CN1444699A - 谐振器泵送系统 - Google Patents

Abstract

谐振器泵送系统(10)，它包括构造成用于谐振的谐振结构(14)，以及与谐振结构偶连并为其驱动的液体泵(18)。在此谐振结构上有效连接着能源(60)用以维持谐振。

Description

谐振器泵送系统

发明背景

发明领域

本发明一般涉及谐振器泵送系统，这种泵送系统特别适合用作精确的药剂输送系统且具有耦合到用于泵送液体的液体泵上的谐振结构。

背景技术

众多的应用领域或环境需要精确地泵送或计量较少量的液体。例如已开发了IV泵(IV pumps)用以精确地计量或控制从IV袋到IV针头的供治疗病人用的药剂。给病人进行静脉输液是周知的医疗方法，其中包括：(i)给那些由于疾病或受到伤害致其消化管道不能正常起作用的病人提供生命维持营养物；(ii)提供抗生素来治疗多种多样的严重感染；(iii)给蒙受剧痛或长期疼痛的病人提供镇痛剂；(iv)给癌症患者提供化疗药剂，等等。

静脉输送药物通常需用IV泵，这种泵连接到或内设于所谓的IV投药装置中，投药装置包括例如用于投药且通常是倒置的液体瓶、消过毒的塑料管组、用于将液体从此瓶子通过IV装置输送给病人的泵。其他装置可以包括用以停止液体流到IV供液管的手控止动器以及可能有的某些监控装置。

现行的IV泵一般有两种基本类型：电子泵和一次性的非电子泵。尽管电子泵已然显著地小型化且的确包括有某些一次性元件，但它们一般是高成本的，需要经常地维护而继续使用。且例如如果希望自我治疗时，外行人是难以操作的。

一次性的非电子泵通常包括在硬壳容器中的若干小弹性袋，这些袋在压力下充填有IV溶液。由压缩弹性袋产生的压力迫使IV溶液以恒定的流率通过固定的针孔进入病人的静脉中。这类泵远比电子泵价廉且不需维护(因为它们在每次使用之后即丢弃)，但它们的缺点包括缺乏监控能力、不能选择不同的流率、有限的泵动能力以及对于一次性产品而言仍然是较高的费用。

许多先有技术的IV泵的缺点包括它们较大的尺寸、复杂性与高的成本。这类IV泵通常庞大而复杂，且对于生产和应用都是昂贵的。

本发明的目的与内容概述

业已认识到最好是提供这样一种泵或泵送系统，它得以精确地泵送或计量液体如药剂包括IV液体，以及提供给液体是更浓缩的情况，例如胰岛素、PCA与化疗药物等其他方面的应用。此外还认识到最好是提供这样的泵送系统，它所以实用性的成本进行生产和应用，并且可以是一次性的制品。再者，也认识到最好是使所提供的这种系统是小型的和可控的。

本发明提供的谐振器泵送系统包括构造成用于谐振的谐振结构以及与此谐振结构偶连并为其驱动的液体泵。此液体泵最好包括具有液体入口与液体出口的腔以及可于此腔内移动且与谐振结构高效连接的活塞。在此谐振结构上有效地连接着能源用以维持谐振的往复运动。

根据本发明的一个方面，这种谐振结构是以较高的频率例如以200-2000Hz进行往复运动。同时这种液体泵较小，具有的腔或活塞直径为100-1000μm(微米)。

根据本发明的另一方面，这种泵送系统包括有用于传感此谐振结构谐振和产生传感信号的传感器。上述能源可包括驱动器，它响应传感器信号给此谐振结构加力以维持其谐振。可给此驱动器与传感器偶连上控制器，用来控制谐振结构的振幅或频率。

根据本发明的又一方向，上述液体泵是通过一连接在谐振结构与液体泵之间的传动臂而机械地连接着谐振结构的可动部分。此传动臂可以是挠性臂，刚性地连接着该泵与该谐振结构。或者，此传动臂可以是刚性臂，可旋转地连接该泵与该谐振结构。

依据本发明一实施例，上述谐振结构包括与质量块连接且取可相对于底座作线性运动的弹簧件。

依据本发明另一实施例，此谐振结构包括与质量块连接且取可相对于底座作弧形运动的细长挠性弹簧件。

依据本发明另一实施例，此谐振结构包括构型成在施加电场的作用下弯曲的压电件。

根据本发明另一实施例，所述液体泵包括位于谐振结构相对侧的第一与第二液体泵，以实现基本恒定的液流。

依据本发明另一实施例，上述液体泵包括一设在弹簧件邻近的腔以及一与此弹簧件直接连接的活塞。

依据本发明另一实施例，此泵系统包括一与该液体泵液流偶连的滑阀以及一与此滑阀偶连的第二谐振结构，而此第二谐振结构构造成与第一谐振结构作90°异相谐振。

根据本发明的再一方面，当一组谐振结构偶连到一组液体泵上，而这些液体泵则串联连接以加大压力。此外，这些液体泵也可并联连接以加大流量。

根据本发明又一实施例，此泵送系统可以包括第一与第二平层以及夹于此第一与第二层之间的第三层。此第三层中带有孔口的结构以形成谐振结构与液体泵两者。

上述液体泵与谐振结构可以插入IV管线中以泵送或计量供给IV针头的药剂。

本发明的其他目的与优点特别述于以后的说明中，且部分地可由此说明中获得理解，或可以通过实施本发明而不用过多的试验加以掌握。本发明的目的与优点可以借助后附权利要求书中具体指出的装置及其组合形式来实现和取得。

附图简述

研究下面结合附图给出的详细描述，即可认识到本发明上述的和其他的目的，特征与优点，在附图中：

图1概示本发明的谐振器泵系统的一个优选的实施例；

图2概示本发明的谐振器泵系统的第二个优选的实施例；

图3概示本发明的谐振器泵系统的第三个优选的实施例；

图4概示本发明的谐振器泵系统的第四个优选的实施例；

图5概示本发明的谐振器泵系统的第五个优选的实施例；

图6a与6b概示本发明的谐振器泵系统的第六个优选的实施例；

图7与8概示本发明的谐振器泵系统的第七个优选的实施例；

详细说明

为便于了解本发明的原理，下面参考以附图阐明的实施例并将采用特定的语言来描述它们，但应认识到这并非用来限制本发明的范围。对这里所示创造性特点的任何变更和其他改进以及对这里所示发明原理的任何另外的应用，是任何对相关技术熟悉和并已掌握这里所公开的内容的人通常可以作到的。因而应视作为在本发明的权利要求范围之内。

如图1-8所示，其中阐明了本发明的用于泵送液体的谐振器泵送系统的种种优选实施例。此系统一般包括与液体泵18偶连的谐振结构14，它如以后更详细描述的，可取种种不同形式。谐振结构14可包括一质量块体与弹簧件，它们在功能态与势能态之间或在最大与最小动能与势能间交替地改变。此谐振结构14可谐振或振荡长的时间，或在无任何损耗如磨擦损耗的条件下连续地谐振。

图1所示的谐振器泵系统的一个优选实施例以10总体地标明，用来泵送液体如药剂从液体储器或袋22之所需位置如IV针头26。这样，此谐振器泵送系统可以用来精确地泵送或计量药剂，如糖尿病人用胰岛素、化疗用液体等。

谐振结构14包括具有质量m的可动体30。谐振结构14或可动体30如箭头34示向沿线性运动路径往复谐振或振荡。此谐振结构14还包括能量储存与释放系统如压缩弹簧38。弹簧38压缩和延伸以存储和释放能量。可动体30与弹簧38构成谐振结构14按箭头34示向谐振或振动。在谐振结构14以线性形式往复振荡时，它从其行程中最左范围最大势能(最小动能)位置开始运动，在通过其行程的中间范围时通过最大动能(最小势能)位置，而到达其行程最右范围的最大势能(最小动能)位置。

液体泵12可以是活塞泵，包括腔或管42以及可滑动地位于此腔内的活塞46。活塞46于腔42中往复运动以改变腔42的体积或容量。

腔42包括可让液体进到腔42内的液体入口和让液体从腔42排出口的液体出口。入口与出口的止回阀50与52设于各相关的液体入口与出口处。于是，入口止回阀50允许从液体储器12单向地流入腔42而阻止液体回流到储器22。类似地，出口止回阀允许从腔42单向地流出到针头26而阻止液体反流回腔42。

当活塞46移出腔42，便形成了真空(或压差)，将液体抽过入口止回阀50而进到腔42内。当活塞46进到腔42内，活塞46推进(或再形成压差)，迫使液体通过出口止回阀52而进入针头26。

液体泵18或活塞46最好有效地与谐振结构18偶连。传动臂56偶连在并延伸于谐振结构14的可动部5或可动体30与泵18的活塞46之间。这样，谐振结构14的振荡运动便传递给活塞46将泵18驱动。

如前所述，谐振结构可以谐振或振荡很长时间或在无损耗条件下持续这种运动。但这种谐振结构通常要经受损耗，例如摩擦损耗，结果会导致谐振结构终止谐振。于是将能源部分整体标为60，它与谐振结构14有效地连接，有以保持谐振或振荡运动。此能源60可包括驱动器64如电磁铁，它给谐振结构14或体30上加力。

此外，可设置传感器68来传感谐振结构14或体30的谐振或振荡运动产生传感器信号。控制器72偶连到驱动器64上，响应传感器信号以控制驱动器64，由此保持或控制谐振振幅与谐振频率。

参看图2，其中所示谐振器泵系统的第二优选实施例总体以80标明，它具有的谐振结构14包括有质量为m的可动体84。此谐振结构14或体84按箭头所示向沿弧形运动路径作往复的谐振或振荡。此谐振结构14还包括能量储存与释放系统如悬臂弹簧或细长的挠性件92。此弹簧92是挠性的，可往后或向前弯曲以储存和释放能量。这样，可动体84便设置于悬臂弹簧92的一端以形成谐振结构14。随着此谐振结构14作弧线形式往复振荡，它由此行程最左范围(虚线所示)的最大势能(最小动能)位置处，在通过其行程的中间范围(虚线示明)的最大动能(最小势能)位置后，到达此行程最右范围的最大势能(最小动能)的位置。

能源或驱动器94如磁铁可以保持谐振结构14或体84与弹簧92进行谐振。在体84中可以形成线圈，它们受到保持固定的磁铁的作用。或者，磁铁可定位于体84内而线圈保持固定。

液体泵18可以与上述活塞泵类似。液体泵18可包括止回阀96如图示的球阀。

此外，活塞46是由一刚性地接附于活塞46和弹簧92上的挠性传动臂100偶连到谐振结构18或悬臂弹簧92上，这将更详细地于以后说明。

参看图3，其中所示谐振器泵系统的第三优选实施例总体以110标明，它具有的谐振结构14包括压电件114。此谐振结14或压件114按箭头118示向，沿弧形运动路径往复谐振或振荡。谐振结构14或压电件114具有的材料层能在施加电场的作用下弯曲或挠曲。压电件114要取直的自然的无挠曲状态的构型，而在施加电场作用下弯曲，以在弯曲的压电件114中存储能量。或者，压电件114可取弯曲弧形的自然的无挠曲状态的构型，而在施加电场作用下弯成直的构型或取反向弯曲的构型。电接点122与压电件114偶连以用于施加电场。

液体泵18可以类似于前述活塞泵。液体泵18可以包括止回阀126，如图示的鸭嘴式阀。

此外，活塞46是由可旋转地安装于活塞46与谐振结构14上的刚性传动臂130偶连到谐振结构18或压电件114上，后面将对此作较详细的说明。

参看图2与3，液体泵18或活塞46是由传动臂100(图2)与130(图3)偶连到谐振结构14之上。参看图2，传动臂100是挠性的且是刚性地连接到活塞46与谐振结构14之上。由于谐振结构件14是以弧线方式运动而臂100则是刚性偶连，臂100的挠性就允许其在谐振结构14运动时弯曲，如虚线所示。这样，随着臂100与活塞46以及谐振结构14之间的连接点移动，臂100将弯曲而不是绕连接点旋转。此挠性臂100可以是细的丝件，可以与活塞或悬臂弹簧整体成形，因而可以较廉价地生产。

参看图3，传动臂130是刚性的，可旋转地或挠性地与活塞46和谐振结构14两者连接。当谐振结构14沿弧形路径14移动，臂130相对于活塞46旋转而谐振结构14绕其连接点转动。臂130可旋转地为枢轴接头连接。这种枢轴接头可以提供较小的阻力，因而具有较小的损耗。

参看图4，其中所示的谐振器泵系统的第四优选实施例总体以140标明，它具有的谐振结构14类似于上述的可动体84和悬臂弹簧92。此外，液体泵18可以是这样的活塞泵，它所具有的活塞144直接连到谐振结构14或悬臂弹簧92上并由此给两个行进方向延伸。此外，液体泵18具有设于谐振结构14两侧上的腔148与150。活塞144具有沿一个方向进入第一腔148的第一部分和沿相反方向进入第二腔150中的第二部分。

此活塞的边都与所述的腔形成了泵的两半部分。使得此泵系统140能随着谐振结构14谐振而继续泵送。当谐振结构14移向右边，第一活塞部分从第一腔148回撤，将液体抽入第一腔148，而第二活塞部分同时迫使液体从第二腔150流出。类似地，当此谐振结构按与上述相反方向位移时，此第一活塞部分迫使液体从第一腔148流出，而第二活塞部分则同时将此液体抽入第二腔150中，这样，此泵系统140便提供了更连续的液体流或更恒定的液体流。

此外，活塞144与腔148和150是弧形的或具有弧形剖面。这样，弧形活塞144与腔148和150便能随谐振结构14作弧形运动。

参看图5，其中所示的谐振器泵系统的第五优选实施例总体地以160标明，它具有类似于前面论及的可动体84与悬臂弹簧92的谐振结构14以及以腔164与166设于谐振结构14两侧的液体泵18。类似地，活塞168是直接连接于谐振结构14或弹簧92上。但此活塞168与腔164和166是直的而非弧形的。这样，活塞168也是可滑动的连接到谐振结构14或弹簧92上，以使活塞168沿连接点与弹簧92一起随着弹簧92通过弧形运动路径而滑动。

参看图6a与6b，其中所示谐振器泵系统的第六优选实施例总体以180标明，它具有的滑阀184则为第二谐振结构188驱动，与上述系统类似，此系统180包括具有腔192和活塞46的泵190以及具有可动体84与悬臂弹簧92的谐振结构14。

滑阀184由与泵190的入口/出口孔相连的入口/出口孔而与泵190成为液流偶连。滑阀184也具有液体入口与液体出口。阀柱或筒件196可滑动地位于滑阀184的腔中，作往复运动。阀柱或筒件196之中有在入口/出口孔与液体入口或液体出口之间延伸的液体通道200。当此阀柱196位于第一或左方位置时，液体通道200在泵190与阀184的入口/出口与液体入口之间延伸，使得液体可以流过阀184的液体入口，经液体通道200，通过入口/出口孔而进入泵的腔192中，如图6a所示。当阀柱196处于第二或右侧位置，阀柱196的液体通道200在泵190与阀184的入口/出口孔和液体出口之间延伸，使得液体可流出泵190的腔192，经入口/出口孔，通过液体通道200，从液体出口排出。

液体泵190的活塞46由传动臂204连接到第一谐振结构14上。类似地，滑阀184的阀柱196由第二传动臂208连接到第二谐振结构188上。第二谐振结构188可以包括第二块体212和第二悬臂弹簧216。此第二谐振结构188以十分类似于第一谐振结构14的方式谐振，但与第一谐振结构14有90°异相。这样，第二谐振结构188驱动或控制滑阀184，以在活塞46由于第一谐振结构14而从腔192中撤出时可让液体进入泵190中，如图6a所示，而在活塞46从腔192中驱出流体时则移动阀柱196以让液体从泵190送出，如图6b所示。

应该注意到，上述谐振器泵送系统是用于体型较小，谐振较快或在较高频率下工作的情形。例如活塞或腔的直径可以约为100-1000μm(微米)，而谐振结构的谐振频率约为200-2000Hz。这样，尽管液体泵可能较小，但它们是在较高频率下工作来获得可观的流率或适合某些应用的流率如药剂泵送或计量。

此外应注意到，谐振结构的质量或能量显著大于液体泵中的液体质量或此液体泵所需的能量。这样，此液体泵只在谐振结构抽取较少的能量，使谐振结构能继续谐振。

可以期望所生产出小到足以插入IV管中的较小的泵送装置，而且这种泵送装置具有充分的流率和压力性能来泵送或计量药剂，并可廉价地生产为一次性用途的。例如小型的泵送装置，它可以插入IV管中并具有小型的谐振结构；保持谐振的驱动器；给驱动器提供功率的蓄电池；控制此驱动器从而控制谐振与流率的控制器或微处理机；小型的活塞与腔，以及相称的止回阀。

本发明的谐振结构可以于恒定的振幅与频率下工作。这样的构造形式只需较简单的控制并且可以较廉价地生产。或者，可以用图1中所示的控制器72来改变驱动器60施加的力，随之改变谐振结构的频率或振幅，从而改变液体泵的流率。这种结构形式便于更好控制泵。

下面参考图7与图8，本发明的谐振器泵系统可以是微型制造的或光刻成的材料层，以形成一或多个泵和/或谐振结构。这样，此谐振器泵系统可以包括按阵列或矩阵列设置一或多个泵系统。图7中由虚线框220标明数个泵系统可以由上述这些层形成。可将若干个泵系统220串联设置，如虚线框220、222与224所示，以加大压力。此外，也可将数个泵系统220并联设置以提高流率，如图中虚线框220、226与228所示。还可将若干个泵送系统串联与并联地设置而独立地控制，以求得所需的液流特性或所需的流率与压力。

这种泵系统可以包括第一层232与第二层236以及夹于它们之的第三层240。参看图8，第三层240可以图案化成带有孔口，总体上以244标明，以形成液体泵248和谐振结构252。此外，第三层240可以图案化形成液体通道或槽256。各个泵248与谐振结构252形成泵系统220。如图7所示，可将一批泵系统220图案化于第三层240中，夹于第一层232与第二层236之间，所形成泵248的腔(图8)和液体通道256(图8)。这种系统可用来控制流动特性如流率和压力。

可以在上述层上对另外的导电材料层图案化，用以给第三层240的谐振结构252施加电场。

虽然上述的液体泵与谐振结构在图示与说明中是通过传动臂以机械方式偶连，但应认识到这种偶连是可以用任何合适的方法包括例如磁力方法等来实现。

类似地，尽管上述谐振结构是作为磁力驱动器有效结合的，但应认识到这种谐振结构的谐振是可以由任何合适的方式，包括例如机械结合方式等来保持。

上述泵系统用物理方法从机械式谐振结构移取能量用以泵送流体。

应知上述装置形式只是为了阐明本发明的原理的应用。在不脱离本发明的精神与范围的前提下，本领域技术人员是可以设计出众多的改型与其他的装置形式的，为后附权利要求书则是用来涵盖这种种改型与装置形式的。这样，尽管本发明业已于附图中示明，并具体和详尽地结合当前认为优选的和具体的本发明的实施例作了全面的描述，但应认识到本领域技术人员在不脱离这里所引述的原理与概念的前提下是可以作出众多的改型，包括但不限于尺寸、材料、形状、形式、功能与操作方式、组装与应用等方面的种种变化。

Claims (31)

1.谐振器泵送系统，它包括：构造成用于谐振运动的谐振结构；有效地与此谐振结构偶连用以保持谐振的能源；以及与此谐振结构偶连并为其驱动的液体泵。

2.如权利要求1所述谐振器泵送系统，其中所述谐振结构是在约200-2000Hz间谐振。

3.如权利要求1所述谐振器泵送系统，其中所述液体泵的直径约100-1000μm(微米)。

4.如权利要求1所述谐振器泵送系统，其中所述谐振结构具有的质量显著大于液体泵中液体的质量。

5.如权利要求1所述谐振器泵送系统，其中所述谐振结构具有的动能显著地大于用以驱动液动泵的能量。

6.如权利要求1所述谐振器泵送系统，其中所述谐振结构以恒定振幅谐振。

7.如权利要求1所述谐振器泵送系统，其中所述谐振结构以恒定频率谐振。

8.如权利要求1所述谐振器泵送系统，其中还包括构造成用于传感谐振结构谐振并产生传感器信号的传感器；而所述能源则包括响应此传感器信号给谐振结构加力以保持其谐振的驱动器。

9.如权利要求8所述谐振器泵送系统，其中还包括与上述驱动器和传感器偶连用以控制此谐振结构的振幅或频率的控制器。

10.如权利要求1所述谐振器泵送系统，其中所述能源是磁铁。

11.如权利要求1所述谐振器泵送系统，其中所述液体泵是由偶连到并在上述谐振结构与液体泵之间的传动臂机械式地偶连到此谐振结构的运动部分上。

12.如权利要求1所述谐振器泵送系统，其中所述液体泵是由刚性地偶连该泵与该谐振结构的挠性臂偶连到该谐振结构上。

13.如权利要求1所述谐振器泵送系统，其中所述液体泵是由可旋转地与该泵和该谐振结构偶连的刚性臂偶连到该谐振结构上。

14.如权利要求1所述谐振器泵送系统，其中所述谐振结构包括：底座；以一端与此底座偶连的弹簧件；与此弹簧件另一端偶连的且构造成可相对于此底座线性运动的块体。

15.如权利要求1所述谐振器泵送系统，其中所述谐振结构包括：底座；以一端与此底座偶连的细长挠性弹簧件；与此弹簧件另一端偶连的且构造成可相对于此底座作弧线运动的块体。

16.如权利要求1所述谐振器泵送系统，其中所述谐振结构包括：底座；与此底座偶连且构造成在所加电场作用下弯曲的压电件。

17.如权利要求1所述谐振器泵送系统，其中所述液体泵包括：具有液体入口与液体出口的腔；可于此腔内移动且与该谐振结构有效偶连的活塞。

18.如权利要求1所述谐振器泵送系统，其中所述液体泵包括第一与第二液体泵且具有：位于此谐振结构一侧的第一腔；可于此第一腔内移动且与此谐振结构有效偶连的第一活塞；位于此谐振结构另一侧的第二腔；可于此第二腔内移动且与此谐振结构有效偶连以使此第一与第二液体泵交替泵送来实现基本恒定的液体流量的第二活塞。

19.如权利要求1所述谐振器泵送系统，其中所述谐振结构包括：以一端与底座偶连的细长挠性弹簧件，与此挠性弹簧件另一端偶连且构造成可作弧线运动的块体，而所述液体泵则包括邻近此弹簧件设置的腔以及与此弹簧件直接相连的活塞。

20.如权利要求1所述谐振器泵送系统，其中所述液体泵还包括液体入口与液体出口，而每个口具有选自鸭嘴形止回阀、球止回阀与滑阀这组阀中的阀。

21.如权利要求1所述谐振器泵送系统，其中还包括与前述液体泵液流偶连的滑阀，以及与此滑阀偶连且构造成与该第一谐振结构作90°异相谐振的第二谐振结构。

22.如权利要求1所述谐振器泵送系统，其中还包括与一组液体泵偶连的谐振结构，这些液体泵则串联连接以加在压力。

23.如权利要求1所述谐振器泵送系统，其中还包括与一组液体泵偶连的谐振结构，这些液体泵则并联连接以加大流量。

24.如权利要求1所述谐振器泵送系统，其中还包括：与第一组液体泵偶连的第一组谐振结构，这第一组液体泵串联连接以加在压力；与第二组液体泵偶连的第二组谐振结构，在第二组流体泵并联连接的加大流量。

25.如权利要求24所述谐振器泵送系统，其中所述第一组谐振结构和流体泵是独立运行以控制压力和流量。

26.如权利要求1所述谐振器泵送系统，其中所述谐振结构与液体泵两者包括：第一与第二平层，以及夹于此第一与第二平层之间且图案化成具有用以形成此谐振结构和液体泵二者的孔口的第三层。

27.如权利要求1所述谐振器泵送系统，其中所述液体泵与谐振结构是插入IV管中的。

28.谐振器泵送系统，此系统包括：谐振结构，此谐振结构具有构造成IV用于作振荡运动的谐振块体以及与此谐振块体偶连的能量储存与释放系统；能源，此能源与谐振结构偶连用以保持此块体的振荡运动；传动臂，此传动臂与此谐振结构的可动部分偶连，用以偶合此谐振块体的振荡运动；液体泵，此液体泵为所述谐振结构驱动且包括有腔以及可在此腔内移动和与此传动臂有效连接的活塞。

29.谐振器泵送系统，此系统包括：构造成进行振荡运动的谐振结构；此谐振结构有效连接用以给此谐振结构加力的维持其振荡运动的驱动器；与此振荡运动结构的可动部分连接的传动臂；具有液体入口与液体出口的腔；可于此腔内移动且与上述传动臂有效连接的活塞。

30.谐振器泵送系统，此系统包括：第一与第二层，以及夹设于此第一与第二层之间的第三层，此第三层图案化成具有孔口用以形成：接附于此第三层上构造成所进行谐振的谐振结构；包括腔以及可与此腔内移动的活塞的液体泵；与此谐振结构和活塞偶连且在这两者间延伸的传动臂。

31.谐振器泵送系统，此系统包括：构造成能进行谐振的第一谐振结构；为此第一谐振结构偶连且为其驱动的液体泵；构造成与此第一谐振结构异相90°谐振的第二谐振结构；与此液体泵液流偶连且为此第二谐振结构有效偶连与驱动的滑阀；与这两个谐振结构有效偶连用以保持其谐振的至少一个能源。

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