CN118443886B - 一种电浆设备健康监测方法及系统 - Google Patents

Abstract

本申请涉及电浆设备管理技术领域，公开了一种电浆设备健康监测方法及系统，该方法包括确定需要采集的全部气体、使用气体探测器在电浆设备内同时采集全部气体、对气体探测器进行自检、计算电浆设备的健康指数、输出并显示全部气体的浓度和健康指数与对电浆设备的生产过程的进气量和运维过程的保养维护方案进行调整，该系统与该方法相对应。本申请，通过气体探测器的自检保证了采集数据的准确性；通过计算健康指数实现了对电浆设备的健康状态的量化分析；通过显示全部气体的浓度和健康指数实现了直观地对电浆设备进行实时监测的功能。最后通过全部气体的浓度和健康指数实现了电浆设备生产过程的进气量的控制和运维过程的保养维护方案的优化。

Description

一种电浆设备健康监测方法及系统

技术领域

本申请涉及电浆设备管理技术领域，具体是一种电浆设备健康监测方法及系统。

背景技术

AtmosphericPressure Plasma(简称APP：大气电浆)设备的功能是利用电浆产生臭氧来去除有机物，电浆设备的保养维护仅有两个时机点：一是被清洗的产品出现质量异常，检修人员被迫进行保养维护；二是设备使用时间达到预设时间，无论是否产品出现质量异常，都要进行保养维护。上述保养维护方法被动、成本较高，且不能够直观地展现电浆设备的运行状态和健康状态。

电浆设备的生产过程的进气量的多少影响到被清洗产品的质量，也直接影响生产成本，因此优化控制进气量是有必要的。

综上，现有技术缺少一个进行电浆设备运行状态和健康状态实时监测，并对进气量进行优化的技术方案。

发明内容

本申请的目的在于提供一种电浆设备健康监测方法及系统，以解决上述背景技术中提出的技术问题。

为实现上述目的，本申请公开了以下技术方案：

第一方面，本申请公开了一种电浆设备健康监测方法，该方法包括：

S1：利用气体反应方程式，确定需要采集的气体，将所述需要采集的气体定义为全部气体；其中，所述气体反应方程式由生产过程决定；

S2：使用气体探测器在电浆设备内同时采集所述全部气体，得到所述全部气体的浓度和全部气体量；

S3：对所述气体探测器进行自检，自检正常则执行步骤S4，自检异常则对该气体探测器进行调整并重复执行步骤S3；

S4：基于所述全部气体的浓度和全部气体量计算所述电浆设备的健康指数，所述健康指数用于电浆设备的健康状态的量化分析；

S5：输出并显示所述全部气体的浓度和所述健康指数；

S6：基于所述全部气体的浓度和所述健康指数，对所述电浆设备的生产过程的进气量和运维过程的保养维护方案进行调整。

借由上述，通过气体探测器的自检保证了采集数据的准确性；通过计算健康指数实现了对电浆设备的健康状态的量化分析；通过显示全部气体的浓度和健康指数实现了直观地对电浆设备进行实时监测的功能；通过全部气体的浓度和健康指数优化了电浆设备生产过程的进气量的控制和运维过程的保养维护方案。

作为优选，所述的对所述气体探测器进行自检，具体包括：

A1：预设所述气体探测器的测量上限，判断采集到的全部气体的浓度和全部气体量是否大于所述测量上限，是则调整该气体探测器的采集高度和抽气泵的功率并重复执行步骤A1，否则执行步骤A2；

A2：基于采集到的目标气体的浓度和全部气体量数据，判断数据是否出现异常值，是则执行步骤A3，否则执行步骤A4；

A3：判断气体探测器是否出现故障，是则报修该气体探测器，否则调整该气体探测器的采样秒数并重复执行步骤A2；

A4:判定气体探测器自检正常并输出。

借由上述，通过调整气体探测器的采集高度和抽气泵的功率将气体探测器的测量控制在有效范围内，通过调整该气体探测器的采样秒数优化气体探测器的采集过程，通过气体探测器的自检提升了采样数据的准确性和可靠性，为健康指数的计算提供数据保障。

作为优选，所述的基于所述目标气体的浓度计算所述电浆设备的健康指数，具体包括：

将所述全部气体中的用于计算所述健康指数的气体定义为目标气体；

计算所述电浆设备内的环境系数C_environment，C_environment＝α₁*T+α₂*P，其中，T为所述电浆设备内的温度，P为所述电浆设备内的压力，α₁为温度权重调整参数，α₂为压力权重调整参数；

计算健康指数I_health，其中，VOL_target为目标气体量，VOL_total为全部气体量。

借由上述，通过定义健康指数实现了对电浆设备健康状态的量化分析，通过计算健康指数实现了对电浆设备运行状态的有效监测，为优化电浆设备生产过程的进气量控制和运维过程的保养维护方案提供了有效依据。

作为优选，所述的基于所述目标气体的浓度计算所述电浆设备的健康指数，还包括：

预设所述电浆设备的送检时数MH，将所述电浆设备处于工作状态下的时长定义为运行时长，记录所述电浆设备的运行时长RT，当RT≥MH时，所述电浆设备需要进行送检；

预设所述电浆设备达到工作状态的响应时间阈值t₀，所述时间阈值t₀由所述气体反应方程式和所述环境系数决定，记录所述电浆设备达到工作状态的响应时间t；

当MH＞RT≥α₃MH时，计算健康指数I_health，其中，α₃为健康指数调整参数，α₄为环境权重调整参数，α₅为响应时间权重调整参数。

借由上述，当电浆设备的运行时长接近送检时长时，需要对其运行状态进行更准确的评价，防止其在运行时出现故障造成不必要的损失，通过增加响应时间权重调整参数优化了健康指数的计算。

作为优选，所述的基于所述全部气体的浓度和所述健康指数，对所述电浆设备的生产过程的进气量和运维过程的保养维护方案集进行调整，具体包括：

预设健康指数阈值和健康状态分类参数α₆；

当时，所述电浆设备处于非健康状态，对该电浆设备进行送检；

当时，所述电浆设备处于亚健康状态，对该电浆设备进行现场检修；

当时，所述电浆设备处于健康状态。

借由上述，电浆设备运维过程的保养维护方案可以分成现场检修和送回生产厂家进行现场检修，其中相对现场检修，送检的成本会更高，通过增加健康状态分类参数优化了电浆设备的健康状态分类依据，从而优化电浆设备运维过程的保养维护方案，降低保养维护的成本也防止对电浆设备造成不可逆的损坏。

作为优选，所述的基于所述全部气体的浓度和所述健康指数，对所述电浆设备的生产过程的进气量和运维过程的保养维护方案集进行调整，还包括：

当所述电浆设备处于非健康状态时，停止向该电浆设备进气；

当所述电浆设备处于亚健康状态时，降低所述电浆设备的生产过程的进气量，直至对该电浆设备检修完成并处于健康状态时；

当所述电浆设备处于健康状态时，基于所述全部气体的浓度和所述目标气体的浓度，对所述电浆设备的生产过程的进气量进行调整。

借由上述，通过对电浆设备的运行状态进行实时监测分析实现了电浆设备的生产过程的进气量的优化，在不降低生产质量的前提下降低了生产成本。

第二方面，本申请公开了一种电浆设备健康监测系统，该系统包括：

采集气体确定模块，所述采集气体确定模块配置为利用气体反应方程式，确定需要采集的气体，将所述需要采集的气体定义为全部气体；其中，所述气体反应方程式由生产过程决定；

气体探测器，所述气体探测器配置为使用气体探测器在电浆设备内同时采集所述全部气体，得到所述全部气体的浓度和全部气体量；气体探测器自检模块，所述气体探测器自检模块配置为对所述气体探测器进行自检，自检正常则进行数据处理，自检异常则对该气体探测器进行调整直至自检正常；

数据处理模块，所述数据处理模块配置为基于所述全部气体的浓度和全部气体量计算所述电浆设备的健康指数，所述健康指数用于电浆设备的健康状态的量化分析；

数据显示模块，所述数据显示模块配置为输出并显示所述全部气体的浓度和所述健康指数；

数据分析模块，所述数据分析模块配置为基于所述全部气体的浓度和所述健康指数，对所述电浆设备的生产过程的进气量和运维过程的保养维护方案集进行调整。

作为优选，所述的对所述气体探测器进行自检，具体包括：

A1：预设所述气体探测器的测量上限，判断采集到的全部气体的浓度和全部气体量是否大于所述测量上限，是则调整该气体探测器的采集高度和抽气泵的功率并重复执行步骤A1，否则执行步骤A2；

A2：基于采集到的目标气体的浓度和全部气体量数据，判断数据是否出现异常值，是则执行步骤A3，否则执行步骤A4；

A3：判断气体探测器是否出现故障，是则报修该气体探测器，否则调整该气体探测器的采样秒数并重复执行步骤A2；

A4:判定气体探测器自检正常并输出。

作为优选，所述的基于所述目标气体的浓度计算所述电浆设备的健康指数，具体包括：

将所述全部气体中的用于计算所述健康指数的气体定义为目标气体；

计算所述电浆设备内的环境系数C_environment，C_environment＝α₁*T+α₂*P，其中，T为所述电浆设备内的温度，P为所述电浆设备内的压力，α₁为温度权重调整参数，α₂为压力权重调整参数；

计算健康指数I_health，其中，VOL_target为目标气体量，VOL_total为全部气体量；

预设所述电浆设备的送检时数MH，将所述电浆设备处于工作状态下的时长定义为运行时长，记录所述电浆设备的运行时长RT，当RT≥MH时，所述电浆设备需要进行送检；

预设所述电浆设备达到工作状态的响应时间阈值t₀，所述时间阈值t₀由所述气体反应方程式和所述环境系数决定，记录所述电浆设备达到工作状态的响应时间t；

当MH＞RT≥α₃MH时，计算健康指数I_health，其中，α₃为健康指数调整参数，α₄为环境权重调整参数，α₅为响应时间权重调整参数。

作为优选，所述的基于所述全部气体的浓度和所述健康指数，对所述电浆设备的生产过程的进气量和运维过程的保养维护方案集进行调整，具体包括：

预设健康指数阈值和健康状态分类参数α₆；

当时，所述电浆设备处于非健康状态，对该电浆设备进行送检；

当时，所述电浆设备处于亚健康状态，对该电浆设备进行现场检修；

当时，所述电浆设备处于健康状态；

当所述电浆设备处于非健康状态时，停止向该电浆设备进气；

当所述电浆设备处于亚健康状态时，降低所述电浆设备的生产过程的进气量，直至对该电浆设备检修完成并处于健康状态时；

当所述电浆设备处于健康状态时，基于所述全部气体的浓度和所述目标气体的浓度，对所述电浆设备的生产过程的进气量进行调整。

借由上述，电浆设备健康监测系统与电浆设备健康监测方法相对应，通过气体探测器自检模块保证了采集数据的准确性；通过数据处理模块计算健康指数实现了对电浆设备的健康状态的量化分析；通过数据显示模块显示全部气体的浓度和健康指数实现了直观地对电浆设备进行实时监测的功能；通过数据分析模块分析全部气体的浓度和健康指数优化了电浆设备生产过程的进气量的控制和运维过程的保养维护方案。

有益效果：本申请的电浆设备健康监测方法及系统，通过气体探测器的自检保证了采集数据的准确性；通过计算健康指数实现了对电浆设备的健康状态的量化分析；通过显示全部气体的浓度和健康指数实现了直观地对电浆设备进行实时监测的功能；通过全部气体的浓度和健康指数优化了电浆设备生产过程的进气量的控制和运维过程的保养维护方案。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例提供的电浆设备健康监测方法的示意框图；

图2为本申请实施例提供的气体探测器的自检的示意框图；

图3为本申请实施例提供的电浆设备健康监测系统的示意框图；

图4为本申请实施例提供的一种编程示意图；

图5为本申请实施例提供的软件显示界面的示意图；

图6为本申请实施例提供的一种不同状态下电浆设备健康指数的示意图。

具体实施方式

下面将对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

在本文中，术语“包括”意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

本实施例第一方面公开了如图1所示的一种电浆设备健康监测方法，该方法包括：

S1：利用气体反应方程式，确定需要采集的气体，将需要采集的气体定义为全部气体；其中，气体反应方程式由生产过程决定；

S2：使用气体探测器在电浆设备内同时采集全部气体，得到全部气体的浓度和全部气体量；

S3：对气体探测器进行自检，自检正常则执行步骤S4，自检异常则对该气体探测器进行调整并重复执行步骤S3；

S4：基于全部气体的浓度和全部气体量计算电浆设备的健康指数，所述健康指数用于电浆设备的健康状态的量化分析；

S5：输出并显示全部气体的浓度和健康指数；

S6：基于全部气体的浓度和健康指数，对电浆设备的生产过程的进气量和运维过程的保养维护方案进行调整。

通过气体探测器的自检保证了采集数据的准确性；通过计算健康指数实现了对电浆设备的健康状态的量化分析；通过显示全部气体的浓度和健康指数实现了直观地对电浆设备进行实时监测的功能；通过全部气体的浓度和健康指数优化了电浆设备生产过程的进气量的控制和运维过程的保养维护方案。

具体的，如图2所示，对气体探测器进行自检，具体包括：

A1：预设气体探测器的测量上限，判断采集到的全部气体的浓度和全部气体量是否大于测量上限，是则调整该气体探测器的采集高度和抽气泵的功率并重复执行步骤A1，否则执行步骤A2；

A2：基于采集到的目标气体的浓度和全部气体量数据，判断数据是否出现异常值，是则执行步骤A3，否则执行步骤A4；

A3：判断气体探测器是否出现故障，是则报修该气体探测器，否则调整该气体探测器的采样秒数并重复执行步骤A2；

A4:判定气体探测器自检正常并输出。

通过调整气体探测器的采集高度和抽气泵的功率将气体探测器的测量控制在有效范围内，通过调整该气体探测器的采样秒数优化气体探测器的采集过程，通过气体探测器的自检提升了采样数据的准确性和可靠性，为健康指数的计算提供数据保障。

具体的，基于目标气体的浓度计算电浆设备的健康指数，具体包括：

将全部气体中的用于计算健康指数的气体定义为目标气体；

计算电浆设备内的环境系数C_environment，C_environment＝α₁*T+α₂*P，其中，T为电浆设备内的温度，P为电浆设备内的压力，α₁为温度权重调整参数，α₂为压力权重调整参数；

计算健康指数I_health，其中，VOL_target为目标气体量，VOL_total为全部气体量。

通过定义健康指数实现了对电浆设备健康状态的量化分析，通过计算健康指数实现了对电浆设备运行状态的有效监测，为优化电浆设备生产过程的进气量控制和运维过程的保养维护方案提供了有效依据。

具体的，基于目标气体的浓度计算电浆设备的健康指数，还包括：

预设电浆设备的送检时数MH，将电浆设备处于工作状态下的时长定义为运行时长，记录电浆设备的运行时长RT，当RT≥MH时，电浆设备需要进行送检；

预设电浆设备达到工作状态的响应时间阈值t₀，时间阈值t₀由气体反应方程式和所述环境系数决定，记录电浆设备达到工作状态的响应时间t；

当MH＞RT≥α₃MH时，计算健康指数I_health，其中，α₃为健康指数调整参数，α₄为环境权重调整参数，α₅为响应时间权重调整参数。

当电浆设备的运行时长接近送检时长时，需要对其运行状态进行更准确的评价，防止其在运行时出现故障造成不必要的损失，通过增加响应时间权重调整参数优化了健康指数的计算。

具体的，基于全部气体的浓度和健康指数，对电浆设备的生产过程的进气量和运维过程的保养维护方案集进行调整，具体包括：

预设健康指数阈值和健康状态分类参数α₆；

当时，电浆设备处于非健康状态，对该电浆设备进行送检；

当时，电浆设备处于亚健康状态，对该电浆设备进行现场检修；

当时，电浆设备处于健康状态。

电浆设备运维过程的保养维护方案可以分成现场检修和送回生产厂家进行现场检修，其中相对现场检修，送检的成本会更高，通过增加健康状态分类参数优化了电浆设备的健康状态分类依据，从而优化电浆设备运维过程的保养维护方案，降低保养维护的成本也防止对电浆设备造成不可逆的损坏。

具体的，基于全部气体的浓度和健康指数，对电浆设备的生产过程的进气量和运维过程的保养维护方案集进行调整，还包括：

当电浆设备处于非健康状态时，停止向该电浆设备进气；

当电浆设备处于亚健康状态时，降低电浆设备的生产过程的进气量，直至对该电浆设备检修完成并处于健康状态时；

当电浆设备处于健康状态时，基于全部气体的浓度和目标气体的浓度，对电浆设备的生产过程的进气量进行调整。

通过对电浆设备的运行状态进行实时监测分析实现了电浆设备的生产过程的进气量的优化，在不降低生产质量的前提下降低了生产成本。

本实施例第二方面公开了如图3所示的一种电浆设备健康监测系统，该系统包括：

采集气体确定模块，采集气体确定模块配置为利用气体反应方程式，确定需要采集的气体，将需要采集的气体定义为全部气体；其中，所述气体反应方程式由生产过程决定；

气体探测器，气体探测器配置为使用气体探测器在电浆设备内同时采集全部气体，得到全部气体的浓度和全部气体量；

气体探测器自检模块，气体探测器自检模块配置为对气体探测器进行自检，自检正常则进行数据处理，自检异常则对该气体探测器进行调整直至自检正常；

数据处理模块，数据处理模块配置为基于全部气体的浓度和全部气体量计算电浆设备的健康指数，所述健康指数用于电浆设备的健康状态的量化分析；

数据显示模块，数据显示模块配置为输出并显示全部气体的浓度和健康指数；

数据分析模块，数据分析模块配置为基于全部气体的浓度和健康指数，对电浆设备的生产过程的进气量和运维过程的保养维护方案集进行调整。

具体的，对气体探测器进行自检，具体包括：

A1：预设气体探测器的测量上限，判断采集到的全部气体的浓度和全部气体量是否大于测量上限，是则调整该气体探测器的采集高度和抽气泵的功率并重复执行步骤A1，否则执行步骤A2；

A2：基于采集到的目标气体的浓度和全部气体量数据，判断数据是否出现异常值，是则执行步骤A3，否则执行步骤A4；

A3：判断气体探测器是否出现故障，是则报修该气体探测器，否则调整该气体探测器的采样秒数并重复执行步骤A2；

A4:判定气体探测器自检正常并输出。

具体的，基于目标气体的浓度计算电浆设备的健康指数，具体包括：

将全部气体中的用于计算健康指数的气体定义为目标气体；

计算电浆设备内的环境系数C_environment，C_environment＝α₁*T+α₂*P，其中，T为电浆设备内的温度，P为电浆设备内的压力，α₁为温度权重调整参数，α₂为压力权重调整参数；

计算健康指数I_health，其中，VOL_target为目标气体量，VOL_total为全部气体量；

预设电浆设备的送检时数MH，将电浆设备处于工作状态下的时长定义为运行时长，记录电浆设备的运行时长RT，当RT≥MH时，电浆设备需要进行送检；

预设电浆设备达到工作状态的响应时间阈值t₀，时间阈值t₀由气体反应方程式和环境系数决定，记录电浆设备达到工作状态的响应时间t；

当MH＞RT≥α₃MH时，计算健康指数I_health，其中，α₃为健康指数调整参数，α₄为环境权重调整参数，α₅为响应时间权重调整参数。

具体的，基于全部气体的浓度和健康指数，对电浆设备的生产过程的进气量和运维过程的保养维护方案集进行调整，具体包括：

预设健康指数阈值和健康状态分类参数α₆；

当时，电浆设备处于非健康状态，对该电浆设备进行送检；

当时，电浆设备处于亚健康状态，对该电浆设备进行现场检修；

当时，电浆设备处于健康状态；

当电浆设备处于非健康状态时，停止向该电浆设备进气；

当电浆设备处于亚健康状态时，降低电浆设备的生产过程的进气量，直至对该电浆设备检修完成并处于健康状态时；

当电浆设备处于健康状态时，基于全部气体的浓度和目标气体的浓度，对电浆设备的生产过程的进气量进行调整。

电浆设备健康监测系统与电浆设备健康监测方法相对应，通过气体探测器自检模块保证了采集数据的准确性；通过数据处理模块计算健康指数实现了对电浆设备的健康状态的量化分析；通过数据显示模块显示全部气体的浓度和健康指数实现了直观地对电浆设备进行实时监测的功能；通过数据分析模块分析全部气体的浓度和健康指数优化了电浆设备生产过程的进气量的控制和运维过程的保养维护方案。

在一种本实施例的具体示例1中，如图4所示，以3种气体为采样对象进行编程，目标气体量作为分子，全部气体量则为分母，数据采集过程，程序会对数据先进行筛选，再进行运算，计算完结且确定之后，程序会将仪器移动至下一个测量位置，并将结果显示在如图5所示的软件界面上。

在一种本实施例的具体示例2中，如图6所示为不同状态下的电浆设备健康指数，通过健康指数，可以比较出电浆设备在不同状态下的清洗能力。

综上，本实施例的电浆设备健康监测方法及系统，通过气体探测器的自检保证了采集数据的准确性；通过计算健康指数实现了对电浆设备的健康状态的量化分析；通过显示全部气体的浓度和健康指数实现了直观地对电浆设备进行实时监测的功能；通过全部气体的浓度和健康指数优化了电浆设备生产过程的进气量的控制和运维过程的保养维护方案。

在本申请所提供的实施例中，应该理解到，可以以硬件、软件、固件、中间件、代码或其任何恰当组合来实现这里描述的实施例。对于硬件实现，处理器可以在一个或多个下列单元中实现：专用集成电路(ASIC)、数字信号处理器(DSP)、数字信号处理设备(DSPD)、可编程逻辑器件(PLD)、现场可编程门阵列(FPGA)、处理器、控制器、微控制器、微处理器、设计用于实现这里所描述功能的其他电子单元或其组合。对于软件实现，实施例的部分或全部流程可以通过计算机程序来指令相关的硬件来完成。实现时，可以将上述程序存储在计算机可读存储介质中或作为计算机可读存储介质上的一个或多个指令或代码进行传输。计算机可读存储介质包括计算机存储介质和通信介质，其中通信介质包括便于从一个地方向另一个地方传送计算机程序的任何介质。存储介质可以是计算机能够存取的任何可用介质。计算机可读存储介质可以包括但不限于RAM、ROM、EEPROM、CD-ROM或其他光盘存储、磁盘存储介质或者其他磁存储设备、或者能够用于携带或存储具有指令或数据结构形式的期望的程序代码并能够由计算机存取的任何其他介质。

最后应说明的是：以上所述仅为本申请的优选实施例而已，并不用于限制本申请，尽管参照前述实施例对本申请进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (3)

1.一种电浆设备健康监测方法，其特征在于，该方法包括：

S1：利用气体反应方程式，确定需要采集的气体，将所述需要采集的气体定义为全部气体；其中，所述气体反应方程式由生产过程决定；

S2：使用气体探测器在电浆设备内同时采集所述全部气体，得到所述全部气体的浓度和全部气体量；

S3：对所述气体探测器进行自检，自检正常则执行步骤S4，自检异常则对该气体探测器进行调整并重复执行步骤S3；

S4：基于所述全部气体的浓度和全部气体量计算所述电浆设备的健康指数，所述健康指数用于电浆设备的健康状态的量化分析；

S5：输出并显示所述全部气体的浓度和所述健康指数；

S6：基于所述全部气体的浓度和所述健康指数，对所述电浆设备的生产过程的进气量和运维过程的保养维护方案进行调整；

所述的对所述气体探测器进行自检，具体包括：

A1：预设所述气体探测器的测量上限，判断采集到的全部气体的浓度和全部气体量是否大于所述测量上限，是则调整该气体探测器的采集高度和抽气泵的功率并重复执行步骤A1，否则执行步骤A2；

A2：基于采集到的目标气体的浓度和全部气体量数据，判断数据是否出现异常值，是则执行步骤A3，否则执行步骤A4；

A3：判断气体探测器是否出现故障，是则报修该气体探测器，否则调整该气体探测器的采样秒数并重复执行步骤A2；

A4:判定气体探测器自检正常并输出；

所述的基于所述目标气体的浓度计算所述电浆设备的健康指数，具体包括：

将所述全部气体中的用于计算所述健康指数的气体定义为目标气体；

计算所述电浆设备内的环境系数C_environment，C_environment＝α₁*T+α₂*P，其中，T为所述电浆设备内的温度，P为所述电浆设备内的压力，α₁为温度权重调整参数，α₂为压力权重调整参数；

计算健康指数I_health，其中，VOL_target为目标气体量，VOL_total为全部气体量；

所述的基于所述目标气体的浓度计算所述电浆设备的健康指数，还包括：

预设所述电浆设备的送检时数MH，将所述电浆设备处于工作状态下的时长定义为运行时长，记录所述电浆设备的运行时长RT，当RT≥MH时，所述电浆设备需要进行送检；

预设所述电浆设备达到工作状态的响应时间阈值t₀，所述时间阈值t₀由所述气体反应方程式和所述环境系数决定，记录所述电浆设备达到工作状态的响应时间t；

当MH＞RT≥α₃MH时，计算健康指数I_health，其中，α₃为健康指数调整参数，α₄为环境权重调整参数，α₅为响应时间权重调整参数；

所述的基于所述全部气体的浓度和所述健康指数，对所述电浆设备的生产过程的进气量和运维过程的保养维护方案集进行调整，具体包括：

预设健康指数阈值和健康状态分类参数α₆；

当时，所述电浆设备处于非健康状态，对该电浆设备进行送检；

当时，所述电浆设备处于亚健康状态，对该电浆设备进行现场检修；

当时，所述电浆设备处于健康状态。

2.根据权利要求1所述的电浆设备健康监测方法，其特征在于，所述的基于所述全部气体的浓度和所述健康指数，对所述电浆设备的生产过程的进气量和运维过程的保养维护方案集进行调整，还包括：

当所述电浆设备处于非健康状态时，停止向该电浆设备进气；

当所述电浆设备处于亚健康状态时，降低所述电浆设备的生产过程的进气量，直至对该电浆设备检修完成并处于健康状态时；

当所述电浆设备处于健康状态时，基于所述全部气体的浓度和所述目标气体的浓度，对所述电浆设备的生产过程的进气量进行调整。

3.一种应用电浆设备健康监测方法的电浆设备健康监测系统，其特征在于，该系统包括：

采集气体确定模块，所述采集气体确定模块配置为利用气体反应方程式，确定需要采集的气体，将所述需要采集的气体定义为全部气体；其中，所述气体反应方程式由生产过程决定；

气体探测器，所述气体探测器配置为使用气体探测器在电浆设备内同时采集所述全部气体，得到所述全部气体的浓度和全部气体量；

气体探测器自检模块，所述气体探测器自检模块配置为对所述气体探测器进行自检，自检正常则进行数据处理，自检异常则对该气体探测器进行调整直至自检正常；

数据处理模块，所述数据处理模块配置为基于所述全部气体的浓度和全部气体量计算所述电浆设备的健康指数，所述健康指数用于电浆设备的健康状态的量化分析；

数据显示模块，所述数据显示模块配置为输出并显示所述全部气体的浓度和所述健康指数；

数据分析模块，所述数据分析模块配置为基于所述全部气体的浓度和所述健康指数，对所述电浆设备的生产过程的进气量和运维过程的保养维护方案集进行调整；

所述的对所述气体探测器进行自检，具体包括：

A1：预设所述气体探测器的测量上限，判断采集到的全部气体的浓度和全部气体量是否大于所述测量上限，是则调整该气体探测器的采集高度和抽气泵的功率并重复执行步骤A1，否则执行步骤A2；

A2：基于采集到的目标气体的浓度和全部气体量数据，判断数据是否出现异常值，是则执行步骤A3，否则执行步骤A4；

A3：判断气体探测器是否出现故障，是则报修该气体探测器，否则调整该气体探测器的采样秒数并重复执行步骤A2；

A4：判定气体探测器自检正常并输出；

所述的基于所述目标气体的浓度计算所述电浆设备的健康指数，具体包括：

将所述全部气体中的用于计算所述健康指数的气体定义为目标气体；

计算所述电浆设备内的环境系数C_environment，C_environment＝α₁*T+α₂*P，其中，T为所述电浆设备内的温度，P为所述电浆设备内的压力，α₁为温度权重调整参数，α₂为压力权重调整参数；

计算健康指数I_health，其中，VOL_target为目标气体量，VOL_total为全部气体量；

预设所述电浆设备的送检时数MH，将所述电浆设备处于工作状态下的时长定义为运行时长，记录所述电浆设备的运行时长RT，当RT≥MH时，所述电浆设备需要进行送检；

预设所述电浆设备达到工作状态的响应时间阈值t₀，所述时间阈值t₀由所述气体反应方程式和所述环境系数决定，记录所述电浆设备达到工作状态的响应时间t；

当MH＞RT≥α₃MH时，计算健康指数I_health，其中，α₃为健康指数调整参数，α₄为环境权重调整参数，α₅为响应时间权重调整参数；

所述的基于所述全部气体的浓度和所述健康指数，对所述电浆设备的生产过程的进气量和运维过程的保养维护方案集进行调整，具体包括：

预设健康指数阈值和健康状态分类参数α₆；

当时，所述电浆设备处于非健康状态，对该电浆设备进行送检；

当时，所述电浆设备处于亚健康状态，对该电浆设备进行现场检修；

当时，所述电浆设备处于健康状态；

当所述电浆设备处于非健康状态时，停止向该电浆设备进气；

当所述电浆设备处于亚健康状态时，降低所述电浆设备的生产过程的进气量，直至对该电浆设备检修完成并处于健康状态时；

当所述电浆设备处于健康状态时，基于所述全部气体的浓度和所述目标气体的浓度，对所述电浆设备的生产过程的进气量进行调整。