CN119163880B - 一种三氟化磷自动充装设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种三氟化磷自动充装设备，包含输送管、外包覆管、外壳体、进料端、出料端、输液管、充装结构、滤芯壳体，还包括：换向导流结构，包含第一翻转导板、第二翻转板、翻转件，所述翻转件上均设置有活动导通件，两个所述活动导通件之间连接有一中继管；漏点检测结构，包含第一漏点检测器、第二漏点检测器；往复反冲组件，包含摇摆件、导座；多挡板滤芯结构，包含第一进料滤筒、第一封闭板、第一过滤环板、第二进料滤筒、外环挡板、第二封闭板、第二过滤环板、滞留架、出料滑管；外底抽离结构，包含固定座、弹性管、快速接头，本发明在传输管道以及充装阶段前端的过滤步骤进行改进，进而提高充装的安全和质量。

Description

一种三氟化磷自动充装设备

技术领域

本发明涉及一种自动充装设备，特别是一种三氟化磷自动充装设备。

背景技术

三氟化磷可作为一种氟化剂，三氟化磷可以进行离子转移，应用于电子工业、电池制造、高分子材料和催化剂等领域；在半导体制造方面，三氟化磷在微波作用下变为等离子气体掺杂入半导体可以显著改善半导体性能；在高分子材料领域，三氟化磷作为反应物可以合成出氟化有机二硫代磷酸盐、对苯二酸酯等具有很好防腐性能的高分子材料，常温下的三氟化磷为气体，在充装时需要低温冷凝成液体再进行充装，在充装时多是采用自动充装，在充装的过程中需要考虑两个问题，一方面是用于充装的管道是否存在安全，另一方面则是充装的三氟化磷的纯度是否符合要求。

传统的三氟化磷的滤芯都是采用防腐蚀的滤膜来对三氟化磷液体进行过滤，采用渗透的方式进行过滤，但是这样滤膜的精度不好把控，若设置的较细，则滤膜前端负载过大，容易堵塞，若设置的较粗，则小颗粒会漏过，现有技术因此将滤膜设置为多道，依次从粗到细，形成多层过滤层，由此一层层将颗粒滤走来提高三氟化磷的纯度，这样虽说能提高纯度，但是重复、密布式的滤层不仅会影响到过滤的效率，并且在反冲阶段，多层的滤布也会阻碍到反冲的效率，最前端的滤布所受的反冲效果极差，往往最前端的滤布无法被反冲干净；传统的三氟化磷在充装时，通常会在管道的外侧装设套管，并在套管中通上惰性气体，从而即便是发生了泄漏，也能够通过惰性气体稀释、套管阻隔，但是工人在巡检泄漏点时较难检测到泄漏点的位置，现有的技术人员会在管道内装设气体传感器、液体传感器等传感检测结构，但是这样管道一来是管道的长度十分长，若设置间距较大，则难以捕捉到正确的点，若设置间距较小，则整体的成本很高，并且在检修时整个充装管道需要拆卸抽空，导致充装停滞，钢瓶无法满装即装盖，在重新打开充填时的难度较高。

发明内容

本发明提供了一种三氟化磷自动充装设备，不仅能够对管道进行防护，在管道发生泄漏之后，能够将三氟化磷液体导通至其它管道，同时利用特殊的管道结构和外置的管道检测结构来应对长型的管道，缩减管道检测结构的布设数量，提高检测的灵敏度，同时能够形成多段、间隔式的过滤，且整个滤芯在过滤后会又由于失去外压力而自动振动，振动后的作用力会让滤膜自动反料并将反料集中至滤芯的底部，在单次过滤后随即进行滤膜或者滤板的清洁，从而提高滤膜或者滤板的寿命以及过滤质量，可以有效解决上述问题。

本发明是这样实现的：

一种三氟化磷自动充装设备，包含用于输送三氟化磷液体的输送管，所述输送管的外侧套设有一外包覆管，所述外包覆管与输送管之间的间隙填充有惰性气体，所述输送管的末端连接一外壳体的进料端，所述外壳体远离进料端的一侧设置有出料端，所述进料端与输液管相接，所述出料端与充装结构相接，所述外壳体的内部还设置有一滤芯壳体，所述三氟化磷自动充装设备还包括：

换向导流结构，包含设置在所述输送管内侧的第一翻转导板与第二翻转板，所述第一翻转导板与第二翻转板的设置方向相反并且互相对称，所述第一翻转导板与第二翻转板的顶部连接有贯穿输送管、外包覆管的翻转件，所述翻转件上均设置有活动导通件，两个所述活动导通件之间连接有一中继管；

防漏检测结构，包含套设在所述输送管外侧的封闭套，两个所述翻转件上均设置有张力感应器，所述张力感应器贴合在封闭套的外侧面且与翻转件的动力端电连接，当张力感应器检测到封闭套的张力受到变化时，判断所述输送管发生泄漏，进而让翻转件旋转至与活动导通件相通，让所述三氟化磷液体沿着中继管继续传输；

漏点检测结构，所述外包覆管由半弧段以及偏心段组成，所述半弧段位于输送管的上端，所述偏心段位于输送管的下端，所述漏点检测结构包含滑动设置在半弧段外侧的第一漏点检测器，所述偏心段的外侧滑动设置有第二漏点检测器，当所述三氟化磷液体泄漏时，会溅射到半弧段或者偏心段上并对半弧段或者偏心段造成振动，被所述第一漏点检测器或者第二漏点检测器检测到；

往复反冲组件，所述外壳体的内侧设置有若干组凸台，所述往复反冲组件包含固接在凸台上的摇摆件，所述摇摆件远离凸台的一端连接在滤芯壳体上，所述滤芯壳体的外侧固接有若干组与外壳体内壁滑动配合的导座，所述滤芯壳体内通入流体时滤芯壳体往流体流动方向一侧的摇摆件挤压，当流体断流后，所述滤芯壳体在摇摆件的作用下左右摆动；

多挡板滤芯结构，设置在所述滤芯壳体内，所述滤芯壳体为菱形结构，所述多挡板滤芯结构包含一与进料端活动相接的第一进料滤筒，所述第一进料滤筒与第一封闭板连接，所述第一封闭板的外侧固接有第一过滤环板，所述第一封闭板的后侧连接有第二进料滤筒，所述第二进料滤筒中部位置的外侧连接一外环挡板，所述第二进料滤筒的末端连接有第二封闭板，所述第二封闭板的外侧固接有第二过滤环板，所述滤芯壳体与出料端相通，所述菱形结构短的对称轴的内侧位置还设置有一滞留架，所述流体流经菱形结构的中部位置后有部分颗粒粘附在滞留架上，所述滤芯壳体的另一端通过一出料滑管与出料端活动相接；

外底抽离结构，所述菱形结构的下端间隔置有若干横连接架，所述外底抽离结构包含固接在外壳体内部底部的固定座，所述固定座的上端设置有若干弹性管，所述固定座的下端设置有若干快速接头，所述快速接头对接抽吸结构。

作为进一步改进的，所述第一翻转导板与第二翻转板结构大小相同，所述第一翻转导板包含一与输送管内径等径的圆形板，所述圆形板中空设置，所述圆形板的一侧开设有一进液槽，所述圆形板的顶部通过一配合套筒与翻转件相通。

作为进一步改进的，所述翻转件包含一插接至配合套筒内的换向导管，所述换向导管的顶部设置有一封堵头，所述封堵头的顶部设置有一转动电机，所述转动电机转动时带动换向导管转动。

作为进一步改进的，所述偏心段的内侧设置有第一检测板，泄漏点泄漏的所述三氟化磷液体会溅射到半弧段的内壁或者第一检测板上，且所述第一漏点检测器或者第二漏点检测器在滑动到泄漏的位置后会检测到半弧段或者第一检测板受到的冲击力，所述第一漏点检测器与第二漏点检测器之间通过两个弧形臂连接。

作为进一步改进的，所述第二漏点检测器包含一与偏心段外侧滑动连接的滑动架，所述滑动架靠近偏心段的一侧设置有一贴合在半弧段外侧壁的振动传感器，所述第一检测板为弧形结构，所述弧形结构的内部中空设置。

作为进一步改进的，所述摇摆件包含一与凸台连接的稳固头，所述稳固头往滤芯壳体一侧的方向上滑动套接有一限位腔管，所述稳固头的外侧还套接有一弹簧，所述弹簧的一端连接在凸台上，所述凸台的另一端固接到限位腔管上。

作为进一步改进的，所述滞留架包含设置在外环挡板左侧的第一滞留件以及设置在外环挡板右侧的第二滞留件，所述第一滞留件与第二滞留件的结构相同，且所述第一滞留件的比例为第二滞留件的1.5倍。

作为进一步改进的，所述第一滞留件包含若干组固接在滤芯壳体内部底部的内斜轴与外斜轴，所述内斜轴与外斜轴形成X型结构。

作为进一步改进的，所述固定座包含固定在外壳体内部底部的安装座，所述安装座的上方设置有角型的限位座，所述限位座位于滤芯壳体的底部。

作为进一步改进的，所述弹性管包含一与快速接头相通的对接管，所述对接管的上方连接一波纹管，所述波纹管的顶部连接一插接至横连接架的衔接管。

本发明的有益效果是：

本发明通过在传输管道以及充装阶段前端的过滤步骤进行改进，进而提高充装的安全和质量，具体如下：

现有的过滤器在过滤时，会通过逐步增设过滤板或者滤膜的数量、精度来提高流体过滤的精度，这样虽然能够提升过滤的精度，但是在反冲处理的阶段，末端的反冲结构在冲击至前端时，其冲力已经十分小了，从而导致末端的滤板或者滤膜被清理的较为干净，而前端以及中段的滤板或者滤膜的反冲效果极差，在清理后的利用效率较低，因此，本发明通过设置的多挡板滤芯结构，将过滤的区域分为第一进料滤筒、第一过滤环板、第二进料滤筒、第二过滤环板，让流入过滤器的三氟化磷能够至少经过四层逐渐提高精度的过滤层的过滤，并且单次的过滤面积相较于现有的过滤层的面积较小，从而实现多次、小面积的过滤，在反冲阶段时对反冲介质的影响较小，反冲效果更佳。

而现有的反冲方式一般都是通入水进行反冲，但是由于本案的过滤器为卧式的，若是通入水进行反冲，当水残留在过滤器内时，通入三氟化磷则容易导致剧烈反应，因此，本发明在多挡板滤芯结构的基础上设置了往复反冲组件，当三氟化磷冲入滤芯壳体内时，会将整个滤芯壳体往流体流动的方向推动，使右侧的摇摆件被挤压，而当三氟化磷的供给源被关闭之后，滤芯壳体失去压力，摇摆件会开始复位，并且自身开始左右摆动，带动整个滤芯壳体左右摆动，此时在进料端的位置将残余的三氟化磷往外抽，从而在外抽力以及滤芯壳体左右摆动力的作用下，多挡板滤芯结构上被阻挡的颗粒会掉落到滤芯壳体内部的底部，无论是前端的过滤端还是后端的过滤端，均能够受到均匀的摆动效果，进而让各个位置的反冲效果都能够形成，提高本发明的实用效果。

经多挡板滤芯结构反冲后的颗粒会落于滤芯壳体内部的底部，此时采用常规的气吹方式难以将底部被晃下来的颗粒抽走，颗粒会被封闭板或者外环挡板挡住，因此，本发明在多挡板滤芯结构的基础上又设置了外底抽离结构，从而能够通过弹性管将滤芯壳体内部底部的颗粒抽吸到固定座中，经快速接头引渡到外部，且由于弹性管的弹性设置，可根据滤芯壳体的位移发生形变，从而能够实现动态抽料，将倾斜的滤芯壳体底部的颗粒抽出，相比于传统的反冲，斜底抽吸的方式效果更好。

在现有的腐蚀性气体的传输管道中，通常会通过外布惰性气体的方式来减小避免管道泄漏或者缩小管道泄漏造成的隐患，但是实际上整段管道的长度非常长，一旦发生泄漏，不仅泄漏的点位不好探寻，同时还需要暂停充装，将管道的气体全部抽出后再进行检测，整个步骤耗时很长，非常的繁琐，因此，本发明通过设置的换向导流结构，在发生泄漏之后，区别于现有的阀门封闭管道的方式，直接通过翻转反向的第一翻转导板流通至翻转件内，再经翻转件输入中继管中后，从第二翻转板输出，无需设置多余的管道以及阀门，可直接将管道以及封闭件自身作为外置的导流结构，从而无需停机修复，在检测到管道的泄漏点之后即可立即将三氟化磷液体的流通路线切换至沿着中继管的位置流动，从而可达到不停机即可检修的目的，且能够应付腐蚀流体，无需应用专门的防腐蚀结构。

在检测是否防漏时，为了实现整段管道全区域的快速检测，能够快速、准确的判断是否发生泄漏，本发明通过设置的防漏检测结构，首先在整个管道的外侧套设具有一定弹性的封闭套，并且通过张力感应器测试封闭套的张力，在封闭套被腐蚀崩解之时其张力会发生变化，从而能够实时判断出管道已经发生泄漏，进而及时进行漏点的检测以及管道的切换。

在判断出管道发生泄漏之后，由于整段管道的长度较长，依靠人工逐步排查的话较为的不现实，因此现有技术常用的是间隔设置一些检测的结构，但是这样多段设置的话会导致几米的管道上设置有多组检测结构，检测成本十分高，检测数据十分冗杂，因此，本发明通过设置的漏点检测结构，通过在外包覆管的外侧滑动设置第一漏点检测器与第二漏点检测器，泄漏点溅射的液体会不断冲刷到外包覆管的内壁，从而能够让滑动中的第一漏点检测器与第二漏点检测器检测到泄漏点位置对应的外包覆管的振动，从而能够精准、快速的判断到长距离管道泄漏时的泄漏点，无需进行单段多个的检测结构设置，仅需要设置一个即可。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1是本发明的结构示意图。

图2是本发明外壳体与输送管、输液管连接的结构示意图。

图3是本发明图2的结构示意图。

图4是本发明图3中A-A的剖面图。

图5是本发明图3中A-A的等轴侧剖面图。

图6是本发明多挡板滤芯结构的结构示意图。

图7是本发明摇摆件的结构示意图。

图8是本发明外底抽离结构的结构示意图。

图9是本发明输送管、外包覆管立体的结构示意图(第一视角)。

图10是本发明输送管、外包覆管立体的结构示意图(第二视角)。

图11是本发明图10的俯视图。

图12是本发明图11中B-B处的剖面图。

图13是本发明图12的左视结构示意图。

图14是本发明换向导流结构的结构示意图。

图15是本发明漏点检测结构的结构示意图。

图中：

外壳体1、进料端101、出料端102、凸台103、滤芯壳体2、横连接架201、安装架202、往复反冲组件3、摇摆件301、稳固头3011、限位腔管3012、弹簧3013、导座302、多挡板滤芯结构4、第一进料滤筒401、第一封闭板402、第一过滤环板403、第二进料滤筒404、外环挡板405、第二封闭板406、第二过滤环板407、滞留架408、第一滞留件4081、内斜轴40801、外斜轴40802、第二滞留件4082、出料滑管409、外底抽离结构5、固定座501、安装座5011、限位座5012、弹性管502、对接管5021、波纹管5022、衔接管5023、输送管10、外包覆管20、半弧段21、偏心段22、第一翻转导板31、圆形板311、进液槽312、配合套筒313、翻转件32、换向导管321、封堵头322、转动电机323、活动导通件33、中继管34、主管体341、固定杆342、第二翻转板35、防漏检测结构40、封闭套41、张力感应器42、漏点检测结构50、第一漏点检测器51、第二漏点检测器52、滑动架521、振动传感器522、第一检测板53、弧形臂54、充装结构90、充装管91、流量传感器92、定量阀门93。

具体实施方式

为使本发明实施方式，都属于本发明保护的范围。因此，以下对在附图中提供的本发明的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施方式。基于本发明中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施方式中的附图，对本发明实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本发明一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本发明中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

参照图1～图15所示，一种三氟化磷自动充装设备，包含用于输送三氟化磷液体的输送管10，所述输送管10的外侧套设有一外包覆管20，所述外包覆管20与输送管10之间的间隙填充有惰性气体，所述输送管10的末端连接一外壳体1的进料端101，所述外壳体1远离进料端的一侧设置有出料端102，所述进料端101与输液管相接，所述出料端102与充装结构90相接，所述外壳体1的内部还设置有一滤芯壳体2，所述三氟化磷自动充装设备还包括：换向导流结构，包含设置在所述输送管10内侧的第一翻转导板31与第二翻转板35，所述第一翻转导板31与第二翻转板35的设置方向相反并且互相对称，所述第一翻转导板31与第二翻转板35的顶部连接有贯穿输送管10、外包覆管20的翻转件32，所述翻转件32上均设置有活动导通件33，两个所述活动导通件33之间连接有一中继管34；防漏检测结构40，包含套设在所述输送管10外侧的封闭套41，两个所述翻转件32上均设置有张力感应器42，所述张力感应器42贴合在封闭套41的外侧面且与翻转件32的动力端电连接，当张力感应器42检测到封闭套41的张力受到变化时，判断所述输送管10发生泄漏，进而让翻转件32旋转至与活动导通件33相通，让所述三氟化磷液体沿着中继管34继续传输；漏点检测结构50，所述外包覆管20由半弧段21以及偏心段22组成，所述半弧段21位于输送管10的上端，所述偏心段22位于输送管10的下端，所述漏点检测结构50包含滑动设置在半弧段21外侧的第一漏点检测器51，所述偏心段22的外侧滑动设置有第二漏点检测器52，当所述三氟化磷液体泄漏时，会溅射到半弧段21或者偏心段22上并对半弧段21或者偏心段22造成振动，被所述第一漏点检测器51或者第二漏点检测器52检测到；往复反冲组件3，所述外壳体1的内侧设置有若干组凸台103，所述往复反冲组件3包含固接在凸台103上的摇摆件301，所述摇摆件301远离凸台103的一端连接在滤芯壳体2上，所述滤芯壳体2的外侧固接有若干组与外壳体1内壁滑动配合的导座302，所述滤芯壳体2内通入流体时滤芯壳体2往流体流动方向一侧的摇摆件301挤压，当流体断流后，所述滤芯壳体2在摇摆件301的作用下左右摆动；多挡板滤芯结构4，设置在所述滤芯壳体2内，所述滤芯壳体2为菱形结构，所述多挡板滤芯结构4包含一与进料端101活动相接的第一进料滤筒401，所述第一进料滤筒401与第一封闭板402连接，所述第一封闭板402的外侧固接有第一过滤环板403，所述第一封闭板402的后侧连接有第二进料滤筒404，所述第二进料滤筒404中部位置的外侧连接一外环挡板405，所述第二进料滤筒404的末端连接有第二封闭板406，所述第二封闭板406的外侧固接有第二过滤环板407，所述滤芯壳体2与出料端102相通，所述菱形结构短的对称轴的内侧位置还设置有一滞留架408，所述流体流经菱形结构的中部位置后有部分颗粒粘附在滞留架408上，所述滤芯壳体2的另一端通过一出料滑管409与出料端102活动相接；外底抽离结构5，所述菱形结构的下端间隔置有若干横连接架201，所述外底抽离结构5包含固接在外壳体1内部底部的固定座501，所述固定座501的上端设置有若干弹性管502，所述固定座501的下端设置有若干快速接头，所述快速接头对接抽吸结构。

在充装时，打开定量阀门93，将经过过滤的三氟化磷液体通过充装管91灌入钢瓶中，并且通过流量传感器92时刻监测充装量。

现有的过滤器在过滤时，会通过逐步增设过滤板或者滤膜的数量、精度来提高流体过滤的精度，这样虽然能够提升过滤的精度，但是在反冲处理的阶段，末端的反冲结构在冲击至前端时，其冲力已经十分小了，从而导致末端的滤板或者滤膜被清理的较为干净，而前端以及中段的滤板或者滤膜的反冲效果极差，在清理后的利用效率较低，因此，本发明通过设置的多挡板滤芯结构4，将过滤的区域分为第一进料滤筒401、第一过滤环板403、第二进料滤筒404、第二过滤环板407，让流入过滤器的三氟化磷能够至少经过四层逐渐提高精度的过滤层的过滤，并且单次的过滤面积相较于现有的过滤层的面积较小，从而实现多次、小面积的过滤，在反冲阶段时对反冲介质的影响较小，反冲效果更佳。

在第二进料滤筒404的位置中，三氟化磷中的颗粒会被滞留架408拦截，因此，本实施例的所述第二进料滤筒404的长度为第一进料滤筒401的两倍，所述外环挡板405的两端分别延伸到滤芯壳体2短的对称轴的顶点上，第二进料滤筒404的长度需设置的较长，为第一进料滤筒401的两倍，从而在被外环挡板405分隔后的单段的第二进料滤筒404的长度实际上与第一进料滤筒401相等，在过滤时起到近似的过滤作用。

在滞留架408的过滤留滞过程中，其共分为两部分，分别于外环挡板405的左侧与右侧，具体的，所述滞留架408包含设置在外环挡板405左侧的第一滞留件4081以及设置在外环挡板405右侧的第二滞留件4082，所述第一滞留件4081与第二滞留件4082的结构相同，且所述第一滞留件4081的比例为第二滞留件4082的1.5倍，虽然设置的位置不同，但是结构组成是相同的，且由于第一滞留件4081所处的区域较先接触三氟化磷，故第一滞留件4081的设置比例大于第二滞留件4082。

第一滞留件4081在对颗粒进行留滞时，所述第一滞留件4081包含若干组固接在滤芯壳体2内部底部的内斜轴40801与外斜轴40802，所述内斜轴40801与外斜轴40802形成X型结构，其是通过内斜轴40801与外斜轴40802组成的类似织网的结构，从而将颗粒留在其内，而在受到往复反冲组件3的振摆之后，颗粒又能向下掉，从而达到留滞颗粒以及快速回收颗粒的效果。

而现有的反冲方式一般都是通入水进行反冲，但是由于本案的过滤器为卧式的，若是通入水进行反冲，当水残留在过滤器内时，通入三氟化磷则容易导致剧烈反应，因此，本发明在多挡板滤芯结构4的基础上设置了往复反冲组件3，当三氟化磷冲入滤芯壳体2内时，会将整个滤芯壳体2往流体流动的方向推动，使右侧的摇摆件301被挤压，而当三氟化磷的供给源被关闭之后，滤芯壳体2失去压力，摇摆件301会开始复位，并且自身开始左右摆动，带动整个滤芯壳体2左右摆动，此时在进料端101的位置将残余的三氟化磷往外抽，从而在外抽力以及滤芯壳体2左右摆动力的作用下，多挡板滤芯结构4上被阻挡的颗粒会掉落到滤芯壳体2内部的底部，无论是前端的过滤端还是后端的过滤端，均能够受到均匀的摆动效果，进而让各个位置的反冲效果都能够形成，提高本发明的实用效果。

在摇摆件301摆动时，在通入的三氟化磷液体失去压力之后需要进行复位，同时其带动滤芯壳体2晃动时也需要持续的摇摆力，但是，若仅通过弹簧来支撑、缓冲滤芯壳体2，不足以支撑实心重量的滤芯，因此，本实施例的所述摇摆件301包含一与凸台103连接的稳固头3011，所述稳固头3011往滤芯壳体2一侧的方向上滑动套接有一限位腔管3012，所述稳固头3011的外侧还套接有一弹簧3013，所述弹簧3013的一端连接在凸台103上，所述凸台103的另一端固接到限位腔管3012上，摇摆件301是通过限位腔管3012与稳固头3011的配合，再将弹簧3013装载到稳固头3011的外侧，以限位腔管3012与稳固头3011的滑动配合作为支撑端，弹簧3013与稳固头3011的配合作为位移端，从而实现既有稳固支撑，又能够提供往复支撑力的效果。

为了让滤芯壳体2与摇摆件301衔接的更加稳定，所述滤芯壳体2的两端分别设置有安装架202，所述安装架202与限位腔管3012固接，从而在摇摆件301动作时经安装架202带动滤芯壳体2动作。

为了在滤芯壳体2发生滑动时能够按照始终沿着固定的路径，不容易影响到限位腔管3012与稳固头3011、弹簧3013与稳固头3011的配合，本实施例的所述外壳体1的内壁开设有若干燕尾槽，所述导座302为燕尾型，所述导座302与燕尾槽啮合，通过在外壳体1的内壁开设燕尾槽，继而将导座302设置为燕尾型，从而让滤芯壳体2在移动的时候始终能够保持在直线，让其在移动的时候更加的平稳。

经多挡板滤芯结构4反冲后的颗粒会落于滤芯壳体2内部的底部，此时采用常规的气吹方式难以将底部被晃下来的颗粒抽走，颗粒会被封闭板或者外环挡板挡住，因此，本实施例在多挡板滤芯结构4的基础上又设置了外底抽离结构5，从而能够通过弹性管502将滤芯壳体2内部底部的颗粒抽吸到固定座501中，经快速接头引渡到外部，且由于弹性管502的弹性设置，可根据滤芯壳体2的位移发生形变，从而能够实现动态抽料，将倾斜的滤芯壳体2底部的颗粒抽出，相比于传统的反冲，斜底抽吸的方式效果更好。

为了更好的适配并且对滤芯壳体2的菱形结构进行限位，本实施例的所述固定座501包含固定在外壳体1内部底部的安装座5011，所述安装座5011的上方设置有角型的限位座5012，所述限位座5012位于滤芯壳体2的底部，限位座5012的两端可对滑动中的滤芯壳体2进行限位，从而可硬性限位滤芯壳体2。

弹性管502在滤芯壳体2的移动过程中会发生些许的变形，但其本身是固定不动的，因此，所述弹性管502包含一与快速接头相通的对接管5021，所述对接管5021的上方连接一波纹管5022，所述波纹管5022的顶部连接一插接至横连接架201的衔接管5023，对接管5021的位置始终不动，而波纹管5022会随着滤芯壳体2的位置变换而不断扭转，即便是对于具备活动能力的滤芯壳体2也能够将其底部沉淀下来的颗粒抽走。

由于输送管组传输的液体为三氟化磷液体，故无论是在输送管10的内部以及输送管10与外包覆管20之间的间隙中，在设置电性结构时需要特别注意防腐，并且不能采用液压结构，以免发生污染。

在现有的腐蚀性气体的传输管道中，通常会通过外布惰性气体的方式来减小避免管道泄漏或者缩小管道泄漏造成的隐患，但是实际上整段管道的长度非常长，一旦发生泄漏，不仅泄漏的点位不好探寻，同时还需要暂停充装，将管道的气体全部抽出后再进行检测，整个步骤耗时很长，非常的繁琐，因此，本发明通过设置的换向导流结构，在发生泄漏之后，区别于现有的阀门封闭管道的方式，直接通过翻转反向的第一翻转导板31流通至翻转件32内，再经翻转件32输入中继管34中后，从第二翻转板35输出，无需设置多余的管道以及阀门，可直接将管道以及封闭件自身作为外置的导流结构，从而无需停机修复，在检测到管道的泄漏点之后即可立即将三氟化磷液体的流通路线切换至沿着中继管34的位置流动，从而可达到不停机即可检修的目的，且能够应付腐蚀流体，无需应用专门的防腐蚀结构。

第一翻转导板31与第二翻转板35相比于正常的阻隔板的区别在于，所述第一翻转导板31与第二翻转板35结构大小相同，所述第一翻转导板31包含一与输送管10内径等径的圆形板311，所述圆形板311中空设置，所述圆形板311的一侧开设有一进液槽312，所述圆形板311的顶部通过一配合套筒313与翻转件32相通，第一翻转导板31与第二翻转板35是直接作为管道使用，在活动导通件33打开之后，液体直接通过第一翻转导板31流入，经中继管34之后再从第二翻转板32流出，无需在单独设置管道，减少配件的使用，从而达到减少泄漏点位的目的。

翻转件32不仅是作为翻转带动第一翻转导板31、第二翻转板35的动力结构，其还作为传输三氟化磷液体的途径，本实施例的所述翻转件32包含一插接至配合套筒313内的换向导管321，所述换向导管321的顶部设置有一封堵头322，所述封堵头322的顶部设置有一转动电机323，所述转动电机323转动时带动换向导管321转动，通过旋转换向导管321的方式，能够切换换向导管321与中继管34的通断状态，且封堵头322能够保护三氟化磷浸入转动电机323中，从而无需阀门即可实现管路的切换。

为了对中继管34形成固定，避免中继管34阻碍到漏点检测结构50的使用，同时也避免中继管34悬空，所述中继管34为一工型结构，所述中继管34包含一用于传输三氟化磷液体的主管体341，所述主管体341的两端分别设置有与两个换向导管321相接的固定套筒342，所述转动电机323的安装端固定至主管体341的顶部，从而可以实现主管体341、转动电机323的固定。

活动导通件33是作为衔接主管体341与换向导管321的结构，本实施例的所述换向导管321外侧面的上端开设有一对流孔，所述活动导通件33为一三通管，所述活动导通件33的下端与换向导管321相通，所述活动导通件33的侧向与主管体341相通，所述活动导通件33的上端被封堵头322封闭，通过在换向导管321上开孔的方式，在翻转件32翻转换向导管321时，让换向导管321的对流孔与活动导通件33对接，从而实现三氟化磷液体流向的切换。

在检测是否防漏时，为了实现整段管道全区域的快速检测，能够快速、准确的判断是否发生泄漏，本发明通过设置的防漏检测结构40，首先在整个管道的外侧套设具有一定弹性的封闭套41，并且通过张力感应器42测试封闭套41的张力，在封闭套41被腐蚀崩解之时其张力会发生变化，从而能够实时判断出管道已经发生泄漏，进而及时进行漏点的检测以及管道的切换。

其中，本实施例所用的张力感应器42均进行防腐涂层的处理，可以短暂的浸没在三氟化磷液体中，而在每次修复管道之后需要调整调试，在本实施例中，所述张力感应器42固定在换向导管321的外侧，当所述换向导管321未换向时，所述张力感应器42贴合在封闭套41的外侧面。

在判断出管道发生泄漏之后，由于整段管道的长度较长，依靠人工逐步排查的话较为的不现实，因此现有技术常用的是间隔设置一些检测的结构，但是这样多段设置的话会导致几米的管道上设置有多组检测结构，检测成本十分高，检测数据十分冗杂，因此，本发明通过设置的漏点检测结构50，通过在外包覆管20的外侧滑动设置第一漏点检测器51与第二漏点检测器52，泄漏点溅射的液体会不断冲刷到外包覆管20的内壁，从而能够让滑动中的第一漏点检测器51与第二漏点检测器52检测到泄漏点位置对应的外包覆管20的振动，从而能够精准、快速的判断到长距离管道泄漏时的泄漏点，无需进行单段多个的检测结构设置，仅需要设置一个即可。

在设置外包覆管20时，外包覆管20不能采用传统的管道结构，若将外包覆管20设置的过小，则可容纳的惰性气体少，可容纳漏出的液体少，若将外包覆管20设置的过大，则检测的液体在触碰到外包覆管20的内壁时形成的振动较小，难以被第一漏点检测器51与第二漏点检测器52检测到，因此，本发明将外包覆管20设置为半弧段21以及偏心段22，半弧段21的设计让上半部分的输送管10在泄漏时能够快速准确的被定位到，而下半段的偏心段22能够为泄漏溶液提供一定的容积。

虽然通过设置了偏心段22提高了整个管道间隙的容积，但是也容易让下端的泄漏难以被检测到，因此，本发明在第二漏点检测器52在偏心段22的内侧设置有一高度较高的第一检测板53，在输送管10下半部分泄漏时会溅射在第一检测板53上，从而弥补偏心段22的外拓空间，让第二漏点检测器52能够达到与第一漏点检测器51相同的检测效果。

为了让第一漏点检测器51与第二漏点检测器52实现同步的效果，所述第一漏点检测器51与第二漏点检测器52之间通过两个弧形臂54连接，从而在第一漏点检测器51或者第二漏点检测器52动作之时，能够带动另一结构活动，在本实施例中，通过手动的方式驱动第一漏点检测器51与第二漏点检测器52，也可采用加装电动驱动结构的方式运行。

第二漏点检测器52与第一漏点检测器51的结构是相同的，在漏点检测器检测的过程中，所述第二漏点检测器52包含一与偏心段22外侧滑动连接的滑动架521，所述滑动架521靠近偏心段22的一侧设置有一贴合在半弧段21外侧壁的振动传感器522，通过振动传感器522检测半弧段21以及偏心段22所受的振动，并形成一条振动曲线，通过取峰值的方式结合行进时间、位移可以得出泄漏点的具体位置，可以快速定位到泄漏点。

为了让第一检测板53的设置不影响第二漏点检测器52的检测，所述第一检测板53为弧形结构，所述弧形结构的内部中空设置，可通过弧形结构的中空设置将振动精准的传导到振动传感器522的位置上，并不会由于增设了第一检测板53而影响到检测数据。

以上所述仅为本发明的优选实施方式而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种三氟化磷自动充装设备，其特征在于，包含用于输送三氟化磷液体的输送管（10），所述输送管（10）的外侧套设有一外包覆管（20），所述外包覆管（20）与输送管（10）之间的间隙填充有惰性气体，所述输送管（10）的末端连接一外壳体（1）的进料端（101），所述外壳体（1）远离进料端的一侧设置有出料端（102），所述进料端（101）与输液管相接，所述出料端（102）与充装结构（90）相接，所述外壳体（1）的内部还设置有一滤芯壳体（2），所述三氟化磷自动充装设备还包括：

换向导流结构，包含设置在所述输送管（10）内侧的第一翻转导板（31）与第二翻转板（35），所述第一翻转导板（31）与第二翻转板（35）的设置方向相反并且互相对称，所述第一翻转导板（31）与第二翻转板（35）的顶部连接有贯穿输送管（10）、外包覆管（20）的翻转件（32），所述翻转件（32）上均设置有活动导通件（33），两个所述活动导通件（33）之间连接有一中继管（34）；

防漏检测结构（40），包含套设在所述输送管（10）外侧的封闭套（41），两个所述翻转件（32）上均设置有张力感应器（42），所述张力感应器（42）贴合在封闭套（41）的外侧面且与翻转件（32）的动力端电连接，当张力感应器（42）检测到封闭套（41）的张力受到变化时，判断所述输送管（10）发生泄漏，进而让翻转件（32）旋转至与活动导通件（33）相通，让所述三氟化磷液体沿着中继管（34）继续传输；

漏点检测结构（50），所述外包覆管（20）由半弧段（21）以及偏心段（22）组成，所述半弧段（21）位于输送管（10）的上端，所述偏心段（22）位于输送管（10）的下端，所述漏点检测结构（50）包含滑动设置在半弧段（21）外侧的第一漏点检测器（51），所述偏心段（22）的外侧滑动设置有第二漏点检测器（52），当所述三氟化磷液体泄漏时，会溅射到半弧段（21）或者偏心段（22）上并对半弧段（21）或者偏心段（22）造成振动，被所述第一漏点检测器（51）或者第二漏点检测器（52）检测到；

往复反冲组件（3），所述外壳体（1）的内侧设置有若干组凸台（103），所述往复反冲组件（3）包含固接在凸台（103）上的摇摆件（301），所述摇摆件（301）远离凸台（103）的一端连接在滤芯壳体（2）上，所述滤芯壳体（2）的外侧固接有若干组与外壳体（1）内壁滑动配合的导座（302），所述滤芯壳体（2）内通入流体时滤芯壳体（2）往流体流动方向一侧的摇摆件（301）挤压，当流体断流后，所述滤芯壳体（2）在摇摆件（301）的作用下左右摆动；

多挡板滤芯结构（4），设置在所述滤芯壳体（2）内，所述滤芯壳体（2）为菱形结构，所述多挡板滤芯结构（4）包含一与进料端（101）活动相接的第一进料滤筒（401），所述第一进料滤筒（401）与第一封闭板（402）连接，所述第一封闭板（402）的外侧固接有第一过滤环板（403），所述第一封闭板（402）的后侧连接有第二进料滤筒（404），所述第二进料滤筒（404）中部位置的外侧连接一外环挡板（405），所述第二进料滤筒（404）的末端连接有第二封闭板（406），所述第二封闭板（406）的外侧固接有第二过滤环板（407），所述滤芯壳体（2）与出料端（102）相通，所述菱形结构短的对称轴的内侧位置还设置有一滞留架（408），所述流体流经菱形结构的中部位置后有部分颗粒粘附在滞留架（408）上，所述滤芯壳体（2）的另一端通过一出料滑管（409）与出料端（102）活动相接；

外底抽离结构（5），所述菱形结构的下端间隔置有若干横连接架（201），所述外底抽离结构（5）包含固接在外壳体（1）内部底部的固定座（501），所述固定座（501）的上端设置有若干弹性管（502），所述固定座（501）的下端设置有若干快速接头，所述快速接头对接抽吸结构。

2.根据权利要求1所述的一种三氟化磷自动充装设备，其特征在于，所述第一翻转导板（31）与第二翻转板（35）结构大小相同，所述第一翻转导板（31）包含一与输送管（10）内径等径的圆形板（311），所述圆形板（311）中空设置，所述圆形板（311）的一侧开设有一进液槽（312），所述圆形板（311）的顶部通过一配合套筒（313）与翻转件（32）相通。

3.根据权利要求2所述的一种三氟化磷自动充装设备，其特征在于，所述翻转件（32）包含一插接至配合套筒（313）内的换向导管（321），所述换向导管（321）的顶部设置有一封堵头（322），所述封堵头（322）的顶部设置有一转动电机（323），所述转动电机（323）转动时带动换向导管（321）转动。

4.根据权利要求1所述的一种三氟化磷自动充装设备，其特征在于，所述偏心段（22）的内侧设置有第一检测板（53），泄漏点泄漏的所述三氟化磷液体会溅射到半弧段（21）的内壁或者第一检测板（53）上，且所述第一漏点检测器（51）或者第二漏点检测器（52）在滑动到泄漏的位置后会检测到半弧段（21）或者第一检测板（53）受到的冲击力，所述第一漏点检测器（51）与第二漏点检测器（52）之间通过两个弧形臂（54）连接。

5.根据权利要求4所述的一种三氟化磷自动充装设备，其特征在于，所述第二漏点检测器（52）包含一与偏心段（22）外侧滑动连接的滑动架（521），所述滑动架（521）靠近偏心段（22）的一侧设置有一贴合在半弧段（21）外侧壁的振动传感器（522），所述第一检测板（53）为弧形结构，所述弧形结构的内部中空设置。

6.根据权利要求1所述的一种三氟化磷自动充装设备，其特征在于，所述摇摆件（301）包含一与凸台（103）连接的稳固头（3011），所述稳固头（3011）往滤芯壳体（2）一侧的方向上滑动套接有一限位腔管（3012），所述稳固头（3011）的外侧还套接有一弹簧（3013），所述弹簧（3013）的一端连接在凸台（103）上，所述凸台（103）的另一端固接到限位腔管（3012）上。

7.根据权利要求1所述的一种三氟化磷自动充装设备，其特征在于，所述滞留架（408）包含设置在外环挡板（405）左侧的第一滞留件（4081）以及设置在外环挡板（405）右侧的第二滞留件（4082），所述第一滞留件（4081）与第二滞留件（4082）的结构相同，且所述第一滞留件（4081）的比例为第二滞留件（4082）的1.5倍。

8.根据权利要求7所述的一种三氟化磷自动充装设备，其特征在于，所述第一滞留件（4081）包含若干组固接在滤芯壳体（2）内部底部的内斜轴（40801）与外斜轴（40802），所述内斜轴（40801）与外斜轴（40802）形成X型结构。

9.根据权利要求1所述的一种三氟化磷自动充装设备，其特征在于，所述固定座（501）包含固定在外壳体（1）内部底部的安装座（5011），所述安装座（5011）的上方设置有角型的限位座（5012），所述限位座（5012）位于滤芯壳体（2）的底部。

10.根据权利要求9所述的一种三氟化磷自动充装设备，其特征在于，所述弹性管（502）包含一与快速接头相通的对接管（5021），所述对接管（5021）的上方连接一波纹管（5022），所述波纹管（5022）的顶部连接一插接至横连接架（201）的衔接管（5023）。