CN204088282U - 一种多晶硅片清洗机自动提篮装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种多晶硅片清洗机自动提篮装置，属于硅片清洗技术领域。本多晶硅片清洗机自动提篮装置包括支架、提篮箱体和立柱，立柱竖直设置，在立柱一侧面开有竖直的滑槽，支架一端嵌于滑槽内且能沿着立柱上下滑动，支架的另一端固连有提篮箱体，滑槽内设有自由转动的丝杆且丝杆与支架螺纹连接，丝杆转动带动支架上下升降，立柱顶部固定有带动丝杆转动的电机，提篮箱体呈中空的长方体状，上端面与支架焊接固连，提篮箱体的两侧端面上设有可相对提篮箱体摆动的挂钩组件，提篮箱体内顶部固定有气缸，气缸的推杆与挂钩组件相抵靠而推动挂钩组件摆动钩住篮子。自动钩住篮子，带动篮子升降，相比人工提取篮子，省时省力，而且提高了安全系数。

Description

一种多晶硅片清洗机自动提篮装置

技术领域

本实用新型属于硅片清洗技术领域，涉及一种超声波太阳能硅片清洗机，特别是一种多晶硅片清洗机自动提篮装置。

背景技术

硅片清洗是指在氧化、光刻、外延、扩散和引线蒸发等工序前,采用物理或化学的方法去除硅片表面的污染物和自身氧化物,以得到符合清洁度要求的硅片表面的过程。在光伏太阳能产业中,硅片在加工中表面会产生硅料多晶边皮、顶料、片料、埚底料以及原生多晶料，需要清洗设备进行表面清洗，而超声波太阳能清洗机可以有效去除硅片表面的有机物、颗粒、金属杂质、自然氧化层及石英、塑料等附件器皿的污染物，且不破坏晶片表面特性，在硅片生产加工中得到广泛应用。

如中国专利公开的一种太阳能硅片清洗设备，尤其是一种全自动太阳能硅片清洗机。该清洗机包括一超声清洗槽，所述的超声清洗槽后方依次设有浸泡酸洗槽、超声碱洗槽以及一个或多个超声漂洗槽，所述的超声清洗槽、浸泡酸洗槽、超声碱洗槽及超声漂洗槽上方设有一平移支架，所述的平移支架上吊设又一个或多个承载待清洗硅片的吊篮，所述的平移支架安装在一升降结构上。该发明的全自动太阳能硅片清洗机通过超声波使物件的表面及缝隙中的污垢迅速剥落，从而达到物件表面净化的目的。又结合碱液清洗、烘干等工艺，实现了多晶、单晶太阳能硅片、光学镜片的清洗。由于本设备为多槽结构，因此能够完成较复杂的清洗工艺。但这种清洗机的提篮装置不稳定，篮子容易倾斜，造成事故。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种平稳提篮的多晶硅片清洗机自动提篮装置。

本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：一种多晶硅片清洗机自动提篮装置,包括支架、提篮箱体和立柱，其特征在于，立柱竖直设置，在立柱一侧面开有竖直的滑槽，所述支架一端嵌于滑槽内且能沿着立柱上下滑动，所述支架的另一端固连有提篮箱体，所述滑槽内设有自由转动的丝杆且丝杆与支架螺纹连接，丝杆转动带动支架上下升降，所述立柱顶部固定有带动丝杆转动的电机，所述提篮箱体呈中空的长方体状，上端面与支架焊接固连，所述提篮箱体的两侧端面上设有可相对提篮箱体摆动的挂钩组件，所述提篮箱体内顶部固定有气缸，所述气缸的推杆与挂钩组件相抵靠而推动挂钩组件摆动钩住篮子。

篮子内存放待清洗的硅片，待硅片浸泡完成后，通过气缸驱动钩体组件外摆而钩住篮子的把手，然后电机驱动支架及提篮箱体沿着立柱上升，达到自动提篮的目的。

在上述的多晶硅片清洗机自动提篮装置中,所述挂钩组件包括两个钩体、一个转动板和一个连接轴，所述转动板横截面呈长方形，所述连接轴贯穿提篮箱体的两端面，所述连接轴两端各焊接固连一个钩体，所述转动板侧面与连接轴固连，所述气缸的推杆与转动板板面相抵靠。气缸的推杆与转动板相抵靠，气缸推动转动板绕转，推杆前进时将转动板推开使钩体向外摆动，从而钩住篮子的把手。

在上述的多晶硅片清洗机自动提篮装置中,两个所述钩体之间还连接有加强杆，所述加强杆的轴心与连接轴的轴心线平行。加强杆加固两个钩体的相对位置，使钩体能同时摆动。

在上述的多晶硅片清洗机自动提篮装置中,所述提篮箱体上具有两套挂钩组件，两个挂钩组件相对提篮箱体的中心线对称设置。

在上述的多晶硅片清洗机自动提篮装置中,所述钩体采用不锈钢制成。防止钩体接触到清洗槽中的各种清洗液而腐蚀生锈。

与现有技术相比，本多晶硅片清洗机自动提篮装置具有以下优点：

1.通过气缸及电机的作用，能够自动钩住篮子，然后带动篮子升降，相比人工提取篮子，省时省力，而且提高了安全系数，防止事故造成人身伤害。

2.而且同侧由两个钩体一起钩住，篮子比较平稳，不会发生倾翻或滑移。

3.一个提篮箱体具有两套挂钩组件，分别钩住同一篮子上的两个把手，防止篮子摆动。

附图说明

图1是本多晶硅片清洗机自动提篮装置的正视结构示意图。

图2是本多晶硅片清洗机自动提篮装置的侧视结构示意图。

图3是提篮箱体的正视结构示意图。

图4是提篮箱体的俯视结构示意图。

图5是挂钩组件的结构示意图。

图中，1、支架；2、提篮箱体；3、立柱；4、滑槽；5、丝杆；6、电机；7、气缸；8、钩体；9、转动板；10、连接轴；11、加强杆。

具体实施方式

以下是本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的描述，但本实用新型并不限于这些实施例。

如图1、图2、图3、图4、图5所示，本多晶硅片清洗机自动提篮装置包括支架1、提篮箱体2和立柱3，立柱3竖直设置，在立柱3一侧面开有竖直的滑槽4，支架1一端嵌于滑槽4内且能沿着立柱3上下滑动，支架1的另一端固连有提篮箱体2。滑槽4内设有自由转动的丝杆5且丝杆5与支架1螺纹连接，丝杆5转动带动支架1上下升降，立柱3顶部固定有带动丝杆5转动的电机6。

提篮箱体2呈中空的长方体状，上端面与支架1焊接固连，提篮箱体2的两侧端面上设有可相对提篮箱体2摆动的挂钩组件，提篮箱体2内顶部固定有气缸7，气缸7的推杆与挂钩组件相抵靠而推动挂钩组件摆动钩住篮子。

具体来说，提篮箱体2上具有两套挂钩组件，两个挂钩组件相对提篮箱体2的中心线对称设置。挂钩组件包括两个钩体8、一个转动板9和一个连接轴10，转动板9横截面呈长方形，连接轴10贯穿提篮箱体2的两端面，连接轴10两端各焊接固连一个钩体8，转动板9侧面与连接轴10固连，气缸7的推杆与转动板9板面相抵靠。两个钩体8之间还连接有加强杆11，加强杆11的轴心与连接轴10的轴心线平行。

太阳能硅片清洗机上具有多个清洗槽，每个槽内盛有不同的清洗液，通过超声波使硅片的表面及缝隙中的污垢迅速剥落，从而达到表面净化的目的。又结合碱液清洗、烘干等工艺，实现了多晶、单晶太阳能硅片、光学镜片的清洗。硅片放置在篮子里，等篮子及硅片浸泡在清洗槽一段时间后，启动本自动提篮装置，通过气缸7驱动挂钩组件外摆，钩住篮子把手，再启动电机6带动支架1及提篮箱体2上升，将篮子从清洗槽中提取。

本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。

Claims (5)

1.一种多晶硅片清洗机自动提篮装置,包括支架、提篮箱体和立柱，其特征在于，立柱竖直设置，在立柱一侧面开有竖直的滑槽，所述支架一端嵌于滑槽内且能沿着立柱上下滑动，所述支架的另一端固连有提篮箱体，所述滑槽内设有自由转动的丝杆且丝杆与支架螺纹连接，丝杆转动带动支架上下升降，所述立柱顶部固定有带动丝杆转动的电机，所述提篮箱体呈中空的长方体状，上端面与支架焊接固连，所述提篮箱体的两侧端面上设有可相对提篮箱体摆动的挂钩组件，所述提篮箱体内顶部固定有气缸，所述气缸的推杆与挂钩组件相抵靠而推动挂钩组件摆动钩住篮子。

2.根据权利要求1所述的多晶硅片清洗机自动提篮装置，其特征在于,所述挂钩组件包括两个钩体、一个转动板和一个连接轴，所述转动板横截面呈长方形，所述连接轴贯穿提篮箱体的两端面，所述连接轴两端各焊接固连一个钩体，所述转动板侧面与连接轴固连，所述气缸的推杆与转动板板面相抵靠。

3.根据权利要求2所述的多晶硅片清洗机自动提篮装置，其特征在于,两个所述钩体之间还连接有加强杆，所述加强杆的轴心与连接轴的轴心线平行。

4.根据权利要求3所述的多晶硅片清洗机自动提篮装置，其特征在于,所述提篮箱体上具有两套挂钩组件，两个挂钩组件相对提篮箱体的中心线对称设置。

5.根据权利要求4所述的多晶硅片清洗机自动提篮装置，其特征在于,所述钩体采用不锈钢制成。