CN209929277U - 一种晶圆盒 - Google Patents
一种晶圆盒 Download PDFInfo
- Publication number
- CN209929277U CN209929277U CN201921076374.6U CN201921076374U CN209929277U CN 209929277 U CN209929277 U CN 209929277U CN 201921076374 U CN201921076374 U CN 201921076374U CN 209929277 U CN209929277 U CN 209929277U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- section
- wafer
- plate
- wafer cassette
- cassette according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本实用新型涉及的一种晶圆盒，包括放置于机台上的晶圆盒本体，所述晶圆盒本体包括底盘，所述底盘上设置有支撑框架，所述支撑框架包括顶板和两个左右对称的竖立的侧板，所述侧板的内侧面自上而下间隔布置有多个承载条，左右两侧的承载条一一对应，所述顶板的前上方设置有横向的丝杆，所述丝杆的一端设置有驱动电机，所述丝杆上套设有螺母座，所述螺母座的前侧向前延伸有连接部，所述连接部内穿设有向下延伸的挡杆，所述挡杆的下方设置有横向的直线导轨，所述直线导轨上设置有滑座，所述滑座的顶面与挡杆的底端连接。本实用新型一种晶圆盒其结构设计合理，可防止晶圆抖落破损、降低废品率。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种晶圆盒，属于半导体制造技术领域。
背景技术
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的IC产品。为了确保晶圆的安全储存、运输、搬运，广泛运用晶圆盒作为晶圆的承载及运输工具，从而能够很好的保护晶圆。目前，现有的晶圆盒结构设计不合理，在半导体处理工艺中，装有待处理晶圆的晶圆盒一般会暂存于处理设备的缓冲储料区内，通过与其并排的输送机构将晶圆盒内的晶圆依次抓取输送至下一工序中，在此过程中，处理设备由于工作状态下的驱动装置动静大会发生抖动现象，缓冲储料区内的晶圆盒也被带着抖动，导致晶圆盒内的晶圆由于长时间的抖动发生偏移错位，有的甚至会抖落至晶圆盒外，与晶圆盒旁的输送机构发生碰撞(如图1所示，其中：晶圆盒1；晶圆2；输送机构3)，发生破损。
发明内容
本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种结构设计合理、防止晶圆偏移错位、降低废品率的晶圆盒。
本实用新型的目的是这样实现的：一种晶圆盒，包括放置于机台上的晶圆盒本体，所述晶圆盒本体包括底盘，所述底盘上设置有支撑框架，所述支撑框架包括顶板和两个左右对称的竖立的侧板，所述侧板的内侧面自上而下间隔布置有多个承载条，左右两侧的承载条一一对应，所述顶板的前上方设置有横向的丝杆，所述丝杆的一端设置有驱动电机，所述丝杆上套设有螺母座，所述螺母座的前侧向前延伸有连接部，所述连接部内穿设有向下延伸的挡杆，所述挡杆的下方设置有横向的直线导轨，所述直线导轨上设置有滑座，所述滑座的顶面与挡杆的底端连接。
优选的，所述顶板的前段的左右两侧向外设置有延伸板，所述侧板的前侧向外弯折有前板，所述丝杆的两端分别通过一个支撑座设置于两个延伸板之间，所述直线导轨的两端分别通过一个固定座设置于两个前板的下段之间。
优选的，两个前板的前侧面均设置有两个上下对称的纵向的凸柱，其中一个前板上的凸柱的前端向前设置有定位柱，另一个前板上的凸柱内沿设置有定位孔。
优选的，所述底盘的底面的中段设置有两个左右对称的第一限位条，所述第一限位条自后至前包括依次连接的长纵段、向外倾斜的斜段和短纵段。
优选的，两个第一限位条之间设置有横向布置的第二限位条。
优选的，所述底盘的前段的左右两侧设置有第三限位条。
优选的，所述侧板的外侧面的前下段设置有限位板。
优选的，所述侧板自前至后依次包括侧板第一平面段、向内凹的侧板弧面段和侧板第二平面段，所述侧板第一平面段和侧板弧面段的内侧面自上而下间隔布置有多个承载条。
优选的，所述顶板的顶面设置有手柄，所述手柄与顶板之间间隔设置有多个加强板。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1.本实用新型一种晶圆盒，其结构设计合理，设置有可左右移动的挡杆可避免晶圆因机台抖动而抖落至晶圆盒外，避免了与晶圆盒旁的输送机构发生碰撞，降低废品率；
2.底盘底面设置有多个限位条，通过与机台表面及限位爪相配合使用，避免晶圆盒因抖动产生的位置偏移，减小抖动幅度。
附图说明
图1为现有的抖动的晶圆盒内的晶圆与输送机构碰撞的示意图。
图2为本实用新型一种晶圆盒与机台的连接关系示意图。
图3为本实用新型一种晶圆盒的正视图。
图4为本实用新型一种晶圆盒的俯视图。
图5为本实用新型一种晶圆盒的仰视图。
图6为本实用新型一种晶圆盒的侧视图。
其中：
机台1、限位爪101、限位件102
晶圆盒本体2、顶板201、侧板202、侧板第一平面段202.1、侧板弧面段202.2、侧板第二平面段202.3、底盘203、延伸板204、前板205
承载条3
丝杆4
驱动电机5
支撑座6
螺母座7
连接部8
挡杆9
固定座10
直线导轨11
滑座12
手柄13
加强板14
定位柱15
定位孔16
第一限位条17
第二限位条18
第三限位条19
限位板20。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
参见图1-图6，本实用新型涉及的一种晶圆盒，包括放置于机台1上的晶圆盒本体2，所述晶圆盒本体2包括底盘203，所述底盘203上设置有支撑框架，所述支撑框架包括顶板201和两个左右对称的竖立的侧板202，所述顶板201的左右两侧分别与两个侧板202的顶端连接，所述侧板202 自前至后依次包括侧板第一平面段202.1、向内凹的侧板弧面段202.2和侧板第二平面段202.3，所述侧板第一平面段202.1和侧板弧面段202.2 的内侧面自上而下间隔布置有多个承载条3，左右两侧的承载条3一一对应，左右两侧的每相邻两个承载条3之间设置有晶圆；
所述顶板201的前段的左右两侧向外设置有延伸板204，所述侧板202 的前侧向外弯折有前板205，所述延伸板204的顶面设置有支撑座6，两个支撑座6之间设置有横向的丝杆4，所述丝杆4的一端设置有驱动电机5，所述丝杆4上套设有螺母座7，所述螺母座7的前侧向前延伸有连接部8，所述连接部8内穿设有向下延伸的挡杆9，所述前板205的前侧面的下段设置有固定座10，两个固定座10之间设置有横向的直线导轨11，所述直线导轨11上设置有滑座12，所述滑座12的顶面与挡杆9的底端连接；
所述顶板201的顶面的前段设置有手柄13，所述手柄13与顶板201 之间沿手柄长度方向间隔设置有多个加强板14；
两个前板205的前侧面均设置有两个上下对称的纵向的凸柱，其中一个前板205上的凸柱的前端向前设置有定位柱15，另一个前板205上的凸柱内沿其长度方向设置有定位孔16，通过定位柱15和定位孔16可实现晶圆盒本体2与输送机构的侧壁快速定位，提高卸料效率；
所述底盘203的底面的中段设置有两个左右对称的第一限位条17，两个第一限位条17之间设置有横向布置的第二限位条18，所述第一限位条17自后至前包括依次连接的长纵段、向外倾斜的斜段和短纵段，所述底盘 203的前段的左右两侧设置有第三限位条19，通过多个限位条与机台1表面和限位爪101配合使用，避免晶圆盒因抖动产生的位置偏移，减小抖动幅度；
所述侧板202的外侧面的前下段设置有限位板20，限位板20与机台1 上的限位件102配合使用，可避免晶圆盒因抖动产生的位置偏移；
正常状态下，挡杆位于前板的前侧，当晶圆盒内放满晶圆之后，控制驱动电机正转，带动挡杆移动至晶圆的正前方，再将装满晶圆的晶圆盒放置于机台顶面上，通过限位板与机台上的限位件配合使用，实现初次定位，机台上的限位爪由A位置向外张开至B位置，与两侧的限位条配合连接，实现对晶圆盒的二次定位，当需卸料时，控制驱动电机反转，带动挡杆移动至前板的前侧，通过输送机构中的机械手将其内部的晶圆依次抓取输送至下一工序中，在此过程中，每抓取完一次，挡杆将再次移动至剩余晶圆的正前方，待下次取料时，则返回至初始位置，以此方式循环操作，有效避免晶圆因机台的抖动而抖落出晶圆盒外，从而降低晶圆的废品率。
以上仅是本实用新型的具体应用范例，对本实用新型的保护范围不构成任何限制。凡采用等同变换或者等效替换而形成的技术方案，均落在本实用新型权利保护范围之内。
Claims (9)
1.一种晶圆盒，包括放置于机台(1)上的晶圆盒本体(2)，其特征在于：所述晶圆盒本体(2)包括底盘(203)，所述底盘(203)上设置有支撑框架，所述支撑框架包括顶板(201)和两个左右对称的竖立的侧板(202)，所述侧板(202)的内侧面自上而下间隔布置有多个承载条(3)，左右两侧的承载条(3)一一对应，所述顶板(201)的前上方设置有横向的丝杆(4)，所述丝杆(4)的一端设置有驱动电机(5)，所述丝杆(4)上套设有螺母座(7)，所述螺母座(7)的前侧向前延伸有连接部(8)，所述连接部(8)内穿设有向下延伸的挡杆(9)，所述挡杆(9)的下方设置有横向的直线导轨(11)，所述直线导轨(11)上设置有滑座(12)，所述滑座(12)的顶面与挡杆(9)的底端连接。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆盒，其特征在于：所述顶板(201)的前段的左右两侧向外设置有延伸板(204)，所述侧板(202)的前侧向外弯折有前板(205)，所述丝杆(4)的两端分别通过一个支撑座(6)设置于两个延伸板(204)之间，所述直线导轨(11)的两端分别通过一个固定座(10)设置于两个前板(205)的下段之间。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆盒，其特征在于：两个前板(205)的前侧面均设置有两个上下对称的纵向的凸柱，其中一个前板(205)上的凸柱的前端向前设置有定位柱(15)，另一个前板(205)上的凸柱内沿设置有定位孔(16)。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆盒，其特征在于：所述底盘(203) 的底面的中段设置有两个左右对称的第一限位条(17)，所述第一限位条(17)自后至前包括依次连接的长纵段、向外倾斜的斜段和短纵段。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆盒，其特征在于：两个第一限位条(17)之间设置有横向布置的第二限位条(18)。
6.根据权利要求4所述的一种晶圆盒，其特征在于：所述底盘(203)的前段的左右两侧设置有第三限位条(19)。
7.根据权利要求1所述的一种晶圆盒，其特征在于：所述侧板(202)的外侧面的前下段设置有限位板(20)。
8.根据权利要求1所述的一种晶圆盒，其特征在于：所述侧板(202)自前至后依次包括侧板第一平面段(202.1)、向内凹的侧板弧面段(202.2)和侧板第二平面段(202.3)，所述侧板第一平面段(202.1)和侧板弧面段(202.2)的内侧面自上而下间隔布置有多个承载条(3)。
9.根据权利要求1所述的一种晶圆盒，其特征在于：所述顶板(201)的顶面设置有手柄(13)，所述手柄(13)与顶板(201)之间间隔设置有多个加强板(14)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201921076374.6U CN209929277U (zh) | 2019-07-10 | 2019-07-10 | 一种晶圆盒 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201921076374.6U CN209929277U (zh) | 2019-07-10 | 2019-07-10 | 一种晶圆盒 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN209929277U true CN209929277U (zh) | 2020-01-10 |
Family
ID=69093637
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201921076374.6U Active CN209929277U (zh) | 2019-07-10 | 2019-07-10 | 一种晶圆盒 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN209929277U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110246792A (zh) * | 2019-07-10 | 2019-09-17 | 江苏七维测试技术有限公司 | 一种晶圆盒 |
| CN111689054A (zh) * | 2020-06-11 | 2020-09-22 | 长电科技（宿迁）有限公司 | 一种新型智能料盒 |
-
2019
- 2019-07-10 CN CN201921076374.6U patent/CN209929277U/zh active Active
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110246792A (zh) * | 2019-07-10 | 2019-09-17 | 江苏七维测试技术有限公司 | 一种晶圆盒 |
| CN111689054A (zh) * | 2020-06-11 | 2020-09-22 | 长电科技（宿迁）有限公司 | 一种新型智能料盒 |
| CN111689054B (zh) * | 2020-06-11 | 2022-01-18 | 长电科技（宿迁）有限公司 | 一种新型智能料盒 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP2866252B1 (en) | Substrate conveying system | |
| JP5168594B2 (ja) | 基板搬送設備 | |
| JP5967216B2 (ja) | 熱切断加工システム | |
| CN209929277U (zh) | 一种晶圆盒 | |
| KR102450289B1 (ko) | 용기 반송 장치 및 용기 반송 설비 | |
| CN208683869U (zh) | 移印键帽设备自动输送线 | |
| CN110246792A (zh) | 一种晶圆盒 | |
| US20080075564A1 (en) | Container Carrying Equipment | |
| JP2010241547A (ja) | 走行車システム | |
| JP5402156B2 (ja) | 走行車システム | |
| JP5365302B2 (ja) | 走行車システム | |
| JP2005064431A (ja) | 基板搬送装置及び基板搬送方法 | |
| JP5365303B2 (ja) | 走行車システム | |
| TWI411564B (zh) | 物品搬運裝置（一） | |
| JP4555655B2 (ja) | ウェーハ搬送台車 | |
| KR20120049753A (ko) | 스토커 장치 | |
| KR200469263Y1 (ko) | 유리 기판 운송 장치 | |
| CN216487989U (zh) | 一种晶圆载具 | |
| CN219362555U (zh) | 一种塑料瓶码垛装置 | |
| CN113178409B (zh) | 承载装置及物料搬运系统 | |
| CN220577388U (zh) | 运输小车 | |
| JP4229327B2 (ja) | ブランク供給装置 | |
| CN222311746U (zh) | 一种板材转运小车 | |
| CN104649010B (zh) | 硅片工装花篮输送系统 | |
| CN218752809U (zh) | 一种用于晶圆传送盒存储立库的输送车 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |