CN1974355B

CN1974355B - 板状工件的吸着运送装置和运送方法

Info

Publication number: CN1974355B
Application number: CN2006101387360A
Authority: CN
Inventors: 高木弘喜; 松木健一; 高野光正
Original assignee: Nippon Mektron KK
Current assignee: Nippon Mektron KK
Priority date: 2005-12-01
Filing date: 2006-11-13
Publication date: 2011-01-19
Anticipated expiration: 2026-11-13
Also published as: TW200723979A; CN1974355A; JP4545681B2; TWI326194B; JP2007152454A

Abstract

本发明提供一种板状工件的吸着运送装置和运送方法，从放置在突出设有多个导向针的工件处理装置的架台上的状态，通过垂设于支撑架上的多个真空垫吸着保持板状工件进行运送时，板状工件不会挂到导向针上，可确实且顺利地吸着保持。作为解决的手段，在支撑架下降，通过真空垫来吸着柔性印刷基板(FPC)时，将导向针的前端嵌合在垂设于支撑架的筒状磁铁上，同时使筒状磁铁的下表面与FPC的上表面接触。此时，筒状轴套被筒状磁铁的磁力吸引，在筒状磁铁和筒状轴套之间夹持FPC，因此，FPC不会弯曲，可由真空垫确实地吸着。FPC上升到规定高度的话，则限制筒状轴套的上升，与FPC的下表面分离，筒状轴套回到原来的状态，同时FPC的导向孔从导向针顺利地拔出。

Description

板状工件的吸着运送装置和运送方法

技术领域

本发明涉及板状工件的吸着运送装置和运送方法，特别是涉及具有多个导向孔的挠性板状工件，在工件处理装置的架台上突出设置的导向针上贯通载置导向孔的状态，通过垂设于支撑架上的多个真空垫吸着保持挠性的板状工件进行运送的吸着运送装置和运送方法。

背景技术

对于用多个真空垫一边吸着保持板状工件一边进行运送的装置，一直以来，主要广泛用于被冲压加工的金属板材的运送等(比如参见专利文献1)。

另外，柔性印刷基板等具有挠性的板状工件如图8所示，在柔性印刷基板等板状工件1中预先开通有导向孔2，将上述导向孔2插入从工件处理装置的架台3突出的多个导向针4中，在板状工件1被定位放置于上述架台3的放置面上的状态进行加工处理。

在对加工后的板状工件1进行运送的场合，将垂直设在支持架5上的多个真空垫6从上方下降，如图9所示，以上述真空垫6将板状工件1吸着保持，在该状态下使上述支持架5上升、进行运送。

作为对薄板等容易变形的对象物进行吸着的装置，知道下述的薄板吸着装置，该装置由吸着薄板的吸盘、延长板和将上述吸盘与延长板装配为规定的结构进行保持的机构构成，所述延长板通过弹簧偏置，在上述吸盘与作为吸着对象的薄板接触之前，按压薄板的没有吸盘的部分，延长为平面(比如参见专利文献2)。

专利文献1JP实开平4-39532号文献

专利文献2JP实开昭59-123038号文献

发明内容

在图8所示的工件处理装置的架台3中，在将挠性的板状工件1的导向孔2插入导向针4中进行定位的场合，导向针4一般形成为上部带有圆角的圆柱状，开通于板状工件1上的导向孔2其开口比上述导向针4的外形稍大。

将板状工件1以平坦的状态垂直提起的场合，没有导向孔2和导向针4的干扰，板状工件1从导向针4拔出，被顺利地运送，但由于板状工件1具有挠性，故如图10所示，真空垫6的附近先上升，板状工件1发生弯曲，导向孔2的周边部有可能挂在导向针4上。

这样的时候，通过板状工件1的弹性，真空垫6吸着的部位的一部分出现间隙，从该间隙进入空气，吸着力降低。因此，吸着力迅速降低而发生所谓的夹持错误，从而引起无法将板状工件1提起，或提起的板状工件1掉落的不良情况。

为了避开这种不良情况，将嵌合于导向针4的板状工件1的导向孔2的直径加大，则不会挂在导向针4上，但是由于会损失定位精度，故不能将导向孔2开得太大。

如果仅仅使真空垫跟随具有挠性的板状工件的弯曲，则如专利文献1那样，通过在板状工件的各部分改变真空垫的上升速度可以实现，但不能防止弯曲造成的与导向针的干扰。

另外，如专利文献2那样，即使通过伸长板来矫正弯曲之后吸着保持，在板状工件上升时，由于真空垫的附近更早地上升，故板状工件会产生弯曲，从而发生夹持错误。

因此，本发明的目的在于提供一种吸着运送装置和运送方法，从放置在突出设有多个导向针的工件处理装置的架台上的状态，通过垂设于支撑架上的多个真空垫吸着保持板状工件进行运送时，板状工件不会挂到导向针上，可确实且顺利地吸着保持。

本发明是为了达到上述目的而提出的，方案1所述的发明提供一种板状工件的吸着运送装置，通过垂设于所述吸着运送装置的支撑架上的多个真空垫，在对具有导向孔的挠性的板状工件进行吸着保持的同时，将该板状工件从导向针中拔出进行运送，上述板状工件的上述导向孔插入突设于工件处理装置的架台上的多个导向针，被放置在上述架台上，其特征在于，该板状工件的吸着装置按照如下方式构成：突设于上述架台的导向针的外周开通有圆孔，将由可被磁力吸引的材质制成的筒状轴套按照使其上表面与上述架台的放置面高度相同的方式埋设于上述圆孔内，同时按照可从上述架台的放置面抬起到规定高度的方式形成该筒状轴套，上述支撑架中，在与上述导向针相对的位置垂设有筒状磁铁，该筒状磁铁具有比上述导向针稍大的内径，且与上述导向针嵌合，上述支撑架下降，用上述真空垫吸着上述板状工件时，上述导向针嵌合上述筒状磁铁，同时上述筒状轴套被筒状磁铁的磁力吸引，将板状工件夹持于筒状磁铁和筒状轴套之间，伴随上述支撑架的上升，被上述筒状磁铁吸引的筒状轴套也上升到上述规定高度，继续夹持板状工件。

根据该结构，支撑架下降，通过真空垫吸着板状工件时，导向针的前端嵌合到垂设于支撑架的筒状磁铁中，并且筒状磁铁的下表面接触板状工件的上表面。此时，筒状轴套被该筒状磁铁的磁力吸引，板状工件被夹持于筒状磁铁和筒状轴套之间。因此，板状工件在多个部位被筒状磁铁和筒状轴套夹持，不会弯曲，真空垫确实地吸着板状工件。

伴随支撑架的上升，筒状轴套上升到规定高度的话，将限制该筒状轴套的上升，与板状工件的下表面分离，该筒状轴套回到原来的状态，并且板状工件的导向孔从上述导向针顺利地拔出。

方案2所述的发明提供方案1所述的板状工件的吸着运送装置，其特征在于，按照如下方式构成：在上述筒状轴套的外侧面设置凹部，在设置于上述架台的上述圆孔的内侧面设置凸部，并突设于上述筒状轴套的凹部内，将该筒状轴套从上述圆孔提起时，上述圆孔的凸部卡止在筒状轴套的凹部中，将筒状轴套的上升限制在规定高度内。

根据该结构，埋设于架台的圆孔中的筒状轴套被抬起的话，凸设于圆孔的内侧面的凸部卡止于在筒状轴套的外侧面设置的凹部的端部，筒状轴套的上升被限制在规定高度以内。

方案3所述的发明提供方案1或2所述的板状工件的吸着运送装置，其特征在于，按照如下方式构成：上述导向针的前端部为直径逐渐减小的前端变细形状，在通过上述支撑架的真空垫吸着板状工件，提起到规定高度时，将上述导向针前端部的开始变细部分插入上述筒状磁铁与筒状轴套之间夹持的板状工件的导向孔内。

根据该结构，支撑架下降，用真空垫吸着板状工件时，导向针插入并嵌合于板状工件的导向孔内，夹持于筒状磁铁和筒状轴套之间的板状工件被提起，筒状轴套被提起到规定高度时，导向针前端部的开始变细部分插入导向孔内，不会发生导向孔与导向针的干扰，板状工件从导向针拔出。

方案4所述的发明提供一种使用了方案1、2或3所述的板状工件的吸着运送装置的运送方法，该方法是：通过垂设于所述吸着运送装置的支撑架上的多个真空垫，对上述板状工件进行吸着保持的同时，将板状工件的导向孔从上述导向针中拔出并对上述板状工件进行运送，上述板状工件的上述导向孔插入突设于工件处理装置的架台上的多个导向针，被放置在上述架台上，其特征在于，上述支撑架下降，用真空垫吸着板状工件时，导向针的前端嵌合垂设于支撑架的筒状磁铁，同时，以可抬起的方式埋设在导向针的外周部的筒状轴套被上述筒状磁铁的磁力吸引，在筒状磁铁和筒状轴套之间夹持板状工件，伴随上述支撑架的上升，被上述筒状磁铁吸引的筒状轴套也一边夹持板状工件一边上升，筒状轴套的上升在规定高度被限制，与板状工件分离，筒状轴套回到原来的状态，同时，板状工件的导向孔从上述导向针顺利地拔出。

根据该结构，支撑架下降，用真空垫吸着板状工件时，导向针的前端与筒状磁铁嵌合，并且筒状轴套被上述筒状磁铁吸引，夹持板状工件。板状工件通过筒状磁铁和筒状轴套从上下夹持而上升，到达规定高度时，筒状轴套与板状工件分离，板状工件的导向孔从导向针拔出。

方案5所述的发明提供方案4所述的板状工件的吸着运送方法，其特征在于，上述挠性的板状工件为柔性印刷基板。

根据该结构，通过使用上述吸着运送装置运送柔性印刷基板，在用真空吸着垫吸着柔性印刷基板提起时，可将柔性基板夹持在筒状磁铁和筒状轴套之间，因此柔性印刷基板不会弯曲，顺利地从导向针拔出。

本发明向上述那样，在插入了突设于架台上的导向针的导向孔的附近，筒状磁铁和筒状轴套从上下夹持板状工件，同时用真空垫吸着板状工件提起，因此板状工件不会弯曲，真空垫可确实地吸着板状工件。并且，将板状工件提起到规定高度时，上述筒状轴套与板状工件分离而复原，由此板状工件的导向孔从导向针顺利地拔出，从而可以确实地运送板状工件。

附图说明

图1为表示本发明的板状工件的吸着运送装置整体的说明图。

图2(a)，(b)为图1所示的导向针和筒状轴套的主要部分的放大图。

图3为表示图1所示的吸着运送装置的动作，吸着之后的说明图。

图4为表示图1所示的吸着运送装置的动作，提起时的说明图。

图5(a)，(b)为图4所示的导向针、筒状轴套和筒状磁铁的主要部分的放大图。

图6为表示图1所示的吸着运送装置的动作，筒状轴套分离后的说明图。

图7为表示图1所示的导向针与筒状轴套的变形例的主要部分的放大图。

图8为表示现有的板状工件的吸着运送装置的说明图。

图9为表示图8所示的现有的吸着运送装置的动作，吸着后的说明图。

图10为表示图8所示的现有的吸着运送装置的动作，发生弯曲时的说明图。

具体实施方式

以下例举适当的实施例对本发明的板状工件的吸着运送装置和运送方法进行描述。为了达到以下目的，即从放置在突出设有多个导向针的工件处理装置的架台上的状态，通过垂设于支撑架上的多个真空垫吸着保持板状工件进行运送时，板状工件不会挂到导向针上，可确实且顺利地吸着保持的目的，本发明通过如下结构实现，该结构为：通过垂设于运送装置的支撑架上的多个真空垫，在对具有导向孔的挠性的板状工件进行吸着保持的同时，从上述导向孔中拔出进行运送，上述板状工件的上述导向孔插入突设于工件处理装置的架台上的多个导向针，被放置在上述架台上，其特征在于，该板状工件的吸着装置按照如下方式构成：突设于上述架台的导向针的外周开通有圆孔，将由可被磁力吸引的材质制成的筒状轴套按照使其上表面与上述架台的放置面高度相同的方式埋设于上述圆孔内，同时按照可从上述架台的放置面抬起到规定高度的方式形成该筒状轴套，上述支撑架中，在与上述导向针相对的位置垂设有筒状磁铁，该筒状磁铁具有比上述导向针稍大的内径，且与上述导向针嵌合，上述支撑架下降，用上述真空垫吸着上述板状工件时，上述导向针嵌合上述筒状磁铁，同时上述筒状轴套被筒状磁铁的磁力吸引，将板状工件夹持到筒状磁铁和筒状轴套之间，伴随上述支撑架的上升，被上述筒状磁铁吸引的筒状轴套也上升到规定高度，继续夹持板状工件。

实施例1

图1为表示本发明的板状工件的吸着运送装置10的全体的说明图，在本实施例中，作为挠性板状工件，对柔性印刷基板11的吸着运送进行说明。

该柔性印刷基板(以下称为FPC)11上预先开通有导向孔12，将上述导向孔12插入从工件处理装置的架台13突出的多个导向针14，在将上述FPC 11定位放置于上述架台13的放置面的状态进行加工处理。加工后的FPC 11使垂设于支撑架15的多个真空垫 16从上方下降，用该真空垫16吸着保持FPC 11进行运送。

突设于上述架台13的导向针14的外周开通有圆孔17，将筒状轴套18埋设于该圆孔17中。该筒状轴套18由可被磁力吸引的材质(比如铁等)形成，按照其上表面与上述架台13的放置面为同一高度的方式埋设于圆孔17中。

另一方面，上述支撑架15中，在与突设于上述架台13的导向针14相对的位置垂设有筒状磁铁19，该筒状磁铁19具有比上述导向针14的外径稍大尺寸的内径，且与上述导向针14嵌合。

如图2所示，上述筒状轴套18相对于导向针14，按照向上下方向自由滑动的方式嵌合，并且按照可从上述架台13的放置面提起到规定高度的方式形成。另外，在该筒状轴套18的外侧面设置凹部20，并且在上述圆孔17的内侧面设置凸部21，并突设于筒状轴套18的凹部20内。

如图所示，筒状轴套18埋设于圆孔17内，在其上表面与架台13的放置面为同一高度的状态下，将上述凸部21设于上述凹部20的最上部的位置，该凸部21的下方设有规定高度H的空间。

另外，上述导向针14的前端部22呈直径逐渐减小的前端变细形状，在FPC 11放置在架台13的状态，导向针的前端开始变细部分23存在于与上述FPC 11的上表面相同高度的位置，或比导向孔12更向上方突出的位置。因此，导向针14的外侧面与上述导向孔12的内侧整个面接触，由此FPC 11可高精度地定位于架台13上。另外，为了便于说明，在各图中将导向孔12的内侧面与导向针14的外侧面的间隙记载得较大。

如图3所示，上述支撑架15下降，用真空垫16吸着FPC 11时，导向针14的前端部22嵌合于垂设于支撑架15的筒状磁铁19的孔24中，并且筒状磁铁19的下表面与FPC 11的上表面接触。此时，上述筒状轴套18被该筒状磁铁19的磁力吸引，FPC 11被夹持在筒状磁铁19与筒状轴套18之间。因此，由于FPC 11多个部位被筒状轴套18和筒状磁铁19夹持，故FPC 11不会弯曲，可用真空垫16确实地吸着。

支撑架15在该状态上升的话，则如图4所示，吸着在真空垫16上的FPC 11与架台13分离而上升。伴随支撑架15的上升，被筒状磁铁19吸引的筒状轴套18也上升，继续夹持FPC 11。这样，导向针14插入的导向孔12的附近，筒状磁铁19与筒状轴套18从上下夹持FPC 11的多个部位，因此，FPC 11不会弯曲，可通过真空垫16确实地吸着并提起FPC 11。

而且，如图5所示，将埋设于架台13的圆孔17中的筒状轴套18提起的话，则设于筒状轴套18的外侧面的上述凹部20的最下部与突设于圆孔17的内侧面的上述凸部21接触而被卡止，从而将筒状轴套18的上升限制在规定高度H之内。

如图6所示，如果支撑架15进一步上升的话，则筒状轴套18与吸着于真空垫16上的FPC 11的下表面分离，该筒状轴套18回到原来的状态，并且FPC 11的导向孔12顺利地从上述导向针14拔出，将FPC 11运送到下一工序。

这样，通过真空垫16，对将导向孔12插入多个导向针14并定位于架台13上的FPC 11进行吸着运送时，导向针14的前端嵌合于垂设于支撑架15的筒状磁铁19中，并且将FPC 11夹持于筒状磁铁19和筒状轴套18之间而提起，因此该FPC 11不会弯曲，可用真空垫16确实地吸着，防止夹持错误的发生。

另外，上述筒状轴套18的形状不限于像上述那样，上表面与下表面为同一直径，凹部20的纵截面C字形，也可为如图7所示的上表面的直径比下表面的直径小，凹部20a的纵截面为L字形的筒状轴套18a。对应该筒状轴套18a的形状，在上述圆孔17的内侧面设置凸部21a，并突设于筒状轴套18a的凹部20a内。该场合也通过与上述的筒状轴套18完全相同的作用，将FPC 11夹持于筒状磁铁19和筒状轴套18a之间而提起，因此能够防止夹持错误的发生。

这样，只要不脱离本发明的精神，本发明可作多种改变，而且，本发明理所当然涉及该改变的内容。

Claims

1.一种板状工件的吸着运送装置，其通过垂设于所述吸着运送装置的支撑架上的多个真空垫，在对具有导向孔的挠性的板状工件进行吸着保持的同时，将该板状工件从导向针中拔出进行运送，上述板状工件的上述导向孔插入突设于工件处理装置的架台上的多个导向针，被放置在上述架台上，其特征在于，该板状工件的所述吸着运送装置按照如下方式构成：

突设于上述架台的导向针的外周开通有圆孔，将由可被磁力吸引的材质制成的筒状轴套按照使其上表面与上述架台的放置面高度相同的方式埋设于上述圆孔内，同时按照可从上述架台的放置面抬起到规定高度的方式形成该筒状轴套，

上述支撑架中，在与上述导向针相对的位置垂设有筒状磁铁，该筒状磁铁具有比上述导向针稍大的内径，且与上述导向针嵌合，

上述支撑架下降，用上述真空垫吸着上述板状工件时，上述导向针嵌合上述筒状磁铁，同时上述筒状轴套被筒状磁铁的磁力吸引，将板状工件夹持于筒状磁铁和筒状轴套之间，伴随上述支撑架的上升，被上述筒状磁铁吸引的筒状轴套也上升到规定高度，继续夹持板状工件。

2.如权利要求1所述的上述板状工件的吸着运送装置，其特征在于，按照如下方式构成：

在上述筒状轴套的外侧面设置凹部，在设置于上述架台的上述圆孔的内侧面设置凸部，并突设于上述筒状轴套的凹部内，

将该筒状轴套从上述圆孔提起时，上述圆孔的凸部卡止在筒状轴套的凹部中，将筒状轴套的上升限制在规定高度内。

3.如权利要求1或2所述的板状工件的吸着运送装置，其特征在于，按照如下方式构成：

上述导向针的前端部为直径逐渐减小的前端变细形状，在通过上述支撑架的真空垫吸着上述板状工件，提起到规定高度时，将上述导向针前端部的开始变细部分插入上述筒状磁铁与筒状轴套之间夹持的上述板状工件的导向孔内。

4.一种使用了如权利要求1～3中任一项所述的板状工件的吸着运送装置的运送方法，该方法是：通过垂设于所述吸着运送装置的支撑架上的多个真空垫，对上述板状工件进行吸着保持的同时，将板状工件的导向孔从上述导向针中拔出并对上述板状工件进行运送，上述板状工件的上述导向孔插入突设于工件处理装置的架台上的多个导向针，被放置在上述架台上，其特征在于，

上述支撑架下降，用真空垫吸着上述板状工件时，导向针的前端嵌合垂设于支撑架的筒状磁铁，同时，以可抬起的方式埋设在导向针的外周部的筒状轴套被上述筒状磁铁的磁力吸引，在筒状磁铁和筒状轴套之间夹持上述板状工件，

伴随上述支撑架的上升，被上述筒状磁铁吸引的筒状轴套也一边夹持上述板状工件一边上升，筒状轴套的上升在规定高度被限制，与上述板状工件分离，筒状轴套回到原来的状态，同时，上述板状工件的导向孔从上述导向针顺利地拔出。

5.如权利要求4所述的运送方法，其特征在于，上述挠性的板状工件为柔性印刷基板。