CN201133715Y - 热风加热装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及将气体加热供应的装置，具体为一种热风加热装置，解决现有技术中存在的加热气体温度忽高忽低，不能保持恒定等问题。采用该装置受热气体可长时间稳定供应，而且温度保持在指定的温度范围内，供应的气体的温度、流量、压力均可调整。该装置设有密闭腔体、导气管线、加热器、排出管路，加热器设置于密闭腔体内，导气管线缠绕于加热器上，导气管线的气体进口伸至密闭腔体外，导气管线的出口设在密闭腔体内，排出管路的气体排出口伸至密闭腔体内。本实用新型适用于半导体设备上的单元，可以在多种不同工艺上使用，如热板单元上、清洗工艺的吹干。
Description
技术领域
本实用新型涉及将气体加热供应的装置，具体为一种热风加热装置。
背景技术
目前，公知的半导体工艺中，有很多步骤要用到加热气体的供应，或吹干或烘烤或保持局部空间温度稳定等等。但是，现有的气体加热装置，有时出现气体温度忽高忽低，不能保持恒定，或是受热气体的流量、压力等不能保持稳定，从而给生产工艺带来不必要的麻烦。
实用新型内容
为了克服上述的种种不足，本实用新型提供一种热风加热装置，解决现有技术中存在的加热气体温度忽高忽低，不能保持恒定等问题。采用该装置受热气体可长时间稳定供应，而且温度保持在指定的温度范围内，供应的气体的温度、流量、压力均可调整。
本实用新型的技术方案是：
一种热风加热装置，该装置设有密闭腔体、导气管线、加热器、排出管路，加热器设置于密闭腔体内，导气管线缠绕于加热器上，导气管线的气体进口伸至密闭腔体外，导气管线的出口设在密闭腔体内，排出管路的气体排出口伸至密闭腔体内。
所述的热风加热装置，该装置外部设有温度显示器，密闭腔体内设有与温度显示器相连的温度传感器。
所述的热风加热装置，该装置外部设有与加热器相连的温度控制器。
所述的热风加热装置，密闭腔体外侧设有外部隔热层。
所述的热风加热装置，气体进口之前的管路上设有调压阀、单向导通阀。
所述的热风加热装置，排出管路上设有流量计。
本实用新型的优点及有益效果是：
1、本实用新型采用热传导快的导气管线密密的缠绕在加热器上，然后安装在密闭腔体内部，供给的气体通过导气管线加热后排放到恒温的密闭腔体内，导气管线的温度是由加热器加热的提供的，气体的加热是通过缠绕在加热器上的导气管线热传导加热的，通过加热、循环，密闭腔体内的气体经过充分混合，温度达到设定值，再通过管路排到需要供给的地方，可确保温度的恒定、准确。
2、本实用新型装置加热气体的温度是由气体出口处的温度传感器来直接检测的，其温度检测准确；恒温的密闭腔体的温度由温度控制器控制，受热气体是通过密闭腔体恒温调节后排放出去的。当温度高于或低于设定温度的范围时，温度传感器发出信号给温度控制器，温度控制器驱动加热器工作或停止工作，加热器的加热频率由温度控制器控制，进而控制被加热气体的温度，从而保障排出气体的温度恒定，其操作简单灵活，便于工艺调整。
3、本实用新型的密闭腔体和外界之间有隔热层保护，避免了对外部环境的影响。
4、本实用新型气体的排量可通过流量计检测、调整，被加热气体的压力及流量的大小通过调压阀及单向导通阀调整，准确方便。
5、本实用新型适用于半导体设备上的单元，可以在多种不同工艺上使用，如热板单元上、清洗工艺的吹干，等等。
附图说明
图1是本实用新型热风加热装置的剖面示意图。
其中，1、外部隔热层；2、密闭腔体；3、温度传感器；4、气体排出口；5、导气管线；6、加热器；7、气体进口；8、温度控制器；9、排出管路；10、温度显示器；11、调压阀；12、流量计；13、单向导通阀。
具体实施方式
下面结合附图对本装置作详细描述。
如图1所示，本实用新型装置由以下几部分组成：外部隔热层1、密闭腔体2、温度传感器3、气体排出口4、导气管线5、加热器6、温度控制器8、温度显示器10、调压阀11、流量计12、单向导通阀13等部分组成。密闭腔体2外侧设有外部隔热层1，加热器6设置于密闭腔体2内，导气管线5缠绕于加热器6上，导气管线5的气体进口7伸至密闭腔体2外，导气管线5的出口设在密闭腔体2内，排出管路9的气体排出口4伸至密闭腔体2内。该装置外部设有温度显示器10，密闭腔体2内设有与温度显示器10相连的温度传感器3，该装置外部还设有与加热器6相连的温度控制器8。气体进口7之前的管路上设有调压阀11、单向导通阀13，排出管路9上设有流量计12，流量计12安置在排出管路9的后部。本实施例中，外部隔热层1的隔热材料可以为石棉；导气管线5可以为热传导好的金属管等；加热器6可以为加热棒等。
安装时，将热传导快的导气管线5密密的缠绕在加热器6上，然后安装在密闭腔体2内部，密闭腔体2与外界通过外部隔热层1隔离；当气体通过导气管线5时，导气管线5通过加热器将热能传导给气体，由于是密密的缠绕，气体会充分的受热，气体受热后排放到密闭腔体2内部，密闭腔体2内部的温度也由加热器6提供，气体温度在密闭腔体2内部保持恒定，密闭腔体2内部的温度由气体出口处的温度传感器3检测，当温度高于或低于设定温度的范围时，温度传感器3发出信号给温度控制器8，驱动加热器6停止或工作，气体的压力由进气管路上设置的调压阀11及单向导通阀13控制，流量由流量计12检测。
工作时，通过温度显示器10来设定供应气体的温度，温度传感器3检测的温度信号传给温度控制器8后，驱动加热器6工作，供应气体通过调压后从气体进口7进入，在密密缠绕的热传导好的导气管线5通过，热传导好的导气管线5经过加热器6的加热后，将热能传给管路中的气体，气体通过加热后排放到密闭腔体2内部，使内部气体充分混合，温度保持均匀；然后由气体排出口4排出供应，温度传感器3时刻检测排出气体的温度，如有变动，就马上发出信号给温度控制器8进行调整。气体的排量由排出管路9后部的流量计12调节控制，密闭腔体2内部的温度靠外部隔热层1来和外界隔离保温。
Claims (6)
1、一种热风加热装置，其特征在于：该装置设有密闭腔体(2)、导气管线(5)、加热器(6)、排出管路(9)，加热器(6)设置于密闭腔体(2)内，导气管线(5)缠绕于加热器(6)上，导气管线(5)的气体进口(7)伸至密闭腔体(2)外，导气管线(5)的出口设在密闭腔体(2)内，排出管路(9)的气体排出口(4)伸至密闭腔体(2)内。
2、按照权利要求1所述的热风加热装置，其特征在于：该装置外部设有温度显示器(10)，密闭腔体(2)内设有与温度显示器(10)相连的温度传感器(3)。
3、按照权利要求1所述的热风加热装置，其特征在于：该装置外部设有与加热器(6)相连的温度控制器(8)。
4、按照权利要求1所述的热风加热装置，其特征在于：密闭腔体(2)外侧设有外部隔热层(1)。
5、按照权利要求1所述的热风加热装置，其特征在于：气体进口(7)之前的管路上设有调压阀(11)、单向导通阀(13)。
6、按照权利要求1所述的热风加热装置，其特征在于：排出管路(9)上设有流量计(12)。
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| CN101435626B (zh) * | 2007-11-16 | 2010-06-02 | 沈阳芯源微电子设备有限公司 | 热风加热装置 |
| CN107950258A (zh) * | 2017-10-11 | 2018-04-24 | 佛山汇众森泰科技有限公司 | 一种土壤蒸汽消毒装置 |
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Legal Events
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| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| AV01 | Patent right actively abandoned |
Granted publication date: 20081015 Effective date of abandoning: 20071116 |