CN1684561A - 有机电致发光装置及其制造方法以及电子仪器 - Google Patents

Abstract

提供一种能够实现高效率和长寿命的发光特性，能够抑制缺陷发生的有机电致发光装置的制造方法、有机电致发光装置以及电子仪器。本发明的有机电致发光装置的制造方法，是具有第一电极、第二电极、及被所述第一电极和所述第二电极夹持至少含有发光层的功能层的有机电致发光装置的制造方法，其特征在于，其中包括：将溶剂和功能材料混合而制备功能性液体的工序，和利用湿式成膜法涂布所述功能性液体形成所述功能层的工序，在制备所述功能性液体之前，实施除去所述溶剂中所含水分和氧的脱水处理和脱氧处理。

Description

有机电致发光装置及其制造方法以及电子仪器

技术领域

本发明涉及有机电致发光装置的制造方法、有机电致发光装置及电子仪器。

背景技术

近年来随着信息仪器的多样化，对于比过去一般使用的CRT消耗的电力少而且比LCD容积小的电光学装置的需求日益提高。作为这种电光学装置之一，有机电致发光装置(以下称为有机EL)受到人们的重视。该有机EL由在相对电极之间具备空穴注入层和发光层等功能层而构成。作为形成这种功能层的方法，已知有使高分子功能材料成膜的湿式成膜法。湿式成膜法与气相成膜法相比，具有能以廉价制造有机EL的优点。

对于利用这种湿式成膜法形成功能层而言，需要在除去氧或水分的气氛中进行。这需要使构成功能层的高分子功能材料，在排除具有容易因氧或水分而产生的叫作黑点的缺陷，使发光特性和发光寿命降低的特性，需要排除了这种氧或水分的气氛中形成功能层。

于是最近有人提出在氮气气氛下或者惰性气体气氛下(水分浓度处于1000ppm以下)进行湿式成膜的技术(例如参见专利文献1)。

专利文献1：特开2002-352954号公报

据说，根据上述专利文献记载的技术，排除引起元件劣化的氧或水分的情况下，能够抑制发光特性的降低。然而，本发明人认为该技术不能获得充分的发光特性和发光寿命。

发明内容

本发明要解决已有技术中所涉及的问题，目的在于提供一种能够实现高效率和长寿命的发光特性，能够抑制缺陷的产生的有机电致发光装置的制造方法、有机电致发光装置及电子仪器。

本发明人等确认，上述专利文献中记载的技术，不能获得充分的发光特性和发光寿命。例如，当像液滴喷出法那样对液体施加所定的力使液滴从喷嘴喷出的情况下，在喷嘴内的液体一旦含有气体，就不能对液体施加充分的力，产生喷出不良。而且当所述溶剂是芳香族之类非极性溶剂的情况下，一旦液体中存在水分，就会在喷出前的喷嘴中产生相分离，或者引起液体对喷嘴面湿润性的变化，所以会产生喷出不良。此外特别是当采用比水分沸点高的溶剂的情况下，在溶剂所限定的所定条件下使液滴中的溶剂干燥/蒸发形成功能层之际，因水分急剧蒸发会使功能层产生缺陷。

这样，本发明人确认，即使采用上述专利文献记载的技术也不能获得充分的发光特性或发光寿命，同时也不能抑制因上述喷出不良或水分的急剧蒸发而产生多数缺陷的问题。

于是本发明人基于上述情况而想到了具有以下措施的本发明。

也就是说，本发明涉及一种有机电致发光装置的制造方法，是具有第一电极、第二电极、以及被所述第一电极和所述第二电极夹持至少含有发光层的功能层的有机电致发光装置的制造方法，其特征在于，其中包括将溶剂和功能材料混合制备功能性液体的工序，和利用湿式成膜法涂布所述功能性液体来形成所述功能层的工序，在制备所述功能性液体之前，实施除去所述溶剂中所含的水分和氧的脱水处理和脱氧处理。

这样一来，由于将除去水分或氧的溶剂与功能材料混合，所以能够制作除去了水分或氧的功能性液体。此外由于涂布该功能性液体形成功能层，所以能够形成除去了水分或氧的功能层。因而在功能层中，能够抑制起因于氧或水分的元件劣化和缺陷的产生。因而能够制造实现高效率和长寿命的特性的有机EL装置。例如像液滴喷出法那样对于液体施加所定的力，使液滴从喷嘴中喷出的情况下，由于除去了喷嘴内的液体中的氧或水分，所以能够对液体施加充分的力，进行稳定喷出。而且当所述溶剂是芳香族溶剂之类非极性溶剂的情况下，由于除去了液体中的水分而能减少喷出不良。此外，采用比水分沸点高的溶剂的情况下，能够抑制在将液滴中的溶剂干燥/蒸发形成功能层之际水分的急剧蒸发。这样能够抑制有机EL装置的缺陷产生。而且在本发明中，将发光层、电荷输送层、电荷阻挡层或者处于两层之间的溶解防止层之类在有机EL装置中采用的各层叫作“功能层”。

而且在所述有机电致发光装置的制造方法中，其特征在于，形成所述功能层的工序是在惰性气体气氛中进行。

若是这样，能够在氧或水分被除去的状态下形成功能层。

因此在功能层中，能够抑制起因于氧或水分的元件劣化和缺陷的产生。

而且在所述有机电致发光装置的制造方法中，其特征在于，所述溶剂中，经过实施所述脱水处理和所述脱氧处理之后的水分和氧含量，分别处于20ppm以下。

这样当实施了脱水处理和脱氧处理后的水分和氧的含量处于20ppm以下的情况下，能够制造出与现有文献中记载的技术相比，实现高效率和长寿命的发光特性、缺陷产生得到抑制的有机EL装置。

而且在所述有机电致发光装置的制造方法中，其特征在于，所述溶剂是将多种溶剂混合的混合溶剂，制备该混合溶剂的工序，分别针对构成该混合溶剂的各种溶剂实施所述脱水处理和所述脱氧处理之后，将所述各种溶剂混合。

这样能够除去多种溶剂中每种溶剂中的氧或水分。进而通过将各溶剂混合，能够制备除去了氧或水分的混合溶剂。用这种混合溶剂制备功能性液体并形成功能层的情况下，能够形成除去了氧或水分的功能层。因此，能够抑制功能层中起因于氧或水分的元件劣化和缺陷的产生。因而能够制造出实现高效率和长寿命的发光特性、缺陷产生得到抑制的有机EL装置。

而且当制备了混合溶剂后实施脱水处理和脱氧处理的情况下，有因脱水处理和脱氧处理引起的混合溶剂的混合比及组成变化之虞，但是本发明中是对多种溶剂分别实施了脱水处理和脱氧处理之后，才将该多种溶剂混合的，所以能够抑制混合溶剂中混合比和组成的变化。

此外，所述有机电致发光装置的制造方法，其特征在于，所述湿式成膜法是液滴喷出法。

其中采用液滴喷出法涂布功能性液体的情况下，功能性液体一旦含有水，就有损害成膜性的这一缺点。

本发明中由于通过脱水处理除去溶剂中的水分，所以采用液滴喷出法涂布含有该溶剂的功能性液体，能够在提高成膜性的情况下涂布功能性液体。

本发明的有机电致发光装置，其特征在于，其中具备利用前面记载的制造方法形成的功能层。

其中功能层是采用湿式成膜法，涂布将除去了氧或水分的溶剂与功能材料混合制备的功能性液体而形成的。

因此，能形成一种功能层的元件劣化和缺陷的产生受到抑制、具有高效率和长寿命发光特性的有机EL装置。

而且本发明的一种电子仪器，其特征在于，其中具备前面记载的有机电致发光装置。

作为这种电子仪器，例如可以举出移动电话机、移动信息终端、钟表、文字处理装置、个人电脑等信息处理装置。而且还可以举出具有大型显示画面的电视机、大型监视器等。

这样能够实现具有高效率和长寿命的发光特性，同时具备抑制了缺陷产生的显示部的电气仪器。

附图说明

图1是表示本发明实施方式的有机EL装置的俯图。

图2是表示本发明实施方式的有机EL装置的放大断面图。

图3是用来说明本发明实施方式的有机EL装置制造方法用的工序图。

图4是用来说明脱水处理和脱氧处理的图。

图5是用来说明本发明实施方式的有机EL装置中实施例的图。

图6是用来说明本发明实施方式的有机EL装置中实施例的图。

图7是用来说明本发明实施方式的有机EL装置中实施例的图。

图8是表示具备本发明的有机EL装置的电子仪器的图。

图中：

1-有机EL装置(有机电致发光装置)，12-阴极(第二电极)，

20-溶剂，110-功能层，110b-有机EL层(发光层)，111-像素电极(第一电极)

具体实施方式

以下参照附图说明本发明的实施方式。其中在以下各图中，为了将各层和各种部件绘成图中能够识别的尺寸，使各层和各部件的比例有所不同。

(有机EL装置)

以下所示本实施方式的有机EL装置1，是采用薄膜晶体管(Thin FilmTrasistor，以下简记为TFT)作为开关元件的有源矩阵型有机EL显示装置，特别是具备R(红)、G(绿)、B(蓝)三种高分子有机发光层的彩色有机EL显示装置。

图1是表示本实施方式涉及的有机EL装置平面结构的图。

如图1所示，本实施方式的有机EL显示装置1，由具备电绝缘性的基板10、与开关用TFT(后述)连接的像素电极在基板10上以矩阵状配置的像素电极区域、至少位于像素电极区域上的俯视大体呈矩形的像素部3(图中点划线方框内)构成。而且像素部3被区分为中央部分的实际显示区域4(图中两点划线方框内)，和被配置在实际显示区域4周围的虚设区域5(点划线和两点划线之间的区域)。

在实际显示区域4内，分别有像素电极的显示区域R、G、B，沿着A-B方向和C-D方向相离开而配置的。而且在实际显示区域4的图中两侧，配置有扫描驱动电路80。该扫描驱动电路80被设置在位于虚设区域5的下侧。此外，在实际显示区域4的图中上侧，配置有检查电路90。该检查电路90被设置在位于虚设区域5的下侧。检查电路90是用来检查有机EL显示装置1的动作状态的电路，例如具备将检查结果向外部输出的图中未示出的检查信息输出机构，其构成为能够对制造过程中或出厂时显示装置的品质、缺陷进行检查。

扫描驱动电路80和检查电路90的驱动电压，借助于驱动电压导通部由电源施加的。而且向这些扫描驱动电路80和检查电路90供给的驱动控制信号和驱动电压，借助于驱动控制信号导通部等，以从担任这种有机EL显示装置1的动作控制的所定主驱动器等输送和施加信号。而且，这种情况下的驱动控制信号，是指对扫描驱动电路80和检查电路90输出信号时的控制有关的主驱动器等的指令信号。

进而用图2说明有机EL显示装置1的像素结构。

图2是上述有机EL显示装置1中显示区域断面结构的放大图。

此图2表示与红色(R)、绿色(G)和蓝色(B)各色对应的三个像素区域的断面结构。有机EL显示装置1，由在基板10上依次层叠形成了TFT等电路等的电路元件部14、像素电极(第一电极)111、形成了功能层110的发光元件部110、及阴极(第二电极)12构成。

这种有机EL显示装置1中，从功能层110向基板10侧发出的光线，透过元件电路部分14和基板10向基板10的下侧出射(观察者侧)的同时，从功能层110向基板10的反射侧发出的光线被阴极12反射，透过电路元件部14和基板10后向基板的下侧(观察者侧)出射。

在电路元件部14上，形成有在基板10上由硅氧化物组成的基底保护膜110、与各像素电极111连接的驱动用TFT123、和层间绝缘膜144a、144b。

发光元件部11，主要由在多数像素电极111…上的每一个上层叠的功能层110，和将配置在功能层110彼此之间的各功能层110区分的贮存格部112构成。将阴极12配置在功能层110上。

在发光元件部11中，贮存格部112由位于基板10侧的无机物贮存格层112a，和位置与基板10分离的有机物贮存格层112b构成。

而且功能层110由在像素电极111上层叠的空穴注入/输送层110a，和在空穴注入/输送层110a上相邻形成的有机EL层(发光层)110b构成。

空穴注入/输送层110a具有向有机EL层110b注入空穴的功能，同时具有在空穴注入/输送层110a内部输送空穴的功能。通过在像素电极111与有机EL层110b之间设置这种空穴注入/输送层110a，能提高有机EL层110b的发光效率、寿命等元件特性。而且在有机EL层110b中，因从空穴注入/输送层110a注入的空穴，与从阴极12注入的电子能够在有机EL层中再结合而发光。

有机EL层110b，由红色(R)发光的红色有机EL层110b1、绿色(G)发光的绿色有机EL层110b2和蓝色(B)发光的蓝色有机EL层110b3的发光波长区域互相不同的三种组成，各有机EL层110b1～110b3以所定排列(例如条状)配置的。

而且有机EL层110b，如后述那样，是通过用喷墨法(液滴喷出法、湿式成膜法)将有机EL用高分子材料(功能材料)在除去了氧或水分的溶剂中混合制成的组合物油墨(功能性液体)涂布形成的。

阴极12在发光元件部11的全面上形成，与像素电极成对起着使电流在功能层110中流过的作用。这种阴极12，本例中由依次层叠氟化锂层12a、钙层12b和铝层12c构成。

(有机EL装置的制造方法)

以下参照图3和图4说明有机EL装置的制造方法。

图3是表示依次在像素电极111上层叠空穴注入/输送层110a、有机EL层110b和阴极12工序的图。图4是表示对有机EL层110b的组合物油墨中所含溶剂进行脱水处理和脱氧处理的图。

(溶剂的脱水处理和脱氧处理)

首先参照图4说明形成有机EL层110b时用的功能性液体中所含溶剂的脱水处理和脱氧处理。

如图4(a)所示，准备溶剂20。

其中处理前的溶剂20所含的水分量和氧量应当分别为100ppm和50ppm左右。

然后如图4(b)所示，进行除去溶剂20中所含水分的脱水处理。

该脱水处理采用混入作为溶剂20中水分吸附剂的分子筛21的方式进行。这样通过使分子筛21与溶剂20接触将溶剂20中的水分吸附。

进而如图4(c)所示，除去分子筛21。这样将溶剂20中的水分除去之后，该水分含量为15ppm以下。

接着如图4(d)所示，进行除去溶剂20中氧的脱氧处理。

该脱氧处理采用使氮气(惰性气体)在溶剂20中鼓泡的方式进行。也就是说，向溶剂20中插入气体导入管22，利用该气体导入管22向溶剂20中供给氮气。经过这样鼓泡，溶剂20中的氧与氮气接触，使氧从溶剂20中除去。

以后如图4(e)所示，一旦终止氮气鼓泡，溶剂20中的氧量将达到10ppm以下。

其中图4(a)～(e)所示的脱水处理和脱氧处理，可以在充满氮气的球形瓶内进行。因此该脱水处理和脱氧处理可以在惰性气体气氛中进行。而且为了进一步除去溶剂20中的水分，还可以对该溶剂20进行热处理。

然后将经过上述脱水脱氧处理的溶剂20与有机EL用高分子材料(功能材料)溶解。其中优选在惰性气体气氛中进行到将水分和氧控制在100ppm以下。而且由于有机EL用高分子材料中也含有氧或水分，所以优选对该有机EL用高分子材料实施真空干燥和热干燥之后再将其溶解。

接着参照图3说明有机EL装置的制造方法。

而且在图3中，是表示在基板10上已经形成有包含图2所示的驱动用TFT123的电路元件部14、贮存格部112(有机物贮存格层112a、无机物贮存格层112b)及像素电极111的。

该有机EL装置的制造方法中，主要采用喷墨法(液滴喷出法、湿式成膜法)。

这里作为液体喷出法，可以举出带电控制式、加压振动式、机电转换式、电热转换式、静电吸引式等。带电控制式是指利用带电电极使材料带电，利用偏转电极控制材料的飞翔方向后从喷嘴喷出的方式。而加压振动式是指这样一种方式，其中对材料施加超高压，使材料从喷嘴端部侧喷出，当不加控制电压的场合下，材料以直线行进并从喷嘴喷出，一旦施加控制电压就会在材料之间产生静电斥力，使材料飞散而不能从喷嘴喷出。而且机电转换式(压电式)，是利用压电元件接受脉冲电信号后变形的性质，压电元件的变形通过柔性物质向贮留材料的空间施加压力，将材料从此空间中挤出而喷出的一种方式。而电热转换式是利用设置在贮留材料空间内的加热器使材料急剧气化而产生气泡，借助于气泡的压力将空间内的材料喷出的方式。静电吸引方式是对贮留材料的空间内施加微小压力，在喷嘴中形成材料的弯月面，在这种状态下施加静电引力后将材料吸引出来的方式。此外还可以采用其他各种方式，例如利用电场使流体粘度发生变化的方式，以及利用放电火花飞出的方式等。在上述液体喷出技术中，压电方式由于不对材料加热而不会使溶剂蒸发，所以优点是对材料的组成不产生影响。

而且本实施方式的喷墨法，可以在水分、氧浓度处于100ppm以下的惰性气体气氛中进行。这样能够控制控制水分或氧混入除去了水分或氧的组合物中。

首先如图3(a)所示，在贮存格部112的开口部形成空穴注入/输送层110a。

作为该空穴注入/输送层110a的形成方法，可以采用上述的喷墨法。在该喷墨法进行之前，将含有空穴注入/输送层110a材料的组合物油墨充填在喷头中，使喷头的喷嘴对着位置处于贮存格112开口部内的像素电极111。而且一边使喷头与基板10作相对移动，一边从喷嘴中喷出每滴液量受到控制的油墨液滴。然后，对喷出后的油墨液滴进行干燥处理，使组合物油墨中所含的极性溶剂蒸发，形成空穴注入/输送层110a。

作为这里使用的组合物，可以举出例如聚乙烯二氧代噻吩(PEDOT)与聚苯乙烯磺酸(PSS)的混合物、聚噻吩衍生物、聚苯胺、聚苯胺衍生物、三苯胺衍生物等。而且作为极性溶剂，可以举出例如异丙醇(IPA)、正丁醇、γ-丁内酯、N-甲基吡咯烷酮(NMP)、1，3-二甲基-2-咪唑烷二酮(DMI)及其衍生物、卡必醇乙酸酯、丁基卡必醇乙酸酯等乙二醇醚类等。

接着如图3(b)所示，在空穴注入/输送层110a上形成有机EL层110b(110b1、110b2、110b3)。

作为该有机EL层110b的形成方法，与空穴注入/输送层110a的形成方法相同，采用喷墨法。在该喷墨法形成之前，将有机EL层110b的组合物油墨充填在喷头(图示略)中。其中组合物油墨是有机EL用高分子材料与溶剂的混合物，该溶剂是实施了图4所示的脱水处理和脱氧处理的溶剂。

然后使喷头的喷嘴对向贮存格112开口部内的空穴注入/输送层110a。一边使喷头与基板10作相对移动，一边从喷嘴中喷出每滴液量受到控制的油墨液滴。然后，对喷出后的油墨液滴进行干燥处理，使组合物油墨中所含的极性溶剂蒸发，形成有机EL层110b。而且分别在贮存格部112的开口部内形成有机EL层110b1、110b2、110b3。

其中作为使用的组合物，可以使用能够发出荧光或磷光的公知的发光材料。特别是在本实施方式中，可以使用应当进行全色显示，如上述那样其发光波长区域分别与三原色对应的材料。也就是说，由使发光波长区域与红色对应的有机EL层、与绿色对应的有机EL层和与蓝色对应的有机EL层这三种有机EL层(点)构成一个像素，通过使其调至发光，作为有机EL装置1全体能够进行全色显示。

作为这种有机EL用高分子材料，可以具体使用(聚)荧烷衍生物(PF)、(聚)对苯撑乙烯撑(PPV)、聚对苯撑衍生物(PPP)、聚乙烯基咔唑(PVK)、聚噻吩衍生物、聚甲基苯基甲硅烷(PMPS)等聚甲硅烷系等系统的高分子材料。

而且也可以在这些高分子材料中将苝系色素、香豆素系色素、罗丹明系色素、红荧烯、苝、9，10-二苯基蒽、四苯基丁二烯、尼罗红、香豆素6、喹吖酮等低分子材料掺杂后使用。

而且作为红色和绿色有机EL用高分子材料的溶剂，优选采用1，2，4-三甲基苯、二氢苯并呋喃、环己基苯等。

作为蓝色有机EL用高分子材料的溶剂，优选采用二氢苯并呋喃、环己基苯等。

当溶剂是芳香族溶剂之类非极性溶剂的情况下，因难于与水分相溶而除去液体中的水分，能够减少喷出不良现象。而且作为高分子材料的溶剂，优选采用至少含有沸点处于150℃以上的溶剂的混合溶剂。作为高沸点溶剂的具体实例，可以举出十二烷基苯(沸点331℃)、环己基苯(沸点240℃)、1，2，3，4-四甲基苯(沸点203℃)、3-异丙基苯(沸点290℃)、3-甲基苯(沸点272℃)、4-甲基苯(沸点267℃)、对茴香醇(沸点259℃)、1-甲基萘(沸点240～243℃)、1，2，3，4-四氢萘(沸点207℃)或其衍生物等。通过含有这种高沸点溶剂，用喷墨装置等喷出有机EL装置用油墨组合物之际，由于不会使溶剂立即蒸发，可以减小喷出后的像素与喷出一定时间后的像素之间的差别，所以能够实现均匀的有机EL装置。然而，当采用高沸点溶剂的情况下，一旦溶剂中含有一定水分，就会在使液滴中溶剂干燥/蒸发形成功能层时，因水分的急剧蒸发而使功能层产生缺陷。在本发明中由于除去了水分，所以能够抑制这种缺陷的产生。而且，特别是采用液滴喷出法的情况下，若采用这种高沸点溶剂由于粘度增高而使喷出变得不稳定，所以最好采用至少含有高沸点溶剂的两种以上溶剂组成的混合溶剂。

而且在有机EL装置的制造方法中，溶剂是将多种溶剂混合而成的混合溶剂，制备该混合溶剂的工序优选是对构成该混合溶剂的各种溶剂实施所述脱水处理和所述脱氧处理后，混合所述各种溶剂。这种情况下适用本发明，优选在多种溶剂的各自中除去氧或水分并制备混合溶剂。这是因为制备混合溶剂后实施脱水处理和脱氧处理的情况下，因脱水处理和脱氧处理存在使混合溶剂的混合比和组成产生改变之虞，而在本发明中，使多种溶剂分别实施脱水处理和脱氧处理后再将该多种溶剂混合，能够抑制混合溶剂中的混合比和组成变化的缘故。

以下如图3(c)所示，形成与像素电极111成对的阴极12。

也就是说，在包含贮存格部112和有机EL层110b的基板10的全部区域，依次层叠氟化锂层12a、钙层12b和铝层12c而形成阴极12。由此，在包含红色有机EL层110b1、绿色有机EL层110b2和蓝色有机EL层110b3的形成区域的有机EL层110b的全体形成区域上层叠阴极12，分别形成与红色(R)、绿色(G)和蓝色(B)各色对应的有机EL元件。

阴极12优选采用例如蒸镀法、溅射法、CVD法等形成，特别优选用蒸镀法形成，因为从能够防止有机EL层110b的热致损伤的观点来看优选。而且也可以在阴极12上设置防止氧化用的SiO₂、SiN等保护层。

最后利用密封树脂将基板10和密封基板密封。例如在基板10的周边部分涂布由热固性树脂或紫外线固化性树脂组成的密封树脂，在密封树脂上配置密封基板。这种密封工序优选在氮气、氩气、氦气等惰性气体气氛中进行。一旦在大气中进行，当阴极12上产生针孔等缺陷的情况下，因水或氧等从此缺陷部分侵入阴极12而有将阴极12氧化之虞。

【实施例】

以下利用实施例对本发明作更具体说明。

图5是说明脱水处理和脱氧处理的效果用表格。而且图5表示溶剂20中的水分量和氧量，与采用该溶剂20制备的有机EL层110b的膜中不良个数之间关系的试验结果。

图5中，试验1表示事实了脱水处理(分子筛：MS)和脱氧处理(氮气鼓泡：N₂)二者的情况。试验2表示仅实施了脱水处理(MS)的情况。试验3表示均未实施脱水处理和脱氧处理二者的情况(No)。

如图5所示，在试验1中，溶剂20中的水分量和氧量分别为5～15ppm和10ppm。而且采用实施试验1处理的溶剂20制作了有机EL层110b的情况下，膜的不良个数为0。

而且在试验2中，溶剂20中的水分量和氧量分别为10～15ppm和50ppm。而且采用实施试验2处理的溶剂20制作了有机EL层110b的情况下，发现了数个膜不良个数。

而且在试验3中，溶剂20中的水分量和氧量分别为100ppm、50ppm。而且采用实施试验3处理的溶剂20制作了有机EL层110b的情况下，发现的膜不良个数处于100以上。

正如图5所示，通过对溶剂20实施脱水处理和脱氧处理，能够确实抑制溶剂20中的水分量或氧量。而且看出采用这种溶剂20制作的有机EL层110b的膜不良个数可以被削减。

图6是实施喷墨法时成膜气氛效果的说明表格。而且图6也是表示分别在惰性气体气氛中和空气中形成有机EL层110b的情况下，元件寿命与发光效率的试验结果。

图6中试验4表示在氮气气氛(惰性气体气氛：N2)中制作有机EL层110b的情况。试验5表示在空气气氛(Air)中制作有机EL层110b的情况。

其中在试验4和试验5中，涂布含有图5中试验1制备的溶剂的组合物油墨而制备了机EL层110b。

如图6所示，在试验4的气氛中形成的有机EL层110b，元件寿命比试验5提高了两倍左右。而且其发光效率也提高到试验5的1.3倍左右。

如图6所示，一旦采用在氮气气氛中实施喷墨法形成有机EL层110b，与在空气气氛中形成的情况下相比，元件寿命和发光效率都会提高。

图7是将上述图5和图6归纳的表格，是说明脱水处理和脱氧处理的效果，以及成膜气氛气体效果用表格。

如图7所示，与现有技术文献中记载的方法，即未对溶剂20实施脱水处理和脱氧处理，而且喷墨成膜气氛是氮气气氛的情况(图中现有实例)相比，如图中的双圆圈和单圆那样，本发明得到了良好的结果。也就是说，当实施脱水处理和脱氧处理(MS+N2)的同时，喷墨成膜气氛气体是空气(Air)的情况下，也可以得到比现有技术文献良好的结果(图中单圆)。于是，进而实施脱氧处理(MS)和脱氧处理(N2)的同时，喷墨成膜气氛是氮气气氛的情况下，可以得到最好的结果(图中双圆圈)。

因此在上述实施例中，虽然未处理的溶剂20中含有大约100ppm水分和大约50ppm氧，但是在进行上述那种脱水处理和脱氧处理的情况下，能够使水分和氧均降低到20ppm以下。因而能够除去招致有机EL层110b劣化(缺陷的生长、亮度降低和驱动电压上升)之主要原因的氧或水分。一旦采用这种溶剂20制备了机EL层110b，就能够提高有机EL元件的元件寿命。

而且若采用过去未实施脱水处理和脱氧处理的溶剂，利用喷墨法形成有机EL层110b，则会使该有机EL层110b产生多种不良，但是通过将溶剂20内水分浓度降低到20ppm以下，能够提高成膜性，大幅度改善有机EL层110b的不良。

而且采用喷墨法涂布形成含有经过这样实施了脱水处理和脱氧处理的溶剂20的组合物油墨时，在水分和氧的浓度处于100ppm以下的气氛中成膜的情况下，能够减少有机EL层110b所含的氧和水分，提高元件寿命或发光效率。因此，能够除去可以变成有机EL层110b劣化主要原因(缺陷生长、亮度降低)的氧或水分，能够实现长时间稳定驱动的有机EL装置1。

综上所述，本实施方式中，由于对有机EL层110b的组合物油墨中的溶剂20实施脱水处理和脱氧处理，所以能够制成除去水分或氧的组合物油墨。而且利用喷墨法涂布组合物油墨，形成有机EL层110b，所以能够形成除去了氧或水分的有机EL层110b。因此能够抑制有机EL层110b中起因于氧或水分的元件劣化和缺陷的产生。这样能够实现具有高效率和长寿命的发光特性，制成缺陷的产生得到抑制的有机EL装置1。

而且由于喷墨法是在惰性气体气氛中进行，所以能够在除去氧或水分的状态下形成有机EL层110b。能够进一步提高上述效果。

此外在喷墨法中，通过对溶剂20实施脱水处理和脱氧处理，能够提高组合物油墨的成膜性，大幅度改善有机EL层110b的不良现象产生。

其中本实施方式中虽然是就采用喷墨法形成有机EL层110b的，但是并不限于此。除喷墨法以外，还可以采用印刷法等各种湿式成膜法。

而且上述实施方式中，虽然是就具备有机EL层110b作为有机薄膜的有机EL装置的制造方法进行说明的，但是并不限于此。除了有机EL装置以外，还可以用于有机半导体、有机晶体管、有机半导体激光器的制造方法之中。

(有机EL制造方法的变形实例)

以下说明有机EL装置制造方法的变形实例。

其中对于与上述实施方式具有相同的结构将赋予相同符号，其说明将省略。

本变形实例中，采用将多种溶剂混合的混合溶剂制造组合物油墨。而且就使用二氢苯并呋喃及环己基苯作为溶剂的情况进行说明。

首先在将各溶剂混合之前，对各溶剂实施脱水处理和脱氧处理。因此如图4所示，对二氢苯并呋喃实施脱水处理，进而实施脱氧处理。这样使该二氢呋喃中的水分或氧处于20ppm以下。

接着同样如图4所示，对环己基苯实施脱水处理，进而实施脱氧处理。这样使该环己基苯中的水分或氧处于20ppm以下。

进而在惰性气体气氛中，将经过上述脱水处理和脱氧处理的二氢呋喃和环己基苯混合而制成混合溶剂。

然后将有机EL用高分子材料溶解在混合溶剂中。其中优选在将水分和氧控制在100ppm以下惰性气体气氛中进行。而且有机EL用高分子材料中也含有水分或氧，所以优选对该有机EL用高分子材料实施真空和干燥之后将其溶解。

如上所述，本变形实例中分别对构成混合溶剂的二氢苯并呋喃和环己基苯实施脱水处理和脱氧处理，然后将该溶剂混合制成混合溶剂，所以能够制成除去了氧或水分的混合溶剂。

而且将各溶剂混合后实施脱水处理和脱氧处理的情况下，存在因脱水处理和脱氧处理而使混合溶剂的混合比或组成改变之虞，所以本变形例中分别对多种容积中的各溶剂实施脱水处理和脱氧处理后，再将该多种溶剂混合，所以能够抑制混合溶剂中的混合比或组成的变化。

(电子仪器)

图8(a)～(c)表示本发明电子仪器的实施方式。

本例的电子仪器，作为显示机构具备上述有机EL装置等本发明的有机EL装置。

图8(a)是表示移动电话机一例的立体图。图8(a)中，符号1000表示移动电话机主体，符号1001表示采用上述显示装置的显示部。

图8(b)是表示手表型电子仪器一例的立体图。图8(b)中，符号1100表示手表主体，符号1101表示采用上述显示装置的显示部。

图8(c)是表示文字处理器、个人电脑等便携式信息处理装置一例的立体图。图8(c)中，符号1200表示信息处理装置，符号1202表示键盘等输入部，符号1204表示信息处理装置主体，1206表示采用上述显示装置的显示部。

图8(a)～(c)所示的各种电子仪器，由于显示部具备本发明的有机EL装置，所以能够实现一种具有高效率和长寿命发光特性，同时具备缺陷的产生受到抑制的显示部的电子仪器。

以上虽然参照附图对本发明涉及的适当实施方式做了说明，但是不用说本发明并不限于所涉及的实施例。上述的实例中表示的各构成材料的各种形状和组合等仅仅是一种举例，只要不背离本发明思想，可以根据设计要求作各种变更。

Claims (7)

1.一种有机电致发光装置的制造方法，是具有第一电极、第二电极、以及被所述第一电极和所述第二电极夹持至少含有发光层的功能层的有机电致发光装置的制造方法，其特征在于，包括：

将溶剂和功能材料混合而制备功能性液体的工序；和

利用湿式成膜法涂布所述功能性液体，以形成所述功能层的工序，其中

在制备所述功能性液体之前，实施除去所述溶剂所含水分和氧的脱水处理和脱氧处理。

2.根据权利要求1所述的有机电致发光装置的制造方法，其特征在于，形成所述功能层的工序是在惰性气体气氛中进行。

3.根据权利要求1所述的有机电致发光装置的制造方法，其特征在于，所述溶剂中，经过实施所述脱水处理和所述脱氧处理之后的水分和氧含量，分别处于20ppm以下。

4.根据权利要求1～3中任何一项所述的有机电致发光装置的制造方法，其特征在于，

所述溶剂是将多种溶剂混合的混合溶剂，

制备该混合溶剂的工序，分别针对构成该混合溶剂的各种溶剂实施所述脱水处理和所述脱氧处理之后，将所述各种溶剂混合。

5.根据权利要求1～4中任何一项所述的有机电致发光装置的制造方法，其特征在于，所述湿式成膜法是液滴喷出法。

6.一种有机电致发光装置，其特征在于，其中具备利用权利要求1～5中任何一项所述的制造方法形成的功能层。

7.一种电子仪器，其特征在于，其中具备权利要求6所述的有机电致发光装置。

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