CN207320087U - 一种加工设备用工件固定装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种加工设备用工件固定装置，包括固定板，所述固定板的底部设置有基座，所述固定板的底部固定连接有固定块，所述固定块的底部开设有第一凹槽，所述第一凹槽的内部设置有连接块，所述连接块的底部活动连接有工件，所述基座的顶部开设有第二凹槽，所述工件远离连接块的一端延伸至第二凹槽的内部，所述固定板底部的两侧均活动连接有电源线。本实用新型通过第一弹簧和活动球的设置，可以通过活动球与活动槽的配合对连接块进行固定，通过第二弹簧和夹板的设置，可以对工件底部一端的表面进行固定，防止加工时出现晃动，影响操作，同时解决了无法有效的对工件进行固定，降低了加工处理效率的问题。

Description

一种加工设备用工件固定装置

技术领域

本实用新型涉及加工设备技术领域，具体为一种加工设备用工件固定装置。

背景技术

迄今为止，在半导体器件的制造步骤中，在工件上要进行成膜或蚀刻处理，用于加工这样基底的加工设备设有基座，它是在处理过程中固定半导体基底的固定器，如中国专利公开了“用于加工设备的工件固定器和使用该固定器的加工设备”(专利号：03107447.2)，该装置包括：陶瓷体，其具有电极和加热器电路并能够固定工件：管形件，其具有连接至陶瓷体的末端部分：密封件，其放在管形件的内部并将管形件的内部空间分成两个区域：在第一末端部分的区域(“密封部分”)和在相对侧的区域(“相对区域”)：和电源导电元件，其从相对区域侧，穿过密封件至密封区域侧，并与电极和加热器电路电气连接，而该装置在进行半导体器件制造时无法有效的对工件进行固定，降低了加工处理的效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种加工设备用工件固定装置，可以通过活动球与活动槽的配合对连接块进行固定，具备可以有效的对工件进行固定，提高了加工处理效率的优点，解决了无法有效的对工件进行固定，降低了加工处理效率的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种加工设备用工件固定装置，包括固定板，所述固定板的底部设置有基座，所述固定板的底部固定连接有固定块，所述固定块的底部开设有第一凹槽，所述第一凹槽的内部设置有连接块，所述连接块的底部活动连接有工件，所述基座的顶部开设有第二凹槽，所述工件远离连接块的一端延伸至第二凹槽的内部，所述固定板底部的两侧均活动连接有电源线，所述基座顶部的两侧均设置有连接板，所述连接板的中部固定连接有固定套，所述电源线的底部贯穿固定套并延伸至固定套的外部；

所述第一凹槽内腔的两侧均固定连接有第一弹簧，所述第一弹簧远离第一凹槽内壁的一端固定连接有活动球，所述连接块的两侧均开设有与活动球配合使用的活动槽，且活动球的一端延伸至活动槽的内部，所述第二凹槽内腔的两侧均固定连接有第二弹簧，所述第二弹簧远离第二凹槽内壁的一端固定连接有夹板，且夹板位于工件一端的两侧。

优选的，所述第一凹槽内腔的顶部固定连接有夹紧垫，所述夹紧垫与连接块一端的表面相接触。

优选的，所述固定套的内部固定连接有密封垫，所述密封垫与电源线一端的表面相接触。

优选的，所述基座顶部的两侧均固定连接有连接杆，所述连接杆远离基座的一端与连接板的一侧固定连接。

优选的，所述夹板远离第二弹簧的一侧设置有保护垫，所述保护垫的一侧与夹板远离第二弹簧的一侧通过固定件固定连接。

优选的，所述固定块的数量为三个，且呈线性排列。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型通过第一弹簧和活动球的设置，可以通过活动球与活动槽的配合对连接块进行固定，通过第二弹簧和夹板的设置，可以对工件底部一端的表面进行固定，防止加工时出现晃动，影响操作，同时解决了无法有效的对工件进行固定，降低了加工处理效率的问题。

2、本实用新型通过连接杆的设置，可以对连接板和固定套进行支撑，同时对电源线进行固定，通过密封垫的设置，可以对电源线进行密封和固定。

3、本实用新型通过夹紧垫的设置，可以对连接块进行固定，防止工件固定时出现晃动，通过保护垫的设置，通过与夹板的配合对工件底部的一端进行固定，防止工件加工固定时出现松动，影响操作。

综上所述：本实用新型通过第一凹槽、连接块、工件、第二凹槽、第一弹簧、活动球、活动槽、第二弹簧和夹板的配合，解决了无法有效的对工件进行固定，降低了加工处理效率的问题。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型固定套局部俯视结构示意图；

图3为本实用新型A的局部结构放大示意图。

图中：1固定板、2基座、3固定块、4第一凹槽、5连接块、6工件、7第二凹槽、8电源线、9连接板、10固定套、11第一弹簧、12活动球、13活动槽、14第二弹簧、15夹板、16夹紧垫、17密封垫、18连接杆、19保护垫。

具体实施方式

(在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。)

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，一种加工设备用工件固定装置，包括固定板1，固定板1的底部设置有基座2，基座2顶部的两侧均固定连接有连接杆18，连接杆18远离基座2的一端与连接板9的一侧固定连接，通过连接杆18的设置，可以对连接板9和固定套10进行支撑，同时对电源线8进行固定，固定板1的底部固定连接有固定块3，固定块3的数量为三个，且呈线性排列，固定块3的底部开设有第一凹槽4，第一凹槽4内腔的顶部固定连接有夹紧垫16，夹紧垫16与连接块5一端的表面相接触，通过夹紧垫16的设置，可以对连接块5进行固定，防止工件6固定时出现晃动。

此外，第一凹槽4的内部设置有连接块5，连接块5的底部活动连接有工件6，基座2的顶部开设有第二凹槽7，工件6远离连接块5的一端延伸至第二凹槽7的内部，固定板1底部的两侧均活动连接有电源线8，基座2顶部的两侧均设置有连接板9，连接板9的中部固定连接有固定套10，固定套10的内部固定连接有密封垫17，密封垫17与电源线8一端的表面相接触，通过密封垫17的设置，可以对电源线8进行密封和固定，电源线8的底部贯穿固定套10并延伸至固定套10的外部。

第一凹槽4内腔的两侧均固定连接有第一弹簧11，第一弹簧11远离第一凹槽4内壁的一端固定连接有活动球12，连接块5的两侧均开设有与活动球12配合使用的活动槽13，且活动球12的一端延伸至活动槽13的内部，第二凹槽7内腔的两侧均固定连接有第二弹簧14，第二弹簧14远离第二凹槽7内壁的一端固定连接有夹板15，夹板15远离第二弹簧14的一侧设置有保护垫19，保护垫19的一侧与夹板15远离第二弹簧14的一侧通过固定件固定连接，通过保护垫19的设置，通过与夹板15的配合对工件6底部的一端进行固定，防止工件6加工固定时出现松动，影响操作。

其次，且夹板15位于工件6一端的两侧，通过第一弹簧11和活动球12的设置，可以通过活动球12与活动槽13的配合对连接块5进行固定，通过第二弹簧14和夹板15的设置，可以对工件6底部一端的表面进行固定，防止加工时出现晃动，影响操作，同时解决了无法有效的对工件进行固定，降低了加工处理效率的问题。

使用时，将工件6顶部的连接块5卡入第一凹槽4内部，活动槽13与活动球12接触，第一弹簧11张开带动活动球12卡入活动槽13内部对连接块5进行固定，然后工件6底部的一端卡入第二凹槽7内部，通过第二弹簧14带动夹板15移动对工件6底部的一端进行固定，同时电源线8穿过固定套10，经过密封垫17对电源线8进行密封固定。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种加工设备用工件固定装置，包括固定板(1)，其特征在于：所述固定板(1)的底部设置有基座(2)，所述固定板(1)的底部固定连接有固定块(3)，所述固定块(3)的底部开设有第一凹槽(4)，所述第一凹槽(4)的内部设置有连接块(5)，所述连接块(5)的底部活动连接有工件(6)，所述基座(2)的顶部开设有第二凹槽(7)，所述工件(6)远离连接块(5)的一端延伸至第二凹槽(7)的内部，所述固定板(1)底部的两侧均活动连接有电源线(8)，所述基座(2)顶部的两侧均设置有连接板(9)，所述连接板(9)的中部固定连接有固定套(10)，所述电源线(8)的底部贯穿固定套(10)并延伸至固定套(10)的外部；

所述第一凹槽(4)内腔的两侧均固定连接有第一弹簧(11)，所述第一弹簧(11)远离第一凹槽(4)内壁的一端固定连接有活动球(12)，所述连接块(5)的两侧均开设有与活动球(12)配合使用的活动槽(13)，且活动球(12)的一端延伸至活动槽(13)的内部，所述第二凹槽(7)内腔的两侧均固定连接有第二弹簧(14)，所述第二弹簧(14)远离第二凹槽(7)内壁的一端固定连接有夹板(15)，且夹板(15)位于工件(6)一端的两侧。

2.根据权利要求1所述的一种加工设备用工件固定装置，其特征在于：所述第一凹槽(4)内腔的顶部固定连接有夹紧垫(16)，所述夹紧垫(16)与连接块(5)一端的表面相接触。

3.根据权利要求1所述的一种加工设备用工件固定装置，其特征在于：所述固定套(10)的内部固定连接有密封垫(17)，所述密封垫(17)与电源线(8)一端的表面相接触。

4.根据权利要求1所述的一种加工设备用工件固定装置，其特征在于：所述基座(2)顶部的两侧均固定连接有连接杆(18)，所述连接杆(18)远离基座(2)的一端与连接板(9)的一侧固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种加工设备用工件固定装置，其特征在于：所述夹板(15)远离第二弹簧(14)的一侧设置有保护垫(19)，所述保护垫(19)的一侧与夹板(15)远离第二弹簧(14)的一侧通过固定件固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种加工设备用工件固定装置，其特征在于：所述固定块(3)的数量为三个，且呈线性排列。