CN222314992U - 密封门组件及半导体测试设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种密封门组件及半导体测试设备，其中，密封门组件包括门体和运动机构，运动机构包括第一驱动装置和第二驱动装置，第一驱动装置用于带动门体沿第一方向靠近或远离窗口，第二驱动装置用于带动门体沿第二方向密封或打开窗口，第一方向与第二方向相互垂直，本实用新型能够实现自动密封或打开窗口，保证测试环境的密闭性。

Description

密封门组件及半导体测试设备

技术领域

本实用新型涉及密封门技术领域，特别涉及一种密封门组件及半导体测试设备。

背景技术

在制造半导体芯片的过程中，部分芯片需要在特定的测试环境中进行测试，例如氮气环境、低露点环境等。目前，半导体测试设备的仓体具有测试腔体，芯在测试腔体内进行测试，为了保证机械手可以取放芯片，在测试腔体的侧部留有一个窗口，供机械手通过，为了保证测试环境的密闭性，需要考虑如何密封窗口

实用新型内容

本实用新型的目的在于至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提供一种密封门组件，能够实现自动密封或打开窗口，保证测试环境的密闭性。

本实用新型还提供一种半导体测试设备，具有上述的半导体测试设备。

根据本实用新型第一方面实施例的密封门组件，包括：门体；运动机构，包括第一驱动装置和第二驱动装置，所述第一驱动装置用于带动所述门体沿第一方向靠近或远离窗口，所述第二驱动装置用于带动所述门体沿第二方向密封或打开窗口，所述第一方向与所述第二方向相互垂直。

根据本实用新型第一方面实施例的密封门组件，至少具有如下有益效果：通过运动机构带动门体运动，可以实现自动密封或打开窗口，无需人工操作，具体地，在需要密封窗口时，第一驱动装置先带动门体沿第一方向靠近窗口，门体与窗口对位后，第二驱动装置再带动门体沿第二方向密封窗口，完成密封，保证密封性，在需要打开窗口时，第二驱动装置先带动门体沿第二方向打开窗口，门体不与窗口接触，然后第一驱动装置再带动门体沿第一方向远离窗口，将窗口完全打开，可以供机械手伸入窗口内。

根据本实用新型的一些实施例，所述密封门组件包括滑动组件，所述滑动组件包括滑轨、滑块和滑动板，所述滑轨沿所述第一方向延伸，所述滑块与所述滑轨滑动连接，所述滑动板与所述滑块固定连接，所述第一驱动装置与所述滑动板固定连接。

根据本实用新型的一些实施例，所述滑轨设有两条，两条滑轨分别位于所述滑动板的两端。

根据本实用新型的一些实施例，所述密封门组件包括导向组件，所述导向组件包括直线导杆和直线轴承，所述直线导杆与所述门体固定连接，所述直线导杆沿所述第二方向延伸，所述直线轴承与所述滑动板固定连接，所述直线导杆与所述直线轴承配合。

根据本实用新型的一些实施例，所述导向组件设有四个。

根据本实用新型的一些实施例，所述第一驱动装置设置为气缸，所述滑动板与所述第一驱动装置的输出端固定连接。

根据本实用新型的一些实施例，所述第二驱动装置设置为气缸，所述门体与所述第二驱动装置的输出端固定连接。

根据本实用新型的一些实施例，所述门体的边缘处设有密封件，所述密封件沿所述门体的周向延伸，所述密封件用于与所述窗口密封。

根据本实用新型的一些实施例，所述密封件采用海绵制成。

根据本实用新型第二方面实施例的半导体测试设备，包括：仓体，设有窗口；第一方面实施例的密封门组件。

根据本实用新型第二方面实施例的半导体测试设备，由于包括第一方面实施例的密封门组件，至少具有上述有益效果，在此不再赘述。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步的说明，其中：

图1为本实用新型一些实施例的密封门组件的结构示意图；

图2为本实用新型一些实施例的密封门组件的结构示意图；

图3为本实用新型一些实施例的密封门组件的俯视图；

图4为本实用新型一些实施例的密封门组件的爆炸图；

图5为本实用新型一些实施例的密封门组件的爆炸图。

附图标记：

密封门组件100、门体110、密封件111、第一驱动装置120、第二驱动装置130、滑动组件140、滑轨141、滑块142、滑动板143、导向组件150、直线导杆151、直线轴承152；

仓体200、窗口210。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

参照图1所示，为本实用新型实施例的密封门组件100，密封门组件100包括门体110和运动机构，运动机构用于带动门体110运动，使得门体110密封或打开窗口210。具体地，运动机构包括第一驱动装置120和第二驱动装置130，第一驱动装置120用于带动门体110沿第一方向靠近或远离窗口210，第一方向可以为上下方向或左右方向，可以按，第二驱动装置130用于带动门体110沿第二方向移动，第二方向可以为前后方向，第二方向与窗口210垂直，也可以理解为，第二方向与窗口210的轴线平行，第一方向与第二方向相互垂直。图1中，密封门组件100处于关闭状态，图2中，密封门组件100处于打开状态。

本实施例中，通过运动机构带动门体110运动，可以实现自动密封或打开窗口210，无需人工操作，具体地，在需要密封窗口210时，第一驱动装置120先带动门体110沿第一方向靠近窗口210，门体110与窗口210对位后，第二驱动装置130再带动门体110沿第二方向密封窗口210，完成密封，保证密封性。在需要打开窗口210时，第二驱动装置130先带动门体110沿第二方向打开窗口210，使得门体110与窗口210之间间隔一段距离，门体110不与窗口210接触，但门体110还是遮挡着窗口210，然后第一驱动装置120再带动门体110沿第一方向远离窗口210，将窗口210完全打开，可以供机械手伸入窗口210内。

需要说明的是，第一驱动装置120带动门体110沿第一方向运动的行程小于第二驱动装置130带动门体110沿第二方向运动的行程，门体110沿第一方向运动主要是压紧于窗口210或松开窗口210，门体110沿第二方向运动主要是与窗口210对位或完全敞开窗口210，减小占位空间，方便机械手伸入窗口210，第一驱动装置120和第二驱动装置130的功能有一定的区别。

参照图1和图4所示，根据本实用新型的一些实施例，密封门组件100包括滑动组件140，滑动组件140包括滑轨141、滑块142和滑动板143，滑轨141沿第一方向延伸，滑块142与滑轨141滑动连接，滑动板143与滑块142固定连接，第一驱动装置120与滑动板143固定连接。通过设置滑动组件140，实现限制第一驱动装置120和门体110沿第一方向滑动，可以起到限位作用，并提高运动精度，提高密封性。

参照图4所示，根据本实用新型的一些实施例，滑轨141设有两条，两条滑轨141分别位于滑动板143的两端，两条滑轨141相互平行，滑动板143通过滑块142与两条滑轨141滑动连接，可以进一步地提高滑动板143的运动精度。

参照图1和图4所示，根据本实用新型的一些实施例，密封门组件100包括导向组件150，导向组件150包括直线导杆151和直线轴承152，直线导杆151与门体110固定连接，具体地，直线导杆151与门体110可以通过螺栓连接，直线导杆151沿第二方向延伸，直线轴承152与滑动板143固定连接，直线导杆151与直线轴承152配合。可以提高门体110沿第二方向运动的精度，另外，导向组件150也起到连接作用，将门体110和滑动板143连接起来，连接较为牢固。

参照图1和图4所示，根据本实用新型的一些实施例，门体110呈方形结构，导向组件150设有四个，四个导向组件150位于门体110的四个边角处，可以进一步提高门体110沿第二方向的运动精度。

参照图1所示，根据本实用新型的一些实施例，第一驱动装置120设置为气缸，滑动板143与第一驱动装置120的输出端固定连接，装配起来较为方便，第一驱动装置120带动滑动板143沿第一方向运动。

参照图4所示，根据本实用新型的一些实施例，第二驱动装置130设置为气缸，门体110与第二驱动装置130的输出端固定连接，装配起来较为方便，第二驱动装置130带动门体110沿第二方向运动。

可以理解的是，第一驱动装置120和第二驱动装置130也可以替换为液压缸或丝杆电机。

参照图5所示，根据本实用新型的一些实施例，门体110的边缘处设有密封件111，密封件111呈环状结构，密封件111沿门体110的周向延伸，密封件111用于与窗口210密封，门体110关闭窗口210后，门体110压紧密封件111，密封件111可以封住门体110与窗口210之间的间隙。进一步地，密封件111采用海绵或硅胶制成，使得密封件111具有一定的弹性，可以提高密封性，也避免门体110压坏密封件111。

可以理解的是，本实用新型实施例的半导体测试设备，包括仓体200和上述实施例的密封门组件100，参照图2所示，仓体200设有窗口210和腔体，腔体可以提供相应的测试环境，以测试半导体芯片，半导体芯片放置在腔体内，窗口210与腔体连通，窗口210用于供抓取半导体芯片的机械手通过，密封门组件100用于密封或打开窗口210。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、内、外等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，如果有描述到第一、第二，只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。

本实用新型的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本实用新型中的具体含义。

上面结合附图对本实用新型实施例作了详细说明，最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型的各实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.密封门组件，其特征在于，包括：

门体；

运动机构，包括第一驱动装置和第二驱动装置，所述第一驱动装置用于带动所述门体沿第一方向靠近或远离窗口，所述第二驱动装置用于带动所述门体沿第二方向密封或打开窗口，所述第一方向与所述第二方向相互垂直。

2.根据权利要求1所述的密封门组件，其特征在于，所述密封门组件包括滑动组件，所述滑动组件包括滑轨、滑块和滑动板，所述滑轨沿所述第一方向延伸，所述滑块与所述滑轨滑动连接，所述滑动板与所述滑块固定连接，所述第一驱动装置与所述滑动板固定连接。

3.根据权利要求2所述的密封门组件，其特征在于，所述滑轨设有两条，两条滑轨分别位于所述滑动板的两端。

4.根据权利要求3所述的密封门组件，其特征在于，所述密封门组件包括导向组件，所述导向组件包括直线导杆和直线轴承，所述直线导杆与所述门体固定连接，所述直线导杆沿所述第二方向延伸，所述直线轴承与所述滑动板固定连接，所述直线导杆与所述直线轴承配合。

5.根据权利要求4所述的密封门组件，其特征在于，所述导向组件设有四个。

6.根据权利要求2所述的密封门组件，其特征在于，所述第一驱动装置设置为气缸，所述滑动板与所述第一驱动装置的输出端固定连接。

7.根据权利要求2所述的密封门组件，其特征在于，所述第二驱动装置设置为气缸，所述门体与所述第二驱动装置的输出端固定连接。

8.根据权利要求1所述的密封门组件，其特征在于，所述门体的边缘处设有密封件，所述密封件沿所述门体的周向延伸，所述密封件用于与所述窗口密封。

9.根据权利要求8所述的密封门组件，其特征在于，所述密封件采用海绵制成。

10.半导体测试设备，其特征在于，包括：

仓体，设有窗口；

如权利要求1至9任意一项所述的密封门组件。