CN117373978A - 加工设备的补偿校准方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及电子产品制造技术领域，具体涉及一种加工设备的补偿校准方法。本发明旨在解决现有倒角机的承载装置会出现无法准确地移动到接料位置的问题。为此，本发明的加工设备的补偿校准方法包括：将晶圆转移至检测装置；检测晶圆的中心点的初始坐标值；根据初始坐标值计算实际接料位置；使承载装置移动到实际接料位置；将晶圆转移至承载装置；带着晶圆旋转设定角度；将晶圆转移至检测装置；检测晶圆的中心点的校准坐标值；根据初始坐标值和校准坐标值计算△X和△Y；根据△X和△Y对承载装置的初始接料位置的坐标值进行补偿校准。通过采用补偿校准方法定期对承载装置进行补偿校准，能够保证其准确地移动到接料位置。

Description

加工设备的补偿校准方法

技术领域

本发明涉及电子产品制造技术领域，具体涉及一种加工设备的补偿校准方法。

背景技术

航空航天，光导纤维等多种领域中，半导体晶圆是非常重要的材料。在晶片的加工过程中，从晶锭切成晶片后，如果直接进行磨片，容易产生崩边，从而引起晶片报废，因此在磨片之前需要对晶片进行倒角。

半导体晶圆除了硅晶圆，还有碳化硅晶圆、蓝宝石晶圆等，现有倒角机具有加工装置和承载装置，加工装置用于对晶圆进行倒角磨削，承载装置用于承载晶圆，在对晶圆进行倒角磨削的过程中，由承载装置带着晶圆旋转，承载装置具有加工位置和接料位置，在具体工作过程中，承载装置需要先从加工位置移动到接料位置，来接取由物料转移装置转移过来的晶圆，然后再移回到加工位置通过加工装置对晶圆进行倒角加工。

为了保证对晶圆的加工质量，需要使晶圆的中心点与承载装置的旋转中心重合，如果承载装置能够准确地移动到接料位置，晶圆的中心点可以正好与承载装置的旋转中心重合，然而，随着时间的推移，易出现承载装置无法准确地移动到接料位置的情况，从而影响对晶圆的加工质量。

相应地，本领域需要一种新的技术方案来解决上述问题。

发明内容

为了解决现有技术中的上述至少一个问题，即为了解决现有倒角机的承载装置会出现无法准确地移动到接料位置的情况从而影响晶圆的加工质量的技术问题。

在第一方面，本申请提供了一种加工设备的补偿校准方法，所述加工设备包括检测装置、物料转移装置、用于承载晶圆的承载装置以及用于对晶圆进行加工的加工装置，所述检测装置用于检测晶圆的中心点的坐标，所述物料转移装置用于将晶圆从所述检测装置转移至所述承载装置，所述承载装置能够在所述加工装置对晶圆进行加工时带着晶圆旋转，所述补偿校准方法包括：

将晶圆转移至所述检测装置上；

通过所述检测装置检测所述晶圆的中心点的初始坐标值(△Xc，△Yc)；

根据所述初始坐标值(△Xc，△Yc)计算实际接料位置的坐标值；

使所述承载装置移动到所述实际接料位置；

使所述物料转移装置将所述晶圆从所述检测装置转移至所述承载装置；

使所述承载装置带着所述晶圆旋转设定角度；

使所述物料转移装置将所述晶圆从所述承载装置转移至所述检测装置；

通过所述检测装置检测所述晶圆的中心点的坐标值，记为校准坐标值(△Xj，△Yj)；

根据所述初始坐标值(△Xc，△Yc)和所述校准坐标值(△Xj，△Yj)计算X向偏移量△X和Y向偏移量△Y；

根据所述X向偏移量△X和所述Y向偏移量△Y对所述承载装置的初始接料位置的坐标值(XO，Y0)进行补偿校准。

在上述加工设备的补偿校准方法的优选技术方案中，所述加工设备还包括定位装置，“将晶圆转移至所述检测装置上”的步骤具体包括：

通过所述定位装置对所述晶圆进行定位；

将所述晶圆从所述定位装置转移至所述检测装置。

在上述加工设备的补偿校准方法的优选技术方案中，，“通过所述检测装置检测所述晶圆的中心点的初始坐标值(△Xc，△Yc)”的步骤具体包括：

通过所述检测装置检测所述晶圆的中心点的坐标值，记为第一坐标值(△X1，△Y1)；

根据所述第一坐标值(△X1，△Y1)计算第一接料位置的坐标值；

使所述承载装置移动到所述第一接料位置；

使所述物料转移装置将所述晶圆从所述检测装置转移至所述承载装置；

使所述物料转移装置将所述晶圆从所述承载装置转移至所述检测装置；

通过所述检测装置检测所述晶圆的中心点的坐标值，记为第二坐标值(△X2，△Y2)；

将所述第二坐标值(△X2，△Y2)作为所述初始坐标值(△Xc，△Yc)或者

根据所述第一坐标值(△X1，△Y1)和所述第二坐标值(△X2，△Y2)计算所述初始坐标值(△Xc，△Yc)。

在上述加工设备的补偿校准方法的优选技术方案中，所述设定角度为180°，“根据所述初始坐标值(△Xc，△Yc)和所述校准坐标值(△Xj，△Yj)计算X向偏移量△X和Y向偏移量△Y”的步骤具体包括：

△X＝(△Xc+△Xj)/2；

△Y＝(△Yc+△Yj)/2。

在上述加工设备的补偿校准方法的优选技术方案中，所述物料转移装置包括第一旋转驱动组件、连接臂以及取料吸盘，所述连接臂的一端与所述第一旋转驱动组件连接，所述取料吸盘安装在所述连接臂的另一端，所述第一旋转驱动组件用于驱动所述连接臂带着所述取料吸盘在取料位与放料位之间转动，所述取料吸盘在位于所述取料位时能够将位于所述检测装置上的晶圆吸取，所述取料吸盘位于所述放料位时能够将晶圆放置于所述承载装置。

在上述加工设备的补偿校准方法的优选技术方案中，所述物料转移装置还包括与所述第一旋转驱动组件连接的第一限位止挡构件和第二限位止挡构件，所述第一限位止挡构件能够对所述连接臂进行阻挡以使所述连接臂上的所述取料吸盘停止在所述放料位，所述第二限位止挡构件能够对所述连接臂进行阻挡以使所述连接臂上的所述取料吸盘停止在所述取料位。

在上述加工设备的补偿校准方法的优选技术方案中，所述第一限位止挡构件包括水平设置的第一限位螺栓以及安装在所述第一限位螺栓上的第一锁紧螺母，所述第一旋转驱动组件上设有第一螺纹孔，所述第一限位螺栓与所述第一螺纹孔螺纹连接，所述第一限位螺栓的一端用于对所述连接臂进行止挡限位，所述第一限位螺栓的另一端穿过所述第一螺纹孔与所述第一锁紧螺母螺接，所述第一锁紧螺母抵接于所述第一旋转驱动组件；和/或

所述第二限位止挡构件包括水平设置的第二限位螺栓以及安装在所述第二限位螺栓上的第二锁紧螺母，所述第一旋转驱动组件上设有第二螺纹孔，所述第二限位螺栓与所述第二螺纹孔螺纹连接，所述第二限位螺栓的一端用于对所述连接臂进行止挡限位，所述第二限位螺栓的另一端穿过所述第二螺纹孔与所述第二锁紧螺母螺接，所述第二锁紧螺母抵接于所述第一旋转驱动组件。

在上述加工设备的补偿校准方法的优选技术方案中，所述定位装置包括定位固定构件以及安装在所述定位固定构件上的第一夹紧组件、第二夹紧组件和驱动组件，所述第一夹紧组件和所述第二夹紧组件沿第一水平方向相对设置，所述驱动组件与所述第一夹紧组件和所述第二夹紧组件驱动连接且能够驱动所述第一夹紧组件和所述第二夹紧组件同步沿所述第一水平方向相向移动以将晶圆夹紧，所述驱动组件还能够驱动所述第一夹紧组件和所述第二夹紧组件同步沿所述第一水平方向反向移动。

在上述加工设备的补偿校准方法的优选技术方案中，所述第一夹紧组件朝向所述第二夹紧组件的一侧设有第一定位槽，所述第二夹紧组件朝向所述第一夹紧组件的一侧设有第二定位槽，所述第一定位槽和所述第二定位槽分别与晶圆两侧的边缘抵接以将晶圆夹紧。

在上述加工设备的补偿校准方法的优选技术方案中，所述驱动组件包括驱动机构、沿所述第一水平方向延伸的第一齿条、沿所述第一水平方向延伸的第二齿条和齿轮，所述驱动机构与所述第一夹紧组件连接且能够驱动所述第一夹紧组件沿所述第一水平方向移动，所述第一齿条和所述第二齿条分别与所述第一夹紧组件和所述第二夹紧组件连接，所述第一齿条和所述第二齿条沿第二水平方向间隔分布，所述第二水平方向与所述第一水平方向垂直，所述齿轮可转动的安装在所述定位固定构件上，所述齿轮位于所述第一齿条和所述第二齿条之间且与所述第一齿条和所述第二齿条啮合。

在上述加工设备的补偿校准方法的优选技术方案中，所述驱动机构包括驱动气缸、沿所述第一水平方向延伸的弹性复位构件以及与所述第一夹紧组件连接的推动构件，所述驱动气缸与所述推动构件连接且能够驱动所述推动构件带着所述第一夹紧组件沿所述第一水平方向远离所述第二夹紧组件移动，所述弹性复位构件的两端分别与所述定位固定构件和所述推动构件连接，所述弹性复位构件在所述驱动气缸解除驱动后能够使所述推动构件带着所述第一夹紧组件沿所述第一水平方向靠近所述第二夹紧组件移动。

在上述加工设备的补偿校准方法的优选技术方案中，所述定位固定构件上设有第一连接结构，所述推动构件上设有第二连接结构，所述弹性复位构件的两端分别与所述第一连接结构和所述第二连接结构连接，所述第一连接结构与所述第二连接结构沿所述第一水平方向之间的初始距离可调节。

在上述加工设备的补偿校准方法的优选技术方案中，所述第二连接结构为沿所述第一水平方向设置的连接杆，所述推动构件上设有安装孔，所述安装孔沿所述第一水平方向贯穿所述推动构件，所述连接杆的第一端与所述弹性复位构件连接，所述连接杆在靠近其第二端的位置设有螺纹段，所述螺纹段穿过所述安装孔且所述螺纹段上安装有与其螺接配合的调节螺母，所述调节螺母靠近所述连接杆的第一端的一侧抵靠于所述推动构件；或者

所述第二连接结构为沿所述第一水平方向设置的连接杆，所述推动构件上设有安装孔，所述连接杆的第一端与所述弹性复位构件连接，所述连接杆在靠近其第二端的位置设有螺纹段，所述安装孔的内壁上设有与所述螺纹段相适配的螺纹，所述螺纹段通过所述螺纹与所述安装孔螺接固定。

在上述加工设备的补偿校准方法的优选技术方案中，所述检测装置包括检测固定构件以及安装在所述检测固定构件上的承载组件、平移组件以及安装在所述平移组件上的寻边检测构件，所述承载组件用于承载晶圆且能够带着晶圆旋转，所述平移组件能够相对于所述检测固定构件沿水平方向移动。

在上述加工设备的补偿校准方法的优选技术方案中，所述承载装置包括第一水平驱动组件、安装在所述第一水平驱动组件上的第二水平驱动组件、安装在所述第二水平驱动组件上的第二旋转驱动组件以及安装在所述第二旋转驱动组件上的磨削承载构件，所述第一水平驱动组件能够驱动所述第二水平驱动组件沿第一水平方向移动，所述第二水平驱动组件能够驱动所述第二旋转驱动组件沿第二水平方向移动，所述第二水平方向与所述第一水平方向垂直，所述第二旋转驱动组件能够驱动所述磨削承载构件绕竖直轴线旋转，所述磨削承载构件用于承载晶圆。

在上述加工设备的补偿校准方法的优选技术方案中，所述加工设备为倒角机。

在采用上述技术方案的情况下，本发明的补偿校准方法能够对承载装置的接料位置进行补偿校准，通过采用本发明的补偿校准方法定期对承载装置的接料位置进行补偿校准，能够避免出现承载装置无法准确地移动到接料位置的情况，从而保证对晶圆的加工质量。

进一步地，本发明通过设置定位装置对晶圆进行定位，有利于提高补偿校准的准确定。

又进一步地，本发明的定位装置通过采用两组相对设置且能够同步相向移动和同步反向移动的夹紧组件来对晶圆夹紧定位，能够适用多种不同尺寸的晶圆，极大地提升了定位装置的适用范围，且可以采用不同尺寸的晶圆对取料装置进行补偿校准，更有利于提高补偿校准的准确性。

又进一步地，本发明的定位装置通过在第一夹紧组件和第二夹紧组件上分别设置第一定位槽和第二定位槽对晶圆进行夹紧定位，能够提高定位的准确性，进而提高对取料装置补偿校准的准确性。

又进一步地，本发明的定位装置通过采用弹性复位构件的弹性恢复力使第一夹紧组件和第二夹紧组件将晶圆夹紧，能够避免出现因为夹紧力过大而导致晶圆受损的情况出现。

又进一步地，本发明的定位装置通过将第一连接结构与第二连接结构沿X方向之间的初始距离设置为可调节的，使得本发明的定位装置能够适用更多不同尺寸的晶圆，从而进一步提高定位装置的适用范围。

附图说明

下面参照附图来描述本申请的技术方案。附图中：

图1为本申请的倒角机的部分结构示意图一；

图2为本申请的倒角机的部分结构示意图二；

图3为本申请的倒角机的部分结构示意图三；

图4为本申请的物料转移装置的结构示意图一；

图5为本申请的物料转移装置的结构示意图二；

图6为本申请的取料装置的结构示意图；

图7为本申请的检测装置的结构示意图；

图8为本申请的定位装置的结构示意图；

图9为本申请的定位装置的部分结构示意图；

图10为本申请的承载装置的结构示意图；

图11为本申请的倒角机的补偿校准方法的流程图。

附图标记列表

1、机座；11、底座；12、上料仓支座；

2、取料装置；21、升降组件；211、固定座；212、连接板；213、升降电机；214、同步带组件；215、丝杠；216、升降滑块；22、旋转组件；221、固定架；222、第一旋转轴；223、旋转构件；224、第一旋转电机；225、第一减速机；226、第一联轴器；23、伸缩取料组件。

3、检测装置；31、检测固定构件；32、检测承载组件；321、第二旋转驱动机构；322、第二旋转轴；3211、连接法兰；3212、第二旋转电机；3213、第二减速机；3214、第二联轴器；33、平移组件；331、平移座；332、安装板；34、寻边检测构件；341、信号发射器；342、信号接收器；

4、料盒；

5、定位装置；54、定位固定构件；541、底板；542、承载板；543、支撑柱；5411、第一连接结构；5421、第一通孔；5422、第二通孔；55、第一夹紧组件；551、第一夹紧构件；552、第一连接构件；5511、第一定位槽；5521、第一连接板；56、第二夹紧组件；561、第二夹紧构件；562、第二连接构件；5611、第二定位槽；5621、第二连接板；57、驱动组件；571、驱动机构；572、第一齿条；573、第二齿条；574、齿轮；5711、驱动气缸；5712、弹性复位构件；5713、推动构件；5714、第二连接结构；57131、竖直推杆；57132、水平推杆；57141、连接杆；57142、调节螺母；581、第一导向构件；582、第三导向构件；

6、物料转移装置；61、第一旋转驱动组件；611、安装座；612、旋转气缸；62、连接臂；63、取料吸盘；64、第一限位螺栓；65、第一锁紧螺母；66、第二限位螺栓；

7、加工装置；

8、承载装置；811、第一电机；812、第一平移座；821、第二电机；822、第二平移座；841、安装座；842、第三旋转轴；85、磨削承载构件；861、第一水平导轨；862、第一导向块；871、第二水平导轨；

9、晶圆。

具体实施方式

下面参照附图来描述本申请的优选实施方式。本领域技术人员应当理解的是，这些实施方式仅仅用于解释本申请的技术原理，并非旨在限制本申请的保护范围。例如，虽然下面描述的实施方式是结合倒角机进行介绍的，但是，本发明的技术方案同样适用于其它类型的加工设备，例如减薄机等，这种对应用对象的调整和改变并不偏离本发明的原理和保护范围，均应限定在本发明的保护范围之内。

需要说明的是，在本申请的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、等指示的方向或位置关系的术语是基于附图所示的方向或位置关系，这仅仅是为了便于描述，而不是指示或暗示所述装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，还需要说明的是，在本申请的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域技术人员而言，可根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

具体地，本发明提供了一种倒角机，该倒角机能够对晶圆进行倒角磨削。

如图1至图3所示，本发明的倒角机包括机座1以及安装在机座1上的取料装置2、检测装置3、料盒4、物料转移装置6、加工装置7以及承载装置8，其中，料盒4用于存储晶圆9，取料装置2用于将料盒4中晶圆取出并转移至检测装置3，检测装置3用于对晶圆9的中心点的位置进行检测，物料转移装置6用于将晶圆9从检测装置3转移至承载装置8，承载装置8用于承载晶圆，在加工装置7对晶圆进行加工时，承载装置8能够带着晶圆旋转，加工装置7用于对晶圆进行倒角加工。

示例性地，如图1至图3所示，本发明的倒角机的机座1包括底座11和上料仓支座12，取料装置2、检测装置3、物料转移装置6、加工装置7以及承载装置8均与底座11固定连接，料盒4固定安装在上料仓支座12的顶面。

优选地，如图1和图6所示，本发明的取料装置2包括升降组件21、安装在升降组件21上的旋转组件22以及安装在旋转组件22上的伸缩取料组件23，升降组件21用于带着旋转组件22和伸缩取料组件23沿竖直方向上下移动，旋转组件22用于带着伸缩取料组件23绕竖直轴线旋转，伸缩取料组件23用于取放晶圆。

当需要从料盒4上取晶圆时，旋转组件22能够带着伸缩取料组件23旋转，以使伸缩取料组件23与料盒4对正，升降组件21能够带着旋转组件22和伸缩取料组件23一同上下移动，以使伸缩取料组件23与待提取的晶圆对正，从而使伸缩取料组件23将该晶圆取下，然后再由旋转组件22带着伸缩取料组件23旋转至与检测装置3对正的位置，将晶圆放到检测装置3上进行检测。

优选地，如图6所示，本发明的升降组件21包括固定座211以及安装在固定座211上的升降驱动机构和连接板212，连接板212与旋转组件22固定连接，升降驱动机构与连接板212连接，且能够驱动连接板212沿竖直方向上下移动。

示例性地，如图6所示，固定座211沿竖直方向设置，升降驱动机构包括升降电机213、同步带组件214、丝杠215和升降滑块216，连接板212与升降滑块216固定连接或一体设置，丝杠215沿竖直方向设置，升降电机213的驱动轴通过同步带组件214与丝杠215的底端连接，以驱动丝杠215转动，丝杠215可转动地安装在固定座211上，升降滑块216安装在丝杠215上，且能够随着丝杠215的转动沿着丝杠215上下移动，以通过连接板212带动旋转组件22和伸缩取料组件23上下移动。

需要说明的是，本发明不对升降驱动机构的具体结构形式进行限定，例如，可以将同步带组件214替换成齿轮传动组件，或者直接使升降电机213通过减速机与丝杠215的底端固定连接，此外，可以将丝杠215和升降滑块216替换成齿轮齿条传动机构，等等，这种对升降驱动机构的具体结构形式的调整和改变并不偏离本发明的原理和范围，均应限定在本发明的保护范围之内。

优选地，如图6所示，本发明的旋转组件22包括与升降组件21固定连接的旋转固定构件、固定安装在旋转固定构件上的第一旋转驱动机构、可转动地安装在旋转固定构件上的第一旋转轴222以及旋转构件223，伸缩取料组件23固定安装在旋转构件223上，第一旋转轴222竖直设置，且第一旋转轴222的底端和顶端分别与第一旋转驱动机构和旋转构件223固定连接，第一旋转驱动机构用于驱动第一旋转轴222旋转，从而带动旋转构件223和伸缩取料组件23旋转。

其中，旋转固定构件与升降组件21的连接板212固定连接，第一旋转驱动机构通过驱动第一旋转轴222带动旋转构件223以及安装在旋转构件223上的伸缩取料组件23旋转。

需要说明的是，本发明不对旋转构件223的旋转范围进行限制，本领域技术人员在实际应用中可以根据倒角机各装置的位置进行合理限定，例如，可以将旋转构件223的旋转范围限制为不超过90度，或者，也可以将旋转构件223的旋转范围限制为不超过180度，再或者，还可以使旋转构件223能够360度旋转，等等，这种灵活地调整和改变并不偏离本发明的原理和范围，均应限定在本发明的保护范围之内。

此外，还需要说明的是，本发明不对第一旋转驱动机构的具体结构形式进行限定，例如，可以将第一旋转驱动机构设置为电机和减速机的结构形式，或者设置为电机和同步带组件的结构形式，再或者设置为电机和齿轮组件的结构形式，等等，只要通过第一旋转驱动机构能够驱动第一旋转轴222进行旋转即可。

优选地，如图6所示，本发明的第一旋转驱动机构包括依次连接的第一旋转电机224、第一减速机225和第一联轴器226，第一联轴器226与第一旋转轴222的底端固定连接。

示例性地，如图6所示，第一减速机225与旋转固定构件固定连接，第一旋转电机224安装在第一减速机225的下方，第一联轴器226安装在第一减速机225的上方，第一旋转轴222的底端通过第一联轴器226与第一减速机225的输出轴固定连接。

优选地，如图6所示，本发明的旋转固定构件包括与升降组件21固定连接的固定架221以及位于固定架221顶端的固定筒(图中未示出)，第一旋转轴222的一部分位于固定筒内且与固定筒转动连接，第一旋转驱动机构与固定架221固定连接。

示例性地，如图6所示，旋转固定构件的固定架221的侧部与升降组件21的连接板212固定连接，固定架221的底部设有固定孔，第一减速机225安装在该固定孔内，且第一减速机225的顶端穿过固定孔伸入到固定架221内，第一旋转轴222的顶端从固定筒的顶部伸出，并与旋转构件223固定连接，第一旋转轴222的底端从固定筒的底部伸出，并穿过固定架221的顶部与固定架221内的第一联轴器226固定连接，固定筒内安装有轴承，第一旋转轴222通过该轴承与固定筒转动连接。

需要说明的是，本发明不对检测装置3的具体结构形式进行限定，例如，可以将检测装置3设置为公开号CN212331471U中介绍的视觉检测装置，通过视觉检测装置采集晶圆的影像，并通过运算获取晶圆的中心点的坐标；或者，也可以将检测装置3设置为具有寻边检测功能的装置，等等，这种对检测装置3的具体类型的调整和改变并不偏离本发明的原理和范围，均应限定在本发明的保护范围之内。

优选地，如图7所示，本发明的检测装置3包括检测固定构件31以及安装在检测固定构件31上的检测承载组件32、平移组件33以及安装在平移组件33上的寻边检测构件34。其中，检测承载组件32用于承载晶圆9且能够带着晶圆9旋转，平移组件33能够相对于检测固定构件31沿水平方向移动。

通过在检测固定构件31上设置平移组件33，并将寻边检测构件34安装在平移组件33上，这样一来，能够通过平移组件33来调节寻边检测构件34与检测承载组件32之间的水平距离，使得本发明的检测装置3能够对不同尺寸的晶圆进行寻边检测，提高了检测装置3的适用范围。

示例性地，如图7所示，寻边检测构件34包括沿竖直方向相对设置的信号发射器341和信号接收器342，信号发射器341位于信号接收器342的上方，晶圆9位于信号发射器341与信号接收器342之间，在进行寻边检测前，根据晶圆9的具体尺寸来调整寻边检测构件34与检测承载组件32的之间的水平距离，在对晶圆9进行寻边检测的过程中，信号发射器341发送激光信号，检测承载组件32带着晶圆9旋转，由寻边检测构件34来检测晶圆9边缘数据，根据晶圆边缘数据拟合出圆周，计算出晶圆9的中心点的坐标。

优选地，如图7所示，本发明的平移组件33包括安装在检测固定构件31上的平移座331以及安装在平移座331上的安装板332，寻边检测构件34安装在安装板332上，平移座331能够相对于检测固定构件31沿水平方向移动。

优选地，如图7所示，本发明的检测承载组件32包括安装在检测固定构件31上的第二旋转驱动机构321、竖直设置的第二旋转轴322以及安装在第二旋转轴322顶端的检测承载构件(图中未示出)，第二旋转驱动机构321与第二旋转轴322驱动连接且能够驱动第二旋转轴322带着检测承载构件旋转。

示例性地，如图7所示，本发明的检测承载构件为真空吸盘，第二旋转驱动机构321包括连接法兰3211、第二旋转电机3212、第二减速机3213和第二联轴器3214，连接法兰3211的侧部与检测固定构件31固定连接，连接法兰3211的底部设有安装孔，第二减速机3213安装在该安装孔内，第二减速机3213的顶端穿过安装孔伸入到连接法兰3211内，第二旋转电机3212安装在第二减速机3213的下方，第二联轴器3214安装在第二减速机3213的上方，第二旋转轴322的底端穿过连接法兰3211的顶部并通过第二联轴器3214与第二减速机3213的输出轴固定连接，也就是说，第二旋转电机3212的驱动轴通过第二减速机3213和第二联轴器3214与第二旋转轴322的底端固定连接，以便驱动第二旋转轴322带着真空吸盘旋转。

需要说明的是，本发明的第二旋转驱动机构321并不限于上述介绍的结构形式，例如，可以将第二减速机3213和第二联轴器3214替换成同步带传动组件，将第二旋转电机3212设于第二旋转轴322的侧面，第二旋转电机3212的驱动轴通过同步带传动组件与第二旋转轴322的底端驱动连接，或者，也可以将第二减速机3213和第二联轴器3214替换成链条传动组件，将第二旋转电机3212设于第二旋转轴322的侧面，第二旋转电机3212的驱动轴通过链条传动组件与第二旋转轴322的底端驱动连接，再或者，还可以将通过DD直驱电机驱动第二旋转轴322旋转，等等，这种对第二旋转驱动机构321的具体结构形式的调整和改变并不偏离本发明的原理和范围，均应限定在本发明的保护范围之内。

优选地，如图1和图8所示，本发明的倒角机还包括定位装置5，定位装置5用于对晶圆的中心点进行定位。

示例性地，定位装置5安装在倒角机的上料仓支座12上，取料装置2、检测装置3和定位装置5沿第二水平方向(图1中所示的Y方向)分布，取料装置2位于检测装置3和定位装置5之间。

优选地，如图8和9所示，本发明的定位装置5包括定位固定构件54以及安装在定位固定构件54上的第一夹紧组件55、第二夹紧组件56和驱动组件57。

其中，定位固定构件54与上料仓支座12固定连接，第一夹紧组件55和第二夹紧组件56沿第一水平方向(如图8中所示的X方向)相对设置，驱动组件57与第一夹紧组件55和第二夹紧组件56驱动连接，并且，驱动组件57能够驱动第一夹紧组件55和第二夹紧组件56同步沿第一水平方向相向移动以将晶圆夹紧定位，驱动组件57还能够驱动第一夹紧组件55和第二夹紧组件56同步沿第一水平方向反向移动。

在需要采用定位装置5对晶圆进行定位时，将晶圆放在第一夹紧组件55与第二夹紧组件56之间，然后由驱动组件57驱动第一夹紧组件55沿X方向向左移动，第二夹紧组件56同时沿X方向向右移动，即第一夹紧组件55和第二夹紧组件56同步相向移动，第一夹紧组件55和第二夹紧组件56分别与晶圆的右边缘和左边缘抵靠时，将晶圆夹紧，从而实现对晶圆的定位，当需要取走晶圆时，由驱动组件57驱动第一夹紧组件55沿X方向向右移动，第二夹紧组件56同时沿X方向向左移动，即第一夹紧组件55和第二夹紧组件56同步反向移动。

需要说明的是，本发明优选使取料装置2、检测装置3和定位装置5沿第二水平方向，在这种情形下，图8中的X方向和Y方向与图1中的X方向和Y方向是一致的。

此外，还需要说明的是，本发明的定位装置5并不限于上述介绍的夹紧式的结构，例如，还可以将定位装置设置为承片台，在承片台的上表面设置定位凹槽，通过定位凹槽对晶圆进行定位，等等，这种对定位装置的具体结构形式的调整和改变并不偏离本发明的原理和范围，均应限定在本发明的保护范围之内。

当然，本发明优选将定位装置设置为上述介绍的夹紧式的定位结构，能够对多种不同尺寸的晶圆进行定位，适用范围大。

优选地，如图8和图9所示，第一夹紧组件55朝向第二夹紧组件56的一侧设有第一定位槽5511，第二夹紧组件56朝向第一夹紧组件55的一侧设有第二定位槽5611，第一定位槽5511和第二定位槽5611分别与晶圆两侧的边缘抵接以将晶圆夹紧。

其中，第一定位槽5511朝向第二定位槽5611的一侧呈开口设置，第二定位槽5611朝向第一定位槽5511的一侧也呈开口设置，通过第一定位槽5511和第二定位槽5611将晶圆夹紧定位，能够提高定位的准确性。其中，优选将第一定位槽5511和第二定位槽5611设置为V型。

优选地，如图8和图9所示，本发明的驱动组件57包括驱动机构571、沿第一水平方向延伸的第一齿条572、沿第一水平方向延伸的第二齿条573和齿轮574。

其中，驱动机构571与第一夹紧组件55连接且能够驱动第一夹紧组件55沿第一水平方向移动，第一齿条572和第二齿条573分别与第一夹紧组件55和第二夹紧组件56连接，第一齿条572和第二齿条573沿第二水平方向(如图8中所示的Y方向)间隔分布，第二水平方向与第一水平方向垂直，齿轮574可转动的安装在定位固定构件54上且位于第一齿条572和第二齿条573之间且与第一齿条572和第二齿条573啮合。

示例性地，当驱动机构571驱动第一夹紧组件55沿X方向向左移动时，第一齿条572随着第一夹紧组件55沿X方向向左移动，第一齿条572带动齿轮574顺时针旋转，齿轮574带动第二齿条573沿X方向向右移动，第二齿条573带着第二夹紧组件56沿X方向向右移动，从而实现第一夹紧组件55和第二夹紧组件56同步沿X方向相向移动，反之，当驱动机构571驱动第一夹紧组件55沿X方向向右移动时，第一齿条572随着第一夹紧组件55沿X方向向右移动，第一齿条572带动齿轮574逆时针旋转，齿轮574带动第二齿条573沿X方向向左移动，第二齿条573带着第二夹紧组件56沿X方向向左移动，从而实现第一夹紧组件55和第二夹紧组件56同步沿X方向反向移动。

需要说明的是，在实际应用中，本领域技术人员可以将驱动机构571设置为电机驱动机构，或者设置为液压驱动机构，再或者设置气缸驱动机构等等，这种对驱动机构571的具体结构类型的调整和改变并不偏离本发明的原理和范围，均应限定在本发明的保护范围之内。

优选地，如图8和图9所示，本发明的驱动机构571包括驱动气缸5711、沿第一水平方向延伸的弹性复位构件5712以及与第一夹紧组件55连接的推动构件5713。

其中，驱动气缸5711与推动构件5713连接且能够驱动推动构件5713带着第一夹紧组件55沿第一水平方向远离第二夹紧组件56移动，弹性复位构件5712的两端分别与定位固定构件54和推动构件5713连接，弹性复位构件5712在驱动气缸5711解除驱动后能够使推动构件5713带着第一夹紧组件55沿第一水平方向靠近第二夹紧组件56移动。

也就是说，当需要使第一夹紧组件55和第二夹紧组件56分开时，由驱动机构571驱动着推动构件5713带着第一夹紧组件55和第二夹紧组件56沿X方向反向移动，然后将晶圆放在第一夹紧组件55和第二夹紧组件56之间，在推动构件5713移动的过程中，弹性复位构件5712被拉伸，驱动气缸5711解除驱动后，在弹性复位构件5712的弹性力的作用下，推动构件5713带着第一夹紧组件55和第二夹紧组件56沿X方向相向移动，从而将晶圆夹紧，这样一来，能够避免因为夹紧力太大而造成晶圆出现损伤。

需要说明的是，本发明不对弹性复位构件5712的具体结构形式进行限定，例如，本领域技术人员可以将弹性复位构件5712设置为弹簧或者弹性绳等等。

优选地，如图8和图9所示，定位固定构件54上设有第一连接结构5411，推动构件5713上设有第二连接结构5714，弹性复位构件5712的两端分别与第一连接结构5411和第二连接结构5714连接，第一连接结构5411与第二连接结构5714沿第一水平方向之间的初始距离可调节。

通过将第一连接结构5411与第二连接结构5714沿X方向之间的初始距离设置为可调节的，便于适用不同尺寸的晶圆，例如，如果晶圆的尺寸较大，可以增大第一连接结构5411与第二连接结构5714沿X方向之间的初始距离，反之，如果晶圆的尺寸较小，可以缩短第一连接结构5411与第二连接结构5714沿X方向之间的初始距离。

其中，第一连接结构5411与第二连接结构5714沿X方向之间的初始距离指的是第一夹紧组件55和第二夹紧组件56位于初始位置时第一连接结构5411与第二连接结构5714沿X方向之间的距离。

在第一种优选的情形中，如图9所示，第二连接结构5714为沿第一水平方向设置的连接杆57141，推动构件5713上设有安装孔(图中未示出)，安装孔沿第一水平方向贯穿推动构件5713，连接杆57141的第一端(从图9上看为连接杆57141的左端)与弹性复位构件5712连接，连接杆57141在靠近其第二端(从图9上看为连接杆57141的右端)的位置设有螺纹段(图中未示出)，螺纹段穿过推动构件5713上的安装孔，且螺纹段上安装有与其螺接配合的调节螺母57142，调节螺母57142靠近连接杆57141的第一端的一侧(从图9上看为调节螺母57142的左侧)抵靠于推动构件5713。

示例性地，如图9所示，第一连接结构5411为固定安装在定位固定构件54上的固定柱，弹性复位构件5712的左端与固定柱固定连接，弹性复位构件5712的右端与连接杆57141的左端固定连接，连接杆57141的在靠近其右端的位置具有螺纹段，螺纹段上安装有调节螺母57142，通过调节螺母57142能够调节连接杆57141的左端与固定柱之间的初始距离，例如，如果晶圆的尺寸偏小，可以通过逆时针旋转调节螺母57142，使连接杆57141更靠近固定柱，缩短连接杆57141的左端与固定柱之间的初始距离，反之，如果晶圆的尺寸偏大，可以通过顺时针旋转调节螺母57142，使连接杆57141远离固定柱，增大连接杆57141的左端与固定柱之间的初始距离。

在第二种优选的情形中，可以将上述的第一种优选情形做一些调整，具体而言，第二连接结构5714还是设置为沿第一水平方向设置的连接杆57141，连接杆57141的第一端与弹性复位构件5712连接，连接杆57141在靠近其第二端的位置设有螺纹段，推动构件5713上还是设有安装孔，不同的是，安装孔的内壁上设有与螺纹段相适配的螺纹，螺纹段通过螺纹与安装孔螺接固定，这样一来，可以取消设置调节螺母57142，直接通过转动连接杆57141来调整连接杆57141的左端与固定柱之间的初始距离，安装孔可以贯穿推动构件5713，也可以不贯穿推动构件5713，本领域技术人员可以根据具体情况进行灵活地设定。

在上述的两种优选情形中，均是通过改变第二连接结构5714的位置来调节第一连接结构5411与第二连接结构5714沿X方向之间的初始距离，在实际应用中，也可以将第二连接结构5714设置为固定的，而将第一连接结构5411设置为位置可改变的，通过改变第一连接结构5411的位置来调节第一连接结构5411与第二连接结构5714沿X方向之间的初始距离，例如，还是以将第一连接结构5411设置为固定柱为例，可以在定位固定构件54上设置多个固定孔，多个固定孔沿X方向间隔分布，固定柱的底端插入固定孔中，这样一来就可以通过改变固定柱的安装位置来调节第一连接结构5411与第二连接结构5714沿X方向之间的初始距离，或者，还可以将第一连接结构5411和第二连接结构5714均设置为位置可改变的，这种灵活地调整和改变并不偏离本发明的原理和范围，均应限定在本发明的保护范围之内。

此外，还需要说明的是，本发明的第一连接结构5411并不限于上述介绍的固定柱，例如，还可以将第一连接结构5411设置为固定块或固定板等等。

优选地，如图8和图9所示，本发明的定位固定构件54包括水平设置的底板541、水平设置的承载板542以及竖直设置的支撑柱543。

其中，底板541和承载板542沿竖直方向间隔分布，并且底板541位于承载板542的下方，支撑柱543的底端和顶端分别与底板541和承载板542固定连接或一体设置，承载板542用于承载晶圆，第一定位槽5511和第二定位槽5611位于承载板542的上方，驱动机构571安装在底板541上，第一齿条572、第二齿条573和齿轮574均位于底板541与承载板542之间。

示例性地，如图8和图9所示，承载板542由两个沿X方向间隔分布的板体组成，支撑柱543的数量为四个，四个支撑柱543围成一个矩形结构，承载板542的两个板体分别通过两个支撑柱543与底板541固定连接，驱动气缸5711固定安装在底板541的底面，推动构件5713包括竖直推杆57131和水平推杆57132，竖直推杆57131的底端与驱动气缸5711的活塞杆固定连接，竖直推杆57131的顶端与水平推杆57132的一端固定连接或一体设置，水平推杆57132位于底板541与承载板542之间，水平推杆57132与第一夹紧组件55固定连接，第一连接结构5411设置在底板541的顶面，第二连接结构5714设置在水平推杆57132上，第一齿条572、第二齿条573和齿轮574位于底板541与承载板542之间，齿轮574可转动地安装在底板541上，第一夹紧组件55的一部分位于承载板542的上面，第一夹紧组件55的另一部分位于底板541与承载板542之间。

通过沿竖直方向间隔分布的底板541和承载板542划分为三层安装空间，便于各结构的安装布置。

需要说明的是，本发明的承载板542并不限于由两个沿X方向间隔分布的板体组成，例如，可以将承载板542设置为一个整体的板体结构，此外，支撑柱543的数量也并不限于上述的四个，例如，还可以将支撑柱543的数量设置为三个或者六个等等，这种对支撑柱543的具体数量的调整和改变并不偏离本发明的原理和范围，均应限定在本发明的保护范围之内。

优选地，如图8和图9所示，本发明的第一夹紧组件55包括第一夹紧构件551和第一连接构件552，第一夹紧构件551位于承载板542的上方，第一定位槽5511设于第一夹紧构件551，第一连接构件552用于将第一夹紧构件551与第一齿条572固定连接，驱动机构571与第一连接构件552连接；第二夹紧组件56包括第二夹紧构件561和第二连接构件562，第二夹紧构件561位于承载板542的上方，第二定位槽5611设于第二夹紧构件561，第二连接构件562用于将第二夹紧构件561与第二齿条573固定连接。

示例性地，第一夹紧构件551为第一夹紧板，第一夹紧板的左侧设有第一定位槽5511，第二夹紧构件561为第二夹紧板，第二夹紧板的右侧设有第二定位槽5611，第一夹紧板通过第一连接构件552与第一齿条572固定连接，第一连接构件552还与驱动机构571的推动构件5713固定连接，第二夹紧板通过第二连接构件562与第二齿条573固定连接。

需要说明的是，本发明的第一夹紧构件551和/或第二夹紧构件561并不限于上述介绍的夹紧板，例如，还可以将第一夹紧构件551和/或第二夹紧构件561均设置为夹紧块等等，这种对第一夹紧构件551和第二夹紧构件561的具体结构形式的调整和改变并不偏离本发明的原理和范围，均应限定在本发明的保护范围之内。

此外，还需要说明的是，本领域技术人员在实际应用中可以将第一连接构件552和/或第二连接构件562设置为连接板或者连接杆等等，这种对第一连接构件552和第二连接构件562的具体结构形式的调整和改变也并不偏离本发明的原理和范围，均应限定在本发明的保护范围之内。

优选地，如图8和图9所示，本发明的第一连接构件552包括水平设置的第一连接板5521和竖直设置的第一连接柱(图中未示出)，第一连接板5521位于底板541与承载板542之间且与第一齿条572固定连接，承载板542在与第一连接柱对应的位置设有沿第一水平方向延伸的第一通孔5421，第一连接柱的底端与第一连接板5521固定连接或一体设置，第一连接柱的顶端穿过第一通孔5421与第一夹紧构件551固定连接或一体设置，驱动机构571与第一连接板5521连接；第二连接构件562包括水平设置的第二连接板5621和竖直设置的第二连接柱(图中未示出)，第二连接板5621位于底板541与承载板542之间且与第二齿条573固定连接，承载板542在与第二连接柱对应的位置设有沿第一水平方向延伸的第二通孔5422，第二连接柱的底端与第二连接板5621固定连接或一体设置，第二连接柱的顶端穿过第二通孔5422与第二夹紧构件561固定连接或一体设置。

示例性地，第一连接板5521为L型结构，第一连接板5521沿X向设置的部分与第一齿条572固定连接，第一连接板5521沿Y向设置的部分通过第一连接柱与第一夹紧构件551固定连接，第一连接板5521沿Y向设置的部分还与驱动机构571的推动构件5713固定连接，第一连接柱能够在第一通孔5421内沿X方向自由移动，第二连接板5621也为L型结构，第二连接板5621沿X向设置的部分与第二齿条573固定连接，第二连接板5621沿Y向设置的部分通过第二连接柱与第二夹紧构件561固定连接，第二连接柱能够在第二通孔5422内沿X方向自由移动。

需要说明的是，本发明不对第一连接柱的数量进行限定，例如，可以仅设置一个第一连接柱，或者，也可以设置多个第一连接柱，多个第一连接柱沿Y方向间隔分布，类似地，本发明不对第二连接柱的数量进行限定，例如，可以仅设置一个第二连接柱，或者，也可以设置多个第二连接柱，多个第二连接柱沿Y方向间隔分布。

优选地，如图8和图9所示，本发明的定位装置5还包括设于定位固定构件54与第一夹紧组件55之间的第一导向机构以及设于定位固定构件54与第二夹紧组件56之间的第二导向机构，第一导向机构和第二导向机构分别在第一夹紧组件55和第二夹紧组件56移动时对第一夹紧组件55和第二夹紧组件56进行导向。

优选地，如图8和图9所示，第一导向机构包括相配合第一导向构件581和第二导向构件(图中未示出)，第一导向构件581和第二导向构件中的一个与定位固定构件54连接，第一导向构件581和第二导向构件中的另一个与第一夹紧组件55连接；第二导向机构包括相配合第三导向构件582和第四导向构件(图中未示出)，第三导向构件582和第四导向构件中的一个与定位固定构件54连接，第三导向构件582和第四导向构件中的另一个与第二夹紧组件56连接。

需要说明的是，本领域技术人员在实际应用中可以将第一导向构件581和第二导向构件设置为导轨与导向块相配合的结构，或者，也可以将第一导向构件581和第二导向构件设置为导向槽与导向筋相配合的结构，再或者，还可以将第一导向构件581和第二导向构件设置为导向杆与导向孔相配合的结构，等等，这种对第一导向构件581和第二导向构件的具体结构形式的调整和改变并不偏离本发明的原理和范围，均应限定在本发明的保护范围之内。

此外，还需要说明的是，本领域技术人员在实际应用中可以将第三导向构件582和第四导向构件设置为导轨与导向块相配合的结构，或者，也可以将第三导向构件582和第四导向构件设置为导向槽与导向筋相配合的结构，再或者，还可以将第三导向构件582和第四导向构件设置为导向杆与导向孔相配合的结构，等等，这种对第三导向构件582和第四导向构件的具体结构形式的调整和改变并不偏离本发明的原理和范围，均应限定在本发明的保护范围之内。

优选地，如图8和图9所示，第一导向构件581和第三导向构件582均为沿第一水平方向延伸的导轨，第二导向构件和第四导向构件均为与导轨相适配的导向块。

示例性地，两个导轨均固定安装在底板541的顶面，且沿Y方向间隔分布，两个导向块分别固定安装在第一连接板5521和第二连接板5621的底面。

优选地，如图2至图5所示，本申请的物料转移装置6包括第一旋转驱动组件61、连接臂62以及用于取料的取料吸盘63。

其中，第一旋转驱动组件61与连接臂62的一端连接，且能够驱动连接臂62绕竖直轴线旋转，取料吸盘63安装在连接臂62的另一端，第一旋转驱动组件61用于驱动连接臂62带着取料吸盘63在取料位与放料位之间转动，取料吸盘63在位于取料位时能够将位于检测装置3上的晶圆吸取，取料吸盘63位于放料位时能够将晶圆放置于承载装置8。

示例性地，本申请的物料转移装置6还包括平移驱动组件以及安装在平移驱动组件上的升降驱动组件，第一旋转驱动组件61安装在升降驱动组件上，连接臂62水平设置，取料吸盘63与倒角机的真空发生器连通，在具体工作过程中，可以先由平移驱动组件驱动升降驱动组件、第一旋转驱动组件61、连接臂62以及取料吸盘63移动至第一设定位置，然后使第一旋转驱动组件61驱动连接臂62带着取料吸盘63顺时针旋转90度，使取料吸盘63旋转至取料位，如图2和图4所示，此时的取料吸盘63处于取料位，取料吸盘63正好位于晶圆9的上方，然后使升降驱动组件驱动第一旋转驱动组件61、连接臂62和取料吸盘63竖直向下移动，当取料吸盘63靠近晶圆9时，启动与取料吸盘63连通的真空发生器，取料吸盘63内产生负压环境，将晶圆9吸附在取料吸盘63的底面，然后使升降驱动组件驱动第一旋转驱动组件61、连接臂62、取料吸盘63和晶圆9竖直向上移动，然后使平移驱动组件驱动升降驱动组件、第一旋转驱动组件61、连接臂62、取料吸盘63和晶圆9移动至第二设定位置，然后使第一旋转驱动组件61驱动连接臂62带着取料吸盘63逆时针旋转90，使取料吸盘63旋转至放料位，如图3和图5所示，此时的取料吸盘63处于放料位，当承载装置8移动到接料位置后，关闭与取料吸盘63连通的真空发生器，将晶圆9放到承载装置8的磨削承载构件85(详见图10)上。

需要说明的是，取料吸盘63由取料位到放料位之间的旋转角度并不限于上述的90度，例如，还可以将取料吸盘63由取料位到放料位之间的旋转角度设为120度或者60度等等，本领域技术人员在实际应用中可以根据实际需求进行灵活地设定。

此外，还需要说明的是，上述的平移驱动组件并不是必须的，本领域技术人员可以根据检测装置3与承载装置8之间的位置关系进行灵活地选择设置，类似地，上述的升降驱动组件也不是必须的，本领域技术人员可以根据检测装置3及承载装置8与取料吸盘63之间的高度差进行灵活地选择设置，或者，也可以将检测装置3的检测检测承载组件32或者承载装置8的磨削承载构件85设置为可升降的。

优选地，如图5和图6所示，本发明的物料转移装置6还包括与第一旋转驱动组件61连接的第一限位止挡构件和第二限位止挡构件，第一限位止挡构件能够对连接臂62进行阻挡以使连接臂62上的取料吸盘63停止在放料位，第二限位止挡构件能够对连接臂62进行阻挡以使连接臂62上的取料吸盘63停止在取料位。

通过设置第一限位止挡构件和第二限位止挡构件对连接臂62进行限位止挡，能够使连接臂62上的取料吸盘63准确地停止在放料位和取料位，使得晶圆9的取放操作能够顺利地完成，有利于提高工作效率。

需要说明的是，本领域技术人员在实际应用中可以将第一限位止挡构件和第二限位止挡构件设置为止挡块、止挡板或者止挡柱等等，这种对第一限位止挡构件和第二限位止挡构件的具体结构形式的调整和改变并不偏离本发明的原理和范围，均应限定在本发明的保护范围之内。

优选地，如图6所示，第一限位止挡构件包括水平设置的第一限位螺栓64以及安装在第一限位螺栓64上的第一锁紧螺母65，第一旋转驱动组件61上设有第一螺纹孔，第一限位螺栓64与第一螺纹孔螺纹连接，第一限位螺栓64的一端用于对连接臂62进行止挡限位，第一限位螺栓64的另一端穿过第一螺纹孔与第一锁紧螺母65螺接，第一锁紧螺母65抵接于第一旋转驱动组件61。

通过将第一限位止挡构件设置为第一限位螺栓64，并在第一旋转驱动组件61上设置与其相适配的第一螺纹孔(图中未示出)，使得第一限位螺栓64能够沿水平方向相对于第一旋转驱动组件61移动，这样一来便于对连接臂62的停止位置进行校准，以确保通过第一限位螺栓64的止挡使连接臂62上的取料吸盘63准确地停止在放料位，校准后，通过第一锁紧螺母65对第一限位螺栓64进行锁紧，避免第一限位螺栓64发生移动。

优选地，如图5和图6所示，第二限位止挡构件包括水平设置的第二限位螺栓66以及安装在第二限位螺栓66上的第二锁紧螺母(图中未示出)，第一旋转驱动组件61上设有第二螺纹孔(图中未示出)，第二限位螺栓66与第二螺纹孔螺纹连接，第二限位螺栓66的一端用于对连接臂62进行止挡限位，第二限位螺栓66的另一端穿过第二螺纹孔与第二锁紧螺母螺接，第二锁紧螺母抵接于第一旋转驱动组件61。

通过将第二限位止挡构件设置为第二限位螺栓66，并在第一旋转驱动组件61上设置与其相适配的第二螺纹孔，使得第二限位螺栓66能够沿水平方向相对于第一旋转驱动组件61移动，这样一来便于对连接臂62的停止位置进行校准，以确保通过第二限位螺栓66的止挡使连接臂62上的取料吸盘63准确地停止在取料位，校准后，通过第二锁紧螺母对第二限位螺栓66进行锁紧，避免第二限位螺栓66发生移动。

优选地，如图5和图6所示，本发明的第一旋转驱动组件61包括安装座611以及固定在安装座611上的旋转气缸612，旋转气缸612与连接臂62的一端连接。

示例性地，旋转气缸612固定在安装座611的顶面，连接臂62的一端位于旋转气缸612的下方并需旋转气缸612连接，由旋转气缸612驱动连接臂62带着取料吸盘63在取料位与放料位之间旋转。

上述介绍的第一限位止挡构件和第二限位止挡构件均设于第一旋转驱动组件61的安装座611上。

优选地，如图10所示，本发明的承载装置8包括第一水平驱动组件、安装在第一水平驱动组件上的第二水平驱动组件、安装在第二水平驱动组件上的第二旋转驱动组件以及安装在第二旋转驱动组件上的磨削承载构件85。

其中，第一水平驱动组件能够驱动第二水平驱动组件沿第一水平方向(图10中的X方向)移动，第二水平驱动组件能够驱动第二旋转驱动组件沿第二水平方向(图10中的Y方向)移动，第二水平方向与第一水平方向垂直，第二旋转驱动组件能够驱动磨削承载构件85绕竖直轴线旋转，磨削承载构件85用于承载晶圆。晶圆放置在磨削承载构件85的顶面，在倒角磨削的过程中，由第二旋转驱动组件驱动磨削承载构件85带着晶圆旋转。

优选地，如图10所示，本发明的第一水平驱动组件包括第一水平驱动机构和第一平移座812，第一水平驱动机构与第一平移座812驱动连接，且能够驱动第一平移座812沿第一水平方向移动，第二水平驱动组件安装在第一平移座812上。

示例性地，如图2和图10所示，第一水平驱动机构安装在底座11上，第一水平驱动机构位于第一平移座812的下面，第一水平驱动机构包括第一电机811、沿第一水平方向延伸的第一水平丝杠以及安装在第一水平丝杠上的第一滑块，第一滑块的顶端与第一平移座812的底面固定连接，第一电机811的驱动轴与第一水平丝杠连接且能够驱动第一水平丝杠转动，第一滑块随着第一水平丝杠的转动带着第一平移座812沿着第一水平丝杠的长度方向移动。

需要说明的是，本发明的第一水平驱动机构并不限于上述的第一电机811、第一水平丝杠和第一滑块的结构形式，例如，可以将第一水平丝杠和第一滑块替换成齿条和齿轮，或者，也可以将第一水平驱动机构设置为液压驱动机构，等等，这种对第一水平驱动机构的具体结构形式的调整和改变并不偏离本发明的原理和范围，均应限定在本发明的保护范围之内。

优选地，如图1和图10所示，本发明的承载装置8还包括第一水平导向构件和第二水平导向构件，第一水平导向构件设于底座11，第二水平导向构件设于第一平移座812，第一水平导向构件与第二水平导向构件配合在第一平移座812沿第一水平方向移动时对第一平移座812进行导向。

通过设置相配合的第一水平导向构件和第二水平导向构件对第一平移座812进行导向，能够防止第一平移座812在移动过程中发生偏移，提高了承载装置的可靠性。

需要说明的是，本领域技术人员在实际应用中可以将第一水平导向构件和第二水平导向构件设置为导轨与导向块相配合的结构，或者，也可以设置为导向杆与导向孔相配合的结构，再或者，还可以设置为导向槽与导向筋相配合的结构，等等，这种对第一水平导向构件和第二水平导向构件的具体结构形式的调整和改变并不偏离本发明的原理和范围，均应限定在本发明的保护范围之内。

优选地，如图10所示，本发明的第一水平导向构件包括两个沿第一水平方向延伸的第一水平导轨861，两个第一水平导轨861沿第二水平方向间隔分布，第一水平驱动机构位于两个第一水平导轨861之间，第二水平导向构件包括多个第一导向块862，多个第一导向块862分别与对应的第一水平导轨861滑动配合。

优选地，如图10所示，本发明的第二水平驱动组件包括安装在第一平移座812上的第二水平驱动机构和第二平移座822，第二水平驱动机构与第二平移座822驱动连接，且能够驱动第二平移座822沿第二水平方向移动，第二旋转驱动组件安装在第二平移座822上。

示例性地，如图10所示，第二水平驱动机构位于第二平移座822的下面，第二水平驱动机构包括第二电机821、沿第二水平方向延伸的第二水平丝杠以及安装在第二水平丝杠上的第二滑块，第二滑块的顶端与第二平移座822的底面固定连接，第二电机821的驱动轴与第二水平丝杠连接且能够驱动第二水平丝杠转动，第二滑块随着第二水平丝杠的转动带着第二平移座822沿着第二水平丝杠的长度方向移动。

需要说明的是，本发明的第二水平驱动机构并不限于上述的第二电机821、第二水平丝杠和第二滑块的结构形式，例如，可以将第二水平丝杠和第二滑块替换成齿条和齿轮，或者，也可以将第二水平驱动机构设置为液压驱动机构，等等，这种对第二水平驱动机构的具体结构形式的调整和改变并不偏离本发明的原理和范围，均应限定在本发明的保护范围之内。

优选地，如图10所示，本发明的承载装置还包括第三水平导向构件和第四水平导向构件，第三水平导向构件设于第一平移座812，第四水平导向构件设于第二平移座822，第三水平导向构件与第四水平导向构件配合在第二平移座822沿第二水平方向移动时对第二平移座822进行导向。

优选地，如图10所示，本发明的第三水平导向构件包括两个沿第二水平方向延伸的第二水平导轨871，两个第二水平导轨871沿第一水平方向间隔分布，第二水平驱动机构位于两个第二水平导轨871之间，第四水平导向构件包括多个第二导向块(图中未示出)，多个第二导向块分别与对应的第二水平导轨871滑动配合。

优选地，如图10所示，本发明的第二旋转驱动组件包括安装在第二平移座822上的安装座841以及安装在安装座841上第三旋转驱动机构，磨削承载构件85安装在第三旋转驱动机构的顶端。

示例性地，第三旋转驱动机构包括第三电机、减速机和竖直设置的第三旋转轴842，磨削承载构件85固定安装在第三旋转轴842的顶端，第三电机的驱动轴通过减速机与第三旋转轴842的底端固定连接，第三电机能够通过驱动第三旋转轴842带着磨削承载构件85旋转。

需要说明的是，第三旋转驱动机构并不限于上述的第三电机、减速机和第三旋转轴842的结构形式，例如，可以将减速机替换成同步带传动组件，将第三电机设于第三旋转轴842的侧面，第三电机的驱动轴通过同步带传动组件与第三旋转轴842的底端驱动连接，或者，也可以将减速机替换成链条传动组件，将第三电机设于第三旋转轴842的侧面，第三电机的驱动轴通过链条传动组件与第三旋转轴842的底端驱动连接，再或者，还可以直接采用DD直驱电机来驱动第三旋转轴842旋转，等等，这种对第三旋转驱动机构的具体结构形式的调整和改变并不偏离本发明的原理和范围，均应限定在本发明的保护范围之内。

优选地，如图10所示，本发明的磨削承载构件85为真空吸盘。

其中，真空吸盘的顶面设有吸气孔，真空吸盘通过气管与倒角机的真空发生器连通，启动真空发生器后，真空吸盘内产生负压环境，能够将晶圆牢牢地吸附在真空吸盘的顶面。

需要说明的是，为了便于使真空吸盘与真空发生器连通，可以将第三旋转轴842设置为中空结构，即第三旋转轴842内设有气道，气道的顶端一直延伸至第三旋转轴842的顶部与真空吸盘连通，气道的底端一直延伸至第三旋转轴842的底端，在第三旋转轴842的底端安装一个旋转接头，旋转接头的一端与气道的底端连通，旋转接头的另一端通过气管与真空发生器连通。

基于上述介绍的倒角机，本发明还提供了一种倒角机的补偿校准方法，如图11所示，本发明的补偿校准方法包括以下步骤：

S100：将晶圆转移至检测装置上。

示例性地，如图1和图7所示，通过取料装置2将晶圆转移至检测装置3的检测承载组件32上。其中，一般采用标准晶圆，标准晶圆的直径和厚度均为校准数值。

需要说明的是，在设置有定位装置5的情形下，优选先通过定位装置5对晶圆进行定位；然后再通过取料装置2将晶圆从定位装置5转移至检测装置3。

S200：通过检测装置检测晶圆的中心点的初始坐标值(△Xc，△Yc)。

示例性地，将晶圆放到检测装置3的检测承载组件32后，由检测承载组件32带着晶圆旋转，通过寻边检测构件34来检测晶圆的中心点的初始坐标值(△Xc，△Yc)。

S300：根据初始坐标值(△Xc，△Yc)计算实际接料位置的坐标值。

具体地，承载装置8具有初始接料位置，坐标值为(XO，Y0),实际接料位置的坐标值为(XO+△Xc，Y0+△Yc)。

S400：使承载装置移动到实际接料位置。

示例性地，如图10所示，根据实际接料位置的坐标值(XO+△Xc，Y0+△Yc)，通过控制第一电机811和第二电机821，使磨削承载构件85移动到实际接料位置。

S500：使物料转移装置将晶圆从检测装置转移至承载装置。

示例性地，如图2至图5所示，先使物料转移装置6的取料吸盘63转动到检测承载组件32的上方，然后将检测承载组件32上的晶圆吸附在取料吸盘63的底面，然后使取料吸盘63带着晶圆转动到磨削承载构件85的上方，将晶圆放到磨削承载构件85上。

S600：使承载装置带着晶圆旋转设定角度。

示例性地，设定角度为180°，通过承载装置8的第三旋转驱动机构驱动磨削承载构件85带着晶圆旋转180°。

需要说明的是，设定角度并不限于上述的180°，但设定角度应该小于360°，例如，还可以将设定角度设置为90°或270°等等。当然，本发明优选将设定角度设置为180°。

S700：使物料转移装置将晶圆从承载装置转移至检测装置。

承载装置8带着晶圆旋转180°后，使物料转移装置6将晶圆放回检测装置3。

S800：通过检测装置检测晶圆的中心点的坐标值，记为校准坐标值(△Xj，△Yj)。

晶圆从承载装置8转移回检测装置3后，通过检测装置3再次检测晶圆的中心点的坐标值。

S900：根据初始坐标值(△Xc，△Yc)和校准坐标值(△Xj，△Yj)计算X向偏移量△X和Y向偏移量△Y。

其中，在设定角度为180°的优选情形下，X向偏移量△X＝(△Xc+△Xj)/2，Y向偏移量△Y＝(△Yc+△Yj)/2。

S1000：根据X向偏移量△X和Y向偏移量△Y对承载装置的初始接料位置的坐标值(XO，Y0)进行补偿校准。

其中，初始接料位置补偿后的坐标值为(XO+△X，Y0+△Y)。

优选地，步骤S200，“通过检测装置检测晶圆的中心点的初始坐标值(△Xc，△Yc)”的步骤具体包括：

S210：通过检测装置检测晶圆的中心点的坐标值，记为第一坐标值(△X1，△Y1)；

S220：根据第一坐标值(△X1，△Y1)计算第一接料位置的坐标值；

其中，第一接料位置的坐标值为(XO+△X1，Y0+△Y1)。

S230：使承载装置移动到第一接料位置；

S240：使物料转移装置将晶圆从检测装置转移至承载装置；

S250：使物料转移装置将晶圆从承载装置转移至检测装置；

其中，第一次将晶圆转移到承载装置8后，不需要使承载装置8移动，也不需要使承载装置8带着晶圆旋转，直接使物料转移装置6再将晶圆从承载装置8转移回检测装置3即可。

S260：通过检测装置检测晶圆的中心点的坐标值，记为第二坐标值(△X2，△Y2)；

S270：将第二坐标值(△X2，△Y2)作为初始坐标值(△Xc，△Yc)或者根据第一坐标值(△X1，△Y1)和第二坐标值(△X2，△Y2)计算初始坐标值(△Xc，△Yc)。

在第一种优选的情形中，直接将第二坐标值(△X2，△Y2)作为初始坐标值(△Xc，△Yc)，即，△Xc＝△X2，△Yc＝△Y2，则，

X向偏移量△X＝(△X2+△Xj)/2，

Y向偏移量△Y＝(△Y2+△Yj)/2。

在第二种优选的情形中，根据第一坐标值(△X1，△Y1)和第二坐标值(△X2，△Y2)计算初始坐标值(△Xc，△Yc)，即,△Xc＝(△X1+△X2)/2，△Yc＝(△Y1+△Y2)/2，则，

X向偏移量△X＝[(△X1+△X2)/2+△Xj]/2，

Y向偏移量△Y＝[(△Y1+△Y2)/2+△Yj]/2。

此外，本领域的技术人员能够理解，尽管在此所述的一些实施例包括其它实施例中所包括的某些特征而不是其它特征，但是不同实施例的特征的组合意味着处于本申请的范围之内并且形成不同的实施例。例如，在本申请的权利要求书中，所要求保护的实施例的任意之一都可以以任意的组合方式来使用。

至此，已经结合附图所示的优选实施方式描述了本申请的技术方案，但是，本领域技术人员容易理解的是，本申请的保护范围显然不局限于这些具体实施方式。在不偏离本申请的原理的前提下，本领域技术人员可以对相关技术特征作出等同的更改或替换，这些更改或替换之后的技术方案都将落入本申请的保护范围之内。

Claims (16)

1.一种加工设备的补偿校准方法，其特征在于，所述加工设备包括检测装置、物料转移装置、用于承载晶圆的承载装置以及用于对晶圆进行加工的加工装置，所述检测装置用于检测晶圆的中心点的坐标，所述物料转移装置用于将晶圆从所述检测装置转移至所述承载装置，所述承载装置能够在所述加工装置对晶圆进行加工时带着晶圆旋转，所述补偿校准方法包括：

将晶圆转移至所述检测装置上；

通过所述检测装置检测所述晶圆的中心点的初始坐标值(△Xc，△Yc)；

根据所述初始坐标值(△Xc，△Yc)计算实际接料位置的坐标值；

使所述承载装置移动到所述实际接料位置；

使所述物料转移装置将所述晶圆从所述检测装置转移至所述承载装置；

使所述承载装置带着所述晶圆旋转设定角度；

使所述物料转移装置将所述晶圆从所述承载装置转移至所述检测装置；

通过所述检测装置检测所述晶圆的中心点的坐标值，记为校准坐标值(△Xj，△Yj)；

根据所述初始坐标值(△Xc，△Yc)和所述校准坐标值(△Xj，△Yj)计算X向偏移量△X和Y向偏移量△Y；

根据所述X向偏移量△X和所述Y向偏移量△Y对所述承载装置的初始接料位置的坐标值(XO，Y0)进行补偿校准。

2.根据权利要求1所述的加工设备的补偿校准方法，其特征在于，所述加工设备还包括定位装置，“将晶圆转移至所述检测装置上”的步骤具体包括：

通过所述定位装置对所述晶圆进行定位；

将所述晶圆从所述定位装置转移至所述检测装置。

3.根据权利要求1所述的加工设备的补偿校准方法，其特征在于，“通过所述检测装置检测所述晶圆的中心点的初始坐标值(△Xc，△Yc)”的步骤具体包括：

通过所述检测装置检测所述晶圆的中心点的坐标值，记为第一坐标值(△X1，△Y1)；

根据所述第一坐标值(△X1，△Y1)计算第一接料位置的坐标值；

使所述承载装置移动到所述第一接料位置；

使所述物料转移装置将所述晶圆从所述检测装置转移至所述承载装置；

使所述物料转移装置将所述晶圆从所述承载装置转移至所述检测装置；

通过所述检测装置检测所述晶圆的中心点的坐标值，记为第二坐标值(△X2，△Y2)；

将所述第二坐标值(△X2，△Y2)作为所述初始坐标值(△Xc，△Yc)或者

根据所述第一坐标值(△X1，△Y1)和所述第二坐标值(△X2，△Y2)计算所述初始坐标值(△Xc，△Yc)。

4.根据权利要求1所述的加工设备的补偿校准方法，其特征在于，所述设定角度为180°，“根据所述初始坐标值(△Xc，△Yc)和所述校准坐标值(△Xj，△Yj)计算X向偏移量△X和Y向偏移量△Y”的步骤具体包括：

△X＝(△Xc+△Xj)/2；

△Y＝(△Yc+△Yj)/2。

5.根据权利要求1所述的加工设备的补偿校准方法，其特征在于，所述物料转移装置包括第一旋转驱动组件、连接臂以及取料吸盘，

所述连接臂的一端与所述第一旋转驱动组件连接，所述取料吸盘安装在所述连接臂的另一端，所述第一旋转驱动组件用于驱动所述连接臂带着所述取料吸盘在取料位与放料位之间转动，所述取料吸盘在位于所述取料位时能够将位于所述检测装置上的晶圆吸取，所述取料吸盘在位于所述放料位时能够将晶圆放置于所述承载装置。

6.根据权利要求5所述的加工设备的补偿校准方法，其特征在于，所述物料转移装置还包括与所述第一旋转驱动组件连接的第一限位止挡构件和第二限位止挡构件，

所述第一限位止挡构件能够对所述连接臂进行阻挡以使所述连接臂上的所述取料吸盘停止在所述放料位，所述第二限位止挡构件能够对所述连接臂进行阻挡以使所述连接臂上的所述取料吸盘停止在所述取料位。

7.根据权利要求6所述的加工设备的补偿校准方法，其特征在于，所述第一限位止挡构件包括水平设置的第一限位螺栓以及安装在所述第一限位螺栓上的第一锁紧螺母，所述第一旋转驱动组件上设有第一螺纹孔，所述第一限位螺栓与所述第一螺纹孔螺纹连接，所述第一限位螺栓的一端用于对所述连接臂进行止挡限位，所述第一限位螺栓的另一端穿过所述第一螺纹孔与所述第一锁紧螺母螺接，所述第一锁紧螺母抵接于所述第一旋转驱动组件；和/或

所述第二限位止挡构件包括水平设置的第二限位螺栓以及安装在所述第二限位螺栓上的第二锁紧螺母，所述第一旋转驱动组件上设有第二螺纹孔，所述第二限位螺栓与所述第二螺纹孔螺纹连接，所述第二限位螺栓的一端用于对所述连接臂进行止挡限位，所述第二限位螺栓的另一端穿过所述第二螺纹孔与所述第二锁紧螺母螺接，所述第二锁紧螺母抵接于所述第一旋转驱动组件。

8.根据权利要求2所述的加工设备的补偿校准方法，其特征在于，所述定位装置包括定位固定构件以及安装在所述定位固定构件上的第一夹紧组件、第二夹紧组件和驱动组件，

所述第一夹紧组件和所述第二夹紧组件沿第一水平方向相对设置，所述驱动组件能够驱动所述第一夹紧组件和所述第二夹紧组件同步沿所述第一水平方向相向移动以将晶圆夹紧，所述驱动组件还能够驱动所述第一夹紧组件和所述第二夹紧组件同步沿所述第一水平方向反向移动。

9.根据权利要求8所述的加工设备的补偿校准方法，其特征在于，所述第一夹紧组件朝向所述第二夹紧组件的一侧设有第一定位槽，所述第二夹紧组件朝向所述第一夹紧组件的一侧设有第二定位槽，所述第一定位槽和所述第二定位槽分别与晶圆两侧的边缘抵接以将晶圆夹紧。

10.根据权利要求9所述的加工设备的补偿校准方法，其特征在于，所述驱动组件包括驱动机构、沿所述第一水平方向延伸的第一齿条、沿所述第一水平方向延伸的第二齿条和齿轮，

所述驱动机构能够驱动所述第一夹紧组件沿所述第一水平方向移动，所述第一齿条和所述第二齿条分别与所述第一夹紧组件和所述第二夹紧组件连接，所述第一齿条和所述第二齿条沿第二水平方向间隔分布，所述第二水平方向与所述第一水平方向垂直，所述齿轮可转动的安装在所述定位固定构件上，所述齿轮位于所述第一齿条和所述第二齿条之间且与所述第一齿条和所述第二齿条啮合。

11.根据权利要求10所述的加工设备的补偿校准方法，其特征在于，所述驱动机构包括驱动气缸、沿所述第一水平方向延伸的弹性复位构件以及与所述第一夹紧组件连接的推动构件，

所述驱动气缸能够驱动所述推动构件带着所述第一夹紧组件沿所述第一水平方向远离所述第二夹紧组件移动，所述弹性复位构件的两端分别与所述定位固定构件和所述推动构件连接，所述弹性复位构件在所述驱动气缸解除驱动后能够使所述推动构件带着所述第一夹紧组件沿所述第一水平方向靠近所述第二夹紧组件移动。

12.根据权利要求11所述的加工设备的补偿校准方法，其特征在于，所述定位固定构件上设有第一连接结构，所述推动构件上设有第二连接结构，所述弹性复位构件的两端分别与所述第一连接结构和所述第二连接结构连接，所述第一连接结构与所述第二连接结构沿所述第一水平方向之间的初始距离可调节。

13.根据权利要求12所述的加工设备的补偿校准方法，其特征在于，所述第二连接结构为沿所述第一水平方向设置的连接杆，所述推动构件上设有安装孔，所述安装孔沿所述第一水平方向贯穿所述推动构件，所述连接杆的第一端与所述弹性复位构件连接，所述连接杆在靠近其第二端的位置设有螺纹段，所述螺纹段穿过所述安装孔，所述螺纹段上安装有与其螺接配合的调节螺母，所述调节螺母靠近所述连接杆的第一端的一侧抵靠于所述推动构件；或者

所述第二连接结构为沿所述第一水平方向设置的连接杆，所述推动构件上设有安装孔，所述连接杆的第一端与所述弹性复位构件连接，所述连接杆在靠近其第二端的位置设有螺纹段，所述安装孔的内壁上设有与所述螺纹段相适配的螺纹，所述螺纹段通过所述螺纹与所述安装孔螺接固定。

14.根据权利要求1至13中任一项所述的加工设备的补偿校准方法，其特征在于，所述检测装置包括检测固定构件以及安装在所述检测固定构件上的承载组件、平移组件以及安装在所述平移组件上的寻边检测构件，所述承载组件用于承载晶圆且能够带着晶圆旋转，所述平移组件能够相对于所述检测固定构件沿水平方向移动。

15.根据权利要求1至13中任一项所述的加工设备的补偿校准方法，其特征在于，所述承载装置包括第一水平驱动组件、安装在所述第一水平驱动组件上的第二水平驱动组件、安装在所述第二水平驱动组件上的第二旋转驱动组件以及安装在所述第二旋转驱动组件上的磨削承载构件，

所述第一水平驱动组件能够驱动所述第二水平驱动组件沿第一水平方向移动，所述第二水平驱动组件能够驱动所述第二旋转驱动组件沿第二水平方向移动，所述第二水平方向与所述第一水平方向垂直，所述第二旋转驱动组件能够驱动所述磨削承载构件绕竖直轴线旋转，所述磨削承载构件用于承载晶圆。

16.根据权利要求1至13中任一项所述的加工设备的补偿校准方法，其特征在于，所述加工设备为倒角机。