DE10333500A1

DE10333500A1 - Verfahren und Vorrichtung zum Glätten von Werkstück-Oberflächen

Info

Publication number: DE10333500A1
Application number: DE2003133500
Authority: DE
Inventors: Roland Dipl.-Ing. Mandler (FH)
Original assignee: Optotech Optikmaschinen GmbH
Current assignee: Optotech Optikmaschinen GmbH
Priority date: 2003-07-22
Filing date: 2003-07-22
Publication date: 2005-02-24

Abstract

Zum Glätten (Schleifen und Polieren) vorbearbeiteter Oberflächen von sprödharten Werkstücken aus Glas, Keramik, Saphir o. dgl., vor allem zwecks Erzielung optischer Präzisionsflächen, wird flexibles Material (D) wie Draht, Chemiefaser, Folie u. dgl. mittels eines Andrück- oder Spannmittels (S) an das zu glättende Werkstück (G) gebracht und über dessen Oberfläche (O) auf vorgebbaren Bahnen (C) abrasiv geführt. Die Aufsetzfläche (A) des angedrückten Flexomaterials (D) ist klein gegenüber der Oberfläche (O) des zu glättenden Werkstücks (G), das man in einem Abrasivflüssigkeit (F) enthaltenden Behälter (B) mit dem flexiblen Material (D) bearbeitet, wobei das Werkstück (G) eine gesteuerte Taumelrotation erfährt, zu dem hin vorzugsweise ein federnd belasteter, runder oder rollenbesetzter Stößel (S) als Andrück- bzw. Spannmittel (S) dient. Das Flexomaterial (D) von zylindrischem, ovalem oder abgeflachtem Querschnitt hat relativ zur Länge kleiner Querausdehnung. Es drückt mit z. B. haarnadelförmiger Spitze auf das Werkstück (G), an dem es sich tangential weiterbewegt. Beim sog. Wirepolishing zieht man fortlaufend von einem Vorratswickel (V) Draht (D) ab, um ihn z. B. mittels Rollenstößel (S) von minimalem Krümmungsradius vorgespannt an das Werkstück (G) heranzubringen und dahinter auf einem Magazinwickel (M) aufzuspulen.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Schleifen und Polieren gemäß dem Oberbegriff von Anspruch 1 und eine Vorrichtung gemäß dem Oberbegriff von Anspruch 11.
Im Rahmen der vorliegenden Erfindung wird unter Glätten das Formschleifen, Fein- und Feinstschleifen sowie das Fein- und Feinstpolieren verstanden, wie man es vor allem zur Nachbearbeitung einer vorbereiteten Oberfläche von Körpern aus Glas, Keramik, Saphir und anderen sprödharten Werkstoffen einsetzt. Wichtig ist die Anwendung zum Erzielen optischer Präzisionsflächen, insbesondere auch asphärischer Teile mit erhabenen oder konkaven Flächen.

Hierzu gibt es seit längerem diverse Techniken. Richtet man z.B. von entgegengesetzt abgewinkelten Düsen aus Druckstrahlen eines Abrasionsschlamms auf ein Werkstück, so lassen sich gewünschte Oberflächen geometrieabhängig erzielen. Allerdings ist eine genaue Formsteuerung durchaus problematisch.

US-A-5 076 026 beschreibt eine Vorrichtung mit einem Magnetkopf, der über dreidimensional steuerbare Magnetfelder auf eine Suspension mit magnetischen bzw. magnetisierbaren Partikeln einwirkt, die Eisenoxid (α-Fe₃O₄) enthalten sowie mit feinkörnigem Al₂O₃- und/oder SiO₂-Pulver vermischt sein können. Die Suspension drückt auf ein Werkstück mit regelbarer Kraft. Die Feinheit der Magnetsuspension, die Abmessungen einer z.B. metallisierten Jochspitze und die lokale Magnetfeldkonzentration sind maßgeblich für die erzielbare Oberflächengüte.

Bei allen abrasiven Mitteln ist es generell nachteilig, daß das Abtragmittel seine Eigenschaften bzw. ein Polierkörper seine eigene Kontur im Verlaufe der Bearbeitung verändert. In aller Regel trägt der Materialabrieb auch dazu bei, durch seine unvermeid liche Vermischung mit der Abrasivsuspension deren Wirksamkeit während der Bearbeitung immer weiter zu mindern.

Es ist ein wichtiges Ziel der Erfindung, diese und weitere Nachteile des Standes der Technik auf wirtschaftliche Weise zu überwinden. Das Glätten durch Fein- bzw. Feinstbearbeiten von Werkstücken, vor allem auch Körpern mit asphärischen Oberflächen, soll exakt steuerbar sein. Es wird angestrebt, einfache Hilfsmittel mit möglichst konstanten Eigenschaften zu benutzen.

Hauptmerkmale der Erfindung sind in Anspruch 1 und in Anspruch 11 angegeben. Ausgestaltungen sind Gegenstand der Ansprüche 2 bis 10 und 12 bis 21.

Die Erfindung sieht laut Anspruch 1 ein Verfahren zum Schleifen und Polieren von vorbearbeiteten Oberflächen insbesondere sprödharter Werkstücke aus Glas, Keramik, Saphir o.dgl., vor allem zum Erzielen optischer Präzisionsflächen vor, wobei flexibles Material wie Draht, Chemiefaser, Folie, Dünnblech u.dgl. unter Verwendung eines Andrück- oder Spannmittels an die Oberfläche des zu glättenden Werkstücks gebracht und über dessen Oberfläche auf vorgebbaren Bahnen abrasiv geführt wird und wobei die Aufsetzfläche des von dem Andrück- oder Spannmittel beaufschlagten flexiblen Materials klein ist gegenüber der zu glättenden Werkstückoberfläche. Das flexible Material [im folgenden auch als Flexomaterial bezeichnet] liegt daher quasi punktförmig an dem Werkstück an, das in an sich bekannter effizienter Weise einer gesteuerten Bewegung unterzogen werden kann – beispielsweise indem es gemäß Anspruch 4 taumelrotierend bewegt wird –, bis die erforderliche Glättung an seiner gesamten zu bearbeitenden Oberfläche erzielt ist. Die Werkstück-Bewegung kann typisch mit mehrdimensionaler, z.B. 4- bis 7-achsiger CNC-Steuerung erfolgen, so daß die Werkstück-Oberfläche unter der Einwirkung des angedrückten Flexomaterials und/oder der Abrasivflüssigkeit geglättet wird.

Anspruch 2 sieht vor, daß man das Werkstück in einem Behälter mit einer abrasiven Flüssigkeit bearbeitet. Geeignet sind z.B. Suspensionen von feinkörnigem Pulver aus Diamant, Siliziumkarbid, Aluminiumoxid und/oder Siliziumdioxid in Wasser. Wahlweise oder zusätzlich kann im Einklang mit Anspruch 3 das flexible Material hierzu selbst abrasive Mittel enthalten, z.B. eingelagertes Diamantpulver.

Vorteilhaft ist das Andrück- bzw. Spannmittel im wesentlichen ortsfest angeordnet. Nach Anspruch 5 wird als solches ein mit einer Führungshilfe für das flexible Material versehener Stößel aus einem abriebfesten Werkstoff verwendet, so daß die Glättung unter konstanten Bedingungen erfolgt. Die von dem Stößel oder einem Röllchen geformte Aufsetzfläche des Flexomaterials ist also eine tangentiale Berührungs"stelle" von ca. 1 mm² oder darüber. Sie wird von dem beweglichen Werkstück abgefahren und gelangt auf programmierten, namentlich mäanderförmigen oder spiraligen Bahnen nach und nach über die gesamte, sehr viel größere Werkstückoberfläche.

Das flexible Material hat zweckmäßig laut Anspruch 6 eine im Vergleich zu seiner Länge kleine Querausdehnung. Es ist also langgestreckt und dünn, z.B. draht- oder faserförmig oder auch ein schmales Band, etwa ein Folien- oder Dünnblechstreifen u.dgl. Bevorzugt verwendet man gemäß Anspruch 7 Flexomaterial von zylindrischem, ovalem oder abgeflachtem Querschnitt, wobei man diesen zweckmäßig je nach Beschaffenheit des zu bearbeitenden Werkstücks wählt. Die Aufsetzfläche des mit dem Andrück- bzw. Spannmittel am Flexomaterial gebildeten Schleif- bzw. Polierstempels hat ständig gleiche Geometrie und ist daher exakt definiert.

Bevorzugt geschieht die Werkstückberührung gemäß Anspruch 8 tangential derart, daß das Flexomaterial mit z.B. haarnadelförmiger Spitze quasi abgeknickt auf das Werkstück einwirkt, also mit kleiner, aber definierter Aufsetzfläche.

Laut Anspruch 9 wird die Werkstückoberfläche mit einstellbarem Gegendruck an das Andrück- bzw. Spannmittel herangeschoben oder -gepreßt, was im Falle einer starren oder weitgehend stationären Anordnung des Werkzeugs vorteilhaft sein kann. Die Andrückkraft kann pneumatisch oder hydraulisch aufgebracht werden.

Das erfindungsgemäße Verfahren wird als Wirepolishing bezeichnet, wenn nach Anspruch 10 fortlaufend von einem Vorratswickel fortlaufend Draht abgezogen und durch das Andrück- bzw. Spannmittel, z.B. einen Rollenstößel o.dgl. von sehr kleinem Krümmungsradius, vorgespannt und quasi-punktuell an die Werkstückoberfläche herangebracht wird. Ist der eingetretene Verschleiß klein, so kann aufgespulter Draht-Rücklauf erneut verwendet werden, unter Umständen mehrmals.

Eine Vorrichtung zum Glätten (Schleifen und Polieren) von vorbearbeiteten Oberflächen insbesondere sprödharter Werkstücke aus Glas, Keramik, Saphir o.dgl., vor allem zum Erzielen optischer Präzisionsflächen, mit einer Halterung für das Werkstück und einem letzterem zugeordneten, in vorgebbarer Relativbewegung zu ihm abrasiv wirkenden Werkzeug, speziell zum Durchführen des vorgenannten Verfahrens, zeichnet sich erfindungsgemäß nach Anspruch 11 dadurch aus, daß das Werkzeug ein flexibles Material wie Draht, Chemiefaser, Folie, Dünnblech u.dgl. aufweist und daß zum Heranführen des Werkzeugs an die Oberfläche des zu glättenden Werkstücks ein auf das flexible Material wirkendes Andrück- oder Spannmittel vorhanden ist. Unabhängig von der Oberflächengestalt des Werkstücks wirkt also kein starrer Schleif- oder Polierkörper, sondern ein vom Andrück- oder Spannmittel form- und druckbeaufschlagtes flexibles Zwischenmaterial abrasiv auf die Werkstückoberfläche ein.

Das flexible Material kann gemäß Anspruch 12 eine im Vergleich zu seiner Länge kleine Querausdehnung haben und draht- oder faserförmig oder ein schmales Band sein, beispielsweise ein Folien- oder Dünnblechstreifen u.dgl. Nach Anspruch 13 ist es speziell ein Strang, beispielsweise aus geflochtenen Fasern, Filamentgarnen aus Mono-, Multi- oder Polyfilen, Litze o.dgl. Im Einklang mit Anspruch 14 besteht das flexible Material aus einem Metall wie Stahl, Kupfer, Bronze o.dgl., so daß Festigkeit und Steifigkeit gegeben sind. Vor allem für die Feinstglättung kann es günstig sein, wenn das Flexomaterial nach Anspruch 15 weichstoffbeschichtet ist, beispielsweise mit Polyurethan. Geeignet sind ferner Nichtmetalle, wofür in Anspruch 16 Chemiefasern vorgesehen sind, z.B. in Form von naß oder trocken gesponnenen Fäden (Monofilen) aus Cellulose, Viskose, Acetat, Silikat, Kohlenstoff, Synthesematerial wie Polykondensaten, Polymeren, Polyurethan usw.

Günstig ist es, wenn laut Anspruch 17 als Andrück- bzw. Spannmittel ein zum Werkstück hin insbesondere federnd belasteter, gerundeter oder rollenbesetzter Stößel verwendet wird, womit man den z.B. pneumatisch oder hydraulisch bewirkten Andruck elastisch-nachgiebig gestalten, sozusagen abpolstern kann. Ein flexomaterial-führendes Röllchen am Ende des Stößels kann scheiben- oder kugelförmig sein. Es dient zugleich als stabilisierte oder stabilisierende Umlenk- oder Knickstelle und besteht insbesondere aus hochfestem Material wie Keramik, das von dem Abrasivmittel wenig oder nicht angegriffen wird.

Sehr vorteilhaft ist eine Bemessung des Andrück- oder Spannmittels, insbesondere des Stößel-Endes, gemäß Anspruch 18 in der Weise, daß die Aufsetzfläche des damit beaufschlagten flexiblen Materials klein ist gegenüber der zu glättenden Werkstückoberfläche. Infolgedessen hat man eine enge lokale Begrenzung der jeweils mittels CNC-Steuerung nach gegebenen Koordinaten mit hoher Präzision bearbeiteten Teilflächenregion. Dazu kann laut Anspruch 21 eine insbesondere taumelrotierend antreibbare Halterung für das Werkstück dienen, beispielsweise in einer 4- bis 7-achsigen Maschine. Das Werkstück befindet sich nach Anspruch 19 zweckmäßig in einem Behälter mit einer abrasiven Flüssigkeit wie Diamantsuspension. Alternativ oder zusätzlich kann das flexible Material im Einklang mit Anspruch 20 selbst abrasive Mittel aufweisen, z.B. Diamantpulver.

Weitere Merkmale, Einzelheiten und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus dem Wortlaut der Ansprüche sowie aus der folgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen anhand der Zeichnungen. Darin zeigen:
1 eine schematisierte Seitenansicht einer Glättungsvorrichtung bei der Bearbeitung eines konvexen Werkstücks,
2 eine vergrößerte Teilansicht einer Werkzeug/Werkstück-Aufsetzstelle,
3 einen vergrößerten Querschnitt eines Runddrahtes,
4 einen vergrößerten Querschnitt eines Flachdrahtes,
5 einen vergrößerten Querschnitt eines Flachbandes,
6 eine schematisierte Werkstück-Draufsicht mit einer Werkzeug-Spiralbahn und
7 eine schematisierte Seitenansicht einer Glättungsvorrichtung bei der Bearbeitung eines konkaven Werkstücks.
In schematischer Darstellung zeigen 1 und 7 eine Vorrichtung zum Glätten (Schleifen und Polieren) von Werkstücken, beispielsweise Linsenkörpern G, die jeweils in einer rotierend antreibbaren Halterung H gefaßt sind. Das Werkstück G und ein damit zusammenwirkendes Werkzeug W befindet sich in einem Behälter, der eine Abrasivflüssigkeit F enthält, beispielsweise eine Diamantsuspension. Im Beispiel der 1 ist das Werkstück G ein Glaskörper mit konvexer Oberseite, während 7 das Werkzeug W bei der Bearbeitung eines oben konkaven Werkstücks G darstellt.
Das Werkzeug W ist zweiteilig und besteht aus einem flexiblen Material D sowie einem Andrück- und Spannmittel S. Letzteres ist vorzugsweise ein von einem Druckzylinder Z beaufschlagter Stößel S, der an seinem underen Ende eine Rundung oder eine Umlenkrolle U mit einer Führungsrolle R aufweist. Das flexible Material D ist bevorzugt ein Draht, der von einem Vorratswickel V über die Umlenkrolle U zu einem Magazinwickel M geführt wird.
Der Druckzylinder Z wirkt auf den Stößel S und belastet dadurch die Umlenkrolle U, insbesondere federnd. Der über diese laufende Draht D kommt dadurch zur quasi punktuellen Anlage an der Oberfläche O des Werkstücks G.
2 zeigt diese Werkstück-Berührung in stark vergrößerter Teilansicht. Man erkennt, daß die von dem (hier nicht gezeigten) Stößel S belastete Umlenkrolle U den Draht D auf einer schematisch angedeuteten Aufsetzfläche A des Werkstücks G zur Anlage bringt. Diese ist in Wirklichkeit sehr klein, z.B. etwa 1 mm².
Das flexible Material D kann einen Runddraht K aufweisen, wie in 3 dargestellt, der von einer Polyurethanschicht P umhüllt ist. Der Drahtkern K kann aber auch abgeflacht sein, wie aus 4 hervorgeht. Alternativ zeigt 5 ein flexibles Material D in Form eines Flachbandes, das z.B. aus Kunststoff besteht oder eine Kunststoffhülle P (oben im Bild) hat. Eine innere Metallverstärkung kann vorhanden sein.
Das in der Halterung H (1) gefaßte Werkstück G, beispielsweise ein Linsenkörper, wird vorzugsweise CNC-gesteuert angetrieben. Im Ganzen gesehen vollführt es eine Taumelrotation, wobei das Werkzeug W auf einer Kurve C nach und nach die ganze Oberfläche O überstreicht. Dies ist in 6 nur schematisch angedeutet, da die Kurve C nicht spiralig sein muß, sondern z.B. auch mäanderförmig oder sonstwie flächendeckend verlaufen kann.
Die Vorrichtung eignet sich zur Bearbeitung von Werkstücken G mit an sich beliebiger Kontur. So können z.B. Linsenkörper mit konkaver, konvexer oder asphärischer Oberfläche nach vorgebbarer Programmierung geglättet werden. Der Krümmungsradius des Andrück- oder Spannmittels S ist allgemein klein gegenüber irgendeinem Krümmungsradius der zu glättenden Werkstückoberfläche O.
Die Erfindung ist nicht auf eine der vorbeschriebenen Ausführungsformen beschränkt, sondern in vielfältiger Weise abwandelbar. Man erkennt jedoch, daß zum Glätten vorbearbeiteter Oberflächen O von sprödharten Werkstücken G aus Glas, Keramik, Saphir o.dgl., vor allem zwecks Erzielung optischer Präzisionsflächen, bevorzugt flexibles Material D wie Draht, Chemiefaser, Folienstreifen u.dgl. mittels eines Andrück- oder Spannmittels S an das zu glättende Werkstück G gebracht und über dessen Oberfläche O auf vorgebbaren Bahnen C abrasiv geführt wird (1, 6, 7). Die Aufsetzfläche A (2) des andrückend beaufschlagten flexiblen Materials D ist klein gegenüber der Oberfläche des zu glättenden Werkstücks G, das man in einem Behälter B mit einer abrasiven Flüssigkeit F und/oder mit Abrasivmittel enthaltendem flexiblem Material D bearbeitet, wobei das in einer Halterung H gefaßte Werkstück G eine gesteuerte Taumelrotation erfährt. Als Andrück- bzw. Spannmittel S dient vorzugsweise ein durch einen Druckzylinder Z zum Werkstück G hin federnd belasteter, endseitig gerundeter oder mit einer Umlenkrolle U besetzter Stößel S.
Das flexible Material D hat eine im Vergleich zu seiner Länge kleine Querausdehnung und z.B. zylindrischen (3), ovalen (4) oder abgeflachten (5) Querschnitt.
Es drückt mit z.B. haarnadelförmiger Spitze auf das Werkstück G und bewegt sich daran tangential weiter, bevorzugt unter programmierter CNC-Steuerung (6). Das Werkstück G kann auch mit regelbarem Gegendruck auf den Stößel S zustellbar sein. Speziell zieht man drahtförmiges Material D im sog. Wirepolishing (1, 2, 7) fortlaufend von einem Vorratswickel V ab, um es durch eine Umlenkrolle U von sehr kleinem Krümmungsradius vorgespannt an das Werkstück G heranzubringen und dahinter auf einen Magazinwickel M aufzuspulen.
Sämtliche aus den Ansprüchen, der Beschreibung und der Zeichnung hervorgehenden Merkmale und Vorteile, einschließlich konstruktiver Einzelheiten, räumlicher Anordnungen und Verfahrensschritten, können sowohl für sich als auch in den verschiedensten Kombinationen erfindungswesentlich sein.

A: Aufsetzfläche
B: Behälter
C: Spiralkurve
D: Draht
F: Abrasivflüssigkeit
G: Werkstück
N: Halterung
K: Kern
M: Magazinwickel
O: Oberfläche
P: Polyurethanschicht
R: Führungsrille
S: Spannmittel
U: Umlenkrolle
V: Vorratswickel
W: Werkzeug
Z: Druckzylinder

Claims

Verfahren zum Schleifen und Polieren von vorbearbeiteten Oberflächen insbesondere sprödharter Werkstücke aus Glas, Keramik, Saphir o.dgl., namentlich zum Erzielen optischer Präzisionsflächen, wobei ein flexibles Material wie Draht, Chemiefaser, Folie, Dünnblech u.dgl. unter Verwendung eines Andrück- oder Spannmittels an die Oberfläche des zu glättenden Werkstücks gebracht und über dessen Oberfläche auf vorgebbaren Bahnen abrasiv geführt wird, wobei die Aufsetzfläche des von dem Andrück- oder Spannmittel beaufschlagten flexiblen Materials klein ist gegenüber der zu glättenden Werkstückoberfläche.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß man das Werkstück in einem Behälter mit einer abrasiven Flüssigkeit wie Diamantsuspension bearbeitet.
Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß man abrasive Mittel aufweisendes flexibles Material benutzt, z.B. Diamantpulver.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Werkstück eine Rotation erfährt, insbesondere eine gesteuerte Taumelrotation.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß als Andrück- bzw. Spannmittel ein mit einer Führungshilfe für das flexible Material versehener Stößel aus einem abriebfesten Werkstoff verwendet wird, vorzugsweise ein zum Werkstück hin federnd belasteter, gerundeter oder rollenbesetzter Stößel.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß man flexibles Material benutzt, das eine im Vergleich zu seiner Länge kleine Querausdehnung hat.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß man flexibles Material von zylindrischem, ovalem oder abgeflachtem Querschnitt benutzt.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Werkstückberührung tangential derart erfolgt, daß das flexible Material mit z.B. haarnadelförmiger Spitze auf die Werkstückoberfläche einwirkt.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Werkstückoberfläche mit einstellbarem Gegendruck an das Andrück- bzw. Spannmittel herangeschoben oder -gepreßt wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß das flexible Material fortlaufend von einer Vorratsspule abgezogen und durch das Andrück- bzw. Spannmittel, z.B. einen Rollenstößel o.dgl. von sehr kleinem Krümmungsradius, vorgespannt an das Werkstück herangebracht und dahinter aufgespult wird.
Vorrichtung zum Schleifen und Polieren von vorbearbeiteten Oberflächen insbesondere sprödharter Werkstücke aus Glas, Keramik, Saphir o.dgl., namentlich zum Erzielen optischer Präzisionsflächen, mit einer Halterung (H) für das Werkstück (O) und einem letzterem zugeordneten, in vorgebbarer Relativbewegung zu ihm abrasiv wirkenden Werkzeug (W), speziell zum Durchführen des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß das Werkzeug (W) ein flexibles Material (D) wie Draht, Chemiefaser, Folie, Dünnblech u.dgl. aufweist und daß zum Heranführen des Werkzeugs (W) an die Oberfläche (O) des zu glättenden Werkstücks (G) ein auf das flexible Material (D) wirkendes Andrück- oder Spannmittel (S) vorhanden ist.
Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß das flexible Material (D) eine im Vergleich zu seiner Länge kleine Querausdehnung hat und draht- oder faserförmig oder ein schmales Band ist, beispielsweise ein Folien- oder Dünnblechstreifen u.dgl.
Vorrichtung nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, daß das flexible Material (D) ein Strang ist, beispielsweise aus geflochtenen Fasern, Filamentgarnen aus Mono-, Multi- oder Polyfilen, Litze o.dgl.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß das flexible Material (D) aus einem Metall wie Stahl, Kupfer, Bronze o.dgl. besteht.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß das flexible Material (D) weichstoffbeschichtet ist, beispielsweise mit Polyurethan.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß das flexible Material (D) aus Nichtmetall wie Chemiefaser besteht, z.B. in Form von naß oder trocken gesponnenen Fäden bzw. Monofilen aus Cellulose, Viskose, Acetat, Silikat, Kohlenstoff, Synthesematerial wie Polykondensaten, Polymeren, Polyurethan usw.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß das Andrück- bzw. Spannmittel ein mit einer Führungshilfe (R) für das flexible Material versehener Stößel (S) aus einem abriebfesten Werkstoff ist, vorzugsweise ein durch einen Druckzylinder (Z) zum Werkstück (G) hin federnd belasteter, gerundeter oder rollenbesetzter Stößel (S).
Vorrichtung nach Anspruch 17, gekennzeichnet durch solche Bemessung des Andrück- oder Spannmittels (S), insbesondere eines Stößel-Endes, daß die Aufsetzfläche (A) des damit beaufschlagten flexiblen Materials (D) klein ist gegenüber der zu glättenden Werkstückoberfläche (O).
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß das Werkstück (G) in einen Behälter (B) mit einer abrasiven Flüssigkeit (F) wie Diamantsuspension einbringbar ist.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß das flexible Material (D) selbst abrasive Mittel aufweist, z.B. Diamantpulver.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daß die Werkstück-Halterung (H) insbesondere taumelrotierend antreibbar ist.