CN214160198U - 一种显影液喷涂装置和显影设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型实施例公开一种显影液喷涂装置和显影设备，显影液喷涂装置包括储液容器、泵体、换向阀、第一过滤器、第二过滤器、喷头以及流量计，泵体的输入端与储液容器的出液端连接，泵体的输出端与换向阀的输入端连接；第一过滤器的输入端与换向阀的第一输出端连接，第二过滤器的输入端与换向阀的第二输出端连接，第一过滤器的输出端和第二过滤器的输出端均通过流量计与喷头的输入端连接；在流量计统计的流量小于预设的第一阈值时，换向阀的输入端切换为连接换向阀的第一输出端或第二输出端，实现了过滤器堵塞不可用导致流量下降时切换过滤器，显影设备无需停机来更换过滤器，保证了显影设备的作业时间。

Description

一种显影液喷涂装置和显影设备

技术领域

本实用新型涉及液晶面板制造技术领域，尤其涉及一种显影液喷涂装置和显影设备。

背景技术

显影设备是液晶面板制造行业中必不可少的设备，涂布光阻的玻璃基板经过曝光后进入显影设备，显影设备通过显影液喷涂装置将显影液均匀的撒在玻璃基板上，进而将光罩定义出的图像显现出来。

如图1所示为现有技术中显影设备的显影液喷涂装置，在图1中，从储液容器1＇到喷头3＇的输液管道中设置有一个过滤器2＇，过滤器2＇能够过滤显影液中的杂质，当显影设备使用时间过长时，过滤器2＇处堆积有杂质，过滤器2＇发生堵塞，喷头3＇喷出来的显影液不足甚至无法喷出显影液，导致发生显影不良，因此需要显影设备停机来更换过滤器2＇，无疑减少了显影设备的作业时间。

实用新型内容

本实用新型实施例的目的在于：提供一种显影液喷涂装置和显影设备，以解决现有技术中显影设备需要停机来更换过滤器，减少了显影设备的作业时间的问题。

第一方面，本实用新型实施例提供一种显影液喷涂装置，所述显影液喷涂装置包括储存显影液的储液容器、泵体、换向阀、第一过滤器、第二过滤器、喷头以及统计所述显影液的流量的流量计；

所述储液容器设置有输出所述显影液的出液端；

所述泵体的输入端与所述储液容器的出液端连接，所述泵体的输出端与所述换向阀的输入端连接；

所述换向阀包括第一输出端和第二输出端，所述第一过滤器的输入端与所述换向阀的第一输出端连接，所述第二过滤器的输入端与所述换向阀的第二输出端连接，所述第一过滤器的输出端和所述第二过滤器的输出端均通过所述流量计与所述喷头的输入端连接；

在所述流量小于预设的第一阈值时，所述换向阀的输入端从连通至所述第一输出端切换为连通至所述第二输出端，或者所述换向阀的输入端从连通至所述第二输出端切换为连通至所述第一输出端。

可选地，所述显影液喷涂装置还包括控制器，所述控制器分别与所述流量计和所述换向阀电连接，在所述流量计采集到的流量小于预设的第一阈值时，所述控制器向所述换向阀输出换向信号，以驱动所述换向阀的输入端从连通至所述第一输出端切换为连通至所述第二输出端，或者驱动所述换向阀的输入端从连通至所述第二输出端切换为连通至所述第一输出端。

可选地，所述显影液喷涂装置还包括采集所述显影液的压力值的压力计，所述第一过滤器的输出端和所述第二过滤器的输出端均通过所述压力计与所述流量计的输入端连接；

在所述压力值小于预设的压力阈值时，所述换向阀的输入端从连通至所述第一输出端切换为连通至所述第二输出端，或者所述换向阀的输入端从连通至所述第二输出端切换为连通至所述第一输出端。

可选地，所述流量计的输入端设置有流量阀，所述流量阀的输入端与所述第一过滤器的输出端和所述第二过滤器的输出端连接，所述流量阀的输出端与所述流量计的输入端连接，所述控制器与所述流量阀电连接；

在所述流量小于预设的第二阈值时，所述流量阀调节流入所述流量计的输入端的显影液的流量。

可选地，所述泵体的输入端和所述泵体的输出端均设置有第一阀门。

可选地，所述第一过滤器的输入端、所述第一过滤器的输出端、所述第二过滤器的输入端和所述第二过滤器的输出端均设置有第二阀门。

可选地，所述第一过滤器和所述第二过滤器均为可拆卸式过滤器。

可选地，所述换向阀为电磁换向阀。

可选地，所述显影液喷涂装置还包括显影液回收组件，所述显影液回收组件的输出端与所述储液容器的进液端连接。

第二方面，本实用新型实施例提供一种显影设备，包括显影平台和本实用新型第一方面所述的显影液喷涂装置；

所述显影平台用于承载待显影的基板；

所述显影液喷涂装置向所述基板喷涂显影液。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型实施例的显影液喷涂装置包括储存显影液的储液容器、泵体、换向阀、第一过滤器、第二过滤器、喷头以及统计显影液的流量的流量计，其中，换向阀包括第一输出端和第二输出端，第一过滤器的输入端与换向阀的第一输出端连接，第二过滤器的输入端与换向阀的第二输出端连接，第一过滤器的输出端和第二过滤器的输出端均通过流量计与喷头的输入端连接，可以在第一过滤器或者第二过滤器堵塞导致流量小于预设的第一阈值时，驱动换向阀的输入端从连通至第一输出端切换为连通至第二输出端，或者驱动换向阀的输入端从连通至第二输出端切换为连通至第一输出端，实现了第一过滤器堵塞不可用时切换为使用第二过滤器，或者第二过滤器堵塞不可用时切换为使用第一过滤器，无需显影设备停机来更换第一过滤器或者第二过滤器，解决了显影设备停机更换过滤器导致显影设备的作业时间减少的问题，保证了显影设备的作业时间。

附图说明

下面根据附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明。

图1为现有技术中显影液喷涂装置的示意图；

图2为本实用新型一个实施例中显影液喷涂装置的示意图；

图3为本实用新型另一个实施例中显影液喷涂装置的示意图；

图1中：1＇、储液容器；2＇、过滤器；3＇、喷头；

图2和图3中：

10、储液容器；20、泵体；30、换向阀；40、第一过滤器；50、第二过滤器；60、流量计；70、喷头；80、控制器；90、流量阀；100、压力计；110、第一阀门；120、第二阀门；130、显影液回收组件。

具体实施方式

参考下面结合附图详细描述的实施例，本实用新型的优点和特征以及实现它们的方法将变得显而易见。然而，本实用新型不限于以下公开的实施例，而是可以以各种不同的形式来实现，提供本实施例仅仅是为了完成本实用新型的公开并且使本领域技术人员充分地了解本实用新型的范围，并且本实用新型仅由权利要求的范围限定。相同的附图标记在整个说明书中表示相同的构成要素。

以下，参照附图来详细描述本实用新型。

图2为本实用新型实施例的显影液喷涂装置的示意图，如图2所示，本实用新型实施例的显影液喷涂装置包括储存显影液的储液容器10、泵体20、换向阀30、第一过滤器40、第二过滤器50、喷头70以及统计显影液的流量的流量计60。

其中，储液容器10设置有输出显影液的出液端，泵体20可以为吸入显影液和排出显影液的电泵，例如，可以是以电能为驱动力的叶片泵、容积泵等。泵体20的输入端与储液容器10的出液端连接，泵体20的输出端与换向阀30的输入端连接，从而可以通过泵体20将储液容器10储存的显影液输出到换向阀30的输入端。

换向阀30可以是具有两种以上流动形式和两个以上输出端的方向控制阀，在本实用新型的可选实施例中，换向阀30包括一个输入端、第一输出端以及第二输出端，当换向阀30的输入端与第一输出端连通时，换向阀30的输入端与第二输出端不连通，当换向阀30的输入端与第二输出端连通时，换向阀30的输入端与第一输出端不连通。在一个可选实施例中，第一过滤器40的输入端与换向阀30的第一输出端连接，第二过滤器50的输入端与换向阀30的第二输出端连接，第一过滤器40的输出端和第二过滤器50的输出端均通过流量计60与喷头70的输入端连接。

在本实用新型的可选实施例中，第一过滤器40和第二过滤器50均为可拆卸式过滤器，即第一过滤器40和第二过滤器50可以从显影液喷涂装置中拆卸出来，具体地，第一过滤器40和第二过滤器50可拆卸式地安装在输送显影液的管道中，使得第一过滤器40或者第二过滤器50发生堵塞需要更换时，可以方便地将第一过滤器40或者第二过滤器50拆卸下来更换。

流量计60统计流入喷头70的显影液的流量，在流量计60统计的流量小于预设的第一阈值时，换向阀30的输入端从连通至第一输出端切换为连通至第二输出端，或者换向阀30的输入端从连通至第二输出端切换为连通至第一输出端，从而实现第一过滤器40和第二过滤器50之间的切换。在实际应用中，换向阀30可以为手动控制的换向阀，如作业人员观察到流量计60统计的流量小于预设的第一阈值时，手动操作换向阀30来实现显影液流向第一过滤器40或者第二过滤器50。当然，换向阀30也可以是自动控制的换向阀，例如换向阀30可以是电磁换向阀，当流量计60统计的流量小于预设的第一阈值时，电磁换向阀获得电能来实现换向，以使得显影液流向第一过滤器40或者第二过滤器50，其中，预设的第一阈值可以为喷头70实现正常显影时所需要的显影液的最小流量值。

本实用新型实施例的显影液喷涂装置的工作原理如下：

在显影过程中，泵体20将储液容器10中的显影液输送到换向阀30的输入端，显影液经换向阀30后通过第一过滤器40或者第二过滤器50后流入流量计60，经由流量计60后从喷头70喷出。流量计60统计显影液的流量，如果当前换向阀30的输入端与换向阀30的第一输出端连通，即当前通过第一过滤器40过滤显影液，第一过滤器40发生堵塞导致流量不足，流量小于预设的第一阈值，可以控制换向阀30的输入端从连通至第一输出端切换为连通至第二输出端，以通过第二过滤器50来过滤显影液，第一过滤器40中无显影液流过，可以对第一过滤器40进行更换。

同理，如果当前换向阀30的输入端与换向阀30的第二输出端连通，即当前通过第二过滤器50过滤显影液，第二过滤器50堵塞导致流量不足，流量小于预设的第一阈值，可以控制换向阀30的输入端从连通至第二输出端切换为连通至第一输出端，以通过第一过滤器40来过滤显影液，可以对第二过滤器50进行更换，从而实现了第一过滤器40堵塞不可用时切换为使用第二过滤器50，或者第二过滤器50堵塞不可用时切换为使用第一过滤器40，无需显影设备停机来更换第一过滤器40或者第二过滤器50，解决了显影设备停机来更换过滤器导致显影设备的作业时间减少的问题，保证了显影设备的作业时间。

如图3所示为本实用新型另一实施例的显影液喷涂装置的示意图，在上述实施例的基础上，本实用新型实施例的显影液喷涂装置还包括控制器80，控制器80分别与流量计60和换向阀30电连接。

具体地，在流量计60统计到的流量小于预设的第一阈值时，控制器80向换向阀30输出换向信号，以驱动换向阀30的输入端从连通至第一输出端切换为连通至第二输出端，或者驱动换向阀30的输入端从连通至第二输出端切换为连通至第一输出端。

在一个示例中，换向阀30为电磁换向阀，例如可以是两位三通电磁换向阀，可以通过控制器80来控制换向阀30的输入端连通至第一输出端或者第二输出端，例如，当前换向阀30的输入端连通第一输出端，通过第一过滤器40来过滤显影液，当第一过滤器40发生堵塞，喷头70处的显影液的流量不足时，流量计60统计的流量小于预设的第一阈值，控制器80向换向阀30输出电信号，换向阀30通电，换向阀30的输入端连通到第二输出端，以通过第二过滤器50来过滤显影液，第一过滤器40中不再有显影液流过，无需显影设备停机就可以更换第一过滤器40，保证了显影设备的作业时间，再者，通过控制器80来控制换向阀30换向，无需人员来判断第一过滤器40、第二过滤器50是否发生堵塞，一方面避免了人员判断存在准确度低的问题，提高了换向阀30换向的准确度，另一方面，可以提高显影设备的自动化程度。

如图3所示，在本实用新型的可选实施例中，显影液喷涂装置还包括采集显影液的压力的压力计100，第一过滤器40的输出端和第二过滤器50的输出端均通过压力计100与流量计60的输入端连接。在压力小于预设的压力阈值时，换向阀30的输入端从连通至第一输出端切换为连通至第二输出端，或者换向阀30的输入端从连通至第二输出端切换为连通至第一输出端。

在一个示例中，预设的压力阈值可以是喷头70喷涂时所需的显影液的最小压力，如果第一过滤器40或者第二过滤器50发生堵塞导致流量不足，第一过滤器40的输出端和第二过滤器50的输出端输出的显影液的压力下降，当低于预设的压力阈值时，可以通过换向阀30换向来实现显影液流向第一过滤器40或者第二过滤器50。例如，换向阀30为电磁换向阀，则可以设置控制器80，该控制器80与压力计100和换向阀30电连接，假设当前换向阀30的输入端连通第一输出端，通过第一过滤器40来过滤显影液，当第一过滤器40发生堵塞，喷头70处的显影液的流量不足，压力计100的压力值小于预设的压力阈值，控制器80向换向阀30输出电信号，换向阀30通电，换向阀30的输入端连通到第二输出端，以通过第二过滤器50来过滤显影液，第一过滤器40中不再有显影液流过，无需显影设备停机就可以更换第一过滤器40，保证了显影设备的作业时间，通过设置压力计100采集显影液的压力值来确定是否切换过滤器，适用于喷头70对显影液的压力值要求高的喷涂场景。

如图3所示，在本实用新型的可选实施例中，流量计60的输入端设置有流量阀90，其中，流量阀90可以是调节流入流量计60的显影液的流量的阀体，在一个示例中，流量阀90可以是自动控制的流量阀，即流量阀90上设置流量值后，从该流量阀90输出的显影液的流量维持在设定的流量值；在另一个示例中，流量阀90也可以是通过控制器80实时控制的流量阀。流量阀90的输入端与第一过滤器40的输出端和第二过滤器50的输出端连接，例如，流量阀90的输入端连接有压力计100，通过压力计100与第一过滤器40的输出端和第二过滤器50的输出端连接，流量阀90的输出端与流量计60的输入端连接。在流量计60统计的流量小于预设的第二阈值时，流量阀90调节流入流量计60的输入端的显影液的流量，其中，预设的第二阈值大于预设的第一阈值，在一个示例中，第一阈值可以为10L/MIN，第二阈值可以比第一阈值略大，如第二阈值可以为10.5L/MIN。在第一过滤器40或者第二过滤器50无堵塞、流量充足的情况下，当流量计60统计的流量小于预设的第二阈值且大于预设的第一阈值时，流量阀90调整流入流量计60的显影液的流量，使得流量大于预设的第二阈值，随着显影液喷涂装置的使用时间增长，第一过滤器40或第二过滤器50堵塞后，即使调整流量阀90，流量计60统计的流量仍然小于预设的第二阈值，说明第一过滤器40或者第二过滤器50堵塞严重，无法通过流量阀90来调整流量大于预设的第二阈值，随着时间继续增长，显影液的流量可能小于预设的第一阈值，无法满足喷涂需求，需要控制换向阀30换向以执行过滤器的切换。通过设置流量阀90，既可以向喷头70提供稳定流量的显影液，又可以向喷头70提供不同流量的显影液，满足了不同流量的显影工艺需求。

如图3所示，在本实用新型的可选实施例中，泵体20的输入端和泵体20的输出端均设置有第一阀门110，第一过滤器40的输入端、第一过滤器40的输出端、第二过滤器50的输入端和第二过滤器50的输出端均设置有第二阀门120，在泵体20发生故障需要维修时，可以关闭泵体20的输入端和输出端的第一阀门110，避免显影液的输送管道中的显影液流到泵体20中，方便维修泵体20。同理，当需要更换第一过滤器40和第二过滤器50时，同样可以关闭第一过滤器40和第二过滤器50两端的第二阀门120，避免显影液的输送管道中的显影液流到第一过滤器40和第二过滤器50中，方便维修第一过滤器40和第二过滤器50。

如图3所示，在本实用新型的可选实施例中，显影液喷涂装置还包括显影液回收组件130，显影液回收组件130的输出端与储液容器10进液端连接，其中，显影液回收组件130可以是显影设备中能够回收显影液的组件，通过显影液回收组件130可以回收多余的显影液，实现显影液的循环利用，提高显影液的利用率。

本实用新型实施例还提供了一种显影设备，该显影设备包括显影平台和本实用新型任一实施例的显影液喷涂装置，其中，显影平台用于承载待显影的基板，显影液喷涂装置用于向基板喷涂显影液，在一个示例中，基板可以是玻璃基板、金属基板等，显影液喷涂装置的喷头向基板喷涂显影液来完成显影。

本实用新型实施例的显影设备包括显影液喷涂装置，该显影液喷头装置中，流量小于预设的第一阈值时，换向阀的输入端从连通至第一输出端切换为连通至第二输出端，或者换向阀的输入端从连通至第二输出端切换为连通至第一输出端，实现了第一过滤器堵塞不可用时切换为使用第二过滤器，或者第二过滤器堵塞不可用时切换为使用第一过滤器，无需显影设备停机来更换第一过滤器或者第二过滤器，解决了显影设备停机更换过滤器导致显影设备的作业时间减少的问题，保证了显影设备的作业时间。

尽管上面已经参考附图描述了本实用新型的实施例，但是本实用新型不限于以上实施例，而是可以以各种形式制造，并且本领域技术人员将理解，在不改变本实用新型的技术精神或基本特征的情况下，可以以其他特定形式来实施本实用新型。因此，应该理解，上述实施例在所有方面都是示例性的而不是限制性的。

Claims (10)

1.一种显影液喷涂装置，其特征在于，所述显影液喷涂装置包括储存显影液的储液容器、泵体、换向阀、第一过滤器、第二过滤器、喷头以及统计所述显影液的流量的流量计；

所述储液容器设置有输出所述显影液的出液端；

所述泵体的输入端与所述储液容器的出液端连接，所述泵体的输出端与所述换向阀的输入端连接；

所述换向阀包括第一输出端和第二输出端，所述第一过滤器的输入端与所述换向阀的第一输出端连接，所述第二过滤器的输入端与所述换向阀的第二输出端连接，所述第一过滤器的输出端和所述第二过滤器的输出端均通过所述流量计与所述喷头的输入端连接；

在所述流量小于预设的第一阈值时，所述换向阀的输入端从连通至所述第一输出端切换为连通至所述第二输出端，或者所述换向阀的输入端从连通至所述第二输出端切换为连通至所述第一输出端。

2.根据权利要求1所述的显影液喷涂装置，其特征在于，所述显影液喷涂装置还包括控制器，所述控制器分别与所述流量计和所述换向阀电连接，在所述流量计采集到的流量小于预设的第一阈值时，所述控制器向所述换向阀输出换向信号，以驱动所述换向阀的输入端从连通至所述第一输出端切换为连通至所述第二输出端，或者驱动所述换向阀的输入端从连通至所述第二输出端切换为连通至所述第一输出端。

3.根据权利要求1所述的显影液喷涂装置，其特征在于，所述显影液喷涂装置还包括采集所述显影液的压力值的压力计，所述第一过滤器的输出端和所述第二过滤器的输出端均通过所述压力计与所述流量计的输入端连接；

在所述压力值小于预设的压力阈值时，所述换向阀的输入端从连通至所述第一输出端切换为连通至所述第二输出端，或者所述换向阀的输入端从连通至所述第二输出端切换为连通至所述第一输出端。

4.根据权利要求2所述的显影液喷涂装置，其特征在于，所述流量计的输入端设置有流量阀，所述流量阀的输入端与所述第一过滤器的输出端和所述第二过滤器的输出端连接，所述流量阀的输出端与所述流量计的输入端连接，所述控制器与所述流量阀电连接；

在所述流量小于预设的第二阈值时，所述流量阀调节流入所述流量计的输入端的显影液的流量。

5.根据权利要求1-4任一项所述的显影液喷涂装置，其特征在于，所述泵体的输入端和所述泵体的输出端均设置有第一阀门。

6.根据权利要求1-4任一项所述的显影液喷涂装置，其特征在于，所述第一过滤器的输入端、所述第一过滤器的输出端、所述第二过滤器的输入端和所述第二过滤器的输出端均设置有第二阀门。

7.根据权利要求1-4任一项所述的显影液喷涂装置，其特征在于，所述第一过滤器和所述第二过滤器均为可拆卸式过滤器。

8.根据权利要求1-4任一项所述的显影液喷涂装置，其特征在于，所述换向阀为电磁换向阀。

9.根据权利要求1-4任一项所述的显影液喷涂装置，其特征在于，所述显影液喷涂装置还包括显影液回收组件，所述显影液回收组件的输出端与所述储液容器的进液端连接。

10.一种显影设备，其特征在于，包括显影平台和权利要求1-9任一项所述的显影液喷涂装置；

所述显影平台用于承载待显影的基板；

所述显影液喷涂装置向所述基板喷涂显影液。

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