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DE10327372A1 - Positionserfassungsvorrichtung sowie damit ausgestattete fluidtechnische Vorrichtung - Google Patents

Positionserfassungsvorrichtung sowie damit ausgestattete fluidtechnische Vorrichtung Download PDF

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DE10327372A1
DE10327372A1 DE2003127372 DE10327372A DE10327372A1 DE 10327372 A1 DE10327372 A1 DE 10327372A1 DE 2003127372 DE2003127372 DE 2003127372 DE 10327372 A DE10327372 A DE 10327372A DE 10327372 A1 DE10327372 A1 DE 10327372A1
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Thomas Reininger
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Festo SE and Co KG
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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Positionserfassungsvorrichtung mit einer im Wesentlichen für ein Magnetfeld (34) einer Vorzugsrichtung (33) richtungsempfindlichen Sensoranordnung (32) und mit einer magnetischen Leiteranordnung (38) zum Leiten des Magnetfeldes (34) eines entlang einer Positionierungsbahn (15) relativ zu der Sensoranordnung (32) beweglichen, ein Magnetfeld (34) erzeugenden Positionsmagneten (35), so dass die Sensoranordnung (32) ein Positionssignal (22) erzeugt, wenn sich der Positionsmagnet (35) im Erfassungsbereich (21) der Leiteranordnung (38) befindet. Die Erfindung betrifft ferner eine fluidtechnische Vorrichtung, insbesondere einen pneumatischen Aktor, mit einer derartigen Positionserfassungsvorrichtung. Die Leiteranordnung (38) leitet das Magnetfeld (34) zu der Sensoranordnung (32), derart, dass das Positionssignal (22) wegabhängig kontinuierlich veränderliche, die Position des Positionsmagneten (35) innerhalb des Erfassungsbereichs (21) der Leiteranordnung (38) repräsentierende Werte aufweist.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Positionserfassungsvorrichtung mit einer im Wesentlichen für ein Magnetfeld einer Vorzugsrichtung richtungsempfindlichen Sensoranordnung und mit einer magnetischen Leiteranordnung zum Leiten des Magnetfeldes eines entlang einer Positionierungsbahn relativ zu der Sensoranordnung beweglichen, ein Magnetfeld erzeugenden Positionsmagneten, so dass die Sensoranordnung ein Positionssignal erzeugt, wenn sich der Positionsmagnet im Erfassungsbereich der Leiteranordnung befindet. Die Erfindung betrifft ferner eine fluidtechnische Vorrichtung, insbesondere einen pneumatischen Aktor, mit einer derartigen Positionserfassungsvorrichtung.
  • Eine derartige Positionserfassungsvorrichtung ist beispielsweise aus der deutschen Offenlegungsschrift DE 41 16 651 A1 bekannt. Der Positionsmagnet ist ein Dauermagnet, der an einem Kolben eines pneumatischen Arbeitszylinders angeordnet ist. An einer vorbestimmten Position des Kolbens bzw. des Positionsmagneten soll ein Sensor, bei dem es sich um einen Reed-Schalter handelt, betätigt werden. Der Sensor ist vom Zylinderrohr, in dem sich der Kolben bewegt, beabstandet angeordnet. Die magnetischen Leiter lenken das Magnetfeld des Permanentmagneten zu dem vom Zylinderrohr entfernten Sensor.
  • Das bekannte System dient zur Erfassung einer einzigen vorbestimmten Position. Eine wegproportionale Erfassung der Kolbenposition bzw. der Permanentmagnetposition relativ zu der Sensoranordnung ist nicht möglich.
  • Anstelle des Reed-Schalters können auch sogenannte magnetoresistive Sensoren zum Einsatz kommen. Magnetoresistive Sensoren weisen eine starke Richtungsabhängigkeit in Bezug auf die Magnetfeldrichtung auf. Zudem haben sie einen verhältnismäßig geringen Signalhub. Durch diese Eigenschaften sind magnetoresistive Sensoren zur Erfassung einer einzigen, vorbestimmten Relativposition von Positionsmagnet und Sensoranordnung prädestiniert. Eine wegproportionale Erfassung von Relativpositionen des Permantmagneten zu der Sensoranordnung ist mit magnetoresistiven Sensoren, wie im übrigen auch mit anderen lediglich in einer Vorzugsrichtung richtungsempfindlichen Sensortypen, nicht möglich. Im wesentlichen in einer Richtung empfindliche Sensoren werden auch als isotrope Sensoren bezeichnet.
  • Es ist daher die Aufgabe der Erfindung, bei einer Positionserfassungsvorrichtung der eingangs genannten Art bzw. einer fluidtechnischen Vorrichtung mit einer derartigen Positionserfassungsvorrichtung eine wegabhängige Erfassung der Relativposition des Positionsmagneten zu der Sensoranordnung zu ermöglichen.
  • Zur Lösung der Aufgabe leitet die Leiteranordnung das Magnetfeld zu der Sensoranordnung derart, dass das Positionssignal wegabhängig kontinuierlich veränderliche, die Position des Positionsmagneten innerhalb des Erfassungsbereichs der Leiteranordnung repräsentierende Werte aufweist. Beispielsweise ist die Amplitude des Positionssignals wegabhängig kontinuierlich veränderlich.
  • Die Sensoranordnung gibt somit z.B. ein in der Amplitude und/oder in einer Pulsweite veränderliches Signal ab, wobei die jeweilige Amplitude oder Pulsweite die Position des Positionsmagneten innerhalb des Erfassungsbereiches der Leiteranordnung präsentiert. Die Leiteranordnung vergrößert sozusagen den Erfassungsbereich der Sensoranordnung. Die Sensoranordnung erzeugt im Gegensatz zum Stand der Technik nicht nur ein digitales Positionssignal mit der Bedeutung "Positionsmagnet im Erfassungsbereich der Leiteranordnung" oder "Positionsmagnet außerhalb des Erfassungsbereichs", sondern ein z.B. amplitudenveränderliches und/oder pulsweitenveränderliches Positionssignal, so dass innerhalb des Erfassungsbereiches mindestens zwei Positionen des Positionsmagneten durch die Sensoranordnung erfassbar sind. Vorzugsweise sind – je nach gewünschter Erfassungsgenauigkeit – mehrere, kontinuierlich hintereinanderliegende Positionen des Positionsmagneten im Erfassungsbereich mit der Sensoranordnung durch die Unterstützung der Leiteranordnung erfassbar. Die Empfindlichkeit der Sensoranordnung, bei z.B. der die Sättigungsfeldstärke magnetoresistiver Sensoren erreicht ist, muss zur Ausgabe des erfindungsgemäß wegabhängig veränderlichen Positionssignals nicht erhöht werden, so dass eine Beeinflussung durch Störfelder nicht oder nur in geringem Maße auftritt.
  • Die Leiteranordnung kann durch ein einziges Flussleitstück gebildet werden. Es ist prinzipiell aber auch möglich, mehrere Flussleitstücke zwischen der Sensoranordnung und dem Positionsmagneten anzuordnen. Auch unterschiedliche geometrische Ausgestaltungen, die später noch im Zusammenhang mit dem Ausführungsbeispiel erläutert werden, eines einzigen Flussleitstückes oder mehrerer Flussleitstücke sind bevorzugt.
  • Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen sowie aus der Beschreibung.
  • Die Leiteranordnung leitet das Magnetfeld des Positionsmagneten vorzugsweise richtungsabhängig zu der Sensoranordnung. Zweckmäßigerweise leitet die Leiteranordnung einen ersten gerichteten Anteil des Magnetfelds des Positionsmagneten besser als einen zweiten gerichteten Anteil des Magnetfelds des Po sitionsmagneten zu der Sensoranordnung, so dass eine vorbestimmte Erfassungsschwelle, beispielsweise die Sättigungsfeldstärke, der Sensoranordnung für den ersten und den zweiten Anteil des Magnetfelds überschritten ist. Die Sensoranordnung ist also für Anteile des Magnetfeldes, die unterschiedliche Richtungen aufweisen, durch die Unterstützung der Leiteranordnung empfindlich und kann für diese Anteile das wegabhängige Positionssignal ausgeben. Für den ersten gerichteten Anteil des Magnetfelds hat die Leiteranordnung sozusagen eine verstärkende Wirkung. Beispielsweise kann eine Situation auftreten, dass bei fehlender Leiteranordnung die vorbestimmte Erfassungsschwelle der Sensoranordnung für den ersten gerichteten Anteil des Magnetfelds nicht überschritten wird, für den zweiten gerichteten Anteil jedoch erreicht wird.
  • Die Leiteranordnung leitet vorzugsweise gerichtete Anteile des Magnetfeldes derart zu der Sensoranordnung, dass der Sensor innerhalb des Erfassungsbereichs der Leiteranordnung ein zumindest abschnittsweise linerarisiertes, von der Position der Positionsmagneten innerhalb des Erfassungsbereichs abhängiges Positionssignal erzeugt. Vorzugsweise ist der linearisierte Abschnitt verhältnismäßig groß. Es ist auch möglich, dass zwei linerarisierte Abschnitte, ein bis zu einem Maximum des Positionssignals ansteigender und ein zweiter, von dem Maximum wieder abfallender Abschnitt des Positionssignals, vorhanden sind.
  • Vorzugsweise vergrößert die Leiteranordnung den Erfassungsbereich der Sensoranordnung zur Positionserfassung des Positionsmagneten. Die Sensoranordnung wird somit für einen größeren Änderungsbereich der Relativposition von Positionsmagnet und Sensoranordnung sensibel und kann für diesen vergrößerten Bereich das wegabhängige Positionssignal erzeugen.
  • Zweckmäßigerweise ist die Leiteranordnung an der Sensoranordnung angeordnet. Es ist aber auch möglich, die Leiteranordnung an dem Positionsmagneten anzuordnen. Ferner können Leiteranordnung, Positionsmagnet und Sensoranordnung jeweils separate, unabhängig angeordnete Komponenten sein.
  • Die Leiteranordnung enthält zweckmäßigerweise zumindest ein weichmagnetisches Flussleitelement, beispielsweise aus Weicheisen-Blech oder dergleichen.
  • Die Leiteranordnung enthält vorzugsweise unterschiedlich ausgestaltete Leitabschnitte, beispielsweise einen näher an die Positionierungsbahn heranreichenden und einen von der Positionierungsbahn weiter entfernten Leitabschnitt. Der näher an die Positionierungsbahn heranreichende Leitabschnitt leitet das Magnetfeld des Positionsmagneten besser zu der Sensoranordnung als der entferntere Abschnitt. Die beiden Leitab schnitte können durch ein einziges Flussleitstück gebildet werden. Es ist aber auch möglich, dass für jeden Leitabschnitt diskrete Flussleitstücke vorgesehen sind.
  • Die Sensoranordnung kann unterschiedlich geartete Sensoren enthalten, beispielsweise auch sogenannte Hall-Sensoren. Vorzugsweise jedoch enthält die Sensoranordnung mindestens einen magnetoresistiven Sensor, beispielsweise einen sogenannten AMR-Sensor (anisotroper magnetoresistiver Sensor), GMR-Sensor (giant-magnetoresistiver Sensor) oder einem EMR-Sensor (extraordinary-magnetoresistiver-Sensor). Auch andere magnetoresistive Sensoren sind bevorzugt.
  • Eine weitere bevorzugte Variante sieht vor, dass die Sensoranordnung zwei Sensoren enthält, wobei jedem Sensor ein Leitelement zugeordnet ist. Die beiden Sensoren senden ein sinusförmiges bzw. ein kosinusförmiges Ausgangssignal, das proportional zur Relativposition des Positionsmagneten zu der Sensoranordnung ist. Eine Signalaufbereitungseinrichtung erzeugt anhand der beiden sinus- und kosinusförmigen Ausgangssignale das Positionssignal, das im wesentlichen linear von der Relativposition von Positionsmagnet und Sensoranordnung abhängt. Die beiden Signale der Sensoren werden zur Bildung eines linearen Positionssignals sozusagen überlagert.
  • Die Positionserfassungsvorrichtung ist zweckmäßigerweise an einer fluidtechnischen Vorrichtung, bei der es sich vorzugs weise um einen pneumatischen Antrieb handelt, anordenbar. Beispielsweise können die magnetische Leiteranordnung und die Sensoranordnung in einer Gehäusenut der Vorrichtung angeordnet werden. Der Positionsmagnet ist beispielsweise am Kolben der fluidtechnischen Vorrichtung angeordnet oder wird durch diesen gebildet.
  • Nachfolgend werden Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:
  • 1 eine erfindungsgemäße fluidtechnische Vorrichtung mit einer erfindungsgemäßen Positionserfassungsvorrichtung,
  • 2 in schematisierter Weise den Einfluss einer magnetischen Leiteranordnung auf ein Positionssignal einer Sensoranordnung der Positionserfassungsvorrichtung gemäß 1,
  • 3 unterschiedliche Verläufe der Feldstärke eines Magnetfeldes mit und ohne die erfindungsgemäße Leiteranordnung bei der Sensoranordnung der Positionserfassungsvorrichtung gemäß 1,
  • 4 einen Sensor mit einer magnetischen Leiteranordnung mit einzelnen Flussleitstücken,
  • 5 einen Sensor, der in ein plattenförmiges Flussleitstück eingebettet ist in einer Ansicht von oben, und
  • 6 eine Querschnittsansicht des Sensors und des Flussleitstücks gemäß 5 entlang einer Linie I-I in 5.
  • Die in 1 gezeigte fluidtechnische Vorrichtung wird durch einen pneumatischen Antrieb 10 gebildet. Die Position eines Kolbens 11, der ein Aktor des Antriebs 10 ist, wird durch eine erfindungsgemäße Positionserfassungsvorrichtung 12 ermittelt.
  • Der Antrieb 10 ist vorliegend ein pneumatisch betätigter Linearantrieb. Der Kolben 11 ist in einem Kolbenaufnahmeraum 13 eines lediglich schematisch dargestellten Gehäuses 14 des Antriebs 10 entlang einer Positionierungsbahn 15 hin und her beweglich. Der Kolben 11 teilt den Kolbenaufnahmeraum 13 in Teilräume 16, 17. Eine Kolbenstange 18, die mit dem Kolben 11 fest verbunden ist, durchdringt einen Lagerdeckel 19 des Gehäuses 14. Ein Abschlussdeckel 20 verschließt den Kolbenaufnahmeraum 13 an der dem Lagerdeckel 19 entgegengesetzten Seite. Die Kolbenstange 18 bildet ein Kraftabtriebselement. Prinzipiell wäre aber auch ein sogenannter kolbenstangenloser Zylinder, ein Drehantrieb oder dergleichen anstelle des Antriebs 10 möglich.
  • Die Positionserfassungsvorrichtung 12 erfasst innerhalb eines Erfassungsbereiches 21, der sich vorliegend entlang eines Teil-Abschnittes der Positionierungsbahn 15 erstreckt, die jeweilige Position des Kolbens 11. Der Erfassungsbereich 21 hat beispielsweise eine Längserstreckung von 25 mm.
  • Die Positionserfassungsvorrichtung 12 erzeugt ein Positionssignal 22, das wegabhängig kontinuierlich veränderlich ist, wobei die Amplitude des Positionssignals 22 die Position des Kolbens 11 innerhalb des Erfassungsbereiches 21 repräsentiert. Anhand des Positionssignals 22, das Positionsistwerte enthält, sowie von Positionssollwerten 23 bildet eine Positionsregelung 24 Positionssteuerwerte 25. Die Positionsregelung 24 wertet dabei Positionsdifferenzwerte 26 aus, die durch Differenzbildung der Positionssollwerte 23 und des Positionssignals 22 gebildet werden.
  • Eine Ventilanordnung 27, die durch die Positionssteuerwerte 25 gesteuert wird, beaufschlagt die Teilräume 16, 17 mit einem Druckmedium 28, z.B. Druckluft oder entlastet die Teilräume 16, 17, wobei beispielsweise Druckluft aus den Teilräumen 16, 17 ausströmen kann, jeweils in Abhängigkeit von den Positionssteuerwerten 25. Die Druckbeaufschlagung bzw. Druckentlastung der Teilräume 16, 17 ist durch Pfeile 29, 30 angedeutet. Die Ventilanordnung 27 enthält beispielsweise Servoventile, Schnellschaltventile oder dergleichen. Durch Druckbeaufschlagung bzw. Druckentlastung wird der Kolben 11 ent lang der Positionierungsbahn 15 hin und her bewegt. Die Druckpositionsregelung 24 positioniert den Kolben 11 an durch die Positionssollwerte 23 vorgegebenen Positionierungsorten entlang der Positionierungsbahn 15.
  • Die Positionserfassungsvorrichtung 12 enthält eine Sensoranordnung 32 mit einem Sensor 31, der für ein Magnetfeld einer Vorzugsrichtung 33 empfindlich ist. Ein derartiges Magnetfeld 34 wird beispielsweise durch einen Positionsmagnet 35 erzeugt. Der Positionsmagnet 35 ist z.B. am Kolben 11 angeordnet. Der Positionsmagnet 35 ist z.B. ein Permanentmagnet. Der Positionsmagnet 35 ist beispielsweise in radialer Richtung magnetisiert, so dass das Magnetfeld 34 den durch einen gestrichelten Pfeil angedeuteten Verlauf aufweist. Bei einer in durchgezogenen Linien gezeichneten Stellung 36 des Kolbens 11 läge das Magnetfeld 34 an sich außerhalb des Erfassungsbereichs des Sensors 31. Dementsprechend hätte das Positionssignal 22 dann den Wert "0". Erst wenn der Kolben 11 die in gestrichelten Linien eingezeichnete Stellung 37 erreicht hat, ist er im Erfassungsbereich des Sensors 31. Der Sensor 31 und der Positionsmagnet 35 stehen sich dabei gegenüber. Das Magnetfeld 34 weist die Vorzugsrichtung 33 des Sensors 31 auf. Dementsprechend würde das Positionssignal 22 beispielsweise der Wert "1" annehmen. Gegebenenfalls müsste man für eine derartige digitale Positionserfassung den Sensor 31 näher am Antrieb 10 anordnen, damit das Magnetfeld 34 im Erfassungsbe reich des Sensors 31 eine ausreichend große Feldstärke aufweist.
  • Eine derartige digitale Positionserfassung "Positionsmagnet im Erfassungsbereich des Sensors oder nicht", wird durch die Erfindung folgendermaßen verbessert:
    Damit der Sensor 31 für den gesamten Erfassungsbereich 21 wegabhängig sensibilisiert ist, ist eine magnetische Leiteranordnung 38 vorgesehen. Die Leiteranordnung 38 enthält ein Flussleitstück 39, das in das Magnetfeld 34 des Permanentmagneten 35 zu dem Sensor 31 leitet. Das Flussleitstück 39 ist beispielsweise ein plattenförmiges weichmagnetisches Teil, beispielsweise ein Weicheisenblech. Das Flussleitstück 39 weist Leitabschnitte 40, 41 auf, die näher an das Gehäuse 14 heranreichen als ein zwischen den Leitabschnitten 40, 41 gelegener mittlerer Leitabschnitt 42, der vom Gehäuse 14 weiter entfernt ist. Die Leiterabschnitte 40, 41 sind den Randbereichen des Erfassungsbereiches 21 zugeordnet, der entfernte Leiterabschnitt 42 erstreckt sich etwa über den mittleren Bereich des Erfassungsbereiches 21. Durch die Leiterabschnitte 40, 41 wird das Magnetfeld 34 auch aus den Randbereichen des Erfassungsbereiches 21 zum Sensor 31 geleitet. Beispielhaft ist durch eine Feldlinie 61, die über den Leitabschnitt 40 zum Sensor 31 geleitet wird, dargestellt. Durch den Leitabschnitt 40 ist die Magnetfeldstärke auch beispielsweise bei der Stellung 36 ausreichend, um eine Erfassungsschwelle des Sensors 31 zu übersteigen. Somit kann der Sensor 31 die Position des Positionsmagneten 35 bei der Stellung 36 ebenfalls erfassen. Das Positionssignal 22 ist entlang der Erfassungsbereichs 21 wegabhängig kontinuierlich veränderlich. Die Amplitude des Positionssignals 22 ändert sich mit der Position des Positionsmagneten 35 innerhalb des Erfassungsbereiches 21.
  • Ein Ausgangssignal 43 des Sensors 31 wird vorliegend durch eine Signalaufbereitungseinrichtung 44, bei der es sich beispielsweise um eine Verstärkeranordnung handelt, aufbereitet. Die Signalaufbereitungseinrichtung 44 erzeugt das Positionssignal 22.
  • Eine Variante des Ausführungsbeispiels gemäß 1 ist in gestrichelten Linien eingezeichnet. Bei dieser Variante weist die Sensoreinrichtung 32 einen zweiten Sensor 45 auf, dem ein Flussleitstück 46 zugeordnet ist. Der Sensor 45 und das Flussleitstück 46 entsprechen im wesentlichen dem Sensor 31 sowie dem Flussleitstück 39. Allerdings sind das Flussleitstück 46 sowie der Sensor 45 um eine vorbestimmte Wegstrecke entlang der Positionsbahn 15 zu dem Flussleitstück 39 sowie dem Sensor 31 verschoben angeordnet. Der Sensor 31 erzeugt beispielsweise ein sinusförmiges Ausgangssignal 43, der Sensor 45 ein kosinusförmiges Ausgangssignal 47. Anhand der Ausgangssignale 43, 47 bildet die Signalaufbereitungseinrichtung 44 das Positionssignal 22, wobei das Positionssignal 22 dabei vorzugsweise einen im wesentlichen linearen Verlauf hat.
  • 2 zeigt beispielhaft einen Verlauf des Positionssignals 22 der Sensoranordnung 32, bei dem es sich beispielsweise um eine Spannung Us handelt. Das Positionssignal 22 ist über der wegabhängigen Magnetfeldstärke H(s) gezeigt, die am Sensor 31 anliegt. Bei fehlendem Flussleitstück 39 hat das Positionssignal 22 beispielsweise den in durchgezogener Linie dargestellten Verlauf 48, bei vorhandenem Flussleitstück 39 den in strichpunktierter Linie dargestellten Verlauf 49. Durch das Flussleitstück 39 erreicht das Positionssignal 22 bereits bei der Stellung 36 des Kolbens 11 seinen maximalen Wert Umax. Bei fehlendem Flussleitstück 39 wird die Sättigungsfeldstärke Hs2 beispielsweise erst in der Stellung 37 erreicht.
  • 3 zeigt von einem Weg s abhängige Magnetfeldstärkenverläufe 50, 51 des vom Positionsmagneten 35 erzeugten Magnetfeldes in der Vorzugsrichtung 33 unmittelbar am Sensor 31. Der mit einer gestrichelten Linie dargestellte Magnetfeldstärkeverlauf 51 stellt sich bei fehlendem Flussleitstück 39 ein. Lediglich zwischen Wegpositionen s2 und s3, die beispielsweise einen mittleren Abschnitt des Erfassungsbereiches 21 markieren, überschreitet die magnetische Feldstärke H einen Sättigungswert Hs, bei dem der Sensor 31 anspricht. Durch die Wirkung des Flussleitstückes 39 wird der Erfassungsbereich des Sensors 31 vergrößert, so dass zwischen Wegpositio nen s1 und s4, die Sättigungsfeldstärke Hydraulikschaltung überschritten wird. Die Positionen s1 und s4 markieren beispielsweise die beiden Enden des Erfassungsbereiches 21.
  • In 4 ist ein Sensor 52 mit einer Leiteranordnung 53 versehen. Der Sensor 52 bzw. die Leiteranordnung 53 könnten beispielsweise anstelle des Sensors 31 und der Leiteranordnung 38 bei der Positionserfassungsvorrichtung 12 eingesetzt werden. Die Leiteranordnung 53 enthält Flussleitstücke 54 bis 58, bei denen es sich beispielsweise um weichmagnetische Bleche oder dergleichen handelt. Die Flussleitstücke 54 bis 58 sind z.B. fächerartig um den Sensor 52 angeordnet. Die Flussleitstücke 54 bis 58 leiten ein Magnetfeld richtungsabhängig zu dem magnetischen Sensor 52, bei dem es sich beispielsweise um einen AMR-Sensor handelt.
  • Ein in den 5 und 6 dargestellter magnetischer Sensor 59, beispielsweise ein GMR-Sensor, ist von einem Flussleitstück 60 umgeben. Der Sensor 59 ist innerhalb eines Ausschnittes 61 angeordnet, der sich etwa in der Mitte des Flussleitstückes 60 befindet. Das Flussleitstück 60 leitet Magnetfeldlinien eines Magnetfeldes, beispielsweise das des Positionsmagneten 35, zu dem Sensor 59.

Claims (14)

  1. Positionserfassungsvorrichtung mit einer im Wesentlichen für ein Magnetfeld (34) einer Vorzugsrichtung (33) richtungsempfindlichen Sensoranordnung (32) und mit einer magnetischen Leiteranordnung (38) zum Leiten des Magnetfeldes (34) eines entlang einer Positionierungsbahn (15) relativ zu der Sensoranordnung (32) beweglichen, ein Magnetfeld (34) erzeugenden Positionsmagneten (35), so dass die Sensoranordnung (32) ein Positionssignal (22) erzeugt, wenn sich der Positionsmagnet (35) im Erfassungsbereich (21) der Leiteranordnung (38) befindet, dadurch gekennzeichnet, dass die Leiteranordnung (38) zum Leiten des Magnetfeldes (34) zu der Sensoranordnung (32) derart ausgestaltet ist, dass das Positionssignal (22) wegabhängig kontinuierlich veränderliche, die Position des Positionsmagneten (35) innerhalb des Erfassungsbereichs (21) der Leiteranordnung (38) repräsentierende Werte aufweist.
  2. Positionserfassungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Leiteranordnung (38) zum richtungsabhängigen Leiten des Magnetfelds (34) des Positionsmagneten (35) zu der Sensoranordnung (32) ausgestaltet ist.
  3. Positionserfassungsvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Leiteranordnung (38) gerichtete Anteile des Magnetfelds (34) derart zu der Sensoranordnung (32) leitet, dass der Sensor innerhalb des Erfassungsbereichs (21) der Leiteranordnung (38) ein zumindest abschnittsweise im Wesentlichen linerarisiertes, von der Position des Positionsmagneten (35) innerhalb des Erfassungsbereichs (21) abhängiges Positionssignal (22) erzeugt.
  4. Positionserfassungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Leiteranordnung (38) den Erfassungsbereich (21) der Sensoranordnung (32) zur Positionserfassung des Positionsmagneten (35) vergrößert.
  5. Positionserfassungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Leiteranordnung (38) einen ersten gerichteten Anteil des Magnetfelds (34) des Positionsmagneten (35) besser als einen zweiten gerichteten Anteil (61) des Magnetfelds (34) des Positionsmagneten (35) zu der Sensoranordnung (32) leitet, so dass eine vorbestimmte Erfassungsschwelle (Hs) der Sensoranordnung (32) für den ersten und den zweiten Anteil des Magnetfelds (34) überschritten ist.
  6. Positionserfassungsvorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass bei fehlender Leiteranordnung (38) die vorbestimmte Erfassungsschwelle der Sensoranordnung (32) für den ersten gerichteten Anteil des Magnetfelds (34) des Positionsmagneten (35) nicht überschritten wird und für den zweiten gerichteten Anteil erreicht wird.
  7. Positionserfassungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Leiteranordnung (38) an der Sensoranordnung (32) angeordnet ist.
  8. Positionserfassungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Leiteranordnung (38) zumindest ein weichmagnetisches Flussleitelement (39) enthält.
  9. Positionserfassungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Leiteranordnung (38) mindestens einen näher an die Positionierungsbahn (15) heranreichenden Leitabschnitt (40, 41) und einen von der Positionierungsbahn (15) entfernteren Leitabschnitt (42) aufweist.
  10. Positionserfassungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Sensoran ordnung (32) mindestens eine magnetoresistiven Sensor (31) enthält.
  11. Positionserfassungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Positionssignal (22) bei fehlender Leiteranordnung (38) im Wesentlichen digital ist und eine einzige vorbestimmte Relativposition des Positionsmagneten (35) zum Sensor kennzeichnet.
  12. Positionserfassungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Sensoranordnung (32) einen ersten Sensor (31), dem ein erstes Leitelement (39) der Leiteranordnung (38) zugeordnet ist, und einen zweiten Sensor (52), dem ein zweites Leitelement (46) der Leiteranordnung (38) zugeordnet ist, aufweist, und dass der erste Sensor (31) ein sinusförmiges Ausgangssignal (43) und der zweite Sensor (52) ein kosinusförmiges Ausgangssignal (47) proportional zur Relativposition von Positionsmagnet (35) und Sensoranordnung (32) erzeugt, und dass sie eine Signalaufbereitungsseinrichtung (44) zur Erzeugung des Positionssignal (22) anhand des sinusförmigen und des kosinusförmigen Ausgangssignals aufweist, wobei das Positionssignals (22) im wesentlichen linear von der Relativposition von Positionsmagnet (35) und Sensoranordnung (32) abhängt.
  13. Positionserfassungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sie an einer fluidtechnischen Vorrichtung, insbesondere an einem pneumatischen Antrieb (10), anordenbar ist.
  14. Fluidtechnische Vorrichtung, insbesondere pneumatischer Antrieb (10), mit mindestens einer Positionserfassungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche.
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