DE10031687A1 - Linearbewegungseinrichtung mit Laser-Positionsmesseinrichtung - Google Patents
Linearbewegungseinrichtung mit Laser-PositionsmesseinrichtungInfo
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Abstract
Eine Linearbewegungseinrichtung (10) umfasst ein auf einer Basis (14) angeordnetes Führungselement (16) mit einer Längsachse (A), einen auf dem Führungselement (16) in Richtung dessen Längsachse (A) längsbeweglich abgestützten Läufer (16) und eine die Position des Läufers (16) relativ zum Führungselement (12) erfassende Positionsmesseinrichtung (18) mit einer Lasereinheit (20) und einem am Läufer (16) angeordneten Reflektor (24). Erfindungsgemäß ist der Reflektor (24) am bzw. im Läufer (16) versenkt angeordnet.
Description
Die Erfindung betrifft eine Linearbewegungseinrichtung, umfassend ein auf
einer Basis angeordnetes Führungselement mit einer Längsachse, einen auf
dem Führungselement in Richtung dessen Längsachse längsbeweglich abge
stützten Läufer sowie eine die Position des Läufers relativ zum Führungs
element erfassende Positionsmesseinrichtung mit einer auf der Basis
angeordneten Lasereinheit und einem am Läufer angeordneten Reflektor.
Als Linearbewegungseinrichtungen sind im Stand der Technik Linear
führungseinrichtungen, Wälzkörpergewindetriebe und dergleichen bekannt.
Bei Linearführungseinrichtungen ist dabei üblicherweise das Führungs
element von einer Führungsschiene gebildet, auf welcher ein den Läufer
bildender Führungswagen längsverschieblich geführt ist, wobei der
Führungswagen in einem orthogonal zur Längsachse der Führungsschiene
genommenen Schnitt einen im Wesentlichen U-förmigen Querschnitt auf
weist und sich über eine Mehrzahl von Wälzkörperschleifen rollend auf
Laufbahnen der Führungsschiene abstützt. Bei Wälzkörpergewindetrieben
hingegen fungiert eine Gewindespindel als Führungselement, auf dem eine
den Läufer oder zumindest einen Teil dieses Läufers bildende Gewinde
mutter mittels wenigstens einer Wälzkörperschleife längsverschieblich
geführt ist.
Ferner ist es im Stand der Technik bekannt, derartige Linearbewegungs
einrichtungen mit einer Laser-Positionsmesseinrichtung auszustatten.
Häufige Anwendungsfälle derartiger, beispielsweise interferometrisch
arbeitender Laser-Positionsmesseinrichtungen sind Maßstäbe, z. B. Glas
maßstäbe oder andere körperliche Darstellungen von Längenmaßen, wie
Strichmuster, Lochmuster, Magnetisierungsmuster mit abwechselnden
magnetischen Nord- und Südpolen, Ätzmuster, Verzahnungsmuster oder
Leiterdrahtmuster in Bearbeitungsmaschinen hinsichtlich ihrer Kalibrierung
oder in Messbänken. Auch bei der dynamischen Steigungsfehlermessung an
Gewindespindeln von Wälzkörpergewindetrieben, insbesondere Kugel
gewindetrieben, wird die Lasertechnik zur Positionsermittlung eingesetzt. Bei
allen diesen Anwendungsbeispielen ist regelmäßig auf dem bewegten Teil
ein Reflektor in Form einer Reflexionsfolie aufgeklebt, welche die
entsprechenden Signale zu der stationären Lasereinheit zurückwirft.
Gegenüber anderen bekannten Positionsmesseinrichtungen, beispielsweise
optischen, kapazitiven, induktiven oder magnetischen Positionsmess
einrichtungen, bei denen in der Regel an dem feststehendem Teil, z. B. der
Führungsschiene einer Linearbewegungseinheit, eine Mess-Skala und an
dem bewegten Teil, z. B. dem Führungswagen der Linearbewegungseinheit,
ein Messkopf angebracht werden müssen, hat die Verwendung der Laser
technik den Vorteil, dass der relativ hohe Bearbeitungsaufwand, insbe
sondere für das hochgenaue Herstellen sowie Positionieren der Mess-Skala
am bzw. im Führungselement entfällt. Außerdem können Messfehler, die bei
den anderen bekannten Positionsmesseinrichtungen durch die thermische
Ausdehnung von Führungselement, Mess-Skala oder ihrer Abdeckung
unvermeidlich entstehen, vermieden werden.
Aufgrund des Einsatzes der Laser-Positionsmesseinrichtung, die beispiels
weise auf dem Prinzip der Laufzeitmessung oder dem Prinzip interfero
metrischer Messung beruht, können die Einflüsse von thermischen Ausdeh
nungen und dergleichen ohne weiteres ausgeschlossen werden. Messlängen
von bis zu 40 m stellen dabei kein grundsätzliches Problem dar. Das
erfindungsgemäße Prinzip kann jedoch auch bei Minischienen eingesetzt
werden. Bei Wälzkörpergewindetrieben sitzt die Messeinrichtung zentral an
der Gewindespindel. Dadurch kann ein möglicher Messfehler in einfacher
Weise mit einer einzigen Positionsmesseinrichtung verhindert werden, was
bislang nur mittels zweier derartiger Messeinrichtungen möglich war.
Jedoch hat sich insbesondere bei rauhen Umgebungsbedingungen, wie sie
häufig bei Bearbeitungsmaschinen, z. B. infolge des Flugs von Spänen oder
des Spritzens von Kühlschmiermittel, herrschen, gezeigt, dass der aufge
klebte Reflektor schnell verschmutzt oder sich von dem Läufer ablöst.
Außerdem besteht stets die Gefahr einer Beschädigung des Reflektors durch
mechanische Einwirkungen.
Weitere Nachteile der Lösungen des Standes der Technik sind in den hohen
Bereitstellungskosten, der geringen Ortsauflösung und dem hohen
Verschleiß zu sehen. Darüber hinaus können die bekannten Laser-Positions
messeinrichtungen nicht bei Linearbewegungseinrichtungen beliebiger
Baugröße eingesetzt werden, da sie der jeweiligen Länge angepaßt werden
müssen.
Demgegenüber besteht die Aufgabe der Erfindung darin, eine Linear
bewegungseinrichtung der eingangs genannten Art so auszubilden, dass die
Störanfälligkeit der Laser-Positionsmesseinrichtung verringert wird.
Zur Lösung dieser Aufgabe wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, den
Reflektor am bzw. im Läufer versenkt anzuordnen. Durch die erfindungs
gemäße versenkte Anordnung kann der Reflektor in einfacher Weise vor
mechanischen Einflüssen geschützt werden, so dass er im günstigstens Fall
über die gesamte Lebensdauer der Linearbewegungseinrichtung nicht ersetzt
zu werden braucht. Auch besteht durch die erfindungsgemäße Anordnung
ein hinreichender Schutz des Reflektors gegen Verunreinigungen, die
während des Betriebs der mit der Linearbewegungseinrichtung ausge
rüsteten Maschine auftreten können.
Der Reflektor kann in einer Ausnehmung angeordnet sein, welche in einer,
vorzugsweise zur Längsachse des Führungselements orthogonal verlaufen
den, Endfläche des Läufers vorgesehen ist. Unabhängig davon, ob die
Ausnehmung ein Sackloch ist oder wenigstens eine zur Längsrichtung im
Wesentlichen parallel verlaufende offene Seite aufweist, kann die
Ausnehmung bereits während der Herstellung des Läufers oder auch erst
nachträglich in diesen eingebracht werden. Die dauerhafte Fixierung des
Reflektors in dieser Ausnehmung kann durch Kleben, Schweißen oder auf
jede andere geeignete Art und Weise erfolgen.
Ferner besteht die Möglichkeit, den Reflektor beim Herstellungsprozess des
Läufers mit zu integrieren. Diese Vorgehensweise bietet sich insbesondere
für den Fall an, dass der Läufer als Guss- oder Spritzgussteil aus Kunststoff
gefertigt ist, beispielsweise faserverstärktem Kunststoff, wie glasfaser
verstärktem Kunststoff (GFK) oder kohlefaserverstärktem Kunststoff (CFK).
Dasselbe gilt auch dann, wenn auf den für die Anordnung des Reflektors in
Betracht kommenden Flächen des Läufers Teile aus spritzgießfähigem
Material befestigt werden. Dies ist beispielsweise bei Führungswagen von
Linearführungseinrichtungen der Fall, bei denen dieser Führungswagen an
seinen zur Längsachse orthogonal verlaufenden Stirnseiten aus Kunststoff
gefertigte Endkappen aufweist, in welchen die Umlenkteile für die in den
Wälzkörperschleifen umlaufenden Wälzkörper untergebracht sind. Diese
Endkappen können aus Kunststoff gefertigt sein und einen oder mehrere
versenkt angeordnete Reflektoren aufnehmen.
Ein nachträglicher Einbau der erfindungsgemäßen Lasermesseinrichtung ist
durch einfaches Auswechseln bzw. im günstigesten Fall Nachbearbeiten des
Führungswagens möglich. Vorzugsweise kann die Lasereinheit der Laser
messeinrichtung eine Auswerteeinheit zum Auswerten der reflektierten
Laserstrahlung umfassen. Die kann beispielsweise mit einer Steuereinheit
zum Steuern der Verstellbewegung der Linearbewegungseinrichtung kombi
niert sein. Ferner können mit einer einzigen solchen Steuereinheit
gewünschtenfalls mehrere Stellachsen bedient werden. Schließlich ist es
unter Einsatz beispielsweise eines rotierenden Spiegels oder dergleichen
auch möglich, ein und denselben Laser für mehrere Stellachsen zu
verwenden.
Ein weiterer Vorteil ist die einfache Wartung und im Fehlerfall die schnelle
Fehlerbeseitigung. Referenzfahrten sind nicht nötig, da ein Nullwert stets
durch den Sender, d. h. den Laser, gegeben ist. Ferner ist es auch nach dem
Abschalten möglich, eine gewünschte Position am Werkstück immer wieder
exakt anzufahren, d. h. die erfindungsgemäße Positionsmesseinrichtung
bietet eine hohe Wiederholgenauigkeit. Erforderlichenfalls kann eine
Korrektureinheit vorgesehen sein, welche dafür sorgt, dass bei der Auswer
tung der reflektierten Laserstrahlung Umgebungseinflüsse berücksichtigt
werden.
Schließlich ist es auch möglich, die Lasereinheit vor Verschmutzung und
Beschädigung zu schützen. Hierzu kann die Lasereinheit beispielsweise im
Bereich der Austrittsöffnung der Laserstrahlung eine Schutzvorrichtung,
vorzugsweise in Form eines Rohrs, umfassen. Ferner kann auch im Bereich
des Reflektors eine vergleichbare Schutzvorrichtung vorgesehen sein.
Um störende Umgebungseinflüsse verhindern zu können, kann es von Vor
teil sein, durch Veränderung der Streuung des Laserstrahls oder auf andere
geeignete Weise den Laserstrahl derart aufzuweiten, dass sich auf dem
Reflektor kein punktförmiger Laserspot, sondern ein flächiger Laserspot
ergibt.
Insgesamt ist festzuhalten, dass der Reflektor flexibel angebracht werden
kann, so dass auch schwierige Kundenwünsche problemlos erfüllt werden
können.
Wenn im Zusammenhang mit der vorliegenden Erfindung von dem "Läufer"
einer Linearbewegungseinrichtung die Rede ist, so sind hierunter sämtliche
wälz- oder gleitgelagerten Elemente, z. B. Führungswagen, Kugelbüchsen,
Gewindemuttern sowie derartige Führungselemente enthaltende Tische oder
Schlitten zu verstehen. In analoger Weise handelt es sich bei den weiter
oben erwähnten Führungselementen um Profilschienen, Wellen, Gewinde
spindeln oder dergleichen.
Die Erfindung wird im Folgenden an Ausführungsbeispielen an Hand der
beigefügten Zeichnung näher erläutert werden. Es stellt dar:
Fig. 1 eine schematische Seitenansicht einer als Linear
führungseinrichtung ausgebildeten erfindungsgemäßen
Linearbewegungseinrichtung;
Fig. 2a eine Stirnansicht des Läufers dieser Linearführungs
einrichtung in Richtung des Pfeils IIa in Fig. 1;
Fig. 2b eine Draufsicht des Läufers gemäß Fig. 2a in Richtung
des Pfeils IIb in Fig. 1;
Fig. 3a und 3b Ansichten ähnlich Fig. 2a und 2b einer weiteren
Ausführungsform eines Läufers einer erfindungs
gemäßen Linearbewegungseinrichtung;
Fig. 4a eine Stirnansicht ähnlich Fig. 2a einer als Wälzkörper
gewindetrieb ausgebildeten erfindungsgemäßen Linear
bewegungseinrichtung; und
Fig. 4b eine Seitenansicht des Wälzkörpergewindetriebs gemäß
Fig. 4a.
In Fig. 1 ist eine als Linearführungseinrichtung ausgebildete erfindungs
gemäße Linearbewegungseinrichtung allgemein mit 10 bezeichnet. Sie
umfasst eine Führungsschiene 12 mit einer Längsachse A, die auf einem
Maschinentisch 14 oder dergleichen befestigt ist. Auf der Führungsschiene
12 ist ein Schlitten 16 in Richtung der Längsachse A der Schiene 12 hin-
und herbeweglich geführt. Der Aufbau und die Funktion der Linearführungs
einrichtung 10, insbesondere der Bewegungsantrieb des Schlittens 16 auf
der Schiene 12, sind im Stand der Technik bekannt und sollen hier daher
nicht näher erläutert werden.
Zur Erfassung der Position des Schlittens 16 relativ zur Führungsschiene 12
ist eine Positionsmesseinrichtung 18 vorgesehen. Diese umfasst eine Laser
einheit 20, die mittelbar oder unmittelbar auf dem Maschinentisch 14
angebracht ist, und zwar vorzugsweise in der Verlängerung der Führungs
schiene 12 in Richtung der Längsachse A. Ein Laser 22 der Lasereinheit,
beispielsweise eine Laserdiode 22, emittiert einen in Fig. 1 strich-punktiert
dargestellten Laserstrahl L zum Schlitten 16 hin, und zwar genauer gesagt
in Richtung dessen zur Längsachse A im Wesentlichen orthogonal verlau
fender Stirnfläche 16a. In dieser Stirnfläche 16a ist eine Bohrung 16b
ausgebildet. An der Bodenfläche 16c dieser Bohrung 16b ist ein Reflektor
24 vorgesehen, der den Laserstrahl L zur Lasereinheit 20 zurückreflektiert,
was in Fig. 1 durch die strich-punkt-punktierte Linie R angedeutet ist. Zur
Erfassung des reflektierten Laserlichts R ist in der Lasereinheit 20 ein
Fotodetektor 26 vorgesehen. Die Position des Schlittens 16 kann so von
einer Auswerteeinrichtung 30, beispielsweise durch eine Laufzeitmessung,
eine interferometrische Messung oder eine andere geeignete Messmethode,
bestimmt werden. Diese Messprinzipien sind im Stand der Technik an sich
bekannt und werden daher hier nicht näher erläutert werden. Die Auswerte
einrichtung 30 kann ferner eine Korrektureinrichtung beinhalten, welche es
erlaubt, äußere Einflüsse, wie Temperaturänderungen oder dergleichen, bei
der Bestimmung der Position des Schlittens 16 zu berücksichtigen.
Erfindungswesentlich ist es jedoch, dass der Reflektor 24 am Boden 16c der
Bohrung 16d angeordnet ist, also an einer Stelle, an der er vor äußeren
mechanischen Einflüssen, beispielsweise vor herumfliegenden Spänen in
einer Bearbeitungsmaschine, geschützt ist. Erforderlichenfalls kann die
Bohrung 16b auch noch durch eine, beispielsweise aus entspiegeltem Glas
gefertigte, Schutzabdeckung vor dem unerwünschten Eindringen von Parti
keln geschützt sein. Zum Schutz der Laserdiode 22 und gewünschtenfalls
auch des Fotodetektors 26 ist an der Lasereinheit 20 ferner ein Schutzrohr
28 angebracht. Obgleich dies nicht ausdrücklich dargestellt ist, kann eine
entsprechende Schutzvorrichtung auch im Bereich bzw. in der Nähe des
Reflektors 24 vorgesehen sein.
Der Reflektor 24 kann beispielsweise von einer Kunststofffolie gebildet sein,
die am Boden 16c der Bohrung 16b nachträglich festgeklebt oder auf andere
Weise befestigt ist. Es ist jedoch auch möglich, den Reflektor 24 bereits
beim Herstellungsprozess des Schlittens 16 mit zu integrieren. Diese
Vorgehensweise bietet sich insbesondere für den Fall an, dass der Schlitten
16 ein Guss- oder Spritzgussteil aus einem Kunststoff, insbesondere glas
faserverstärktem Kunststoff (GFK), ist. Das Gleiche gilt auch dann, wenn
der Reflektor 24 nicht unmittelbar am Schlitten 16, sondern an einem mit
diesem verbundenen Teil befestigt ist, beispielsweise einer Endkappe, in der
die Umlenkkanäle der Wälzkörperumläufe des Schlittens 16 angeordnet sind.
Wie man insbesondere in Fig. 2a erkennt, weist der Schlitten 16 einen im
Wesentlichen U-förmigen Querschnitt auf mit zwei Seitenschenkeln 16d, die
mittels eines Verbindungsstegs 16e miteinander verbunden sind. Ferner
weist der Schlitten 16 insgesamt drei Bohrungen 16b auf, in denen
Reflektoren 24 angeordnet werden können (siehe auch Fig. 2b).
In den Fig. 3a und 3b ist eine weitere Ausführungsform eines Schlittens
einer erfindungsgemäßen Linearbewegungseinrichtung dargestellt, der im
Wesentlichen der Ausführungsform gemäß Fig. 1, 2a und 2b entspricht.
Analoge Teile sind daher in den Fig. 3a und 3b mit den gleichen
Bezugszeichen versehen wie in Fig. 1, 2a und 2b, jedoch vermehrt um
die Zahl 100. Des Weiteren wird die Ausführungsform gemäß Fig. 3a
und 3b im Folgenden nur insoweit beschrieben, als sie sich von der
Ausführungsform gemäß Fig. 1, 2a und 2b unterscheidet, auf deren
Beschreibung hiermit ansonsten ausdrücklich verwiesen sei.
Der Läufer 116 weist gemäß Fig. 3a ebenfalls einen im Wesentlichen U-
förmigen Querschnitt auf. In seiner Stirnfläche 116a ist eine Ausnehmung
116b vorgesehen, an deren zur Längsachse A im Wesentlichen orthogonaler
Bodenfläche 116c ein Reflektor 124 angebracht ist. Der Hauptunterschied
der Ausnehmungen 116b gemäß Fig. 3a und 3b zur Ausnehmung 16b
gemäß Fig. 2a und 2b besteht darin, dass die Ausnehmung 116b auch
nach oben, d. h. bei 116g zur horizontalen Oberseite 116f des Schlittens
116 hin offen ist. Darüber hinaus ist in der Stirnfläche 116a des Schlittens
116 lediglich eine einzige derartige Ausnehmung vorgesehen.
Die Linearbewegungseinrichtung 210 gemäß Fig. 4a und 4b umfasst als
Führungselement eine Gewindespindel 212 mit einer Spindelachse A, wobei
diese Gewindespindel 212 über ihre Längsenden auf dem in den Fig. 4a
und 4b nicht dargestellten Maschinentisch in Richtung der Achse A fest,
jedoch um diese Achse A verdrehbar befestigt ist. Als Läufer umfasst der
Wälzkörpergewindetrieb 210 eine Gewindemutter 216, die in an sich be
kannter Weise auf der Gewindespindel 212 bei deren Drehung um die Achse
A in Richtung der Achse A längsbewegbar geführt ist. In einer zur Achse A
im Wesentlichen orthogonal verlaufenden Stirnfläche 216a der Gewinde
mutter 216 ist eine Ausnehmung 216b vorgesehen, an deren Bodenfläche
216c ein Reflektor 224 angeordnet ist. Die Ausführungsform gemäß Fig.
4a und 4b entspricht also hinsichtlich der Anzahl der Ausnehmungen 216b
der Ausführungsform gemäß Fig. 3a und 3b, hinsichtlich der Ausbildung
der Ausnehmungen 216b der Ausführungsform gemäß Fig. 1, 2a und
2b.
Claims (13)
1. Linearbewegungseinrichtung (10; 110; 210), umfassend:
ein auf einer Basis (14) angeordnetes Führungselement (16; 216) mit einer Längsachse (A),
einen auf dem Führungselement (16; 216) in Richtung dessen Längsachse (A) längsbeweglich abgestützten Läufer (16; 116; 216) und
eine die Position des Läufers (16; 116; 216) relativ zum Führungselement (12; 212) erfassende Positionsmesseinrich tung (18) mit einer Lasereinheit (20) und einem am Läufer (16; 116; 216) angeordneten Reflektor (24; 124; 224),
dadurch gekennzeichnet, dass der Reflektor (24; 124; 224) am bzw. im Läufer (16; 116; 216) versenkt angeordnet ist.
ein auf einer Basis (14) angeordnetes Führungselement (16; 216) mit einer Längsachse (A),
einen auf dem Führungselement (16; 216) in Richtung dessen Längsachse (A) längsbeweglich abgestützten Läufer (16; 116; 216) und
eine die Position des Läufers (16; 116; 216) relativ zum Führungselement (12; 212) erfassende Positionsmesseinrich tung (18) mit einer Lasereinheit (20) und einem am Läufer (16; 116; 216) angeordneten Reflektor (24; 124; 224),
dadurch gekennzeichnet, dass der Reflektor (24; 124; 224) am bzw. im Läufer (16; 116; 216) versenkt angeordnet ist.
2. Linearbewegungseinrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, dass der Reflektor (24; 124; 224) in einer
Ausnehmung (16b; 116b; 216b) des Läufers (16; 116; 216) ange
ordnet ist, welche vorzugsweise in einer zur Längsachse (A) des
Führungselements (12; 212) im Wesentlichen orthogonal verlaufen
den Endfläche (16a; 115a; 216a) des Läufers (16; 116; 216)
vorgesehen ist.
3. Linearbewegungseinrichtung nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet, dass die Ausnehmung (16b; 116b; 216b)
bei der Herstellung des Läufers (16; 116; 216) in diesen eingeformt
ist.
4. Linearbewegungseinrichtung nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet, dass die Ausnehmung (16b; 116b; 216b)
nachträglich in den Läufer (16; 116; 216) eingebracht ist.
5. Linearbewegungseinrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 4,
dadurch gekennzeichnet, dass die Ausnehmung (16b; 216b) ein
Sackloch ist.
6. Linearbewegungseinrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 4,
dadurch gekennzeichnet, dass die Ausnehmung (116b) wenigstens
eine zur Längsrichtung (A) im Wesentlichen parallel verlaufende
offene Seite (116g) aufweist.
7. Linearbewegungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6,
dadurch gekennzeichnet, dass der Reflektor (24; 124; 224) bei der
Herstellung des Läufers (16; 116; 216) in diesem ausgebildet ist.
8. Linearbewegungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6,
dadurch gekennzeichnet, dass der Reflektor (24; 124; 224) nach
träglich in der Ausnehmung (16b; 116b; 216b) angeordnet ist.
9. Linearbewegungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8,
dadurch gekennzeichnet, dass der Läufer (16; 116; 216) als Guss-
oder Spritzgussteil aus Kunststoff gefertigt ist, beispielsweise
faserverstärktem Kunststoff, vorzugsweise glasfaserverstärktem
Kunststoff (GFK) oder kohlefaserverstärktem Kunststoff (CFK).
10. Linearbewegungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9,
dadurch gekennzeichnet, dass die Lasereinheit (18) eine Auswerte
einheit (30) zum Auswerten der reflektierten Laserstrahlung (R)
umfasst.
11. Linearbewegungseinrichtung nach Anspruch 10,
dadurch gekennzeichnet, dass die Auswerteeinheit (30) eine
Korrektureinheit zur Berücksichtigung von Umgebungseinflüssen
umfasst.
12. Linearbewegungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11,
dadurch gekennzeichnet, dass im Bereich der Austrittsöffnung der
Laserstrahlung (L) oder/und im Bereich des Reflektors (24) eine
Schutzvorrichtung (28), vorzugsweise in Form eines Rohrs, vorge
sehen ist.
13. Linearbewegungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12,
dadurch gekennzeichnet, dass eine Vorrichtung zum Aufweiten der
von der Lasereinheit (18) emittierten Laserstrahlung (L) vorgesehen
ist.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2000131687 DE10031687A1 (de) | 2000-06-29 | 2000-06-29 | Linearbewegungseinrichtung mit Laser-Positionsmesseinrichtung |
DE20023029U DE20023029U1 (de) | 2000-06-29 | 2000-06-29 | Linearbewegungseinrichtung mit Laser-Positionsmesseinrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
DE2000131687 DE10031687A1 (de) | 2000-06-29 | 2000-06-29 | Linearbewegungseinrichtung mit Laser-Positionsmesseinrichtung |
Publications (1)
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DE10031687A1 true DE10031687A1 (de) | 2002-01-17 |
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ID=7647207
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2000131687 Withdrawn DE10031687A1 (de) | 2000-06-29 | 2000-06-29 | Linearbewegungseinrichtung mit Laser-Positionsmesseinrichtung |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE10031687A1 (de) |
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