DE1005147B - Vefahren zur Herstellung eines keramischen Dielektrikums aus Titandioxyd - Google Patents
Vefahren zur Herstellung eines keramischen Dielektrikums aus TitandioxydInfo
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Description
- Verfahren zur Herstellung eines keramischen Dielektrikums aus Titandioxyd Es sind keramische Dielektrika aus Titandioxyd bekannt, die nach dem üblichen, keramischen Sin.terungsverfahren hergestellt werden. Es sind auch besondere Verfahrensvorschriften bekannt, gemäß denen bei Titandioxydkörpern., die nach dem Sintern niedriges Titanoxyd enthalten, das für den. dielektrischen Verlustfaktor von Nachteil ist, durch eine entsprechende Sauerstoffbehandlung eine Rückbildung zu Titandioxyd erreicht wird. Das Minimum der Schichtdicke der Formteile, welche das keramische Dielektrikum bilden, ist dabei durch die keramischen Arbeitsverfahren gegeben, und liegt günstigstenfalls bei einigen zehntel Millimetern. Zur Erzielung hoher Kapazitäten., z. B. in der Kondensatortechnik, ist es jedoch erwünscht, zu noch geringeren Schichtstärken zu kommen. Es ist ferner bekannt, daß niedere Titanoxyde Halbleiter darstellen und. eine relativ gute Leitfähigkeit haben. Dasselbe gilt auch für die Verbindung der Titannitride, Titancarbide und Titanboride. Man hat beispielsweise Widerstandskörper aus Titandioxyd hergestellt, die aus einem leitenden., eine Pero@wslcitstruktur aufweisenden Erdalkalititanat bestehen. Hierbei wurde Titandioxyd unter sauerstoffentziehenden Bedingungen gebrannt, um die höheren Oxyde in die leitenden niederen Oxyde überzuführen.
- Die Erfindung bezieht sich nun: auf ein Verfahren zur Herstellung eines keramischen. Dielektrikums aus Titandioxyd, insbesondere eines Konden.satordielektrikurns geringer Schichtstärke, bei dem erfindungsgemäß auf einer elektrisch leitenden Titanverbindung mit Hilfe an sich bekannter chemischer Reaktionen, wie Oxydation oder Hydrolyse, eine dünne Schicht Titandioxyd als Die.lektrikum erzeugt wird. Beispielsweise kann in sauerstoffreicher Atmosphäre: bzw. durch Hydrolyse in wasserdampf- und/oder sauerstoffreicher Atmosphäre ein hochwertiges Dielektrilzum erzeugt werden. Dieser Reaktionsprozeß geht verhältnismäßig langsam vor sich, so daß die dabei entstehende Schicht von T itandioxyd in ihrer Dicke gesteuert werden kann. Es ist somit möglich, sehr dünne Schichten eines keramischen Dielektrikums aus Ti 02 auf eine Schicht aus leitenden Titanverbindungen aufzubringen. Der leitende Teil dient hierbei gleichzeitig als leitender Belag. Durch eine an: sich bekannte, in umgekehrter Richtung laufende chemische Reaktion: kann die Oberfläche der Titandioxydschicbt wieder leitend gemacht werden. Durch mehrfache Wiederholung der genannten Reaktionsvorgänge kann man zu mehreren Schichten aus abwechselnd elektrisch leitendem und isolierendem Material kommen.
Claims (4)
- PATENTANSPRÜCHE: 1. Verfahren zur Herstellung eines keramischen Dielektrikums aus Titandioxyd, insbesondere eines Kondensatordielektrikums geringer Schichtstärke, dadurch gekennzeichnet, daß auf einer elektrisch leitenden Titanverbindung mit Hilfe an sich bekannter chemischer Reaktionen, wie Oxydation oder Hydrolyse, eine dünne Schicht Titandioxyd als Dielektrikum erzeugt wird.
- 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als elektrisch leitende Titanverbin, dungen Titannitrid, Titanborid, Titancarbid oder ähnliche Titanverbindungen, insbesondere: auch niedere Titanoxyde verwendet werden..
- 3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekenn, zeichnet, daß auf einer elektrisch leitenden Titanverbindung durch Steuerung der Oxydation und/ oder Hydrolyse wahlweise Schichten verschiedener Dicke, insbesondere sehr dünne Schichten (z. B. kleiner als 0,3 mm) aus Titandioxyd erzeugt werden.
- 4. Verfahren nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß auf der nach Anspruch 1 erzeugten Dielektrikumschicht durch einen an sich bekannten rückläufigen Reaktionsprozeß erneut eine Schicht aus elektrisch leitenden Titanverbindungen erzeugt wird, so daß das Dielektrikum zwischen zwei Schichten aus leitenden. Titanverbindungen liegt. In Betracht gezogene Druckschriften: Deutsche Patentschriften Nr. 660 971, 712 538; schweizerische Patentschrift Nr. 208 423.
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|---|---|---|---|
| DES28036A DE1005147B (de) | 1952-04-08 | 1952-04-08 | Vefahren zur Herstellung eines keramischen Dielektrikums aus Titandioxyd |
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| DE1005147B true DE1005147B (de) | 1957-03-28 |
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ID=7479313
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DES28036A Pending DE1005147B (de) | 1952-04-08 | 1952-04-08 | Vefahren zur Herstellung eines keramischen Dielektrikums aus Titandioxyd |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE1005147B (de) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE660971C (de) * | 1936-11-20 | 1938-06-08 | Patra Patent Treuhand | Widerstandskoerper mit positivem Temperaturkoeffizienten des Widerstandes |
| CH208423A (de) * | 1937-04-06 | 1940-01-31 | Philips Nv | Verfahren zur Herstellung eines Gegenstandes aus keramischem Isolierstoff. |
| DE712538C (de) * | 1934-07-14 | 1941-10-21 | Patra Patent Treuhand | Verfahren zur Herstellung von elektrischen Widerstandskoerpern mit negativem Temperaturkoeffizienten aus isolierenden Oxyden und leitenden niederen Oxyden |
-
1952
- 1952-04-08 DE DES28036A patent/DE1005147B/de active Pending
Patent Citations (3)
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|---|---|---|---|---|
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| CH208423A (de) * | 1937-04-06 | 1940-01-31 | Philips Nv | Verfahren zur Herstellung eines Gegenstandes aus keramischem Isolierstoff. |
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