DE10049019A1 - Verfahren und Vorrichtung zur drahtlosen Messung wenigstens eines aus einer Drehbewegung eines Objekts, insbesondere Rotors resultierenden Parameters - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zur drahtlosen Messung wenigstens eines aus einer Drehbewegung eines Objekts, insbesondere Rotors resultierenden ParametersInfo
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Abstract
Ein Verfahren und eine Vorrichtung zur drahtlosen Messung wenigstens eines aus einer Drehbewegung eines Objektes 4, insbesondere Rotors, resultierenden Parameters, bei dem ein elektrisches Abfragesignal von einer Abfrageeinrichtung 1 zu einem Objekt 4 ausgesendet wird und von dem Objekt 4 Antwortsignale zurückgesendet werden, wobei dem Objekt 4 wenigstens ein energiespeicherndes Sensorelement 5 zugeordnet ist, das über Funk eingespeiste Abfragesignale moduliert und als Antwortsignale zur Abfrageeinrichtung 1 zurücksendet, wobei aus dem sinusförmigen Verlauf der Laufzeiten und/oder Phasenlagen der Antwortsignale wenigstens ein aus der Drehbewegung des Objektes 4 resultierender Parameter, beispielsweise Drehzahl, Drehwinkel und dergleichen, ermittelt wird.
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren nach dem Oberbegriff des
Patentanspruches 1 und eine Vorrichtung nach dem Oberbegriff
des Patentanspruches 7.
Bei der Messung von aus einer Drehbewegung eines Objektes,
insbesondere Rotors resultierenden Parameters, wie beispiels
weise Drehzahl, Beschleunigung, Schwingungen aufgrund unrun
den Laufs und dergleichen, werden aktive Sensoren auf Halb
leiterbasis, welche an eine Stromversorgungsquelle ange
schlossen werden müssen, zum Einsatz gebracht.
Aus der Funksensorik sind Sensorelemente bekannt, welche ein
elektromagnetisches Abfragesignal zwischenspeichern und bei
der Zwischenspeicherung in ein akustisches Signal in Form von
Oberflächenwellen wandeln. Solche Bauelemente kommen in vie
len Variationen als funkabfragbare oder selbstsendende Senso
ren, Identifikationsmarken oder Filter zum Einsatz. Ausfüh
rungsformen nach dem Stand der Technik sind zum Beispiel in
DE 198 60 058 C1, EP 0 746 775 B1, EP 0 655 701 B1, EP 0 651 344 B1,
EP 0 619 906 B1, US 5 691 698, US 5 841 214, US 5 966 008,
US 5 691 698, US 5 910 779, US 6 029 324 und US 6 084 503
offenbart.
Das akustische Signal kann mit einer vorgegebenen Grundverzö
gerung und/oder Frequenz individuell modifiziert werden. Das
modifizierte Signal wird als codiertes elektromagnetisches
Antwortsignal zur Abfragestation, welche das Abfragesignal
gesendet hat, zurückgesendet.
Ein derartiges OFW-Bauelement arbeitet passiv, d. h. es benö
tigt keine eigene Energiequelle bzw. Stromversorgung. Der Energiebedarf
wird über das durch den Empfang eingespeicherte
elektromagnetische Abfragesignal gedeckt. Derartige als pas
sive Transponder arbeitende OFW-Bauelemente kommen bei der
Temperatur-, Druck- oder Drehmomentmessung zum Einsatz. Zur
Modulation des akustischen Oberflächenwellensignals dienen
unterschiedliche Reflektor- oder Resonatorstrukturen auf dem
piezoelektrischen Substrat des OFW-Bauelements.
Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren und eine Vorrich
tung zur drahtlosen Messung wenigstens eines aus einer Dreh
bewegung eines Objektes, insbesondere Rotors resultierenden
Parameters mit Hilfe eines einfachen Messsystems zu schaffen.
Diese Aufgabe wird beim erfindungsgemäßen Verfahren durch die
kennzeichnenden Merkmale des Patentanspruches 1 und bei der
Vorrichtung durch die kennzeichnenden Merkmale des Patentan
spruches 7 gelöst.
Die Unteransprüche beinhalten vorteilhafte Weiterbildungen
der Erfindung.
Bei der Erfindung wird zur drahtlosen Messung des wenigstens
einen aus einer Drehbewegung des Objektes, insbesondere Ro
tors, resultierenden Parameters ein elektromagnetisches Ab
fragesignal von einem bestimmten Sendeort zu dem rotierenden
Objekt ausgesendet. Am rotierenden Objekt ist ein energie
speicherndes Sensorelement vorgesehen, in welchem ein über
Funk eingespeistes Abfragesignal moduliert und als Antwort
signal am Sendeort empfangen wird. Aus dem sinusförmigen Ver
lauf der Laufzeiten und/oder der Phasenlagen der Antwortsig
nale wird der aus der Drehbewegung des Objektes resultierende
Parameter ermittelt. Hierbei kann aus der Frequenz bzw. der
Periodendauer des sinusförmigen Verlaufs der Laufzeit
und/oder der Phasenlage der Antwortsignale die Drehzahl des
Objektes ermittelt werden. Die jeweilige Position im sinus
förmigen Verlauf der Laufzeiten und/oder Phasenlagen der Antwortsignale
enthält ferner eine Information über die jeweili
ge Drehwinkellage des sich drehenden Objektes bzw. Rotors.
Ferner kann aus der Änderung der Frequenz des sinusförmigen
Verlaufs der Laufzeit und/oder der Phasenlage der Antwortsig
nale die Beschleunigung oder Abbremsung der Drehbewegung des
Objektes bzw. Rotors ermittelt werden. Über die Abweichung
vom sinusförmigen Verlauf ist generell eine Bewegung der
Drehachse messbar, wie sie z. B. bei gefedert gelagerten Ach
sen (beispielsweise bei Autoreifen) auftritt. Die Bestimmung
der Bewegung, z. B. die Einfederung ist hierdurch möglich.
Auch als Drehwinkelsensör z. B. bei einem Antiblockiersystem
kann der Sensor verwendet werden. Ferner kann die Detektion
von Temperatur, Kräften, Druck und Identifikation erreicht
werden. Verzögerungs-/Beschleunigungsdaten können ebenfalls
ermittelt werden.
Ferner kann aus einer Abweichung vom sinusförmigen Verlauf
der Laufzeit und/oder der Phasenlage der Antwortsignale eine
Instabilität der Drehbewegung des Objektes bzw. Rotors ermit
telt werden. Diese Instabilität kann aus Lagerschwingungen
oder durch Unwucht bewirkte Schwingungen resultieren. Durch
entsprechende Auswertung dieser Signale kann daher beispiels
weise die Unwucht des Rotors bzw. drehenden Objektes ermit
telt werden.
Ferner können die Antwortsignale eines oder mehrerer passiver
Referenz-Sensorelemente ausgewertet werden. Hierbei haben die
Empfangs-/Sendeantennen der einzelnen passiven Sensorelemente
eine bestimmte Positionierung bzw. räumliche Anordnung zuein
ander. Die Antwortsignale besitzen bevorzugt eine individuel
le Codierung.
Als Sensorelemente eignen sich bevorzugt OFW-Bauelemente. Es
können jedoch auch elektrische oder mechanische Schwingkrei
se, wie beispielsweise Quarz, Volumenschwinger oder LC-
Schwingkreise zum Einsatz kommen. Beim Einsatz von energiespeichernden
Sensorelementen, wie beispielsweise OFW-
Bauelementen wird die Energie im Bauelement so lange gespei
chert, bis Umgebungsechos des Abfragesignals so weit abge
klungen sind, dass die vom Sensorelement abgegebenen Antwort
signale relativ schwach sein können und dennoch vom Empfänger
der Abfrageeinrichtung detektiert werden können. Die Antwort
signale sind daher von den Umgebungsechos zeitlich getrennt.
Für die Durchführung der Messung ist keine direkte Sichtver
bindung zwischen der Abfragestation und dem Sensorelement er
forderlich. Ferner genügen geringe Anforderungen an die Jus
tierung.
Vorzugsweise kann das Messverfahren und die Messvorrichtung
bei der Messung an Achsen, Wellen, Turbinen, insbesondere von
Elektromotoren, rotierenden Teilen, insbesondere von Kraft
fahrzeugen und anderen Rotoren zur Anwendung kommen.
Anhand der Figuren wird an Ausführungsbeispielen die Erfin
dung noch näher erläutert.
Es zeigt
Fig. 1 schematisch die Messanordnung eines ersten Ausfüh
rungsbeispiels;
Fig. 2 schematisch die Messanordnung eines zweiten Ausfüh
rungsbeispiels;
Fig. 3 ein Blockschaltbild für eine Abfragestation, von
welcher die Abfragesignale, insbesondere Abfrageim
pulse ausgesendet werden und die Antwortsignale,
insbesondere Antwortimpulse empfangen werden sowie
die Antwortsignale ausgewertet werden;
Fig. 4 schematisch den Aufbau eines Sensorelementes; und
Fig. 5 den sinusförmigen Verlauf der Laufzeiten bzw. Pha
senlagen der empfangenen Antwortsignale auf einem
Objekt.
Auf einem um eine Drehachse 17 drehbaren Objekt 4 bzw. Rotor,
von welchem in den Fig. 1 und 2 ein Objektteil dargestellt
ist, befindet sich ein energiespeicherndes Sensorelement 5,
beispielsweise in Form eines Oberflächenwellen(OFW)-
Bauelements, wie es in der Fig. 4 schematisch dargestellt
ist. Eine Abfrageeinrichtung, welche einen Sender 2 und einen
Empfänger 3 (Fig. 3) aufweist, sendet über eine Sende-
/Empfangsantenne 9 Abfragesignale, insbesondere Abfrageimpul
se aus. Diese werden von einer Empfangs-/Sendeantenne 6 am
jeweiligen Sensorelement 5 empfangen. Bei der Drehung des Ob
jektes 4 um die Drehachse 17 ändert sich der Abstand der Emp
fangs-/Sendeantenne 6 des Sensorelements 5 zur Abfrageein
richtung 1. Mit der Änderung dieses Abstandes ändern sich
auch die Phasenlagen und/oder Signallaufzeiten der Antwort
signale. Dies wird deutlich aus den in Fig. 1 dargestellten
beiden Positionen des Objektes 4 auf einer Kreisbahn 19, auf
welcher die Empfangs-/Sendeantenne 5 umläuft. Bei der Rotati
on des Objektes 4 um die Drehachse 17 ergibt sich als Mess
größe für die Signallaufzeiten bzw. Phasenlagen der Antwort
signale ein sinusförmiger Verlauf über der Zeit, wie er in
der Fig. 5 dargestellt ist. Aus diesem sinusförmigen Verlauf
lässt sich die Drehzahl des Objektes 4 bzw. des Rotors
bestimmen. Eine Umdrehung des Objektes 4 entspricht einer Pe
riodendauer des sinusförmigen Verlaufs der Messgröße. Aus der
Änderung der Frequenz bzw. Periodendauer des sinusförmigen
Verlaufs der Signallaufzeit bzw. Phasenlage der Antwortsigna
le lässt sich die Beschleunigung oder Abbremsung der Drehbe
wegung des Objektes 4 bzw. Rotors ermitteln. Ferner können
aus der Abweichung des Verlaufs der Messgröße von der idealen
Sinus-Form (Klirrfaktor) Schwingungen des Rotors, die aus
Laufruheabweichungen, beispielsweise Lagerschwingungen oder
aus einer Rotorunwucht resultieren, erfasst werden.
Gemäß Fig. 3 kann an den Empfänger 3 der Abfrageeinrichtung 1
ein Sinusdetektor 14 angeschlossen sein. Der Sinusdetektor 14
erfasst den Verlauf der Signallaufzeiten und/oder der Phasen
lagen der Antwortsignale über der Zeit in einer Sinuskurve,
wie sie in der Fig. 5 dargestellt ist. An den Sinusdetektor
14 ist eine Auswerteeinrichtung 8 angeschlossen, welche eine
Frequenzmesseinrichtung 15 aufweisen kann. Diese Frequenz
messeinrichtung leitet aus der Periodendauer des sinusförmi
gen Verlaufs der Messgröße (Fig. 5) die Drehzahl des sich um
die Drehachse 17 drehenden Objektes 4 ab.
Die Auswerteeinrichtung 8 kann ferner einen Frequenzdetektor
10 aufweisen, welcher eine Frequenzänderung erfasst. Hieraus
lässt sich eine Beschleunigung oder Abbremsung der Drehung
des Objektes 4 ableiten.
Ferner kann die Auswerteeinrichtung 8 einen Detektor 11 auf
weisen, der zur Erfassung einer Abweichung vom sinusförmigen
Verlauf der Laufzeiten und/oder Phasenlagen der Antwortsigna
le dient. Hieraus lässt sich eine Schwingung des sich drehen
den Objektes erfassen. Diese Schwingung kann aus Lagerschwin
gungen und/oder einer Rotorunwucht des sich drehenden Objek
tes 4 resultieren. Durch entsprechende Kalibrierung kann aus
einer Abweichung vom sinusförmigen Verlauf eine Rotorunwucht
gegebenenfalls bestimmt werden.
Beim Ausführungsbeispiel der Fig. 2 sind ein oder mehrere
passive Referenz-Sensorelemente 12, 13 vorgesehen. Das Refe
renz-Sensorelement 12 befindet sich auf dem drehbaren Objekt
4 und nimmt gegenüber dem Sensorelement 5 eine bestimmte Win
kelposition auf dem drehbaren Objekt 4 bzw. Rotor ein. Die
Empfangs-/Sendeantenne 6 des Sensorelementes 5 bewegt sich
auf einer Kreisbahn 20 und die Empfangs-/Sendeantenne 6 des
Referenz-Sensorelementes 12 bewegt sich auf einer davon ver
schiedenen Kreisbahn 21. Das Referenz-Sensorelement 13 befin
det sich ortsfest außerhalb des drehbaren Objektes 4. Auch
die beiden Referenz-Sensorelemente 12, 13 besitzen Empfangs-
/Sendeantennen 6. Es kann ein Referenz-Sensorelement, das am
drehbaren Objekt 4 vorgesehen ist oder außerhalb des drehba
ren Objektes 4 ortsfest angeordnet ist, vorgesehen sein. Es
können jedoch auch mehrere Referenz-Sensorelemente am Objekt
4 und außerhalb des Objektes 4 vorgesehen sein. Für die Posi
tionsbestimmung ist die jeweilige Position der Empfangs-
/Sendeantenne bzw. der -antennen 6 wichtig. Die Lage dieser
Antennen wird bestimmt.
Bei dem in der Fig. 2 dargestellten Ausführungsbeispiel kann
der Drehwinkel des Objektes 4 bezüglich des jeweiligen Refe
renz-Sensorelementes direkt bestimmt werden. Ferner können
Korrelationsverfahren in der Signalauswertung verwendet wer
den, wobei die Messgenauigkeit verbessert wird und Funkka
naleinschlüsse reduziert werden können.
Bei den Ausführungsbeispielen ist es von Vorteil, wenn die
jeweiligen Empfangs-/Sendeantennen 6 der energiespeichernden
Sensorelemente 5, 12, 13 eine feste räumliche Zuordnung zu
einander aufweisen.
Der jeweilige Drehwinkel des Objektes 4 lässt sich auch aus
dem sinusförmigen Verlauf der Messgröße (Fig. 5) ermitteln.
In der Fig. 5 ist eine Periode (2 π), welche einer Umdrehung
des Objektes 4 bzw. Rotors entspricht, dargestellt. Eine je
weilige Position entlang der Abszisse entspricht einem be
stimmten Drehwinkel.
In der Fig. 4 ist ein Ausführungsbeispiel für ein energie
speicherndes als Transponder ausgebildetes Sensorelement dar
gestellt. Dieses Sensorelement 5 besitzt auf einem piezo
elektrischen Substrat 18 einen Interdigitalwandler 16, in
welchen über die Empfangs-/Sendeantenne 6 von der Abfrageein
richtung 1 gesendete Abfrageimpulse eingeleitet werden. Diese
Signale werden in eine sich im wesentlichen an der Oberflä
che des piezoelektrischen Substrats 18 ausbreitende mechani
sche (akustische) Oberflächenwelle gewandelt. Diese Oberflächenwelle
(OFW) wird in einer Modulationseinrichtung 7 modu
liert. Die Modulationseinrichtung 7 kann aus unterschiedli
chen Reflektorstrukturen oder auch aus durch Faltung gebilde
te Resonatorstrukturen bestehen. Die Modulationseinrichtung 7
bildet eine reflektive Verzögerungsleitung. Ferner kann sie
durch dispersive oder gechirpte Strukturen die Frequenz des
akustischen Oberflächenwellensignals beeinflussen. Das re
flektierte Oberflächenwellensignal wird vom Interdigitalwand
ler 16 in ein elektromagnetisches Hochfrequenz-Antwortsignal
zurückgewandelt und über die Empfangs-/Sendeantenne 6 zur Ab
frageeinrichtung 1 zurückgesendet.
Das gepulste HF-Signal kann beispielsweise mit einer Frequenz
von 2,45 GHz, 433,92 MHz oder sonstigen freigegebenen Funk
frequenzen angeregt werden. Das modulierte Antwortsignal wird
mit der jeweiligen vom Sensorelement 5 bzw. von den Sensor
elementen 5, 12, 13 bei der Modulation bewirkten zeitlichen
Verzögerung innerhalb welcher Umgebungsechos des Abfragesig
nals abgeklungen sind, zur Abfrageeinrichtung 1 zurückgesen
det und von der Sende-/Empfangsantenne 9 empfangen. Im Falle
mehrerer Sensorelemente, insbesondere zusätzlicher Referenz-
Sensorelemente 12, 13 kann jedem Sensorelement durch unter
schiedliche Modulation eine bestimmte Codierung zugeordnet
sein, welche den jeweiligen Antwortsignalen aufgeprägt ist.
Hierdurch ist bei der Auswertung der Antwortsignale in der
Auswerteeinrichtung 8 eine räumliche Zuordnung möglich.
Die Laufzeiten und/oder Phasenlagen aufeinanderfolgender von
jeweiligen Abfrageimpulsen verursachter Antwortsignale ändern
sich mit einem sinusförmigen Verlauf (Fig. 5) während der
Drehung des Objektes 4 aufgrund der bei der Kreisbewegung
sich ändernden Abstände der jeweiligen Empfangs-/Sendeantenne
6. Wie oben erläutert, kann dieses Messsignal entsprechend
ausgewertet werden.
Claims (13)
1. Verfahren zur drahtlosen Messung wenigstens eines aus ei
ner Drehbewegung eines Objektes resultierenden Parameters,
bei dem ein elektromagnetisches Abfragesignal von einem be
stimmten Sendeort zu dem Objekt ausgesendet wird und von dem
Objekt Antwortsignale zurückgesendet werden,
dadurch gekennzeichnet, dass in einem dem
Objekt zugeordneten energiespeichernden Sensorelement das ü
ber Funk eingespeiste Abfragesignal moduliert wird und als
Antwortsignal am Sendeort empfangen wird und dass aus dem si
nusförmigen Verlauf der Laufzeiten und/oder der Phasenlagen
der Antwortsignale der wenigstens eine aus der Drehbewegung
des Objektes resultierende Parameter ermittelt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, dass
aus der Frequenz des sinusförmigen Verlaufs der Laufzeiten
und/oder Phasenlagen der Antwortsignale die Drehzahl des Ob
jektes ermittelt wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet, dass
aus der Änderung der Frequenz des sinusförmigen Verlaufs der
Laufzeiten und/oder Phasenlagen der Antwortsignale die Be
schleunigung oder Abbremsung der Drehbewegung des Objektes
ermittelt wird.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3,
dadurch gekennzeichnet, dass
die Antwortsignale eines oder mehrerer passiver Referenz-
/Sensorelemente zusätzlich empfangen und ausgewertet werden.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4,
dadurch gekennzeichnet, dass
aus einer jeweiligen Abszissenposition des sinusförmigen Ver
laufs der Laufzeiten und/oder Phasenlagen der Antwortsignale
der entsprechende Drehwinkel des Objektes bestimmt wird.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5,
dadurch gekennzeichnet, dass
aus Abweichungen vom sinusförmigen Verlauf der Laufzeiten
und/oder Phasenlagen der Antwortsignale Schwingungen des sich
drehenden Objektes erfasst werden.
7. Vorrichtung zur drahtlosen Messung wenigstens eines aus
einer Drehbewegung eines Objektes, insbesondere Rotors resul
tierenden Parameters gekennzeichnet durch
eine einen Sender (2) und Empfänger (3) für elektromag netische Wellen aufweisenden Abfrageeinrichtung (1);
wenigstens ein dem Objekt (4) zugeordnetes energiespei cherndes Sensorelement (5), in welches das elektromagne tisches Abfragesignal mittels einer Empfangs- /Sendeantenne (6) einleitbar ist;
eine Modulationseinrichtung (7) im Sensorelement (5), welche das Abfragesignal zur Bildung eines Antwortsig nals moduliert, wobei
das Antwortsignal über die Empfangs-/Sendeantenne (6) zum Empfänger (3) zurückgesendet wird; und
einen an den Empfänger (3) angeschlossenen Sinusdetektor (14), welcher den sinusförmigen Verlauf der Laufzeiten und/oder Phasenlagen der Antwortsignale erfasst; und
eine an den Sinusdetektor (14) angeschlossene Auswerte einrichtung (8), welche aus dem sinusförmigen Verlauf den wenigstens einen aus der Drehbewegung des Objektes (4) resultierenden Parameter ermittelt.
eine einen Sender (2) und Empfänger (3) für elektromag netische Wellen aufweisenden Abfrageeinrichtung (1);
wenigstens ein dem Objekt (4) zugeordnetes energiespei cherndes Sensorelement (5), in welches das elektromagne tisches Abfragesignal mittels einer Empfangs- /Sendeantenne (6) einleitbar ist;
eine Modulationseinrichtung (7) im Sensorelement (5), welche das Abfragesignal zur Bildung eines Antwortsig nals moduliert, wobei
das Antwortsignal über die Empfangs-/Sendeantenne (6) zum Empfänger (3) zurückgesendet wird; und
einen an den Empfänger (3) angeschlossenen Sinusdetektor (14), welcher den sinusförmigen Verlauf der Laufzeiten und/oder Phasenlagen der Antwortsignale erfasst; und
eine an den Sinusdetektor (14) angeschlossene Auswerte einrichtung (8), welche aus dem sinusförmigen Verlauf den wenigstens einen aus der Drehbewegung des Objektes (4) resultierenden Parameter ermittelt.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7,
dadurch gekennzeichnet, dass
die Auswerteeinrichtung (8) eine Frequenzmesseinrichtung (15)
zur Ermittlung der Drehzahl des sich drehenden Objektes (4)
aus der Frequenz des sinusförmigen Verlaufs der Laufzeit
und/oder der Phasenlage der Antwortsignale aufweist.
9. Vorrichtung nach Anspruch 8,
dadurch gekennzeichnet, dass
die Auswerteeinrichtung (8) ferner einen Frequenzdetektor
(10) zur Erfassung einer Frequenzänderung für die Ermittlung
einer Beschleunigung oder Abbremsung der Drehung des Objektes
(4) aufweist.
10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 9,
dadurch gekennzeichnet, dass
die Auswerteeinrichtung (8) einen weiteren Detektor (11) zur
Erfassung einer Abweichung vom sinusförmigen Verlauf der
Laufzeiten und/oder Phasenlagen der Antwortsignale zur Erfas
sung einer Schwingung des sich drehenden Objektes aufweist.
11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 10,
dadurch gekennzeichnet, dass
am drehbaren Objekt (4) und/oder außerhalb des drehbaren Ob
jektes (4) ein oder mehrere passive Referenz-Sensorelemente
(12, 13) vorgesehen sind, wobei die jeweiligen Antwortsignale
der passiven Sensorelemente (5, 12, 13) individuell codiert
sind.
12. Vorrichtung nach Anspruch 11,
dadurch gekennzeichnet, dass
die Empfangs-/Sendeantenne (6) der passiven Sensorelemente
(5, 12, 13) eine feste räumliche Anordnung zueinander aufwei
sen.
13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 12,
dadurch gekennzeichnet, dass
die passiven Sensorelemente (5, 12, 13) als OFW-
Sensorelemente ausgebildet sind.
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