JPH11165809A - 自動搬送設備 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】例えば半導体プロセスの生産ラインにおける半
導体ウエハカセットの搬送に使用される自動搬送設備に
関する。送り元の保管装置と送り先の保管装置が同一の
場合しか、搬送台車は同時に複数のカセットを搭載でき
なかった。そのため必要な搬送台車の数が増えてしまっ
ていた。 【解決手段】搬送設備制御装置８は、搬送指令Ｄｈを受
け取ると、実行前の搬送指令で組み合わせて同時に実行
できるものがあればそれらを組み合わせて、自動搬送設
備７の各構成要素に対して搬送実行の指示を出す。搬送
指令Ｄｈ１、Ｄｈ２による被搬送物のカセット３ａ、３
ｂは、両方とも保管装置１ａにありＦＲＯＭ装置が同一
であるため、この二つの指令が組み合わされて同時に実
行される。 【効果】必要な搬送台車の数を減らすことができ、搬送
所要時間が短くなることで、効率の良い搬送を行うこと
ができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体プロ
セスの生産ラインにおける半導体ウエハカセットの搬送
に使用される自動搬送設備に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般的に半導体ウエハカセットの搬送に
使用される自動搬送設備で、特に工程間搬送やベイ間搬
送に使用されるものは、被搬送物であるカセットを保管
する複数の保管装置と、これらの保管装置の間に敷設さ
れた搬送路と、この搬送路上をカセットを搭載して走行
する搬送台車と、保管装置と搬送路に接続して設けられ
保管装置と搬送台車の間でカセットの受け渡しを行う受
け渡し装置から構成される。この自動搬送設備は、上位
の搬送指令指示装置から与えられた搬送指令に基づい
て、被搬送物であるカセットの搬送を行うものである。
そして、特に搬送量が多い場合には、搬送台車は荷台に
複数のカセットを搭載し、同時に搬送するカセット数を
増やす構造がとられている。また、受け渡し装置は、同
時に搬送する複数のカセットの受け渡しを同時に行う構
造となっている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、前述した自
動搬送設備においては、搬送台車は同時に複数のカセッ
トを搭載できるが、送り元の保管装置と送り先の保管装
置が同一、つまり同一ＦＲＯＭ−ＴＯのカセットだけを
搭載して搬送するものである。従って、同一ＦＲＯＭ−
ＴＯのカセットが複数存在しない場合には、搬送台車は
一つのカセットのみの搬送を行うため、必要な搬送台車
の数は増えてしまう。搬送台車の数が増えることによ
り、複数の搬送台車の干渉による渋滞が発生し、搬送所
要時間が長くなり、搬送効率が悪くなるという課題を有
していた。

【０００４】また、前述した自動搬送設備においては、
場合によっては搬送量を増やすために、一つのカセット
のみでは搬送を行わず、同時に搬送できるカセットが発
生するまで、つまり同一ＦＲＯＭ−ＴＯの搬送指令が発
生するまでは搬送の実行を待たせたりしている。このよ
うな場合には、搬送指令が実行開始されるまでの待ち時
間が非常に長くなってしまうという課題を有していた。

【０００５】また、前述した自動搬送設備においては、
搬送台車は現在実行中の搬送が完了してから、つまり搬
送台車上に搭載したカセットを送り先であるＴＯ装置に
搬入して搬送台車が空になってから、次の搬送を実行開
始する。ある搬送台車が搬送を実行完了した時点で、そ
の搬送台車が停止している位置が次に実行する搬送の送
り元であるＦＲＯＭ装置の位置であるとは限らない。搬
送台車が停止している位置がＦＲＯＭ装置と異なる場合
には、搬送台車は次に搬送するカセットを搭載するため
に、次のＦＲＯＭ装置まで空の状態で走行しなければな
らない。そのため、搬送台車の無駄な走行が多くなり、
走行距離、走行時間が長くなってしまうという課題を有
していた。

【０００６】また、前述した自動搬送設備においては、
搬送台車は現在実行中の搬送指令の実行完了後に、次の
搬送指令が割り付けられるものである。従って、次の搬
送指令を実行開始してから、搬送可能な搬送台車が到着
するまでの時間は、搬送されるカセットはＦＲＯＭ装置
で待たされることになってしまう。そのため、搬送台車
が到着するまでの待ち時間を含めた搬送時間が長くなっ
てしまうという課題を有していた。

【０００７】また、前述した自動搬送設備においては、
受け渡し装置は同時に搬送する複数のカセット、つまり
同一ＦＲＯＭ−ＴＯの複数のカセットを同時に受け渡し
する構造であるため、ＦＲＯＭ−ＴＯが異なるカセット
を同一の搬送台車に搭載したり、取り外したりすること
はできない。従って、ＦＲＯＭ−ＴＯが異なる複数の搬
送指令を同時に実行することが不可能であるという課題
を有していた。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明に
よれば、被搬送物を保管する複数の保管装置と、複数の
前記保管装置の間に敷設された搬送路と、前記搬送路上
を被搬送物を搭載して走行する搬送台車と、前記保管装
置と前記搬送路に接続して設けられ前記保管装置と前記
搬送台車の間で被搬送物の受け渡しを行う受け渡し装置
からなる自動搬送設備であって、前記搬送台車は複数の
被搬送物を搭載する荷台を有し、送り元の保管装置およ
び送り先の保管装置の少なくとも一方が異なる複数の被
搬送物を同時に搬送することを特徴とする。

【０００９】また、請求項２に記載の発明によれば、前
記自動搬送設備は、上位の搬送指令指示装置から与えら
れた実行前の搬送指令であって、送り元の保管装置およ
び送り先の保管装置の少なくとも一方が異なる複数の搬
送指令を組み合わせて同時に実行し、複数の被搬送物の
搬送を同時に行うことを特徴とする。

【００１０】また、請求項３に記載の発明によれば、前
記搬送台車は、搬送実行中で荷台に空きがある場合に、
搬送途中で別の保管装置から別の被搬送物を搭載し、同
時に搬送することを特徴とする。

【００１１】また、請求項４に記載の発明によれば、前
記自動搬送設備は、上位の搬送指令指示装置から与えら
れた搬送指令を実行中に、別の実行前の搬送指令を組み
合わせて実行し、複数の被搬送物の搬送を同時に行うこ
とを特徴とする。

【００１２】また、請求項５に記載の発明によれば、前
記受け渡し装置は、複数の被搬送物の受け渡しを行うも
のであって、前記搬送台車に搭載された複数の被搬送物
を同時に取り外し、同一の保管装置に同時に搬入する機
能と、前記搬送台車に搭載された複数の被搬送物を一つ
一つ選択して取り外し、別々の保管装置にそれぞれ搬入
する機能とを有することを特徴とする。

【００１３】また、請求項６に記載の発明によれば、前
記受け渡し装置は、複数の被搬送物の受け渡しを行うも
のであって、同一の保管装置に収納されている複数の被
搬送物を同時に搬出し、同一の搬送台車に搭載する機能
と、別々の保管装置にそれぞれ収納されている複数の被
搬送物を一つ一つ選択して搬出し、同一の搬送台車に搭
載する機能とを有することを特徴とする。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下に本発明の実施例を図面に基
づいて説明する。図１は本発明の一実施例である自動搬
送設備の概略構成を示す構成図である。図において、１
ａ〜１ｄは半導体ウエハカセットの保管装置であり、通
常半導体プロセス工場においては複数台あって工程毎ま
たはベイ毎に設置される。２はこれらの保管装置１ａ〜
１ｄの間に敷設された搬送路であり、本実施例では各保
管装置１ａ〜１ｄを結びループ状に敷設されている。こ
の搬送路２は、一般的に半導体プロセス工場においては
天井下に軌道として設置されている。３ａ〜３ｆは被搬
送物であるカセットであり、保管装置１に収納保管され
ている。４ａ〜４ｄは搬送路２上をカセット３を搭載し
て走行する搬送台車であり、本実施例では同時に二つの
カセット３を搭載することができる荷台を有している。
この搬送台車４は、ループ状に敷設された搬送路２上を
一方向に走行する。

【００１５】５ａ〜５ｄは保管装置１と搬送台車４の間
でカセット３の受け渡しを行う受け渡し装置である。こ
の受け渡し装置５は、本実施例ではカセット３を一対の
カセット把持腕６にて挟んで把持することによって受け
渡しを行うものである。このカセット把持腕６を二対設
けることにより、同時に二つのカセット３の受け渡しが
できるし、また、二対のカセット把持腕６ａ、６ｂをそ
れぞれ独立して動作させることにより、一つずつのカセ
ット３の受け渡しも可能である。以上の要素から構成さ
れるのが自動搬送設備７である。

【００１６】８はこの自動搬送設備７の制御を行う搬送
設備制御装置であり、自動搬送設備７の各構成要素の管
理および搬送実行の制御を行うものである。９は搬送設
備制御装置８に搬送指令を与える搬送指令指示装置であ
り、通常は半導体プロセス工場においてシステム各部の
監視および制御を行う上位のホストコンピュータの一部
分である。搬送指令指示装置９と搬送設備制御装置８
は、通信回線により接続されている。また、搬送設備制
御装置８は、自動搬送設備７の各構成要素と通信し制御
を行っている。

【００１７】Ｄｈは搬送指令指示装置９から搬送設備制
御装置８に通信回線を介して与えられる搬送指令であ
る。搬送設備制御装置８は、この搬送指令Ｄｈに基づい
て自動搬送設備７の各構成要素の制御を行い搬送を実行
する。また、この搬送指令Ｄｈは、通常少なくとも搬送
するカセット３と、送り元の保管装置１ａ〜１ｄ、送り
先の保管装置１ａ〜１ｄとが認識できるデータ、つまり
被搬送物とＦＲＯＭ−ＴＯの情報からなる搬送指令デー
タから構成される。

【００１８】次に上記構成による実施例の動作について
説明する。まず、送り元であるＦＲＯＭ装置が同一で、
送り先であるＴＯ装置が異なる二つのカセット３ａ、３
ｂの搬送を組み合わせて同時に実行した場合の例につい
て説明する。搬送指令指示装置９から二つの搬送指令Ｄ
ｈ１とＤｈ２が、あまり時間差がないタイミングで搬送
設備制御装置８に与えられたとする。つまり、搬送指令
Ｄｈ１がまだ実行される前に別の搬送指令Ｄｈ２が与え
られたとする。搬送指令Ｄｈ１は、被搬送物：カセット
３ａ、ＦＲＯＭ：保管装置１ａ、ＴＯ：保管装置１ｂの
搬送指令データである。搬送指令Ｄｈ２は、被搬送物：
カセット３ｂ、ＦＲＯＭ：保管装置１ａ、ＴＯ：保管装
置１ｃの搬送指令データである。すなわち、この二つの
搬送指令Ｄｈ１、Ｄｈ２は、ＦＲＯＭ装置が同一で、Ｔ
Ｏ装置が異なる搬送指令である。

【００１９】搬送設備制御装置８は、搬送指令Ｄｈを受
け取ると、実行前の搬送指令で組み合わせて同時に実行
できるものがあればそれらを組み合わせて、自動搬送設
備７の各構成要素に対して搬送実行の指示を出す。搬送
指令Ｄｈ１、Ｄｈ２による被搬送物のカセット３ａ、３
ｂは、両方とも保管装置１ａにありＦＲＯＭ装置が同一
であるため、この二つの指令が組み合わされて同時に実
行される。

【００２０】まず、搬送路２上にある空の搬送台車４ａ
に搬送指令が割り付けられ、搬送台車４ａはＦＲＯＭ装
置である保管装置１ａの受け渡し位置まで走行して停止
する。そこで、保管装置１ａにある被搬送物のカセット
３ａ、３ｂは、受け渡し装置５ａによって空の搬送台車
４ａの荷台に積み込まれる。この時、受け渡し装置５ａ
は、二つのカセット３ａ、３ｂを二対のカセット把持腕
６ａ、６ｂにて同時に把持して保管装置１ａから搬出す
る。

【００２１】カセット３ａ、３ｂを搭載した搬送台車４
ａは、搬送路２を走行してカセット３ａのＴＯ装置であ
る保管装置１ｂの受け渡し位置で停止する。ここで保管
装置１ｂの受け渡し装置５ｂは、搬送台車４ａ上にある
二つのカセット３ａ、３ｂのうち、保管装置１ｂに収納
されるべきカセット３ａを選択して、片側のカセット把
持腕６のみを動作させて保管装置１ｂに搬入する。この
時点で搬送指令Ｄｈ１は完了する。

【００２２】次に、搬送台車４ａは、荷台に残ったカセ
ット３ｂを搭載したまま、そのＴＯ装置である保管装置
１ｃの受け渡し位置まで走行する。そこで同様に保管装
置１ｃの受け渡し装置５ｃは、保管装置１ｃに収納され
るべきカセット３ｂを選択して保管装置１ｃに搬入す
る。この時点で搬送指令Ｄｈ２は完了する。

【００２３】続いて、ＦＲＯＭ装置が異なり、ＴＯ装置
が同一である二つのカセット３ｃ、３ｄの搬送を組み合
わせて同時に実行した場合の例について説明する。搬送
指令指示装置９から搬送設備制御装置８に対して搬送指
令Ｄｈ３が与えられ、搬送指令Ｄｈ３がまだ実行される
前に別の搬送指令Ｄｈ４が与えられたとする。搬送指令
Ｄｈ３は、被搬送物：カセット３ｃ、ＦＲＯＭ：保管装
置１ｂ、ＴＯ：保管装置１ｄの搬送指令データである。
搬送指令Ｄｈ４は、被搬送物：カセット３ｄ、ＦＲＯ
Ｍ：保管装置１ｃ、ＴＯ：保管装置１ｄの搬送指令デー
タである。すなわち、この二つの搬送指令Ｄｈ３、Ｄｈ
４は、ＦＲＯＭ装置が異なり、ＴＯ装置が同一である搬
送指令である。従って、ＴＯ装置が同一であるため、こ
の二つの搬送指令を組み合わせて同時に実行する。

【００２４】まず、搬送路２上にある空の搬送台車４ｂ
に搬送指令が割り付けられ、搬送台車４ｂはカセット３
ｃのＦＲＯＭ装置である保管装置１ｂの受け渡し位置ま
で走行して停止する。そこで、保管装置１ｂにあるカセ
ット３ｃは、受け渡し装置５ｂによって空の搬送台車４
ｂの荷台に積み込まれる。この時、受け渡し装置５ｂ
は、カセット３ｃを片側のカセット把持腕６にて把持し
て保管装置１ｂから搬出する。

【００２５】カセット３ｃを搭載した搬送台車４ｂは、
搬送路２を走行して次のカセット３ｄのＦＲＯＭ装置で
ある保管装置１ｃの受け渡し位置で停止する。そこで、
保管装置１ｃにある被搬送物のカセット３ｄは、同様に
受け渡し装置５ｃによって搬送台車４ｂの空いている荷
台に積み込まれる。

【００２６】次に、カセット３ｃ、３ｄを搭載した搬送
台車４ｂは、搬送路２を走行してカセット３ｃ、３ｄの
ＴＯ装置である保管装置１ｄの受け渡し位置で停止す
る。ここで搬送台車４ｂ上のカセット３ｃ、３ｄは、保
管装置１ｄの受け渡し装置５ｄによって降ろされ保管装
置１ｄに収納される。この時、受け渡し装置５ｄは、二
つのカセット３ｃ、３ｄを二対のカセット把持腕６ａ、
６ｂにて同時に把持して保管装置１ｃに搬入する。この
時点で搬送指令Ｄｈ３およびＤｈ４は完了する。

【００２７】以上の説明は、ＴＯ装置のみが異なる二つ
搬送指令の場合と、ＦＲＯＭ装置のみが異なる二つの搬
送指令の場合の実施例であるが、ＦＲＯＭ装置とＴＯ装
置の両方が異なる搬送指令の場合でも、同様に搬送指令
を組み合わせて実行することは可能である。また、搬送
台車４の荷台が三つ以上のカセットを搭載できる構造で
あれば、三つ以上の搬送指令を組み合わせて実行するこ
とも可能である。

【００２８】以上のように、本発明の搬送台車４は、送
り元の保管装置１ａ〜ｃおよび送り先の保管装置１ｂ〜
ｄの少なくとも一方が異なる複数のカセット３ａ、３ｂ
または３ｃ、３ｄを搭載し、同時に搬送することができ
る。従って、搬送台車４は一つのカセットのみを搭載し
て搬送を行うことが極めて少ないため、必要な搬送台車
４の数を減らすことができ、複数の搬送台車４ａ〜ｄの
干渉による渋滞がなくなる。また、搬送可能な搬送台車
４が到着するまでの待ち時間が短くなり、搬送時間を短
くすることができる。

【００２９】さらに、本発明の自動搬送設備７は、上位
の搬送指令指示装置９から与えられた実行前の搬送指令
であって、送り元の保管装置１ａ〜ｃおよび送り先の保
管装置１ｂ〜ｄの少なくとも一方が異なる複数の搬送指
令Ｄｈ１、Ｄｈ２またはＤｈ３、Ｄｈ４を組み合わせて
同時に実行し、複数のカセット３ａ、３ｂまたは３ｃ、
３ｄの搬送を同時に行うことができる。従って、搬送指
令Ｄｈが実行されるまでの待ち時間を含めた搬送時間を
短くすることができる。

【００３０】次に別の実施例の動作について説明する。
搬送指令指示装置９から搬送指令Ｄｈ５が搬送設備制御
装置８に与えられたとする。搬送指令Ｄｈ５は、被搬送
物：カセット３ｅ、ＦＲＯＭ：保管装置１ｃ、ＴＯ：保
管装置１ａの搬送指令データである。この時、他に組み
合わせて同時に実行できる搬送指令がなければ、搬送設
備制御装置８は搬送指令Ｄｈ５を単独で実行する。

【００３１】まず、搬送路２上にある空の搬送台車４ｃ
に搬送指令が割り付けられ、搬送台車４ｃはＦＲＯＭ装
置である保管装置１ｃの受け渡し位置まで走行して停止
する。そこで、保管装置１ｃにある被搬送物のカセット
３ｅは、受け渡し装置５ｃによって保管装置１ｃから搬
出され、空の搬送台車４ｃの荷台に積み込まれる。カセ
ット３ｅを搭載した搬送台車４ｃは、荷台にまだ空きが
ある状態でカセット３ｅのＴＯ装置である保管装置１ａ
に向けて走行を開始する。

【００３２】この時、搬送指令指示装置９から別の搬送
指令Ｄｈ６が搬送設備制御装置８に与えられたとする。
搬送指令Ｄｈ６は、被搬送物：カセット３ｆ、ＦＲＯ
Ｍ：保管装置１ｄ、ＴＯ：保管装置１ａの搬送指令デー
タである。搬送設備制御装置８は、搬送指令Ｄｈ６を受
け取ると、現在実行中の搬送指令も含めて同時に実行で
きる搬送指令があれば、それを組み合わせて実行する。
この場合、搬送指令Ｄｈ５による搬送を実行している搬
送台車４ｃは、その荷台にまだ空きがあるため、まだ保
管装置１ｄを通過していなければ、搬送指令Ｄｈ６を組
み合わせて同時実行可能である。

【００３３】搬送指令Ｄｈ５とＤｈ６が組み合わせて同
時実行可能な時、搬送路２上を走行してきた搬送台車４
ｃに搬送指令Ｄｈ６が割り付けられ、搬送台車４ｃは搬
送指令Ｄｈ６のＦＲＯＭ装置である保管装置１ｄの受け
渡し位置まで走行して停止する。そこで、保管装置１ｄ
にある被搬送物のカセット３ｆは、受け渡し装置５ｄに
よって搬送台車４ｃの空いている荷台に積み込まれる。

【００３４】カセット３ｅ、３ｆを搭載した搬送台車４
ｃは、搬送路２を走行してカセット３ｅ、３ｆのＴＯ装
置である保管装置１ａの受け渡し位置で停止する。ここ
で保管装置１ａの受け渡し装置５ａによって、搬送台車
４ｃ上のカセット３ｅ、３ｆは降ろされ保管装置１ａに
収納される。この時、受け渡し装置５ａは、二つのカセ
ット３ｅ、３ｆを二対のカセット把持腕６ａ、６ｂにて
同時に把持して保管装置１ａに搬入する。この時点で搬
送指令Ｄｈ５およびＤｈ６は完了する。

【００３５】この実施例では、搬送指令Ｄｈ５、Ｄｈ６
は、ＴＯ装置が保管装置１ａで同一の場合であるが、Ｔ
Ｏ装置が異なる二つの搬送指令の場合であっても、同様
に一つの搬送指令実行中に別の搬送指令を組み合わせて
同時実行することは可能である。また、搬送台車４の荷
台に空きが発生すれば、三つ以上の搬送指令を連続的に
組み合わせて実行することも可能である。

【００３６】以上のように、本発明の搬送台車４は、搬
送指令Ｄｈ５による搬送実行中に荷台に空きがあるた
め、搬送途中で別の保管装置１ｄから別のカセット３ｆ
を搭載し、同時に搬送することができる。従って、搬送
台車４は荷台に空きがある状態で搬送を行うことが少な
いため、必要な搬送台車４の数を減らすことができ、搬
送可能な搬送台車４が到着するまでの待ち時間を含めた
搬送時間を短くすることができる。

【００３７】また、本発明の自動搬送設備７は、上位の
搬送指令指示装置９から与えられた搬送指令Ｄｈ５を実
行中に、別の実行前の搬送指令Ｄｈ６を組み合わせて実
行し、複数のカセット３ｅ、３ｆの搬送を同時に行うこ
とができる。従って、搬送指令Ｄｈが実行されるまでの
待ち時間を含めた搬送時間を短くすることができる。

【００３８】また、各保管装置１ａ〜ｄに設けられた受
け渡し装置５ａ〜ｄは、同一の搬送台車４に搭載された
複数のカセット３を一つ一つ選択して取り外し、別々の
保管装置１ａ〜ｄにそれぞれ搬入する機能と、逆に別々
の保管装置１ａ〜ｄにそれぞれ収納されている複数のカ
セット３を一つ一つ選択して搬出し、同一の搬送台車４
に搭載する機能とを有することにより、これまでに説明
したＦＲＯＭ−ＴＯが異なる複数の搬送指令Ｄｈを同時
に実行することが可能となる。

【００３９】さらに、この受け渡し装置５ａ〜ｄは、Ｔ
Ｏ装置が同一である複数の搬送指令Ｄｈを同時に実行す
る場合には、搬送台車４に搭載された複数のカセット３
を同時に取り外し、同一の保管装置１に同時に搬入する
機能を有し、逆にＦＲＯＭが同一である複数の搬送指令
Ｄｈを同時に実行する場合には、同一の保管装置１に収
納されている複数のカセット３を同時に搬出し、同一の
搬送台車４に同時に搭載する機能を有するために、カセ
ット３の受け渡しに要する時間を短縮することができ、
さらに効率の良い搬送を行うことができる。

【００４０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
搬送台車は、ＦＲＯＭ−ＴＯの少なくとも一方が異なる
複数のカセットを搭載し同時に搬送するので、搬送台車
は一つのカセットのみを搭載して搬送を行うことが極め
て少なくなる。従って、全体として必要な搬送台車の数
を減らすことができ、複数の搬送台車の干渉による渋滞
をなくすことができる。それにより、実際の搬送所要時
間を短くすることができ、効率の良い搬送を行うことが
できる。

【００４１】さらに、本発明の自動搬送設備は、ＦＲＯ
Ｍ−ＴＯの少なくとも一方が異なる複数の搬送指令を組
み合わせて同時に実行するので、同一ＦＲＯＭ−ＴＯの
搬送指令が発生するまで搬送指令の実行を待たせる必要
がなくなり、搬送指令が実行開始されるまでの待ち時間
を含めた搬送時間を短くすることができる。

【００４２】また、本発明の搬送台車は、搬送実行中で
荷台に空きがある場合に、搬送途中で別の保管装置から
別のカセットを搭載し同時に搬送するので、別の搬送台
車がカセットを搭載するためにＦＲＯＭ装置まで空の状
態で走行するといった無駄な走行が少なくなる。従っ
て、搬送台車１台あたりの走行距離、走行時間を短くす
ることができる。

【００４３】さらに、本発明の自動搬送設備は、上位の
搬送指令指示装置から与えられた搬送指令を実行中に、
別の実行前の搬送指令を組み合わせて実行するので、別
の搬送可能な搬送台車が到着するまで待たされることが
なく、搬送台車が到着するまでの待ち時間を含めた搬送
時間を短くすることができる。

【００４４】また、各保管装置に設けられた受け渡し装
置は、同一の搬送台車に搭載された複数のカセットを一
つ一つ選択して取り外し、別々の保管装置にそれぞれ搬
入する機能と、逆に別々の保管装置にそれぞれ収納され
ている複数のカセットを一つ一つ選択して搬出し、同一
の搬送台車に搭載する機能とを有するので、ＦＲＯＭ−
ＴＯが異なる複数の搬送指令を同時に実行し、効率の良
い搬送を行うことが可能となる。

【００４５】さらに、この受け渡し装置は、ＴＯ装置が
同一である複数の搬送指令を同時に実行する場合には、
搬送台車に搭載された複数のカセットを同時に取り外
し、同一の保管装置に同時に搬入する機能を有し、逆に
ＦＲＯＭが同一である複数の搬送指令を同時に実行する
場合には、同一の保管装置に収納されている複数のカセ
ットを同時に搬出し、同一の搬送台車に同時に搭載する
機能を有するので、カセットの受け渡しに要する時間を
短縮することができ、さらに効率の良い搬送を行うこと
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例の全体構成を示す構成図。

【符号の説明】

１ａ〜１ｄ…保管装置 ２…搬送路 ３ａ〜３ｆ…カセット ４ａ〜４ｄ…搬送台車 ５ａ〜５ｄ…受け渡し装置 ６ａ〜６ｂ…カセット把持腕 ７…自動搬送設備 ８…搬送設備制御装置 ９…搬送指令指示装置

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】被搬送物を保管する複数の保管装置と、複
   数の前記保管装置の間に敷設された搬送路と、前記搬送
   路上を被搬送物を搭載して走行する搬送台車と、前記保
   管装置と前記搬送路に接続して設けられ前記保管装置と
   前記搬送台車の間で被搬送物の受け渡しを行う受け渡し
   装置からなる自動搬送設備であって、前記搬送台車は複
   数の被搬送物を搭載する荷台を有し、送り元の保管装置
   および送り先の保管装置の少なくとも一方が異なる複数
   の被搬送物を同時に搬送することを特徴とする自動搬送
   設備。
2. 【請求項２】前記自動搬送設備は、上位の搬送指令指示
   装置から与えられた実行前の搬送指令であって、送り元
   の保管装置および送り先の保管装置の少なくとも一方が
   異なる複数の搬送指令を組み合わせて同時に実行し、複
   数の被搬送物の搬送を同時に行うことを特徴とする請求
   項１記載の自動搬送設備。
3. 【請求項３】前記搬送台車は、搬送実行中で荷台に空き
   がある場合に、搬送途中で別の保管装置から別の被搬送
   物を搭載し、同時に搬送することを特徴とする請求項１
   記載の自動搬送設備。
4. 【請求項４】前記自動搬送設備は、上位の搬送指令指示
   装置から与えられた搬送指令を実行中に、別の実行前の
   搬送指令を組み合わせて実行し、複数の被搬送物の搬送
   を同時に行うことを特徴とする請求項１記載の自動搬送
   設備。
5. 【請求項５】前記受け渡し装置は、複数の被搬送物の受
   け渡しを行うものであって、前記搬送台車に搭載された
   複数の被搬送物を同時に取り外し、同一の保管装置に同
   時に搬入する機能と、前記搬送台車に搭載された複数の
   被搬送物を一つ一つ選択して取り外し、別々の保管装置
   にそれぞれ搬入する機能とを有することを特徴とする請
   求項１記載の自動搬送設備。
6. 【請求項６】前記受け渡し装置は、複数の被搬送物の受
   け渡しを行うものであって、同一の保管装置に収納され
   ている複数の被搬送物を同時に搬出し、同一の搬送台車
   に搭載する機能と、別々の保管装置にそれぞれ収納され
   ている複数の被搬送物を一つ一つ選択して搬出し、同一
   の搬送台車に搭載する機能とを有することを特徴とする
   請求項１記載の自動搬送設備。