DE1414620C - Verfahren zum Herstellen einer thermoelektrischen Vorrichtung und halbleitende Stäbe zur Durchführung des Verfahrens - Google Patents
Verfahren zum Herstellen einer thermoelektrischen Vorrichtung und halbleitende Stäbe zur Durchführung des VerfahrensInfo
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- 238000000034 method Methods 0.000 title description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 43
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 19
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 8
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 5
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000004922 lacquer Substances 0.000 claims description 3
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 claims description 3
- 239000002966 varnish Substances 0.000 claims description 3
- 229910052714 tellurium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N tellurium Chemical compound [Te] PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 claims 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 10
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 8
- PDYNJNLVKADULO-UHFFFAOYSA-N tellanylidenebismuth Chemical compound [Bi]=[Te] PDYNJNLVKADULO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 230000000875 corresponding Effects 0.000 description 2
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 2
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 229910001338 liquidmetal Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000000607 poisoning Effects 0.000 description 2
- 231100000572 poisoning Toxicity 0.000 description 2
- MRPWWVMHWSDJEH-UHFFFAOYSA-N Antimony telluride Chemical compound [SbH3+3].[SbH3+3].[TeH2-2].[TeH2-2].[TeH2-2] MRPWWVMHWSDJEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FBGGJHZVZAAUKJ-UHFFFAOYSA-N Bismuth selenide Chemical compound [Se-2].[Se-2].[Se-2].[Bi+3].[Bi+3] FBGGJHZVZAAUKJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101700078171 KNTC1 Proteins 0.000 description 1
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 1
- REDXJYDRNCIFBQ-UHFFFAOYSA-N aluminium(3+) Chemical class [Al+3] REDXJYDRNCIFBQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000011344 liquid material Substances 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N tin hydride Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009736 wetting Methods 0.000 description 1
Description
1 2
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Her- wenigstens teilweise mit einer elektrisch isolierenden
stellen einer thermoelektrischcn Vorrichtung, be- Schicht versehen werden.
stehend aus einer Anzahl abwechselnd aus ver- Neben der Vermeidung der bekannten Schwierigschiedenem
thcrmoelcktrischem Material bestehender keiten bringt das Verfahren nach der Erfindung weiter
Halbleiterkörper, die durch Zerteilen von Stäben ge- 5 den Vorteil mit sich, daß die Gefahr einer Verwonnen
sind und deren Seitenflächen eine das Haften giftung, welche bei verschiedenen üblichen in thermoeines
Lotes verhindernde, elektrisch isolierende elektrischen Geräten verwendeten Halbleiter-Schicht
tragen und die auf ihren Stirnflächen mit materialien besteht, durch die isolierende Schicht ver-Kontaktbrückcn
verbunden sind, durch die die mindert oder ganz beseitigt wird, wenn das Material,
Halbleiterkörper elektrisch in Reihe geschaltet sind. io aus dem diese Schicht besteht, für die in dem HaIb-Bei
der Herstellung von thcrmoelektrischen Vor- leiterkörper vorhandenen Stoffe und/oder die mit
richtungen werden bekanntlich Halbleiterkörper vom ihnen gebildeten Verbindungen mindestens nahezu
n- und p-Typ, welche z. B. durch Zerteilen, ins- undurchlässig ist. Dies gilt insbesondere bei der Verbesonderc
Sägen, von Halbleiterstäben erhalten wer- Wendung von halbleitenden Körpern, welche Tellur
den, serienweise, z. B. mäanderförmig, unter 15 enthalten.
Zwischenfügung von Kontaktteilen, welche an den Ein weiterer Vorteil tritt dann ein, wenn das
Körpern angelötet bzw. angeschmolzen werden, an- Material der Schicht für Elemente oder Verbindungeordnet.
Die Halbleiterkörper werden in bekannter gen, z. B. in der umgebenden Atmosphäre, die die
Weise im Betrieb derart von einem Strom durch- Eigenschaften des halbleitenden Materials der Körflossen,
daß sich die auf der einen Seite der Vor- 20 per ungünstig beeinflussen, mindestens nahezu unrichtung
befindlichen Kontakte abkühlen, während durchlässig ist, wodurch die Stabilität der Eigensie
sich auf der anderen Seite erwärmen. Es ist schäften der Körper bzw. Stäbe, insbesondere wähüblich,
eine solche Vorrichtung nach deren Zu- rend der Lagerung, vor dem Zusammenbau versammenbau
mit einer elektrisch isolierenden Masse bessert werden kann.
zu vergießen, wodurch die mechanische Stabilität ge- 25 Das erfindungsgemäße Verfahren ermöglicht auch
sichert werden soll. in einfacher Weise das Aufbringen von Metall- oder
Bei dem Zusammenbau dieser Vorrichtungen tritt Lötschichten auf die Stirnfläche oder die Stirnz.
B. die Schwierigkeit auf, daß Halbleiterkörper, flächen der Körper dadurch, daß diese Körper durch
welche im Material oder in ihren Abmessungen Ver- einfaches Eintauchen in flüssiges Metall nur auf einer
schiedenheiten aufweisen, schwer zu unterscheiden 30 bzw. beiden Stirnflächen mit einer Metallschicht versind.
Wenn diese Körper z. B. eine nahezu kubische sehen werden. Ein wichtiger Vorteil kann hierbei
Gestalt haben, dann sind ihre Stirnseiten schwer von erreicht werden, wenn die Stirnflächen der Körper
den Seitenflächen zu unterscheiden. Halbleiterkörper nach Anbringen der isolierenden Schicht und nach
vom p- oder η-Typ sind ebenfalls schwer voneinander dem Zerteilungsvorgang des Stabes, mit einer aufzu
unterscheiden. 35 geschmolzenen oder aufgelöteten Metallschicht ver-
Eine andere Schwierigkeit besteht z. B. darin, daß sehen werden, wodurch die Gefahr einer Vergiftung
bei dem Anlöten oder Aufschmelzen der Kontakt- bei der Handhabung dieser so behandelten Körper
teile die Gefahr besteht, daß die Seitenfläche der praktisch ausgeschlossen ist. Für diesen Zweck und
Körper durch flüssiges Material benetzt werden, wo- unter anderem auch zur Vermeidung des Aus-·
durch der Nutzeffekt der Vorrichtung beeinträchtigt 40 fließens des Lötmaterials auf die Seitenflächen der
wird. Halbleiterkörper während der Verlötung der Vor-
Aus der französischen Patentschrift 1 268 629 ist richtung wird vorzugsweise ein Material für die
ein Verfahren zur Herstellung einer thermo- elektrisch isolierende Schicht verwendet, welches
elektrischen Vorrichtung der eingangs genannten Art mindestens bis zur Aufschmelztemperatur bzw. Lötbekannt,
wobei die Halbleiterkörper nach der Her- 45 temperatur insoweit beständig ist, daß die Benetzung
stellung der Vorrichtung mit einer Isolierschicht ver- der Seitenflächen durch flüssiges Metall verhindert
sehen werden. Dabei werden die obenerwähnten. wird.
während des' Herstellungsverfahrens auftretenden Die verwendeten isolierenden Schichten können
Schwierigkeiten aber nicht beseitigt. gefärbt sein, wodurch sie besser sichtbar werden, und
Auch ist aus der USA.-Patentschrift 2 665 322 ein 50 Stirnflächen und Seitenflächen unterschieden werden
Verfahren zur Herstellung von Thermoelementen aus können. Insbesondere ergibt sich auch die Möglichin
einander geflochtenen, mit einer gegebenenfalls ge- keit, Stäbe aus unterschiedlichen Halbleiterfärbten
Isolierschicht versehenen Metalldrähten be- materialien, insbesondere solche mit unterschiedkannt.
Es handelt sich hier aber nicht um eine lichem Leitungstyp, mit unterschiedlich gefärbten
thermoelektrische Vorrichtung mit Thermoelement- 55 Schichten zu versehen, wodurch die Unterscheidung
Schenkeln aus halblcitcndem Material, wobei außer- der verschiedenen Halbleiterkörper beträchtlich verdem
im Gegensatz zu der nachfolgend beschriebenen einfacht wird.
Erfindung die Isolierschicht beim Löten entfernt Die elektrisch isolierende Schicht kann durch Aufwird,
bringen eines Lackes, vorzugsweise eines Lackes auf
Die vorstehend beschriebenen Nachteile und 60 Siliconbasis oder durch Aufschieben einer Hülse,
Mangel werden bei einem Verfahren der eingangs z. B. aus Kunststoff, auf die Halbleiterstäbe hergestellt
genannten Art nach der Erfindung dadurch ver- werden. Handelt es sich um eine Hülse, so kann
mieden, daß die Stäbe vor dem Zerteilen an ihrer diese in an sich bekannter Weise durch Kleben oder
gesamten Oberfläche, mindestens jedoch an ihren Aufschrumpfen fest mit dem Stab verbunden
Seitenflächen mit dieser Schicht verschen werden. 65 werden.
Die Erfindung beruht also auf der Erkenntnis. Die Erfindung betrifft außerdem halbleitende
daß es während der Herstellung wesentliche Vorteile Stäbe für die Durchführung des vorstehend bebietet,
wenn bereits vor der Zerteilung die Stäbe schriebenen Herstellungsverfahrens einer thermo-
elektrischen Vorrichtung, bei denen nach der Erfindung
die ganze Oberfläche, mindestens jedoch die Seitenflächen mit einer elektrisch isolierenden Schicht
versehen sind. Zur Vereinfachung des Zusammenbaus kann dabei die isolierende Schicht gefärbt sein,
insbesondere können Stäbe aus unterschiedlichen Halbleitermaterialien mit unterschiedlich gefärbten
Schichten versehen sein.
Die Erfindung wird an Hand der Zeichnung, die Beispiele von Durchführungsformen des Verfahrens
und Beispiele von halbleitenden Stäben nach der Erfindung zeigt, näher erläutert.
F i g. 1 und 2 zeigen in perspektivischer Ansicht verschiedene Halbleiterstäbe;
F i g. 3 und 4 zeigen ebenfalls in perspektivischer Ansicht schematisch die Zerteilung eines Halbleiterstabes;
Fig. 5 und 6 zeigen in perspektivischer Ansicht unterschiedliche Halbleiterkörper;
F i g. 7 und 8 zeigen in Seitenansicht (teilweise im Schnitt) das Eintauchen eines Halbleiterkörpers in
eine Metallschmelze;
F i g. 9 zeigt das gleiche ebenfalls in. Seitenansicht (teilweise im Schnitt) für eine teilweise fertig gestellte
thermoelektrische Vorrichtung;
F i g. 10 zeigt schematisch eine fertige thermoelektrische Vorrichtung.
Der in Fig. 1 dargestellte Halbleiterstab 1,welcher z. B. aus Wismuttellurid oder aus Mischkristallen von
Wismuttellurid mit Antimontellurid (p-Typ) oder Wismuttellurid mit Wismutselenid (η-Typ) besteht,
mit quadratischem Querschnitt ist auf seiner gesamten Seitenfläche mit einem Lack 2 bedeckt, nur die Stirnflächen
3 und 4 sind frei. Der Halbleiterstab 5 mit dreieckigem Querschnitt nach Fig. 3 ist an seiner
gesamten Oberfläche mit einer Kunststoffschicht 6 bedeckt. Die durch Sägeschnitte 9 (F i g. 3) erhaltenen
Halbleiterkörper 11 zeigt die Fig. 4. Die durch die Schnitte entstandenen Stirnseiten 10 der Körper sind
von der elektrisch isolierenden Schicht natürlich frei. Dadurch entsteht der weitere Vorteil, daß bei dem
Einbau von beispielsweise würfelförmigen Halbleiterkörpern leicht unterschieden werden kann, welche
der Flächen für die Lötung zu verwenden sind.
Der Halbleiterkörper 11a vom p-Typ (Fig. 5) und der Halbleiterkörper 11 b vom η-Typ (F i g. 6) sind
durch die unterschiedliche Farbe der Schicht 2 unterschieden, wie durch die verschiedene Schraffierung
angedeutet ist. Dabei wird unter Farbe auch schwarzweiß oder farblos verstanden. Die Unterschiede der
Schicht können auch in einem verschiedenen Reflektionsgrad beispielsweise für sichtbares Licht bestehen,
d. h., die eine Art Halbleitermaterial ist z. B. mit einer Schicht mit glatter Oberfläche bedeckt,
während die Schicht bei dem anderen Halbleitermaterial aufgerauht ist.
Die fertig zerteilten Halbleiterkörper werden (vgl. F i g. 7) in ein Bad aus flüssigem Lötzinn 13 in einem
Trog 14 getaucht. Dabei bedecken sich die von der Schicht freien Teile, in diesem Fall die Stirnflächen,
mit einer Kappe 15 aus Lötmaterial. In der F i g. 7 ist eine Stirnfläche bereits mit einer derartigen Kappe 15
versehen. Unter Lötmaterial soll nicht nur ein tatsächlich zu einem Lötprozeß gehörende Metall bzw.
Legierung verstanden werden, sondern auch Metalle wie z. B. Wismut oder Legierungen, die die Oberfläche
des Halbleiterkörpers schützen sollen, oder einen anschließenden Lötvorgang erleichtern oder ermöglichen
sollen. Die Kappen 15 können natürlich — wie die Fig. 8 zeigt — gleichzeitig durch völliges
Untertauchen des Halbleiterkörpers 11 in der Metallschmelze 13 hergestellt werden.
In der Fig. 9 sind Halbleiterkörper 11 dargestellt, die mit jeweils einer Stirnfläche 3 an einer Kontaktbrücke 16 beispielsweise aus Kupfer angelötet sind. Die unterschiedliche Schraffierung soll die unterschiedliche Färbung der Schichten 2 verdeutlichen. Es handelt sich bei der in die Lötflüssigkeit 13 eingetauchten halbfertigen Anordnung um eine wechselweise Anordnung von Haibleilerkörpern vom p- und η-Typ. Nach dem Herausnehmen aus der Schmelze 13 sind die noch freien Stirnflächen der Halbleiterkörper 1 ebenfalls mit einer Kappe aus Lötmaterial bedeckt. Sie werden dann ebenfalls auf einen Kontaktstreifen aufgelötet. Der Kontaktstreifen 16 (Fig. 9) wird dann an den durch die Pfeile 17 bezeichneten Stellen zertrennt, und der nicht gezeichnete weitere Kontaktstreifen an entsprechend dazwischenliegenden Stellen, so daß die fertige thermoelektrische Vorrichtung nach Fig. 10 entsteht. Wird durch diese Vorrichtung aus der Batterie 19 über die Leitungen 20 ein Strom geleitet, wie es in der Fig. 10 schematisch angedeutet ist, so werden sich die Teile des Kontaktstreifens 16 bei entsprechender Stromrichtung beispielsweise abkühlen, während sich die Kontaktstreifen 18 in bekannter Weise erwärmen. Die Vorrichtung ist zur Erhöhung der mechanischen Stabilität in üblicher Weise in einem Isolierkörper 21 eingegossen worden.
In der Fig. 9 sind Halbleiterkörper 11 dargestellt, die mit jeweils einer Stirnfläche 3 an einer Kontaktbrücke 16 beispielsweise aus Kupfer angelötet sind. Die unterschiedliche Schraffierung soll die unterschiedliche Färbung der Schichten 2 verdeutlichen. Es handelt sich bei der in die Lötflüssigkeit 13 eingetauchten halbfertigen Anordnung um eine wechselweise Anordnung von Haibleilerkörpern vom p- und η-Typ. Nach dem Herausnehmen aus der Schmelze 13 sind die noch freien Stirnflächen der Halbleiterkörper 1 ebenfalls mit einer Kappe aus Lötmaterial bedeckt. Sie werden dann ebenfalls auf einen Kontaktstreifen aufgelötet. Der Kontaktstreifen 16 (Fig. 9) wird dann an den durch die Pfeile 17 bezeichneten Stellen zertrennt, und der nicht gezeichnete weitere Kontaktstreifen an entsprechend dazwischenliegenden Stellen, so daß die fertige thermoelektrische Vorrichtung nach Fig. 10 entsteht. Wird durch diese Vorrichtung aus der Batterie 19 über die Leitungen 20 ein Strom geleitet, wie es in der Fig. 10 schematisch angedeutet ist, so werden sich die Teile des Kontaktstreifens 16 bei entsprechender Stromrichtung beispielsweise abkühlen, während sich die Kontaktstreifen 18 in bekannter Weise erwärmen. Die Vorrichtung ist zur Erhöhung der mechanischen Stabilität in üblicher Weise in einem Isolierkörper 21 eingegossen worden.
Claims (16)
1. Verfahren zum Herstellen einer thcrmoelektrischen
Vorrichtung, bestehend aus einer Anzahl abwechselnd aus verschiedenem thermoelektrischem
Material bestehender Halbleiter-, körper, die durch Zerteilen von Stäben gewonnen
sind und deren Seitenflächen eine das Haften eines Lotes verhindernde, elektrisch isolierende
Schicht tragen und die auf ihren Stirnflächen mit Kontaktbrücken verbunden sind, durch die die
Halbleiterkörper elektrisch in Reihe geschaltet sind, dadurch gekennzeichnet, daß die
Stäbe vor dem Zerteilen an ihrer gesamten Oberfläche, mindestens jedoch an ihren Seitenflächen
mit dieser Schicht versehen werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine gefärbte Schicht aufgebracht
wird.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß Stäbe aus unterschiedlichen
Halbleitermaterialien mit unterschiedlich gefärbten Schichten versehen werden.
4. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß Stäbe aus Halbleitermaterialien
von unterschiedlichem Leitungstyp verwendet werden.
5. Verfahren nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,
daß als elektrisch isolierende Schicht um die Halbleiterstäbe eine nicht verschiebbare Hülse
aus Isolierstoff angebracht wird.
6. Verfahren nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,
daß eine Schicht aus einem Material aufgebracht wird, das für die in dem Halbleiter-
körper vorhandenen Stoffe und/oder die mit ihnen gebildeten Verbindungen mindestens nahezu
undurchlässig ist.
7. Verfahren nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,
daß eine Schicht aus einem Material aufgebracht wird, das für Elemente oder Verbindungen,
die die Eigenschaften des halbleitenden Materials der Körper ungünstig beeinflussen,
mindestens nahezu undurchlässig ist.
8. Verfahren nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,
daß Tellur enthaltende Halbleiterstäbe verwendet werden.
l). Verfahren nach einem oder mehreren der
vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß als elektrisch-isolierende Schicht ein
Lack aufgebracht wird.
10. Verfahren nach Anspruch 9. dadurch gekennzeichnet,
daß ein Lack auf Siliconbasis aufgebracht wird.
11. Halbleilcnder Stab, geeignet zum Herstellen, von thcrmoelektrischen Vorrichtungen
nach dem Verfahren nach Anspruch 1 oder einem der folgenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,
daß er an seiner ganzen Oberfläche, mindestens jedoeh an seinen Seitenfläehen mit der elektrisch
isolierenden Schicht versehen ist.
12. Halbleitender Stab nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht gefärbt ist.
13. Halbleitende Stäbe nach Anspruch 11 und 12, dadurch gekennzeichnet, daß Körper aus
unterschiedlichen " Halbleitermaterialien mit unterschiedlich gefärbten Schichten versehen sind.
14. Halbleitender Stab nach Anspruch 11 bis
13. dadurch gekennzeichnet, daß das Material der Schicht für die in dem Stab vorhandenen
Stoffe und/oder der mit ihnen gebildeten Verbindungen mindestens nahezu undurchlässig ist.
15. Halbleitender Stab nach Anspruch 11 bis
14. dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht für Elemente oder Verbindungen, die die Eigenschaften
des halbleitenden Materials des Stabes ungünstig beeinflussen, mindestens nahezu undurchlässig
ist.
16. Halbleitender Stab nach Anspruch 11 bis
15. dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht aus einem Lack auf Siliconbasis besteht.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
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