DE1027798B - Verfahren zur Herstellung von Elektrodensystemen, die einen halbleitenden Koerper enthalten, insbesondere Kristalldioden oder Transistoren - Google Patents
Verfahren zur Herstellung von Elektrodensystemen, die einen halbleitenden Koerper enthalten, insbesondere Kristalldioden oder TransistorenInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung von Elektrodensystemen, die einen halbleitenden Körper enthalten, insbesondere Kristalldioden
oder Transistoren, bei denen ein Teil der Oberfläche dieses Körpers z. B. durch Schleifen und/oder
Ätzen gereinigt wird. Es ist üblich, die halbleitenden Körper, welche z. B. aus Germanium oder Silizium
bestehen können, einer solchen Reinigung zu unterwerfen, bevor die Systeme weiter aufgebaut werden,
z. B. mit weiteren Elektroden versehen und in einer Hülle untergebracht werden.
Die elektrischen Eigenschaften der fertiggestellten Systeme können aber größere Unterschiede aufweisen,
was naturgemäß unerwünscht ist; der Erfindung liegt die Erkenntnis zugrunde, daß diese Unterschiede
größtenteils auf atmosphärische Einflüsse auf den halbleitenden Körper während des Zeitverlaufs zwischen
der Reinigung und dem weiteren Aufbau, also dem Anbringen von weiteren Elektroden und dem
Unterbringen in einer Hülle, zurückzuführen sind.
Die Erfindung bezweckt unter anderem, diese Nachteile zu beseitigen und die Herstellung eines gleichmäßigen
Erzeugnisses zu ermöglichen.
Nach der Erfindung wird die gereinigte Oberfläche des halbleitenden Körpers sofort nach dem Reinigen
mit einer dichten Isolierschicht überdeckt, durch welche Schicht wenigstens ein Spitzenkontakt hindurchgedrückt
wird und welche alsdann mit einer viskosen Schicht überdeckt wird. Auf diese Weise
wird daher der Einfluß der Atmosphäre auf die erwähnte Oberfläche nahezu völlig beseitigt.
Geeignete Stoffe zur Herstellung der ersten, dichten Schicht sind Zelluloseester, Polystyrol, Alkydharze.
Polyisobutylol und viele andere. Die viskose Schicht besteht z.B. aus sogenanntem Silikonvakuumfett.
Die viskose Schicht kann durch Zentrifugieren an die feste Isolierschicht angedrückt werden und ist
vorzugsweise viel dicker als die feste Schicht.
Die Erfindung wird an Hand zweier in der Zeichnung dargestellter Ausführungsbeispiele näher erläutert.
Die Fig. 1 bis 6 zeigen schematisch die verschiedenen
Herstellungsphasen einer Diode mit einem Spitzenkontakt (Spitzenelektrode).
Als Ausgangserzeugnis für die Diode ist ein Germaniumkügelchen 10 gewählt, welches auf galvanischem
Wege mit einer dünnen Kupferschicht 11 versehen wurde (Fig. 1). Das Stück 10 wird auf dem
Kopf eines Trägers 12 mit einem z. B. aus Zinn bestehenden Lötmittel 13 befestigt (Fig. 2). Darauf
wird auf der vom Träger abgekehrten Seite des Germaniumstückes 10 eine ebene Fläche 14 angeschliffen
(Fig. 3). Die Kupferschicht ist nicht mehr dargestellt.
Verfahren zur Herstellung
von Elektrodensystemen,
die einen halbleitenden Körper enthalten,
insbesondere Kristalldioden
oder Transistoren
Anmelder:
N. V. Philips' Gloeilampenfabrieken,
Eindhoven (Niederlande)
Eindhoven (Niederlande)
Vertreter: Dr. rer. nat. P. Roßbach, Patentanwalt,
Hamburg 1, Mönckebergstr. 7
Hamburg 1, Mönckebergstr. 7
Beanspruchte Priorität:
Niederlande vom 15. Dezember 1953 und 20. April 1954
Niederlande vom 15. Dezember 1953 und 20. April 1954
Jan Coenraad van Vessem und Theodoras le Grand,
Eindhoven (Niederlande),
sind als Erfinder genannt worden
sind als Erfinder genannt worden
Darauf wird das Ganze auf die übliche Weise geätzt, so daß eine gereinigte Oberfläche 15 entsteht (Fig. 4).
Alsdann wird das Trägerende mit einer dichten Schicht 16 versehen, z. B. dadurch, daß der Träger in
einer Lösung von Polystyrol in Benzol eingetaucht oder mit einer solchen Lösung bespritzt wird (Fig. 5).
Die so entstandene Elektrode mit Träger ist gegen
atmosphärische Einflüsse geschützt.
Schließlich wird der Träger 12 mit dem halbleitenden Körper 10 in eine Hülle 17 eingebaut, die z. B.
aus Glas besteht. Eine zweite Elektrode in Form einer Spitze 18, die auf einem Träger 19 befestigt ist, kann
unbedenklich durch die Schicht 16 hindurchgedrückt werden. Die beiden Träger sind hier in im Glas eingeschmolzenen
Metallröhrchen 20 festgelötet. In diediesem Fall bietet die Anwendung der dichten Schicht
16 noch den besonderen Vorteil, daß der halbleitende Körper auch vor der Einwirkung von Dampf geschützt
ist, der sich aus dem beim Löten verwendeten Flußmittel entwickeln kann.
Zuvor wurde jedoch die dichte und feste Schicht 16 mit einer viskosen Schicht 21 überdeckt. Diese Schicht
kann z. B. aus sogenanntem Silikonvakuumfett be-
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stehen, einer aus Polymethylsiloxanen bestehenden Masse. Die Schicht 21 #ird vorzugsweise nach dem
Einbringen in die Hülle durch Zentrifugieren um eine senkrecht zur Längsachse X-X der Diode stehende
Achse Y-Y fest angedrückt. .
Es sei bemerkt, daß es bekannt ist, einen Träger mit einem auf diesem befestigten halbleitenden Körper
mit einer Isolierschicht zu versehen. Diese Schicht wurde aber vor dem Schleifen oder Reinigen des Körpers
angebracht, so daß in diesem Fall die Isolierschicht keinen schützenden Einfluß auf die gereinigte
Oberfläche ausübte. Es ist ebenfalls bekannt, eine auf einem Kristall angeordnete Isolierschicht zu durchlöchern
und in dem Loch sowie daneben auf die Schicht eine metallene Schicht aufzudampfen. Auch
ist es bekannt, die Spitzenkontakte von Dioden oder Transistoren nach dem Aufsetzen auf den halbleitenden
Körper in eine Isoliermasse einzubetten, entweder zu ihrer besseren Befestigung oder zur Beseitigung
atmosphärischer Einflüsse. In diesem Fall wird der schädliche Einfluß der Atmosphäre während des Zeitverlaufs
zwischen dem Reinigen der halbleitenden Oberfläche und dem weiteren Aufbau ebenfalls nicht
ausgeschaltet.
Dieser Einfluß wird ausgeschaltet bei einem bekannten Verfahren, wobei die Kristalle völlig vernickelt
oder verkupfert werden; es wurde diese Schicht wieder entfernt und durch eine Schicht aus
Spezialfett ersetzt. Das Verfahren gemäß der Erfindung unterscheidet sich hiervon, indem es bei Verwendung
der dichten isolierenden Schicht nicht nötig ist, diese zu entfernen.
Claims (4)
1. Verfahren zur Herstellung von Elektrodensystemen, die einen halbleitenden Körper enthalten,
insbesondere Kristalldioden oder Transistoren, bei denen ein Teil der Oberfläche dieses
Körpers z. B. durch Schleifen und/oder Ätzen gereinigt wird, dadurch gekennzeichnet, daß die erwähnte
Oberfläche sofort nach dem Reinigen mit einer dichten Isolierschicht bedeckt wird, durch
welche Schicht wenigstens ein Spitzenkontakt hindurchgedrückt wird und welche alsdann mit einer
viskosen Schicht überdeckt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die viskose Schicht durch Zentrifugieren
andie feste Isolierschicht angedrückt wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß eine viskose Schicht aus SiIikonvakuumfett
verwendet wird.
4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß für die
dichte und formfeste Schicht ein Zelluloseester verwendet wird.
In Betracht gezogene Druckschriften:
'Radio-Magazin, H. 9, September 1953, S. 310;
'Radio-Magazin, H. 9, September 1953, S. 310;
Journal of Applied Physics, Bd. 24 (1953), Februar, S. 228.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
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