DE1195520B

DE1195520B - Device for setting and changing the spatial position of objects

Info

Publication number: DE1195520B
Application number: DEL41341A
Authority: DE
Inventors: Dipl-Ing Siegfried Buesch; Dr Rudolf Hatschek; Dr Franz Pischinger
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1961-04-17
Filing date: 1962-02-27
Publication date: 1965-06-24
Also published as: ATA288854A; CH398242A; US3220720A

Description

Einrichtung zum Einstellen und Verändern der Raumlage von Gegenständen Die Erfindung bezieht sich auf eine Einrichtung zum Einstellen und Verändern der Raumlage von Gegenständen, insbesondere von Präparaten, in einer Behandlungskammer beim Bestrahlen oder Bedampfen für die Obermikroskopie, die aus einer verschiebbar angeordneten Hebebühne und einem auf dieser mittels einer Schwenkbrücke gelagerten, die Gegenstände aufnehmenden Tisch besteht, der mittels von außen betätigbarer Antriebseinrichtungen um mindestens zwei seiner Raumachsen drehbar ist.Device for setting and changing the spatial position of objects The invention relates to a device for setting and changing the Space position of objects, in particular of preparations, in a treatment chamber when irradiating or steaming for the upper microscopy, which can be moved from a arranged lifting platform and a mounted on this by means of a swivel bridge, the table receiving the objects is made by means of drive devices that can be operated from the outside is rotatable about at least two of its spatial axes.

Einrichtungen dieser Art dienen zur Behandlung von Gegenständen unter bestimmten Druck-, Temperatur- und Strahlungsbedingungen, wobei es während der Behandlung erforderlich ist, die Raumlage der Gegenstände unter Beibehaltung der herrschenden kritischen Bedingungen dauernd oder von Zeit zu Zeit zu verändern. Beispielsweise können solche Einrichtungen zur Behandlung von Gegenständen mit Korpuskularstrahlung oder anderen Strahlungsarten, wie Röntgen- oder ultravioletter Strahlung, für die verschiedensten technischen und wissenschaftlichen Zwecke verwendet werden. Weitere Anwendungsgebiete sind die Bedampfung von Gegenständen im Hochvakuum zwecks Präparation von Objekten für die Übermikroskopie, die Herstellung von Vergütungs- oder anderen Schichten auf Metalloiden oder Metallen, von elektrischen Widerständen usw. sowie die Gefriertrocknung. Facilities of this type are used to treat objects under certain pressure, temperature and radiation conditions, it being during the treatment is required, the spatial position of the objects while maintaining the prevailing to change critical conditions continuously or from time to time. For example such devices can be used to treat objects with corpuscular radiation or other types of radiation, such as X-ray or ultraviolet radiation, for the various technical and scientific purposes are used. Further Areas of application are the vapor deposition of objects in a high vacuum for the purpose of preparation of objects for over microscopy, the manufacture of compensation or other Layers on metalloids or metals, of electrical resistances, etc. as well the freeze drying.

An die Genauigkeit der während der Behandlung einzustellenden oder zu verändernden Raumlage der Gegenstände und der Bewegungsvorgänge des die Gegenstände aufnehmenden Tisches werden hierbei hohe Anforderungen gestellt. Aus diesem Grunde sollen die Bewegungen des Tisches um verschiedene Raumachsen unabhängig voneinander und auch gleichzeitig ausgeführt werden können, so daß die jeweils gewünschte genaue Lage der zu behandelnden Gegenstände schnell und auf einfache Weise einstellbar ist. Dabei ist es jedoch schwierig, mittels der Schwenkbrücke den Tisch ohne gleichzeitige Drehung desselben zu verschwenken, was insbesondere beim Bedampfen von Gegenständen nachteilig ist, da die Herstellung einer konstanten Schichtdicke dadurch schwierig oder sogar unmöglich ist. Bei der Übertragung der Antriebsbewegung zur Drehung des Tisches mittels Seiltrieben oder Federpesen ist weder die Einhaltung der geforderten Genauigkeit noch eine unabhängige Bewegung möglich, da einerseits auftretende Schwingungen der Seiltriebe oder Federpesen sich auf den Tisch übertragen und andererseits bei einer Verschwenkung der Schwenkbrücke gleichzeitig auch der Tisch verdreht wird. Dies hat seine Ursache darin, daß die Antriebsrolle zur Drehung des Tisches bei der Schwenkbewegung festbleibt, die am Tisch angeordnete Rolle hingegen mitbewegt wird, da sich dabei die Seile oder Federpesen auf der festen Rolle abrollen. To the accuracy of the or to be adjusted during the treatment the spatial position of the objects to be changed and the movement processes of the objects The requirements for the receiving table are high. For this reason the movements of the table around different spatial axes should be independent of each other and can also be run at the same time, so that the exact desired The position of the objects to be treated can be adjusted quickly and easily is. However, it is difficult to use the swivel bridge to open the table without simultaneous Rotation of the same to pivot, which is particularly important when steaming objects is disadvantageous because it makes it difficult to produce a constant layer thickness or even impossible. When transmitting the drive movement to rotate the Tables by means of rope drives or spring expenses is neither compliance with the required Accuracy an independent movement is still possible, because on the one hand occurring vibrations the cable drives or spring expenses are transferred to the table and on the other hand at swiveling the swivel bridge, the table is also rotated at the same time. This has its The reason is that the drive roller to rotate the table at the The pivoting movement remains fixed, but the roller arranged on the table is moved along with it, because the ropes or spring expenses roll on the fixed pulley.

Die Erfindung schlägt nunmehr vor, auf der Schwenkbrücke ein Ausgleichsgetriebe anzuordnen, dessen Planetenträger mit dem zur Aufnahme der Gegenstände dienenden Tisch und dessen beide anderen, mit den Planeten zusammenwirkenden Getriebeelemente je mit einem Antriebsrad antriebsverbunden sind, von welchen das eine Antriebsrad mit der Hebebühne fest verbunden ist und das andere Antriebsrad mit der Antriebseinrichtung zur Verdrehung des Tisches in Antriebsverbindung steht. Durch diese Antriebsräder sind die Getriebeelemente bei einer Verschwenkung der Schwenkbrücke in entgegengesetzter Richtung angetrieben. Auf diese Weise werden nachteilige Schwingungen des Tisches während der Bewegung der Schwenkbrücke vermieden und die Bewegungsvorgänge des Tisches unabhängig voneinander ermöglicht. Beim Verschwenken der Schwenkbrücke bleibt der Planetenträger bei entsprechender Wahl der Antriebsübersetzungen zufolge der gegenläufigen Bewegung der beiden mit den Planeten zusammenwirkenden Getriebeelemente in Ruhe, so daß der Tisch hierbei keine Drehbewegung ausführt, sondern lediglich zusammen mit der Schwenkbrücke verschwenkt wird. Wird jedoch die zur Verdrehung des Tisches vorgesehene Antriebseinrichtung betätigt, so bewirkt diese über das mit ihr verbundene Antriebsrad eine Drehbewegung des einen Getriebeelementes, während das andere in Ruhe bleibt, so daß der Planetenträger hierbei mitgenommen wird und den Tisch verdreht. Beide Antriebseinrichtungen können auch gleichzeitig betätigt werden, so daß der Tisch zusammen mit der Schwenkbrücke verschwenkt und gleichzeitig auch verdreht wird. Die Verstellwege des Tisches stehen hierbei stets mit den Verstellwegen der zugehörigen Antriebseinrichtungen in einem gleichbleibenden, lediglich vom vorgegebenen Obersetzungsverhältnis abhängigen Zusammenhang. The invention now proposes a differential gear on the swivel bridge to arrange its planet carrier with the one used to accommodate the objects Table and its two other gear elements interacting with the planets are each drive-connected to a drive wheel, one of which is a drive wheel is firmly connected to the lift and the other drive wheel to the drive device is in drive connection to rotate the table. Through these drive wheels the gear elements are in opposite directions when the swivel bridge is pivoted Direction driven. In this way, detrimental vibrations of the table avoided during the movement of the swivel bridge and the movements of the table independently of each other. When the swivel bridge is pivoted, the remains Planet carrier with an appropriate choice of the drive ratios according to the opposite Movement of the two gear elements interacting with the planets at rest, so that the table does not perform a rotary movement, but only is pivoted together with the swing bridge. However, that will lead to twisting of the table provided drive device is actuated, this causes this via the with it connected drive wheel a rotary movement of a gear element, while the other remains in peace, so that the planet carrier is taken along and twisted the table. Both drive devices can also be operated at the same time so that the table swings together with the swivel bridge and at the same time is also twisted. The adjustment paths of the table always coincide with the adjustment paths the associated drive devices in a constant, only from the specified Transmission ratio dependent relationship.

Nach einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung kann das Ausgleichsgetriebe aus einem Kugel- oder Rollenlager bestehen, wobei die Kugeln oder Rollen die Planeten, der die Kugeln oder Rollen führende Käfig den Planetenträger und die Lagerringe die beiden anderen, mit den Planeten zusammenwirkenden Getriebeelemente bilden. Diese Ausführungsform hat sich als besonders vorteilhaft erwiesen, da sie nicht nur einfach und billig ist, sondern vor allem die Herstellung eines Ausgieichsgetriebes mit kleinsten Abmessungen ermöglicht. According to a preferred embodiment of the invention, the differential gear consist of a ball or roller bearing, the balls or rollers being the planets, the cage guiding the balls or rollers, the planet carrier and the bearing rings form the other two, cooperating with the planets gear elements. This embodiment has proven to be particularly advantageous because it does not is just simple and cheap, but above all the production of a balancing gear with the smallest dimensions possible.

In weiterer Ausgestaltung der Erfindung kann bei einem Axiallager als Ausgleichsgetriebe das Lager beidseitig, vorzugsweise durch in Führungsrillen der Lagerringe eingreifende Kugeln, in radialer Richtung unverschiebbar, jedoch drehbar abgestützt und durch eine Druckfeder in axialer Richtung belastet sein. Es hat sich gezeigt, daß bei Verwendung eines Axiallagers die Antriebsverbindungen zu den einzelnen Getriebeelementen sowie die jeweils gewünschte Reibungskraft zwischen den Kugeln oder Rollen und den Lagerringen auf einfache Weise erzielt werden können. Die erfindungsgemäß vorgesehene, die Reibung zwischen den Lagerteilen bestimmende Druckfeder kann leicht ausgewechselt und daher den jeweiligen Anforderungen angepaßt werden. Die radial unverschiebbare Lagerung durch in Führungsrillen der Lagerringe eingreifende Kugeln ergibt den weiteren Vorteil, daß zusätzliche, zur Halterung des Lagers sonst erforderliche Gleitlager entfallen können, was insbesondere bei Verwendung der erfindungsgemäßen Einrichtung im Vakuum von Vorteil ist, da die Lager hierbei wegen der Verdampfung der Schmierstoffe im Vakuum nicht geschmiert werden können. In a further embodiment of the invention, in an axial bearing As a differential gear, the bearing on both sides, preferably through guide grooves the bearing rings engaging balls, immovable in the radial direction, however be rotatably supported and loaded by a compression spring in the axial direction. It has been shown that when using a thrust bearing, the drive connections to the individual gear elements as well as the respective desired frictional force between the balls or rollers and the bearing rings can be achieved in a simple manner. The one which is provided according to the invention and which determines the friction between the bearing parts The compression spring can easily be replaced and therefore adapted to the respective requirements will. The radially immovable bearing through in guide grooves of the bearing rings engaging balls has the further advantage that additional, to the bracket of the bearing otherwise required plain bearings can be omitted, which is particularly the case Use of the device according to the invention in a vacuum is advantageous because the bearings are not lubricated because of the evaporation of the lubricants in a vacuum can.

Die Antriebsverbindungen zwischen den Lagerringen und den Antriebsrädern können nach einem weiteren Merkmal der Erfindung in einfacher Weise dadurch hergestellt werden, daß jeder der beiden Lagerringe eine Umfangsverzahnung aufweist, in die je ein Schraubenrad eingreift, wobei die Schraubenräder mit den beiden Antriebsrädern mittels Wellen od. dgl. antriebsverbunden sind und bei einer Verschwenkung der Schwenkbrücke die Lagerringe mit gleicher Winkelgeschwindigkeit in entgegengesetzter Richtung antreiben. The drive connections between the bearing rings and the drive wheels can thus be produced in a simple manner according to a further feature of the invention be that each of the two bearing rings has circumferential teeth into which one helical gear engages, the helical gears with the two drive gears are drive-connected by means of shafts or the like and when the swivel bridge is pivoted the bearing rings at the same angular velocity in opposite directions drive.

In den Zeichnungen ist ein Ausführungsbeispiel des Erfindungsgegenstandes dargestellt, das nachfolgend mit weiteren Einzelheiten und Vorteilen der Erfindung beschrieben ist. In the drawings is an exemplary embodiment of the subject matter of the invention shown below with further details and advantages of the invention is described.

Fig. 1 der Zeichnungen zeigt eine Seitenansicht der erfindungsgemäßen Einrichtung und F i g. 2 dazu eine Draufsicht; in Fig. 3 ist ein Detail in teilweise geschnittener Untersicht, in F i g. 4 ein Schnitt nach der Linie IV-IV in F i g. 3 und in F ig. 5 ein weiteres Detail in Seitenansicht, jeweils in größerem Maßstab, dargestellt. Fig. 1 of the drawings shows a side view of the invention Establishment and F i g. 2 is a plan view; in Fig. 3 is a detail in partial cut soffit, in F i g. 4 shows a section along the line IV-IV in FIG. 3 and in Fig. 5 a further detail in side view, each on a larger scale, shown.

Die in den F i g. 1 und 2 veranschaulichte Einrichtung besteht aus einer Hebebühne 1, die aus zwei im Abstand übereinander angeordneten hufeisenförmigen Ringsegmenten 2 und 3 mit dazwischenliegenden Stützen 4, 5 und 6 gebildet ist. Die Hebebühne 1 ist auf Gleitschienen 7 und 8, die die Stütze 4 durchsetzen, in vertikaler Richtung verschiebbar gelagert, wobei die Verschiebung durch eine Gewindespindel 9 erfolgt, die ebenfalls die Stütze 4 durchsetzt und mit einem mit dieser vorgesehenen Muttergewinde zusammenarbeitet. The in the F i g. The device illustrated in FIGS. 1 and 2 consists of a lifting platform 1, which consists of two spaced apart horseshoe-shaped Ring segments 2 and 3 with intermediate supports 4, 5 and 6 is formed. the Lift 1 is on slide rails 7 and 8, which pass through the support 4, in a vertical position Direction mounted displaceably, the displacement by a threaded spindle 9 takes place, which also penetrates the support 4 and is provided with one with this Nut thread cooperates.

Zwischen den an der offenen Seite der Hebebühne vorgesehenen Stützen 5 und 6 ist eine Schwenkbrücke 10 drehbar gelagert, auf welcher ein zur Aufnahme der zu behandelnden Gegenstände dienender Tisch 11 um eine senkrecht zu seiner Ebene stehende Achse drehbar befestigt ist. Die Verdrehung der Schwenkbrücke 10 um eine horizontale Achse erfolgt mittels einer die Stütze 5 durchsetzenden Nutwelle 12, während zur Verdrehung des Tisches 11 eine die Stütze 6 durchsetzende weitere Nutwelle 13 sowie zwei horizontal liegende Wellen 14 und 15 dienen. Der Tisch 11 kann somit samt dem gegebenenfalls darauf befestigten Gegenstand durch entsprechende Betätigung der Gewindespindel9 und der Nutwellen 12 und 13 in eine beliebige Raumlage eingestellt werden oder eine gewünschte Aufeinanderfolge von Bewegungen ausführen. Zum Antrieb der Gewindespindel 9 und der Nutwellen 12 und 13 können beispielsweise Elektromotoren vorgesehen sein. Die jeweilige Winkelstellung der Schwenkbrücke 10 kann an einer mit dieser fest verbundenen, mit einer Gradeinteilung versehenen Scheibe 16 abgelesen werden. Between the supports provided on the open side of the lift 5 and 6, a swivel bridge 10 is rotatably mounted on which a for receiving the objects to be treated serving table 11 around a perpendicular to its plane standing axis is rotatably attached. The rotation of the swivel bridge 10 by one the horizontal axis takes place by means of a grooved shaft 12 penetrating the support 5, while for rotating the table 11 a further grooved shaft penetrating the support 6 13 and two horizontally lying shafts 14 and 15 are used. The table 11 can thus including any object attached to it by appropriate actuation the threaded spindle 9 and the spline shafts 12 and 13 are set in any spatial position or perform a desired sequence of movements. To the drive the threaded spindle 9 and the spline shafts 12 and 13 can, for example, be electric motors be provided. The respective angular position of the swivel bridge 10 can be on a read with this firmly connected, graduated disk 16 will.

Um die Verschwenkung der Schwenkbrücke 10 und die Verdrehung des Tisches 11 vollständig unabhängig voneinander zu ermöglichen, ist - wie aus den Fig. 3 und 4 ersichtlich ist - im Gehäuse 17 der Schwenkbrücke 10, das durch einen mittels Schrauben 18 befestigten tellerförmigen Deckel 19 abgeschlossen ist, ein Ausgleichsgetriebe vorgesehen. To the pivoting of the swivel bridge 10 and the rotation of the To enable table 11 to be completely independent of one another is - as from the Fig. 3 and 4 can be seen - in the housing 17 of the swivel bridge 10, which is through a is completed by means of screws 18 attached plate-shaped cover 19, a Differential gear provided.

Dieses besteht aus einem Axialkugellager, wobei die Kugeln 20 die Planeten, der die Kugeln 20 führende Käfig 21 den Planetenträger und die Lagerringe 22 und 23 die beiden anderen, mit den Planeten zusammenwirkenden Getriebeelemente bilden. Der Käfig 21 ist mit einer im Gehäuse 17 drehbar gelagerten Hohlwelle 24 fest verbunden, in die der aus F i g. 5 ersichtliche geschlitzte Fortsatz 25 des Tisches 11 einsteckbar ist. Dadurch ergibt sich zwischen dem Käfig 21 und dem Tisch 11 eine Antriebsverbindung.This consists of an axial ball bearing, the balls 20 the Planet, the balls 20 leading cage 21, the planet carrier and the bearing rings 22 and 23 the other two gear elements cooperating with the planets form. The cage 21 is connected to a hollow shaft 24 rotatably mounted in the housing 17 firmly connected, in which the from F i g. 5 visible slotted extension 25 of the Table 11 can be inserted. This results between the cage 21 and the table 11 a drive connection.

Das Axialkugellager ist beidseitig mittels in Führungsrillen der Lagerringe 22 und 23 eingreifender Kugeln 26 und 27, die je durch einen Käfig 28 und 29 geführt sind, in radialer Richtung unverschiebbar, jedoch drehbar abgestützt und durch eine um die Hohlwelle 24 herum angeordnete Tellerfeder 30 in axialer Richtung belastet. Zwischen der Hohlwelle 24 einerseits und den Lagerringen 22, 23, den Käfigen 28, 29 sowie dem zwischen den Kugeln 27 und der Tellerfeder 30 angeordneten Ring 31 anderseits ist ein Spiel vorgesehen, so daß bei einer Relativbewegung dieser Teile keine zusätzliche Gleitreibung entsteht. The axial ball bearing is on both sides by means of guide grooves Bearing rings 22 and 23 of engaging balls 26 and 27, each supported by a cage 28 and 29 are guided, immovable in the radial direction, but rotatably supported and by a plate spring 30 arranged around the hollow shaft 24 in the axial direction burdened. Between the hollow shaft 24 on the one hand and the bearing rings 22, 23, the cages 28, 29 and the ring arranged between the balls 27 and the plate spring 30 31 on the other hand is a game is provided so that with a relative movement these parts do not generate any additional sliding friction.

Jeder der beiden Lagerringe 22 und 23 weist eine Umfangsverzahnung auf, in die je ein Schraubenrad 32 bzw. 33 eingreift, von welchen das Schraubenrad 32 auf der Welle 14 und das Schraubenrad 33 auf der Welle 15 sitzt. An dem aus dem Gehäuse 17 der Schwenkbrücke 10 herausragenden Ende der Welle 14 ist ein Zahnrad 34 befestigt, das mit einem Zahnrad 35 kämmt, welches auf einem Drehzapfen 36 befestigt ist. Der Drehzapfen 36 ist einerseits in der Stütze 6 und anderseits im Tragarm 37 des Gehäuses 17 der Schwenkbrücke 10 drehbar gelagert und weist ein Zahnrad 38 auf, das mit einer auf der Nutwelle 13 drehbar, jedoch axial verschiebbar angeordneten Schnecke39 in Antriebsverbindung steht. An dem aus dem Gehäuse 17 herausragenden Ende der Welle 15 ist hingegen ein Zahnrad 40 befestigt, das mit einem Zahnrad 41 im Eingriff steht, welches an einem Flansch 42 der Stütze 6 drehfest angeschraubt ist. Die Wellen 14 und 15 sind in einem flanschartigen Ansatz 43 des Tragarmes 37 drehbar gelagert. Each of the two bearing rings 22 and 23 has circumferential teeth on, in each of which a helical gear 32 and 33 engages, of which the helical gear 32 sits on the shaft 14 and the helical gear 33 on the shaft 15. On the one from the Housing 17 of the swivel bridge 10 protruding end of the shaft 14 is a gear 34 attached, which meshes with a gear 35 which is mounted on a pivot 36 is. The pivot pin 36 is on the one hand in the support 6 and on the other hand in the support arm 37 of the housing 17 of the swivel bridge 10 is rotatably mounted and has a gear 38 on, which is arranged with a rotatable on the splined shaft 13, but axially displaceable Schnecke39 is in drive connection. On the protruding from the housing 17 At the end of the shaft 15, on the other hand, a gear 40 is attached, which is connected to a gear 41 is in engagement, which is screwed non-rotatably to a flange 42 of the support 6 is. The shafts 14 and 15 are in a flange-like extension 43 of the support arm 37 rotatably mounted.

Auf seiner anderen Seite ist das Gehäuse 17 der Schwenkbrücke 10 mittels des Tragarmes 44 an der Stütze 5 drehbar gelagert. Der Tragarm 44 steht dabei über nicht dargestellte Zahn- oder Schneckenräder mit der Nutwelle 12 in Antriebsverbindung, die zur Verschwenkung der Schwenkbrücke 10 dient. In der Stütze 5 sind beiderseits der Nutwelle 12 Gewindebohrungen 45 und 46 vorgesehen, die zur Befestigung des hufeisenförmigen Ringsegmentes 3 dienen. Weiterhin ist im tellerförmigen Deckel 19 der Schwenkbrücke eine gegen den Tisch 11 zu offene Ringnut 47 ausgespart, die zur Aufnahme einer z. B. elektrischen Heizeinrichtung für den Tisch 11 dient, deren Stromleitungen durch Bohrungen 48 auf dem Grund der Ringnut 47 hindurchgeführt sind. Aus F i g. 5 ist schließlich noch ersichtlich, daß der Tisch 11 eine T-förmige Nut 49 aufweist, die zur Befestigung der zu behandelnden Gegenstände und erforderlichenfalls auch zum Abziehen des Tisches 11 von der Schwenkbrücke 10 dient. The housing 17 of the swivel bridge 10 is on its other side rotatably mounted on the support 5 by means of the support arm 44. The support arm 44 is standing in the process via gear or worm wheels, not shown, in drive connection with the grooved shaft 12, which is used to pivot the swivel bridge 10. In the support 5 are on both sides of the grooved shaft 12 threaded bores 45 and 46 are provided for fastening the horseshoe-shaped Ring segment 3 serve. Furthermore, the swivel bridge is in the plate-shaped cover 19 a recess against the table 11 to open annular groove 47, which for receiving a z. B. electrical heater for the table 11 is used, the power lines are passed through bores 48 on the base of the annular groove 47. From Fig. 5 it can finally be seen that the table 11 has a T-shaped groove 49, those for fastening the objects to be treated and, if necessary, also is used to pull the table 11 from the swivel bridge 10.

Die Wirkungsweise der erfindungsgemäßen Einrichtung ist aus den F i g. 3 und 4 zu entnehmen. Bei einer Verdrehung der Nutwelle 12 wird die Schwenkbrücke 10 um eine zur Längsachse der Tragarme 37 und 44 parallele Achse, die durch die Ebene des aufgesteckten Tisches 11 geht, über das nicht dargestellte, in der Stütze 5 angeordnete Getriebe verschwenkt. Sofern die Nutwelle 13 hierbei in Ruhe bleibt, stehen auch der Drehzapfen 36 und das Zahnrad 35 still, so daß sich die Zahnräder 34 und 40 auf den zugehörigen Zahnrädern 35 und 41 abrollen. Die Wellen 14 und 15 werden dabei in gleicher Richtung verdreht und treiben über die Schraubenräder 32, 33 die Lagerringe 22, 23 in entgegengesetzter Richtung, jedoch mit gleicher Winkelgeschwindigkeit an. Die Kugeln 20 rollen dabei auf den Lagerringen 22 und 23 ab, wodurch der Käfig 21 und die Hohlwelle 24 samt dem in diese eingesteckten Tisch 11 in Ruhe bleiben. Es ist somit eine Verschwenkung des Tisches 11 um eine in seiner Ebene liegende Achse ohne gleichzeitige Drehbewegung um die senkrecht zu seiner Ebene stehende Achse möglich. The mode of operation of the device according to the invention is shown in the F i g. 3 and 4. When the grooved shaft 12 is rotated, the swivel bridge 10 about an axis parallel to the longitudinal axis of the support arms 37 and 44, which is defined by the The level of the attached table 11 goes beyond what is not shown in the support 5 arranged gear pivoted. If the grooved shaft 13 remains at rest here, are also the pivot 36 and the gear 35 still, so that the gears 34 and 40 roll on the associated gears 35 and 41. Waves 14 and 15 are rotated in the same direction and drive via the helical gears 32, 33 the bearing rings 22, 23 in the opposite direction, but with the same angular velocity at. The balls 20 roll on the bearing rings 22 and 23, whereby the cage 21 and the hollow shaft 24 together with the table 11 inserted into it remain at rest. It is thus a pivoting of the table 11 about a lying in its plane Axis without simultaneous rotation around the one perpendicular to its plane Axis possible.

Wird hingegen die in der Stütze 6 liegende Nutwelle 13 angetrieben, so verdreht diese über das Schneckenrad 39 und das Zahnrad 38 den Drehzapfen 36 samt dem darauf sitzenden Zahnrad 35, wodurch auch das Zahnrad 34 und die Welle 14 mitgenommen werden, die über das Schraubenrad 32 den Lagerring 22 in Drehbewegung versetzt. Der Lagerring 23 bleibt jedoch in Ruhe, da weder die Schwenkbrücke 10 noch das Zahnrad 41 bewegt werden. Die Kugeln 20 rollen dabei auf dem in Ruhe befindlichen Lagerring 23 ab und werden durch den Lagerring 22 mit halber Geschwindigkeit mitgenommen, so daß sich auch der Käfig 21 samt der Hohlwelle 24 verdreht. Dadurch wird der Tisch 11 ohne Verschwenkung der Schwenkbrücke 10 um seine Mittelachse gedreht. If, on the other hand, the grooved shaft 13 located in the support 6 is driven, so twisted this over that Worm wheel 39 and the gear 38, the pivot pin 36 together the gear 35 seated on it, whereby the gear 34 and the shaft 14 are also taken along which set the bearing ring 22 in rotary motion via the helical gear 32. The bearing ring 23 remains at rest, however, since neither the swivel bridge 10 nor the gearwheel 41 are moved. The balls 20 roll on the bearing ring that is at rest 23 and are taken along by the bearing ring 22 at half speed, so that the cage 21 together with the hollow shaft 24 also rotates. This will make the table 11 rotated about its central axis without pivoting the swivel bridge 10.

Es ist leicht einzusehen, daß bei gleichzeitiger Betätigung der beiden Nutwellen 12 und 13 die Schwenkbrücke 10 samt dem Tisch 11 verschwenkt und der Tisch 11 gleichzeitig verdreht werden kann. It is easy to see that if both Grooved shafts 12 and 13 pivoted the swivel bridge 10 together with the table 11 and the table 11 can be rotated at the same time.

Mittels der erfindungsgemäßen Einrichtung kann somit der Tisch 11 um zwei seiner Raumachsen völlig unabhängig voneinander verdreht werden, so daß jede beliebige Lage genau eingestellt und jeder gewünschte Bewegungsvorgang erzielt werden kann.By means of the device according to the invention, the table 11 are rotated around two of its spatial axes completely independently of each other, so that any position precisely adjusted and any desired movement process achieved can be.

Außerdem ist dadurch jede Einstellung des Tisches 11 und jeder Bewegungsvorgang auf einfache Weise reproduzierbar.In addition, each setting of the table 11 and each movement process is thereby easily reproducible.

Claims

Claims: 1. Device for setting and changing the Space position of objects, in particular of preparations in a treatment chamber when irradiating or steaming for super microscopy, consisting of a movable arranged lifting platform and a mounted on this by means of a swivel bridge, the table receiving the objects, by means of drive devices that can be operated from the outside is rotatable about at least two of its spatial axes, characterized by a on the Swing bridge (10) arranged differential gear, whose planet carrier (21) with the table (11) used to hold the objects and its two others, with the planet (20) cooperating gear elements (22,23) each with a drive wheel (35, 41) are drive-connected, one of which is a drive wheel (41) with the lifting platform (1) is firmly connected and the other drive wheel (35) with the drive device (13) is in drive connection for rotating the table (11), through which drive wheels (35, 41) the gear elements (22, 23) when the swivel bridge is pivoted (10) are driven in the opposite direction.

2. Device according to claim 1, characterized in that the differential gear consists of a ball or roller bearing, the balls (20) or rollers the Planet, the balls or rollers leading cage (21) the planet carrier and the bearing rings (22, 23) the other two gear elements cooperating with the planets form.

3. Device according to claim 2, characterized in that at one Axial bearings as differential gears the bearing on both sides, preferably through in guide grooves the bearing rings (22, 23) engaging balls (26, 27), immovable in the radial direction, but rotatably supported and by a compression spring (30) in the axial direction Direction is loaded.

4. Device according to claims 2 and 3, characterized in that that each of the two bearing rings (22, 23) has circumferential teeth into which one helical gear (32, 33) each engages, the helical gears with the two Drive wheels (35, 41) are drive-connected by means of shafts (14, 15) or the like and when the swivel bridge (10) is pivoted, the bearing rings (22, 23) with the same Drive angular speed in the opposite direction.