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Die Erfindung betrifft ein in ein
Einspritzsystem integrierbaren Drucksensor.
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Aus der
DE 197 16 521 C2 und der
DE 198 24 778 A1 sind
Drucksensoren für
niedrige Drücke bekannt,
die einen Aufbau mit mehreren Keramikschichten und elektrischen
Ableitungen zeigen. Die Keramikschichten haben einen im Inneren
angeordneten Hohlraum. In diesem Hohlraum sind mehrere Elektroden
angeordnet, die einen oder mehrere Kondensatoren bilden. wird der
Sensor mit Druck oder Kraft beaufschlagt, so biegt sich die oberste
Keramikschicht durch, der Abstand der Kondensatorelektroden verändert sich
und die Kapazität
des Sensors wird dadurch verändert.
Anhand der Kapazitätsänderung
kann auf den Druck oder die einwirkende Kraft zurückgeschlossen
werden. Diese Sensoren sind nur für geringe Drücke und
damit nicht für
Einspritzsysteme mit hohen Einspritzdrücken insbesondere für Commonrail-Dieselmotoren
geeignet. Die Keramikschichten werden mittels der LTCC-Technologie,
wie sie auch aus der
DE
196 15 787 A1 bekannt ist, hergestellt.
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Aus der
DE 199 45 677 C1 ist eine
elektronische Durchführung
für einen
Sensor und ein in ein Einspritzsystem integrierbarer Drucksensor
mit derartiger elektronischer Durchführungen beschrieben, der mehrere
Keramikschichten und Ableitungen für das Sensorsignal aufweist.
Der Aufbau und die besondere Wirkungsweise des drucksignalermittelnden Elementes
ist nicht beschrieben. Die Patentschrift
DE 199 45 677 C1 wird zur
Bildung des Oberbegriffs herangezogen.
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Aus der
DE 195 03 517 C1 ist der
Aufbau einer PZT-Dickschicht und ein Verfahren zu deren Herstellung
beschrieben. PZT-Werkstoffe
(Blei-Zirkonium-Titanate) werden als piezoelektrische Werkstoffe in
verschiedenen Strukturen und Formen verwendet. Beispielsweise ist
es bekannt, Fasern unter Verwendung von PZT-Werkstoffen herzustellen
und mit diesen die Spannung der Fasern in einem Faserverbund zu
detektieren. Die PZT-Werkstoffe werden in einer Vielzahl von Anwendungen
als Sensor oder Aktor verwendet. Darüber hinaus sind auch Anwendungen als
Resonatoren oder als Speicher für
Informationen bekannt. Es sind verschiedene Verfahren zur Herstellung
der PZT-Werkstoffe bekannt.
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Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein
Einspritzsystem bzw. einen dafür
vorgesehenen Drucksensor anzugeben, welche eine sichere Aussage über den
Druck bzw. Druckverlauf auch bei hohen Einspritzdrücken ermöglichen.
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Diese Aufgabe wird gelöst durch
einen in ein Einspritzsystem integrierbaren Drucksensor mit dem Merkmal
des Anspruchs 1 und ein Einspritzsystem mit den Merkmalen des Anspruchs
8.
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Vorteilhafte Weiterbildungen der
Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche.
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Der erfindungsgemäße Drucksensor, der in ein
Einspritzsystem insbesondere für
Commonrail-Dieselmotoren integrierbar ist zeigt mehrere Keramikschichten,
die insbesondere mittels LTCC-Technologie realisiert sind. Diese
Keramikschichten werden übereinander
angeordnet, zusammengefügt,
ggf. verklebt, und am Ende bei einer niedrigen Temperatur gesintert
und dadurch fest und unlöslich
miteinander verbunden. Hierdurch entsteht ein sogenannter Keramikchip.
Dieser Keramikchip zeichnet sich aus durch seine chemischen und
mechanische und thermische Widerstandsfähigkeit. Er erweist sich für den Einsatz
in einem Einspritzsystem mit den dort vorhandenen Stoffen und Zuständen als sehr
geeignet. Beispielsweise zeigen die verwendeten Kraftstoffe eine
nicht unbeachtliche chemische Aggressivität; auch die verwendeten Drücke insbesondere
im Bereich von über
1000 bar und die damit verbundenen mechanischen Belastungen sowie
die Vibrations- und Temperaturbelastungen im Bereich eines Verbrennungsmotores
machen das besondere Anforderungsprofil für einen derartigen Drucksensor deutlich.
Auf die Keramikschichten wird eine flächig ausgebildete PZT-Anordnung
aufgebracht. Mit Hilfe der flächigen
PZT-Anordnung ist möglich,
sehr aussagekräftige
Signale zu Druck, Kraft bzw. Spannungsveränderungen in der PZT-Anordnung, die einen
Aufbau aus einer Blei-Zirkonat-Titanat-Struktur zeigt, zu gewinnen. Hierbei
wird der piezoelektrische Effekt der PZT-Werkstoffe verwendet. Durch
die flächige
Ausbildung sind große
Mengen an PZT-Materialien dem Einfluß der einzuspritzenden Kraftstoffe ausgesetzt,
so daß ein
beachtliches und leicht auszuwertendes Signal entsteht. Dies um
so mehr, da durch die flächige
Ausbildung der PZT-Anordnung ein sicheres Verbinden der PZT-Anordnung
mit den Keramikschichten erreicht werden kann. Dieser Aufbau ist
auch für
hohe Drücke
geeignet, weshalb der Meßbereich
gerade auch hohe Drücke
und Druckunterschiede mit umfassen kann bzw. umfaßt. Dabei
ist die PZT-Anordnung mit zwei Elektroden und Ableitungen bzw. Ableitungen
versehen, die das durch die PZT-Anordnung
sensierte Drucksignal an eine Auswerteeinheit, die mit dem Drucksensor
verbunden ist, weiterleiten.
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Durch die erfindungsgemäße Abkehr
von Hohlräumen
im Inneren der Keramikschichten mit den darin angeordneten Sensorelementen
sowie durch die den Übergang
zur Verwendung von flächigen
PZT-Anordnung gelingt es sehr sicher hohe Drücke zu messen. Darüber hinaus
zeigt dieser Drucksensor einen sehr sicheren und widerstandsfähigen Aufbau.
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Nach einer bevorzugten Ausbildungsform der
Erfindung wird die flächige
PZT-Anordnung sandwichartig von zwei Elektroden umklammert. Die
eine Elektrode ist auf der Deckfläche der PZT-Anordnung aufgebracht und bildet die
Deckelektrode, während die
andere Elektrode zwischen der PZT-Anordnung und der obersten Keramikschicht
angeordnet ist und mit beiden flächig
und dauerhaft verbunden ist. Durch diese besondere Anordnung der
Elektroden zur Ableitung des Sensorsignals in Verbindung mit den
Ableitungen des Drucksensors gelingt es, gerade bei der Verwendung
von widerstandsfähigem
metallischem Elektrodenmaterial, einen besonderen Schutz der PZT-Werkstoffes
zu erreichen, indem der mechanische, chemische oder thermische zersetzende oder
schädigende
Einfluß des
Kraftstoffes auf den Sensor wesentlich abgeschwächt ist. Zusätzlich gelingt
es, durch die großflächige Ausbildung
der Elektroden, die die ganze PZT-Fläche ganz oder weitgehend umfaßt, ein
sehr wirksames Abgreifen der elektrischen Signale zu erreichen.
Zudem sind die elektrischen Signale durch das vollflächige Krafteinbringen, Druckeinbringen
der Kraftstoffe in die PZT-Anordnung
besonders ausgeprägt.
Dies führt
zu einer sehr aussagekräftigen
und verläßlichen
Information über die
Druckverhältnisse
in dem Einspritzsystem.
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Nach einer anderen Ausbildung der
Erfindung wird das elektrische Signal der PZT-Anordnung durch zwei
voneinander beabstandete Bodenelektroden abgegriffen. Die beiden
Bodenelektroden sind zwischen der PZT-Anordnung und der obersten
Keramikschicht angeordnet und durch diese von den störenden Einflüssen des
Kraftstoffes oder anderer Umgebungen geschützt. Diese Ausbildung ist für empfindliche
Elektrodenmaterialien sehr vorteilhaft, da diese zwar aus elektrischer
oder elektrochemischer Sicht als sehr vorteilhaft und nützlich für derartige
Sensoranordnungen ist, sie aber umgekehrt nicht die vorteilhaften
mechanischen, chemischen, robusten Eigenschaften aufweist, die ein
Aussetzen der Elektroden in die Umgebungen des Kraftstoffes oder
der Umgebungsluft ermöglicht.
Dies führt
zu einer sehr wirksamen PZT-Anordnung in einem er findungsgemäßen Drucksensor,
der eine ausreichende Widerstandsfähigkeit aufweist.
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Es hat sich als besonders vorteilhaft
erwiesen, die flächig
ausgebildete PZT-Anordnung mit der obersten Keramikschicht flächig zu
verbinden. Durch diese flächige
Verbindung ist eine sehr wirksame, widerstandsfähige und dauerhafte Verbindung
geschaffen. Diese Verbindung wird vorzugsweise durch Verkleben,
flächiges
Verkleben oder durch Sintern insbesondere in Verbindung mit dem
Zusammensintern der einzelnen Keramikschichten erreicht. Gerade
durch diese Art des sinternden Verbindens gelingt es, ein einheitliches
zusammenhängendes
robustes und fertigungstechnisch einfach mit wenigen Fertigungsschritten
herzustellendes Modul als integrierbaren Drucksensor zu realisieren.
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Es hat sich besonders bewährt, die
PZT-Anordnung in Form einer Folie oder einer PZT-Dickschicht oder
als Film aufzubringen und mit den Ableitungen elektrisch zu verbinden.
Dabei wird die Folie als Halbfertigprodukt auf den fertiggestellten
Keramikschichten aufgebracht und mit diesen dauerhaft verbunden,
insbesondere durch Verklebung mit diesen verbunden. Dieses Herstellungsverfahren
erweist sich als sehr einfach und sicher. Vorzugsweise sind die
Elektroden ebenso als Folienelektroden ausgebildet. Darüber hinaus
hat es sich besonders bewährt,
die PZT-Werkstoffe in Form eines Sprays, das PZT-Kristalle aufweist, als gesprühten Film
auf die Keramikschichten aufzubringen und mit den entsprechenden
Elektroden zu verbinden. Durch dieses Verfahren des Aufbringens
mittels eines Sprays wird es möglich,
nicht nur ebene Flächen
mit einer PZT-Anordnung zu versehen, sondern auch gekrümmte keramische
Oberflächen
damit zu versehen. Durch diese Form des Aufbringens gelingt es auch,
fertigungstechnisch bedingte Unebenheiten ohne zusätzlichen Aufwand
auszugleichen und dadurch die Herstellung zu vereinfachen. Die PZT-Dickschichtanordnungen werden
vorzugsweise durch Bedrucken der Keramikoberfläche mittels einer pastösen PZT kristallhaltigen
Substanz unter Verwendung von Masken durchgeführt und anschließend durch
Ausheizen bzw. durch Sintern ausgehärtet. Diese Form der Ausbildung
hat sich als sehr nützlich
erwiesen, da sie einerseits sehr flexibel einsetzbar ist und zum
andern unterschiedlichste Dicken der PZT-Anordnung durch die Menge des pastösen Auftrages
einfach realisiert werden können.
Hierdurch gelingt es, die Form und die Stärke der piezoelektrischen Signale
geeignet einzustellen, so daß ein
sehr effizientes und wirkungsvolles Auswerten der Drucksensorsignale
gegeben ist.
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Die Verwendung von Keramikschichten,
die unter Verwendung der LTCC-Technologie geschaffen wurden, hat
sich als sehr vorteilhaft erwiesen, da diese Keramiken sehr einfach
hergestellt werden können,
ohne daß hohe
Temperaturen für
die Keramikbildung notwendig sind. Diese LTC-Keramiken erweisen
sich auch als sehr druckresistent, als sehr chemisch inert und als
mechanisch sehr stabil. Dies führt dazu,
daß der
Drucksensor auch in sehr schwierigen Umgebungen, wie sie in einem
Einspritzsystem mit den hohen Temperaturen und den aggressiven Lösungsmitteln
insbesondere Kraftstoffen vorliegen, dauerhaft seine Aufgaben als
Drucksensor insbesondere für
hohe Drücke
erfüllen
kann.
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Es hat sich besonders bewährt, die
Ableitungen, soweit sie durch die Keramikschichten geführt sind,
mäanderförmig auszubilden.
Diese mäanderförmige Struktur
wird dadurch erreicht, daß durch
die einzelnen Keramikschichten Verbindungen mittels Via-Holes oder
durch metallgefüllte
Hohlräume
oder mit dotiertem Material gefüllte
Hohlräume
verwendet werden, während
zwischen den Keramikschichten flächige
elektrische Verbindungen zur elektrischen Verbindung der Durchkontaktierungen
durch die Keramikschichten verwendet werden. Diese mäanderförmige Struktur
gewährleistet
eine druckdichte elektrische Verbindung der PZT-Anordnung auf der
einen Seite der Keramikschichten zu den elektrischen Anschlüssen auf
der anderen Seite der Keramikschichten. Diese elektrischen Anschlüsse werden
typischerweise als Bondpads realisiert, die mit externen elektrischen
Leitungen beispielsweise durch Löten oder
Anschweißen
verbunden werden können.
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Die Erfindung betrifft darüber hinaus
ein Einspritzsystem mit einem erfindungsgemäßen Drucksensor, der in eine
Ausnehmung einer Wandung des Einspritzsystems integriert bzw. dafür vorgesehen
ist. Das Einspritzsystem, das hohe Einspritzdrücke realisiert, benötigt zur
sicheren Regelung des Einspritzverhalten, d. h. beispielsweise des
Einspritzdruckes, des Einspritzzeitpunktes, der Einspritzmenge,
usw. eine sehr sichere verläßliche Information über die Druckverhältnisse
in dem Einspritzsystem. Diese Information wird durch den in das
Einspritzsystem integrierten Drucksensor zur Verfügung gestellt.
Die Voraussetzungen bzw. Anforderungen des Einspritzsystems mit
den hohen Temperaturen im Bereich des Verbrennungsmotors, die hohen
Drücke,
beispielsweise über
1000 bar Einspritzdruck oder auch von 1500 bar Einspritzdruck bedingen
eine starke mechanische Belastung des gesamten Einspritzsystems
insbesondere des oder der darin integrierten Drucksensoren zur Bestimmung
des Drucks. Darüber
hinaus erweist sich der Kraftstoff als chemisch aggressiv. Er stellt
ein gängiges
Lösungsmittel
für eine
Vielzahl von Stoffen dar, und bewirkt somit ein Zerstören empfindlicher
Sensorbestandteile oder einzelner Komponenten des Drucksensors.
Dies führt
zu einem schwierigem Umfeld des Drucksensors, und somit zu erhöhten Anforderungen
an die Beständigkeit,
die der erfindungsgemäße Drucksensor
und das Einspritzsystem, das mit einem entsprechenden Drucksensor
versehen ist, gewährleistet.
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Nach einer bevorzugten Ausführungsform des
Einspritzsystems sind zwischen der Hochdruckpumpe und der Einspritzdüse bzw.
der Düse
der Einspritzdüse
mehrere erfindungsgemäße Drucksensoren
angeordnet. Hierdurch gelingt es, nicht nur den jeweiligen Einspritzdruck
eindeutig und sicher zu sensieren, sondern es gelingt auch, den
Druckabfall über
den Druckvergleich insbesondere eine Differenzdruckbildung zu gewinnen.
Durch diese Information des Druckverlaufes gelingt es, das Einspritzsystem
zu optimieren. Auch ist es möglich,
Bereiche besonderer Belastung beispielsweise durch starke Druckabfälle durch
eine entsprechende Änderung der
Konstruktion des Einspritzsystems dahingehend anzupassen, daß diese
Belastung reduziert ist. Darüber
hinaus gelingt es, auch die Ausbreitungsgeschwindigkeit des Kraftstoffs
und der Druckverhältnisse
im Kraftstoff zu erfassen und für
die Auslegung eines Einspritzsystems zu verwenden. Hierdurch gelingt
es, das Einspritzsystem dauerhaft zu optimieren.
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Nach einer bevorzugten Ausbildungsform der
Erfindung ist die äußere Gestalt
des Drucksensors mit der Ausnehmung abgestimmt. Die Abstimmung erfolgt
dahingehend, daß der
Drucksensor in die Ausnehmung formschlüssig dichtend eingebracht werden
kann. Hierdurch ist sichergestellt, daß bei der Druckbeaufschlagung
durch das einzuspritzende Kraftstoffgemisch eine Einpressung in
einen insbesondere dichtenden Sitz, der durch die Wandung um die
Ausnehmung für
den Drucksensor gebildet wird, bewirkt wird. Dies wird insbesondere
dadurch erreicht, daß der
Drucksensor keilförmig
verjüngend ausgebildet
ist bzw. eine stufenförmig
verjüngende Gestalt
dahingehend aufweist, daß Dichtflächen geschaffen
werden, die eine Abdichtung zwischen der äußeren Gestalt des Drucksensors
und der Wandung im Bereich der Ausnehmung bewirkt wird.
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Es hat sich besonders bewährt neben
der Anpassung der äußeren Gestalt
im Bereich zwischen der Wandung und dem Drucksensor ein Dichtmittel zu
verwenden. Als Dichtmittel hat sich die Verwendung eines Klebers
insbesondere eines Epoxidharzklebers bewährt. Dieser sorgt einerseits
für eine
dichtende Verbindung aber auch für
eine dauerhafte mechanische Verbindung des Drucksensors mit der Wandung.
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Neben der Anordnung der PZT-Materialien auf
der Innenseite der Wandung des Einspritzsystems, welche direkt mit
dem Kraftstoff bzw. Kraftstoffgemisch in Kontakt steht, hat es sich
bewährt,
die PZT-Anordnung auf der Außenseite
anzuordnen. Hierdurch gelingt es die Einflüsse des Kraftstoffs bzw. des
Kraftstoffgemisches auf die PZT-Anordnung zu reduzieren und dadurch
eine noch haltbare Anordnung zu schaffen. Dies ist in aggressiven
Umgebungen bedeutsamer als der Nachteil, daß der Druck mittels der PZT-Anordnung
nicht direkt gemessen werden kann, sondern nur indirekt durch eine
Verbiegung der Keramikschichten, was dazu führt, daß die Auflösung der Drucksensorik geringer
ausfällt
und somit die Verläßlichkeit
der gemessenen Druckwerte geringer ist. Beim Einsatz des Drucksensors
in sehr aggressiven Kraftstoffen beispielsweise wie Kerosin oder
Flugbenzin oder ähnliches,
hat sich diese Anordnung als besonders vorteilhaft erwiesen.
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Im folgenden wird die Erfindung anhand
einer beispielhaften Darstellung eines Einspritzsystems mit erfindungsgemäßen beispielhaften
Sensor erläutert.
Die Erfindung ist nicht auf diese in 1 dargestellte
Ausführung
der Erfindung begrenzt.
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In 1 ist
ein Ausschnitt einer Wandung 10 eines Einspritzsystems,
hier als Wandung einer Common-Rail dargestellt. Die Wandung 10 zeigt
eine Ausnehmung, in die der erfindungsgemäße Drucksensor 1 eingebracht
ist. Die äußere Gestalt
des Drucksensors 1 ist der Form der Ausnehmung angepaßt. Sie
zeigt einen keilförmigen,
sich verjüngende äußere Gestalt.
Die äußere Gestalt
des Drucksensors 1 ermöglicht
im Zusammenwirken mit der die Ausnehmung umgebenden Wandung 10 eine
formschlüssige,
dichtende Verbindung zwischen den beiden Komponenten des Einspritzsystems.
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Zur besseren Abdichtung wird der
Sensor 1 in die Wandung 10 mittels eines hier
nicht dargestellten Epoxidharzklebers eingeklebt. Dieser Epoxidharzkleber
stellt eine sichere und dichte Verbindung zwischen der Wandung 10,
welche aus einem hochlegierten Stahl besteht, und den Keramikschichten 2 des
Drucksensors 1 sicher. Dabei hat sich die stufige Ausbildung der äußeren keilförmigen Gestalt
des Drucksensors 1 bzw. der Ausnehmung besonders bewährt.
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Der Drucksensor 1 zeigt
fünf Keramikschichten 2,
die nach der LTCC-Technologie hergestellt und verbunden wurden.
Die Dicke der fünf
Schichten bzw. des Drucksensors beträgt etwa 850 μm. Die Keramikschichten 2 sind
miteinander flächig
fest verbunden. Diese Verbindung wird durch einen Sinterprozeß bei niedrigen
Temperaturen realisiert. Auf der dem Kraftstoff zugewandten Seite
des Drucksensors 1 ist eine Bodenelektrode 4b als
metallischer, elektrischer Kontakt aufgebracht. Auf diesen ist die
PZT-Folie 3 großflächig aufgebracht
und fest mit dieser, einen elektrischen Kontakt bildend verbunden.
Auf die PZT-Folie 3 ist eine flächig aufgebrachte Deckelektrode 4a befestigt.
Die beiden Elektroden 4a, 4b nehmen das piezoelektrische
Signal der PZT-Folie auf und leiten es über die Ableitungen 5 durch
die Keramikschichten 2 an die gegenüberliegende Seite des Drucksensors 1 weiter.
Auf der anderen Seite sind Bondpads 6 angeordnet, die mit
flexiblen elektrischen Leitungen 7 zum Abgreifen der PZT-sensierten
Drucksignale verbunden werden. Diese Signale werden einer Auswerteeinheit
zugeführt.
Diese Auswerteeinheit setzt die piezoelektrischen Signale in Druckinformationen
um.
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Durch die Deckelektrode 4a ist
ein mechanischer und chemischer Schutz der PZT-Anordnung PZT-Folie 3 und
der darunter liegenden Bodenelektrode 4b gewährleistet.
Dadurch ist eine besonders langlebige PZT-Anordnung geschaffen.
Dies um so mehr, wenn die Deckelektrode 4a aus einem sehr
widerstandsfähigen
Metall, wie beispielsweise Titan realisiert ist. Demgegenüber kann
die Bodenelektrode 4b aus einem chemisch und mechanisch
weniger widerstandsfähigen
Material gebildet sein.
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Die Ableitungen 5 sind mäanderförmig durch die
Keramikschichten 2 des Drucksensors 1 geführt. Die
Durchführung
durch die einzelnen Keramikschichten 2 erfolgt durch Via-Holes,
welche mit einer Metallisierung versehen sind. In der Zwischen schicht zwischen
zwei Keramikschichten 2 ist mittels flächiger elektrischer Leitungen
eine elektrische Verbindung geschaffen, die durch Siebdruck oder
andere Aufbringtechniken von metallischen Leitungsleiterbahnen realisiert
werden kann. Durch das mäanderförmige Durchführen der
Ableitungen 5 durch die fünf Keramikschichten 2 ist
eine druckdichte Ableitung der piezoelektrischen Signale gewährleistet.
Ein Durchdringen des unter hohem Druck stehenden Kraftstoffs – beispielsweise
im Bereich von 1500 bar – durch
die mäanderförmig gebildete
elektrische Verbindung ist weitgehend ausgeschlossen.
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Der durch den Kraftstoff auf die
Wandung 10 bzw. den Drucksensor 1 ausgeübten Druck
ist durch einen Pfeil mit der Bezeichnung P angedeutet. Es wird
deutlich, daß der
keilförmig
ausgebildete Drucksensor 1 durch den Druck, der zu messen
ist, in den durch die Wandung 10 gebildeten Sitz eingepreßt wird
und durch das Einpressen in Verbindung mit der äußeren Gestaltung des Sensors 1 und
der Wandung 10 eine formschlüssige dichtende Verbindung
geschaffen wird.
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Der Drucksensor 1 zeigt
einen typischen Durchmesser von wenigen Millimetern. Dadurch ist es
möglich,
den Drucksensor 1 in einer Wandung 10 einer Einspritzpumpe,
einer Zuleitung, der Common-Rail oder auch in der Einspritzpumpe
selbst anzuordnen. Durch die Anordnung der PZT-Anordnung 3 mit
den zugeordneten Elektroden 4a, 4b auf der Kraftstoffseite
ist es möglich,
den Kraftstoffdruck bzw. die Druckveränderung unmittelbar zu messen,
ohne daß es
auf ein Verbiegen der Keramikschichten 2 ankommt. Dieses
direkte Messen gewährleistet
ein sehr differenziertes und sicheres piezoelektrisches Signal.
Das gemessene und ausgewertete piezoelektrische Signal ermöglicht ein
sehr differenziertes Bild des Drucks wie auch der zeitlichen Entwicklung des
Druckes. Die beschriebene Sensoranordnung gewährleistet eine dauerhafte und
aussagekräftige Sensierung
der Druckverhältnisse
in dem Einspritzsystem.
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Der dargestellte Drucksensor 1 kann
als eigenständiges
Modul separat hergestellt werden und auf einfache Weise in entsprechende
Ausnehmungen eingesetzt werden. Ein einfaches und kostengünstiges
Austauschen oder Ersetzen derartiger Drucksensoren wird dadurch
kostengünstig
ermöglicht.