CN220844043U - 一种输送结构及硅片表面脏污检测装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及硅片脏污检测技术领域，本实用新型公开了一种输送结构及硅片表面脏污检测装置，包括运输组件，所述运输组件包括支撑板、安装于支撑板的动力件以及设置于动力件一侧的固定件，所述支撑板、动力件和固定件配合使用。本实用新型的有益效果为通过支撑板、动力件和固定件的相互配合，能够实现对两个传送带之间的距离进行调节，实现对不同尺寸的硅片进行检测，通过固定件能够实现对传送带的固定，保证运行的稳定性；通过第一检测件和第二检测件的配合，能够实现对硅片上下表面进行全部检测，使得检测的更加全面。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片脏污检测技术领域，特别是一种输送结构及硅片表面脏污检测装置。
背景技术
硅片分选机用以在硅片制作完成后对硅片进行检测，其中包括对表面脏污的硅片进行筛选。
现有技术中，在对硅片进行检测的时候，涉及到对硅片进行输送，现有的输送装置不能够根据检测硅片的尺寸进行调节，不方便对多种尺寸的硅片进行检测，同时现有的不能够对硅片的上下表面全部进行检测。
实用新型内容
在本部分以及本申请的说明书摘要和实用新型名称中可能会做些简化或省略以避免使本部分、说明书摘要和实用新型名称的目的模糊，而这种简化或省略不能用于限制本实用新型的范围。
本实用新型的目的是提供一种输送结构，其能解决不能够根据检测硅片的尺寸进行调节的问题。
为解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种输送结构，其包括运输组件，所述运输组件包括支撑板、安装于支撑板的动力件以及设置于动力件一侧的固定件，所述支撑板、动力件和固定件配合使用。
作为本实用新型所述输送结构的一种优选方案，其中：所述支撑板的一侧固定连接有三个竖板，两个所述竖板之间固定连接有滑轨，所述滑轨固定于支撑板的一侧，所述支撑板的一侧开设有多个插孔。
作为本实用新型所述输送结构的一种优选方案，其中：所述动力件包括滑动于滑轨的两个滑动座、固定于滑动座一侧的竖板、安装于固定架一侧的电机以及转动于竖板一侧的主动轮和多个辅助轮。
作为本实用新型所述输送结构的一种优选方案，其中：所述电机的输出端固定连接有转轴，且转轴的一端转动连接于固定架的一侧，两个所述主动轮活动套设于转轴的外圈，所述转轴上安装有传送带，所述传送带与辅助轮相配合。
作为本实用新型所述输送结构的一种优选方案，其中：所述固定件包括固定于滑动座一侧的固定板、固定于固定板一侧的固定壳以及设置于固定壳中的弹簧，所述固定板的一侧固定连接有两个限位架，且限位架的一侧开设有放置槽，两个所述限位架位于固定壳的两侧。
作为本实用新型所述输送结构的一种优选方案，其中：所述固定板开设有通孔，所述通孔中滑动连接有插杆，所述插杆的一端位于固定壳内部，所述固定壳的一侧固定连接有连接杆，所述弹簧位于连接杆的外圈。
作为本实用新型所述输送结构的一种优选方案，其中：所述弹簧的两端分别固定于插杆的一侧和固定壳的内壁，所述连接杆开设有凹槽，所述凹槽中转动连接有拉杆，所述拉杆的一端固定连接有连接板，且连接板与放置槽相适配。
本实用新型的有益效果：本实用新型通过支撑板、动力件和固定件的相互配合，能够实现对两个传送带之间的距离进行调节，实现对不同尺寸的硅片进行检测，通过固定件能够实现对传送带的固定，保证运行的稳定性。
本实用新型的目的是提供一种硅片表面脏污检测装置，其能解决不能够对硅片的上下表面全部进行检测的问题。
为解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种硅片表面脏污检测装置，其包括检测组件，所述检测组件包括第一检测件以及设置于第一检测件一侧的第二检测件，所述第一检测件、第二检测件均与两个运输组件相配合。
作为本实用新型所述硅片表面脏污检测装置的一种优选方案，其中：所述第一检测件包括设置于传送带下方的第一安装架、安装于第一安装架一侧的第一光源以及设置于第一光源正下方的第一线扫相机，所述第一光源开设有第一通槽，所述第一通槽与第一线扫相机相适配。
作为本实用新型所述硅片表面脏污检测装置的一种优选方案，其中：所述第二检测件包括设置于传送带一侧的第二安装架、安装于第二安装架一侧的第二光源以及设置于第二光源正上方的第二线扫相机，所述第二光源开设有第二通槽，所述第二光源位于传送带的上方，所述第二线扫相机与第二通槽相适配。
本实用新型的有益效果：本实用新型通过第一检测件和第二检测件的配合，能够实现对硅片上下表面进行全部检测，使得检测的更加全面。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。其中：
图1为输送结构的结构示意图。
图2为固定件的结构示意图。
图3为固定件的剖视结构示意图。
图4为硅片表面脏污检测装置的结构示意图。
图5为第一检测件的结构示意图。
图6为第二检测件的结构示意图。
具体实施方式
为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合说明书附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。
在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是本实用新型还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似推广，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。
其次，此处所称的“一个实施例”或“实施例”是指可包含于本实用新型至少一个实现方式中的特定特征、结构或特性。在本说明书中不同地方出现的“在一个实施例中”并非均指同一个实施例，也不是单独的或选择性的与其他实施例互相排斥的实施例。
实施例1
参照图1，为本实用新型第一个实施例，该实施例提供了一种输送结构，其包括运输组件100，运输组件100包括支撑板101、安装于支撑板101的动力件102以及设置于动力件102一侧的固定件103，支撑板101、动力件102和固定件103配合使用，通过对动力件102的操作，能够实现对传送带102g距离的调节，通过固定件103实现对传送带102g的固定。
具体的，支撑板101的一侧固定连接有三个竖板102b，两个竖板102b之间固定连接有滑轨101a，滑轨101a固定于支撑板101的一侧，支撑板101的一侧开设有多个插孔101c，通过支撑板101能够起到支撑的作用，能够在装置运行的过程中保证装置的稳定。
在使用时，通过滑轨101a能够实现传送带102g水平进行移动，插孔101c与插杆103f之间的配合，能够实现将传送带102g稳定在支撑板101上，保证在运输时的稳定，通过支撑板101也方便能够对运输组件100整体进行移动。
实施例2
参照图2和图3，为本实用新型第二个实施例，其不同于第一个实施例的是：还包括动力件102包括滑动于滑轨101a的两个滑动座102a、固定于滑动座102a一侧的竖板102b、安装于固定架101b一侧的电机102c以及转动于竖板102b一侧的主动轮102e和多个辅助轮102f，通过电机102c为装置提供了足够的动力，辅助轮102f的数量可根据实际情况进行设计。
具体的，电机102c的输出端固定连接有转轴102d，且转轴102d的一端转动连接于固定架101b的一侧，两个主动轮102e活动套设于转轴102d的外圈，转轴102d上安装有传送带102g，传送带102g与辅助轮102f相配合，通过主动轮102e与转轴102d的配合，既能够通过转轴102d带动主动轮102e进行转动，也能够保证主动轮102e在转轴102d上进行滑动。
具体的，固定件103包括固定于滑动座102a一侧的固定板103a、固定于固定板103a一侧的固定壳103d以及设置于固定壳103d中的弹簧103g，固定板103a的一侧固定连接有两个限位架103b，且限位架103b的一侧开设有放置槽103c，两个限位架103b位于固定壳103d的两侧，通过限位架103b上设置的放置槽103c，能够对连接板103k进行固定，能够在需要移动传送带102g的时候，工作人员通过双手进行操作。
具体的，固定板103a开设有通孔103e，通孔103e中滑动连接有插杆103f，插杆103f的一端位于固定壳103d内部，固定壳103d的一侧固定连接有连接杆103h，弹簧103g位于连接杆103h的外圈，通过插杆103f与插孔101c的配合，能够实现对传送带102g的固定。
具体的，弹簧103g的两端分别固定于插杆103f的一侧和固定壳103d的内壁，连接杆103h开设有凹槽103i，凹槽103i中转动连接有拉杆103j，拉杆103j的一端固定连接有连接板103k，且连接板103k与放置槽103c相适配，通过弹簧103g能够帮助插杆103f恢复原始位置，同时也能够在连接板103k置于放置槽103c中时，保持插杆103f的稳定。
在使用时，需要对传送带102g进行移动的时候，此时拉动连接板103k，连接板103k的移动会通过拉杆103j带动连接杆103h进行移动，从而能够带动插杆103f向固定壳103d中移动，当插杆103f移动至合适的位置的时候，将连接板103k拉动超过限位架103b的高度，然后转动连接板103k此时拉杆103j会在凹槽103i中转动，当连接板103k转动至与放置槽103c齐平的时候，松开连接板103k，连接板103k会卡入放置槽103c中，此时就能够移动滑动座102a带动传送带102g移动，实现对两个传送带102g距离的调节，调节完成之后，拉动连接板103k将其拉出放置槽103c的范围，然后转动连接板103k，转动至初始位置的时候，松开连接板103k，之后会通过弹簧103g的作用带动插杆103f插入插孔101c中实现对滑动座102a的固定。
实施例3
参照图4～图6，为本实用新型的第三个实施例，该实施例基于前两个实施例，该实施例提供一种硅片表面脏污检测装置，其包括检测组件200，检测组件200包括第一检测件201以及设置于第一检测件201一侧的第二检测件202，第一检测件201、第二检测件202均与两个运输组件100相配合，通过第一检测件201和第二检测件202能够实现对硅片表面的脏污进行检测。
具体的，第一检测件201包括设置于传送带102g下方的第一安装架201a、安装于第一安装架201a一侧的第一光源201c以及设置于第一光源201c正下方的第一线扫相机201b，第一光源201c开设有第一通槽201d，第一通槽201d与第一线扫相机201b相适配，通过第一光源201c能够对硅片的表面进行打光，同时通过第一线扫相机201b透过第一通槽201d对硅片进行扫描，来检测硅片下表面脏污。
具体的，第二检测件202包括设置于传送带102g一侧的第二安装架202d、安装于第二安装架202d一侧的第二光源202a以及设置于第二光源202a正上方的第二线扫相机202c，第二光源202a开设有第二通槽202b，第二光源202a位于传送带102g的上方，第二线扫相机202c与第二通槽202b相适配，通过第二线扫相机202c透过第二通槽202b能够对硅片上表面的脏污进行检测。
在使用时，通过传送带102g对硅片进行运输的时候，经过第一光源201c的上方，第一光源201c会对硅片的下表面进行打光，方便对脏污进行观察，此时第一线扫相机201b会通过第一通槽201d对硅片下表面的脏污进行检测，当硅片移动至第二光源202a下方的时候，第二光源202a会对硅片的上表面进行打光，方便对脏污进行观察，此时第二线扫相机202c会通过第二通槽202b对硅片下表面的脏污进行检测。
综上，对硅片进行检测的时候，首先对传送带102g之间的距离进行调节，拉动连接板103k，连接板103k的移动会通过拉杆103j带动连接杆103h进行移动，从而能够带动插杆103f向固定壳103d中移动，当插杆103f移动至合适的位置的时候，将连接板103k拉动超过限位架103b的高度，然后转动连接板103k此时拉杆103j会在凹槽103i中转动，当连接板103k转动至与放置槽103c齐平的时候，松开连接板103k，连接板103k会卡入放置槽103c中，此时就能够移动滑动座102a带动传送带102g移动，实现对两个传送带102g距离的调节，调节完成之后，拉动连接板103k将其拉出放置槽103c的范围，然后转动连接板103k，转动至初始位置的时候，松开连接板103k，之后会通过弹簧103g的作用带动插杆103f插入插孔101c中实现对滑动座102a的固定，固定之后，开启电机102c，电机102c的转动会通过转轴102d带动传送带102g进行运作，实现对硅片的运输，当硅片经过第一光源201c的上方，第一光源201c会对硅片的下表面进行打光，方便对脏污进行观察，此时第一线扫相机201b会通过第一通槽201d对硅片下表面的脏污进行检测，当硅片移动至第二光源202a下方的时候，第二光源202a会对硅片的上表面进行打光，方便对脏污进行观察，此时第二线扫相机202c会通过第二通槽202b对硅片下表面的脏污进行检测。
应说明的是，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的精神和范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。
Claims (5)
1.一种输送结构，其特征在于：包括，
运输组件(100)，所述运输组件(100)包括支撑板(101)、安装于支撑板(101)的动力件(102)以及设置于动力件(102)一侧的固定件(103)，所述支撑板(101)、动力件(102)和固定件(103)配合使用；
所述支撑板(101)的一侧固定连接有三个竖板(102b)，两个所述竖板(102b)之间固定连接有滑轨(101a)，所述滑轨(101a)固定于支撑板(101)的一侧，所述支撑板(101)的一侧开设有多个插孔(101c)；
所述动力件(102)包括滑动于滑轨(101a)的两个滑动座(102a)、固定于滑动座(102a)一侧的竖板(102b)、安装于固定架(101b)一侧的电机(102c)以及转动于竖板(102b)一侧的主动轮(102e)和多个辅助轮(102f)；
所述固定件(103)包括固定于滑动座(102a)一侧的固定板(103a)、固定于固定板(103a)一侧的固定壳(103d)以及设置于固定壳(103d)中的弹簧(103g)，所述固定板(103a)的一侧固定连接有两个限位架(103b)，且限位架(103b)的一侧开设有放置槽(103c)，两个所述限位架(103b)位于固定壳(103d)的两侧。
2.如权利要求1所述的输送结构，其特征在于：所述电机(102c)的输出端固定连接有转轴(102d)，且转轴(102d)的一端转动连接于固定架(101b)的一侧，两个所述主动轮(102e)活动套设于转轴(102d)的外圈，所述转轴(102d)上安装有传送带(102g)，所述传送带(102g)与辅助轮(102f)相配合。
3.如权利要求2所述的输送结构，其特征在于：所述固定板(103a)开设有通孔(103e)，所述通孔(103e)中滑动连接有插杆(103f)，所述插杆(103f)的一端位于固定壳(103d)内部，所述固定壳(103d)的一侧固定连接有连接杆(103h)，所述弹簧(103g)位于连接杆(103h)的外圈。
4.如权利要求3所述的输送结构，其特征在于：所述弹簧(103g)的两端分别固定于插杆(103f)的一侧和固定壳(103d)的内壁，所述连接杆(103h)开设有凹槽(103i)，所述凹槽(103i)中转动连接有拉杆(103j)，所述拉杆(103j)的一端固定连接有连接板(103k)，且连接板(103k)与放置槽(103c)相适配。
5.一种硅片表面脏污检测装置，其特征在于：包括权利要求1～4任一所述的输送结构；以及
检测组件(200)，所述检测组件(200)包括第一检测件(201)以及设置于第一检测件(201)一侧的第二检测件(202)，所述第一检测件(201)、第二检测件(202)均与两个运输组件(100)相配合；
所述第一检测件(201)包括设置于传送带(102g)下方的第一安装架(201a)、安装于第一安装架(201a)一侧的第一光源(201c)以及设置于第一光源(201c)正下方的第一线扫相机(201b)，所述第一光源(201c)开设有第一通槽(201d)，所述第一通槽(201d)与第一线扫相机(201b)相适配；
所述第二检测件(202)包括设置于传送带(102g)一侧的第二安装架(202d)、安装于第二安装架(202d)一侧的第二光源(202a)以及设置于第二光源(202a)正上方的第二线扫相机(202c)，所述第二光源(202a)开设有第二通槽(202b)，所述第二光源(202a)位于传送带(102g)的上方，所述第二线扫相机(202c)与第二通槽(202b)相适配。
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