[go: up one dir, main page]

DE10031687A1 - Linearbewegungseinrichtung mit Laser-Positionsmesseinrichtung - Google Patents

Linearbewegungseinrichtung mit Laser-Positionsmesseinrichtung

Info

Publication number
DE10031687A1
DE10031687A1 DE2000131687 DE10031687A DE10031687A1 DE 10031687 A1 DE10031687 A1 DE 10031687A1 DE 2000131687 DE2000131687 DE 2000131687 DE 10031687 A DE10031687 A DE 10031687A DE 10031687 A1 DE10031687 A1 DE 10031687A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
linear motion
rotor
reflector
motion device
laser
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE2000131687
Other languages
English (en)
Inventor
Herbert Spiegel
Heiko Rueger
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Bosch Rexroth AG
Original Assignee
Rexroth Star GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Rexroth Star GmbH filed Critical Rexroth Star GmbH
Priority to DE2000131687 priority Critical patent/DE10031687A1/de
Priority to DE20023029U priority patent/DE20023029U1/de
Publication of DE10031687A1 publication Critical patent/DE10031687A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/026Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by measuring distance between sensor and object
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/44Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
    • B23Q1/56Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
    • B23Q1/58Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism a single sliding pair
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q17/00Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
    • B23Q17/22Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools for indicating or measuring existing or desired position of tool or work
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q17/00Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
    • B23Q17/24Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools using optics or electromagnetic waves
    • B23Q17/248Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools using optics or electromagnetic waves using special electromagnetic means or methods
    • B23Q17/2495Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools using optics or electromagnetic waves using special electromagnetic means or methods using interferometers

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)

Abstract

Eine Linearbewegungseinrichtung (10) umfasst ein auf einer Basis (14) angeordnetes Führungselement (16) mit einer Längsachse (A), einen auf dem Führungselement (16) in Richtung dessen Längsachse (A) längsbeweglich abgestützten Läufer (16) und eine die Position des Läufers (16) relativ zum Führungselement (12) erfassende Positionsmesseinrichtung (18) mit einer Lasereinheit (20) und einem am Läufer (16) angeordneten Reflektor (24). Erfindungsgemäß ist der Reflektor (24) am bzw. im Läufer (16) versenkt angeordnet.

Description

Die Erfindung betrifft eine Linearbewegungseinrichtung, umfassend ein auf einer Basis angeordnetes Führungselement mit einer Längsachse, einen auf dem Führungselement in Richtung dessen Längsachse längsbeweglich abge­ stützten Läufer sowie eine die Position des Läufers relativ zum Führungs­ element erfassende Positionsmesseinrichtung mit einer auf der Basis angeordneten Lasereinheit und einem am Läufer angeordneten Reflektor.
Als Linearbewegungseinrichtungen sind im Stand der Technik Linear­ führungseinrichtungen, Wälzkörpergewindetriebe und dergleichen bekannt. Bei Linearführungseinrichtungen ist dabei üblicherweise das Führungs­ element von einer Führungsschiene gebildet, auf welcher ein den Läufer bildender Führungswagen längsverschieblich geführt ist, wobei der Führungswagen in einem orthogonal zur Längsachse der Führungsschiene genommenen Schnitt einen im Wesentlichen U-förmigen Querschnitt auf­ weist und sich über eine Mehrzahl von Wälzkörperschleifen rollend auf Laufbahnen der Führungsschiene abstützt. Bei Wälzkörpergewindetrieben hingegen fungiert eine Gewindespindel als Führungselement, auf dem eine den Läufer oder zumindest einen Teil dieses Läufers bildende Gewinde­ mutter mittels wenigstens einer Wälzkörperschleife längsverschieblich geführt ist.
Ferner ist es im Stand der Technik bekannt, derartige Linearbewegungs­ einrichtungen mit einer Laser-Positionsmesseinrichtung auszustatten. Häufige Anwendungsfälle derartiger, beispielsweise interferometrisch arbeitender Laser-Positionsmesseinrichtungen sind Maßstäbe, z. B. Glas­ maßstäbe oder andere körperliche Darstellungen von Längenmaßen, wie Strichmuster, Lochmuster, Magnetisierungsmuster mit abwechselnden magnetischen Nord- und Südpolen, Ätzmuster, Verzahnungsmuster oder Leiterdrahtmuster in Bearbeitungsmaschinen hinsichtlich ihrer Kalibrierung oder in Messbänken. Auch bei der dynamischen Steigungsfehlermessung an Gewindespindeln von Wälzkörpergewindetrieben, insbesondere Kugel­ gewindetrieben, wird die Lasertechnik zur Positionsermittlung eingesetzt. Bei allen diesen Anwendungsbeispielen ist regelmäßig auf dem bewegten Teil ein Reflektor in Form einer Reflexionsfolie aufgeklebt, welche die entsprechenden Signale zu der stationären Lasereinheit zurückwirft.
Gegenüber anderen bekannten Positionsmesseinrichtungen, beispielsweise optischen, kapazitiven, induktiven oder magnetischen Positionsmess­ einrichtungen, bei denen in der Regel an dem feststehendem Teil, z. B. der Führungsschiene einer Linearbewegungseinheit, eine Mess-Skala und an dem bewegten Teil, z. B. dem Führungswagen der Linearbewegungseinheit, ein Messkopf angebracht werden müssen, hat die Verwendung der Laser­ technik den Vorteil, dass der relativ hohe Bearbeitungsaufwand, insbe­ sondere für das hochgenaue Herstellen sowie Positionieren der Mess-Skala am bzw. im Führungselement entfällt. Außerdem können Messfehler, die bei den anderen bekannten Positionsmesseinrichtungen durch die thermische Ausdehnung von Führungselement, Mess-Skala oder ihrer Abdeckung unvermeidlich entstehen, vermieden werden.
Aufgrund des Einsatzes der Laser-Positionsmesseinrichtung, die beispiels­ weise auf dem Prinzip der Laufzeitmessung oder dem Prinzip interfero­ metrischer Messung beruht, können die Einflüsse von thermischen Ausdeh­ nungen und dergleichen ohne weiteres ausgeschlossen werden. Messlängen von bis zu 40 m stellen dabei kein grundsätzliches Problem dar. Das erfindungsgemäße Prinzip kann jedoch auch bei Minischienen eingesetzt werden. Bei Wälzkörpergewindetrieben sitzt die Messeinrichtung zentral an der Gewindespindel. Dadurch kann ein möglicher Messfehler in einfacher Weise mit einer einzigen Positionsmesseinrichtung verhindert werden, was bislang nur mittels zweier derartiger Messeinrichtungen möglich war.
Jedoch hat sich insbesondere bei rauhen Umgebungsbedingungen, wie sie häufig bei Bearbeitungsmaschinen, z. B. infolge des Flugs von Spänen oder des Spritzens von Kühlschmiermittel, herrschen, gezeigt, dass der aufge­ klebte Reflektor schnell verschmutzt oder sich von dem Läufer ablöst. Außerdem besteht stets die Gefahr einer Beschädigung des Reflektors durch mechanische Einwirkungen.
Weitere Nachteile der Lösungen des Standes der Technik sind in den hohen Bereitstellungskosten, der geringen Ortsauflösung und dem hohen Verschleiß zu sehen. Darüber hinaus können die bekannten Laser-Positions­ messeinrichtungen nicht bei Linearbewegungseinrichtungen beliebiger Baugröße eingesetzt werden, da sie der jeweiligen Länge angepaßt werden müssen.
Demgegenüber besteht die Aufgabe der Erfindung darin, eine Linear­ bewegungseinrichtung der eingangs genannten Art so auszubilden, dass die Störanfälligkeit der Laser-Positionsmesseinrichtung verringert wird.
Zur Lösung dieser Aufgabe wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, den Reflektor am bzw. im Läufer versenkt anzuordnen. Durch die erfindungs­ gemäße versenkte Anordnung kann der Reflektor in einfacher Weise vor mechanischen Einflüssen geschützt werden, so dass er im günstigstens Fall über die gesamte Lebensdauer der Linearbewegungseinrichtung nicht ersetzt zu werden braucht. Auch besteht durch die erfindungsgemäße Anordnung ein hinreichender Schutz des Reflektors gegen Verunreinigungen, die während des Betriebs der mit der Linearbewegungseinrichtung ausge­ rüsteten Maschine auftreten können.
Der Reflektor kann in einer Ausnehmung angeordnet sein, welche in einer, vorzugsweise zur Längsachse des Führungselements orthogonal verlaufen­ den, Endfläche des Läufers vorgesehen ist. Unabhängig davon, ob die Ausnehmung ein Sackloch ist oder wenigstens eine zur Längsrichtung im Wesentlichen parallel verlaufende offene Seite aufweist, kann die Ausnehmung bereits während der Herstellung des Läufers oder auch erst nachträglich in diesen eingebracht werden. Die dauerhafte Fixierung des Reflektors in dieser Ausnehmung kann durch Kleben, Schweißen oder auf jede andere geeignete Art und Weise erfolgen.
Ferner besteht die Möglichkeit, den Reflektor beim Herstellungsprozess des Läufers mit zu integrieren. Diese Vorgehensweise bietet sich insbesondere für den Fall an, dass der Läufer als Guss- oder Spritzgussteil aus Kunststoff gefertigt ist, beispielsweise faserverstärktem Kunststoff, wie glasfaser­ verstärktem Kunststoff (GFK) oder kohlefaserverstärktem Kunststoff (CFK). Dasselbe gilt auch dann, wenn auf den für die Anordnung des Reflektors in Betracht kommenden Flächen des Läufers Teile aus spritzgießfähigem Material befestigt werden. Dies ist beispielsweise bei Führungswagen von Linearführungseinrichtungen der Fall, bei denen dieser Führungswagen an seinen zur Längsachse orthogonal verlaufenden Stirnseiten aus Kunststoff gefertigte Endkappen aufweist, in welchen die Umlenkteile für die in den Wälzkörperschleifen umlaufenden Wälzkörper untergebracht sind. Diese Endkappen können aus Kunststoff gefertigt sein und einen oder mehrere versenkt angeordnete Reflektoren aufnehmen.
Ein nachträglicher Einbau der erfindungsgemäßen Lasermesseinrichtung ist durch einfaches Auswechseln bzw. im günstigesten Fall Nachbearbeiten des Führungswagens möglich. Vorzugsweise kann die Lasereinheit der Laser­ messeinrichtung eine Auswerteeinheit zum Auswerten der reflektierten Laserstrahlung umfassen. Die kann beispielsweise mit einer Steuereinheit zum Steuern der Verstellbewegung der Linearbewegungseinrichtung kombi­ niert sein. Ferner können mit einer einzigen solchen Steuereinheit gewünschtenfalls mehrere Stellachsen bedient werden. Schließlich ist es unter Einsatz beispielsweise eines rotierenden Spiegels oder dergleichen auch möglich, ein und denselben Laser für mehrere Stellachsen zu verwenden.
Ein weiterer Vorteil ist die einfache Wartung und im Fehlerfall die schnelle Fehlerbeseitigung. Referenzfahrten sind nicht nötig, da ein Nullwert stets durch den Sender, d. h. den Laser, gegeben ist. Ferner ist es auch nach dem Abschalten möglich, eine gewünschte Position am Werkstück immer wieder exakt anzufahren, d. h. die erfindungsgemäße Positionsmesseinrichtung bietet eine hohe Wiederholgenauigkeit. Erforderlichenfalls kann eine Korrektureinheit vorgesehen sein, welche dafür sorgt, dass bei der Auswer­ tung der reflektierten Laserstrahlung Umgebungseinflüsse berücksichtigt werden.
Schließlich ist es auch möglich, die Lasereinheit vor Verschmutzung und Beschädigung zu schützen. Hierzu kann die Lasereinheit beispielsweise im Bereich der Austrittsöffnung der Laserstrahlung eine Schutzvorrichtung, vorzugsweise in Form eines Rohrs, umfassen. Ferner kann auch im Bereich des Reflektors eine vergleichbare Schutzvorrichtung vorgesehen sein.
Um störende Umgebungseinflüsse verhindern zu können, kann es von Vor­ teil sein, durch Veränderung der Streuung des Laserstrahls oder auf andere geeignete Weise den Laserstrahl derart aufzuweiten, dass sich auf dem Reflektor kein punktförmiger Laserspot, sondern ein flächiger Laserspot ergibt.
Insgesamt ist festzuhalten, dass der Reflektor flexibel angebracht werden kann, so dass auch schwierige Kundenwünsche problemlos erfüllt werden können.
Wenn im Zusammenhang mit der vorliegenden Erfindung von dem "Läufer" einer Linearbewegungseinrichtung die Rede ist, so sind hierunter sämtliche wälz- oder gleitgelagerten Elemente, z. B. Führungswagen, Kugelbüchsen, Gewindemuttern sowie derartige Führungselemente enthaltende Tische oder Schlitten zu verstehen. In analoger Weise handelt es sich bei den weiter oben erwähnten Führungselementen um Profilschienen, Wellen, Gewinde­ spindeln oder dergleichen.
Die Erfindung wird im Folgenden an Ausführungsbeispielen an Hand der beigefügten Zeichnung näher erläutert werden. Es stellt dar:
Fig. 1 eine schematische Seitenansicht einer als Linear­ führungseinrichtung ausgebildeten erfindungsgemäßen Linearbewegungseinrichtung;
Fig. 2a eine Stirnansicht des Läufers dieser Linearführungs­ einrichtung in Richtung des Pfeils IIa in Fig. 1;
Fig. 2b eine Draufsicht des Läufers gemäß Fig. 2a in Richtung des Pfeils IIb in Fig. 1;
Fig. 3a und 3b Ansichten ähnlich Fig. 2a und 2b einer weiteren Ausführungsform eines Läufers einer erfindungs­ gemäßen Linearbewegungseinrichtung;
Fig. 4a eine Stirnansicht ähnlich Fig. 2a einer als Wälzkörper­ gewindetrieb ausgebildeten erfindungsgemäßen Linear­ bewegungseinrichtung; und
Fig. 4b eine Seitenansicht des Wälzkörpergewindetriebs gemäß Fig. 4a.
In Fig. 1 ist eine als Linearführungseinrichtung ausgebildete erfindungs­ gemäße Linearbewegungseinrichtung allgemein mit 10 bezeichnet. Sie umfasst eine Führungsschiene 12 mit einer Längsachse A, die auf einem Maschinentisch 14 oder dergleichen befestigt ist. Auf der Führungsschiene 12 ist ein Schlitten 16 in Richtung der Längsachse A der Schiene 12 hin- und herbeweglich geführt. Der Aufbau und die Funktion der Linearführungs­ einrichtung 10, insbesondere der Bewegungsantrieb des Schlittens 16 auf der Schiene 12, sind im Stand der Technik bekannt und sollen hier daher nicht näher erläutert werden.
Zur Erfassung der Position des Schlittens 16 relativ zur Führungsschiene 12 ist eine Positionsmesseinrichtung 18 vorgesehen. Diese umfasst eine Laser­ einheit 20, die mittelbar oder unmittelbar auf dem Maschinentisch 14 angebracht ist, und zwar vorzugsweise in der Verlängerung der Führungs­ schiene 12 in Richtung der Längsachse A. Ein Laser 22 der Lasereinheit, beispielsweise eine Laserdiode 22, emittiert einen in Fig. 1 strich-punktiert dargestellten Laserstrahl L zum Schlitten 16 hin, und zwar genauer gesagt in Richtung dessen zur Längsachse A im Wesentlichen orthogonal verlau­ fender Stirnfläche 16a. In dieser Stirnfläche 16a ist eine Bohrung 16b ausgebildet. An der Bodenfläche 16c dieser Bohrung 16b ist ein Reflektor 24 vorgesehen, der den Laserstrahl L zur Lasereinheit 20 zurückreflektiert, was in Fig. 1 durch die strich-punkt-punktierte Linie R angedeutet ist. Zur Erfassung des reflektierten Laserlichts R ist in der Lasereinheit 20 ein Fotodetektor 26 vorgesehen. Die Position des Schlittens 16 kann so von einer Auswerteeinrichtung 30, beispielsweise durch eine Laufzeitmessung, eine interferometrische Messung oder eine andere geeignete Messmethode, bestimmt werden. Diese Messprinzipien sind im Stand der Technik an sich bekannt und werden daher hier nicht näher erläutert werden. Die Auswerte­ einrichtung 30 kann ferner eine Korrektureinrichtung beinhalten, welche es erlaubt, äußere Einflüsse, wie Temperaturänderungen oder dergleichen, bei der Bestimmung der Position des Schlittens 16 zu berücksichtigen.
Erfindungswesentlich ist es jedoch, dass der Reflektor 24 am Boden 16c der Bohrung 16d angeordnet ist, also an einer Stelle, an der er vor äußeren mechanischen Einflüssen, beispielsweise vor herumfliegenden Spänen in einer Bearbeitungsmaschine, geschützt ist. Erforderlichenfalls kann die Bohrung 16b auch noch durch eine, beispielsweise aus entspiegeltem Glas gefertigte, Schutzabdeckung vor dem unerwünschten Eindringen von Parti­ keln geschützt sein. Zum Schutz der Laserdiode 22 und gewünschtenfalls auch des Fotodetektors 26 ist an der Lasereinheit 20 ferner ein Schutzrohr 28 angebracht. Obgleich dies nicht ausdrücklich dargestellt ist, kann eine entsprechende Schutzvorrichtung auch im Bereich bzw. in der Nähe des Reflektors 24 vorgesehen sein.
Der Reflektor 24 kann beispielsweise von einer Kunststofffolie gebildet sein, die am Boden 16c der Bohrung 16b nachträglich festgeklebt oder auf andere Weise befestigt ist. Es ist jedoch auch möglich, den Reflektor 24 bereits beim Herstellungsprozess des Schlittens 16 mit zu integrieren. Diese Vorgehensweise bietet sich insbesondere für den Fall an, dass der Schlitten 16 ein Guss- oder Spritzgussteil aus einem Kunststoff, insbesondere glas­ faserverstärktem Kunststoff (GFK), ist. Das Gleiche gilt auch dann, wenn der Reflektor 24 nicht unmittelbar am Schlitten 16, sondern an einem mit diesem verbundenen Teil befestigt ist, beispielsweise einer Endkappe, in der die Umlenkkanäle der Wälzkörperumläufe des Schlittens 16 angeordnet sind.
Wie man insbesondere in Fig. 2a erkennt, weist der Schlitten 16 einen im Wesentlichen U-förmigen Querschnitt auf mit zwei Seitenschenkeln 16d, die mittels eines Verbindungsstegs 16e miteinander verbunden sind. Ferner weist der Schlitten 16 insgesamt drei Bohrungen 16b auf, in denen Reflektoren 24 angeordnet werden können (siehe auch Fig. 2b).
In den Fig. 3a und 3b ist eine weitere Ausführungsform eines Schlittens einer erfindungsgemäßen Linearbewegungseinrichtung dargestellt, der im Wesentlichen der Ausführungsform gemäß Fig. 1, 2a und 2b entspricht. Analoge Teile sind daher in den Fig. 3a und 3b mit den gleichen Bezugszeichen versehen wie in Fig. 1, 2a und 2b, jedoch vermehrt um die Zahl 100. Des Weiteren wird die Ausführungsform gemäß Fig. 3a und 3b im Folgenden nur insoweit beschrieben, als sie sich von der Ausführungsform gemäß Fig. 1, 2a und 2b unterscheidet, auf deren Beschreibung hiermit ansonsten ausdrücklich verwiesen sei.
Der Läufer 116 weist gemäß Fig. 3a ebenfalls einen im Wesentlichen U- förmigen Querschnitt auf. In seiner Stirnfläche 116a ist eine Ausnehmung 116b vorgesehen, an deren zur Längsachse A im Wesentlichen orthogonaler Bodenfläche 116c ein Reflektor 124 angebracht ist. Der Hauptunterschied der Ausnehmungen 116b gemäß Fig. 3a und 3b zur Ausnehmung 16b gemäß Fig. 2a und 2b besteht darin, dass die Ausnehmung 116b auch nach oben, d. h. bei 116g zur horizontalen Oberseite 116f des Schlittens 116 hin offen ist. Darüber hinaus ist in der Stirnfläche 116a des Schlittens 116 lediglich eine einzige derartige Ausnehmung vorgesehen.
Die Linearbewegungseinrichtung 210 gemäß Fig. 4a und 4b umfasst als Führungselement eine Gewindespindel 212 mit einer Spindelachse A, wobei diese Gewindespindel 212 über ihre Längsenden auf dem in den Fig. 4a und 4b nicht dargestellten Maschinentisch in Richtung der Achse A fest, jedoch um diese Achse A verdrehbar befestigt ist. Als Läufer umfasst der Wälzkörpergewindetrieb 210 eine Gewindemutter 216, die in an sich be­ kannter Weise auf der Gewindespindel 212 bei deren Drehung um die Achse A in Richtung der Achse A längsbewegbar geführt ist. In einer zur Achse A im Wesentlichen orthogonal verlaufenden Stirnfläche 216a der Gewinde­ mutter 216 ist eine Ausnehmung 216b vorgesehen, an deren Bodenfläche 216c ein Reflektor 224 angeordnet ist. Die Ausführungsform gemäß Fig. 4a und 4b entspricht also hinsichtlich der Anzahl der Ausnehmungen 216b der Ausführungsform gemäß Fig. 3a und 3b, hinsichtlich der Ausbildung der Ausnehmungen 216b der Ausführungsform gemäß Fig. 1, 2a und 2b.

Claims (13)

1. Linearbewegungseinrichtung (10; 110; 210), umfassend:
ein auf einer Basis (14) angeordnetes Führungselement (16; 216) mit einer Längsachse (A),
einen auf dem Führungselement (16; 216) in Richtung dessen Längsachse (A) längsbeweglich abgestützten Läufer (16; 116; 216) und
eine die Position des Läufers (16; 116; 216) relativ zum Führungselement (12; 212) erfassende Positionsmesseinrich­ tung (18) mit einer Lasereinheit (20) und einem am Läufer (16; 116; 216) angeordneten Reflektor (24; 124; 224),
dadurch gekennzeichnet, dass der Reflektor (24; 124; 224) am bzw. im Läufer (16; 116; 216) versenkt angeordnet ist.
2. Linearbewegungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Reflektor (24; 124; 224) in einer Ausnehmung (16b; 116b; 216b) des Läufers (16; 116; 216) ange­ ordnet ist, welche vorzugsweise in einer zur Längsachse (A) des Führungselements (12; 212) im Wesentlichen orthogonal verlaufen­ den Endfläche (16a; 115a; 216a) des Läufers (16; 116; 216) vorgesehen ist.
3. Linearbewegungseinrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Ausnehmung (16b; 116b; 216b) bei der Herstellung des Läufers (16; 116; 216) in diesen eingeformt ist.
4. Linearbewegungseinrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Ausnehmung (16b; 116b; 216b) nachträglich in den Läufer (16; 116; 216) eingebracht ist.
5. Linearbewegungseinrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Ausnehmung (16b; 216b) ein Sackloch ist.
6. Linearbewegungseinrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Ausnehmung (116b) wenigstens eine zur Längsrichtung (A) im Wesentlichen parallel verlaufende offene Seite (116g) aufweist.
7. Linearbewegungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Reflektor (24; 124; 224) bei der Herstellung des Läufers (16; 116; 216) in diesem ausgebildet ist.
8. Linearbewegungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Reflektor (24; 124; 224) nach­ träglich in der Ausnehmung (16b; 116b; 216b) angeordnet ist.
9. Linearbewegungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Läufer (16; 116; 216) als Guss- oder Spritzgussteil aus Kunststoff gefertigt ist, beispielsweise faserverstärktem Kunststoff, vorzugsweise glasfaserverstärktem Kunststoff (GFK) oder kohlefaserverstärktem Kunststoff (CFK).
10. Linearbewegungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Lasereinheit (18) eine Auswerte­ einheit (30) zum Auswerten der reflektierten Laserstrahlung (R) umfasst.
11. Linearbewegungseinrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Auswerteeinheit (30) eine Korrektureinheit zur Berücksichtigung von Umgebungseinflüssen umfasst.
12. Linearbewegungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass im Bereich der Austrittsöffnung der Laserstrahlung (L) oder/und im Bereich des Reflektors (24) eine Schutzvorrichtung (28), vorzugsweise in Form eines Rohrs, vorge­ sehen ist.
13. Linearbewegungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass eine Vorrichtung zum Aufweiten der von der Lasereinheit (18) emittierten Laserstrahlung (L) vorgesehen ist.
DE2000131687 2000-06-29 2000-06-29 Linearbewegungseinrichtung mit Laser-Positionsmesseinrichtung Withdrawn DE10031687A1 (de)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2000131687 DE10031687A1 (de) 2000-06-29 2000-06-29 Linearbewegungseinrichtung mit Laser-Positionsmesseinrichtung
DE20023029U DE20023029U1 (de) 2000-06-29 2000-06-29 Linearbewegungseinrichtung mit Laser-Positionsmesseinrichtung

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2000131687 DE10031687A1 (de) 2000-06-29 2000-06-29 Linearbewegungseinrichtung mit Laser-Positionsmesseinrichtung

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE10031687A1 true DE10031687A1 (de) 2002-01-17

Family

ID=7647207

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2000131687 Withdrawn DE10031687A1 (de) 2000-06-29 2000-06-29 Linearbewegungseinrichtung mit Laser-Positionsmesseinrichtung

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE10031687A1 (de)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10352297A1 (de) * 2003-11-08 2005-06-09 Rexroth Star Gmbh Prüfvorrichtung
WO2005068131A1 (en) * 2004-01-06 2005-07-28 The Boeing Company Laser-guided coordination hole drilling
WO2008056383A1 (en) * 2006-11-08 2008-05-15 Sintesi S.C.P.A. Industrial machine provided with interferometric measuring means
CN105423925A (zh) * 2015-12-09 2016-03-23 苏州承乐电子科技有限公司 激光导轨测长装置
EP3156710A1 (de) * 2015-10-14 2017-04-19 ULC Robotics, Inc. Verfahren zum einführen eines rohrs in eine pipeline
CN113503816A (zh) * 2021-07-30 2021-10-15 杭州垦驱智能科技有限公司 一种激光系统测头结构

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2421371B1 (de) * 1974-05-03 1975-03-20 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Optische Meßanordnung, insbesondere interferometrische Längemeßvorrichtung
DE3313861C2 (de) * 1983-04-16 1986-05-15 Daimler-Benz Ag, 7000 Stuttgart Halterung für ein Paar von Planspiegeln und eine Kugel in einer Interferometer-Längenmeßeinrichtung
DE19544917A1 (de) * 1994-12-02 1996-06-05 Nikon Corp Interferometer mit Laserumhüllung
DE19630191C1 (de) * 1996-07-26 1997-10-16 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Laser-Interferometer und Verfahren zu dessen Betrieb
DE19717203A1 (de) * 1997-04-24 1998-10-29 Technomess Qualitaetssicherung Verfahren und Vorrichtung zur optischen Messung von Längen und Entfernungen

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2421371B1 (de) * 1974-05-03 1975-03-20 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Optische Meßanordnung, insbesondere interferometrische Längemeßvorrichtung
DE3313861C2 (de) * 1983-04-16 1986-05-15 Daimler-Benz Ag, 7000 Stuttgart Halterung für ein Paar von Planspiegeln und eine Kugel in einer Interferometer-Längenmeßeinrichtung
DE19544917A1 (de) * 1994-12-02 1996-06-05 Nikon Corp Interferometer mit Laserumhüllung
DE19630191C1 (de) * 1996-07-26 1997-10-16 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Laser-Interferometer und Verfahren zu dessen Betrieb
DE19717203A1 (de) * 1997-04-24 1998-10-29 Technomess Qualitaetssicherung Verfahren und Vorrichtung zur optischen Messung von Längen und Entfernungen

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10352297A1 (de) * 2003-11-08 2005-06-09 Rexroth Star Gmbh Prüfvorrichtung
WO2005068131A1 (en) * 2004-01-06 2005-07-28 The Boeing Company Laser-guided coordination hole drilling
US7384220B2 (en) 2004-01-06 2008-06-10 The Boeing Company Laser-guided coordination hole drilling
US8043033B2 (en) 2004-01-06 2011-10-25 The Boeing Company Laser-guided coordination hole drilling
WO2008056383A1 (en) * 2006-11-08 2008-05-15 Sintesi S.C.P.A. Industrial machine provided with interferometric measuring means
EP3156710A1 (de) * 2015-10-14 2017-04-19 ULC Robotics, Inc. Verfahren zum einführen eines rohrs in eine pipeline
US9927059B2 (en) 2015-10-14 2018-03-27 Ulc Robotics, Inc. System and method for pipe insertion in a pipeline
US10309576B2 (en) 2015-10-14 2019-06-04 Ulc Robotics, Inc. System and method for pipe insertion in a pipeline
CN105423925A (zh) * 2015-12-09 2016-03-23 苏州承乐电子科技有限公司 激光导轨测长装置
CN113503816A (zh) * 2021-07-30 2021-10-15 杭州垦驱智能科技有限公司 一种激光系统测头结构

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP3559594B1 (de) Vorrichtung zum einsatz in einer numerisch gesteuerten werkzeugmaschine zur verwendung in einem verfahren zum vermessen der numerisch gesteuerten werkzeugmaschine
DE3105568A1 (de) Einrichtung und verfahren zur bestimmung von abmessungen
DE4437033C2 (de) Vorschubgerät für die Oberflächenmessung nach dem Tastschnitt-Verfahren
WO1991016594A1 (de) Führungsvorrichtung mit messeinrichtung
DE3521260A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum ermitteln der abmessungen eines laenglichen pruefobjektes
DE10031687A1 (de) Linearbewegungseinrichtung mit Laser-Positionsmesseinrichtung
DE102010017903B4 (de) Koordinatenmessgerät mit einem Bandantrieb für langgestreckte Schlitten
DE3724137C2 (de) Elektronisches Meßgerät mit Digitalanzeige
DE102017114551A1 (de) Dreh-Schwenk-Mechanismus für ein Koordinatenmessgerät
DE3441426C2 (de)
DE102013102474A1 (de) Eindimensional messende Tasteinrichtung
DE102007060606B4 (de) Koordinatenmessgerät mit Kompensation von thermisch bedingten Längenänderungen für die Koordinatenbestimmung
DE3438277A1 (de) Klemmvorrichtung fuer ein messgeraet
DE2346031C2 (de) Meßkopf für Koordinatenmeßmaschinen
DE20023029U1 (de) Linearbewegungseinrichtung mit Laser-Positionsmesseinrichtung
EP3258224A1 (de) Abstandhalter zum halten eines abstandes zwischen einem stabförmigen innenleiter und einem aussenleiter einer füllstand-messsonde
EP3123105B1 (de) Vorrichtung und verfahren zum vermessen eines werkstücks
DE102015208803B3 (de) Dreheinheit für ein Koordinatenmessgerät
DE102013210739B3 (de) Koordinatenmessgerät und Verfahren zur Vermessung eines Werkstücks mit einer selbstfahrenden Antriebseinheit und einer fahrbaren Messeinheit
DE10240700A1 (de) Koordinatenmessgerät sowie Verfahren zur Rundheitsmessung an einem Werkstück mit diesem Koordinatenmessgerät
DE10040277C2 (de) Kreuztisch zur Bereitstellung von Bewegungen in einem zweidimensionalen Koordinatensystem
DE102007031346A1 (de) Koordinatenmessgerät mit beweglichem Portal
DE102019126976A1 (de) Taster eines Kontur- und/oder Rauheitsmessgeräts
DE20180033U1 (de) Positionsmeßsystem sowie Zwangsführung für einen 2-Koordinaten-Stellantrieb
DE102012207388B4 (de) Verfahren und Anordnung zur Ermittlung von geometrischen Fehlern eines Koordinatenmessgeräts

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8130 Withdrawal