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CN1885101A - 用于制造液晶显示器件的基板传输设备 - Google Patents

用于制造液晶显示器件的基板传输设备 Download PDF

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CN1885101A
CN1885101A CNA200510132705XA CN200510132705A CN1885101A CN 1885101 A CN1885101 A CN 1885101A CN A200510132705X A CNA200510132705X A CN A200510132705XA CN 200510132705 A CN200510132705 A CN 200510132705A CN 1885101 A CN1885101 A CN 1885101A
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梁宗安
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LG Philips LCD Co Ltd
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Abstract

本发明公开了一种用于制造液晶显示器件的基板传输设备。该基板传输设备部传送基板并且没有使用附加的对准装置对准基板。该基板传输设备包括形成所述基板传输设备主体的臂;手和移动件。所述可以沿第一方向移动的手包括与所述臂连接的第一端和上表面,其中在该上表面上放置基板。该手还包括支撑件,用于支撑所述基板的虚拟部分,其中所述虚拟部分为所述基板的边缘。所述移动件设计为移动所述手。

Description

用于制造液晶显示器件的基板传输设备
本申请要求享有2005年6月20日递交的韩国专利申请P2005-53129号的权益,在此引用其全部内容作为参考。
技术领域
本发明涉及一种制造液晶显示器件的设备,尤其涉及一种制造液晶显示器件的基板传输设备,其中该基板传输设备传输液晶显示面板的基板。
背景技术
液晶显示(LCD)器件具有很好的图像质量,并且外形薄、重量轻、能耗低。这样,许多移动显示器件使用LCD器件。除了诸如笔记本计算机的监视器的移动显示器件外,LCD器件也用在其它应用中,包括接收和显示广播信号的电视机以及桌面型计算机显示器。
通常,LCD器件具有用于显示图像的液晶显面板以及用于向该液晶面板施加驱动信号的驱动单元。此外,LCD器件具有粘结到一起的一对基板并且在两基板之间的间隙中注入液晶层。
单个基板,或具有单个基板的粘结在一起的粘结基板在制造过程中通过诸如机械手的传输设备在各个位置之间传输。
机械手或者传输设备具有在制造过程中将单个基板或者粘结基板传输到各个位置的多个手。当机械手将基板在各个位置之间传输时,机械手具有放置在其各个手的表面上的单个基板或者粘结基板。
进而,现有技术的机械手具有多个手表面上的凸起,以最小化机械手和基板之间的接触面积。
然而,现有技术机械手的凸起将负荷集中在单个基板或者粘结基板中与各凸起接触的部分,从而使该部分弯曲。
具体地说,如果弯曲部分其上形成有用于在一对基板之间维持合适间隙的衬垫料,那么可能不能保持该合适间隙,从而引起液晶的取向缺陷。
而且,现有技术的传输设备不对准基板。这样,当基板在制造工序中移动到不同位置时,需要单独的对准设备来对准粘结的基板。例如,当基板移动到将粘结基板切割为单位面板的切割装置时,需要单独的对准设备。因此,制造LCD器件的时间和成本增加。
发明内容
因此,本发明涉及一种用于制造液晶显示器件的基板传输设备,其基本上克服了由于现有技术的限制和缺点而产生的一个或者多个问题。
本发明的一个优点是提供一种用于制造液晶显示器件的基板传输设备,其能够不使用附加对准装置而对准基板并且传输基板。
本发明的附加优点、目的和特征将在后面的描述中得以阐明,通过以下描述,将使其对本领域技术人员来说显而易见,或者可通过实践本发明来认识。本发明的这些目的和其它优点可通过说明书及其权利要求以及附图中具体指出的结构来实现和得到。
为了实现这些目的和其它优点,按照本发明的目的,作为具体和广义的描述,本发明公开了一种用于制造液晶显示器件的基板传输设备。该基板传输设备包括形成所述基板传输设备主体的臂、第一手和用于移动该第一手的第一移动件。可沿第一方向移动有第一手包括与所述臂连接的第一端和上表面,其中在该上表面上放置基板。该第一手还包括第一支撑件,支撑所述基板的虚拟部分,其中所述虚拟部分为所述基板的边缘。
应该理解,本发明上面的概述和下面的详细说明都是示例性和解释性的,意欲对所要求保护的本发明提供进一步解释。
附图说明
所包括的用于提供对本发明进一步解释并引入构成本申请一部分的附图说明了本发明的实施方式,并与说明书一起用于说明本发明的原理。在附图中:
图1示出了按照本发明第一实施方式的基板传输设备的透视图;
图2A示出了沿图1中的I-I’线提取的基板传输设备的外手单元的截面图;
图2B示出了沿图1中的II-II’线提取的基板传输设备的内手单元的截面图;
图3A示出了按照本发明另一实施方式的基板传输设备的外手单元;
图3B示出了按照本发明另一实施方式的基板传输设备的内手单元;
图4示出了用于按照本发明第一实施方式的基板传输设备的外手单元的移动件单元;
图5示出了用于按照本发明第一实施方式的基板传输设备的内手单元的移动件单元;
图6A到6C示出了按照本发明第一实施方式的基板传输设备的平面图、正截面图和侧截面图;
图7A到7C示出了按照本发明第一实施方式当基板传输设备保持基板时该基板传输设备的平面图、正截面图以及侧截面图。
图8示出了按照本发明第二实施方式的基板传输设备的平面图;
图9示出了按照本发明第二实施方式的基板传输设备的侧截面图;以及
图10示出了按照本发明第三实施方式的基板传输设备的透视图。
具体实施方式
以下将参照附图中所示的实施例来详细描述本发明的优选实施方式。尽可能的,在整个附图中使用相同的附图标记表示相同或相似的部件。
图1示出了按照本发明第一实施方式的基板传输设备的透视图。
参照图1,按照本发明第一实施方式的基板传输设备101包括臂100、手210和220以及移动件310和320(参见图4和图5)。臂100形成基板传输设备101的主体。单独的驱动单元(未示出)将臂100移动到使基板可以放置到基板传输设备101上的位置。此外,驱动单元将臂100移动到使基板可以从基板传输设备101上去除的另一位置。
从图1可以看出,手210和220的第一端固定到臂100。手210和220的第二端从臂100向外突出从而形成在其上放置基板10的部分。这里,固定到臂100的手210和220的第一端朝向其上放置有基板10的部分可移动。
在该实施方式中,基板传输设备101可以包括多个手210和220。在该实施方式中,基板传输设备101可以具有臂100外部的一对手210,从而形成一对外手。基板传输设备101也可以在外手210之间具有一对手220,从而形成一对内手。
外手210沿横向方向可移动,从而彼此可以沿相反方向移动。内手220沿纵向方向可移动。
进而,基板传输设备101在手210和220的部分具有支撑件211和221。从图1中可以看出,支撑件211和221设置在手210和220上,在支撑件上基板10边缘处的虚拟部分11接触手210和220的表面。因此,支撑件211和221支撑基板10的虚拟部分11。
参照图2A和2B,支撑件211和221分别具有狭槽211a和221a,以支撑基板10的虚拟部分11。应该注意,按照本发明另一实施方式,如图3A所示,支撑件211可以具有倾斜部分211c。类似地,按照本发明的另一实施方式,如图3B所示,支撑件221可以具有倾斜部分221c。
从图2A、2B、3A和3B可以看出,支撑件211和221形成具有宽度h1和h2的开口。在该实施方式中,宽度h1大于由支撑件211和221支撑的诸如基板10的基板的厚度。应该注意,在基板传输设备101用于传输粘结的基板的实施方式中,宽度h1大于粘结的基板的厚度。进而,可以从图2A、2B、3A和3B看出,宽度h1大于宽度h2从而可以使支撑件211和221支撑具有不同厚度的基板和粘结的基板。
按照本发明的实施方式,支撑件211和221分别包括倾斜表面211b和221b。从图2A、2B、3A和3B可以看出,倾斜表面211b和221b从宽度h1到宽度h2沿向下方向倾斜。这样,倾斜表面211b和221b导向放置在支撑件211和221中的基板。
而且,支撑件211和221的狭槽211a和221a根据手210和220的取向沿不同方向打开。具体地说,如图1所示,在外手210处的支撑件211的狭槽211a彼此面对以支撑基板10的相对边缘。如图1所示,在内手220处的支撑件221的狭槽221a面对基板传输设备101的臂100以支撑基板10的前边缘。
尽管外手210处的支撑件211可以贯穿其整个长度形成,但是支撑件211也可以只在部分外手处形成或者以规则间隔形成。
而且,可以在手210和220的表面上分别设置支撑基板10的多个支撑突起212和222。在该示例中,支撑突起212和222可以形成在手210和220的部分上表面上,其中基板10的虚拟部分11放置于其上。这样,支撑突起212和222防止了对基板的损坏。
基板传输设备101的移动件310和320分别移动手210和220。
在该示例中,移动件310和320可以单独设置到各手210和220,以单独移动手210和220。然而,应该注意,可以提供同时移动手210和220的附加链接结构(未示出)。
从图4和图5可以看出,移动件310和320分别包括导向体311和321,以导向手210和220的移动。移动件310和320还包括移动手210和220的致动器312和322。
导向体311和321安装在手210和220的端部。移动件310包括设置在手210和致动器312之间的柱塞312a。同样,移动件312具有设置在手220和致动器322之间的柱塞322a。
如图4所示,移动件310沿横向方向移动外手210。而且,如图5所示,移动件320沿纵向方向移动内手220。
下面描述按照本发明第一实施方式的基板传输设备的操作。
参照图6A到6C,将基板10加载到基板传送设备101的手210和220上,使得手210和220位于基板10的下侧。
参照图7A到7C,当移动件310和320操作时,基板10的虚拟部分11被置于手210和220上支撑件211和221的狭槽211a和221a中。
为了进一步解释,参照图7B,在两外手210处的移动件310的致动器312开始工作并且沿通过导向体311导向的横向方向移动一对两外手210。外手210连续移动直到手210处的支撑件211支撑基板10相对边缘的虚拟部分11。
此外,参照图7C,内手220处的移动件320的致动器322开始工作并且朝向基板传输设备101的臂100移动一对内手220。移动件320连续移动内手220直到手220处的支撑件221支撑基板10前边缘的虚拟部分11。
这里,当基板10置于支撑件211和221的狭槽211a和221a中时,倾斜表面211b和221b导向基板10。
在该实施方式中,当基板10的边缘由支撑件211和221支撑时,基板10保持对准。这样,当在制造过程中臂100工作时,基板10保持对准。
而且,即便基板传输设备101在传输基板10时有振动,支撑件211和221也维持基板10的对准。
因此,当基板传输设备101维持基板10的对准时,本发明可以不需要在制造过程中单独步骤中对准基板的对准设备。
参照图8和图9,按照本发明第二实施方式的基板传输设备103除了包括上述按照本发明第一实施方式的基板传输设备101中的组件外,还包括移动辅助支撑件410以及移动该辅助支撑件410的移动件420。
在该实施方式中,辅助支撑件410邻近于臂100设置。这样,辅助支撑件410支撑邻近于臂100的基板边缘。此外,从图8中可以看出,辅助支撑件410与内手220相对设置并且可朝向基板10的后边缘移动。
按照本发明的实施方式,辅助支撑件410可以具有与内手220的支撑件221相对的形状。此外,从图9中可以清楚看出,辅助支撑件410可以具有与内手220的支撑件相似的形状。
辅助支撑件410可以分别设置在内手220之间,使得该辅助支撑件410不影响该内内手220的移动。
而且,辅助移动件420安装到臂100上以朝向臂100移动支撑件410以及离开臂100移动支撑件410。在该实施方式中,辅助移动件420具有与移动内内手220的移动件320相似的结构。
按照本发明第二实施方式的基板传输设备103的工作与按照本发明第一实施方式的基板传输设备101的工作相似,除了当辅助支撑件410被辅助移动件420移动时辅助支撑件410支撑基板10后边缘的虚拟部分11外。
因此,在该实施方式中,传输基板10以使得基板10的所有四个边缘都可靠保持。
图10示出了按照本发明第三实施方式的基板传输设备105的透视图。
按照本发明第三实施方式的基板传输设备105包括在传输基板10时冷却基板10的冷却单元。当基板完成诸如固化的包含高温的工序时,基板传输设备105的冷却单元在传输基板的同时冷却基板。因此,由于基板10被冷却,如果基板要经历采用比前一工序所使用的温度低的温度的工序时,可以最小化由于基板所经历的高温度差而产生的变形。
按照本发明的实施方式,手210和220可以包括冷却单元。这样,当将基板置于手210和220上时,基板10被冷却。
冷却单元包括贯穿各手210和220表面的至少一个孔510,以及该孔510中的冷却扇520。当基板10置于手210和220上时,冷却扇520向基板10的下侧吹冷气体。
因此,当将基板10加载到基板传输设备105上冷却扇520工作时,气体被吸入内手220中的孔510中并且被排放到置于基板传输设备105的手上的基板,从而降低了基板10的温度。而且,冷气体可以被排放到第二基板传输设备上的基板。
尽管未示出,如果设计冷却单元以冷却置于安装有冷却单元的手210和220上的基板10,则来自冷却扇520的气体被朝向置于手210和220上的基板10排放,从而冷却基板10。
尽管该实施方式示出了只设置于内手220的冷却单元,但是可以向外手210设置多个冷却单元。
应该注意,按照本发明用于制造液晶显示器件的基板传输设备并不局限于上述实施方式。
例如,尽管未示出,支撑件211和221可以从手210和220上拆除。由于支撑件211和221的开口高度可以根据基板传输设备所传输的基板类型而不同,即,根据具有不同厚度的单个基板或者粘结基板而不同,支撑件211和221可以从手210和220上拆除以适应基板的厚度变化。这样,如果支撑件210和220具有各种宽度,它们可以根据基板传输设备所传输的基板厚度而粘附于手210和220。
而且,可以仅使用按照本发明的基板传输设备的一个内手220。在基板传输设备中使用单个内手220的实施方式中,内手220支撑由基板传输设备所传输的基板中央。
而且,按照本发明的另一实施方式,移动件310和320可以不包括导向体311和321以及致动器312和322。这里,手210和220可以在一端包括齿条而移动件310和320可以包括与该齿条啮合的小齿轮。而且,移动件310和320可以包括旋转小齿轮的电机。或者,移动件310和320可以是线性电机。
如上所述,本发明用于制造液晶显示器件的基板传输设备具有下面优点。
首先,由于本发明的基板传输设备支撑基板的虚拟部分,最小化了对基板上元件的损坏。第二,由于本发明的基板传输设备可靠保持了传输基板的边缘,本发明最小化了在基板传输设备传输基板时该基板偏移的可能性。第三,在基板传输过程中产生的基板偏移的防止不需要使用附加的对准装置对准基板,从而使用本发明减少了与该方法相关的制造时间和成本。
很显然,本领域的熟练技术人员可以在不脱离本发明的精神或者范围内对本发明进行不同的修改和改进。因此,本发明旨在包括所有落入所附权利要求及其等同物范围内的对本发明进行的修改和改进。

Claims (22)

1、一种用于制造液晶显示器件的基板传输设备,包括:
形成所述基板传输设备主体的臂;
第一手,该第一手包括:
与所述臂连接的第一端,其中该第一手可沿第一方向移动;
上表面,其中在该上表面上放置基板;以及
第一支撑件,支撑所述基板的虚拟部分,其中所述虚拟部分为所述基板的边缘;以及
第一移动件,设计用于移动所述第一手。
2、根据权利要求1所述的设备,其特征在于,还包括:
一对外手,位于所述臂的相对最外位置;以及
第二手,其中所述第一手和第二手设置在所述外手之间。
3、根据权利要求2所述的设备,其特征在于,所述一对外手可沿相对方向移动。
4、根据权利要求3所述的设备,其特征在于,所述一对外手上的支撑件包括用于保持所述基板的虚拟区域的狭槽。
5、根据权利要求3所述的设备,其特征在于,所述一对外手上的支撑件包括弯曲部分,该弯曲部分在所述支撑件中形成凹陷空间,其中该凹陷空间支撑所述基板的虚拟部分。
6、根据权利要求5所述的设备,其特征在于,所述支撑件的凹陷空间的宽度从所述支撑件的外部向所述支撑件的内部减少。
7、根据权利要求6所述的设备,其特征在于,所述凹陷空间包括上倾斜表面,其中该上倾斜表面从所述支撑件的前面朝向其后面沿向下方向倾斜,从而减小所述凹陷空间的宽度。
8、根据权利要求2所述的设备,其特征在于,所述第一和第二手可朝向所述臂移动。
9、根据权利要求8所述的设备,其特征在于,所述第一支撑件和第二支撑件分别形成在所述第一手和第二手与连接到所述臂的端部相对的端部处,所述第一支撑件和第二支撑件包括形成凹陷空间的狭槽,其中所述凹陷空间支撑置于其上的所述基板的边缘。
10、根据权利要求8所述的设备,其特征在于,位于所述第一手和第二手处的所述第一支撑件和第二支撑件形成在所述第一手和第二手与固定到所述臂的一侧相对的端部处,所述第一支撑件和第二支撑件包括弯曲部分,该弯曲部分在所述第一支撑件和第二支撑件内形成凹陷空间,其中该凹陷空间支撑所述基板的边缘。
11、根据权利要求10所述的设备,其特征在于,所述第一支撑件和第二支撑件的凹陷空间的宽度从所述第一支撑件和第二支撑件的外部向该第一支撑件和第二支撑件的内部减少。
12、根据权利要求11所述的设备,其特征在于,所述凹陷空间包括上倾斜表面,其中该上倾斜表面从所述第一支撑件和第二支撑件的前面朝向所述第一支撑件和第二支撑件的后面沿向下方向倾斜,从而减小所述凹陷空间的宽度。
13、根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述移动件设计为沿第一方向移动所述第一手。
14、根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述移动件包括:
导向体,其导向所述第一手的移动;以及
致动器,其移动所述第一手。
15、根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述臂进一步包括:
至少一个辅助支撑件,该至少一个辅助支撑件可朝向所述基板的边缘移动,其中该辅助支撑件支撑所述基板的边缘;以及
辅助移动件,移动所述辅助支撑件。
16、根据权利要求1所述的设备,其特征在于,还进一步包括在所述第一手的上表面的部分上的支撑突起,其中所述基板的虚拟部分接触该支撑突起,以使得所述基板的虚拟部分由该支撑突起支撑。
17、根据权利要求1所述的设备,其特征在于,还进一步包括设置在所述第一手处的冷却单元,该冷却单元冷却置于其上表面上的所述基板。
18、根据权利要求17所述的设备,其特征在于,所述冷却单元包括:
所述手表面中的孔;以及
所述孔中的冷却扇,用于朝向置于所述手上表面上的基板吹气体。
19、根据权利要求13所述的设备,其特征在于,所述移动件包括:
导向体,导向所述第一手的移动;以及
致动器,移动所述第一手。
20、根据权利要求1所述的设备,其特征在于,还包括设置在第二基板传输设备的手上的冷却单元,该第二基板传输设备位于所述基板传输设备下方。
21、根据权利要求1所述的设备,其特征在于,还进一步包括:
一对内手;以及
第二手,其中所述一对内手设置在所述第一手和第二手之间,从而使得所述第一手和第二手形成一对外手。
22、根据权利要求20所述的设备,其特征在于,所述冷却单元包括:
所述手表面中的孔;以及
所述孔中的冷却扇,用于朝向置于第二下基板传输设备的手的上表面上的基板吹气体。
CNB200510132705XA 2005-06-20 2005-12-20 用于制造液晶显示器件的基板传输设备 Expired - Fee Related CN100507647C (zh)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102990643A (zh) * 2011-09-08 2013-03-27 株式会社安川电机 机器人手和机器人
CN105398635A (zh) * 2014-08-12 2016-03-16 上银科技股份有限公司 外壳自动定位的方法及其装置
CN106625585A (zh) * 2016-11-29 2017-05-10 武汉华星光电技术有限公司 一种液晶玻璃基板搬运机器人

Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100679269B1 (ko) * 2006-01-04 2007-02-06 삼성전자주식회사 멀티 챔버형 반도체 제조 장치
US8376428B2 (en) 2006-11-15 2013-02-19 Dynamic Micro System Semiconductor Equipment GmbH Integrated gripper for workpiece transfer
TW201008729A (en) * 2008-07-30 2010-03-01 Fabworx Solutions Inc Edge grip end effector
DE102008045257A1 (de) * 2008-09-01 2010-03-04 Rena Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum Handhaben von Substraten
KR200470096Y1 (ko) * 2008-12-09 2013-11-28 주식회사 테스 웨이퍼 블레이드
KR101105416B1 (ko) * 2009-07-23 2012-01-17 주식회사 디엠에스 기판 처리 장치
US8699001B2 (en) * 2009-08-20 2014-04-15 Nikon Corporation Object moving apparatus, object processing apparatus, exposure apparatus, object inspecting apparatus and device manufacturing method
US20110042874A1 (en) * 2009-08-20 2011-02-24 Nikon Corporation Object processing apparatus, exposure apparatus and exposure method, and device manufacturing method
KR102022841B1 (ko) * 2009-08-20 2019-09-19 가부시키가이샤 니콘 물체 처리 장치, 노광 장치와 노광 방법, 및 디바이스 제조 방법
KR101331507B1 (ko) * 2010-08-09 2013-11-20 엘지디스플레이 주식회사 기판 세정/건조 장치와 이를 포함하는 기판 처리 장치, 그의 기판 세정/건조 방법, 및 디스플레이 패널의 제조 방법
US8988655B2 (en) 2010-09-07 2015-03-24 Nikon Corporation Exposure apparatus, movable body apparatus, flat-panel display manufacturing method, and device manufacturing method
US8598538B2 (en) * 2010-09-07 2013-12-03 Nikon Corporation Movable body apparatus, object processing device, exposure apparatus, flat-panel display manufacturing method, and device manufacturing method
JP5582313B2 (ja) * 2011-06-28 2014-09-03 株式会社安川電機 ロボットシステム
US20130097975A1 (en) * 2011-10-24 2013-04-25 Remedi Technology Holdings, Llc Packaging system for pharmaceutical dispenser and associated method
JP5959221B2 (ja) * 2011-11-16 2016-08-02 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット
US8814239B2 (en) * 2012-02-15 2014-08-26 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. Techniques for handling media arrays
TWI538871B (zh) * 2012-03-28 2016-06-21 巴柏斯特麥克斯合資公司 用於轉換機的非間斷齒條裝置
DE102012103533A1 (de) 2012-04-20 2013-10-24 Köra-Packmat Maschinenbau GmbH Vorrichtung zum Fördern eines Substrats und System zum Bedrucken eines Substrats
DE102014113039B4 (de) * 2014-09-10 2018-05-17 Hiwin Technologies Corp. Automatisches Positionierverfahren für Gehäuse und die dazu notwendige Vorrichtung
KR101593054B1 (ko) * 2015-01-12 2016-02-11 주식회사 로보스타 가변 로봇핸드를 구비한 반송 로봇
KR101593055B1 (ko) * 2015-01-15 2016-02-11 주식회사 로보스타 2단 가변 로봇핸드를 구비한 반송 로봇
KR102569618B1 (ko) * 2015-03-30 2023-08-22 가부시키가이샤 니콘 물체 반송 장치, 노광 장치, 플랫 패널 디스플레이의 제조 방법, 디바이스 제조 방법, 물체 반송 방법, 및 노광 방법
TWI725115B (zh) * 2016-01-29 2021-04-21 日商達誼恆股份有限公司 基板移載用機器手
CN108666232B (zh) * 2017-03-28 2021-11-12 雷仲礼 基板处理系统、基板翻转装置和方法
CN206998968U (zh) * 2017-08-02 2018-02-13 京东方科技集团股份有限公司 机器人手臂及搬运机器人
CN107564845B (zh) * 2017-08-24 2019-12-27 京东方科技集团股份有限公司 一种机械手
KR102300359B1 (ko) * 2019-08-07 2021-09-08 세메스 주식회사 기판 처리 장치 및 그 구동 방법

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4410209A (en) * 1982-03-11 1983-10-18 Trapani Silvio P Wafer-handling tool
JPS61244040A (ja) 1985-04-22 1986-10-30 Sony Corp ウエハ移載具
FR2627418B1 (fr) * 1988-02-23 1990-09-14 Videocolor Procede de prehension automatique d'objet permettant de conserver au moins un element de reference geometrique qui lui est lie, et pince de prehension pour sa mise en oeuvre
JP2668002B2 (ja) * 1988-03-11 1997-10-27 東京エレクトロン株式会社 ウエハ移送装置
US5022695A (en) * 1989-01-30 1991-06-11 Texas Instruments Incorporated Semiconductor slice holder
US5700046A (en) * 1995-09-13 1997-12-23 Silicon Valley Group, Inc. Wafer gripper
CH697146A5 (de) * 1996-10-09 2008-05-15 Tec Sem Ag Greifvorrichtung zur Handhabung von Wafern.
US6109677A (en) * 1998-05-28 2000-08-29 Sez North America, Inc. Apparatus for handling and transporting plate like substrates
WO2000014772A1 (de) * 1998-09-02 2000-03-16 Tec-Sem Ag Vorrichtung und verfahren zum handhaben von einzelnen wafern
US6499777B1 (en) * 1999-05-11 2002-12-31 Matrix Integrated Systems, Inc. End-effector with integrated cooling mechanism
KR20020066794A (ko) * 2001-02-13 2002-08-21 디엔씨엔지니어링 주식회사 이중 버퍼영역을 갖는 웨이퍼링 핸들러
US6592324B2 (en) * 2001-02-26 2003-07-15 Irm, Llc Gripper mechanism
KR20020076819A (ko) * 2001-03-30 2002-10-11 (주)케이.씨.텍 기판을 파지하는 장치 및 이를 갖는 핸들링 장치
JP2004535681A (ja) * 2001-07-14 2004-11-25 ブルックス オートメーション インコーポレイテッド 統合マッピングセンサを備えた中心位置決め用両側エッジグリップ・エンドエフェクタ
JP4319504B2 (ja) 2003-10-06 2009-08-26 東京エレクトロン株式会社 基板搬送装置および基板処理システム

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102990643A (zh) * 2011-09-08 2013-03-27 株式会社安川电机 机器人手和机器人
CN105398635A (zh) * 2014-08-12 2016-03-16 上银科技股份有限公司 外壳自动定位的方法及其装置
CN105398635B (zh) * 2014-08-12 2017-10-24 上银科技股份有限公司 外壳自动定位的方法
CN106625585A (zh) * 2016-11-29 2017-05-10 武汉华星光电技术有限公司 一种液晶玻璃基板搬运机器人

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Publication number Publication date
US7401828B2 (en) 2008-07-22
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KR100949502B1 (ko) 2010-03-24

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