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CN118922343A - 搬送系统 - Google Patents

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CN118922343A
CN118922343A CN202380028535.7A CN202380028535A CN118922343A CN 118922343 A CN118922343 A CN 118922343A CN 202380028535 A CN202380028535 A CN 202380028535A CN 118922343 A CN118922343 A CN 118922343A
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route
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北村亘
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Murata Machinery Ltd
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Murata Machinery Ltd
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Abstract

搬送系统具备搬送车和控制装置。搬送车通过沿着轨道行驶来搬送物品。控制装置控制搬送车。在搬送车的目的地中包含处理位置和保管位置。控制装置在使对象路径关闭时，执行事前处理和路径关闭处理。事前处理包含以下处理中的至少一个：(1)仅使一部分搬送车通过对象路径的处理；(2)使用搬送车使位于封锁区域的物品退避至有效区域的处理；(3)允许将处于封锁区域的处理位置设为目的地的搬送且禁止将处于封锁区域的所述保管位置设为目的地的搬送的处理。路径关闭处理是在事前处理之后进行的处理，是禁止搬送车在对象路径行驶的处理。

Description

搬送系统
技术领域
本发明主要涉及利用搬送车搬送物品的搬送系统。
背景技术
专利文献1的搬送系统具备行驶路径、沿着行驶路径行驶的搬送车和控制搬送车的控制装置。控制装置能够对行驶路径的一部分执行路径关闭(route down)处理。控制装置控制搬送车使得其不从路径关闭后的行驶路径通过。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：国际公布第2010/100834号
发明内容
发明所要解决的课题
在执行路径关闭处理的情况下，伴随路径关闭处理需要各种各样的处理。例如，有时需要变更搬送车的路径的处理。另外，有时需要使与路径关闭后的行驶路径相关联的搬送埠目标地一并关闭的处理。因此，在执行路径关闭处理时控制装置的处理负荷变高。
本发明是鉴于以上情况做出的，其主要目的在于提供一种能够抑制执行路径关闭处理时的控制装置的处理负荷的搬送系统。
用于解决课题的方案及效果
本发明所要解决的课题如上所述，接下来说明用于解决该课题的方案及其效果。
根据本发明的观点，提供以下结构的搬送系统。即，搬送系统具备搬送车和控制装置。所述搬送车通过沿着轨道行驶来搬送物品。所述控制装置控制所述搬送车。在所述搬送车的目的地中包含处理位置和保管位置，其中所述处理位置是用于向处理装置交付所述物品的位置，所述保管位置是用于暂时保管所述物品的位置。所述控制装置在使从所述轨道上的多个路径选择出的路径即对象路径关闭(down)时，执行事前处理和路径关闭处理。事前处理包含以下处理中的至少一个：(1)仅使一部分所述搬送车通过所述对象路径的处理；(2)使用所述搬送车使位于封锁区域的所述物品退避至有效区域的处理，其中所述封锁区域是预定通过所述对象路径的关闭而封锁的区域，所述有效区域是在所述对象路径的关闭前后不封锁的区域；(3)允许将处于所述封锁区域的所述处理位置设为目的地的搬送且禁止将处于所述封锁区域的所述保管位置设为目的地的搬送的处理。路径关闭处理是在所述事前处理之后进行的处理，是禁止所述搬送车在所述对象路径行驶的处理。
由此，能够阶段性地执行对象路径的封锁。因此，能够抑制控制装置的处理负荷。
在所述的搬送系统中，优选设为以下结构。即，所述控制装置进行仅使一部分所述搬送车通过所述对象路径的处理。所述控制装置在存在避开所述对象路径的绕行路径的情况下使所述搬送车以不通过所述对象路径的路径行驶至目的地。所述控制装置在不存在避开所述对象路径的绕行路径的情况下使所述搬送车以通过所述对象路径的路径行驶至目的地。
由此，能够降低搬送车通过对象路径的频度，且在必须通过对象路径的情况下允许通过对象路径。
在所述搬送系统中，优选的是，在所述事前处理中，包含使用所述搬送车使位于所述封锁区域的所述物品退避至所述有效区域的处理，所述控制装置在对于要从所述封锁区域退避到所述有效区域的所有物品确保了退避目标地后，使所有所述物品从所述封锁区域退避到所述有效区域。
由此，能够在设定了退避目标地后使物品退避，因此能够使物品顺利地退避。
在所述搬送系统中，优选的是，所述物品是收容搬送对象物的容器。
由此，不易在封锁区域残留容器，因此能够抑制路径关闭处理后的搬送效率降低。
附图说明
图1是本发明的一个实施方式的搬送系统的概略俯视图。
图2是搬送系统的主视图。
图3是表示对象路径设定后的封锁区域和有效区域的概略俯视图。
图4是表示从接收路径关闭预约处理的指示起到执行路径关闭处理为止的处理的流程图。
图5是表示第1事前处理、第2事前处理、路径关闭处理的内容的表。
具体实施方式
接下来，参照附图说明本发明的实施方式。
图1所示的搬送系统1设于半导体制造工厂或仓库等设施，搬送物品50。搬送系统1搬送的物品50是收容晶圆(半导体晶圆)的容器。具体地说，容器是FOUP(Front-OpeningUnified Pod：前开式晶圆传送盒)或晶圆盒。此外，物品50也可以是收容标线片的标线片盒。另外，在搬送系统1设于仓库的情况下，物品50是仓库中保管的商品或零件等。
如图1及图2所示，搬送系统1具备管理控制装置(控制装置)10、搬送车20和轨道30。
管理控制装置10是具有CPU等运算装置和HDD、SSD或闪存等存储装置的计算机。管理控制装置10通过读出存储装置中存储的程序并执行，能够执行与物品50的搬送及处理相关的各种控制。管理控制装置10基于从上级控制装置接收到的信息而生成搬送指令，并将搬送指令分配给搬送车，由此对搬送车20指示物品50的搬送。
搬送车20是OHT(Overhead Hoist Transfer)。搬送车20是沿着吊于顶棚的轨道30以无人方式行驶并搬送物品50的车辆。如图2所示，搬送车20具备通信装置21、驱动控制装置22、马达23、车轮24和搬送部25。
通信装置21是用于与外部进行无线通信的无线通信模块。通信装置21能够与控制搬送系统1的管理控制装置10进行通信。驱动控制装置22是具有CPU等运算装置和HDD、SSD或闪存等存储装置的计算机。驱动控制装置22通过读出存储装置中存储的程序并执行，能够执行与搬送车20相关的各种控制。驱动控制装置22例如基于从管理控制装置10接收到的搬送指令使马达23工作。马达23使用经由轨道30供给的电力，产生用于使搬送车20行驶的驱动力。马达23产生的驱动力经由传递机构传递到车轮24。由此，搬送车20沿着轨道30行驶。搬送部25具有能够切换例如保持物品50的状态和解除对物品50的保持的状态的手部，能够实现物品50的收取及交付。
在半导体制造工厂中设有保管架31及处理装置101。保管架31及处理装置101配置于轨道30的附近。搬送车20能够将物品50交付到保管架31及处理装置101，从保管架31及处理装置101收取物品50。
保管架31是暂时保管物品50的部分。本实施方式的保管架31在俯视下配置于与轨道30相邻的位置。保管架31暂时保管等待处理装置101的处理的物品50，暂时保管要搬送到其他地点的物品50。将用于供搬送车20向保管架31交付物品50的位置称为保管位置。将沿着轨道30行驶的方向设为前后方向，将俯视下与前后方向正交的方向设为左右方向。保管架31例如配置于轨道30的左右方向外侧。
处理装置101具有从搬送车20收取物品50的装载埠(处理位置)102。处理装置101取入由搬送车20置于装载埠102的物品50，对收容于物品50的晶圆进行处理(例如用于制造半导体器件的一个工序)。装载埠102在俯视下配置于与轨道30重叠的位置，但也可以配置于不同位置。
此外，也可以以与处理装置101相邻的方式设有移载辅助装置。辅助装置暂时保管等待处理装置101的处理的物品50。移载辅助装置取入从搬送车20交付的物品50并暂时保管。并且，在成为处理装置101能够进行处理的状态后，移载辅助装置将物品50交付到处理装置101。搬送车20向移载辅助装置交付物品50的位置是用于向处理装置101交付物品50的位置，因此相当于处理位置。
接下来，参照图3到图5，对路径关闭处理进行说明。
路径关闭处理是指例如以维护为目的而使轨道30的一部分关闭。作为维护的种类，存在例如轨道30的维护、与经由轨道30进行的馈电有关的维护。或者，在暂时停止管理控制装置10与搬送车20之间的通信或控制的情况下，使停止通信或控制的区域中所含的轨道30关闭。搬送车20无法在已关闭的路径行驶。详细地说，管理控制装置10设定搬送车20的目的地及路径，使得搬送车20不会在已关闭的路径行驶。以下，将作为要关闭的对象的路径称为“对象路径”。
接下来，对封锁区域和有效区域进行说明。在搬送系统1中，有时产生预定随着路径关闭处理的执行而封锁的区域(封锁区域)。在某个区域被封锁的情况下，无法使搬送车20从已封锁的区域行驶到其外侧，并且无法使搬送车20从已封锁的区域的外侧行驶到该已封锁的区域。例如，如图3所示，在存在两条对象路径的情况下，由两条对象路径包围的区域成为已封锁的区域。另一方面，将在路径关闭处理的执行前后双方均有效的区域(未封锁的区域)称为有效区域。
假设在管理控制装置10在接收到路径关闭处理的指示后立即执行了路径关闭处理的情况下，需要变更受到其影响的所有搬送车20的目的地或路径。因此，执行路径关闭处理时的管理控制装置10的处理负荷变高，其结果为，存在管理控制装置10进行的其他控制延迟的可能性。而且，在执行路径关闭处理时处于封锁区域的物品50在路径关闭处理的执行后无法使用。其结果为，存在晶圆的搬送效率降低的可能性。
在该方面，本实施方式的管理控制装置10在执行路径关闭处理之前执行事前处理。由此，能够使管理控制装置10的处理负荷分散。其结果为，能够降低管理控制装置10进行的其他控制的延迟。以下，对事前处理详细进行说明。
在需要进行路径关闭处理的情况下，管理者操作自身的终端或PC等，设定对象路径及开始时刻。由此，向管理控制装置10发送路径关闭预约处理的指示。管理者也可以直接对管理控制装置10进行操作来指示路径关闭预约处理。或者，还可以按照预先创建的日程来对管理控制装置10指示路径关闭预约处理。
管理控制装置10判断是否接收到路径关闭预约处理的指示(S101)。管理控制装置10在接收到路径关闭预约处理的指示的情况下，录入路径关闭处理的对象路径及开始时刻(S102)。
接着，管理控制装置10执行第1事前处理(S103)。在本实施方式中，事前处理分为第1事前处理和第2事前处理这两个阶段。如图5所示，第1事前处理包含“1.路径对策”、“2.物品的退避”和“3.搬送指令对策”。此外，进行第1事前处理的“1.路径对策”、“2.物品的退避”、“3.搬送指令对策”的顺序没有限定，也可以同时进行至少两个处理。
“1.路径对策”是用于阶段性禁止搬送车20在对象路径的行驶的处理。通过该频度降低，执行了路径关闭处理时受到影响的搬送车20的数量减少，因此能够抑制管理控制装置10的处理负荷。
在第1事前处理的“1.路径对策”中，使通过对象路径的代价(cost，成本)上升。代价是在进行路径探索时通常使用的参数。管理控制装置10探索使从出发地到目的地的代价最小这样的路径并对搬送车20设定。原则上，随着行驶距离变长而代价变大。另外，从不优选通过的位置通过的代价设定为比从其他位置通过的代价大的值。因此，通过使从对象路径通过的代价比从其他路径通过的代价大幅增大，能够使搬送车20通过对象路径的频度降低。
具体地说，在存在绕过对象路径的绕行路径的情况下，对搬送车20设定在绕行路径行驶的路径。另一方面，在不存在绕行路径的情况下，对搬送车20设定经由对象路径通向目的地的路径。另外，管理控制装置10将通过对象路径并从有效区域向封锁区域行驶的搬送车20设为监视对象并列入列表。该列表在第2事前处理中使用。
另外，在“1.路径对策”中使通过对象路径的代价上升的处理为一例，也能够置换为仅对一部分搬送车20允许通过对象路径的其他处理。例如，也可以进行允许将封锁区域内的地点设为目的地的搬送车20通过对象路径、禁止将封锁区域外的地点设为目的地的搬送车20通过对象路径的处理。
“2.物品的退避”是使位于封锁区域的物品退避到有效区域的处理。在使物品50位于封锁区域的状态下执行了路径关闭处理的情况下，可使用的物品50的数量减少，因此晶圆的搬送效率降低。而且，有时也需要录入物品50变得不可使用这一情况等，该情况下管理控制装置10的处理负荷变高。并且，在作业者将这些物品50搬运至有效区域的情况下，耗费劳力。在该方面，通过在执行路径关闭处理之前的期间使搬送车20将物品50移动至有效区域，在路径关闭处理后可使用的物品50的数量难以减少，因此能够维持晶圆的搬送效率。另外，能够抑制路径关闭处理时的管理控制装置10的处理负荷。另外，与人工搬运物品50的方法相比能够减少劳力。
在第1事前处理的“2.物品的退避”中，首先，确定位于封锁区域的物品50。管理控制装置10基于搬送车20的位置及物品50的位置，进行使用搬送车20搬送物品50的控制。因此，管理控制装置10能够基于该控制中使用的信息，确定位于封锁区域的物品50。接着，管理控制装置10确保与确定出的物品50的个数相同数量的退避目标地。退避目标地是处于有效区域的保管架31，是不存在其他物品50、且也未成为其他物品50的目的地的地点。在存在这种退避目标地的情况下，管理控制装置10通过封闭(block)该退避目标地而确保退避目标地。封闭是指设定为搬送车20不会放置其他物品50。
“3.搬送指令对策”是阶段性地减少将封锁区域设为出发地或目的地的搬送指令的处理。由此，执行了路径关闭处理时受到影响的搬送车20的数量减少，因此能够抑制管理控制装置10的处理负荷。
在第1事前处理的“3.搬送指令对策”中，允许全部搬送指令。换言之，在第1事前处理的前后，与搬送指令有关的条件相同。因此，管理控制装置10能够基于从上级的控制装置接收到的信息，生成出发地或目的地为任意位置的搬送指令并分配给搬送车20。
管理控制装置10在开始了第1事前处理的执行后，判断是否是向第2事前处理的转移时机(S104)。管理控制装置10在例如成为路径关闭处理的开始时刻的规定时间前的时间点，判断为向第2事前处理的转移时机。也可以取而代之，在第1事前处理中确保了所有物品50的退避目标地这一情况是向第2事前处理的转移条件。
管理控制装置10在判断为是第2事前处理的转移时机的情况下，执行第2事前处理(S105)。第2事前处理包含“1.路径对策”、“2.物品的退避”和“3.搬送指令对策”。此外，进行第2事前处理的“1.路径对策”、“2.物品的退避”和“3.搬送指令对策”的顺序没有限定。但是，优选在进行了“2.物品的退避”后，进行“3.搬送指令对策”。另外，也可以同时进行至少两个处理。
在第2事前处理的“1.路径对策”中，原则上禁止搬送车20在对象路径的行驶。对于允许搬送车20在对象路径的行驶，限定于在第1事前处理中创建的列表中记载的搬送车20的行驶。列表中记载的搬送车20由于位于封锁区域，所以在执行了路径关闭处理后变得无法运转。因此，允许搬送车20从封锁位置向有效位置移动。
此外，在并行进行第2事前处理的“1.路径对策”和“2.物品的退避”的情况下，允许用于进行“2.物品的退避”的搬送车20在对象路径的行驶。另外，在并行进行“1.路径对策”和“3.搬送指令对策”的情况下，允许用于进行“3.搬送指令对策”的搬送车20在对象路径的行驶。但是，也可以在“2.物品的退避”及“3.搬送指令对策”完成后执行“1.路径对策”。
管理控制装置10执行禁止在对象路径行驶的处理。并且，在发生了上述的允许事态的情况下，管理控制装置10通过进行取消处理或中止处理，暂时允许在对象路径的行驶。
在第2事前处理的“2.物品的退避”中，执行在第1事前处理中确保了退避目标地的物品50的退避。也就是说，在本实施方式中，在对第2事前处理中要退避的所有物品50确保了退避目标地之后，开始物品50的退避。具体地说，管理控制装置10对搬送车20指示位于封锁区域的物品50的回收和物品50向在第1事前处理中确保的退避目标地的搬送。在封锁区域的所有物品50的退避完成后，管理控制装置10对上级的控制装置通知该主旨。
在第2事前处理的“3.搬送指令对策”中，不允许将封锁区域的保管位置设为目的地的搬送指令。具体地说，管理控制装置10关闭或封闭与封锁区域的保管位置对应的地点(埠)，使得封锁区域的保管位置不会成为目的地。此外，允许将封锁区域的处理位置设为目的地的搬送指令。这是因为，由于半导体工厂的目的是由处理装置101对晶圆进行处理，所以物品50向处理位置的搬送的优先度高。在第2事前处理的“2.物品的退避”中，进行为了回收处于封锁区域的物品50而将保管位置设为目的地的搬送。因此，在第2事前处理中，优选在进行了“2.物品的退避”后进行“3.搬送指令对策”。
管理控制装置10在开始了第2事前处理的执行后，判断是否是向路径关闭处理的转移时机(S106)。管理控制装置10在例如成为路径关闭处理的开始时刻的时间点，判断为向路径关闭处理的转移时机。此外，在未设定路径关闭处理的开始时刻的情况下，在第2事前处理中所有物品50的退避完成这一情况可以是向路径关闭处理的转移条件。
管理控制装置10在判断为是路径关闭处理的转移时机的情况下，执行路径关闭处理(S107)。在路径关闭处理中，无例外地禁止在对象路径的行驶。而且，不允许将封锁位置设为出发地或目的地的所有搬送。具体地说，管理控制装置10通过将位于封锁区域的所有地点(埠)关闭或封闭，使得封锁区域不会成为搬送车20的出发地及目的地。通过以上，路径关闭处理完成。路径关闭处理持续进行直至接收到解除对象路径的关闭的其他指令。
如以上说明那样，本实施方式的搬送系统1具备搬送车20和管理控制装置10。搬送车20通过沿着轨道30行驶来搬送物品50。管理控制装置10控制搬送车20。在搬送车20的目的地中包含作为用于向处理装置交付物品50的位置的处理位置、和作为用于向保管架31交付物品50的位置的保管位置，其中保管架31用于暂时保管物品50。管理控制装置10在使从轨道上的多个路径选择出的路径即对象路径关闭时，执行事前处理和路径关闭处理。事前处理包含以下处理中的至少一个：(1)仅使一部分搬送车20通过对象路径的处理；(2)使用搬送车20使位于封锁区域的物品50退避至有效区域的处理，其中封锁区域为预定通过对象路径的关闭而封锁的区域，有效区域为在对象路径的关闭前后不封锁的区域；(3)允许将处于封锁区域的处理位置设为目的地的搬送且禁止将处于封锁区域的所述保管位置设为目的地的搬送的处理。路径关闭处理是在事前处理之后进行处理，是禁止搬送车20在对象路径行驶的处理。
由此，能够阶段性地执行对象路径的封锁。因此，能够抑制管理控制装置10的处理负荷。
在本实施方式的搬送系统1中，管理控制装置10进行仅使一部分搬送车20通过对象路径的处理。在存在避开对象路径的绕行路径的情况下，管理控制装置10使搬送车20以不通过对象路径的路径行驶至目的地。在不存在避开对象路径的绕行路径的情况下，管理控制装置10使搬送车20以通过对象路径的路径行驶至目的地。
由此，能够降低搬送车20通过对象路径的频度，并且在必须通过对象路径的情况下允许通过对象路径。
在本实施方式的搬送系统1中，在事前处理中包含使用搬送车20使位于封锁区域的物品50退避至有效区域的处理，在对于要从封锁区域退避到有效区域的所有物品50确保了退避目标地后，使所有物品50从封锁区域退避到有效区域。
由此，能够在设定了退避目标地后使物品50退避，因此能够使物品50顺利地退避。
在本实施方式的搬送系统1中，物品50是收容作为搬送对象物的晶圆的容器(FOUP)。
由此，不易在封锁区域残留容器，因此能够抑制路径关闭处理后的搬送效率降低。
以上说明了本发明的优选实施方式，但上述结构能够例如如以下那样变更。
上述实施方式中所示的流程图为一例，也可以省略一部分处理，变更一部分处理的内容，追加新的处理。例如，也可以将事前处理不区分为第1事前处理和第2事前处理而作为一个处理进行处理。该情况下，作为“1.路径对策”，进行使通过对象路径的代价上升的处理和原则上禁止在对象路径行驶的处理中的任一方。作为“2.物品的退避”，进行在每次能够确保退避目标地时使搬送车20进行转移的处理。
作为事前处理，管理控制装置10也可以仅进行“1.路径对策”、“2.物品的退避”和“3.搬送指令对策”中的某一个。即使是该情况，与立即进行路径关闭处理的情况相比，也能够抑制管理控制装置10的处理负荷。
在上述实施方式的第1事前处理的“1.路径对策”中使通过对象路径的代价上升。也可以取而代之，变更路径探索的其他设定。例如也可以设定为，将对象路径设为不可行驶并进行路径探索，若存在从出发地到达目的地的路径，则设定该路径，若不存在从出发地到达目的地的路径，则将对象路径设为可行驶并再次进行路径探索。即使是该设定，也能够使搬送车20在对象路径行驶的频度降低。
在上述实施方式中，作为搬送车20的例子列举OHT进行了说明，但也能够将本发明适用于其他车辆，例如AGV(Automated Guided Vehicle)或悬垂式吊机。
附图标记说明
1搬送系统
10管理控制装置(控制装置)
20 搬送车
30 轨道
101 处理装置
102装载埠(处理位置)。

Claims (4)

1.一种搬送系统，其特征在于，具备：
搬送车，所述搬送车通过沿着轨道行驶来搬送物品；和
控制装置，所述控制装置控制所述搬送车，
在所述搬送车的目的地中包含处理位置和保管位置，所述处理位置是用于向处理装置交付所述物品的位置，所述保管位置是用于向暂时保管所述物品的保管架交付所述物品的位置，
所述控制装置在使从所述轨道上的多个路径选择出的路径即对象路径关闭时，执行事前处理和路径关闭处理，
其中，所述事前处理执行以下处理中的至少一个：(1)仅使一部分所述搬送车通过所述对象路径的处理；(2)使用所述搬送车使位于封锁区域的所述物品退避至有效区域的处理，其中所述封锁区域是预定通过所述对象路径的关闭而封锁的区域，所述有效区域是在所述对象路径的关闭前后不封锁的区域；(3)允许将处于所述封锁区域的所述处理位置设为目的地的搬送且禁止将处于所述封锁区域的所述保管位置设为目的地的搬送的处理，
所述路径关闭处理是在所述事前处理之后进行的处理，禁止所述搬送车在所述对象路径的行驶。
2.根据权利要求1所述的搬送系统，其特征在于，
在所述事前处理中，所述控制装置通过进行仅使一部分所述搬送车通过所述对象路径的处理，
从而在存在避开所述对象路径的绕行路径的情况下使所述搬送车以不通过所述对象路径的路径行驶至目的地，
在不存在避开所述对象路径的绕行路径的情况下使所述搬送车以通过所述对象路径的路径行驶至目的地。
3.根据权利要求1或2所述的搬送系统，其特征在于，
在所述事前处理中包含使用所述搬送车使位于所述封锁区域的所述物品退避至所述有效区域的处理，
所述控制装置在对于要从所述封锁区域退避到所述有效区域的所有物品确保了退避目标地后，使所有所述物品从所述封锁区域退避到所述有效区域。
4.根据权利要求3所述的搬送系统，其特征在于，
所述物品是收容搬送对象物的容器。
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