CN118434489A

CN118434489A - 捕雾器

Info

Publication number: CN118434489A
Application number: CN202280085277.1A
Authority: CN
Inventors: E·梅森; H·W·M·兰伯特; T·J·戴维斯; K·米汉; M·F·戴维森; D·K·克努森; S·K·坎特伯雷
Original assignee: Edwards Ltd
Current assignee: Edwards Ltd
Priority date: 2021-12-22
Filing date: 2022-12-21
Publication date: 2024-08-02
Also published as: EP4452452A1; GB2614248A; KR20240127964A; WO2023118860A1; IL313650A; JP2024547034A; TW202337544A

Abstract

本申请涉及一种用于湿式洗涤器减排系统的捕雾器。捕雾器包括除雾室，该除雾室具有：气体入口，其用于接收来自湿式洗涤器减排系统的含雾排出气体的气体入口；液体捕获表面，雾滴可以在其上聚结以形成液体；以及气体出口，相对干燥的气体可以通过其离开室。捕雾器被配置成使得所捕获液体的至少第一部分经由气体入口离开室，以返回到湿式洗涤器减排系统。本申请还涉及一种集水挡板、一种减排系统以及一种减缓排气抽吸放大装置的主要流动通道中的颗粒积聚的方法。

Description

捕雾器

技术领域

本发明涉及一种捕雾器，并且特别是一种用于气体减排系统的捕雾器。本发明还提供一种用于捕雾器的集水挡板、一种包括捕雾器的减排系统以及一种减缓排气抽吸放大装置的主要流动通道中的颗粒积聚的方法。

背景技术

减排设备去除工艺气体流的组份(例如半导体或平板显示器制造工艺的化合物)，使得经减排气体流可以更安全地释放到环境中。

术语湿式洗涤器描述从炉烟气或从其他气体流中去除污染物的多种减排装置。在湿式洗涤器中，通过用液体喷洒被污染的气体流、通过迫使被污染的气体流通过液体池或者通过某一其他接触方法使被污染的气体流与诸如水的洗涤液体接触，以便去除污染物。湿式洗涤器还可以通过将固体颗粒捕获在液体中而去除这些固体颗粒。

在离开湿式洗涤器之前，借助于诸如雾过滤器或旋风分离器等称为除雾器的子部件来分离经洗涤排出气体流中的液滴。在工厂内进行任何最终排出或回收之前，对所保留洗涤液体和所夹带污染物进行处理。

图1提供填料塔设计湿式洗涤器(1)的简化示意图。所例示雾过滤器(2)位于填料塔的主室(3)内。雾过滤器(2)位于填料(5)与填料塔主室(3)的出口(4)之间。因此，在排出气体流(6)离开填料塔(1)的主室(3)之前，可以从排出气体流(6)中去除大致全部雾。

在一些情况下，在填料塔湿式洗涤器的下游采用排气抽吸放大装置(EDAD)。顾名思义，排气抽吸放大装置增加湿式洗涤器的离开口处的气体流动速度，沿另外的管道系统引导排气以便进行处理和/或释放到大气中。

参考图2，排气抽吸放大装置(10)的通常示例包括排出气体流经的主要流动通道(11)，主要流动通道(11)由集气室(7)围绕，集气室(7)具有通向气体流的端口(8、9)。这些端口(8、9)允许高速压缩干燥空气的射流引入到该流中，从而增加气体的总速度。

据报道，排气抽吸放大装置在现场可能展现不令人满意的平均清洁间隔时间(MTBC)。在一些情况下，排气抽吸放大装置可能在其主要流动通道和/或喷射端口的内壁上累积粉末。此粉末通常是减排的副产物，并且普遍呈硅石或二氧化硅的形式。随着粉末的累积，其改变该装置的几何形状，并且可能降低排气抽吸放大装置的效力、特别是在气体流速度增加的情况下。事实上，据报道，粉末可能累积到一定程度，以至该系统可能因不良压力条件而触发警报和/或自动关闭。

本发明至少部分地解决现有技术的这些问题和其他问题。

发明内容

因此，在第一方面中，本发明提供一种用于湿式洗涤器减排系统的捕雾器。捕雾器包括除雾室，除雾室具有用于接收来自湿式洗涤器减排系统的含雾排出气体的气体入口、雾滴可以在其上聚结以形成液体的液体捕获表面以及相对干燥的气体可以通过其离开室的气体出口。捕雾器被配置成使得所捕获液体的至少第一部分经由气体入口离开室，以返回到湿式洗涤器减排系统。优选地，液体经由气体入口流出室。

在研究上述问题时，发现包含少量粉末的相对干燥的气体可以从湿式洗涤器中流出并且通过排气抽吸放大装置。不受任何特定理论的约束，据信，将压缩气体引入到排气抽吸放大装置中可能然后急骤干燥粉末，从而使粉末沉积在排气抽吸放大装置的内壁上，在排气抽吸放大装置的内壁处，粉末可能逐渐积聚并最终引起堵塞。已经穿过雾过滤器的气体的低含水量意味着，所输运粉末不够润湿，而无法被排出气体中保留的任何雾冲走。此外，气体不够湿，而无法润湿EDAD的表面，并且从而防止蒸发的粉末粘附到所述表面。

通过提供独立捕雾器，可以在气体流已经穿过排气抽吸放大装置之后而非之前从气体流中去除雾。捕雾器可以捕获此雾中的一些并将其作为液体重新引导回到湿式洗涤器，从而允许冲洗湿式洗涤器与捕雾器之间的管道系统/管路，该管道系统/管路包括排气抽吸放大装置的内表面(诸如主要流动通道)，从而减少粉末在其上的累积。

因此，捕雾器可以与排气抽吸放大装置流体连通，并且被配置成使得经由气体入口离开室的液体被引导回到排气抽吸放大装置中。由此，捕雾器可以防止另外的粉末粘附。

除雾室可以包括至少一个排水出口，所捕获液体的第二部分通过该至少一个排水出口离开室。除雾室可以包括两个或更多个这样的排水出口。优选地，至少一个排水出口与储液罐、优选地用于将液体馈送到减排系统中(诸如馈送到湿式洗涤器的填料塔中)的储液罐流体连通。

含雾空气可以由湿式洗涤器、特别是由位于湿式洗涤器的填料塔减排室内的雾化器提供。通常，捕雾器结合不包括除雾器的气体减排系统的湿式洗涤器使用。含雾空气可以离开湿式洗涤器并且穿过排气抽吸放大装置。有利地，这允许含雾气体在从填料塔穿过排气抽吸放大装置到达捕雾器时冲洗排气抽吸放大装置的侧壁。此冲洗动作可以是除所回收液体沿相反方向从捕雾器流到湿式洗涤器、优选地流入填料床减排室以外的动作。

因此，在另外的方面中，本发明提供在使用时用水雾清洁来自气体减排系统的排气抽吸放大装置的粉末沉积物的用途，优选地其中，水雾从气体减排系统的填料塔湿式洗涤器按路线输送。

在另外的方面中，本发明提供一种减排系统，其包括排气抽吸放大装置和捕雾器，该排气抽吸放大装置被配置成将含雾气体引导到捕雾器中，并且捕雾器被配置成从含雾气体中去除液体。捕雾器还被配置成使得从含雾气体中去除的液体的至少一部分被引导回到排气抽吸放大装置中，优选地，通过排气抽吸放大装置并且进入湿式洗涤器减排室。优选地，含雾空气由湿式洗涤器提供。优选地，湿式洗涤器包括并不包括除雾器的填料塔。

在实施例中，减排系统可以包括根据先前方面的捕雾器。

通常，捕雾器竖直地位于排气抽吸放大装置和/或填料床减排室上方，使得由捕雾器收集的液体可以在重力的影响下流回通过排气抽吸放大装置和/或流入填料塔减排室。

在另外的方面中，本发明提供一种减缓气体减排系统的排气抽吸放大装置的主要流动通道中的颗粒积聚的方法。该工艺包括如下步骤：引导来自气体减排工艺的含雾空气通过排气抽吸放大装置的主要流动通道；从已经离开排气抽吸放大装置的含雾气体中去除液体；以及沿相反方向引导所述所去除液体返回到排气抽吸放大装置的主要流动通道中。

该方法可以使用根据第一方面的捕雾器和/或根据先前方面的减排系统实施。

在所有方面中，液体捕获表面可以由挡板提供，挡板至少部分将捕雾器的气体出口与捕雾器的气体入口阻隔开、优选地完全阻隔开。优选地，排出气体必须在其从气体入口到气体出口的路径上围绕挡板流动。挡板可以限定一个或多个孔隙，用于提供从入口到出口的流动路径。通常在使用中，由挡板限定的一个或多个孔隙提供从气体入口到气体出口的唯一路线。

在实施例中，挡板可以具有一个或多个裙边，其中优选地由挡板限定的一个或多个孔隙由一个或多个裙边提供。通常，该裙边或每一裙边是堞形的。当是堞形的时，开口(凹槽)可以提供孔隙。然而，将了解的是，一个或多个孔隙不必然限于任何特定形状或几何形状。

因此，在又一方面中，本发明提供一种用于气体减排系统的捕雾器的集水挡板，挡板包括大体平坦主体以及邻近主体的外周边的从该主体延伸的裙边，裙边限定被配置成准许气体在使用期间围绕挡板流动的一个或多个孔隙，其中裙边从其延伸的平坦本体的一侧被配置成提供雾滴可以在其上聚结的液体捕获表面。

在所有包含挡板的实施例中，该孔隙或每一孔隙的大小可以是可调节的。

在实施例中，挡板可以包括包括裙边的第一部分，第一部分嵌套在也包括裙边的第二部分内。每一所述裙边可以限定挡板的一个或多个孔隙，并且第一部分和第二部分可以相对于彼此移动，以改变一个或多个孔隙的大小。优选地，第一部分和第二部分具有圆形外圆周，例如其可以是圆盘状和/或环形的。优选地，裙边是堞形的。优选地，第一本体可相对于第二本体旋转，优选地以便改变一个或多个孔隙的大小。

在实施例中，挡板可以被配置成使得在使用中，(多个)裙边尖端(例如最低边缘)浸没在由挡板回收的液体中。

此方面的挡板可以用于先前(多个)方面的任何包含挡板的实施例中。

为避免疑问，所有方面和实施例都可以在细节上作必要的修改后组合。

附图说明

现在将参考以下图描述本发明，这些图旨在是非限制性的。

图1示出现有技术湿式洗涤器。

图2示出排气抽吸放大装置(EDAD)。

图3示出根据本发明的捕雾器的外部视图。

图4示出穿过根据本发明的捕雾器的截面。

图5示出根据本发明的挡板组件。

图6示出包括填料塔湿式洗涤器的减排系统中在恰当位置的捕雾器和EDAD。

图7示出根据本发明的方法。

具体实施方式

参考图3，本发明提出一种用于气体减排系统的捕雾器(12)。所图示捕雾器(12)包括用于接收来自减排系统(诸如湿式洗涤器的填料塔)的含雾排出气体的气体入口(13)。

捕雾器(12)还包括由壳体(15)限定的主室(14)以及气体出口(16)，相对干燥的气体可以通过气体出口(16)离开主室(14)。该气体相对干燥，因为可能已经通过捕雾器从该气体中去除一些、优选地大致全部雾。然而，尽管不必然如此，相对干燥的气体可能仍具有相对高相对湿度。

壳体(15)和/或整个捕雾器(12)在构造上通常是聚合物的，并且优选地是气密的。优选地，整个排出气体流穿过捕雾器(12)。

捕雾器(12)还包括一个或多个排水出口(17、18)，所收集液体的一部分可以通过排水出口(17、18)离开捕雾器(12)的主室(14)。如图4中更好地图示，捕雾器(12)可以包括两个或更多这样的排水出口(17、18)。液体可以在重力和/或压力的影响下从排水出口(17、18)中流出。通常，排水出口(17、18)位于捕雾器(12)的基部中。优选地，(多个)排水出口(17、18)位于捕雾器主室(14)中的最下方。如图4中所示，为帮助排水，捕雾器(12)的基部(19)可以被配置成朝向排水出口(17、18)引导液体。此外，在使用时，气体入口(13)的开口(20)可以相对于排水孔(17、18)升高。在所图示的示例中，捕雾器(12)的基部(19)呈截头圆锥的形式。排水孔(17、18)位于圆锥(19)的底部处的沟槽(21)中。圆锥(19)的顶部包括气体入口(13)的开口(20)。

有利地，此布置允许液体在室(14)内积聚(汇集)，然后所述液体开始朝向排气抽吸放大装置(10)和/或返回通向填料塔室的管道系统沿相反方向向下流回气体入口(13)。

如图6中最佳所示，排水出口(17、18)通常连接到收集贮存器(22)或罐，因此捕雾器(12)中收集的液体可以在减排工艺中重复使用。通常，采用(聚合物)管(排放管线)(23、24)来将该排水出口或每一排水出口连接到收集贮存器(22)。排放管线(23、24)的第一端部(25)可以连接到捕雾器的排水出口，并且同一排放管线的第二端部(26)可以连接到收集贮存器(22)、优选地在贮存器(22)中的液位(例如吃水线)下方。优选地，排放管线(23、24)在较低液位开关下方连接到收集贮存器(22)。通常，液体在重力和/或压力的影响下沿排放管线(23、24)移动，并且进入收集贮存器(22)。随着更多流被添加到系统中的排气抽吸放大装置(10)，从捕雾器(10)流向罐(22)的排放管线(23、24)中的压力越高。有利地，所收集液体中夹带的粉末也可以经由排水出口(17、18)沿排放管线(23、24)返回到收集贮存器(22)。收集贮存器可以是用于湿式洗涤器的液体馈送贮存器。

捕雾器(12)还包括集水挡板(27)。挡板(27)包括大体平坦主体(28)(例如圆盘状主体)以及邻近主体(28)的外周边(优选地在主体(28)的外周边处)的从主体(28)延伸的裙边(29)。优选地，裙边(29)从主体(28)的最外边缘延伸。如图5中可以更好地看到，裙边(29)限定一系列孔隙(30)。在使用中，排出气体可以穿过孔隙(30)、围绕挡板(27)并且朝向气体出口(16)流动。优选地，液体聚结在挡板(27)的下侧(31)上。

优选地，裙边(29)被配置成使得在使用中，其至少部分浸没在室(14)的基部(21、19)处的液体池内。外壳(15)内的液体池将对排出气体流呈现另外的阻力，从而从排出气体中去除更多雾。

对所例示捕雾器(12)的计算流体流体动力学研究表明，在捕集器内产生低速和高压区，从而在排出气体流中产生涡流。这些速度和流的扰动引起雾与气体流分离，并且允许其形成较大液滴，这些液滴太重而无法在该气体流中输运。这些较大液滴例如在挡板的下侧上结合，并且汇聚在捕集器的基部中。水池对气体流呈现另外的阻力，从而分离出更多雾。

优选地，孔隙(30)的大小可以改变。即，穿过挡板(27)的流动路径的总横截面积可以改变。孔隙(30)的大小可以手动改变(即，响应于用户输入)，和/或响应于减排系统和/或捕雾器中的条件自动改变。增加孔隙的大小可以减小捕雾器中的压降；而减小孔隙的大小可以增加捕雾器内的雾聚结和捕获速率。

在实施例中，可以在捕雾器(12)下游的管道(44)中提供视窗(例如透明管)。如果液滴出现在该视窗上，则并非所有雾都被捕获。因此，可以减小孔隙(30)的大小直到液滴不再出现在该视窗上。在替代实施例中，可以使用FTIR光谱仪来分析排出气体，以确定是否实现令人满意的除雾水平。

额外地或替代地，如果减排系统内的压力升高，则可能期望打开孔隙(30)，以减小通过捕雾器(12)的压降。

在实施例中，这种确定和孔隙大小调节可以自动实施，即，无需用户输入。例如，处理器可以连续监视离开除雾器的雾量和/或系统压力、确定孔隙的优选大小并且指示控制器响应于所述确定调节孔隙的大小。

挡板(27)可以被配置成使得在使用中，裙边(29)的最低边缘(32)浸没在主室的基部(21、19)上收集的液体中。在实施例中，挡板(27)相对于主室(14)的基部(19)的位置可以改变。因此，裙边(29)的最低边缘(32)的浸没深度可以改变，和/或孔隙(30)的大小可以改变。挡板(27)相对于室(14)的基部(19)的移动可以手动和/或自动控制。在实施例中，挡板(27)的定位可以形成先前论述的自动确定和孔隙大小调节的一部分。

在所图示的示例中，挡板(27)具有两部分构造。特别地，所图示挡板(27)包括包括裙边(35)的第一部分(33)，第一部分(33)嵌套在也包括裙边(29)的第二部分(34)内。所图示裙边(29、35)是堞形的，从而提供一系列裙边段(29、35)。在所例示的示例中，两个裙边(29、35)都限定挡板(27)的孔隙(30)。第一部分(33)和第二部分(34)可相对于彼此移动(例如可相对于彼此旋转)，以改变孔隙(30)的大小。特别地，第二部分(34)的裙边段(29)可以在第一部分(33)的裙边部分(35)上滑动。因此，裙边段(35、29)可以不同地呈逐排、重叠和径向对准的配置，从而改变挡板(27)的孔隙(30)的大小。

在所图示的示例中，第一部分(33)的本体(36)是大致圆盘状的，并且第二部分(34)的本体(37)是大致环形的(但是其也可以是圆盘状的)。有利地，所图示布置在挡板(27)的上表面上提供凹部(39)，粉末颗粒可以捕获在凹部(39)中，以便随后去除。

如图4中所图示，挡板(27)从捕雾器主室(14)的顶部(40)悬垂。在该示例中，多个支柱(41)将挡板(27)连接到室顶部(40)。在所例示的实施例中，采用环形固定板(38)将支柱(41)联接到顶部(40)。排出气体在通过气体出口(16)离开室(14)之前绕过支柱(41)。在所图示的示例中，第一部分(33)固定到室(14)的顶部(40)。第二部分(34)可相对于第一部分(33)和室壁(42)移动。冲击支柱(41)的粉末颗粒可以收集在挡板(27)的面朝上的一侧(39)上。

在使用中，含雾空气通过气体入口(13)开口(20)进入室(14)。含雾气体冲击挡板(27)的下侧(31)，并且来自雾的液体聚结在挡板(27)的所述下侧表面(31)上。然后，该液体可以沿挡板裙边(29、35)流下，并且收集在室(14)的基部(底板)(21、19)上，和/或滴落到主室的基部(19)上和/或直接沿气体入口(13)流下。雾滴也可以在捕雾器(12)的其他表面上聚结，并且类似地流向捕雾器(12)的基部(19、21)。当液体开始在主室(14)的基部(19、21)上积聚时，一些流体将流入一个或多个排水出口(17、18)。

液体还将沿与排出气体的流动方向相反的方向从气体入口(13)流出。排出气体的流动方向由箭头A指示。液体将沿位于捕雾器(12)上游的管道系统的内表面流动(例如返回到填料塔(43))，在实施例中，填料塔(43)将包括排气抽吸放大装置(10)。液体可以夹带其在沿管道系统/管路的路径上遇到的粉末或其他碎屑。液体可以继续流动，直到其重新进入减排系统的填料塔(43)。因此，粉末从包括排气抽吸放大装置(10)的管道/管路中冲洗掉，并且避免成问题的粉末积聚。

图2示出适用于本发明中的排气抽吸放大装置(10)。该排气抽吸放大装置包括排出气体流经的主要流动通道(11)，该主要流动通道(11)由集气室(7)围绕，集气室(7)具有通向该排出气体流的端口(8、9)。这些端口(8、9)允许高速压缩干燥空气的射流引入到该流中，从而增加气体的总速度。

在实施例中，排气抽吸放大装置的主要流动通道(11)与捕雾器(12)的气体入口(13)轴向对准。优选地，捕雾器(12)的入口通道(13)和EDAD(10)的主要流动通道(11)被布置成使得其提供连续面朝内的表面。

如图6中所图示，在优选布置中，捕雾器(12)紧邻减排系统中的排气抽吸放大装置(10)，优选地，捕雾器(12)位于排气抽吸放大装置(10)的正上方。优选地，由捕雾器(12)收集的液体优选地在重力的影响下直接流入排气抽吸放大装置(10)。

在替代布置中，雾过滤器可以定位在排气抽吸放大装置与捕雾器之间和/或捕雾器内。已经发现，此布置还增加排出气体的干燥，同时仍冲洗排气抽吸放大装置。

在实施例中，在使用期间可以将额外液体泵送到捕雾器中，优选地使得所述液体优选地以堰的形式在挡板上成瀑布落下，使得所有排出气体都必须穿过所述液体的帘幕。额外地或替代地，可以通过一个或多个喷洒喷嘴沿与进入气体流相反的方向将液体作为气溶胶喷洒到挡板的下侧上。捕雾器可以主动或被动冷却、优选地冷却至大幅低于进入捕雾器的气体的温度的温度。优选地，引入到捕雾器中的液体比进入捕雾器的排出气体更冷。这种布置可以有利地冲洗捕雾器，还冷却气体流，从而降低相对湿度并且从气体流中去除更多粉末。有利地，在包括雾过滤器的布置中，泵送到捕雾器中的液体可以额外地冲洗雾过滤器。

气体出口(16)通常连接到管道系统。经除雾(相对干燥)排出气体可以沿管道系统经过，以便进行另外的处理或者更通常排放到大气中。

出于本发明的目的，雾是液体悬浮在气体中的气溶胶。通常，气溶胶的直径将为约1000μm或以下、优选地从约2.5μm至约450μm、优选地至约250μm，例如使用激光衍射测量。液体通常是水性的(aqueous)，例如水。排出气体通常将包括空气。普遍，雾例如通过雾化器在湿式洗涤器的填料塔(43)内产生，并且沿管道系统抽吸到捕雾器。捕雾器中的温度通常为环境条件的温度或低于环境条件的温度。该温度可以优选地为从约5℃至约30℃、更优选地从约15℃至约25℃，20℃是示例。优选地，该温度使得在捕雾器下游的管道系统中并不发生显著冷凝。普遍，填料塔室内的水温将为从约10℃至约20℃，诸如从约14℃至约17℃。通常，气体温度为从约10℃至约20℃，诸如从约14℃至约15℃。

所属领域的技术人员将了解，可以取决于减排设备(特别是排气抽吸放大装置)的其余部分的大小、需要去除的雾量、现场体积限制等等改变捕雾器的尺寸。

捕雾器的直径将普遍大于气体入口和/或气体出口的直径。通常，捕雾器的主室的内径将小于约100cm、优选地小于约50cm。主室的直径将普遍大于约15cm、优选地大于约25cm。常见地，挡板具有的直径将大于气体出口和/或气体入口的直径。挡板的直径与气体入口和/或气体出口的直径的比可以为从约1:1至约5:1、优选地从约2:1至约3:1。

参考图7，本发明提供一种减缓气体减排系统的排气抽吸放大装置的主要流动通道中的颗粒积聚的方法。

该方法包括如下步骤：引导来自气体减排工艺的含雾空气通过排气抽吸放大装置的主要流动通道(45)；从已经离开排气抽吸放大装置的含雾气体中去除液体(46)；以及沿相反方向引导所述所去除液体的至少一部分返回通过排气抽吸放大装置的主要流动通道(47)。可选地，在步骤(47)之后，允许液体随后进入湿式洗涤器(48)的填料塔。优选地，其中在步骤(45)中使用的含雾空气源自湿式洗涤器的填料塔。该方法可选地包括将所去除液体的一部分引导到湿式洗涤器而不穿过排气抽吸放大装置的步骤。

将了解的是，本发明的方法可以使用本文中公开的装置实施。

将通过以下示例进一步说明本发明，这些示例旨在是非限制性的。

示例

测试1

通过去除雾过滤器来修改带有EDAD的Y35 Atlas 1200减排设备。这允许来自填料塔中产生的雾化喷雾的雾向下游迁移。将透明检查管引入到EDAD上方的管道中。在使用期间，在透明管上出现水滴，从而证实雾正穿过EDAD。需要来自排气提取管道的排放管线，以去除多余的水。

与未经修改的装置相比，在运行该经修改装置时，记录到EDAD堵塞显著减少和因EDAD堵塞所致的MTBC明显增加。

测试2

如图3至图5中所图示的捕雾器在EDAD下游的位置直接连接到Y35 Atlas 1200减排设备的EDAD。已经通过去除减排设备的雾过滤器而再次修改减排设备。这允许来自填料塔中产生的雾化喷雾的雾将粉末从EDAD中冲出，并且行进到捕雾器。

安装了聚合物排放管线，其从捕雾器的排水出口延到减排设备的填料塔下方的排水罐。将透明检查管连接到捕雾器的出口和下游排气管道。

当捕雾器挡板被设置为完全打开时，在透明聚合物管上未观察到液滴，从而指示捕雾器正去除所有雾。观察到液体沿聚合物排放管线从捕雾器向下流到排水罐。

与未经修改的装置相比，在结合捕雾器运行该经修改装置时，记录到EDAD堵塞显著减少和因EDAD堵塞所致的MTBC明显增加。

附图标记

1 填料塔湿式洗涤器

2 雾过滤器

3 填料塔的主室

4 填料

5 填料塔主室的出口

6 排出气体流

7 集气室

8 端口

9 端口

10排气抽吸放大装置(EDAD)

11 主要流动通道

12 捕雾器

13 气体入口

14 捕雾器主室

15 壳体

16 气体出口

17 排水出口

18 排水出口

19 基部

20 气体入口的开口

21 沟槽

22 收集贮存器

23 排放管线

24 排放管线

25 排放管线的第一端部

26 排放管线的第二端部

27 捕雾器挡板

28 挡板主体

29 挡板裙边

30(多个)挡板孔隙

31 挡板下侧

32 裙边最低边缘

33 挡板第一部分

34 挡板第二部分

35 第一部分裙边

36 第一部分的本体

37 第二部分的本体

38 环形固定板

39 挡板顶侧凹部

40 主室的顶部

41(多个)支柱

42 主室壁

43 填料塔

44 管道

45引导来自气体减排工艺的含雾空气通过排气抽吸放大装置

的主要流动通道。

46从已经离开排气抽吸放大装置的含雾气体中去除液体。

47沿相反方向引导所述所去除液体的至少一部分返回通过排气抽吸放大装置的主要流动通道。

48允许液体随后进入湿式洗涤器的填料塔。

Claims

1.一种用于湿式洗涤器减排系统的捕雾器，所述捕雾器包括除雾室，所述除雾室具有：气体入口，其用于接收来自所述湿式洗涤器减排系统的含雾排出气体；液体捕获表面，雾滴可以在其上聚结以形成液体；以及气体出口，相对干燥的气体可以通过其离开所述室；并且

其中，所述捕雾器被配置成使得所捕获液体的至少第一部分经由所述气体入口离开所述室，以返回到所述湿式洗涤器减排系统。

2.根据权利要求1所述的捕雾器，其中，所述液体捕获表面由挡板提供，所述挡板至少部分将所述气体出口与所述气体入口阻隔开。

3.根据权利要求2所述的捕雾器，其中，所述挡板限定一个或多个孔隙，以便提供从所述气体入口到所述气体出口的流动路径。

4.根据权利要求2或权利要求3所述的捕雾器，其中，所述挡板具有一个或多个裙边，优选地其中，所述挡板的一个或多个孔隙由所述一个或多个裙边提供。

5.根据任一前述权利要求所述的捕雾器，其中，所述除雾室包括至少一个排水出口，所述所捕获液体的第二部分通过所述至少一个排水出口离开所述室。

6.一种用于气体减排系统的捕雾器的集水挡板，所述挡板包括大体平坦主体以及邻近所述主体的外周边的从所述主体延伸的裙边，所述裙边限定一个或多个孔隙，所述一个或多个孔隙被配置成准许气体在使用期间围绕所述挡板流动，其中，所述裙边从其延伸的平坦主体的一侧被配置成提供雾滴可以在其上聚结的液体捕获表面。

7.根据权利要求3至5中任一项权利要求所述的捕雾器或者根据权利要求6所述的挡板，其中，所述孔隙或每一孔隙的大小是可调节的。

8.根据权利要求4或5或7所述的捕雾器或者根据权利要求6或7所述的挡板，其中，所述裙边或每一裙边是堞形的。

9.根据权利要求1至5中任一项或7或8所述的捕雾器，其中，所述捕雾器与排气抽吸放大装置流体连通，并且被配置成使得经由所述气体入口离开所述室的液体被引导回到所述排气抽吸放大装置中。

10.一种减排系统，其包括排气抽吸放大装置和捕雾器，所述排气抽吸放大装置被配置成将含雾气体引导到所述捕雾器中，并且所述捕雾器被配置成从含雾气体中去除液体，并且其中捕雾器还被配置成使得从所述含雾气体中去除的液体的至少一部分被引导回到所述排气抽吸放大装置中。

11.根据权利要求10所述的减排系统，其中，所述捕雾器是根据权利要求1至5或7或8中任一项的。

12.根据权利要求9所述的捕雾器或者根据权利要求10或11所述的减排系统，其中，被引导通过所述排气抽吸放大装置的液体返回到填料床减排室。

13.根据权利要求1至5中任一项或7至9所述的捕雾器或者根据权利要求10至12中任一项所述的减排系统，其包括根据权利要求6至8中任一项所述的捕雾器挡板。

14.一种减缓气体减排系统的排气抽吸放大装置的主要流动通道中的颗粒积聚的方法，所述方法包括如下步骤：

a.引导来自气体减排工艺的含雾空气通过所述排气抽吸放大装置的主要流动通道，

b.从已经离开所述排气抽吸放大装置的含雾气体中去除液体，以及

c.沿相反方向引导所述所去除液体的至少一部分返回通过所述排气抽吸放大装置的主要流动通道。

15.根据权利要求14所述的方法，其使用根据权利要求1至5中任一项或7至9中任一项权利要求所述的捕雾器或者根据权利要求10至12中任一项所述的减排系统来实施。

16.一种在使用时用水雾清洁来自气体减排系统的排气抽吸放大装置的粉末沉积物的用途，优选地其中，所述水雾从所述气体减排系统的填料塔湿式洗涤器按路线输送。