CN1868839A - 基板输送装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种输送装置，能够利用端部支承辊和上置辊以相同的力对基板宽度方向上的两端部的上下面进行保持并输送该基板。该输送装置包括：轴线与输送方向相交且以规定间隔设置的多个输送轴(3)；设置在输送轴上支承除了基板宽度方向上的两端部以外的部分的下面的多个输送辊(21)和支承基板宽度方向上的两端部的下面的端部支承辊(22)；轴线平行地分别配置在输送轴的一端部和另一端部的上方且与输送轴两端部对应的一端被可旋转地支承的一对上置辊轴(25)；设置在上置辊轴的另一端部且按压基板宽度方向端部的上面的一对上置辊(27)；设置在上置辊轴上且对上述上置辊按压上述基板上表面的按压力进行调整的配重(29)。

Description

基板输送装置

技术领域

本发明涉及一种例如用于输送用在液晶显示装置等中的玻璃制基板输送装置。

背景技术

在液晶显示装置的制造工序中，存在：对玻璃制基板进行蚀刻处理的工序、在蚀刻工序后对作为掩模使用的保护层进行剥离处理的工序、进而在蚀刻工序和剥离工序等之后利用清洁液对污秽的基板进行清洗的工序。在这种基板处理工序中，大多数是采用一边一个一个地输送基板一边进行处理的单片方式。

公知有如下处理装置：利用单片方式处理基板时，输送基板的同时从喷头对基板的上下面或上面喷射处理液，或者和清洗刷相接触进行处理。这种处理装置具有腔室，在该腔室内设置有用于将上述基板沿规定方向输送的输送装置。此外，在利用多个处理装置对基板进行依次输送处理时，在相邻的处理装置之间，还使用了用于将基板从上游侧处理装置输送到下游侧处理装置的输送装置。

上述输送装置沿着基板的输送方向以规定的间隔设置有多个可旋转的输送轴。在该输送轴上，在轴向上以规定的间隔设置多个输送辊。并且，通过旋转驱动上述输送轴，利用输送辊输送上述基板。

用于处理装置的输送装置如果仅通过多个输送辊支承基板的下面，则存在下述问题，即：在将处理液喷射在该基板上或者接触清洗刷而使基板承受来自处理液或清洗刷的阻力时，因这种阻力而不能以一定的速度平滑地输送基板，或者基板的两端部产生所谓的吧哒声而受到损伤。

因而在输送基板时，不仅由设置在输送轴上的输送辊来支承该基板的下面，而且由端部支承辊支承基板的端部下面，借助于该端部支承辊支承的基板的端部上面由上置辊按压。

由此，即使基板承受来自处理液和清洗刷的阻力，也能够以一定的速度可靠地输送该基板，或者在基板的两端部不产生吧哒声而受到损伤。

以往，上述上置辊设置在上置辊轴的两端部。该上置辊轴设置在位于上述喷头和清洗刷的上游侧的输送轴的上方，轴线与该输送轴平行，且两端部被可旋转地支承。

在上述上置辊的一端部上设置着齿轮，该齿轮和设置在上述输送轴一端部上的齿轮相啮合。由此，如果旋转驱动输送轴，则上置辊与该输送轴同步旋转驱动，所以借助于端部支承辊和上置辊夹持着宽度方向上的两端部的上下面，从而可靠地输送基板。

上述上置辊轴被设定得和上述输送轴长度相同。但是，由于近来基板趋于大型化，所以输送轴向大尺寸化发展，与此相对应，上置辊轴也向着大尺寸化和高重量化发展。

如果上置辊轴大尺寸化和高重量化，则难以避免在两端部被可旋转地支承的上置辊轴上产生挠曲。而上置辊轴上产生的挠曲在设置着一对上置辊的两端部分上有时并不相同。此时，一对上置辊对基板宽度方向上的两端部的按压力产生变化。如果在宽度方向上的两端部的按压力产生变化，则基板就不会被直线输送，因而产生所谓的蛇行的问题，其结果是会对基板产生损伤。

发明内容

本发明提供一种基板输送装置，通过将设置有上置辊的上置辊轴分为左右两个来缩短尺寸，而且可以调整在各个上置辊轴上设置的上置辊按压在基板宽度方向的端部上的按压力，由此可以大致均等地按压基板宽度方向上的两端部。

本发明是一种基板输送装置，在规定的方向上输送基板，其特征在于，包括：

多个输送轴，轴向的两端部可旋转地被支承，轴线与上述基板输送方向相交，以规定间隔设置；

多个输送辊，设置在该输送轴上，支承上述基板的除了宽度方向上的两端部以外的部分的下面；

端部支承辊，设置在上述输送轴上，支承上述基板的宽度方向上的两端部的下面；

一对上置辊轴，轴线与上述输送轴平行地分别配置在上述输送轴的一端部和另一端部的上方，与上述输送轴的两端部相对应的一端部可旋转地被支承；

一对上置辊，设置在各个上置辊轴的另一端部上，分别按压上述基板的宽度方向的端部的上面，该基板在宽度方向上的端部的下面由上述端部支承辊支承；

配重(ウエイト)，设置在上述上置辊轴上，对上述上置辊按压上述基板的上面的按压力进行调整。

根据本发明，将上置辊轴分成左右两个，缩小了尺寸，不会因重量而产生挠曲，并且在各个上置辊轴上设置了配重，利用该配重可以施加对基板的按压力，所以能够通过左右一对上置辊均等地按压基板宽度方向上的两端部的上面。

附图说明

图1是本发明一个实施例的处理装置的纵向剖视图。

图2是图1所示处理装置的横向剖视图。

图3是输送轴和上置辊轴的端部的放大视图。

图4是端部支承辊和上置辊的放大视图。

具体实施方式

下面，参考附图来说明本发明的一个实施例。

图1是利用处理液对基板进行处理的处理装置的纵向剖视图。图2是该处理装置的侧剖视图。处理装置具有腔室1。在该腔室1内设置有用于在规定方向上输送图1中用点划线所示的基板W的输送装置2。该输送装置2沿着基板W的输送方向以规定间隔设置有轴线相对于上述输送方向(图2中箭头X所示的方向)大致位于直角方向的多个输送轴，在该实施例中，如图2所示，为8个输送轴3。

而且如图2所示，在腔室1内，在基板W的输送方向的一端上形成有输入口1a，另一端上形成有输出口1b。输入口1a和输出口1b通过挡板(未示出)进行开闭。

如图1所示，在上述腔室1内的宽度方向的两端部上，沿与宽度方向相交叉的基板W的输送方向设置有带板状的安装部件4。在安装部件4上设置着轴承5，在腔室1内的宽度方向上，各个输送轴3的两端部分别可旋转地支承在相应的一对轴承5上。

各个输送轴3的两端部从轴承5突出，在一端部的突出端下侧设置着可被未示出的轴承自由旋转地支承的动力传递轴6，该动力传动轴6的轴线沿着基板W的输送方向。在各个输送轴3的从轴承5突出的一端上设置着第一锥齿轮7。在上述动力传动轴6上设置着分别和第一锥齿轮7啮合的第二锥齿轮8。

在上述动力传递轴6的中间部，设置着从动链轮11。在与设置有该从动链轮11的位置相对应的腔室1外部上，设置着将电机和减速器一体化后的输送用驱动源12。该输送用驱动源12的输出轴13上设置着驱动链轮14。该驱动链轮14和上述从动链轮11之间张紧设置着链条15。因此，如果上述输送用驱动源12动作，则各个输送轴3经由链条15、第一、第二锥齿轮7、8在规定的方向上旋转驱动。

在上述腔室1的宽度两侧的外面上，分别形成有机械室18。而且，在腔室1内形成输送基板W的输送室19。上述输送轴3的两端部位于机械室18内。由此，即使与支承输送轴3的轴承5相啮合的锥齿轮7、8产生尘埃，也能够防止这些尘埃扩散到输送基板W的输送室19内。

而且，上述输送轴3的两端部从输送室19穿过机械室18的部分被叉状的隔板20所遮挡。隔板20可阻止机械室18内产生的尘埃进入到输送室19内。

在该实施方式中，在上述输送轴3的轴向中间部上，以规定间隔设置着3个输送辊21。在上述输送室19的宽度方向上的两端部的对应部分上，分别设置着端部支承辊22。如图3、图4中放大所示，在端部支承辊22的外周面上形成着台阶部23，该台阶部23支持着基板W的宽度方向上的两端部的下面。由此，利用上述台阶部23，沿规定方向非蛇行地输送基板W。

如图2、图3所示，在多个输送轴3中的位于腔室1的基板W的输送方向中间部上的两个输送轴3的轴向两端部的上方，分别与输送轴3轴线平行地设置着一对上置辊轴25。

该对上置辊轴25的一端部被设置在上述安装部件4上的轴承26自由旋转地支撑。在该上置辊轴25的另一端，在与上述端部支承辊22相对的位置上设置有上置辊27。

在上述上置辊27上，在与上述端部支承辊22的台阶部23相对的位置上可拆卸地安装有作为弹性按压部件的O形环28。在该O形环28和上述台阶部23之间形成有间隙G，所输送的基板W的宽度方向上的端部进入该间隙G。

在上述上置辊轴25上，设置着在轴向可滑动且可利用螺钉30固定在规定滑动位置上的配重29。上述上置辊轴25为可由轴承26单侧支撑的结构。

因此，如果放松螺钉30使上述配重29滑动从而对其固定位置进行调节的话，则上述端部支承辊22的台阶部23和上述上置辊25上设置的O形环28之间的间隔G就能够设定在规定的大小。也就是，O形环28可以设定按压在基板W的宽度方向的端部上面上的按压力。

而且，在腔室1内，在设有上述上置辊轴25的基板W的输送方向的跟前一侧，设置着处理基板的刷式清洁装置(未示出)等处理装置。由此如后所述，基板W在宽度方向上的两端部的上下面由端部支承辊22和上置辊27保持的状态下，由上述处理装置进行处理。

在上述输送轴3的从上述轴承5突出的两端部上分别嵌入着第一正齿轮31。在上述上置辊轴25的从上述轴承26突出的端部上嵌入着和上述第一正齿轮31相啮合的第二正齿轮32。因此，如果输送轴3被输送用驱动源12旋转驱动的话，则该旋转经由第一、第二正齿轮31、32使上述一对上置辊轴25沿反方向旋转。

根据这种结构的输送装置2，从输入口1a供给腔室1内的基板W由旋转驱动的输送轴3上设置的输送辊21和端部支承辊22对下表面进行支承从而被输送。

向腔室1内输送的基板W在被送入对腔室1内的中间部上设置的基板W进行处理的刷式清洁装置(未示出)等处理装置之前，由上述端部支承辊22支承下面的宽度方向上的两端部的上面由上置辊27保持。

由此，基板W的宽度方向上的两端部由端部支承辊22和上置辊27所夹持着通过处理装置，所以即使受到由上述处理装置在处理时产生的阻力，也可以防止宽度方向上的两端部产生吧哒声而受到损坏，而且还不会因承受来自处理装置的阻力而使输送速度产生断断续续的情况。

一对上置辊27分别设置在被分开的一对上置辊轴25的另一端部上。各个上置辊轴25上可沿轴向进行定位调整地设置着配重29。

由此，如果沿图3中箭头所示的方向移动上述配重29从而对其安装位置进行调整的话，则各个上置辊轴25能够对按压在基板W的宽度方向上的两端部上面上的按压力进行调整。

即，通过上将置辊轴25分成左右一对，一端部处于由轴承26支承的悬臂状态。因此，如果调整配重29的位置，就可以改变设置着上置辊27的另一端的挠曲量。由此，就可以改变O形环28和端部支承辊22的台阶部23之间的间隔G。

因此，如果对一对上置辊轴25上设置的配重29沿着轴向调整位置的话，则可以将左右一对上置辊27按压在基板W的宽度方向上的两端部上面上的按压力设定为大致相同。

如果利用一对上置辊27对基板W的宽度方向上的两端部以大致相同的按压力按压的话，则能够使基板W进行直线地输送而不会在宽度方向上蛇行。但是，即使在端部支承辊22的外周面上形成台阶部23，也可以抑制基板W在宽度方向上蛇行。

基板W的宽度方向上的两端部的上面受被设置在上置辊27上的O形环28弹性按压。因此，可以在不损坏基板W在宽度方向的端部的情况下可靠地保持按压。

由于不能避免上述O形环28随着使用而恶化，那种情况下必须将上述O形环28进行更换。

设置着上置辊27的上置辊轴25被分成左右一对，在其端部上设置着上述上置辊27。因此，可以相对上述上置辊27，简单且容易拆装上述O形环28。也就是可以快速地进行O形环28的更换操作。

如果旋转驱动输送轴3，则经由第一、第二正齿轮31、32分别强制地旋转驱动左右一对上置辊轴25。也就是，强制地旋转驱动各个上置辊轴25和上置辊27。

因此，左右一对上置辊27不仅仅保持着基板W的宽度方向上的两端部的上面，而且还对其施加输送力。所以即使将上置辊轴25分成2个，在各个上置辊轴25上设置上置辊27，也能够在稳定的状态可靠地输送基板W。

本发明并不限定于上述实施方式，例如尽管上置辊轴25的一端部由一个轴承26支承，但是也可以根据上置辊轴25的长度而由相距规定间隔的一对轴承来支承。如果由一对轴承支承，即使上置辊轴25处于悬臂状态，也可以在较稳定的状态下、即在振动少的状态下支承上置辊轴25。

Claims (5)

1、一种基板输送装置，在规定的方向上输送基板，其特征在于，包括：

多个输送轴，轴向的两端部可旋转地被支承，轴线与上述基板输送方向相交，以规定间隔设置；

多个输送辊，设置在该输送轴上，支承上述基板的除了宽度方向上的两端部以外的部分的下面；

端部支承辊，设置在上述输送轴上，支承上述基板的宽度方向上的两端部的下面；

一对上置辊轴，轴线与上述输送轴平行地分别配置在上述输送轴的一端部和另一端部的上方，与上述输送轴的两端部相对应的一端部可旋转地被支承；

一对上置辊，设置在各个上置辊轴的另一端部上，分别按压上述基板的宽度方向的端部的上面，该基板在宽度方向上的端部的下面由上述端部支承辊支承；

配重，设置在上述上置辊轴上，对上述上置辊按压上述基板的上面的按压力进行调整。

2、如权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于，可沿上述上置辊轴的轴向进行定位调整地设置上述配重。

3、如权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于，上述输送轴由驱动机构旋转驱动，并且上述输送轴的旋转通过动力传递机构传递到上述一对上置辊轴。

4、如权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于，在上述上置辊的外周面上，可拆卸地安装有对上述基板宽度方向的端部上面进行按压的弹性按压部件。

5、如权利要求4所述的基板输送装置，其特征在于，在上述端部支承辊的外周面上，在与上述弹性按压部件相对的位置上形成有台阶部，在该台阶部和上述弹性按压部件之间形成有由上述基板宽度方向上的端部进入的间隙。

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