CN212820700U - 双缓冲型光阻液喷涂系统 - Google Patents

Abstract

一种双缓冲型光阻液喷涂系统，其特征在于，包括：第一储液罐，第一过滤器；第一缓冲器；所述第一过滤器设置于所述第一储液罐与所述第一缓冲器之间；所述第一缓冲器连接有第一回抽管；所述第一回抽管安装有第一回抽泵；第二储液罐；第二过滤器；第二缓冲器；所述第二过滤器设置于所述第二储液罐与所述第二缓冲器之间；所述第二缓冲器连接有第二回抽管；所述第二回抽管安装有第二回抽泵；还包括以下两种结构的其中一种：第一种结构，包括选择机构和总光阻液泵；第二种结构，包括选择机构、第一光阻液泵和第二光阻液泵。所述双缓冲型光阻液喷涂系统能够更好地节省光阻液，并且保证光阻液供应不停机。

Description

双缓冲型光阻液喷涂系统

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种双缓冲型光阻液喷涂系统。

背景技术

光阻液涂布(Coating)在半导体制造的领域中，扮演着相当重要的角色。例如在蚀刻制程中，光阻层被当作被蚀刻薄膜的罩幕，用以保持所需图案不被蚀刻反应去除。又如在离子植入(离子注入)制程中，光阻层也具备罩幕的功能，使掺杂只掺入到预定的区域中。

光阻液喷涂系统主要包括：第一储液罐、第一缓冲器、第一光阻液泵、过滤器、控制阀以及喷嘴等结构。从第一储液罐供应出的光阻液，先进入第一缓冲器，再通过第一光阻液泵将第一缓冲器中的光阻液抽出，经由过滤器过滤后，借由控制阀来控制光阻液由喷嘴喷出所需流量。光阻液由喷嘴喷出至放至于旋转涂布机(Spin Coater)的芯片(晶圆)上，使旋转涂布机带动芯片旋转，借由离心力使光阻液能均匀的涂布于芯片表面。

然而，在光阻液涂布制程中，经常因为光阻液内产生气泡或杂质而引起芯片涂布的覆盖不良(Poor Coating)与平坦度不佳(Range too Hight)现象，这将导致芯片的蚀刻良率或可靠度降低，情况严重者甚至造成芯片报废。

因此，需要定期更换过滤器以确保过滤品质。

目前，过滤器的更换，经常是固定频率为每三个月更换一次，且过滤器更换时，都需要经过光阻液流通过的预湿程序，以排出500mL到l000mL量的光阻液，湿润过的过滤器才可以正常使用。

然而，过滤器在预湿过程中，会因速度、压力或温度的影响产生气泡。若直接进行涂布作业势必影响涂布效果。若在预湿后再进行排气作业，又会多耗费时间，并增加光阻液使用成本，使得替换过滤器成为一项耗时耗成本的程序。

实用新型内容

本实用新型解决的问题是，提供一种双缓冲型光阻液喷涂系统，以在预湿过滤器后，在系统中就把预湿过程产生的微气泡排除，从而防止额外消耗光阻液，并节省作业时间。

为解决上述问题，本实用新型提供了一种双缓冲型光阻液喷涂系统，包括：第一储液罐，用于储存和供应光阻液；第一过滤器，用于过滤光阻液的杂质；第一缓冲器，用于排除光阻液的微气泡，并用于缓存和提供光阻液；所述第一过滤器设置于所述第一储液罐与所述第一缓冲器之间；所述第一缓冲器连接有第一回抽管，所述第一回抽管第一端伸入所述第一缓冲器内部，第二端连接至所述第一过滤器前端；所述第一回抽管安装有第一回抽泵；所述第一回抽管和所述第一回抽泵用于将所述第一缓冲器内的光阻液回抽至所述第一过滤器前端；第二储液罐，用于储存和供应光阻液；第二过滤器，用于过滤光阻液的杂质；第二缓冲器，用于排除光阻液的微气泡，并用于缓存和提供光阻液；所述第二过滤器设置于所述第二储液罐与所述第二缓冲器之间；所述第二缓冲器连接有第二回抽管，所述第二回抽管第二端伸入所述第二缓冲器内部，第二端连接至所述第二过滤器前端；所述第二回抽管安装有第二回抽泵；所述第二回抽管和所述第二回抽泵用于将所述第二缓冲器内的光阻液回抽至所述第二过滤器前端；还包括以下两种结构的其中一种：第一种结构，包括选择机构和总光阻液泵；所述选择机构用于从所述第一缓冲器和所述第一缓冲器内选择光阻液；所述总光阻液泵用于将所选择的光阻液输送至使用端；第二种结构，包括选择机构、第一光阻液泵和第二光阻液泵；所述选择机构用于从所述第一缓冲器和所述第二缓冲器内选择光阻液；所述第一光阻液泵用于将所述第一缓冲器内的光阻液输送至使用端，所述第二光阻液泵用于将所述第二缓冲器内的光阻液输送至使用端。

可选的，所述第一回抽管安装有第一液体阀和第一回抽液体传感器的至少其中之一；所述第二回抽管安装有第二液体阀和第二回抽液体传感器的至少其中之一。

可选的，所述第一缓冲器连接有第一排气管，所述第一排气管安装有第一排气阀和第一气体传感器；所述第二缓冲器连接有第二排气管，所述第二排气管安装有第二排气阀和第二气体传感器。

可选的，所述系统还包括第三过滤器，所述第三过滤器与所述第一过滤器并列连接在所述第一储液罐与所述第一缓冲器之间；还包括第四过滤器，所述第四过滤器与所述第二过滤器并列连接在所述第二储液罐与所述第二缓冲器之间。

可选的，所述第一过滤器和所述第三过滤器的前端通过第一三通阀连接所述第一储液罐，所述第一过滤器和所述第三过滤器的后端通过第二三通阀连接所述第一缓冲器；所述第二过滤器和所述第四过滤器的前端通过第三三通阀连接所述第二储液罐，所述第二过滤器和所述第四过滤器的后端通过第四三通阀连接所述第二缓冲器。

可选的，所述第一过滤器的前端与所述第一储液罐之间具有第一单向控制阀；所述第一回抽管第二端连接在所述第一单向控制阀和所述第一缓冲器之间；所述第二过滤器的前端与所述第二储液罐之间具有第二单向控制阀；所述第二回抽管第二端连接在所述第二单向控制阀和所述第二缓冲器之间。

可选的，所述第一过滤器的后端与所述第一缓冲器之间具有第一过滤液体传感器；所述第二过滤器的后端与所述第二缓冲器之间具有第二过滤液体传感器。

可选的，所述选择机构的后端还具有使用控制阀。

可选的，所述使用控制阀的后端还具有喷嘴机构。

可选的，所述第一缓冲器和所述喷嘴机构之间还具有第一供应液体传感器；所述第二缓冲器和所述喷嘴机构之间还具有第二供应液体传感器。

本实用新型技术方案的其中一个方面中，提供一种新的光阻液喷涂系统，所述系统可以在防止光阻液内部残留气泡的同时，达到节省光阻液的目的，并且，所述系统能够利用两种不同方式对过滤器进行预湿，使得系统的灵活性更高，使用性能更强；同时，所述系统具有两条不同的供液管路，均可以提供光阻液，两条供液管路均具有相应的缓冲器，缓冲器可以用于确保光阻液的供应不停机，而两条供液管路再通过选择机构实现切换，可以更好地确保光阻液供应不停机。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的一种双缓冲型光阻液喷涂系统示意图；

图2是本实用新型另一实施例提供的另一种双缓冲型光阻液喷涂系统示意图。

具体实施方式

在光阻液涂布制程中，会产生覆盖不良与平坦度不佳等现象，这些现象的其中的一种原因在于，过滤器预湿过程导致光阻液内部残留有气泡，使光阻液不连续涂布在芯片(晶圆)表面上。然而，要避免出现上述原因，通常会造成光阻液的浪费，而光阻液又是一种昂贵的材料。

为此，本实用新型提供一种双缓冲型光阻液喷涂系统，以解决上述存在的不足。为更加清楚的表示，下面结合附图对本实用新型做详细的说明。

本实用新型实施例提供一种双缓冲型光阻液喷涂系统，请结合参考图1，所述系统包括：

第一储液罐100，用于储存和供应光阻液(光阻液图1中未示出)；

第一过滤器110，用于过滤光阻液的杂质；

第一缓冲器120，用于排除光阻液的微气泡，并用于缓存和提供光阻液；

第一过滤器110设置于第一储液罐100与第一缓冲器120之间；

第一光阻液泵130，用于将第一储液罐100内的光阻液输送至使用端；

第一缓冲器120连接有第一回抽管160，第一回抽管160第一端伸入第一缓冲器120内部，第二端连接至第一过滤器110前端；第一回抽管160安装有第一回抽泵161；第一回抽管160和第一回抽泵161用于将第一缓冲器120内的光阻液回抽至第一过滤器110前端；

第二储液罐200，用于储存和供应光阻液；

第二过滤器210，用于过滤光阻液的杂质；

第二缓冲器220，用于排除光阻液的微气泡，并用于缓存和提供光阻液；

第二过滤器210设置于第二储液罐200与第二缓冲器220之间；

第二缓冲器220连接有第二回抽管260，第二回抽管260第二端伸入第二缓冲器220内部，第二端连接至第二过滤器210前端；第二回抽管260安装有第二回抽泵261；第二回抽管260和第二回抽泵261用于将第二缓冲器220内的光阻液回抽至第二过滤器210前端；

选择机构，本实施例中的选择机构具体为图1中的总三通阀180，选择机构用于从第一缓冲器120和第二缓冲器220内选择光阻液；即通过总三通阀180本实施例能够切换两种不同的光阻液供应管路；

总光阻液泵130，总光阻液泵130用于将总三通阀180所选择的光阻液输送至使用端。

其中，第一缓冲器120的后端和第二缓冲器220的后端均连接至使用端。

由上述结构可知，本实施例提供的系统具有两条不同的供液管路，均可以提供光阻液，两条供液管路均具有相应的缓冲器，缓冲器可以用于确保光阻液的供应不停机。而两条供液管路再通过选择机构(总三通阀180)实现切换，可以进一步更好地确保光阻液供应不停机。

本实施例中，第一储液罐100本身是光阻液储存装置。第一储液罐100内的光阻液可以通过向第一储液罐100输入(压入)干燥空气或者氮气，从而使光阻液输出，实现光阻液的供应。可以用于输入干燥空气或者氮气的管道如图1中最左侧管道所示(此管道未标注)。

第二储液罐200的作用可参考第一储液罐100。

本实施例中，第一过滤器110过滤的光阻液，通常是从第一储液罐100输入第一过滤器110的光阻液。但同时，在一些情况下，还有从第一缓冲器120通过第一回抽管160再次抽回第一过滤器110进行预湿的光阻液，请参考后续内容。

第二过滤器210的作用可参考第一过滤器110。

本实施例中，第一缓冲器120排除的微气泡，多是来自于从第一过滤器110预湿过程中，输入第一缓冲器120的光阻液中。当然，使用过程中，如果从第一过滤器110产生微气泡，也能够在第一缓冲器120中得到排除。

第二缓冲器220的作用可参考第一缓冲器120。

如图1所示，本实施例提供的系统中，第一回抽管160安装有第一液体阀162。第一液体阀162用于进一步控制回抽操作，使得当第一液体阀162打开且第一回抽泵161工作时，才进行光阻液的回抽，从而保证操作安全可靠。

本实施例提供的系统中，第二回抽管260安装有第二液体阀262，可参考第一液体阀162相应内容。

如图1所示，本实施例提供的系统中，第一缓冲器120连接有第一排气管170，第一排气管170用于气体的排放，第一排气管170可以从第一缓冲器120上方引出。气体密度小，向上逸出，设置第一排气管170连接在第一缓冲器120上方，以利于气体排出。

第二排气管270的作用可以参考第一排气管170。

如图1所示，第一排气管170安装有第一排气阀172和第一气体传感器171。第一排气阀172用于控制第一排气管170的导通和关闭，第一排气阀172可以同时有气体流量流速监测功能。第一气体传感器171则用于进一步确认在第一缓冲器120排气过程中，相应的系统排气状态是否正常。

第二排气阀272和第二气体传感器271的作用可以分别参考第一排气阀172和第一气体传感器171。

需要说明的是，其它实施例中，第一排气管170可以安装有相应的抽气装置，如抽气泵，以实现更好的排气作用。第二排气管270可以安装有相应的抽气装置，如抽气泵，以实现更好的排气作用。

如图1所示，本实施例中，第一过滤器110的前端与第一储液罐100之间具有第一单向控制阀111。第一单向控制阀111用于配合实现第一储液罐100对第一过滤器110的光阻液供应。第一单向控制阀111打开时，光阻液能够从第一储液罐100注入(压入)第一过滤器110，而当第一单向控制阀111关闭时，可以利用这样的关闭状态，实现对第一过滤器110的更换，或者实现对第一储液罐100(如用尽光阻液之后)的更换。

同时，本实施例中，第一回抽管160第二端连接在第一单向控制阀111和第一缓冲器120之间。此时，第一单向控制阀111可以同时用于防止第一回抽管160输送过来的回抽光阻液向第一储液罐100一侧流回，从而确保回抽出来的光阻液，全部用于输入第一过滤器110，以全部用于对第一过滤器110进行预湿，同时实现对这部分光阻液的再次过滤，请结合参考本实施例后续内容。

如图1所示，本实施例中，第二过滤器210的前端与第二储液罐200之间具有第二单向控制阀211，可参考第一单向控制阀111相关内容。

本实施例中，第一过滤器110的后端与第一缓冲器120之间具有第一过滤液体传感器112。第一过滤液体传感器112可以用于检测从第一过滤器110过滤后的光阻液是否正常输入第一缓冲器120。

第二过滤器210的后端与第二缓冲器220之间具有第二过滤液体传感器212，可参考第一过滤液体传感器112相应内容。

如图1，本实施例中，第一缓冲器120的后端还具有使用控制阀140。使用控制阀140用于进一步控制光阻液到使用端的流动状态，即便第一光阻液泵130总光阻液泵130停止输送(压送)光阻液时，通过使用控制阀140的关闭操作，也可以进一步防止光阻液向使用端流动(如泄漏)。同时，由图1可知，本实施例中，使用控制阀140位于选择机构的后端，因此，也即选择机构后端具有使用控制阀140。

如图1，使用控制阀140的后端还具有喷嘴机构150。喷嘴机构150控制最终光阻液的喷出流量和喷出状态，以用于半导体产品(如芯片)的制造。

由图1所示的系统结构可知，第一光阻液泵130总光阻液泵130在将光阻液输送至使用端时，是经过将第一缓冲器120内缓存的光阻液，泵压至后端的喷嘴机构150实现的，即喷嘴机构150是使用端对应的结构。

本实施例提供的系统，在正常使用时，可以利用第一条管路提供光阻液至喷嘴机构150。即可以通过各种方式，将第一储液罐100内的光阻液引出(压出)，并借由输送管(未标注)，输送至第一过滤器110内。由第一过滤器110进行杂质过滤。而后，过滤出的光阻液再经由后段输送管(未标注)输送至第一缓冲器120。第一缓冲器120是为了避免当第一储液罐100的光阻液使用完后，使用端仍持续工作而没有光阻液喷出(即空转)，而造成损坏。第一缓冲器120在运作过程中，还能排除空气，因此，能够借由第一缓冲器120，将在前面过程中产生的微气泡排除，再通过总三通阀180，送至喷嘴机构150喷出。

本实施例提供的系统，在正常使用时，也可以利用第二条路管路提供光阻液至喷嘴机构150。即可以通过各种方式，将第二储液罐200内的光阻液引出(压出)，并借由输送管(未标注)，输送至第二过滤器210内。由第二过滤器210进行杂质过滤。而后，过滤出的光阻液再经由后段输送管(未标注)输送至第二缓冲器220。第二缓冲器220是为了避免当第二储液罐200的光阻液使用完后，使用端仍持续工作而没有光阻液喷出(即空转)，而造成损坏。第二缓冲器220在运作过程中，还能排除空气，因此，能够借由第二缓冲器220，将在前面过程中产生的微气泡排除，再通过总三通阀180，同样送至喷嘴机构150喷出。

第一过滤器110和第二过滤器210在过滤一段时间的光阻液之后，是需要更换的。

以下以第一过滤器110为例，说明本实施例中，第一过滤器110的更换频率、更换原因和更换过程。

第一过滤器110的更换时机多为固定频率，约每三个月更换一次。实际状况中，每个过滤器因光阻液的使用率及粘滞性等因素，需要更换的情况(如阻塞情况)不同。为了取得整个系统的安全使用寿命，通常控制过滤器更换时机为最短的三个月。然而，当发生异常状况时，也经常需要在更短的时间内更换过滤器。

光阻液主要是由树脂、感光剂及溶剂依不同比例混合而成，故光阻液的粘滞性常因树脂、感光剂及溶剂三者的混合比例不同产生变化。所以，目前的过滤器在更换之后，都需要经过光阻液流通过，且排出500mL到l000mL量的光阻液，湿润过的过滤器才可以正常使用。这一过程称为过滤器的预湿。

对半导体制造而言，光阻液相当昂贵。在过滤器的预湿过程中，可能会因为过滤器过滤表面进行完全湿润的过程中而自然产生微气泡，或者可能因为预湿过滤速度、输送光阻液时因输送管弯曲及转折以及供应光阻液时其它因素的影响而产生微气泡。若依照已知的系统结构设计，将过滤器设置在第一缓冲器之后，在进行过滤器的更换作业后，需要花费时间和光阻液进行预湿操作，并且还需要花费时间以及使用多余的光阻液对预湿过程中所产生的微气泡进行排除，因此，会造成光阻液使用上的浪费，增加制造成本。

而在本实施例提供的系统中，在更换新的第一过滤器110后，欲以光阻液对第一过滤器110进行预湿作业时，可以采用两种方式进行。

在第一种方式下，可以由第一储液罐100引出光阻液，光阻液先在第一过滤器110进行预湿以及排除杂质，而预湿过程中光阻液所产生的微气泡，会在光阻液离开第一过滤器110而到达第一缓冲器120时，在第一缓冲器120中被排出(而无须在预湿后，使用额外的光阻液进行气泡排除作业)，因此，不但节省时间，而且更能节省光阻液的使用量(节省了预湿过程使用的光阻液及后续排除微气泡过程使用的光阻液)，达到节省成本的目的。

在第二种方式下，可以由第一缓冲器120中回抽光阻液，这部分回抽的光阻液再次流回第一过滤器110，一方面对第一过滤器110进行预湿，另一方面这部分光阻液得到再次的杂质过滤；而在这个预湿过程中光阻液所产生的微气泡，同样会在光阻液重新离开第一过滤器110而回到第一缓冲器120时，在第一缓冲器120中被排出(而无须在预湿后，使用额外的光阻液进行气泡排除作业)，因此，这种方式同样节省时间，同样更能节省光阻液的使用量(节省了预湿过程使用的光阻液及后续排除微气泡过程使用的光阻液)，达到节省成本的目的。

根据上述两种预湿操作方式可知，本实施例提供的系统在进行预湿操作时，当采用第一种方式时，有以下过程：

新的第一过滤器110被换至光阻液喷涂系统的输送管线上后，随即进行预湿作业，首先将第一储液罐100内的光阻液引出，并借由输送管输送至第一过滤器110内，由第一过滤器110进行预湿作业以及过滤杂质；而后，过滤出的光阻液再经由输送管输送至第一缓冲器120；第一缓冲器120在运作过程能排除空气，因此能够借由第一缓冲器120将在过滤器的预湿过程中产生的微气泡排除，再送至喷嘴机构150喷出，从而使得第一过滤器110因预湿所产生的微气泡都被挡在第一缓冲器120内，不会引响光阻液涂布。

当采用第二种方式时，有以下过程：

新的第一过滤器110被换至光阻液喷涂系统的输送管线上后，随即进行预湿作业，首先将第一单向控制阀111关闭，并借由第一回抽管160和第一回抽泵161，从第一缓冲器120中抽取光阻液回到第一过滤器110前端，并通过输送管输送至第一过滤器110内，由第一过滤器110进行预湿作业以及过滤杂质；而后，过滤出的光阻液再经由输送管输送至第一缓冲器120；第一缓冲器120在运作过程能排除空气，因此能够借由第一缓冲器120将在过滤器的预湿过程中产生的微气泡排除，再送至喷嘴机构150喷出，从而使得第一过滤器110因预湿所产生的微气泡都被挡在第一缓冲器120内，不会引响光阻液涂布。

需要说明的是，本实施例欲采用第二种方式进行对第一过滤器110的预湿操作，其前提是：第一缓冲器120中具有足够的光阻液。足够表示两个方面的意思：一方面，第一缓冲器120内的光阻液足够一直供应给使用端使用；另一方面，第一缓冲器120内的光阻液还足够同时提供用于相应的整个预湿操作步骤。两个方面通常需要同时满足。

本实施例中，可以通过在第一缓冲器120中设置相应的液位传感器，来确定第一缓冲器120内的光阻液是否足够满足上述两个方面的需求。

由上述第二种过滤器预湿方式可知，本实施例中，可以通过第一缓冲器120中的光阻液，对第一过滤器110预湿，并利用第一缓冲器120，对第一过滤器110预湿过程中产生的微气泡进行排除。

对于上述第二种过滤器预湿方式，存在这样一种优势：此时，预湿操作可以并不涉及第一储液罐100，因此，第一储液罐100可以同时在这个操作时间窗口进行更换。

对于上述第二种过滤器预湿方式，还存在另一个优势：此时，被用于预湿操作的光阻液，是原来旧第一过滤器110最后阶段过滤的光阻液，这部分光阻液的过滤质量很可能并不理想；因此，通过本实施例这种回抽用于预湿操作，还能够同时再次对这部分光阻液进行再次过滤，从而可以更好地保证光阻液的杂质被有效地过滤。

本实施例中，另一条管路中，第二过滤器210的更换频率、更换原因和过程可以参考前述第一过滤器110相应内容。

本实施例中，两条管路中，相应的过滤器均可以进行及时更换，并且更换过滤器后的预湿操作均可以节省光阻液。同时，在每条管路上具有缓冲器，以确保供液不停机的状态，并且还进一步设置了可以通过三通阀180切换两条不同的供液管路以提供光阻液，从而更好地保证光阻液的供应不停机。

本实用新型另一实施例提供另一种双缓冲型光阻液喷涂系统，请结合参考图2，所述系统包括：

第一储液罐300，用于储存和供应光阻液(光阻液图2中未示出)；

第一过滤器310，用于过滤光阻液的杂质；

第一缓冲器320，用于排除光阻液的微气泡，并用于缓存和提供光阻液；

第一过滤器310设置于第一储液罐300与第一缓冲器320之间；

第一缓冲器320连接有第一回抽管360，第一回抽管360第一端伸入第一缓冲器320内部，第二端连接至第一过滤器310前端；第一回抽管360安装有第一回抽泵361；第一回抽管360和第一回抽泵361用于将第一缓冲器320内的光阻液回抽至第一过滤器310前端；

第二储液罐400，用于储存和供应光阻液；

第二过滤器410，用于过滤光阻液的杂质；

第二缓冲器420，用于排除光阻液的微气泡，并用于缓存和提供光阻液；

第二过滤器410设置于第二储液罐400与第二缓冲器420之间；

第二缓冲器420连接有第二回抽管460，第二回抽管460第二端伸入第二缓冲器420内部，第二端连接至第二过滤器410前端；第二回抽管460安装有第二回抽泵461；第二回抽管460和第二回抽泵461用于将第二缓冲器420内的光阻液回抽至第二过滤器410前端；

选择机构，本实施例的选择机构用于从第一缓冲器和第一缓冲器内选择光阻液，具体的，选择机构包括第一选择阀340和第二选择阀440，其中，第一选择阀340和第二选择阀440不同时打开，在正常工作时，两者只会其中之一打开，从而实现选择；

第一光阻液泵330和第二光阻液泵430，第一光阻液泵330用于将第一缓冲器320内的光阻液输送至使用端，第二光阻液泵430用于将第二缓冲器420内的光阻液输送至使用端。

本实施例中，第一光阻液泵330和第二光阻液泵430的输出连接至共同的管段。

如图2所示，本实施例提供的系统中，第一缓冲器320连接有第一排气管370，第一排气管370安装有第一排气阀372和第一气体传感器371。第二缓冲器420连接有第二排气管470，第二排气管470安装有第二排气阀472和第二气体传感器471。

如图2所示，本实施例中，第一过滤器310的前端与第一储液罐300之间具有第一单向控制阀311。第一回抽管360第二端连接在第一单向控制阀311和第一缓冲器320之间。第二过滤器410的前端与第二储液罐400之间具有第二单向控制阀411。第二回抽管460第二端连接在第二单向控制阀411和第二缓冲器420之间。

本实施例中，第一过滤器310的后端与第一缓冲器320之间具有第一过滤液体传感器312。第二过滤器410的后端与第二缓冲器420之间具有第二过滤液体传感器412。

如图2，本实施例中，本实施例中，第一光阻液泵330和第二光阻液泵430后端的共同管段上还具有使用控制阀510。第二缓冲器420的后端还具有使用控制阀510。

如图2，使用控制阀510的后端还具有喷嘴机构520。喷嘴机构520控制最终光阻液的喷出流量和喷出状态，以用于半导体产品(如芯片)的制造。

由图2所示的系统结构可知，第一光阻液泵330在将光阻液输送至使用端时，是经过将第一缓冲器320内缓存的光阻液，泵压至后端的喷嘴机构520实现的，即喷嘴机构520是使用端对应的结构。

本实施例所提供系统的上述结构与前述实施例相应结构基本相同，因此，上述结构的性质、特点、优势、工作状态、工作原理和可能的变化方式等内容可以参考前述实施例相应内容。

与前述实施例不同的是，本实施例中，第一回抽管360除了安装有第一液体阀362，还安装有第一回抽液体传感器363。第一回抽液体传感器363可以用于在后续采用回抽光阻液进行过滤器预湿操作时，监测相应的光阻液是否被正常进行回抽，进一步确保了上述第二种过滤器预湿方式的安全性和可靠性。

与前述实施例不同的是，本实施例中，还包括第三过滤器3100，第三过滤器3100与第一过滤器310并列连接在第一储液罐300与第一缓冲器320之间。本实施例还包括第三过滤器，还包括第四过滤器4100，第四过滤器4100与第二过滤器410并列连接在第二储液罐400与第二缓冲器420之间。

参考图2可知，第三过滤器3100同样位于第一单向控制阀311的后端。第三过滤器3100的后端同样连接第一过滤液体传感器312，即第一过滤液体传感器312设置在第一过滤器310和第三过滤器3100两者共同的后端。

第四过滤器4100同样位于第二单向控制阀411的后端。第四过滤器4100的后端同样连接第二过滤液体传感器412，即第二过滤液体传感器412设置在第二过滤器410和第四过滤器4100两者共同的后端。

为配合上述第三过滤器3100的使用，本实施例中，第一过滤器310和第三过滤器3100的前端通过第一三通阀381连接第一储液罐300，第一过滤器310和第三过滤器3100的后端通过第二三通阀382连接第一缓冲器320。

通过设置第三过滤器3100、第一三通阀381和第二三通阀382，本实施例可以使得过滤器的更换变得更加迅速和及时。具体的，只需要第一三通阀381和第二三通阀382配合切换第一条管路内部的局部输送管路，即可以快速将使用中的第三过滤器3100替换为新的第一过滤器310，或者将使用中的第一过滤器310替换为新的第三过滤器3100。

同样的，通过设置第四过滤器4100、第三三通阀481和第四三通阀482，本实施例可以使得过滤器的更换变得更加迅速和及时。具体的，只需要第三三通阀481和第四三通阀482配合切换第二条管路内部的局部输送管路，即可以快速将使用中的第四过滤器4100替换为新的第二过滤器410，或者将使用中的第二过滤器410替换为新的第四过滤器4100。

由上述内容也可以知道，本实施例中，第一过滤器310和第三过滤器3100是平等的，在初次使用时，如果两个过滤器都是新的中，则可以选择先使用其中的任何一个过滤器。同样的，第二过滤器410和第四过滤器4100是也平等的。

之后，当第一条管路的一个过滤器使用完成需要更换时，则可以通过第一三通阀381和第二三通阀382进行相应的输送管路切换；当第二条管路的一个过滤器使用完成需要更换时，则可以通过第三三通阀481和第四三通阀482进行相应的输送管路切换。切换后，备用的新过滤器即投入使用，此时可以再及时将需要更换的过滤器更新，继续备用。这种方式能够使得相应的过滤器更换更加快速和便捷。

与前述实施例不同的是，本实施例中，第一缓冲器320和喷嘴机构520之间还具有第一供应液体传感器350。第一供应液体传感器350可以用于进一步时时监测第一缓冲器320对使用端的光阻液供应情况。本实施例中，第一供应液体传感器350位于第一缓冲器320和第一选择阀340之间。其它实施例中，第一供应液体传感器可以有更多选择位置，只需要位于第一缓冲器后端，并且位于第一条管路内即可。同样的，第二缓冲器420和喷嘴机构520之间还具有第二供应液体传感器450，可参考第一供应液体传感器350相应内容。

需要说明的是，本实用新型各实施例的各个液体传感器，可以进一步是具有流量传感监测功能的传感器，即为液体流量传感器；相应的，本实用新型各实施例中的第一气体传感器，也可以有具有气体流量传感监测作用的第一气体传感器；相应的，本实用新型各实施例的各个(控制)阀，可以进一步是具有气体或液体流量控制作用的控制阀。

虽然本实用新型披露如上，但本实用新型并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本实用新型的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。

Claims (10)

1.一种双缓冲型光阻液喷涂系统，其特征在于，包括：

第一储液罐，用于储存和供应光阻液；

第一过滤器，用于过滤光阻液的杂质；

第一缓冲器，用于排除光阻液的微气泡，并用于缓存和提供光阻液；

所述第一过滤器设置于所述第一储液罐与所述第一缓冲器之间；

所述第一缓冲器连接有第一回抽管，所述第一回抽管第一端伸入所述第一缓冲器内部，第二端连接至所述第一过滤器前端；所述第一回抽管安装有第一回抽泵；所述第一回抽管和所述第一回抽泵用于将所述第一缓冲器内的光阻液回抽至所述第一过滤器前端；

第二储液罐，用于储存和供应光阻液；

第二过滤器，用于过滤光阻液的杂质；

第二缓冲器，用于排除光阻液的微气泡，并用于缓存和提供光阻液；

所述第二过滤器设置于所述第二储液罐与所述第二缓冲器之间；

所述第二缓冲器连接有第二回抽管，所述第二回抽管第二端伸入所述第二缓冲器内部，第二端连接至所述第二过滤器前端；所述第二回抽管安装有第二回抽泵；所述第二回抽管和所述第二回抽泵用于将所述第二缓冲器内的光阻液回抽至所述第二过滤器前端；

还包括以下两种结构的其中一种：

第一种结构，包括选择机构和总光阻液泵；所述选择机构用于从所述第一缓冲器和所述第一缓冲器内选择光阻液；所述总光阻液泵用于将所选择的光阻液输送至使用端；

第二种结构，包括选择机构、第一光阻液泵和第二光阻液泵；所述选择机构用于从所述第一缓冲器和所述第二缓冲器内选择光阻液；所述第一光阻液泵用于将所述第一缓冲器内的光阻液输送至使用端，所述第二光阻液泵用于将所述第二缓冲器内的光阻液输送至使用端。

2.如权利要求1所述的双缓冲型光阻液喷涂系统，其特征在于，所述第一回抽管安装有第一液体阀和第一回抽液体传感器的至少其中之一；所述第二回抽管安装有第二液体阀和第二回抽液体传感器的至少其中之一。

3.如权利要求2所述的双缓冲型光阻液喷涂系统，其特征在于，所述第一缓冲器连接有第一排气管，所述第一排气管安装有第一排气阀和第一气体传感器；所述第二缓冲器连接有第二排气管，所述第二排气管安装有第二排气阀和第二气体传感器。

4.如权利要求3所述的双缓冲型光阻液喷涂系统，其特征在于，还包括第三过滤器，所述第三过滤器与所述第一过滤器并列连接在所述第一储液罐与所述第一缓冲器之间；还包括第四过滤器，所述第四过滤器与所述第二过滤器并列连接在所述第二储液罐与所述第二缓冲器之间。

5.如权利要求4所述的双缓冲型光阻液喷涂系统，其特征在于，所述第一过滤器和所述第三过滤器的前端通过第一三通阀连接所述第一储液罐，所述第一过滤器和所述第三过滤器的后端通过第二三通阀连接所述第一缓冲器；所述第二过滤器和所述第四过滤器的前端通过第三三通阀连接所述第二储液罐，所述第二过滤器和所述第四过滤器的后端通过第四三通阀连接所述第二缓冲器。

6.如权利要求5所述的双缓冲型光阻液喷涂系统，其特征在于，所述第一过滤器的前端与所述第一储液罐之间具有第一单向控制阀；所述第一回抽管第二端连接在所述第一单向控制阀和所述第一缓冲器之间；所述第二过滤器的前端与所述第二储液罐之间具有第二单向控制阀；所述第二回抽管第二端连接在所述第二单向控制阀和所述第二缓冲器之间。

7.如权利要求1或6所述的双缓冲型光阻液喷涂系统，其特征在于，所述第一过滤器的后端与所述第一缓冲器之间具有第一过滤液体传感器；所述第二过滤器的后端与所述第二缓冲器之间具有第二过滤液体传感器。

8.如权利要求7所述的双缓冲型光阻液喷涂系统，其特征在于，所述选择机构的后端还具有使用控制阀。

9.如权利要求8所述的双缓冲型光阻液喷涂系统，其特征在于，所述使用控制阀的后端还具有喷嘴机构。

10.如权利要求9所述的双缓冲型光阻液喷涂系统，其特征在于，所述第一缓冲器和所述喷嘴机构之间还具有第一供应液体传感器；所述第二缓冲器和所述喷嘴机构之间还具有第二供应液体传感器。

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