CN214881799U - 一种高性能优质合金靶材 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种高性能优质合金靶材，属于合金靶材技术领域，该高性能优质合金靶材，包括靶材本体，靶材本体的上底面具有一个外缘凸起、中心凹陷的上底面，靶材本体与上底面相对的下底面中心具有一个安装孔，靶材本体的下底面与底座的上底面紧密贴合，底座的上端通过连接螺栓固定安装有铝管层，安装限位圈的上端设有抗腐蚀层，抗腐蚀层的上端固定安装有靶材本体，通过设置降温孔和出流孔间的配合，以及安装孔与连接螺栓之间的配合，可以实现靶材本体相对于底座的快速定位安装，节省工时，提高加工效率，通过靶材本体与底座材料间相配合的接触表面非平整，扩大了两者间的接触面积，提高接触散热的效率。

Description

一种高性能优质合金靶材

技术领域

本实用新型属于合金靶材技术领域，具体涉及一种高性能优质合金靶材。

背景技术

镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。各种类型的溅射薄膜材料在半导体集成电路(VLSI)、光碟、平面显示器以及工件的表面涂层等方面都得到了广泛的应用。20世纪90年代以来，溅射靶材及溅射技术的同步发展，极大地满足了各种新型电子元器件发展的需求。例如，在半导体集成电路制造过程中，以电阻率较低的铜导体薄膜代替铝膜布线：在平面显示器产业中，各种显示技术(如LCD、PDP、OLED及FED等)的同步发展，有的已经用于电脑及计算机的显示器制造；在信息存储产业中，磁性存储器的存储容量不断增加，新的磁光记录材料不断推陈出新这些都对所需溅射靶材的质量提出了越来越高的要求，需求数量也逐年增加，且在现有生产过程中存在以下缺陷：

现有的目前靶材背面通循环水，使得靶材保持较低温度。在生产过程中，随着靶材的消耗，需要经常更换靶材，防止冷却水进入真空腔体通的合金，靶材而且会产生变色，靶材在热胀冷缩后的弯曲、怕撞击、易老化等缺陷。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种高性能优质合金靶材，旨在解决现有技术中靶材背面通循环水，使得靶材保持较低温度。在生产过程中，随着靶材的消耗，需要经常更换靶材，防止冷却水进入真空腔体通的合金，靶材而且会产生变色，靶材在热胀冷缩后的弯曲、怕撞击、易老化等缺陷问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高性能优质合金靶材，包括靶材本体，所述靶材本体的上底面具有一个外缘凸起、中心凹陷的上底面，所述靶材本体与上底面相对的下底面中心具有一个安装孔，所述靶材本体的所述下底面与底座的上底面紧密贴合，所述靶材本体的安装孔与底座的连接螺栓相互连通，所述靶材本体的降温孔与底座的出流孔一一连通，所述底座的上端通过连接螺栓固定安装有铝管层，所述铝管层的上端内侧连接有支撑层，所述支撑层的上端设有介质层，所述介质层的上层设有反射层，所述反射层的外表面设有保护漆，所述保护漆的上端连接一圈设有安装限位圈，所述安装限位圈的上端设有抗腐蚀层，所述抗腐蚀层的上端固定安装有靶材本体，通过设置铝管层可将紧密包裹，防止破裂和膨胀，延长的使用寿命，而铝管层可以保护受到外界环境的侵袭，延长铝管层的使用寿命，通过设置合金膜不会产生变色，仍可以保持金属的光泽。

作为本实用新型一种优选的，所述靶材本体会相对于底座卡紧安装，所述底座的上底面与靶材本体的下底面为具有圆弧状外凸结构的非平整表面。

作为本实用新型一种优选的，所述底座上的出流孔以及连接螺栓的内部流体通路，所述底座的上底面与靶材本体的下底面相互啮合。

作为本实用新型一种优选的，所述底座的上底面中心具有中空的连接螺栓，所述连接螺栓与安装孔配合安装。

作为本实用新型一种优选的，所述介质层的内侧设有氮化硅，所述介质层厚20-100nm。

作为本实用新型一种优选的，所述靶材本体的上端设有隔热层，所述隔热层上层覆盖合金膜。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、通过设置铝管层可将紧密包裹，防止破裂和膨胀，延长的使用寿命，而铝管层可以保护受到外界环境的侵袭，延长铝管层的使用寿命，通过设置合金膜不会产生变色，仍可以保持金属的光泽。

2、通过设置降温孔和出流孔间的配合，以及安装孔与连接螺栓之间的配合，可以实现靶材本体相对于底座的快速定位安装，节省工时，提高加工效率，通过靶材本体与底座材料间相配合的接触表面非平整，扩大了两者间的接触面积，提高接触散热的效率。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并所述构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1为本实用新型中的立体结构示意图；

图2为本实用新型中爆炸结构示意图；

图3为本实用新型中平面结构示意图。

图中：1、靶材本体；2、上底面；3、底座；4、连接螺栓；5、降温孔；6、出流孔；7、铝管层；8、支撑层；9、介质层；10、安装限位圈；11、抗腐蚀层；12、下底面；13、反射层；14、保护漆；15、隔热层；16、安装孔。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“顶/底端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“套设/接”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例

请参阅图1-3，本实用新型提供以下技术方案：一种高性能优质合金靶材，包括靶材本体1，靶材本体1的上底面2具有一个外缘凸起、中心凹陷的上底面2，靶材本体1与上底面2相对的下底面12中心具有一个安装孔16，靶材本体1的下底面12与底座3的上底面2紧密贴合，靶材本体1的安装孔16与底座3的连接螺栓4相互连通，靶材本体1的降温孔5与底座3的出流孔6一一连通，底座3的上端通过连接螺栓4固定安装有铝管层7，铝管层7的上端内侧连接有支撑层8，支撑层8的上端设有介质层9，介质层9的上层设有反射层13，反射层13的外表面设有保护漆14，保护漆14的上端连接一圈设有安装限位圈10，安装限位圈10的上端设有抗腐蚀层11，抗腐蚀层11的上端固定安装有靶材本体1，通过设置降温孔5和出流孔6间的配合，以及安装孔16与连接螺栓4之间的配合，可以实现靶材本体1相对于底座3的快速定位安装，节省工时，提高加工效率，通过靶材本体1与底座3材料间相配合的接触表面非平整，扩大了两者间的接触面积，提高接触散热的效率。

在本实用新型的具体实施例中，靶材本体1的上底面2具有一个外缘凸起、中心凹陷的上底面2，中空的连接螺栓4流至安装孔16，再由所述安装孔16流入所述降温孔5，最后从降温孔5流入到出流孔6中，通过设置铝管层7可将紧密包裹，防止破裂和膨胀，延长的使用寿命，而铝管层7可以保护受到外界环境的侵袭，延长铝管层7的使用寿命，通过设置合金膜不会产生变色，仍可以保持金属的光泽，通过支撑层8可在弯折的时候进行支撑，起到抗折的作用，反射层13的外表面设有保护漆14，通过设置反射层13可以更好的起到隔音和绝缘性，产品重量轻，强度高，反射层13的外表面设有保护漆14，且通过设置保护漆14免受坏境的侵蚀，从而提高并延长它们的使用寿命，确保使用的安全性和可靠性，通过设置安装限位圈10能更好的并实现较紧的密封效果，以防止对密封加工过程的影响，安装限位圈10的上端设有抗腐蚀层11，通过设置抗腐蚀层11可以长时间使用不会发生腐蚀的问题。

具体的，请参阅图2，靶材本体1相对于底座3卡紧安装，底座3的上底面2与靶材本体1的下底面12为具有圆弧状外凸结构的非平整表面。

本实施例中：靶材本体1相对于底座3卡紧安装，底座3的上底面2与靶材本体1的下底面12为具有圆弧状外凸结构的非平整表面，且触表面的非平整图形，使接触冷却形成对液冷效果的弥补，以提高产品工作质量。

具体的，请参阅图2，底座3上的出流孔6以及连接螺栓4的内部流体通路，底座3的上底面2与靶材本体1的下底面12相互啮合。

本实施例中：底座3上的出流孔6以及连接螺栓4的内部流体通路，且底座3的上底面2与靶材本体1的下底面12相互啮合，且底座3的快速定位安装，节省工时，提高加工效率。

具体的，请参阅图2，底座3的上底面2中心具有中空的连接螺栓4，连接螺栓4与安装孔16配合安装。

本实施例中：底座3的上底面2中心具有中空的连接螺栓4，通过设置连接螺栓4能更好的夹紧，省却复杂的装夹过程，并实现较紧的密封效果，以防止密封加工过程的影响

具体的，请参阅图2，介质层9的内侧设有氮化硅，介质层9厚20-100nm。

本实施例中：介质层9的内侧设有氮化硅，通过设置氮化硅，且氮化硅一种重要的结构陶瓷材料，硬度大，本身具有润滑性，并且耐磨损，为原子晶体；高温时抗氧化，且介质层9厚20-100nm。

具体的，请参阅图2，靶材本体1的上端设有隔热层15，隔热层15上层覆盖合金膜。

本实施例中：靶材本体1的上端设有隔热层15，通过设置隔热层15能更好的进行隔热，隔热层15上层覆盖合金膜，通过设置合金膜不会产生变色，仍可以保持金属的光泽。

本实用新型的工作原理及使用流程：使用时，中空的连接螺栓4流至安装孔16，再由所述安装孔16流入所述降温孔5，最后从降温孔5流入到出流孔6中，通过设置铝管层7可将紧密包裹，防止破裂和膨胀，延长的使用寿命，而铝管层7可以保护受到外界环境的侵袭，延长铝管层7的使用寿命，通过设置合金膜不会产生变色，仍可以保持金属的光泽，通过支撑层8可在弯折的时候进行支撑，起到抗折的作用，反射层13的外表面设有保护漆14，通过设置反射层13可以更好的起到隔音和绝缘性，产品重量轻，强度高，反射层13的外表面设有保护漆14，且通过设置保护漆14免受坏境的侵蚀，从而提高并延长它们的使用寿命，确保使用的安全性和可靠性，通过设置安装限位圈10能更好的并实现较紧的密封效果，以防止对密封加工过程的影响，安装限位圈10的上端设有抗腐蚀层11，通过设置抗腐蚀层11可以长时间使用不会发生腐蚀的问题。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种高性能优质合金靶材，其特征在于：包括靶材本体(1)，所述靶材本体(1)的上底面(2)具有一个外缘凸起、中心凹陷的上底面(2)，所述靶材本体(1)与上底面(2)相对的下底面(12)中心具有一个安装孔(16)，所述靶材本体(1)的所述下底面(12)与底座(3)的上底面(2)紧密贴合，所述靶材本体(1)的安装孔(16)与底座(3)的连接螺栓(4)相互连通，所述靶材本体(1)的降温孔(5)与底座(3)的出流孔(6)一一连通，所述底座(3)的上端通过连接螺栓(4)固定安装有铝管层(7)，所述铝管层(7)的上端内侧连接有支撑层(8)，所述支撑层(8)的上端设有介质层(9)，所述介质层(9)的上层设有反射层(13)，所述反射层(13)的外表面设有保护漆(14)，所述保护漆(14)的上端连接一圈设有安装限位圈(10)，所述安装限位圈(10)的上端设有抗腐蚀层(11)，所述抗腐蚀层(11)的上端固定安装有靶材本体(1)。

2.根据权利要求1所述的一种高性能优质合金靶材，其特征在于：所述靶材本体(1)相对与底座(3)卡紧安装，所述底座(3)的上底面(2)与靶材本体(1)的下底面(12)为具有圆弧状外凸结构的非平整表面。

3.根据权利要求1所述的一种高性能优质合金靶材，其特征在于：所述底座(3)上的出流孔(6)以及连接螺栓(4)的内部流体通路，所述底座(3)的上底面(2)与靶材本体(1)的下底面(12)相互啮合。

4.根据权利要求1所述的一种高性能优质合金靶材，其特征在于：所述底座(3)的上底面(2)中心具有中空的连接螺栓(4)，所述连接螺栓(4)与安装孔(16)配合安装。

5.根据权利要求1所述的一种高性能优质合金靶材，其特征在于：所述介质层(9)的内侧设有氮化硅，所述介质层(9)厚20-100nm。

6.根据权利要求1所述的一种高性能优质合金靶材，其特征在于：所述靶材本体(1)的上端设有隔热层(15)，所述隔热层(15)上层覆盖合金膜。

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