich eine Reihe von Fächern 14 mit senkrechten Abschnitten bilden, in welche die plattenförmigen Werkstücke Weingesetzt werden.

Wie aus den Fig.2 und 4 ersichtlich, weisen die Magazinfächer 14 gerade parallele Seitenflächen auf, die durch eine bogenförmige Endbegrenzung verbunden sind. Breite und Höhe cer Fächer sind wesentlich größer als die der hier gezeigten darin befindlichen Platten, so daß das Magazin Platten unterschiedlicher Größe aufnehmen kann. Der Y-förrnige Ausschnitt 12 des Magazins ist etwa bis zur Endbegrenzung der Fächer geführt, so daß »ich der Ausschnitt >m wesentlichen unterhalb der Gesamtoberfläche jeder i.i dem Magazin befindlichen Platte befindet. Die plattenförmigen Werkstücke werden an gegenüberliegenden Rändern durch ihre Berührung mit den entsprechenden Lippen 13 gehalten, jedoch in ihrem mittleren Teil nicht unterstützt.

Wenn der Magazinkörper schrittweise weitergeschaltet wird, werden die Platten selbsttätig aus dem Magazinkörper entnommen. Die Schrittschaltvorrichtung weist eine Magazinträgerplatte 16 auf (F i g. 2 und 3). Mit ihr ist eine Drehverriegelung 17 verbunden. Die Drehverriegelung besteht aus einem Stift 18, der durch eine Bohrung 19 der Trägerplatte hindurchgeführt ist und an seinem inneren Ende einen Sperrnocken 21 sowie an seinem äußeren Ende einen Handgriff 22 aufweist Die Trägerplatte des Magazinkörpers weist eine Öffnung 23 auf, in die der Sperrnocken 21 eingreift, wenn der Handgriff 22 in die in Fig.3 dargestellte Verriegelungsstellung gedreht wird. Wenn daher ein Magazinkörper auf die Trägerplatte aufgesetzt und auf dieser ausgerichtet ist, wird der Handgriff 22 nach oben gedreht, so daß der Sperrnocken 21 mit dem Magazinkörper zum Eingriff kommt und ihn in der richtigen Lage zur Entnahme von plattenförmigen Werkstücken sichert. Die Trägerplatte hat einen durchgehenden Schlitz, in dem der Sperrnocken 21 zwischen der Verriegelungsstellung mit dem Magazinkörper und einer Lösestellung verschiebbar ist

Wie Fig.2 zeigt, ist die Trägerplatte 16 rechteckig. Sie hat eine ebene Oberseite, von welcher Schultern 24 in einem Abstand voneinander nach oben vorstehen, so daß ein Magazinkörper zwischen Ihnen Platz finden kann. An den Schultern befinden sich auseinanderstrebende Flächen 26, die in parallele gerade Führungsflächen 27 für einen Magazinkörper übergehen. Sie erleichtern das Einsetzen des Magazinkörpers.

In den Schulterabschnitten der Trägerplatte befinden sich parallele senkrechte Bohrungen 28, durch welche Führungen für die Trägerplatte hindurchgeführt sind. Die Führungen werden durch zwei in einem Abstand voneinander angeordnete zylindrische Stäbe 29 gebildet, längs denen die Trägerplatte 16 bei der schrittweisen senkrechten Schaltbewegung des Magazinkörpers verschiebbar ist. Die Führungsstäbe 29 sind an einer Grundplatte 31 des Maschinengestells befestigt, wie Fig.3 zeigt Die Führungsstäbe können durch Einschrauben in die Grundplatte 31 mit dieser verbunden sein. In die Bohrungen 28 können Lager 32 eingesetzt sein, welche die Führungsstäbe umgreifen und die Schaltbewegung der Trägerplatte erleichtern. Zum Halten der Lager dienen Kopfschrauben 33, welche einander benachbarte Abschnitte der Grundplattenschultern verbinden, die voneinander durch Einstellschlitze 34 getrennt sind, wie F i g. 2 zeigt.

Die senkrechte Bewegung der Trägerplatte 16 mit dem Magazinkörper erfolgt mittels einer Stellstange 36, die ein Schraubgewinde trägt und mit der ihr zugeordneten Magazinträgerplatte ein Muttergewinde gekuppelt und mit einem Antriebsmotor 38 derart verbunden ist, daß sie durch Drehung um einen vorbestimmten Betrag in senkrechter Richtung um jeweils einen Magazinfachabstand verstellbar ist. 37 ist eine in der Magazinträgerpiaiie befindliche Gevvindebohrung, in welcher das Schraubgewinde der Stellstange 36 eingreift Bei dem hier dargestellten Ausführungsbeispie! bewirkt eine volle Umdrehung der Stellstange 36 die senkrechte Verstellung des Magazinkörpers um jeweils einen Magazinfachabstand.

Der als Antriebsmotor 38 vorgesehene Servomotor ist mit Bolzen 39 an der Unterseite der Grundplatte 31 befestigt. Eine biegsame Kupplung 41 verbindet ihn mit der Stellstange 36. Jedesmal, wenn ein plattenförmiges Werkstück aus dem Beschickungsmagazinkörper abgegeben wird, bewirkt ein Signal die Bewegung des Motors um einen Schaltschritt, der den Magazinkörper 11 um den Betrag eines Magazinfachabstandes fortschaltet.

Bei Inbetriebnahme der Vorrichtung wird zunächst das unterste plattenförmige Werkstück aus einem auf die Trägerplatte 16 gesetzten, mit Werkstücken gefüllten Vorratsmagazin bzw. Magazinkörper entnommen. Danach wird die Trägerplatte mit dem Magazinkörper schrittweise senkrecht nach unten geschaltet, um die jeweils unterste Platte in die Entnahmestellung zu bringen, bis das Magazin geleert ist. Dann unterbricht eine Steuervorrichtung den weiteren Betrieb der Entnahmevorrichtung, bis sich die Trägerplatte wieder in der obersten Lage befindet und ein anderer gefüllter Magazinkörper auf die Trägerplatte aufgesetzt ist.

Die Fig.2 und 4 lassen erkennen, wie Schaltfolgensteuersignale von einem neben dem Abgabemagazin

befindlichen Steuergeber an den Schrittschaltwerksantrieb 38 abgegeben werden. Der Steuergeber besteht aus einer Lichtquelle, deren Strahl durch die nacheinander von dem Beschickungsmagazin abgegebenen Platten unterbrochen wird. Die Lichtquelle weist bei 5 dem Ausführungsbeispiel gemäß F i g. 2 eine neben dem Beschickungsmagazin angeordnete faseroptische Fühlvorrichtung 46 auf, die von der Entnahme und Übergabevorrichtung fi/r die Platten an dem Gleitbahnabschnitt 2 gehalten wird. Sobald der vordere Rand >o einer aus dem Beschickungsmagazin entnommenen Platte an der Fühlvorrichtung 46 vorbeigeht, wird durch die Unterbrechung des zu der Fühlvorrichtung gelangenden Lichts ein Signal erzeugt, das dem Motor 38 zugeführt wird. Mittels an sich bekannter Steuervorrichtungen wird dafür gesorgt, daß das erste Signal keinen Einfluß auf den Motor hat. Erst, wenn der hintere Rand einer Platte an der Fühlvorrichtung vorbeigeführt ist, wird dem Motor ein zweites Signal zugeleitet, welches bewirkt, daß die Stellstange 36 um eine Umdrehung gedreht wird, wodurch der Magazinkörper des Beschikkungsmagazins um einen Schritt nach unten verstellt und die nächste Platte in die Entnahmestellung gebracht wird. Das zweite Signal unterbricht den Fluß des die Platte tragenden Strömungsmittels, bis die Fortschaltung und die Zentrierung der Platte beendet sind.

Weitere Steuervorrichtungen dienen dazu, die schrittweise Fortschaltung einzuleiten und automatisch zu' beenden, sobald das Beschickungsmagazin entleert ist. Zu diesem Zweck sind, wie F i g. 3 zeigt, ein oberer und ein unterer Begrenzungsschalter 47 bzw. 48 auf einer Seite der Vorrichtung neben einer Führungsstange an dem Maschinengestell angeordnet. Die Begrenzungsschalter sind einstellbar und stehen vor einem Paar in einem Abstand voneinander auf der Hauptgrundplatte 31 angeordnet, aufrecht stehenden Befestigungspjatten. Von der Trägerplatte 16 steht nach unten ein Schalthebel 50 vor, der in F i g. 3 in einer Zwischenlage dargestellt ist.

Wenn die Trägerplatte 16 in ihre oberste Lage angehoben wird und sich ein gefülltes Magazin auf der Platte befindet. Kommt der Schalthebel 50 zum Eingriff mit dem Schah arm 51 des Schalters 47. Dieser leitet ein Signal zu dem Motor 38 und verhindert eine weitere Bewegung der Trägerplatte nach oben. Das untere Fach des Magazinkörpers 11 befindet sich dann um einen Magazinfachabstand oberhalb der untersten Entnahmesteilung.

Wenn der Schalthebel 50 mit der Trägerplatte 16 in die unterste Stellung gebracht wird, in der die letzte so Platte aus dem Magazinkörper entnommen worden ist, wird der Schaltarm 52 des unteren Begrenzungsschalters betätigt. Dadurch wird ein Signal zu dem Motor 38 abgegeben und eine weitere Bewegung der Trägerplatte 16 nach unten verhindert. Damit wird die Entnahme von Platten unterbrochen, bis die Trägerplatte in die Ausgangslage zurückgebracht und ein gefülltes Magazin anstelle des leeren eingesetzt worden ist. Die Neueinstcllung der Trägerplatte kann mittels einer geeigneten (nicht dargestellter«) Übersteuerungsvorrichtung erfolgen, die den Servomotor und die mit diesem verbundene Stellstange 36 im umgekehrten Sinn in Bewegung versetzt, bis der Schalthebel 50 wie beschrieben in Berührung mit dem Schaltarm 51 des oberen Begrenzungsschalters kommt.

Wie die Fig.2 und 3 weiter zeigen, weist die Schaltvorrichtung einen Schalter auf, der die Schrittschaltung verhindert, wenn ein Magazinkörper sich nicht in der richtigen Lage auf der Trägerplatte befindet Normalerweise steht von der Oberseite der Trägerplatte der Arm eines Schalters 53 vor, der bei einwandfreier Ausrichtung des Magazinkörpers auf der Trägerplatte in einen Schlitz der Trägerplatte gedrückt wird. Wenn kein Magazin aufgesetzt ist, bewirkt der Schalter 53 eine Übersteuerung des Servomotors und verhindert eine schrittweise Fortschaltung der Trägerplatte wie beschrieben.

Der die Entnahme-und Übergabevorrichtung bildenden Gleitbahnabschnitt 2 weist eine das Strömungsmitteltragbett bildende Schiene 56 auf, die unmittelbar neben dem Körper 11 des Beschickungs- oder Vorratsmagazins angeordnet ist und sich wenigstens teilweise unterhalb desselben befindet. Diese Schiene, die in den F i g. 2 bis 4 gezeigt ist, weist eine T-Profil-Halteplatte 56 aus Metall oder Kunststoff auf, die beiderseits durch die schon erwähnten Befestigungsplatten 49 oberhalb der Grundplatte 31 gehalten wird.

An der Oberseite der Halteplatte sind, wie die F i g. 4 bis 6 zeigen, Reihen paralleler offener Nuten 58 ausgebildet. Sie erstrecken sich über die ganze Länge der Halteplatte in Längsrichtung der Vorrichtung. Bei dem Ausführungsbeispiel sind drei Reihen von Nuten vorgesehen. Die Nuten 58 haben einen rechteckigen Querschnitt mit ebenen zueinander parallelen Seitenwänden 59 (F i g. 6). Wie F i g. 6 zeigt, erstreckt sich quer zu der Halteplatte eine Vorkammer 31. Eine Reihe in Abständen voneinander angeordneter Öffnungen 62 gehen durch die Halteplatte nach oben und verbinden die Vorkammer mit den Nuten 58.

Eine Abschlußplatte 63 aus Metall oder Kunststoff ist mit Bolzen 64 an der Unterseite der Halteplatte befestigt und begrenzt die Vorkammer (F i g. 6). Zum luftdichten Abschluß können Dichtungen vorgesehen sein. In eine Bohrung in der Verschlußplatte 63 ist ein Anschlußstück 66 eingeschraubt, das über eine Schlauchleitung 67 mit einer Strömungsmittelquelle verbunden ist.

Die Fühlvorrichtung 46 ist, wie die Fig.4 und 5 zeigen, durch die Halteplatte 56 und die Verschlußplatte 63 hindurchgeführt und wird durch diese in der Betriebslage gehalten.

Die das Strömungsmitteltragbett bildende Schiene wird durch Düsenstäbe 68 ergänzt, die in einer Nut 58 der Halteplatte angeordnet sind und diese zu einem großen Teil ausfüllen. Die F i g. 2 und 4 zeigen, daß die Formgebung der Stäbe so gewählt ist, daß sie weitgehend in Querabmessungen der Nut 58 entsprechen. Der Stab in der mittleren Nut ist länger ausgebildet als die Stäbe in den seitlichen Nuten, da die mittlere Nut der T-förmigen Gestalt der Halteplatte länger ist Der mittlere Stab bildet den Teil des Gleitbahnabschnittes, der in den Magazinkörper U hineinragt und die plattenförmigen Werkstücke nacheinander entnimmt. Der mittlere Stab 68 befindet sich unterhalb der jeweils untersten Platte in deren Entnahmestellung, so daß die durch die mittlere Nut eingeführte Luft die Platte von ihrer Haltelippe abhebt und sie aus dem Magazinkörper herausführt.

Die längs der Düsenstäbe durch die Halteplatte geleitete Luft hat eine bestimmte Richtwirkung, die sich aufgrund der in F i g. 5 bis 8 veranschaulichten neuen Formgebung der Schubdüsen ergibt.

Wie die F i g. 7 und 8 zeigen, hat jedsr Düsenstab 68 etwa T-förmiges Profil mit paralleln Seitenflächen 69, die auf der Unterseite des Stabes weggeschnitten sind, so daß in Längsrichtung des Stabes langgestreckte

Kanäle 71 verlaufen. Diese stehen in Verbindung mit den durch die Halteplatte 56 gehende Öffnung 62 der Vorkammer 61, so daß die von der Vorkammer kommende Luft durch die Kanäle hindurchgehen kann. Die Kanäle 71 sind bis zu einer Stelle innerhalb der entgegengesetzten Enden der Stäbe geführt, so daß die Enden der Nuten 58, in denen die Stäbe sich befinden, abgedichtet sind (F i g. 6).

Die Abmessungen der Düsenstäbe sind so gewählt, daß sie die in der Haiteplstte befindlichen Nuten 58 im wesentlichen ausfüllen und ihre oberen Ränder mit der Oberseite der Halteplatte etwa bündig abschließen, so daß eine glatte Lagerfläche gebildet v/ird. Die Stäbe sind, wie F i g. 4 zeigt, durch mehrere Schrauben 72 in der Halteplatte befestigt.

Die sich gegenüberliegenden Seitenflächen 69 der Stäbe stehen in Berührung mit den glatten, sich ebenfalls gegenüberliegenden Seitenwänden 59 jeweils einer Nut in der Halteplatte. Zur Bildung der Luftkanäle sind die Seitenflächen 69 der Stäbe so gestaltet, daß eine neue und verbesserte Schubdüsenform entsteht. Die Schubdüsen bestehen aus einer Reihe in Abständen voneinander angeordneter Kanäle 73 in sich gegenüberliegenden Seitenflächen der Stäbe. Jeder dieser Kanäle ist so ausgerichtet, daß den von der Luft getragenen Werkstücken eine Bewegung in Längsrichtung erteilt wird.

Die Richtwirkung der Schubdüsen wird dadurch eneicht, daß jede Nut in bezug auf die Längsachse des Stabes eine vorbestimmte Austrittswinkelneigung erhält. Außerdem ist die Nut jeder Schubdüse 73 an dem mit dem Kanal 71 in Verbindung stehenden Ende breiter und tiefer und verjüngt sieht fortschreitend nach außen hin (F i g. 7 und 8). Eine solche Düsengestaltung gewährleistet eine einwandfreie Lenkung der plattenförmigen oder sonstigen auf dem Strömungsmitteltragbett geführten Werkstücke.

Wie in Fig.5 mit gestrichelten Linien 70 gezeigt, verlaufen die Nuten der Schubdüsen etwa längs Kreisbögen, deren Mittelpunkt gegenüber der Stabachse versetzt ist. Ihr Austrittswinkel kann entsprechend der für die Werkstücke gewünschten Fördergeschwindigkei· gewählt werden, ihre Neigung läßt sich auch dem Gewicht der Werkstücke anpassen. Ein Ausiriiiswinkel zwischen 15° und 25° ergibt im allgemeinen zufriedenstellende Ergebnisse.

Die Stäbe 68 können lauter gleiche oder auch verschiedene Gestalt der der SchubdUsennuten aufweisen, beispielsweise derart, daß die von den Seitenstäben abgegebene Luft zusammen mit der von dem mittleren Stab abgegebenen Luft eine Druckdifferenz zwecks Zentrierung der Werkstücke ergibt.

Es kann auch von Vorteil sein, im Strömungsmittelzuführungsweg der Düsen 73 eine (nicht dargestellte) Strömungsmiltelpulsiervorrichtung anzuordnen, um die Werkstücke in aufeinanderfolgenden, jeweils nach oben bzw. nach unten gerichteten Schritten längs des Strömungsmittelbettes zu bewegen.

Es kann ferner von Vorteil sein, die Gleitbahnabschnitte zusätzlich zu der Reihe der von unten schräg gegen die Bewegungsbahn gerichteten Schubdüsen noch mit einer weiteren Reihe gleichgestalteter Schubdüsen für die entgegengesetzte Förderrichtung zu versehen, so daß die Werkstücke wahlweise in entgegengesetzten Richtungen bewegbar sind.

In den Fig.2 bis 5 und in Fig.9 ist eine Zentriervorrichtung zum Zentrieren nacheinander von einer Beschickungsstelle zugeführter Werkstücke vor ihrer Übergabe an die Behandlungsstelle dargestellt.

Zu der Zentriervorrichtung gehört die bereits erwähnte Zentriereinheit 3, die aus einer flachen Schüssel 76 aus Metal! oder Kunststoff besteht und wie F i g. 2 und 4 zeigen im Grundriß quadratisch gestaltet sein kann. Die Schüssel hat eine flache konkave Oberseite 75, deren Tiefe von den äußeren Rändern aus zur Mitte 77 hin gleichmäßig zunimmt. Die Schüssel ist mit Kopfschrauben 79 am Schüsselrand 78 an der

ίο Halteplatte 76 befestigt. Am Schüsselumfang ist an drei Seiten eine durchgehende Lippe vorgesehen, die über ihre Oberseite vorsteht und aus Metallstreifen 81 zusammengesetzt ist, die mit Kopfschrauben 82 befestigt sind. Diese umlaufende Lippe verhindert das Abgleiten von Werkstücken über den Schüsselrand. Wie F i g. 2,4 und 5 zeigen, werden die Werkstücke von dem Strömungsmitteltragbett zur Bearbeitung auf die konkave Oberseite der Zentrierschüsse! geführt Die meist plattenförmigen Werkstücke werden in der Schüssel 76 durch das oben strömende, vorzugsweise aus Luft bestehende Strömungsmittel, zentriert Dieses wird durch Gruppen von Luftkanälen in die Schüssel geleitet Die Schüssel besteht bei dem Ausführungsbeispiel aus einem Gußstück, aus bearbeitetem Metall oder aus Kunststoff. Die Luftkanäle bestehen aus einer Gruppe in regelmäßigen Abständen angeordneter Löcher 83, die auf konzentrischen Kreisen um das Zentrum 77 der Schüssel herum angeordnet sind. Es sind auch andere Konstruktionen anwendbar, z. B. eine aus einem porösen Material wie Bronzepulver hergestellte Schüssel mit zahllosen durch die Poren gebildeten Luftkanälen.

Unter der Schüssel ist eine Vorkammer 84 angeordnet, die durch eine mit Kopfschrauben 87 (Fig.5) mit der Unterseite eines Flansches 88 der Schüssel verbundene Platte 86 gebildet wird. Die Verschlußplatte 86 läßt sich genau in den Flansch 88 einpassen, so daß eine Schulter 89 der Platte auf der Unterseite des Flansche aufliegt (Fig. 5). Das Entweichen von Luft aus der Vorkammer ist durch eine O-Ringdichtung 91, die in eine Nut zwischen dem Flansch 88 und der Schulter 89 eingesetzt ist, vermieden.

Mittels eines durch die Verschlußplatte hindurchgehenden Anschlußstückes 92 ist die Vorkammer 84 über eine Schlauchleitung 93 mit einer Druckhiftquelle, wie z. B. einem Luftverdichter, verbunden. Die Luft tritt über die Schlauchleitung 93 und das Anschlußstück 92 in die Vorkammer ein, gelangt durch die Löcher 83 in die Schüssel, wobei sie auf ein auf der konkaven Oberseite 75 befindliches Werkstück auftrifft.

Ist eine Strömurtgsmittelpulsiervorrichtung vorgesehen, so wird die Luft in schnelle Pulsationen versetzt, so daß ein von ihr berührtes Werkstück ohne Beschädigung in rascher Folge wiederholt angehoben und

fallengelassen wird. Durch diese Hin- und Herbewegung der Werkstücke gelangen diese zur Mitte der Schüssel. Hat das Werkstück die Schüsselmitte erreicht, so wird seine zentrale Lage durch Fortsetzung der Pulsationen der Luft nicht gestört. Nach Abstellung der Pulsation setzt sich das Werkstück, z. B. eine Platte, auf der Mitte der Schüssel 77 ab.

Die günstigste Pulsationsfrequenz hängt ab von Art und Größe der zu zentrierenden Werkstücke. Für Siliziumplättchen beispielsweise ist eine Pulnationsfre-

quenz zwischen 1 und 10 Impulsen pro Sekunde,

vorzugsweise 2 bis 4 impulsen pro Sekunde, brauchbar.

Weiter ist eine Vorrichtung vorgesehen, die dazu

dient, jedes einwandfrei zentrierte plattenförmige

Werkstück über die Schüssel anzuheben, damit es mit der Aufnahme- und Übergabevorrichtung zum Eingriff kommen kann. Die Hubvorrichtung weist einen Hohlstift 96 auf (Fig.4, 5 und 9), der durch eine konzentrisch zur Schüsselmitte 7 angeordnete Bohrung 97 hindurchreicht. Die Schüssel hat eine nach unten vorstehende zylindrische Verlängerung 98 zur Lagerung des Stifts 96. Die Verlängerung 98 ist in einen Vorsprung 99 der Verschlußplatte 86 eingesetzt. In einer Nut 101 befindet sich eine O-Ringdichtung 100.

Das untere Ende der Bohrung 102 des hohlen Zentrierst'ifis % ist mit einer Unterdruckquelle verbunden. Diese ist in Fig.9 mit dem Anschlußstück 103 angedeutet. Wenn der Stift aus der in Fig.5 dargestellten unteren Lage in die mit gestrichelten • Linien und in Fig. 9 mit ausgezogenen Linien dargestellte obere Lage angehoben wird, wird automatisch Unterdruck durch die Bohrung 102 auf die Unterseite eines oberhalb des Stiftes befindlichen plattenförmigen Werkstücks ausgeübt. Dieses wird dadurch an dem oberen Ende des Stiftes festgehalten, wobei seine Mitte im wesentlichen mit der Stiftachse zusammenfällt

Die Verschiebung des Stifts 96 nach oben sowie seine Verschiebung nach unten geschieht mittels eines Druckluftzylinders 104 (Fig.9). Der Stift 96 ist innerhalb des Zylinders mit einem Kolben verbunden, der durch Beaufschlagung seiner Unterseite mit Luft angehoben und bei Entweichen der Luft bzw. Beaufschlagung seiner Oberseite mit Luft eingezogen wird.

Der Gleitbahnabschnitt 2 erhält kein Strömungsmittel zugeführt, während ein Werkstück zentriert wird, um die Beeinträchtigung der Zentrierung durch ein anderes Werkstück zu vermeiden.

Die zentrierten, vorzugsweise plattenförmigen Werkstücke, werden nacheinander von der Zentriervorrichtung mittels der Aufnahme- und Übergabevorrichtung an die neben der Zentriervorrichtung befindliche Bearbeitungsstelle abgegeben. Die Übergabevorrichtung ist betriebsmäßig mit anderen Übergabevorrichtungen verbunden, die dazu dienen, bearbeitete Werkstücke von der Bearbeitungsstelle zu dem Abgabemagazin zu bewegen.

Die Bearbeitungssielle ist hier eine Dreh- und Beschichtungsvorrichtung. Einwandfrei zentrierte plat-' tenförmige Werkstücke werden nacheinander der Bearbeitungsstelle 6 zugeführt. Wenn für die Herstellung elektronischer Bauteile bestimmte Siliziumplatten bearbeitet werden sollen, wird auf jede an der Bearbeitungsstelle befindliche Platte eine abgemessene Menge eines flüssigen Stoffes, beispielsweise eines Photoresiststoffes, aufgebracht und gleichmäßig auf der Oberseite der Platte verteilt.

Die F i g. 2,3 und 11 zeigen die Einzelheiten der Dreh- und Beschichtungsvorrichtung. An der Grundplatte 31 ist eine Trägerplatte 111 aufrechtstehend angeschweißt. Auf ihr ist durch Bolzen 113 eine Befestigungsplatte 112 parallel zur Grundplatte 31 befestigt. Oberhalb der Platte 112 ist, wie Fig. 11 zeigt, mittels eines durch Zapfen 117 mit der Platte 112 verbundenen Befestigungsgehäuses 116 ein Flüssigkeitsabgabekopf 114 gelagert. Dieser ist durch die Zapfen 118 mit dem Gehäuse 116 verbunden.

Das Gehäuse 116 hat eine zentrale Bohrung 119, in

der sich eine Abgabedüse 121 befindet. Diese ist über ein ' Ventil 122 mit einer Schlauchleitung 123 verbunden, die ihrerseits mit einem Vorratsbehälter 124 (Fig.2) verbunden ist. Dieser enthält unter Druck stehenden Photoresiststoff, der in Abhängigkeit von der Steuerung des die Düse 121 speisenden Ventils 122 in vorbestimmten Mengen abgegeben wird. In dem Behälter 124 wird vorzugsweise Stickstoff als Druckmittel verwendet.

Unter der Abgabedüse 121 ist eine drehbare Spindel 126 angeordnet, auf deren oberes Ende nacheinander plattenförmige Werkstücke durch die Aufnahme- und Übergabevorrichtung abgelegt werden können. Die Platten werden koaxial auf die Spindel aufgelegt, die

ίο eine axiale Bohrung 127 aufweist, welche über ein Anschlußstück 128 und eine Schlauchleitung 129 mit einer Unterdruckquelle in Verbindung steht. Durch den Unterdruck werden auf die Spindel aufgelegte Platten auch bei hohen Drehgeschwindigkeiten festgehalten.

Als Spindelantrieb ist ein kleiner elektrischer Servomotor 131 vorgesehen, der eingeschaltet wird, wenn eine Platte auf die Spindel aufgelegt ist. Die Abgabe der Photoresistflüssigkeit und die Drehung der Spindel erfolgen in einem bestimmten zeitlichen Verhältnis zueinander, so daß der Photoresiststoff bei der Spindeldrehung durch die Zentrifugalkraft gleichmäßig über die Oberfläche des plattenförmigen Werkstücks verteilt wird und eine gleichmäßige Beschichtung desselben bewirkt

Es können auch mehrere Beschichtungsablagen mit Photoresist auf ein plattenförmiges Werkstück aufgebracht werden. Auch kann dieses durch den Motor 131 mit zwei unterschiedlichen Geschwindigkeiten angetrieben werden, z. B. um den Photoresiststoff zunächst mit einer langsamen und anschließend mit hoher Drehzahl möglichst gleichmäßig zu verteilen.

Ein axial vor- und rückstellbarer Napf 132 wirkt mit dem Befestigungsgehäuse 116 so zusammen, daß bei der Drehung der plattenförmigen Werkstücke durch die Zentrifugalkraft geschleuderte Photoresistteilchen aufgefangen werden. Der Napf besteht aus einer zylindrischen Schale 133, die oben offen und mit einer zylindrischen Öffnung 134 an ihrem Boden 135 versehen ist, welche die Spindel 128 umgibt und längs dieser verschiebbar ist.

In ihrer mit gestrichelten Linien angedeuteten, angehobenen oder oberen Lage bildet die Schale 133 zusammen mit dem Flansch 136 des Gehäuses 116 eine im wesentlichen abgeschlossene Kammer, die das Werkstück Wumgibt.

Zum Entfernen überschüssiger und abgeschleuderter Photoresiststoffe aus der Schale ist ein Auslaß an der Unterseite 135 der Schale mit einem Stutzen 138 und einem Abzugsschlauch 139 vorgesehen, der wiederum mit einer Unterdruckquelle und einem Abfallauslaß verbunden ist.

Zum Anheben und Absenken der Schale 133 dient eine Vorrichtung 141 (Fig.il). Eine die Schale 141 tragende Platte 137 hat einen seitlichen Vorsprung 142 mit einem Vorsprung 143, der einen Sitz für eine Kolbenstange 144 bildet. Diese ist mit einem Kolben in einem Luftzylinder 146 verbunden, der zum Anheben und Absenken der Schale 33 mit ihrer Tragplatte 137 dient.

Der Zylinder 446 ist mit einem Bügel 147 an dem Maschinengestell befestigt (F i g. 3). Dieser Bügel trägt ein Führungslager 148, durch das eine Führungsstange 149 hindurchgeht. Das untere Ende der Stange ist durch ein Verbindungsglied 150 mit dem unteren Ende der Kolbenstange 144 verbunden. Am oberen und unteren Ende des Hubes der Kolbenstange 144 kommt das Verbindungsglied zum Anschlag an einem oberen bzw. unteren Begrenzungsschalter 140 bzw. 145.

Der Aufbau der Aufnahme- und Übergabevorrichtungen ist in den Fig.2, 3 und 9 bis 16 dargestellt. Sie bestehen aus je einem durch einen Druckluftzylinder zu betätigenden Schieber, an dem sich Werkstückaufnahmevorrichtungen, bestehend aus Saugarmen beiinden.

Fig. 12 und 13 zeigen einen Schieber mit einer U-förmig gestalteten flachen Schieherplatte 151 und einem längs dieser verlaufenden Schlitz 152, die sich unterhalb der Zentrier- und Bearbeitungsstation befindet. Der Schlitz 152 ermöglicht eine Bewegung der Schieberplatte relativ zu der Drehspindel 126 im Unterdruckauslaß 138 und der Kolbenstange 144 zum Anheben der Schale sowie dem Druckluftzylinder 104 für den Zentrierstift.

Die Schieberplatte ist mit 3 Gleitlagern 153,154 und 156 längsverschiebbar gelagert. Die Gleitlager sind mit Schrauben 157 an der Unterseite der Schieberplatte befestigt und !ängs zweier zylindrischer Führungsschienen 159 und 161 verschiebbar, die sich parallel zueinander unter der Schieberplatte erstrecken. Die Führungsschienen werden an ihren Enden von Haltebügeln 162, 163 gehalten, die aus einem Profilträger 164 von der Form eines umgekehrten U nach oben vorstehen. Der Träger 164 dient zur Lagerung des Schiebers und ist seinerseits an dem Rahmenteil 166 befestigt, der mit der Grundplatte 41 der Vorrichtung verbunden ist (F i g. 3).

Wie die F i g. 12 und 13 zeigen, hat die Führungsschiene 159 an ihren beiden Enden verdickte Abschnitte 167, weiche Anschläge 168 bilden, die mit den Lagern zum Eingriff kommen und die Bewegung der Schieberplatte begrenzen können. Zur Bewegung der Schieberplatte dient ein Druckluftzylinder 171, der durch Winkeleisen 172 an dem Gestell gehalten wird. Der Zylinder 171 ist an einem Ende mit dem Winkeleisen 172 durch ein mit Bolzen befestigtes Verbindungsstück 173 verbunden. Von dem anderen Ende des Zylinders steht eine Kolbenstange 174 vor, an deren äußerem Ende ein L-förmiges Verbindungsstück 176 durch Bolzen befestigt ist. Dieses ist wiederum durch Bolzen 177 mit einem Rand der Schieberplatte 151 verbunden. Wenn also der Kolben der Kolbenstange 174 auf der einen oder anderen Seite mit Luft innerhalb des Zylinders beaufschlagt wird, kann die Schieberplatte wahlweise nach rechts oder links bewegt werden (Fig. 12 und 13).

Von diametral entgegengesetzten Ecken der Schieberplatte stehen Sauggreiferarme 181 bzw. 182 nach oben vor. Jeder von diesen ist so ausgelegt, daß er ein Werkstück in Form einer Platte an seiner Oberseite aufnehmen und das Werkstück mit Unterdruck angelegt halten kann. Um eine einwandfreie Ausrichtung der Werkstücke zu ermöglichen, während diese in oder außer Eingriff mit einem Saugarm kommen, sind die Saugarme so gelagert, daß sie eine senkrechte Bewegung innerhalb bestimmter Grenzen ausführen können.

Beide Saugarme sind an der Schieberplatte in der gleichen Weise gelagert Daher wird hier anhand von Fig. 12 und 13 nur die Lagerung des Saugarmes 182 beschrieben. Die Anordnung des Saugarms 181 ist spiegelbildlich identisch zu der des Saugarms 182.

Wie aus Fig. 12 ersichtlich, befindet sich seitlich am Rand der Schieberplatte 151 und zentrisch zwischen inren entgegengesetzten Enden eine Ausnehmung 183, in die ein rechteckiger Befestigungsblock 184 eingesetzt und durch Schrauben 186 mit der Schieberplatte verbunden ist. Der Block 184 steht über die Unterseite der Schieberplatte vor, und ein Drehzapfen 187 steht seitlich von dem Block vor. Der Drehzapfen 187 trögt drehbar einen Hebelarm 188, an dessen einem Ende 189 der Saugarm 182 mit Schrauben 191 befestigt ist Eine Drehung des Hebelarms 188 um den Zapfen 187 ergibt also eine Bewegung des Saugarms nach oben oder nach unten in vorbestimmten Grenzen.
Auf den Hebelarm 188 wirkt eine Schraubenfeder

192, die in eine Bohrung der Schieberplatte 151 eingesetzt ist und an dem vom Saugarm 182 entfernten Ende des Hebelarms angreift, entgegen dem Uhrzeigerdrehsinn ein (Fig. 13). Die Feder 192 drückt daher den Saugarm nach oben. Durch Stellschrauben

193, 194, die von der Schieberplatte nach unten vorstehen und die Oberseite des Hebelarms berühren können, wird die Bewegung des Hebelarms begrenzt. Auf diese Weise lassen sich die Grenzlagen des Saugarms einstellen.

Wie Fig. 12 zeigt, weist der Hebelarm 188 einen länglichen Schlitz 1% zur Aufnahme des Befestigungs· blocks 184 auf. Der Schlitz 1% erlaubt eine Drehbewegung des Hebelarms.

Wie die F i g. 9 und 15 zeigen, sind die Saugarme 181 und 182 im wesentlichen gleich gestaltet. Kleinere Unterschiede können durch das Verhältnis der Arme zu den Stationen bedingt sein, an die und von denen Werkstücke abgegeben bzw. aufgenommen werden. In den Fig.9 und 15 sind entsprechende Bezugszeichen zur Bezeichnung entsprechender Bestandteile der Saugarme verwendet. Jeder Saugarm hat einen aufrecht stehenden flachen Abschnitt 196 mit einem Unterdruckkanal 197. Ein waagerechter flacher Abschnitt 198 mit einem Kanal 197 ist mit dem erstgenannten Abschnitt verbunden und geht in einen Kopfabschnitt 199 über. Der Kopfabschnitt des Saugarms 81 ist länger als der entsprechende Kopfabschnitt des Arms 182 wegen der Art des Zusammenwirkens des letzteren mit dem Gleitschienenabschnitt 8 (F i g. 15), wenn ein plattenförmiges Werkstück auf diesem abgelegt wird.

Wie die F i g. 10 und 16 zeigen, läuft der Unterdruckkanal 197 jedes Saugarms in eine erweiterte Querkammer 200 aus, die mit einer flachen Stirnplatte 201 verschlossen und durch Schrauben 202 an der Oberseite des Saugarmkopfabschnitts 199 befestigt ist In den Stirnplatten sind Gruppen mit Abstand angeordneter öffnungen 203 vorgesehen. Sie gestatten das Anlegen eines Unterdruckes an die Unterseite eines plattenförmigen Werkstücks, das von einem Saugarm ergriffen ist.

In den F i g. 9 und 15 sind außerdem Unterdruck-Anschlußstücke 204 dargestellt, die mit jeweils einem Hebelarm 188 verbunden sind. Die Anschlußstücke stehen mit Bohrungen 205 in den Hebelarmen in Verbindung, die mit den Unterdruckkanälen 197 der Saugarme ausgerichtet sind. Die Anschlußstücke sind über Schlauchleitungen 206 mit einer Unterdruckquelle verbunden.

Der Unterdruck wird wahlweise an einen Saugarrn angelegt, wenn dieser an der Unterseite eines plattenförmigen Werkstücks angreift, und um die Drehachse seines Hebelarms 188 angehoben und eingefahren, wenn das Werkstück weitertransportiert werden soll.

Wie schon erwähnt, wirkt die Schraubenfeder 192 auf den ihr zugeordneten Hebelarm entgegen dem Uhrzeigerdrehsinn (Fig. 13), wodurch der an dem Hebel befestigte Saugarm in seine obere Stellung gelangt. Um aber eine einwandfreie Ausrichtung der entsprechenden Saugarmstirnplatten 201 über den aufzunehmenden oder freizugebenden plattenförmigen Werkstücken zu

ermöglichen, ist eine Vorrichtung vorgesehen, die dazu dient, die Saugarme nach unten zu ziehen und in der unteren Stellung zu halten. Bei dem Ausführungsbeispiel besteht diese Vorrichtung aus ζ «rci Druckluftzylindern 207 (Fig. 13), die über eine Schlauchleitung 208 mit einer Druckluftquelle verbunden sind. Ein Kolben in jedem Zylinder 207 steht betriebsmäßig in Verbindung mit einem Helbelarm 188. Eine Kolbenstange 209 berührt die Unterseite der Schieberplatte 151. Bei Beaufschlagung der Kolbenunterseite mit Luft wird die Kolbenstange 209 gegen die Schieberplatte nach oben gedrückt, wodurch der Kolben gesenkt und der Hebelarm entgegen der Feder 192 im Uhrzeigersinn gedreht wird. Dadurch wird der Saugarm abgesenkt. Solange Luft gegen den Kolben in dem Zylinder 207 drückt, wird der Saugarm unten gehalten.

Die untere oder eingefahrene Stellung des Saugarmes wird während des größten Teils des Arbeitstaktes der Schieberplatte 151 beibehalten. Es wird jedoch periodisch Luft aus den entsprechenden Zylindern 207 abgelassen, so daß die Federn 192 die Saugarme in einer zeitlich genau abgestir.imtenn Reihenfolge anheben und die Übergabe der Werkstücke zwischen der Zentrierstelle, der Bearbeitungsstelle und dem Gleitbahnabschnitt ausführen können.

Wenn der Saugarm 182 aus der Ruhestellung der Schiebeplatte 151 bewegt wird, wird der Arm in der eingefahrenen Stellung gehalten. Wenn der Saugarm durch die Schieberplatte mit dem Zentrierstift % der Zentrierstation ausgerichtet wird, wird der Arm angehoben, wobei gleichzeitig der Zentrierstift zurückgezogen, der Unterdruck an dem Stift abgeschaltet und ein Unterdruck an den Saugarm angelegt wird, um das Werkstück aufzunehmen. Die Schieberplatte 151 bewegt dann den Saugarm zur Bearbeitungsstelle und der Arm wird eingezogen, wenn er mit der Drehspindel 126 ausgerichtet ist Dann wird der Unterdruck an dem Saugarm abgeschaltet und ein Unterdruck an die Spindel angelegt, so daß das plattenförmige Werkstück an die Spindel abgegeben wird. Der Saugarm wird so lange in der eingefahrenen Stellung gehalten, bis er wiederum mit dem Zentrierstift an der Zentrierstelle ausgerichtet ist.

Gleichzeitig mit der Bewegung des Saugarms 182 in die Zentrierstelle wird der Saugarm 181 zur Bearbeitungsstelle bewegt und während dieser Bewegung in der eingefahrenen Stellung gehalten. Wenn der Saugarm 181 mit der Drehspindel 126 ausgerichtet ist, wird er angehoben und erhält Unterdruck angelegt Zugleich wird der Unterdruck an der Spindel abgeschaltet, so daß das Werkstück von dem Arm aufgenommen wird.

Die Schieberplatte 151 bewegt dann den Saugarm zur Abgabestelle und sobald der Arm in bezug auf den Gleitbahnabschnitt 8 richtig ausgerichet ist, wird der Arm eingefahren und der Unterdruck an ihm abgeschaltet, so daß das Werkstück auf den Gleitbahnabschnitt abgelegt und von diesem in das Abgabemagazin eingeführt v/erden kann. Der Saugarm wird solange in der eingefahrenen Stellung gehalten, bis er wiederum mit der Drehspindel in der Bearbeitungsstelle ausgerichtet ist

Die Einführung beschichteter plattenförmiger Werkstücke in das Abgabemagazin geschieht mittels des Gleitbahnabschnittes 8. Der in den Fig.2,3,14 und 15 dargestellte Gleitbahnabschnitt 8 kan in allen wichtigen Punkten dem bereits in Verbindung mit dem Beschikkungsmagazin 1 beschriebenen Gleitbahnabschnitt 2 entsprechen. Seine mit einem Beistrich versehenen Bezugsziffern sind dieselben wie die entsprechenden des Gleitbahnabs, hnittes 2. Beim Gleitbahnabschnitt 8 besteht jedoch auch ein Unterschied, der am besten aus den Fig.2, 14 und 15 zu ersehen ist Er besteht darin, daß ein zur Aufnahme des Saugarms dienender Schlitz 212 vorgesehen ist, der von einem Rand herkommend in eine Halteplatte 56' hineinreicht, so daß der Saugarm 181 ein beschichtetes Werkstück vor dem Zurückziehen des Armes unmittelbar oberhalb der Gleitbahnschiene

ίο ablegen kann. Daher läßt sich ein beschichtetes Werkstück unmittelbar auf die Gleitbahnoberseite auflegen, um von dieser in das benachbarte Abgabemagazin 11' transportiert zu werden. Auch beim Gleitbahnabschnitt 8 ist eine faseroptische Fühl vorrichtung 46' vorgesehen, welche die Luftzufuhr zu der Schiene dieses Gleitbahnabschnitts während des Fortschaltens des Abgabemagazins steuert.

Das Abgabemagazin 9 und seine Schrittschaltvorrichtung entsprechen in allen wesentlichen Einzelheiten dem Beschickungsmagazin 1 und seiner Schrittschaltvorrichtung. Die Schrittschaltvorrichtung des Abgabemagazins 2 unterscheidet sich allerdings darin, daß die Fortschaltrichtung derjenigen des Beschickungsmagazins entgegengesetzt ist Der Servomotor 38' des Abgabemagazins bewirkt eine senkrechte Verstellung des Magazinkörpers 11' nach oben, während es fortschreitend mit Werkstücken gefüllt wird. Zu Beginn des Arbeitsvorganges befindet sich das obere Fach des Magazinkörpers einen Schritt oberhalb der Schienen-

Oberseite des Gleitbahnabschnitts 8, und die Stellstange

36' wird durch den ihr zugeordneten Servomotor im entgegengesetzten Drehsinn wie die Stellstange 36 des

Beschickungsmagazins angetrieben. In Fig.20 sind die zur Steuerung und Synchronisie-

rung der Druckluftventile und Kolben der Gesamtvorrichtung dienenden Einrichtungen schematisch dargestellt.

Arbeitsweise und Steuerung der Schrittschaltvorrichtungen wurden bereits beschrieben. Die Arbeitsweise und Steuerung der Saugarme 181,182 in Verbindung mit dem Zentrierstift 96 und der Drehspindel 126 werden im folgenden erläutert.

Wenn ein plattenförrniges Werkstück an der Bearbeitungsstelle des Ausführungsbeispiels gedreht und beschichtet wird, wird es auf dem Zentrierstift solange gehalten, bis der Drehvergang vollstäi Jig beendet ist Während einer solchen Wartezeit befinden sich die Saugarme in einer mittleren Stellung zwischen den Enden ihrer Arbeitswege zur Werkstückübergabe, so

so daß die Saugarme die Arbeitsweise der Schale 133, die im angehobenen Zustand überflüssiges Photoresistmaterial auffängt nicht beeinträchtigen. Wie in Fig. 13 gezeigt werden die Saugarme in der gestrichelt angedeuteten mittleren »Ruhestellung« gehalten.

Nach Beendigung des Drehtaktes wird die Schieberplatte 151 durch den Druckluftzyiinder 171 gemäß F i g. 13 zu dem Ende ihres Arbeitsweges verschoben, so daß der Saugarm 183 mit dem Zentrierstift % ausgerichtet und gleichzeitig der Saugarm 181 in Ausrichtung mit der Drehspindel 126 gebracht wird. Sobald die Saugarme plattenförmige Werkstücke aufgenommen haben, wird die Schieberplatte gemäß Fig. 13 nach links zum anderen Ende des Arbeitswegs bewegt, so daß sich der Saugarm 182 an der Drehspindel und der Saugarm 181 an der Lagerschiene des Gleitbahnabschnitts 2 befindet Die in Fig.20 dargestellten Druckluft- und Unterdruckventile dienen zur Steuerung der verschiedenen Arbeitsvorgänge der

Saugarme und der Schieberplatte, um eine einwandfreie Übergabe der Werkstücke zu gewährleisten. Der Arbeitsvorgang wiederholt sich laufend für die einzelnen plattenförmigen Werkstücke, bis alle Werkstücke aus dem Beschickungsmagazin bearbeitet und in das s Abgabemagazin eingeführt worden sind. Dann wird die Vorrichtung automatisch abgeschaltet, bis die Magazinkörper im Beschickungs- und im Abgabemagazin ausgetauscht worden sind.

In den Fig. 12 und 13, sowie in Pig.20 sind die Steuerschalter dargestellt, welche betätigt werden, um die Bewegungen und Punktionen bestimmter Aufnahmearme und der Schieberplatte einzuleiten. In der hier dargestellten Ausführung sind vier Steuerschalter 216, 217, 218 und 219 vorgesehen und an dem U-formigen Befestigungskanal 164 befestigt. Der Schalter 217 ist auf der Außenseite des Kanals 164 befestigt, während die übrigen Schalter auf dessen Innenseite angeordnet sind Außerdem ist der Schalter 217 fest an dem Kanal angeordnet, während die anderen Schalter vorzugsweise vermittels Einstellschlitzen 221 und 222 in der Seitenwand des Kanals einstellbar sind.

Die Schalter weisen jeweils die Schaltarme 223,224, 225 bzw. 226 auf, die in bekannter Weise niedergedrückt werden können, so daß die entsprechenden Schalter in bekannter Weise Steuersignale an die in Fig.20 dargestellten, durch einen Elektromagneten betätigten Druckluft- oder Unterdruckventile abgeben. An dem äußeren Rand der Schieberplatte 151 ist eine Schaltplatte 227 befestigt, die mit dem Schaltarm 224 des Schalters

217 ausgerichtet ist, wie sich aus Fig. 12 ersehen läßt. Wenn die Schieberplatte in der Darstellung der F i g. 12 nach links bewegt wird, kommt die Schaltplatte 227 in einen Eingriff mit dem Schaltarm 224. wodurch dieser niedergedrückt und der Schalter 217 betätigt wird. Die Schaltarme der übrigen Schalter 216,218 und 219 sind mit den bereits genannten Gleitlagern 154 und 156 ausgerichtet. Wie aus Fig. 13 ersichtlich, befindet sich das Gleitlager 156 in einer Lage, in der es in einen Eingriff mit den Schaltarmen 225 und 226 der Schalter

218 bzw. 219 kommen kann. Das Gleitlager 154 befindet sich in einer Lage, in der es in einen Eingriff mit dem Schaltarm 223 des Schalters 216 kommen kann.

Wenn der Schaltarm 226 des Schalters 219 in der in Fig. 13 dargestellten Weise durch das Gleitlager 156 niedergedrückt ist, wird ein Signal an das Magnetventil übertragen, welches den Druckluftzylinder 171 steuert, der seinerseits die Schieberplatte 151 betätigt. Die Schieberplatte wird angehalten, so daß die Aufnehmearme 181 und 182 in die in den Fig. 12 und 13 so dargestellten Lagen gebracht werden, in welchen die Arme genau mit den entsprechenden Achsen des Zentrierstiftes und der Drehspindel ausgerichtet sind. Wenn der Schaltarm 223 des Schalters 216 durch das Gleitlager 154 niedergedrückt wird, wird ein Signal an das Magnetventil übertragen, weiches den Druckluftzylinder 171 steuert, wodurch die Aufnehmearme 181 und 182 genau über der Luftlagerschiene auf der Abgabeseite bzw. über der Achse der Drehspindel angehalten werden. Die beiden Schalter 21ri und 219 dienen somit zur Begrenzungseinstellung des Verschiebungsweges der Schieberplatte und der auf dieser befestigten Aufnehmearme, indem die Längsbewegung der Schieberplatte in der beschriebenen Weise durch die Schalter begrenzt wird.

Wie aus Fig. 13 ersichtlich, wird der Schaltarm 224 des Schalters 217 durch die Schaltplatte 227 niedergedrückt, wenn sich die Schieberplatte in der am weitesten links befindlichen Lage befindet Wenn der Schalter 217 betätigt ist, wird ein Signal an das Magnetventil abgegeben, welches die entsprechenden Zylinder 207 steuert, welche zur Bewegung der en»sprechenden Aufnehmearme nach oben oder nach unten dienen. Zugleich mit diesem Signal wird Luft in die Zylinder eingeführt, wodurch die Aufnehmearme in der bereits beschriebenen Weise nach unten bewegt werden.

Wie F i g. 13 zeigt, kommt das Gleitlager 156 bei einer Bewegung der Schieberplatte von der äußersten linksseitigen Stellung nach rechts in einen Eingriff mit dem Schaltarm 225 des Schalters 218, der ein Signal abgibt, durch welches der Druckluftzylinder 171 drucklos gemacht und die Schieberplatte zum Stillstand gebracht wird, wobei sich die Aufnehmarme in der mittleren Ruhestellung befinden, so daß die Schale 133 während des Drehvorganges angehoben werden kann» Die Schieberplatte bleibt so lange in der Ruhestellung bis die Schale 133 zurückgezogen worden ist und ein vollständig neuer Arbeitstakt eingeleitet werden kann. Die Einleitung eines neuen Arbeitstaktes erfolgt durch den Zentrierstift 96 in der nachstehend dargestellten Weise.

Nach Ablauf einer geeignet gewählten Zeitverzögerung, die eine Beendigung des Zentriervorganges der Platte ermöglichen soll, wird der Zentrierstift vermittels eines übertragenen Signals angehoben, wenn eine Platte an der Füllvorrichtung 46 vorbeigewandert ist Durch dieses Signa! wird der Kolben 104 des Zentrierstiftes betätigt und hebt den Stift an. Sobald der Stift in seine obere Lage gelangt ist, wird ein (nicht dargestellter) Begrenzungsschalter betätigt, der den Druckluftzylinder 171 der Schieberplatte in Tätigkeit setzt und die Schieberplatte aus ihrer Ruhestellung in eine in Fig. 13 ganz rechts liegende Stellung bringt so daß der Schalter 219 betätigt wird und die Schieberplatte anhält, der Aufnehmearm 182 durch Abstellen des Zylinders 207 angehoben, das Einfahren des Zentrierstiftes eingeleitet, Unterdruck an den Aufnehmearm angelegt und Unterdruck von dem Zentrierstift abgeschaltet wird.

Wenn der Zentrierstift voll eingezogen ist, wird ein weiterer (nicht dargestellter) Begrenzungsschalter betätigt, der seinerseits eine Bewegung der Schieberplatte in der Darstellung der F i g. 13 nach rechts einleitet wobei der Aufnehmearm 182 ausgefahren ist. Wenn der Arm 182 in Ausrichtung mit der Drehspindel 126 gelangt, wird der Zylinder 171 der Schieberplatte durch den mit dem Gleitlager 154 in Eingriff kommenden Schalter 216 außer Tätigkeit gesetzt.

Gleichzeitig betätigt die Schaltplatte 227 den Schalter 217, v/odurch der Aufnehmearm 182 eingezogen und ein Unterdruck an die Spindel angelegt wird, während gleichzeitig kein Unterdruck mehr auf den Aufnehmearm einwirkt. Durch das volle Einziehen des Aufnehmearms v/ird der Zylinder 171 der Schieberplatte betätigt, die Schieberplatte wird in die Ruhestellung gebracht und in dieser angehalten, wobei die Aufnehmearme eingezogen sind.

Wenn die Schieberplatte in die Ruhestellung gelangt ist, v/ird der Zylinder 146 betätigt und hebt die Schale 133 an. Sobald die Schale in ihre obere Endlage gelangt ist, wird der Begrenzungsschalter 140 betätigt und leitet die Abgabe von Photoresist und den Drehtakt ein. Der Zylinder 146 wird wiederum betätigt, um die Schale 133 nach einer vorbestimmten Zeitverzögerung anzuziehen, die ausreichend groß bemessen ist, daß der Drehtakt vollständig beendet werden kann. Wenn die Schale eingezogen wird, wird der Begrenzungsschalter

145 betätigt und bewegt die Schieberplatte in der Darstellung der F i g. 13 nach rechts, so daß ein weiterer Arbeitstakt eingeleitet wird.

'.Venn der Aufnehmearm 182 in der beschriebenen Weise bewegt wird, wird gleichzeitig der Aufnehmearm 181 in ähnlicher Weise durch die Schieberplattt· bewegt und in der bereits beschriebenen Weise in der Bearbeitungsstation neben der Abgabestation angehoben und eingezogen.

Da die Merkmale der Ventile und der Steuerschalter in an sich bekannter Weise unterschiedlich sein können, sind diese hier nicht in Einzelheiten dargestellt. Im Rahmen der zur Verfügung stehenden technischen Möglichkeiten lassen sich zur Ausführung der beschriebenen Arbeitsfolge von Druckluft, Unterdruck und Bewegung unterschiedliche Steueranordnungen und Vorrichtungen verwenden.

Als letztes soll der Aufbau der Zweirichtungs-Strömungsmittellagerschiene beschrieben werden. Die im vorstehenden beschriebene Strömungsmittellagerung läßt sich auch zur Bewegung der Gegenstände in zwei Richtungen verwenden. In diesem Zusammenhang wird Bezug genommen auf die Fig. 17,18 und 19, in denen ein Ausführungsbeispiel einer Zweirichtungs-Strömungsmittellagerschiene dargestellt ist Der in diesen Figuren dargestellte abgeänderte Schienenaufbau entspricht dem bereits beschriebenen Aufbau und besteht aus einer allgemein T-förmigen Halteplatte 251 mit einer Reihe langgestreckter, allgemein rechteckiger offener Nuten 252 in der oberen Oberfläche der Platte, in welche Luftlager-Düsenstäbe 253 eingesetzt und in der bereits beschriebenen Weise befestigt sind. An der Unterseite der Halteplatte ist eine Verschlußplatte 254 befestigt Jeder Düsenstab hat einen allgemein T-förmigen Querschnitt und bildet auf seinen gegenüberliegenden Seitenflächen in Längsrichtung verlaufende Kanäle 256, durch welche entlang der Länge der Stäbe Luftkanäle gebildet werden. Diese Luftkanäle stehen 'wiederum in Verbindung mit Vorkammern, die in der unteren Oberfläche der Halteplatte ausgebildet sind.

Ein wichtiger Unterschied der hier dargestellten Zweirichtungs-Strömungsmittellagerschiene im Vergleich zu der bereits beschriebenen Schiene besteht darin, daß in der Halteplatte zwei, benachbarte Vorkammern vorgesehen sind, die in Fig. 17 mit den Bezugszeichen 257 bzw. 258 bezeichnet sind. Die entsprechenden Vorkammern sind durch entsprechende Anschlußstücke 259 und 261 jeweils mit einer Quelle eines unter Druck stehenden Strömungsmittels wie z. B. einem nicht dargestellten Luftverdichter verbunden.

Weiterhin ist aus Fig. 17 zu ersehen, daß die beiden Vorkammern getrennt voneinander ir-it den Kanälen

256 auf den gegenüberliegenden Seiten der Düsenstäbe verbunden sind. Mit anderen Worten, die Vorkammer

257 ist durch eine Reihe von Löchern 262 mit dem linksseitigen Kanal der Düsenstäbe verbunden (in der Darstellung der Fig. 17 und 18), während die Vorkammer 258) durch eine Reihe von Löchern 263 mit dem rechtsseitigen Kanal der Düsenstäbe verbunden ist.

Wie aus Fig. 19 ersichtlich, sind die rechtsseitigen Seitenflächen der Dtisenstäbe mit Richtungsnuten 226 versehen, die vorzugsweise jeweils die bereits beschriebene verbesserte und sich verjüngende, gekrümmte Düsenform aufweisen. Die Nuten 226 auf den rechtsseitigen Seitenflächen der Stäbe sind in Längsrichtung nach rechts gerichtet. Auf den gegenüberliegenden linksseitigen Seitenflächen der Stäbe sind ähnliche Richtungsnuten 267 ausgebildet, die jedoch den Nuten 266 entgegengesetzt gerichtet sind, d. h. die Nuten 267 sind in Längsrichtung nach links gerichtet.

Durch wahlweises Einführen von Luft durch die entsprechenden Vorkammern 257 und 258 kann ein auf der dargestellten Zweirichtungs-Strömungsmittellagerschiene befindlicher Gegenstand wie z. B. eine Platte in Längsrichtung der Schiene entweder nach rechts oder nach links bewegt werden, je nachdem welcher Vorkammer unter Druck stehendes Strömungsmittel zugeführt wird.

Vermittels einer geeigneten, nicht dargestellten Ventilsteuereinrichtung ist es möglich, Luft oder ein anderes, an einen bestimmten Verwendungszweck angepaßtes Strömungsmittel in vorbestimmter Aufeinanderfolge oder in vorbestimmten Arbeitstakten in die entsprechenden Vorkammern einzuführen und durch diese abzugeben. Der beschriebene verbesserte Schienenaufbau hat den Vorteil, daß er sich beispielsweise dazu eignet, einzelne Gegenstände aus einer Station (z. B. einem Plattenmagazin) zu entnehmen und einer Bearbeitungsstation zuzuführen. Nach der Bearbeitung in einer derartigen Station kann die gleiche Schiene dazu verwendet werden, den gleichen Gegenstand in einer zur gleichen Station zurückzubringen (und ihn in dem hier dargestellten Ausführungsbeispiel in das Magazin einzuführen). Auf diese Weise verleiht die Zweirichtungs-Strömungsmittellagerschiene der erfindungsgemäßen Vorrichtung eine besondere Fähigkeit der Behandlung von Gegenständen, wobei zur Erzielung dieser Fähigkeit nur geringfügige Änderungen an dem grundsätzlichen Einrichtungs-Schienenaufbau erforderlich sind.

Hierzu 8 Blatt Zeichnungen

Claims (17)

Patentansprüche:

1. Vorrichtung zur Handhabung leicht zerbrechlicher Werkstücke, insbesondere von Plättchen für die Herstellung von Halbleiterbauelementen, mit einer ein Strömungsmitteltragbett führenden, Schubdüsen enthaltenden Gleitbahn, gekennzeichnet durch einen Gleitbahnabschnitt (2) von solcher Anordnung und Ausbildung, daß durch das aus seinen Schubdüsen austretende Strömungsmittel jeweils das unterste von einer Gruppe in einem auswechselbaren, schrittweise schaltbaren Magazinkörper (11) eines Beschickungsmagazins (1) enthaltener Werkstücke entnommen, mindestens einer Bearbeitungsstelle (6) zugeführt, dort bearbeitet und ι ο auf einen weiteren Gleitbahnabschnitt (8) überführt wird, der eine solche Anordnung und Ausbildung hat, daß durch das ans seinen Schubdüsen ausströmende Strömungsmittel das auf ihm bewegte Werkstück in das jeweils unterste freie Fach eines dem Beschikkungsmagazinkörper (11) gleichen, auswechselbaren, schrittweise schaltbaren Abgabemagazinkörper (11') eingeführt wird.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß dem ersten und dem zweiten Gleitbahnabschnitt (2, 8) je eine Schrittschaltvorrichtung (36, 38; 36', 38') zugeordnet ist, die dazu dient, den Beschickungsmagazinkörper (11) bzw. den Abgabemagazinkörper (11') in Abhängigkeit von der Bewegung der aufeinanderfolgenden Werkstükke aus dem Beschickungsmagazin (1) bzw. in das Abgabemagazin (9) um jeweils ein schlitzförmiges Magazinfach (14) weiterzuschalten.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Magazinkörper (11, 11') einen mit Blickrichtung auf eine waagerechte Schnittebene U-förmigen Querschnitt haben und eine Reihe darin in Abständen übereinander angeordneter Lippen (13) enthalten, zwischen denen sich die schlitzförmigen, nach dem einen zugeordneten Gleitbahnabschnitt offenen, durch ]t 7.vic\ benachbarte Lippen begrenzten Magazinfächer (14) befinden.

4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß jede Schrittschaltvorrichtung (36, 38; 36', 38') eine Magazinträgerplatte (16, 16') mit einer Führung (29, 29') einer zu ihrem Antrieb dienenden Stellstange (36, 36'), welche schrittweise entsprechend den Abständen in benachbarten Magazinfächern liegender Werkstücke verstellbar ist, und einen Schrittschaltwerksantrieb (38, 38') aufweist.

5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4. dadurch gekennzeichnet, daß die mit der Trägerplatte (16, 16') im Eingriff stehenden Stellstangen (36, 36') durch ihre Schrittschaltwerksantriebe in entgegengesetzten Richtungen axial beweglich sind, so daß das eine Magazin schrittweise nach oben und das andere schrittweise nach unten bewegbar ist.

6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß jede Stellstange (36, 36') ein Schraubgewinde trägt und mit der ihr zugeordneten Magazinträgerplatte durch ein Muttergewinde gekuppelt und mit ihrem Antriebsmotor (38) derart verbunden ist, daß sie durch Drehung um einen vorbestimmten Betrag in senkrechter Richtung um jeweils einen Magazinfachabstand verstellbar ist.

7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6,' dadurch gekennzeichnet, daß die schrittweise Schaltbewegung der Magazinkörper (U₁ 1Γ) durch einen vom Vorbeilaufen eines Werkstücks beeinflußten, jeweils einem Gleitbahnabschnitt (2, 8) zugeordneten Fühler (46, 46') steuerbar ist, der ein Steuersignal für den jeweiligen Schrittschaltwerksantrieb (38,38') liefert.

8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Bearbeitungsstelle (6) eine Übergabevorrichtung (4) zugeordnet ist, die auf einer in Gleitbahnrichtung beweglichen Schieberplatte (551) angeordnete Sauggreifer (181, 182) aufweist, welche jeweils ein Werkstück «on dem einen Gleitbahnabschnitt (2) aufnehmen, es zu der Bearbeitungsstelle (6) hin und nach der Bearbeitung von dort aus auf den nächsten Gleitbahnabschnitt (8) überführen.

9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis b, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Gleitbahnabschnitt (2, 8) eine Schiene (251) aufweist, die eine Reihe gekrümmter, von unten schräg in Förderrichtung gegen die Bewegungsbahn gerichteter als Schubdüsen dienender Strömungsmittelzuftihrungskanäle (73) enthält.

10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß im Strömungsmittelzuführungsweg der Schubdüsen (73) eine Strömungsmittelpulsiervorrichtung angeordnet ist.

11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis

10, dadurch gekennzeichnet, daß die Gleitbahnabschnitte (2,8) zusätzlich zu der Reihe der von unten schräg gegen die Bewegungsbahn gerichteten Schubdüsen noch eine weitere Reihe gleichgestalteter Schubdüsen für die entgegengesetzte Förderrichtung enthält, so daß die Werkstücke wahlweise in entgegengesetzten Richtungen bewegbar sind.

12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis

11, dadurch gekennzeichnet, daß die gekrümmten Schubdüsen (73) einen sich zu ihrer Austrittsöffnung hin verengenden Strömungsquerschnitt aufweisen.

13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis

12, dadurch gekennzeichnet, daß die Schiene jedes Gleitbahnabschnitts (2, 8) eine Halteplatte (56, 251) mit einer Reihe paralleler Nuten (58) auf ihrer Oberseite aufweist und eine mit den Nuten durch öffnungen (62) in Verbindung stehende Kammer (61; 257, 258) enthält, an die eine Strömungsmittelquelle angeschlossen ist, und daß eine Reihe von Stäben (68, 253) in die Nuten, diese im wesentlichen ausfüllend, eingesetzt ist. die mit der Oberseite der Schiene annähernd bündig liegen und mit dieser die Gleitbahn bilden, und daß die Strömungsmittelzuführungskanäle (73, 266, 267) in mindestens die eine der Stabseitenflächen eingearbeitet sind.

14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis

13, dadurch gekennzeichnet, daß der Fluß und die Unterbrechung des Strömungsmittels durch die Schubdüsen durch eine in Abhängigkeit von den Schaltschritten der Magazinkörper arbeitende Steuervorrichtung steuerbar ist.

15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis

14, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Gleitbahnabschnitt (2) auf der Beschickungsseite und der Bearbeitungsstelle (6) eine Zentriereinheit (3) mit einer rotationssymmetrischen. Zentrierdüsen (83) aufweisenden flachen Schüssel (75) für darin abzulegende Werkstücke vorgesehen ist.

16. Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Zentrierschüssel (75) eine zentrische Bohrung aufweist, in der ein rohrförmiger 7entrierbolzen (96) angeordnet ist, der mit einer Hubvorrichtung (104) versehen ist und zum Anheben ■> des in der Schüssel (75) zentrierten Werkstücks dient.

17. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß an der Bearbeitungsstelle (6) eine zur Aufnahme eine3 Werkstücks ■> dienenoe, zum Halten des Werkstücks mit einer an eine Unterdrv.ckquelle angeschlossenen zentrischen Bohrung (127) versehene und mit einem Antriebsmotor (131) gekuppelte Drehspindel (126) vorgesehen ist. ι'