CN203786461U - 兼容式掩模版上下料用花篮 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种兼容式掩模版上下料用花篮，所述兼容式掩模版上下料用花篮，包括花篮架；所述花篮架内设有至少一层用于放置并支撑掩模版的掩模版支撑座，所述掩模版支撑座对称分布在花篮架内；所述掩模版支撑座包括用于支撑第一掩模版的第一支撑台阶、用于支撑第二掩模版的第二支撑台阶以及用于支撑第三掩模版的第三支撑台阶；第三支撑台阶的底端位于第二支撑台阶的顶端，第二支撑台阶的顶端位于第一支撑台阶的顶端。本实用新型结构简单紧凑，使用方便，满足了不同尺寸掩模版的上下料要求，满足机械手臂的传输要求，降低了掩模频繁接触的风险，适应范围广，安全可靠。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种花篮结构，尤其是一种兼容式掩模版上下料用花篮，具体地说是适用于集成电路用掩模基板生产企业、掩模版制造企业及晶圆制造企业用的上下料用花篮。
背景技术
在集成电路生产过程中，将设计数据转换到实际的芯片电路时需要使用掩模。掩模版是连接设计公司与晶圆制造间的纽带，是一种类似于模具式的产品，是集成电路圆片制造刻工艺中使用的母版。因为目前还不可以在圆片上直接成像，故掩模版是集成电路制造中不可缺少的一环。
按照目前掩模应用的不用，掩模尺寸也有多种，目前常见的主要有5009、6025、7015的三种类型，由于掩模版具有高精度、零缺陷的特点，在实际生产过程中绝大多数工序采用机械手臂对掩模版及原材料进行上下料，避免人与掩模版的直接接触，但是由于掩模版尺寸的不统一，需要设计不同的装载式工具以满足不同掩模尺寸的需求。
目前，业界常见的有5寸花篮、6寸花篮，7寸花篮，由于不同花篮的尺寸不一样及每次需要进行花篮更换，这给实际的生产应用带来了诸多不便，花篮的频繁更换也增大了人员与花篮接触的频率，增加了灰尘落入的风险；部分公司采用多载台模式放置不同尺寸的花篮，占用了净化面积也增加了机械手臂出错的几率。
发明内容
本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种兼容式掩模版上下料用花篮，其结构简单紧凑，使用方便，满足了不同尺寸掩模版的上下料要求，满足机械手臂的传输要求，降低了掩模频繁接触的风险，适应范围广，安全可靠。
按照本实用新型提供的技术方案，所述兼容式掩模版上下料用花篮，包括花篮架；所述花篮架内设有至少一层用于放置并支撑掩模版的掩模版支撑座，所述掩模版支撑座对称分布在花篮架内；所述掩模版支撑座包括用于支撑第一掩模版的第一支撑台阶、用于支撑第二掩模版的第二支撑台阶以及用于支撑第三掩模版的第三支撑台阶；第三支撑台阶的底端位于第二支撑台阶的顶端，第二支撑台阶的顶端位于第一支撑台阶的顶端。
所述花篮架的背面设置有阻隔条，所述阻隔条位于掩模版支撑座之间。
所述花篮架的底部设置有底座板，花篮架外的顶端设有手柄，所述手柄通过手柄安装板固定安装在花篮架的外端部。
所述第一掩模版为5英寸掩模版、第二掩模版为6英寸掩模版，第三掩模版为7英寸掩模版。
所述手柄安装板通过螺钉固定安装在花篮架的外端部。所述花篮架的背面设置三根阻隔条，所述三个阻隔条均匀分布于掩模版支撑座之间。
所述花篮架内设有上下两层的掩模版支撑座；所述两层掩模版支撑座通过隔离槽隔离。所述隔离槽的宽度为1.2cm~2cm。
本实用新型的优点：在花篮架内设置掩模版支撑座，通过在掩模版支撑座内形成不同的支撑台阶，以能够实现对不同掩模版的上下料支撑，可以实现不同尺寸掩模上下料的一站式放置，有效提升生产效率，降低物料成本，结构简单，成本低，使用方便，满足机械手臂的传输要求，降低了掩模频繁接触的风险，安全可靠。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图2为图1的俯视图。
图3为图1的后视图。
图4为图1的测试图。
附图标记说明：1-底座板、2-花篮架、3-掩模版支撑座、4-隔离槽、5-第一支撑台阶、6-第二支撑台阶、7-第三支撑台阶、8-阻隔条、9-手柄安装板、10-手柄及11-螺钉。
具体实施方式
下面结合具体附图和实施例对本实用新型作进一步说明。
如图1、图2、图3和图4所示：为了满足了不同尺寸掩模版的上下料要求，满足机械手臂的传输要求，降低了掩模频繁接触的风险，本实用新型包括花篮架2；所述花篮架2内设有至少一层用于放置并支撑掩模版的掩模版支撑座3，所述掩模版支撑座3对称分布在花篮架2内；所述掩模版支撑座3包括用于支撑第一掩模版的第一支撑台阶5、用于支撑第二掩模版的第二支撑台阶6以及用于支撑第三掩模版的第三支撑台阶7；第三支撑台阶7的底端位于第二支撑台阶6的顶端，第二支撑台阶6的顶端位于第一支撑台阶5的顶端。
具体地，所述花篮架2为中空的结构，花篮架2间的掩模版支撑座3能够用于同时支撑不同尺寸的掩模版。本实用新型实施例中，第一掩模版、第二掩模版及第三掩模版的尺寸不同，具体地为，所述第一掩模版为5英寸掩模版、第二掩模版为6英寸掩模版，第三掩模版为7英寸掩模版。
同一层内两掩模版支撑座3的第一支撑台阶5之间的距离与5英寸掩模版的宽度相对应，第一支撑台阶5的高度与5英寸掩模版的厚度相对应，同一层内两掩模版支撑座3的第二支撑台阶6之间的距离与6英寸掩模版的宽度相对应，第二支撑台阶6的高度与6英寸掩模版的厚度相对应，同一层内两掩模版支撑座3的第三支撑台阶7之间的距离与7英寸掩模版的宽度相对应，第三支撑台阶7的高度与7英寸掩模版的厚度相对应。本实用新型实施例中，第三支撑台阶7的底部形成第二支撑台阶6的顶端，第二支撑台阶6的底部形成第一支撑台阶5的顶端，即第一支撑台阶5、第二支撑台阶6与第三支撑台阶7之间相互连接成一体。其中，第一支撑台阶5位于做外侧，第三支撑台阶7位于最内侧，第二支撑台阶6位于第一支撑台阶5与第三支撑台阶7之间。当然，为了能够在花篮架2内支撑更多尺寸的掩模版，可以在花篮架2的掩模版支撑座3内形成更多尺寸的支撑台阶，此处不再赘述。
在具体实施时，第一支撑台阶5、第二支撑台阶6及第三支撑台阶7的台阶面在花篮架2内呈对应，当掩模版放置在第一支撑台阶5、第二支撑台阶6或第三支撑台阶7上时，花篮架2内两相应的第一支撑台阶5、第二支撑台阶6或第三支撑台阶7之间的距离大于相应掩模版的宽度，即掩模版放置在相应的支撑台阶上后，掩模版的侧边与支撑台阶的间具有1~2mm的间隙，以避免掩模版抽取时与支撑台阶之间内侧发生摩擦，同时，避免掩模版从相应的支撑台阶上落下。第一支撑台阶5、第二支撑台阶6及第三支撑台阶7的高度大于掩模版的厚度，即掩模版支撑在相应的支撑台阶上后，支撑台阶的高度大于掩模版厚度8~12mm，以便于掩模上下料时机械手臂的伸缩。
所述花篮架2的背面设置有阻隔条8，所述阻隔条8位于掩模版支撑座3之间。所述花篮架2的背面设置三根阻隔条8，所述三个阻隔条8均匀分布于掩模版支撑座3之间。通过阻隔条8能防止掩模版从花篮架2的背面滑落，同时又能保证花篮架2内的气流畅通，防止在花篮表面聚聚灰尘。
所述花篮架2的底部设置有底座板1，花篮架2外的顶端设有手柄10，所述手柄10通过手柄安装板9固定安装在花篮架2的外端部。所述手柄安装板9通过螺钉11固定安装在花篮架2的外端部。所述手柄10通过手柄安装板9安装后，在花篮架2的上端面呈丁字形，手柄10采用铝制成，通过手柄10扩大固定面积，提升牢固度。手柄10的末端进行圆角处理，打磨光滑，防止尖端放电效应产生。
所述花篮架2内设有上下两层的掩模版支撑座3；所述两层掩模版支撑座3通过隔离槽4隔离。通过两层的掩模版支撑座3能同时实现六个掩模版的放置支撑。所述隔离槽4的宽度为1.2cm~2cm。
本实用新型在花篮架2内设置掩模版支撑座3，通过在掩模版支撑座3内形成不同的支撑台阶，以能够实现对不同掩模版的上下料支撑，可以实现不同尺寸掩模上下料的一站式放置，有效提升生产效率，降低物料成本，结构简单，成本低，使用方便，满足机械手臂的传输要求，降低了掩模频繁接触的风险，安全可靠。
本领域的相关从业人员应当认识到，以上的实施例仅是用来说明本实用新型的技术方案，而并非用作为对本发明专利的限定，任何基于本发明专利的实质精神对以上所述实施例所作的变化、变型，都将落在本发明的权利要求的保护范围内。
Claims (8)
1. 一种兼容式掩模版上下料用花篮，包括花篮架（2）；其特征是：所述花篮架（2）内设有至少一层用于放置并支撑掩模版的掩模版支撑座（3），所述掩模版支撑座（3）对称分布在花篮架（2）内；所述掩模版支撑座（3）包括用于支撑第一掩模版的第一支撑台阶（5）、用于支撑第二掩模版的第二支撑台阶（6）以及用于支撑第三掩模版的第三支撑台阶（7）；第三支撑台阶（7）的底端位于第二支撑台阶（6）的顶端，第二支撑台阶（6）的顶端位于第一支撑台阶（5）的顶端。
2.根据权利要求1所述的兼容式掩模版上下料用花篮，其特征是：所述花篮架（2）的背面设置有阻隔条（8），所述阻隔条（8）位于掩模版支撑座（3）之间。
3.根据权利要求1所述的兼容式掩模版上下料用花篮，其特征是：所述花篮架（2）的底部设置有底座板（1），花篮架（2）外的顶端设有手柄（10），所述手柄（10）通过手柄安装板（9）固定安装在花篮架（2）的外端部。
4.根据权利要求1所述的兼容式掩模版上下料用花篮，其特征是：所述第一掩模版为5英寸掩模版、第二掩模版为6英寸掩模版，第三掩模版为7英寸掩模版。
5.根据权利要求3所述的兼容式掩模版上下料用花篮，其特征是：所述手柄安装板（9）通过螺钉（11）固定安装在花篮架（2）的外端部。
6.根据权利要求2所述的兼容式掩模版上下料用花篮，其特征是：所述花篮架（2）的背面设置三根阻隔条（8），所述三个阻隔条（8）均匀分布于掩模版支撑座（3）之间。
7.根据权利要求1所述的兼容式掩模版上下料用花篮，其特征是：所述花篮架（2）内设有上下两层的掩模版支撑座（3）；所述两层掩模版支撑座（3）通过隔离槽（4）隔离。
8.根据权利要求7所述的兼容式掩模版上下料用花篮，其特征是：所述隔离槽（4）的宽度为1.2cm~2cm。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN203786461U true CN203786461U (zh) | 2014-08-20 |
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ID=51322628
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| CN201420177506.5U Expired - Fee Related CN203786461U (zh) | 2014-04-11 | 2014-04-11 | 兼容式掩模版上下料用花篮 |
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| CN (1) | CN203786461U (zh) |
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|---|---|---|---|---|
| CN109557763A (zh) * | 2018-12-31 | 2019-04-02 | 无锡中微掩模电子有限公司 | 一种通用掩模夹盘 |
| CN110941137A (zh) * | 2019-12-29 | 2020-03-31 | 无锡中微掩模电子有限公司 | 一种掩模工艺用多层上料盒 |
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