DE10255792A1

DE10255792A1 - Vacuum pump control method in which a gas ballast valve is controlled in a manner dependent on the detected formation of condensation within the container being pumped down

Info

Publication number: DE10255792A1
Application number: DE2002155792
Authority: DE
Inventors: Jürgen Fritz Dr. Dirscherl; Rudolf Dr. Lachenmann
Original assignee: Vacuubrand GmbH and Co KG
Current assignee: Vacuubrand GmbH and Co KG
Priority date: 2002-11-28
Filing date: 2002-11-28
Publication date: 2004-06-17
Anticipated expiration: 2022-11-29
Also published as: DE10255792B4; DE10255792C5

Abstract

Method for controlling a vacuum pump (2), whereby a control arrangement (3) determines the condensation state within the pump and a gas ballast valve is controlled dependent on the determined condensation state so that condensation formation within the pump is prevented and already formed condensation is expelled from the pump. The invention also relates to a corresponding vacuum pump system.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Steuerung einer Vakuumpumpe mit den Merkmalen des Oberbegriffs von Anspruch 1 und ein Vakuumpumpensystem mit den Merkmalen des Oberbegriffs von Anspruch 16.The present invention relates to a method for controlling a vacuum pump with the features of the preamble of claim 1 and a vacuum pump system with the Features of the preamble of claim 16.

Bei zahlreichen Anwendungen beispielsweise in der chemischen Verfahrenstechnik müssen Gase mit einem hohen Anteil (bis 100%) an kondensierbaren Dämpfen abgepumpt werden. Bei solchen Anwendungen, aber auch schon beim Abpumpen von feuchter Raumluft aus Vakuumbehältern, kann insbesondere bei der Endverdichtung Kondensation innerhalb der Vakuumpumpe auftreten. Je nach dem Arbeitsprinzip der Vakuumpumpe kann diese Kondensation innerhalb der Pumpe zu mehr oder weniger großen Beeinträchtigungen der Saugleistung bis hin zur Beschädigung der Pumpe z.B. durch Reduzierung der Schmierwirkung von flüssigen Schmier- und Dichtstoffen, beispielsweise in ölgedichteten Drehschieberpumpen, führen.In numerous applications, for example in chemical process engineering, gases with a high proportion (up to 100%) of condensable vapors be pumped out. For such applications, but also for Pumping out moist room air from vacuum containers can be particularly difficult the final compression condensation occur within the vacuum pump. Depending on the working principle of the vacuum pump, this condensation can occur within the pump to a greater or lesser degree impairment of the suction power to the point of damage the pump e.g. by reducing the lubricating effect of liquid lubricants and Sealants, for example in oil-sealed rotary vane pumps, to lead.

Der bekannte Ansatz eines "Gasballastes" ( DE-PS 702 480 ) stellt ein wirkungsvolles Gegenmittel gegen Kondensation innerhalb von Vakuumpumpen dar. Dabei wird nach dem Schließen der Einlaßöffnung während der Verdichtungsphase ein nicht kondensierendes Gas – meist Umgebungsluft – über eine manuell betätigbare Luftdrossel – Gasballastventil – in die Vakuumpumpe eingelassen. Dies bewirkt einen hinreichenden Druckaufbau im Schöpfraum während der Verdichtung, so daß das Auslaßventil gegen den Atmosphärendruck öffnet, ohne daß die Kondensationsgrenze für das kondensierbare Medium – meist Wasserdampf – überschritten wird. Der Wasserdampf wird zusammen mit der Gasballast-Luft ausgestoßen, ohne zu kondensieren. Ein solcher Gasballast ist heute bei nahezu allen auf dem Markt erhältlichen ölgedichteten Drehschieberpumpen üblich.The well-known approach of a "gas ballast" ( DE-PS 702 480 ) is an effective antidote to condensation within vacuum pumps. After closing the inlet opening during the compression phase, a non-condensing gas - mostly ambient air - is admitted into the vacuum pump via a manually operated air throttle - gas ballast valve. This causes a sufficient build-up of pressure in the scoop chamber during compression, so that the outlet valve opens against atmospheric pressure without the condensation limit for the condensable medium - usually water vapor - being exceeded. The water vapor is expelled together with the gas ballast air without condensing. Such a gas ballast is common today in almost all oil-sealed rotary vane pumps available on the market.

Durch den Gasballast wird sowohl Kondensation im Schöpfraum bzw. in den Schöpfräumen verhindert als auch werden bereits gebildete Flüssigkeitströpfchen "ausgeblasen". Auch in den Leitungen der Vakuumpumpe, die häufig kälter sind als der Schöpfraum wird durch eingeleitetes Ballastgas Kondensation vermieden.The gas ballast will both Condensation in the scoop or prevented in the scoops as well as already formed liquid droplets are "blown out". Also in the lines of the vacuum pump, the often colder are than the creative space is avoided by introducing ballast gas condensation.

Eine höhere Gasballast-Luftmenge verbessert zwar die Verträglichkeit der Pumpe gegenüber kondensierbaren Dämpfen, verschlechtert jedoch das erzielbare Endvakuum der Vakuumpumpe mit Gasballast und erfordert beispielsweise im Falle von Drehschieberpumpen die Einhaltung engerer Fertigungstoleranzen innerhalb des Aggregats. Daher ist bei marktüblichen Drehschieberpumpen der Gasballast wie oben beschrieben mittels eines Gasballastventils manuell zuschaltbar und die zugeführte Gasmenge mittels einer feinen Düse auf typischerweise 1 – 10% des maximalen Saugvermögens der Pumpe begrenzt. Die Häufigkeit und Dauer der Gasballastzugabe wird dabei vom Anwender entsprechend der Prozeßerfordernisse angepaßt.A higher gas ballast air volume improves tolerance the pump towards condensable steaming, however, the achievable ultimate vacuum of the vacuum pump with gas ballast deteriorates and requires, for example, in the case of rotary vane pumps Compliance with tighter manufacturing tolerances within the unit. Therefore, at the usual Rotary vane pumps of the gas ballast as described above using a Gas ballast valve can be switched on manually and the amount of gas supplied using a fine nozzle typically 1 - 10% of the maximum pumping speed the pump is limited. The frequency and duration of the gas ballast addition is accordingly by the user the process requirements customized.

Auch in Membranpumpen kann bei Förderung von Gasgemischen mit einem hohen Anteil kondensierbarer Dämpfe (bis zu 100%) Kondensation innerhalb der Pumpe stattfinden. Membranpumpen arbeiten "ölfrei", die gepumpten Medien kommen also mit keinerlei flüssigen Schmier- oder Dichtstoffen in Berührung. Somit ist eine Vermischung des Kondensats mit Öl- wie in einer Drehschieberpumpe möglich – ausgeschlossen. Dennoch kann die kondensierte Flüssigkeit je nach Menge zum einen die Saugleistung und das erreichbare Endvakuum erheblich verschlechtern, zum anderen aber Ventile und Membrane schädigen und die Lebensdauer dieser Verschleißteile deutlich verkürzen.Also in diaphragm pumps can with funding of gas mixtures with a high proportion of condensable vapors (up to 100%) condensation takes place inside the pump. diaphragm pumps work "oil-free", the pumped media so come with no liquid Lubricants or sealants in contact. So there is a mix the condensate with oil as possible in a rotary vane pump - excluded. Still, the condensed liquid depending on the amount, the suction power and the achievable final vacuum deteriorate considerably, but also valves and diaphragms damage and significantly shorten the life of these wearing parts.

Daher findet der beschriebene Gasballast heute auch bei nicht ölgedichteten Vakuumpumpen wie Kolben-, Scroll- und Membranpumpen Anwendung. Beispielsweise werden entsprechende Gasballasteinrichtungen vorteilhaft in Membranpumpen aus chemisch beständigen Materialien für den Einsatz in der chemischen Verfahrenstechnik eingesetzt ( DE 198 51 680 A2 ). Das hier offenbarte Vakuumpumpensystem zeigt eine manuelle Variante, bei der die Betätigung des Gasballastventils manuell nach Bedarf erfolgt. In einer anderen Ausführung ist das Gasballastventil dieses Vakuumpumpensystems motorisch betätigbar. Dem Gasballastventil ist eine elektronische Steuerungseinrichtung zugeordnet, durch die das Gasballastventil steuerbar ist. Die Steuerungseinrichtung kann mit einem Drucksensor versehen sein, der irgendwo an der Vakuumpumpe den Druck erfaßt, so daß das Gasballastventil nach Maßgabe des erfaßten Druckes angesteuert werden kann.Therefore, the gas ballast described today is also used in non-oil-sealed vacuum pumps such as piston, scroll and diaphragm pumps. For example, corresponding gas ballast devices are advantageously used in membrane pumps made of chemically resistant materials for use in chemical process engineering ( DE 198 51 680 A2 ). The vacuum pump system disclosed here shows a manual variant in which the gas ballast valve is actuated manually as required. In another embodiment, the gas ballast valve of this vacuum pump system can be actuated by a motor. An electronic control device is assigned to the gas ballast valve, by means of which the gas ballast valve can be controlled. The control device can be provided with a pressure sensor which detects the pressure somewhere on the vacuum pump, so that the gas ballast valve can be actuated in accordance with the detected pressure.

Bei dem zuvor erläuterten Vakuumpumpensystem wird mit einem Betriebsverfahren gearbeitet, bei dem das Gasballastventil die Vakuumpumpe einmal oder mehrmals stoßweise belüftet, und zwar insbesondere direkt in den Schöpfraum einer Membranpumpe hinein.In the vacuum pump system explained above an operating method is used in which the gas ballast valve the vacuum pump is ventilated once or several times, in particular directly into the ladle a diaphragm pump.

Bei Membranpumpen, die zur Erzielung eines besseren Endvakuums mehrstufig aufgebaut sind, ist die Ankopplung eines Gasballastventils zwischen den Stufen vorgesehen, um das erreichbare Endvakuum möglichst wenig zu beeinträchtigen. Solche Anordnungen sind in verschiedenen Varianten bekannt ( DE 198 31 123 A1 ). Hier erfolgt regelmäßig die Zugabe des Ballastgases kontinuierlich und gerade nicht stoßweise, regelmäßig ohnehin entweder manuell eingestellt oder zwar motorisch eingestellt, jedoch manuell vorgegeben.In the case of diaphragm pumps, which are constructed in several stages to achieve a better final vacuum, a gas ballast valve is provided between the stages in order to impair the achievable final vacuum as little as possible. Such arrangements are known in different variants ( DE 198 31 123 A1 ). Here, the ballast gas is added continuously and not intermittently, regularly anyway either manually or by motor, but manually specified.

Die Lehre der vorliegenden Erfindung geht von dem zuvor erläuterten Verfahren mit kontinuierlich arbeitendem Gasballast aus. Selbst wenn man hier Anregungen aus dem weiter oben behandelten Stand der Technik hinsichtlich einer stärker automatisierten Ansteuerung aufgreifen wollte, ist weiterhin problematisch die Tatsache, daß dort die starre Ansteuerung des Gasballastventils, nämlich zu voreingestellten Zeiten oder beim Erreichen vorbestimmter Druckstufen, den dynamisch sich ändernden Prozeßzuständen nicht gerecht werden kann. Beispielsweise ist die Annahme einer konstanten Kondensationszeit im Hinblick auf eine sich laufend ändernde Temperatur ungeeignet, die Kondensation in der Vakuumpumpe zuverlässig zu vermeiden.The teaching of the present invention is based on the previously explained method with continuously operating gas ballast. Even if you wanted to take up suggestions from the state of the art discussed above with regard to a more automated control, the fact that the rigid control there is still problematic is still problematic Control of the gas ballast valve, namely at preset times or when reaching predetermined pressure levels, the dynamically changing process states can not do justice. For example, assuming a constant condensation time with regard to a constantly changing temperature is unsuitable for reliably avoiding the condensation in the vacuum pump.

Der vorliegenden Erfindung liegt das Problem zugrunde, das bekannte Verfahren zur Steuerung einer Vakuumpumpe derart auszugestalten und weiterzubilden, daß die Betätigung des Gasballastventils dem tatsächlichen Prozeßverlauf beim Abpumpen besser gerecht wird.The present invention lies the problem underlying the known method of controlling a To design and develop a vacuum pump such that the actuation of the Gas ballast valve the actual course of the process better when pumping.

Das vorliegende Problem wird bei einem Verfahren mit den Merkmalen des Oberbegriffs von Anspruch 1 durch die Merkmale des kennzeichnenden Teils von Anspruch 1 gelöst.The problem at hand is at a method with the features of the preamble of claim 1 solved by the features of the characterizing part of claim 1.

Wesentlich ist, daß das Gasballastventil in Abhängigkeit vom Kondensationszustand innerhalb der Vakuumpumpe angesteuert wird. Unter "Kondensati onszustand" sind dabei alle Informationen zusammengefaßt, die Aufschluß darüber geben, ob Kondensation innerhalb der Vakuumpumpe eingetreten ist bzw. inwieweit Kondensation innerhalb der Vakuumpumpe "droht". Der Kondensationszustand wird mittels der Steuerungseinrichtung ermittelt. Hierfür gibt es eine Reihe von Methoden, wie im folgenden noch erläutert wird.It is essential that the gas ballast valve dependent on is controlled by the condensation state within the vacuum pump. All are under "condensation state" Summarized information, that provide information whether condensation has occurred within the vacuum pump or to what extent Condensation inside the vacuum pump "threatens". The condensation state is determined using the control device determined. There are a number of methods for this as explained below becomes.

Ein besonderer Vorzug der Ansteuerung des Gasballastventils in Abhängigkeit vom ermittelten Kondensationszustand besteht darin, daß das Gasballastventil nur dann aktiviert wird, wenn der Abpumpprozeß dies nötig macht. Dies ist insbesondere unter dem Aspekt vorteilhaft, daß eine Aktivierung des Gasballastventils grundsätzlich zu einer Reduzierung der Pumpleistung führt.A special advantage of the control of the gas ballast valve depending of the determined condensation state is that the gas ballast valve is only activated if the pumping process makes this necessary. This is especially under advantageous in the aspect that a Activation of the gas ballast valve always leads to a reduction of the pump power.

Nach einer weiteren Lehre, der eigenständige Bedeutung zukommt, wird das vorliegende Problem bei einem Vakuumpumpensystem nach dem Oberbegriff von Anspruch 16 zur Durchführung des oben beschriebenen Verfahrens durch die Merkmale des kennzeichnenden Teils von Anspruch 16 gelöst. Auf die Ausführungen zum oben beschriebenen Verfahren darf verwiesen werden.After another lesson, the independent meaning the problem at hand with a vacuum pump system according to the preamble of claim 16 for performing the above Procedure by the features of the characterizing part of claim 16 solved. On the executions reference may be made to the procedure described above.

Es gibt eine Vielzahl von Möglichkeiten, die genannte Lehre der Erfindung in verfahrensmäßiger Hinsicht sowie in vorrichtungsmäßiger Hinsicht auszugestalten und weiterzubilden. Dazu darf auf die Unteransprüche verwiesen werden.There are a variety of ways the aforementioned teaching of the invention in procedural terms and in terms of device to design and develop. For this purpose, reference may be made to the subclaims become.

Im folgenden wird die Erfindung anhand einer lediglich ein Ausführungsbeispiel darstellenden Zeichnung näher erläutert.The invention is explained below one is just an embodiment illustrative drawing closer explained.

In der Zeichnung zeigt die einzige Figur ein Vakuumpumpensystem zum Abpumpen von Gasen und kondensierbaren Dämpfen. In der Zeichnung ist ein Rezipient 1 dargestellt, der von der Vakuumpumpe 2 evakuiert wird. Es ist weiter eine Steuerungseinrichtung 3 dargestellt, über die die jeweiligen Prozeßparameter einstellbar sind. Die Vakuumpumpe 2 weist einen nicht dargestellten Schöpfraum auf, über den das abzupumpende Gas gefördert wird. Bei einer mehrstufigen Vakuumpumpe 2 sind entsprechend mehrere Schöpfräume vorgesehen.In the drawing, the only figure shows a vacuum pump system for pumping out gases and condensable vapors. In the drawing is a recipient 1 shown by the vacuum pump 2 is evacuated. It is also a control device 3 shown, via which the respective process parameters can be set. The vacuum pump 2 has a scoop chamber, not shown, through which the gas to be pumped is conveyed. With a multi-stage vacuum pump 2 accordingly, several scoops are provided.

Ferner ist ein Gasballastventil 4 dargestellt, über das die Vakuumpumpe 2 belüftbar ist. Grundsätzlich können hier auch mehrere Gasballastventile 4 vorgesehen werden. Für die An der Ankopplung des Gasballastventils 4 sind aus dem Stand der Technik zahlreiche Möglichkeiten bekannt. Hierauf darf verwiesen werden.There is also a gas ballast valve 4 shown over which the vacuum pump 2 is ventilated. In principle, several gas ballast valves can also be used here 4 be provided. For the connection of the gas ballast valve 4 numerous possibilities are known from the prior art. This may be referred to.

Wie auch bei dem den Ausgangspunkt für die Lehre bildenden klassischen Verfahren zur Steuerung einer Vakuumpumpe 2 ist auch bei dem beanspruchten Verfahren bevorzugt vorgesehen, daß das Gasballastventil eine im wesentlichen kontinuierliche Gasballastzugabe erlaubt, daß also keine stoßweise Verfahrensweise erfolgt, um so zu starke Druckschwankungen zu vermeiden.As with the classic method for controlling a vacuum pump that forms the starting point for teaching 2 it is also preferably provided in the claimed method that the gas ballast valve permits an essentially continuous addition of gas ballast, that is to say that no intermittent procedure takes place in order to avoid excessive pressure fluctuations.

Wie bereits oben angeführt worden ist, ist das erfindungsgemäße Verfahren bei allen Arten von Vakuumpumpen anwendbar, also sowohl bei ölgedichteten Drehschieberpumpen als auch bei nicht ölgedichteten Pumpen wie Kolbenpumpen, Scrollpumpen und, insbesondere, Membranpumpen. Bereits oben ist dabei darauf hingewiesen worden, daß man, vorzugsweise, mit mehrstufigen Pumpen, also insbesondere mit mehrstufigen Membranpumpen arbeiten kann. Bei Kolbenpumpen, Scrollpumpen und bei Drehschieberpumpen wird man es häufig bevorzugen, das Ballastgas mittels des Gasballastventils 4 direkt in den Schöpfraum der Vakuumpumpe 2 einzuleiten. Demgegenüber bevorzugt man es insbesondere bei mehrstufigen Membranpumpen, das Ballastgas in die saugseitig vom Schöpfraum der jeweiligen Vakuumpumpe 2 bzw. Pumpenstufe abgehende Leitung einzuleiten. In der einzigen Figur ist im Ausschnitt auch eine zweistufige Membranpumpe als Vakuumpumpe 2 mit zwei Pumpenstufen 2a, 2b dargestellt, die mittels des Gasballastventils 4 in der Leitung zwischen beiden Pumpenstufen 2a, 2b mit Ballastgas versorgt wird. Dies trägt auch der Tatsache Rechnung, daß Kondensation gerade auch in den Leitungen, die ja meist kühler sind als die durch den Arbeitsvorgang aufgewärmten Pumpenköpfe, in störender Weise auftreten kann.As has already been mentioned above, the method according to the invention can be used with all types of vacuum pumps, that is to say both with oil-sealed rotary vane pumps and with non-oil-sealed pumps such as piston pumps, scroll pumps and, in particular, diaphragm pumps. It has already been pointed out above that it is possible, preferably, to work with multi-stage pumps, in particular with multi-stage diaphragm pumps. For piston pumps, scroll pumps and rotary vane pumps, it will often be preferred to use the ballast gas using the gas ballast valve 4 directly into the suction chamber of the vacuum pump 2 initiate. In contrast, it is preferred, in particular in the case of multi-stage diaphragm pumps, that the ballast gas be drawn into the suction chamber of the respective vacuum pump 2 or pump stage outgoing line. In the single figure, there is also a two-stage diaphragm pump as a vacuum pump 2 with two pump stages 2a . 2 B shown by means of the gas ballast valve 4 in the line between the two pump stages 2a . 2 B is supplied with ballast gas. This also takes into account the fact that condensation can also occur in the pipes, which are usually cooler than the pump heads warmed up by the working process, in a disruptive manner.

Das Gasballastventil 4 ist vorliegend mittels der Steuerungseinrichtung 3 ansteuerbar. Es handelt sich bei dem vorliegenden Gasballastventil 4 um ein motorisch, vorzugsweise elektromagnetisch oder pneumatisch, betätigbares Ventil. Auch hierfür sind aus dem Stand der Technik zahlreiche Varianten bekannt.The gas ballast valve 4 is here by means of the control device 3 controllable. It is the present gas ballast valve 4 around a valve which can be actuated by a motor, preferably electromagnetically or pneumatically. Numerous variants of this are also known from the prior art.

Wesentlich ist die Tatsache, daß mittels der Steuerungseinrichtung 3 der Kondensationszustand innerhalb der Vakuumpumpe 2 ermittelt wird und daß mittels der Steuerungseinrichtung 3 das Gasballastventil 4 in Abhängigkeit vom ermittelten Kondensationszustand angesteuert wird. Die Ansteuerung des Gasballastventils 4 erfolgt derart, daß Kondensation in der Vakuumpumpe 2 verhindert und/oder gebildetes Kondensat aus der Vakuumpumpe 2 ausgetrieben wird. Hierfür sind in der Steuerungseinrichtung 3 entsprechende Regeln abgelegt.What is essential is the fact that by means of the control device 3 the state of condensation inside the vacuum pump 2 is determined and that by means of the control device 3 the gas ballast valve 4 is controlled depending on the determined condensation state. The control of the gas ballast valve 4 occurs in such a way that condensation in the vacuum pump 2 prevents and / or condensate from the vacuum pump 2 is driven out. For this are in the control device 3 appropriate rules filed.

Es darf darauf hingewiesen werden, daß zahlreiche Möglichkeiten zur Ermittlung des Kondensationszustands innerhalb der Vakuumpumpe 2 denkbar sind, von denen im folgenden nur einige erläutert werden. Das gleiche gilt für die Regeln zur Ansteuerung des Gasballastventils 4 in Abhängigkeit vom ermittelten Kondensationszustand. Auch hierfür sind im folgenden nur einige exemplarisch genannt. Entscheidend ist, daß das Gasballastventil 4 vom gerade ablaufenden Prozeß selbst gesteuert wird, also vom zeitlichen Verlauf von Prozeßparametern wie beispielsweise dem Druckverlauf im Rezipienten 1.It should be pointed out that there are numerous possibilities for determining the condensation state within the vacuum pump 2 are conceivable, of which only a few are explained below. The same applies to the rules for controlling the gas ballast valve 4 depending on the determined condensation state. Here are just a few examples. It is crucial that the gas ballast valve 4 is controlled by the process currently running itself, that is to say by the time course of process parameters such as the pressure course in the recipient 1 ,

Hierfür wird zunächst mittels der Steuereinrichtung 3 der zeitliche Verlauf eines Prozeßparameters während des Betriebs der Vakuumpumpe 2 gemessen, so daß aus dem gemessenen zeitlichen Verlauf des Prozeßparameters mittels der Steuerungseinrichtung 3 der Kondensationszustand ermittelt werden kann.To do this, first use the control device 3 the time course of a process parameter during the operation of the vacuum pump 2 measured so that from the measured time course of the process parameter by means of the control device 3 the condensation state can be determined.

Eine bevorzugte Variante zur Ermittlung des Kondensationszustands mittels der Steuerungseinrichtung 3 besteht dann, den zeitlichen Druckverlauf auf der Saugseite der Vakuumpumpe 2 über einen Druckaufnehmer 5 zu messen. Wie in der Beschreibungseinleitung erläutert wurde, führt die Entstehung von Kondensation in der Vakuumpumpe 2 zu einer Reduzierung der Pumpleistung und des erreichbaren Endvakuums, so daß die Entstehung von Kondensation zu einem unerwünschten Druckanstieg auf der Saugseite der Vakuumpumpe 2 fihrt. Dadurch ist es möglich, aus dem gemessenen zeitlichen Druckverlauf mittels der Steuerungseinrichtung 3 auf den Kondensationszustand zu schließen.A preferred variant for determining the condensation state by means of the control device 3 then there is the temporal pressure curve on the suction side of the vacuum pump 2 via a pressure sensor 5 to eat. As explained in the introduction to the description, condensation occurs in the vacuum pump 2 to a reduction in the pump power and the achievable final vacuum, so that the formation of condensation leads to an undesirable increase in pressure on the suction side of the vacuum pump 2 fihrt. This makes it possible to use the control device to measure the pressure over time 3 to infer the state of condensation.

Wenn nach weiterer bevorzugter Ausgestaltung in der Steuerungseinrichtung 3 ein zeitlicher Soll-Druckverlauf gespeichert ist, so kann aus dem Vergleich des Soll-Druckverlaufs mit dem gemessenen Druckverlauf der Kondensationszustand ermittelt werden. Der Soll-Druckverlauf ist u.a. abhängig von der Ausgestaltung des Rezipienten 1 und von der jeweiligen Pumpleistung der Vakuumpumpe 2. Es kann hier auch vorgesehen werden, daß der Soll-Druckverlauf in Abhängigkeit von den jeweils gegebenen Randbedingungen in der Steuerungseinrichtung 3 berechnet wird.If according to a further preferred embodiment in the control device 3 If a temporal setpoint pressure curve is stored, the condensation state can be determined from the comparison of the setpoint pressure curve with the measured pressure curve. The target pressure curve depends, among other things, on the design of the recipient 1 and the respective pumping capacity of the vacuum pump 2 , It can also be provided here that the target pressure curve in dependence on the given boundary conditions in the control device 3 is calculated.

In besonders bevorzugter Ausgestaltung ist es vorgesehen, daß mittels der Steuerungseinrichtung 3 das effektive Behältervolumen des Rezipienten 1 ermittelt wird und dieses Aufschluß über den Kondensationszustand gibt. Dies wird im folgenden anhand einer Anordnung zum Abpumpen kondensierbarer Dämpfe vorgestellt, wie sie beispielsweise bei einer Vakuumdestillation zum Einsatz kommen kann.In a particularly preferred embodiment, it is provided that by means of the control device 3 the effective container volume of the recipient 1 is determined and this provides information about the condensation state. This is presented below using an arrangement for pumping out condensable vapors, such as can be used for example in vacuum distillation.

Wesentlich ist zunächst, daß in die Steuerungseinrichtung 3 ein Steuerungsalgorithmus implementiert ist. Die Routine zur Steuerung des Gasballastventils 4 wird durch den Start eines Abpumpvorgangs von Atmosphärendruck initialisiert. Das Gasballastventil 4 ist anfangs geschlossen. Die Steuerungseinrichtung 3 nimmt zur Ermittlung des Kondensationszustandes den Druckverlauf über den Druckaufnehmer 5 auf und bestimmt daraus und aus dem bekannten Saugvermögen der Vakuumpumpe 2 (mit fester Drehzahl oder aus den übermittelten Daten der Pumpendrehzahl bei drehzahlregelbaren Pumpen) das effektive Behältervolumen des Rezipienten 1. Diese Größe beinhaltet nicht nur das reale Volumen des Rezipienten 1, sondern auch das scheinbare Gasvolumen infolge der prozeßbedingten Freisetzung von Gasen und Dämpfen im Rezipienten 1. Die Steuerungseinrichtung 3 vergleicht außerdem den gemessenen Druckverlauf mit dem gespeicherten Soll-Druck oder – bei Anwendungen ohne vorgegebenen Solldruck – mit dem Endvakuum der Vakuumpumpe 2.It is essential that in the control device 3 a control algorithm is implemented. The routine for controlling the gas ballast valve 4 is initialized by starting a pumpdown from atmospheric pressure. The gas ballast valve 4 is initially closed. The control device 3 takes the pressure curve over the pressure sensor to determine the condensation state 5 and determines from it and from the known pumping speed of the vacuum pump 2 (at a fixed speed or from the transmitted data of the pump speed for speed-controllable pumps) the effective container volume of the recipient 1 , This size does not only include the real volume of the recipient 1 , but also the apparent gas volume due to the process-related release of gases and vapors in the recipient 1 , The control device 3 also compares the measured pressure curve with the stored target pressure or - for applications without a specified target pressure - with the final vacuum of the vacuum pump 2 ,

Sollte während des Abpumpvorgangs das effektive Behältervolumen scheinbar anwachsen, also die Steuerungseinrichtung 3 beispielsweise eine Art Druckplateau oberhalb des Solldrucks bzw. des Pumpenendvakuums registrie ren, so läßt dies zwei mögliche Rückschlüsse auf den Kondensationszustand innerhalb der Vakuumpumpe 2 zu:Should the effective container volume seem to increase during the pumping process, i.e. the control device 3 For example, register a type of pressure plateau above the set pressure or the pump end vacuum, so this allows two possible conclusions to be drawn about the condensation state within the vacuum pump 2 to:

- Release of large amounts of gas through the process. This is often due to a high proportion of condensable vapors, i.e. there is a risk of condensation inside the vacuum pump 2 , connected,
- Impairment of the pumping speed of the vacuum pump 2 due to condensate in the unit or reduction of the effective pumping capacity due to back-flowing vapors. due to condensation inside the vacuum pump 2 ,

In beiden Fällen wird das Öffnen des Gasballastventils 4 den Prozeß vorteilhaft unterstützen. Dementsprechend wird nach dem erfindungsgemäßen Verfahren in diesem Fall das Gasballastventil 4 geöffnet, und zwar bis eine der folgenden Endbedingungen gegeben ist:In both cases the gas ballast valve is opened 4 Advantageously support the process. Accordingly, the gas ballast valve is in this case according to the inventive method 4 open until one of the following end conditions is met:

- The pressure curve shows - after the possible initial increase in the process pressure due to the additional amount of gas to be pumped out of the gas ballast - a pressure falling below the original pressure plateau. This indicates that the condensate has been successfully rinsed out of the vacuum pump 2 out. The gas ballast valve 4 is closed after a predetermined time and the routine is reinitialized.
- The pressure does not drop. In this case, after a predetermined time, which is typically required for expelling condensate, the gas ballast valve 4 closed again. Should the pressure even after closing the gas ballast valve 4 remain the same or rise, so the gas ballast valve 4 immediately reopened. Sinks the pressure now becomes the gas ballast valve as above 4 closed and the routine is reinitialized. If the pressure does not drop, a test is performed again after a predetermined time to determine whether the gas ballast valve has closed 4 the pressure is reduced. If the pressure drops, the gas ballast valve remains 4 closed, the above routine is reinitialized and checked again to see whether a pressure plateau is occurring.

Diese Routine läuft ab, bis der vorgegebene Solldruck bzw. der Enddruck der Vakuumpumpe 2 erreicht wird. Steigt der Druck wieder über den Solldruck bzw. Enddruck an, so wird bei Überschreiten des Enddrucks der Vakuumpumpe 2 mit Gasballast plus einem Toleranzwert und gleichzeitigem Überschreiten des Solldrucks plus Toleranzwert das Gasballastventil 4 wieder geöffnet.This routine continues until the specified target pressure or the final pressure of the vacuum pump 2 is achieved. If the pressure rises again above the set pressure or final pressure, the vacuum pump will stop when the final pressure is exceeded 2 with gas ballast plus a tolerance value and at the same time exceeding the target pressure plus tolerance value the gas ballast valve 4 opened again.

Durch die Analyse des Prozeßparameters "Druck" bewirkt das erfindungsgemäße Verfahren somit eine Selbstdiagnose bezüglich des Kondensationszustands innerhalb der Vakuumpumpe 2, ferner wird das System bezüglich des Kondensationszustandes durch Öffnen und Schließen des Gasballastventils 4 getestet, so daß ggf. Maßnahmen gegen die Kondensation eingeleitet werden können. Das testweise Öffnen und Schließen des Gasballastventils 4 in einzelnen Stellzyklen mit einem jeweils anschließenden Meßzyklus zur Ermittlung der Reaktion des Systems wird in den folgenden Ausführungen näher erläutert.By analyzing the process parameter "pressure", the method according to the invention thus brings about a self-diagnosis with regard to the condensation state within the vacuum pump 2 , further the system is in terms of the condensation state by opening and closing the gas ballast valve 4 tested so that measures against condensation can be initiated if necessary. The test opening and closing of the gas ballast valve 4 in individual setting cycles with a subsequent measuring cycle to determine the reaction of the system is explained in more detail in the following explanations.

In einer anderen Ausgestaltung wird der Kondensationszustand innerhalb der Vakuumpumpe 2 nicht wie oben beschrieben anhand des Abpumpvorgangs, sondern bei im wesentlichen im Enddruckbereich arbeitender Vakuumpumpe 2 ermittelt. Dabei ist der zeitliche Druckverlauf nahe dem Enddruckbereich der Vakuumpumpe 2 von Interesse. Dieses bevorzugte Verfahren wird nun anhand der Erzeugung des (Vor-) Vakuums für eine Turbomolekularpumpe vorgestellt. Bei dieser Anwendung besteht Kondensationsgefahr zum einen beim Abpumpen eines Rezipienten 1 mit kalter Pumpe, zum anderen im Dauerbetrieb nahe Enddruck, bei dem sich Kondensation durch einen schleichenden Anstieg des Enddrucks der (Vor-) Vakuumpumpe 2 äußert.In another embodiment, the condensation state inside the vacuum pump 2 not as described above on the basis of the pumping process, but with a vacuum pump operating essentially in the final pressure range 2 determined. The pressure curve over time is close to the final pressure range of the vacuum pump 2 of interest. This preferred method is now presented on the basis of the generation of the (pre) vacuum for a turbomolecular pump. In this application, there is a risk of condensation when pumping out a recipient 1 with cold pump, on the other hand in continuous operation near final pressure, in which condensation occurs due to a gradual increase in the final pressure of the (pre) vacuum pump 2 manifests.

Um den Kondensationszustand und daraus ggf. entstehende Kondensation frühzeitig zu erkennen, wird zunächst der Druckverlauf der (Vor-) Vakuumpumpe 2 im Enddruckbereich (also bei abgeschaltetem Gasballast) überwacht. Sollte bei geschlossenem Gasballastventil 4 der Druck ausgehend vom Enddruck der Vakuumpumpe 2 mehr als eine "kleine Toleranzschwelle" ansteigen, so öffnet die Steuerungseinrichtung 3 das Gasballastventil 4 für einen begrenzten Zeitraum – Stellzyklus -. Anschließend wird ermittelt, ob sich nach dem Schließen des Gasballastventils 4 der Druck verbessert – Meßzyklus -. Ggf. wird die Prozedur wiederholt, bis der Enddruck ohne Gasballast wieder erreicht wird.In order to recognize the condensation state and any condensation that may result therefrom at an early stage, the pressure curve of the (pre) vacuum pump 2 is first monitored in the final pressure range (ie when the gas ballast is switched off). Should be with the gas ballast valve closed 4 the pressure based on the final pressure of the vacuum pump 2 the control device opens more than a "small tolerance threshold" 3 the gas ballast valve 4 for a limited period of time - actuating cycle -. It is then determined whether there is any gas ballast valve closing 4 the pressure improves - measuring cycle -. Possibly. the procedure is repeated until the final pressure is reached again without gas ballast.

Zur Ermittlung des Kondensationszustands wird also mittels der Steuerungseinrichtung 3 zunächst ein Stellzyklus mit einem anschließenden Meßzyklus durchgeführt, wobei im Stellzyklus mindestens eine Stellgröße der Vakuumpumpe 2 variiert wird und wobei im Meßzyklus die Reaktion eines oder mehrerer Prozeßparameter auf den Stellzyklus gemessen wird. Aus dieser Reaktion und aus der Kenntnis der durchgeführten Stellzyklen wird dann der Kondensationszustand ermittelt, wie im folgenden gezeigt wird.The control device is used to determine the condensation state 3 First, an actuation cycle with a subsequent measurement cycle is carried out, with at least one actuating variable of the vacuum pump in the actuation cycle 2 is varied and the reaction of one or more process parameters to the actuating cycle is measured in the measuring cycle. The condensation state is then determined from this reaction and from knowledge of the actuating cycles carried out, as will be shown below.

Nach dem oben beschriebenen Verfahren testet die erfindungsgemäße Einrichtung selbsttätig, ob Kondensation vorliegt und wirkt dieser entgegen. Die "kleine Toleranzschwelle" bemißt sich danach, daß bei Enddruck plus dieser Schwelle die Turbomolekularpumpe noch in einem sicheren Betriebszustand arbeiten muß. Die Zeitspanne für das Öffnen des Gasballastventils 4 ergibt sich daraus, daß die Turbomolekularpumpe durch das Öffnen des Gasballastventils 4 und den damit verbundenen leichten Druckanstieg nicht zu stark abgebremst werden darf, oder diese sogar abschaltet (typischerweise 10 bis 60 Sekunden).According to the method described above, the device according to the invention automatically tests whether condensation is present and counteracts it. The "small tolerance threshold" is measured according to the fact that the turbomolecular pump still has to work in a safe operating state at the final pressure plus this threshold. The time period for opening the gas ballast valve 4 results from the fact that the turbomolecular pump by opening the gas ballast valve 4 and the slight increase in pressure associated with it must not be slowed down too much or even switched off (typically 10 to 60 seconds).

Im dargestellten Ausführungsbeispiel ist es so, daß in dem Meßzyklus über einen Druckaufnehmer 5 der von der Vakuumpumpe 2 erzeugte Druck als Prozeßparameter gemessen wird. Es sind auch andere zu messende Prozeßparameter denkbar, beispielsweise die Temperatur in der Anlage, an einem vorgeschalteten Kondensator, oder in der Vakuumpumpe 2 selbst.In the illustrated embodiment, it is the case that in the measuring cycle via a pressure sensor 5 that of the vacuum pump 2 generated pressure is measured as a process parameter. Other process parameters to be measured are also conceivable, for example the temperature in the system, on an upstream condenser, or in the vacuum pump 2 self.

Es wurde gezeigt, daß in dem Stellzyklus die Stellung des Gasballastventils 4 als Stellgröße der Vakuumpumpe 2 variiert werden kann. Neben der Stellung des Gasballastventils 4 kommen auch andere Stellgrößen der Vakuumpumpe 2 in Betracht, wie im folgenden gezeigt wird.It has been shown that in the actuation cycle the position of the gas ballast valve 4 as manipulated variable of the vacuum pump 2 can be varied. In addition to the position of the gas ballast valve 4 there are also other manipulated variables of the vacuum pump 2 as shown below.

Eine bevorzugte Möglichkeit der Variation einer Stellgröße der Vakuumpumpe 2 besteht in der Variation der Pumpendrehzahl, wenn eine drehzahlgeregelte Vakuumpumpe 2 zur Verfügung steht. Hierfür sind aus dem Stand der Technik einige Varianten bekannt, beispielsweise drehzahlgeregelte Membranpumpsysteme. Bei diesen Systemen kann das Saugvermögen der Vakuumpumpe 2 mittels der Pumpendrehzahl stufenlos von 0 bis 100% variiert werden. Dies erlaubt eine präzise Druckregelung.A preferred way of varying a manipulated variable of the vacuum pump 2 consists in varying the pump speed when using a speed-controlled vacuum pump 2 is available. For this purpose, several variants are known from the prior art, for example speed-controlled membrane pump systems. With these systems, the pumping speed of the vacuum pump 2 can be varied continuously from 0 to 100% using the pump speed. This allows precise pressure control.

Im vorliegenden Fall kann die Variation der Pumpendrehzahl als Variation der Stellgröße der Vakuumpumpe 2 im oben genannten Sinn genutzt werden, um den Kondensationszustand innerhalb der Vakuumpumpe 2 zu ermitteln. Dabei macht man sich zunutze, daß bei Kondensation innerhalb der Vakuumpumpe 2 deren Saugvermögen sehr stark eingeschränkt ist, und kaum noch von der Drehzahl der Vakuumpumpe 2 abhängt. Die Absenkung der Drehzahl wird bei Kondensation innerhalb der Vakuumpumpe 2 einen nur geringen Druckanstieg bewirken. Falls das Druckplateau im System dagegen durch Gasanfall bedingt war, wird der Druck stark ansteigen und auf den Gasballast kann verzichtet werden. So kann der Kondensationszustand mittels der Steuerungseinrichtung 3 ermittelt werden. Mit dem ermittelten Kondensationszustand kann dann nach vorbestimmten Regeln das Gasballastventil 4 angesteuert werden. Hierfür ist das eingangs beschriebene Verfahren entsprechend anwendbar.In the present case, the variation of the pump speed can be used as a variation of the manipulated variable of the vacuum pump 2 in the sense mentioned above, in order to determine the condensation state within the vacuum pump 2 to investigate. This takes advantage of condensation within the vacuum pump 2 whose pumping speed is very limited, and hardly any more from the speed of the vacuum pump 2 depends. The speed is reduced in the case of condensation inside the vacuum pump 2 cause only a slight increase in pressure. In contrast, if the pressure plateau in the system is caused by Gasan if this was due, the pressure will rise sharply and the gas ballast can be dispensed with. The state of condensation can thus be determined by means of the control device 3 be determined. With the determined condensation state, the gas ballast valve can then operate according to predetermined rules 4 can be controlled. The method described at the outset can be used accordingly.

In weiterer bevorzugter Ausgestaltung kann es auch vorgesehen werden, daß das eben erläuterte Verfahren zur Ermittlung des Kondensationszustands mit Stellzyklen und Meßzyklen der aus dem Stand der Technik bekannten Druckstufensteuerung überlagert wird. Dabei wird die Steuerungseinrichtung 3 bei Drücken oberhalb des Endvakuums mit Gasballast (plus einem Toleranzwert) das Gasballastventil 4 einschalten, bei Drücken unterhalb dieser Grenze das Gasballastventil 4 ausschalten. Der Toleranzwert bemißt sich nach den Saugvermögensverläufen der Vakuumpumpe 2 mit und ohne Gasballast und ist vorzugsweise von der Größenordnung der Druckdifferenz der Enddrücke der Vakuumpumpe 2 mit und ohne Gasballast. Diese starre, rein druckstufengesteuerte Regelung allein genügt insbesondere für obige Anwendung häufig nicht, da bei einem Druckanstieg infolge Kondensation über den Enddruck der Vakuumpumpe 2 mit Gasballast plus Toleranzwert hinaus die nachgeschaltete Turbomolekularpumpe gegen ein bereits zu hohes Vorvakuum arbeiten muß und überhitzen kann.In a further preferred embodiment, it can also be provided that the method just described for determining the condensation state is overlaid with actuating cycles and measuring cycles of the pressure stage control known from the prior art. The control device 3 at pressures above the final vacuum with gas ballast (plus a tolerance value) the gas ballast valve 4 switch on, if the pressure is below this limit the gas ballast valve 4 turn off. The tolerance value is based on the pumping speed of the vacuum pump 2 with and without gas ballast and is preferably of the order of magnitude of the pressure difference of the final pressures of the vacuum pump 2 with and without gas ballast. This rigid, purely pressure-stage-controlled regulation alone is often not sufficient, in particular for the above application, since if the pressure rises as a result of condensation via the final pressure of the vacuum pump 2 with gas ballast plus tolerance value, the downstream turbomolecular pump must work against an already too high pre-vacuum and can overheat.

Um die oben beschriebenen Meß- und Stellzyklen durchführen zu können, kann je nach Bauart der Vakuumpumpe 2 eine Steuerleitung 6 zwischen der Steuerungseinrichtung 3 und der Vakuumpumpe 2 vorgesehen sein. Hierüber ist es dann möglich, im Rahmen des Meßzyklus beispielsweise die Pumpendrehzahl oder die Temperatur der Vakuumpumpe 2 aufzunehmen oder im Rahmen eines Stellzyklus die Solldrehzahl bei drehzahlregelbaren Vakuumpumpen 2 zu übermitteln.In order to be able to carry out the measuring and actuating cycles described above, depending on the design of the vacuum pump 2 a control line 6 between the control device 3 and the vacuum pump 2 be provided. This makes it possible, for example, to measure the pump speed or the temperature of the vacuum pump as part of the measuring cycle 2 record or within a control cycle the target speed for speed-adjustable vacuum pumps 2 to transmit.

Weiter ist es denkbar, daß ein weiteres optionales Ventil 7 in der Saugleitung zum Rezipienten 1 vorgesehen ist, das alternativ zur Drehzahlregelung der Vakuumpumpe 2 eine Prozeßdrucksteuerung im Rezipienten 1 wie beispielsweise eine Druckregelung auf einen ggf. zeitabhängigen intern oder extern vorgegebenen Solldruck erlaubt. Diese führt zu einer weiteren Variante für die Variation der Stellgröße der Vakuumpumpe 2 im oben genannten Sinn.It is also conceivable that another optional valve 7 in the suction line to the recipient 1 is provided as an alternative to the speed control of the vacuum pump 2 process pressure control in the recipient 1 such as, for example, a pressure control to a time-dependent internal or external predetermined pressure. This leads to a further variant for the variation of the manipulated variable of the vacuum pump 2 in the sense mentioned above.

Es darf darauf hingewiesen werden, daß in vielen Fällen die Maßnahmen zur Ermittlung des Kondensationszustands, beispielsweise die oben beschriebene Variation des Gasballastventils, bereits dazu geeignet sind, der Kondensation entgegenzuwirken. Dies führt zu einer hohen "Kompaktheit" des Verfahrens.It should be noted that in many make the measures to determine the condensation state, for example those above described variation of the gas ballast valve, already suitable for this are to counteract the condensation. This leads to a high "compactness" of the method.

Weiter ist es vorteilhaft, wenn die verschiedenen oben beschriebenen Ausgestaltungen des Verfahrens miteinander kombiniert werden. Dies ergibt sich beispielsweise aus dem oben beschriebenen Verfahren, in dem die Ermittlung des effektiven Behältervolumens mit der anschließenden Durchführung von Stell- und Meßzyklen kombiniert wird.It is also advantageous if the various configurations of the method described above can be combined with each other. This results from, for example the procedure described above, in which the determination of the effective container volume with the subsequent one execution of positioning and measuring cycles is combined.

Nach einer weiteren Lehre, der eigenständige Bedeutung zukommt, wird ein Vakuumpumpensystem zur Durchführung des oben beschriebenen Verfahrens beansprucht. Auf die obigen Ausführungen darf verwiesen werden.After another lesson, the independent meaning is a vacuum pump system for performing the method described above claimed. On the above statements may be referred.

Claims

Method for controlling a recipient ( 1 ) evacuating vacuum pump ( 2 ), the gases to be conveyed having a high proportion of condensable vapors, a control device ( 3 ) is provided, the vacuum pump ( 2 ) has a scooping chamber and lines connected to it, a gas ballast valve ( 4 ) is provided, the vacuum pump ( 2 ) via the gas ballast valve ( 4 ) can be ventilated and the gas ballast valve ( 4 ) by means of the control device ( 3 ) can be controlled, characterized in that by means of the control device ( 3 ) the state of condensation inside the vacuum pump ( 2 ) is determined and that by means of the control device ( 3 ) the gas ballast valve ( 4 ) is controlled depending on the determined condensation state in such a way that condensation in the vacuum pump ( 2 ) prevents and / or condensate from the vacuum pump ( 2 ) is driven out.

A method according to claim 1, characterized in that the gas ballast valve ( 4 ) is controlled such that the gas ballast is added continuously, ie not intermittently.

A method according to claim 1 or 2, characterized in that as a vacuum pump ( 2 ) a diaphragm pump is used.

Method according to one of the preceding claims, characterized in that as a vacuum pump ( 2 ) a multi-stage pump, in particular a multi-stage diaphragm pump, is used.

Method according to one of the preceding claims, characterized characterized in that the Gas ballast in the line leading from the suction chamber at a multi-stage diaphragm pump in a line between two pump stages, is initiated.

Method according to one of the preceding claims, characterized in that by means of the control device ( 3 ) the time course of a process parameter during the operation of the vacuum pump ( 2 ) is measured and that from the time course of the process parameter by means of the control device ( 3 ) the condensation status is determined.

A method according to claim 6, characterized in that by means of the control device ( 3 ) via a pressure sensor ( 5 ) the temporal pressure curve on the suction side of the vacuum pump ( 2 ) is measured and that from the temporal pressure curve by means of the control device ( 3 ) the condensation state is determined.

Method according to claim 7, characterized in that in the control device ( 3 ) a temporal target pressure curve is calculated or stored and that by means of the control device ( 3 ) the setpoint pressure curve is compared with the measured pressure curve and the condensation state is determined therefrom.

Method according to one of the preceding claims, characterized in that by means of the control device ( 3 ) the effective container volume of the recipient ( 1 ) is measured and that the condensation state is determined by changing the effective container volume.

Method according to one of the preceding claims, characterized in that by means of the control device ( 3 ) the condensation state when the vacuum pump is essentially in the final pressure range ( 2 ) is determined.

Method according to one of the preceding claims, characterized in that by means of the control device ( 3 ) an actuating cycle with a subsequent measuring cycle is carried out so that at least one actuating variable of the vacuum pump ( 2 ) is varied so that the reaction of one or more process parameters to the actuating cycle is measured in the measuring cycle and that the control device () 3 ) the condensation state is determined.

A method according to claim 11, characterized in that in the measuring cycle via a pressure sensor ( 5 ) the pressure on the suction side of the vacuum pump ( 2 ) is measured as a process parameter.

Method according to claim 11 or 12, characterized in that the position of the gas ballast valve ( 4 ) as manipulated variable of the vacuum pump ( 2 ) is varied.

Method according to one of claims 11 to 13, characterized in that in the actuating cycle the pump speed as the manipulated variable of the vacuum pump ( 2 ) is varied.

Method according to one of the preceding claims, characterized in that a pressure sensor ( 5 ) the temporal pressure curve on the suction side of the vacuum pump ( 2 ) is measured and that the gas ballast valve ( 4 ) by means of the control device ( 3 ) - in addition - is controlled as a function of exceeding and / or falling below predetermined pressure levels.

Vacuum pump system for evacuating a recipient ( 1 ), with a vacuum pump ( 2 ) and a control device ( 3 ) to control the vacuum pump ( 2 ), the vacuum pump ( 2 ) has a scooping chamber and lines connected to it, a gas ballast valve ( 4 ) is provided, the vacuum pump ( 2 ) via the gas ballast valve ( 4 ) can be ventilated and the gas ballast valve ( 4 ) by means of the control device ( 3 ) can be controlled, characterized in that the vacuum pump system, in particular its control device ( 3 ), is designed such that the method can be carried out with the features of the characterizing part of one or more of claims 1, 2 and 6 to 15.

Vacuum pump system according to claim 16, characterized in that a pressure sensor ( 5 ) on the suction side of the vacuum pump ( 2 ) it is provided that by means of the control device ( 3 ) via the pressure sensor ( 5 ) the temporal pressure curve on the suction side of the vacuum pump ( 2 ) is measurable and that from the measured temporal pressure curve by means of the control device ( 3 ) the condensation state can be determined.

Vacuum pump system according to claim 16 or 17, characterized in that the vacuum pump ( 2 ) is designed as a diaphragm pump.

Vacuum pump system according to one of claims 16 to 18, characterized in that the vacuum pump ( 2 ) is designed as a multi-stage pump, in particular a two-stage pump, preferably as a multi-stage diaphragm pump.

Vacuum pump system according to one of Claims 16 to 19, characterized in that the gas ballast valve ( 4 ) to the suction side of the suction chamber of the vacuum pump ( 2 ) outgoing line, with a multi-stage diaphragm pump to the line between two pump stages ( 2a . 2 B ), connected.