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CN202271259U - 高精度球面抛光机 - Google Patents

高精度球面抛光机 Download PDF

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CN202271259U
CN202271259U CN201120303838XU CN201120303838U CN202271259U CN 202271259 U CN202271259 U CN 202271259U CN 201120303838X U CN201120303838X U CN 201120303838XU CN 201120303838 U CN201120303838 U CN 201120303838U CN 202271259 U CN202271259 U CN 202271259U
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China
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planker
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interferometer
carriage
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CN201120303838XU
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English (en)
Inventor
陈健
陈福恭
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SHANGHAI ZHONGJING ENTERPRISE DEVELOPMENT Co Ltd
Original Assignee
SHANGHAI ZHONGJING ENTERPRISE DEVELOPMENT Co Ltd
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Abstract

一种高精度球面抛光机,包括机座,工件转盘,还一可沿X向往复移动的工件拖板,所述工件转盘置于该工件拖板上,并在一可调速的工件转盘驱动电机的驱动下自转;工件拖板上方设一桥架,该桥架上设有Y向拖板,该拖板在Y向移动机构驱动下沿横梁方向水平往复移动;Z向拖板设在Y向拖板上,该Z向拖板在Z向移动机构驱动下沿垂直方向升降移动;一加工头组件设于Z向拖板上,该组件包括加工头电机、加工头杆与加工头。所述加工头包括金钢石锯片,仿形抛光头及小磨头。本实用新型可在不需拆卸下工件即可更换加工头,并能通过干涉仪的在线检测,避免因拆卸与重新夹装而带来的误差对产品质量的影响。

Description

高精度球面抛光机
技术领域
本实用新型涉及对光学玻璃元件表面冷加工的设备,具体指一种对光学玻璃元件表面冷加工的高精度双面抛光机。
背景技术
现有的光学元件表面冷加工设备中,经典的球面研磨抛光机是采用与被加工件基本相同尺寸的模具,通过摆动机构来拖动模具,使之在装夹于主轴上自转的被加工件的表面上往复摆动,通过填加磨料进行模具与被加工表面的研磨加工。其适加工过程无法进行参数量化控制,精度较低。
有一种小磨头抛光机提供了一种加工球面、非球面的有效途径,利用旋转小磨头,在加工表面上按照预先指定的路径运动。这个路径的轨迹和运动速度由计算机控制,一定程度上可以实现对材料去除的定量控制,不足之处在于抛光效率低,不适合大口径镜面加工,同时在加工表面产生中、高频差。
上述现有的光学加工设备性能单一,单机使用时,难以避免其自身的缺点与局限,限制了它们各自的应用范围。
发明内容
本发明的目的在于提供一种高精度球面抛光机,该设备集粗成型、仿形抛、小磨头抛等功能于一体,不仅能提高加工效率,而且可以提高加工精度。
本发明的另一个目的在于提供了在线检测的手段,在拆卸下工件的前提下,通过在线检测,并以在线检测出的数据作为依据,形成进一步修正加工的指令,使加工精度大大提高。
本实用新型的技术方案是:一种高精度球面抛光机,包括机座,工件转盘,其特征是,包括一可沿X向往复移动的工件拖板,所述工件转盘置于该工件拖板上,并在一可调速的工件转盘驱动电机的驱动下自转;工件拖板上方设一桥架,该桥架上设有Y向拖板,该拖板在Y向移动机构驱动下沿横梁方向水平往复移动;Z向拖板设在Y向拖板上,该Z向拖板在Z向移动机构驱动下沿垂直方向升降移动;一加工头组件设于Z向拖板上,该组件包括加工头电机、加工头杆与加工头。所述加工头包括金钢石锯片,仿形抛光头及小磨头。
进一步地,一干涉仪座设于机座的一端,该干涉仪座上设有可升降移动的干涉仪拖板,该拖板藉一手轮与丝杆、导轨机构升降移动,干涉仪设在干涉仪拖板上。
本实用新型的特点是:
⑴具有X、Y和Z方向的往复移动机构,加工头可以对固定在工件拖板上的工件上的任意点进行加工,
⑵ 可在不拆卸下工件的情况下,更换加工头,如在用金钢石锯片粗加工后换用仿形抛光头进行粗抛,也可在粗抛后换上小磨头进行精抛,可对工件进一步深度加工,以提高加工精度。
⑶通过干涉仪的在线检测,可以在不拆卸下工件的情况下,得到加工数据,为进一步修正提供依据,因无需拆卸下工件,不但可避免反复拆卸的重复劳动,可以避免因拆卸与重新夹装而带来的误差对产品质量的影响。
附图说明
图1是高精度球面抛光机的一个实施例的结构示意图。
图2是图1中的工件拖板与工件转盘的传动部分示意图。
图中:1机架,2工件拖板,3工件转盘,4桥架,5 Y向拖板,6 Z向拖板,7 Z向驱动电机,8 Y向电机,9干涉仪,10加工头电机,11干涉仪拖板,12干涉仪手轮,13干涉仪座,14X向导轨,15电控箱,16加工头杆,21 X向驱动电机, 22 X向丝杆,23滑块,24工件转盘驱动电机,25工件拖板滑块, 27 X向导轨。
具体实施方式
现结合一实施例及其附图对本实用新型作进一步说明。
由图1和图2,机座1上设有工件拖板2,该拖板2在电机21和丝杆22的驱动下沿拖板滑块25在X方向往复移动。工件转盘3置于工件拖板2上,在工件转盘驱动电机24驱动下自转。
工件拖板2上方设一桥架4,桥架4上设有Y向拖板5,该拖板5在Y向移动机构驱动下沿横梁方向水平往复移动。Y向移动机构由电机8、丝杆和导轨组成。
Y向拖板5上设有Z向拖板6,该拖板6在Z向移动机构驱动下沿垂直方向升降移动,所述Z向移动机由电机7、丝杆和导轨组成。
加工头组件设于Z向拖板6上,该组件包括加工头电机10、加工头杆16与加工头。加工头固定在加工头杆16上,随加工头杆高速旋转,加工头可以有各种形式,如粗加工的金钢石锯片、粗抛的仿形抛光头和精抛的小磨头。可根据加工要求更换,也可随加工的精度的提高,更换更好的加工头。
干涉仪座13设于机座1的一端,该干涉仪座13上设有可升降移动的干涉仪拖板11,该拖板11藉一手轮12与丝杆、导轨机构升降移动,干涉仪9设在干涉仪拖板11上。藉干涉仪9可以对加工件进行在线检测,检测的数据可实时地输入计算机,由计算机给出新的加工指令,进行精密修正。
工作时,工件固定在工件转盘3上随转盘旋转,在计算机的控制下,藉工件在X方向的移动和加工头在Y、Z方向的移动,对工件在三维座标上的任意点进行加工。需要对工件的面形数据进行检测时,将工件拖板移动到干涉仪9下,不拆卸工件地对工件进行检测。

Claims (5)

1.一种高精度球面抛光机,包括机座(1),一工件转盘(3),其特征是:
包括一可沿X向往复移动的工件拖板(2),所述工件转盘(3)置于该工件拖板(2)上,并在一工件转盘驱动电机(24)驱动下自转;
工件拖板(2)上方设一桥架(4),桥架(4)上设有Y向拖板(5),该拖板在Y向移动机构驱动下沿横梁方向水平往复移动;
Z向拖板(6)设于Y向拖板(5)上,该Z向拖板(6)在Z向移动机构驱动下沿垂直方向升降移动;
一加工头组件设于Z向拖板(6),该组件包括加工头电机(10)、加工头杆(16)与加工头,加工头固定在加工头杆(16)上。
2.根据权利要求1所述的高精度球面抛光机,其特征是,一干涉仪座(13)设于机座(1)的一端,该干涉仪座(13)上设有可升降移动的干涉仪拖板(11),该拖板(11)藉一手轮(12)与丝杆、导轨机构升降移动,干涉仪(9)设在干涉仪拖板(11)上。
3.根据权利要求1所述的高精度球面抛光机,其特征是,所述Y向拖板(5)的移动机构由Y向驱动电机(8)、丝杆与导轨组成。
4.根据权利要求1所述的高精度球面抛光机,其特征是,所述Z向移动机构由Z向驱动电机(7)、丝杆与导轨组成。
5.根据权利要求1所述的高精度球面抛光机,其特征是,所述加工头包括金钢石锯片,仿形抛光头及小磨头。
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C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
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