CN117205717B - 一种低浓度废气处理系统和方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种低浓度废气处理系统和方法，涉及废气处理领域。该系统包括上胶机塔区、过滤箱、转轮浓缩装置、VOCs氧化装置、烟囱和控制阀组，转轮浓缩装置包括分子筛转轮，其具有吸附区、脱附区、第一冷却区和第二冷却区，VOCs氧化装置包括热风交换室、废气预热室和氧化燃烧室，脱附区的出气口与废气预热室的进气口之间设置有浓度传感器，控制阀组基于浓度传感器的检测结果，控制第二冷却区的进气来源和出气流向，和/或控制第一冷却区和第二冷却区的进气量，并使浓度传感器的检测结果处于预设范围内。该系统可在上胶机塔区产生的有机废气浓度不稳定的情况下，使得有机废气经过转轮浓缩装置吸附处理后，获得稳定浓度的浓缩气体。

Description

一种低浓度废气处理系统和方法

技术领域

本发明涉及废气处理技术领域，尤其涉及一种低浓度废气处理系统和方法。

背景技术

薄型覆铜板（Copper Clad Laminate，简称CCL）是一种广泛应用于电子领域的基础材料。目前，国内CCL覆铜板厂上胶机塔区内的低浓度有机废气，散逸到空气中，有明显的异味儿，遭到附近居民的投诉。对于此类废气，目前的解决办法是采用废气处理系统，将废气转换成洁净且低温的气体排向大气中。

具体的，将有机废气燃烧可转变成二氧化碳和水，从而可排向大气中。由于上胶机塔区内产生的有机废气浓度较低，直接燃烧由于其中有机物含量低，此时需要使用大量的天然气来辅助燃烧，导致天然气用量较大。目前，通过分子筛对上胶机塔产生的低浓度有机废气进行浓缩，使之成为高浓度的有机废气，以便可以直接对浓缩后的有机废气进行燃烧，减少天然气用量。

然而，发明人发现：受上胶机塔内原料成分变化、工艺参数波动、废气排放系统漏气或管道堵塞、外界环境变化等因素的影响，上胶机塔内产生的有机物废气浓度不稳定，经分子筛浓缩处理后的有机废气，存在燃烧不充分或气体中有机物较少，不利于燃烧，甚至需要借助天然气辅助燃烧的隐患。

因此，提供一种低浓度废气处理系统，其可保证用于燃烧的气体内的有害物质浓度处于合理浓度范围内，是本领域技术人员亟待解决的技术问题。

发明内容

本发明公开了一种低浓度废气处理系统和方法，以解决相关技术中上胶机塔内产生的有机物废气浓度不稳定，经分子筛浓缩处理后的有机废气，存在燃烧不充分或气体中有机物较少，不利于燃烧的技术问题。

为了解决上述问题，本发明采用下述技术方案：

本发明的第一个方面提供了一种低浓度废气处理系统。

本发明的低浓度废气处理系统，包括上胶机塔区、过滤箱、转轮浓缩装置、VOCs氧化装置和烟囱，所述转轮浓缩装置包括分子筛转轮，所述分子筛转轮具有彼此独立的吸附区、脱附区、第一冷却区和第二冷却区，所述VOCs氧化装置包括热风交换室、废气预热室和氧化燃烧室，所述上胶机塔区的出气口与所述过滤箱的进气口连通，所述过滤箱的出气口与所述吸附区的进气口、所述第一冷却区的进气口和所述第二冷却区的进气口连通，所述吸附区的出气口与所述上胶机塔区的进气口和所述第二冷却区的进气口连通，所述第一冷却区的出气口和所述第二冷却区的出气口与所述热风交换室的进气口连通，所述第二冷却区的出气口还与所述上胶机塔区的进气口连通，所述热风交换室的出气口与所述脱附区的进气口连通，所述脱附区的出气口与所述废气预热室连通，所述废气预热室的出气口与所述氧化燃烧室连通，所述氧化燃烧室的出气口与所述烟囱连通，所述脱附区的出气口与所述废气预热室的进气口之间设置有浓度传感器，所述低浓度废气处理系统还包括控制阀组，所述控制阀组基于所述浓度传感器的检测结果，控制所述第二冷却区的进气来源和出气流向，和/或控制所述第一冷却区和所述第二冷却区的进气量，并使所述浓度传感器的检测结果处于预设范围内。

进一步的，所述控制阀组包括第一控制阀、第二控制阀、第三控制阀、第四控制阀和第五控制阀，其中，所述第一控制阀位于所述过滤箱的出气口与所述第一冷却区的进气口间，所述第二控制阀位于所述过滤箱的出气口与所述第二冷却区的进气口间，所述第三控制阀位于所述第二冷却区的出气口与所述上胶机塔区的进气口间，所述第四控制阀位于所述第二冷却区的出气口与所述热风交换室的进气口间，所述第五控制阀位于所述吸附区的出气口与所述第二冷却区的进气口间。

进一步的，所述吸附区的进出口处分别设置有第一进气管和第一出气管，所述脱附区的进出口处分别设置有第二进气管和第二出气管，所述第一冷却区的进出口处分别设置有第三进气管和第三出气管，所述第二冷却区的进出口处分别设置有第四进气管和第四出气管，其中，所述第三进气管和所述第四进气管均与所述第一进气管连通，并且所述第一控制阀和所述第二控制阀分别位于所述第三进气管和所述第四进气管上，所述第四进气管还与第一出气管连通，所述第四出气管与所述第一出气管和所述第三出气管连通，并且所述第三控制阀位于所述第四出气管上，所述第四控制阀位于所述第一出气管与所述第四进气管之间的管路上，所述第五控制阀位于所述第四出气管与所述第三出气管之间的管路上。

进一步的，所述第三出气管具有第一管段和第二管段，所述第一管段与所述第一冷却区的出气口连通，所述第二管段的内径大于所述第一管段的内径，并且所述第四出气管与所述第二管段连通。

进一步的，所述第一冷却区靠近所述脱附区设置。

进一步的，所述分子筛转轮上设置有第一隔板、第二隔板、第三隔板和第四隔板，所述第一隔板、所述第二隔板、所述第三隔板和所述第四隔板用于将所述分子筛转轮分隔为彼此独立的吸附区、脱附区、第一冷却区和第二冷却区。

进一步的，所述第一冷却区和所述第二冷却区之间的所述第三隔板相对于所述第二隔板和所述第四隔板可转动设置，并且所述第三隔板基于所述第一冷却区和/或所述第二冷却区的进气量自动调节所述第一冷却区和所述第二冷却区的容积。

本发明的第二个方面提供了一种低浓度废气处理方法。

本发明的低浓度废气处理方法，是基于本发明中任一项技术方案所述的低浓度废气处理系统实现的，所述方法包括如下步骤：

步骤S100：获取脱附区出气口处的气体浓度；

步骤S200：判断所述脱附区出气口处的气体浓度与预设浓度的偏差；

步骤S300：所述脱附区出气口处的气体浓度处于预设浓度范围之外时，调节第二冷却区的进气来源和出气流向，和/或调节第一冷却区和第二冷却区的进气量，直至脱附区出气口处的气体浓度处于预设浓度范围内。

进一步的，所述脱附区出气口处的气体浓度处于预设浓度范围内时，控制第一控制阀开启、第二控制阀开启、第三控制阀关闭、第四控制阀开启、第五控制阀关闭；所述脱附区出气口处的气体浓度大于预设浓度的最大值时，控制第一控制阀开启、第二控制阀关闭、第三控制阀关闭、第四控制阀开启、第五控制阀开启；所述脱附区出气口处的气体浓度小于预设浓度的最小值时，控制第一控制阀开启、第二控制阀关闭、第三控制阀开启、第四控制阀关闭、第五控制阀开启。

进一步的，第一控制阀处于开启状态、第二控制阀处于关闭状态、第三控制阀处于关闭状态、第四控制阀处于开启状态、第五控制阀处于开启状态，且所述脱附区出气口处的气体浓度大于预设浓度的最大值时，还包括如下步骤：控制第一控制阀的开度减小、第五控制阀的开度增大；第一控制阀处于开启状态、第二控制阀处于关闭状态、第三控制阀处于开启状态、第四控制阀处于关闭状态、第五控制阀处于开启状态，且所述脱附区出气口处的气体浓度小于预设浓度的最小值时，还包括如下步骤：控制第一控制阀的开度减小、第五控制阀的开度增大。

本发明采用的技术方案能够达到以下有益效果：

本发明的低浓度废气处理系统，通过将分子筛转轮上的冷却区分隔为第一冷却区和第二冷却区，并且基于浓度传感器的检测结果，控制第二冷却区的进气来源和出气流向，和/或控制第一冷却区和第二冷却区的进气量，并使浓度传感器的检测结果处于预设范围内，也即是，本发明的低浓度废气处理系统可选择利用经吸附区吸附后的洁净气体对第二冷却区进行冷却，同时控制用于冷却后的洁净气体用做脱附气体或返回上胶机塔区中，以调节进入废气预热室的浓缩气体浓度，从而可在上胶机塔区产生的有机废气浓度不稳定的情况下，使得有机废气经过转轮浓缩装置吸附处理后，可以获得具有稳定浓度的浓缩气体，不仅可以确保有机废气的充分燃烧，也可减少天然气用量，解决了相关技术中上胶机塔内产生的有机物废气浓度不稳定，经分子筛浓缩处理后的有机废气，存在燃烧不充分或气体中有机物较少，不利于燃烧的问题。

进一步，本发明的低浓度废气处理系统，还可基于浓度传感器的检测结果，控制第一冷却区和第二冷却区的进气量，通过调节第一冷却区和第二冷却区中有机废气和洁净气体的用量，还可实现更精准的调节进入废气预热室的浓缩气体浓度，使得进入废气预热室的浓缩气体浓度与预设浓度的偏差减小。

第二方面，本发明的低浓度废气处理系统，分子筛转轮具有彼此独立的吸附区、脱附区、第一冷却区和第二冷却区，从而可确保各区域独立进气和出气，互不影响。具体的，第一冷却区的进气始终为有机废气，第二冷却区的进气可为有机废气，也可为经吸附区吸附后的洁净气体，当利用洁净气体对第二冷却区进行冷却时，由于第一冷却区和第二冷却区彼此独立，用于冷却后的洁净气体不会与有机废气混合，从而可将洁净气体通入上胶机塔区中，使得该部分洁净气体不仅可用于调节浓缩气体的浓度，而且还不会增加废气处理系统的负担。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本申请实施例低浓度废气处理系统的结构框图；

图2是本申请实施例低浓度废气处理系统的第一种气体流向示意图；

图3是本申请实施例低浓度废气处理系统的第二种气体流向示意图；

图4是本申请实施例低浓度废气处理系统的第三种气体流向示意图；

图5是本申请实施例转轮浓缩装置的第一结构示意图；

图6是本申请实施例转轮浓缩装置的第二结构示意图；

图7是本申请实施例转轮浓缩装置的第三结构示意图；

图8是本申请实施例转轮浓缩装置的局部示意图；

图9是本申请实施例低浓度废气处理方法的流程图。

图中：1、上胶机塔区；2、过滤箱；3、转轮浓缩装置；4、VOCs氧化装置；5、烟囱；6、分子筛转轮；7、吸附区；8、脱附区；9、第一冷却区；10、第二冷却区；11、热风交换室；12、废气预热室；13、氧化燃烧室；14、浓度传感器；15、第一控制阀；16、第二控制阀；17、第三控制阀；18、第四控制阀；19、第五控制阀；20、第一进气管；21、第一出气管；22、第二进气管；23、第二出气管；24、第三进气管；25、第三出气管；26、第四进气管；27、第四出气管；28、第一管段；29、第二管段；30、第一隔板；31、第二隔板；32、第三隔板；33、第四隔板；34、第一风机；35、第二风机；36、第三风机；37、第四风机；38、安装轴；39、分流点；40、汇合点。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本发明的技术方案进行详细的描述。显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所得到的所有其它实施方式，都属于本发明所保护的范围。

本申请的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便本申请的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施，且“第一”、“第二”等所区分的对象通常为一类，并不限定对象的个数，例如第一对象可以是一个，也可以是多个。此外，说明书以及权利要求中“和/或”表示所连接对象的至少其中之一，字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。

受上胶机塔内原料成分变化、工艺参数波动、废气排放系统漏气或管道堵塞、外界环境变化等因素的影响，上胶机塔内产生的有机物废气浓度不稳定。在上胶机塔内产生的有机物废气浓度较大时，经分子筛浓缩后产生的用于燃烧的气体浓度也较大，也即是用于燃烧的气体中有机物较多，容易造成燃烧不充分的问题；在上胶机塔内产生的有机物废气浓度较小时，经分子筛浓缩后产生的用于燃烧的气体浓度也较小，也即是用于燃烧的气体中有机物较少，不利于燃烧，甚至需要借助天然气辅助燃烧，导致天然气用量大。

为此，本申请的发明构思为：在上胶机塔内产生的有机物废气浓度较大时，通过向分子筛转轮上的脱附区通入部分洁净气体，从而可稀释脱附区出气口处的浓缩气体浓度；在上胶机塔内产生的有机物废气浓度较小时，减小用于脱附区脱附的气体量，可增大脱附区出气口处的浓缩气体浓度，从而使得脱附区出气口处的浓缩气体浓度始终保持在预设范围内。进一步的，本申请通过将分子筛转轮上的冷却区分隔为第一冷却区和第二冷却区，并且基于浓度传感器的检测结果，控制第二冷却区的进气来源和出气流向，和/或控制第一冷却区和第二冷却区的进气量，并使浓度传感器的检测结果处于预设范围内。

下面结合附图1至图9，通过具体的实施例及其应用场景对本申请实施例提供的低浓度废气处理系统和方法进行详细地说明。

本实施例的第一个方面提供了一种低浓度废气处理系统。

本实施例的低浓度废气处理系统，包括上胶机塔区1、过滤箱2、转轮浓缩装置3、VOCs氧化装置4和烟囱5，如图1~图4所示。上胶机塔区1为低浓度有机废气产生区域，具体的，上胶机塔区1内的低浓度有机废气，分别通过上胶机塔区1的顶部和底部汇总后排入过滤箱2内，过滤箱2具有Ⅲ级过滤系统，通过过滤箱2除去废气中的尘粒和细小颗粒物；经过滤后的废气进入转轮浓缩装置3内，转轮浓缩装置3内设置有分子筛，通过分子筛的吸附和脱附，可对有机废气进行浓缩，从而使得经转轮浓缩装置3出来的有机废气浓度提升；浓缩后的有机废气进入VOCs氧化装置4燃烧，而后经过烟囱5将燃烧后的二氧化碳和水排放。

VOCs氧化装置4，也即是挥发性有机化合物（Volatile Organic Compounds，简称VOCs）氧化装置。

通过上胶机塔区1、过滤箱2、转轮浓缩装置3、VOCs氧化装置4和烟囱5组成的低浓度废气处理系统，可通过对低浓度废气进行浓缩后燃烧并排放。

不限于此，本实施例的低浓度废气处理系统，还包括多个风机，以便通过风机为气体的流动提供动力。例如，本实施例的低浓度废气处理系统，还包括位于过滤箱2和转轮浓缩装置3之间的第一风机34，位于转轮浓缩装置3和VOCs氧化装置4的热风交换室11之间的第二风机35，位于VOCs氧化装置4和烟囱5之间的第三风机36，位于分子筛转轮6的吸附区7出气口和分子筛转轮6的第二冷却区10进气口之间的第四风机37，如图1~图4所示。

转轮浓缩装置3包括分子筛转轮6，分子筛转轮6具有彼此独立的吸附区7、脱附区8、第一冷却区9和第二冷却区10，如图1~图8所示。彼此独立的吸附区7、脱附区8、第一冷却区9和第二冷却区10，是指吸附区7、脱附区8、第一冷却区9和第二冷却区10的进气和出气互相独立，并且各区域彼此分隔，在各区域的气体互不干扰混合。可知的，转轮浓缩装置3还包括外壳，分子筛转轮6设置于外壳上。进一步，分子筛转轮6包括转架和固定设置于转架上的沸石分子筛。关于转轮浓缩装置3的外壳以及分子筛转轮6的转动结构，均可为现有技术的结构，在此不再详述。

吸附区7用于吸附废气中的废物，经吸附区7出气口排出的气体为洁净气体，可再次回到上胶机塔区1使用；由于沸石分子筛的吸附能力有限，为了确保沸石分子筛具有持续的吸附能力，还需要对吸附区7吸附的废物进行脱附，分子筛转轮6转动至脱附区8，通过高温气体可将分子筛转轮6上吸附的废物脱下并经高温气体带出（高温气体即成为含有较高浓度废物的废气），脱附后的区域重新获得吸附能力；沸石分子筛的吸附能力还与温度有关，温度越高，沸石分子筛的吸附能力越差，经过高温气体脱附后，沸石分子筛的温度较高，因此还设置冷却区域，通过通入低温气体对沸石分子筛进行冷却，从而使得沸石分子筛保持较好的吸附能力。

VOCs氧化装置4包括热风交换室11、废气预热室12和氧化燃烧室13，如图1~图4所示。热风交换室11用于将作为冷却风的气体加热成热风并可作为脱附风；废气预热室12用于对浓缩后的有机废气进行预热，当温度达到燃烧的临界温度后，转入氧化燃烧室13内，氧化燃烧室13内设置有保温耐火砖和燃烧机（现有结构，图中未示出），负压运行，当氧化燃烧的温度达到760℃以上时，燃烧机熄火，高浓度有机废气进行氧化反应，生成二氧化碳和水，并释放能力，释放的能力还可用于维持热风交换室11、废气预热室12和氧化燃烧室13的温度。

上胶机塔区1的出气口与过滤箱2的进气口连通，过滤箱2的出气口与吸附区7的进气口、第一冷却区9的进气口和第二冷却区10的进气口连通，吸附区7的出气口与上胶机塔区1的进气口和第二冷却区10的进气口连通，第一冷却区9的出气口和第二冷却区10的出气口与热风交换室11的进气口连通，第二冷却区10的出气口还与上胶机塔区1的进气口连通，热风交换室11的出气口与脱附区8的进气口连通，脱附区8的出气口与废气预热室12连通，废气预热室12的出气口与氧化燃烧室13连通，氧化燃烧室13的出气口与烟囱5连通。具体的，上胶机塔区1、过滤箱2、转轮浓缩装置3、VOCs氧化装置4和烟囱5的进气口和出气口均设置有管道，通过各进气管道和出气管道实现其连通，如图1~图4所示。

脱附区8的出气口与废气预热室12的进气口之间设置有浓度传感器14，如图1~图4所示。上胶机塔区1产生的有机废气包括甲烷、乙烯、丙烯、氨、硫化氢、有机酸废气等，通过检测进入废气预热室12的气体浓度，即可获得经分子筛转轮6处理后的浓缩气体浓度。低浓度废气处理系统还包括控制阀组，控制阀组基于浓度传感器14的检测结果，控制第二冷却区10的进气来源和出气流向，和/或控制第一冷却区9和第二冷却区10的进气量，并使浓度传感器14的检测结果处于预设范围内。具体的，预设范围可基于废气处理要求确定，以满足废气处理需求为准。控制阀组设置于各管道上，通过控制阀组可控制各管道的开闭和气体流量，从而可实现控制第二冷却区10的进气来源和出气流向，和/或控制第一冷却区9和第二冷却区10的进气量。

具体的，当上胶机塔区1内产生的有机物废气浓度较大时，经分子筛吸附后的气体浓度也较大，此时通过向分子筛转轮6上的脱附区8通入部分洁净气体，从而可稀释脱附区8出气口处的浓缩气体浓度；当上胶机塔区1内产生的有机物废气浓度较小时，经分子筛吸附后的气体浓度也较小，此时减小用于脱附区8脱附的气体量，可增大脱附区8出气口处的浓缩气体浓度，从而使得脱附区8出气口处的浓缩气体浓度始终保持在预设范围内。

本实施例的低浓度废气处理系统，通过将分子筛转轮6上的冷却区分隔为第一冷却区9和第二冷却区10，并且基于浓度传感器14的检测结果，控制第二冷却区10的进气来源和出气流向，和/或控制第一冷却区9和第二冷却区10的进气量，并使浓度传感器14的检测结果处于预设范围内，也即是，本实施例的低浓度废气处理系统可选择利用经吸附区7吸附后的洁净气体对第二冷却区10进行冷却，同时控制用于冷却后的洁净气体用做脱附气体或返回上胶机塔区1中，以调节进入废气预热室12的浓缩气体浓度，从而可在上胶机塔区1产生的有机废气浓度不稳定的情况下，使得有机废气经过转轮浓缩装置3吸附处理后，可以获得具有稳定浓度的浓缩气体，不仅可以确保有机废气的充分燃烧，也可减少天然气用量，解决了相关技术中上胶机塔内产生的有机物废气浓度不稳定，经分子筛浓缩处理后的有机废气，存在燃烧不充分或气体中有机物较少，不利于燃烧的问题。

进一步，本实施例的低浓度废气处理系统，还可基于浓度传感器14的检测结果，控制第一冷却区9和第二冷却区10的进气量，通过调节第一冷却区9和第二冷却区10中有机废气和洁净气体的用量，还可实现更精准的调节进入废气预热室12的浓缩气体浓度，使得进入废气预热室12的浓缩气体浓度与预设浓度的偏差减小。

第二方面，本实施例的低浓度废气处理系统，分子筛转轮6具有彼此独立的吸附区7、脱附区8、第一冷却区9和第二冷却区10，从而可确保各区域独立进气和出气，互不影响。具体的，第一冷却区9的进气始终为有机废气，第二冷却区10的进气可为有机废气，也可为经吸附区7吸附后的洁净气体，当利用洁净气体对第二冷却区10进行冷却时，由于第一冷却区9和第二冷却区10彼此独立，用于冷却后的洁净气体不会与有机废气混合，从而可将洁净气体通入上胶机塔区1中，使得该部分洁净气体不仅可用于调节浓缩气体的浓度，而且还不会增加废气处理系统的负担。

根据一个优选实施方式，控制阀组包括第一控制阀15、第二控制阀16、第三控制阀17、第四控制阀18和第五控制阀19，如图1~图8所示。不限于此，为了实现低浓度废气处理系统更精准的控制，还可包括更多的控制阀。

第一控制阀15位于过滤箱2的出气口与第一冷却区9的进气口间，如图1~图5所示。通过第一控制阀15可控制过滤箱2的出气口与第一冷却区9的进气口之间的连通状态，同时还可调节进入第一冷却区9的废气量。

第二控制阀16位于过滤箱2的出气口与第二冷却区10的进气口间，如图1~图7所示。通过第二控制阀16可控制过滤箱2的出气口与第二冷却区10的进气口之间的连通状态，同时还可调节进入第二冷却区10的废气量。

第三控制阀17位于第二冷却区10的出气口与上胶机塔区1的进气口间，如图1~图7所示。通过第三控制阀17可控制第二冷却区10的出气口与上胶机塔区1的进气口之间的连通状态，同时还可调节进入上胶机塔区1的洁净气体量。

第四控制阀18位于第二冷却区10的出气口与热风交换室11的进气口间，如图1~图7所示。通过第四控制阀18可控制第二冷却区10的出气口与热风交换室11的进气口之间的连通状态，同时还可调节进入热风交换室11的废气或洁净气体量。

第五控制阀19位于吸附区7的出气口与第二冷却区10的进气口间，如图1~图4、图7所示。通过第五控制阀19可控制吸附区7的出气口与第二冷却区10的进气口之间的连通状态，同时还可调节进入第二冷却区10的洁净气体量。

可见，第一控制阀15可控制第一冷却区9的进气量和进气来源；通过第二控制阀16和第五控制阀19可控制第二冷却区10的进气量和进气来源；通过第三控制阀17和第四控制阀18可控制第二冷却区10出气口的气体流向。

根据一个优选实施方式，吸附区7的进出口处分别设置有第一进气管20和第一出气管21，脱附区8的进出口处分别设置有第二进气管22和第二出气管23，第一冷却区9的进出口处分别设置有第三进气管24和第三出气管25，第二冷却区10的进出口处分别设置有第四进气管26和第四出气管27，如图5~图7所示。第三进气管24和第四进气管26均与第一进气管20连通，并且第一控制阀15和第二控制阀16分别位于第三进气管24和第四进气管26上，如图5~图7所示。第四进气管26还与第一出气管21连通，第四出气管27与第一出气管21和第三出气管25连通，并且第三控制阀17位于第四出气管27上，第四控制阀18位于第一出气管21与第四进气管26之间的管路上，第五控制阀19位于第四出气管27与第三出气管25之间的管路上，如图5~图7所示。通过各进气管和出气管的设置，可实现吸附区7、脱附区8、第一冷却区9和第二冷却区10的独立进气和出气，同时将各控制阀设置于管道上，还可实现吸附区7、脱附区8、第一冷却区9和第二冷却区10进气量和出气量的独立调节，以实现脱附区8出气口处气体浓度的更精准调节。

优选的，第一出气管21与上胶机塔区1连接，第一出气管21还与第二冷却区10的进气口连接，因而第一出气管21上存在分流点39，第四出气管27与第一出气管21具有汇合点40，汇合点40位于分流点39下游，从而有益于确保进入第二冷却区10中洁净气体的冷量，以确保洁净气体对第二冷却区10的冷却效果，如图1~图4、图7所示。

根据一个优选实施方式，第三出气管25具有第一管段28和第二管段29，第一管段28与第一冷却区9的出气口连通，第二管段29的内径大于第一管段28的内径，并且第四出气管27与第二管段29连通，如图8所示。当第二冷却区10排出的废气或洁净气体需要用做脱附气体时，第二冷却区10排出的废气或洁净气体可与第一冷却区9排出的废气混合后排入热风交换室11中加热。将第一冷却区9的第三出气管25设置为管径不同的第一管段28和第二管段29，并且第四出气管27与管径较大的第二管段29连通，也即是第一冷却区9排出的废气与第二冷却区10排出的废气或洁净气体在管径较大的第二管段29处汇合，可避免需要将第二冷却区10排出的废气或洁净气体用做脱附气体时，第三出气管25内的压力过高而导致气体泄露等隐患。

根据一个优选实施方式，第一冷却区9靠近脱附区8设置，如图1~图4、图8所示。如图1~图4、图8所示，吸附区7、脱附区8、第一冷却区9和第二冷却区10依次设置。第一冷却区9靠近脱附区8设置，则第二冷却区10靠近吸附区7设置。由于第一冷却区9始终通入有机废气进行冷却，当将第一冷却区9靠近脱附区8设置，第一冷却区9处的温度较高，其吸附能力较弱，也即是用作冷却的低浓度有机废气中的废物极少被沸石分子筛吸附，可确保沸石分子筛转动至吸附区7处，沸石分子筛对进入吸附区7处低浓度有机废气的吸附能力；另一方面，对第一冷却区9冷却后的废气始终需要用作脱附，将第一冷却区9靠近脱附区8设置，还有益于热能的二次利用。

根据一个优选实施方式，分子筛转轮6上设置有第一隔板30、第二隔板31、第三隔板32和第四隔板33，第一隔板30、第二隔板31、第三隔板32和第四隔板33用于将分子筛转轮6分隔为彼此独立的吸附区7、脱附区8、第一冷却区9和第二冷却区10，如图8所示。通过第一隔板30、第二隔板31、第三隔板32和第四隔板33可将分子筛转轮6分隔为彼此独立的吸附区7、脱附区8、第一冷却区9和第二冷却区10，以便沸石分子筛具有持续的吸附能力。

优选的，第一冷却区9和第二冷却区10之间的第三隔板32相对于第二隔板31和第四隔板33可转动设置，并且第三隔板32基于第一冷却区9和/或第二冷却区10的进气量自动调节第一冷却区9和第二冷却区10的容积。例如，分子筛转轮6上具有安装轴38，第一隔板30、第二隔板31、第三隔板32和第四隔板33安装于安装轴38上，沸石分子筛可沿安装轴38转动，如图8所示。更优选的，第三隔板32可活动的设置于安装轴38上，或者第三隔板32使用硬度较小的板材制成，从而使得第一冷却区9和第二冷却区10通入的气体发生变化时，第三隔板32可自动适应第一冷却区9和第二冷却区10中的气体量，使得第一冷却区9和第二冷却区10可保持稳定的冷却效果。图8示出了第三隔板32可转动的设置于安装轴38上的示意图。

具体的，第一冷却区9和第二冷却区10通入的气体量相当时，第三隔板32位于第一冷却区9和第二冷却区10中间位置；当第一冷却区9的进气量增大时，第三隔板32自动向第二冷却区10移动，使得第一冷却区9和第二冷却区10的压力相同；当第一冷却区9的进气量减小时，第三隔板32自动向第一冷却区9移动，使得第一冷却区9和第二冷却区10的压力相同。

本实施例的第二个方面提供了一种低浓度废气处理方法。

本实施例的低浓度废气处理方法，是以本实施例中任一项技术方案的低浓度废气处理系统为基础的。

图9示出了本实施例的低浓度废气处理方法的流程图。如图9所示，本实施例的低浓度废气处理方法，包括如下步骤：

步骤S100：获取脱附区8出气口处的气体浓度。具体的，可通过浓度传感器14获取脱附区8出气口处的气体浓度。不限于此，也可在上胶机塔区1的出气口处设置浓度传感器14，从而可判断上胶机塔区1出气口处的气体是否出现波动。

步骤S200：判断脱附区8出气口处的气体浓度与预设浓度的偏差。预设浓度可以是一个定值，也可以是一个范围值，预设浓度可基于实际需求确定。

步骤S300：脱附区8出气口处的气体浓度处于预设浓度范围之外时，调节第二冷却区10的进气来源和出气流向，和/或调节第一冷却区9和第二冷却区10的进气量，直至脱附区8出气口处的气体浓度处于预设浓度范围内。优选的，优先调节第二冷却区10的进气来源和出气流向，其次再调节第一冷却区9和第二冷却区10的进气量。

本申请优选获取脱附区8出气口处的气体浓度，由于该处浓度更大，其更易于检测，也更有利于判断脱附区8出气口处的气体浓度是否出现变化，从而可提高本申请控制阀组的响应灵敏度。

具体的，当脱附区8出气口处的气体浓度大于预设浓度时，通过向分子筛转轮6上的脱附区8通入部分洁净气体，从而可稀释脱附区8出气口处的浓缩气体浓度；当脱附区8出气口处的气体浓度小于预设浓度时，减小用于脱附区8脱附的气体量，可增大脱附区8出气口处的浓缩气体浓度，从而使得脱附区8出气口处的浓缩气体浓度始终保持在预设范围内。

本实施例的低浓度废气处理系统方法，通过调节控制阀组使第二冷却区10的进气为上胶机塔区1的废气或吸附区7排出的洁净气体，还使第二冷却区10的出气用于脱附或排回上胶机塔区1中，可调节进入废气预热室12的浓缩气体浓度，从而可在上胶机塔区1产生的有机废气浓度不稳定的情况下，使得有机废气经过转轮浓缩装置3吸附处理后，可以获得具有稳定浓度的浓缩气体，不仅可以确保有机废气的充分燃烧，也可减少天然气用量。

进一步，本实施例的低浓度废气处理方法，还可基于浓度传感器14的检测结果，调节第一冷却区9和第二冷却区10的进气量，通过调节第一冷却区9和第二冷却区10中有机废气和洁净气体的用量，还可实现更精准的调节进入废气预热室12的浓缩气体浓度，使得进入废气预热室12的浓缩气体浓度与预设浓度的偏差减小。

第二方面，本实施例的低浓度废气处理方法，当脱附区8出气口处的气体浓度处于预设浓度范围之外时，优先控制第二冷却区10的进气来源和出气流向，再控制第一冷却区9和第二冷却区10的进气量，按照如此的顺序，一方面可快速使得脱附区8出气口处的气体浓度达到预设浓度，还可增强调节精度。

根据一个优选实施方式，脱附区8出气口处的气体浓度处于预设浓度范围内时，控制第一控制阀15开启、第二控制阀16开启、第三控制阀17关闭、第四控制阀18开启、第五控制阀19关闭，气体流向如图2所示。该种状态为废气处理系统的常态，也即是脱附区8出气口处的气体浓度处于稳定时的状态。

脱附区8出气口处的气体浓度处于预设浓度范围内时，也即是上胶机塔区1中低浓度的有机废气，经过分子筛转轮6浓缩处理后，浓缩气体的浓度适中，不仅可确保浓缩气体的充分燃烧，还可减少天然气用量。此时，控制第一控制阀15开启、第二控制阀16开启、第三控制阀17关闭、第四控制阀18开启、第五控制阀19关闭，分子筛转轮6各区域的进气和出气流向如图2中箭头所示。具体为：上胶机塔区1中低浓度有机废气，大部分进入吸附区7，经吸附区7吸附后产生洁净气体，其余剩下的低浓度有机废气一部分进入第一冷却区9进行冷却，另一部分进入第二冷却区10进行冷却；吸附区7产生的大部分洁净气体回到上胶机塔区1；对第一冷却区9冷却后的低浓度有机废气和对第二冷却区10冷却后的低浓度有机废气混合后进入热风交换室11变成高温气体；该高温气体进入脱附区8进行脱附，经脱附区8排出的气体将脱附区8吸附的有机废物带出，成为高浓度的有机废气，也即是浓缩后的有机废气；该浓缩后的有机废气可进入废气预热室12预热后，进入氧化燃烧室13燃烧。

该种方式，进入废气预热室12的浓缩有机废气的气体量为进入第一冷却区9中低浓度有机废气量和进入第二冷却区10中低浓度有机废气量之和；同时进入废气预热室12的浓缩有机废气中的废物量为脱附区8的脱附量、进入第一冷却区9中低浓度有机废气中所含的废气量、以及进入第二冷却区10中低浓度有机废气中所含的废气量之和（由于第一冷却区9和第二冷却区10处的温度较高，其吸附能力极弱，低浓度有机废气经过时，其吸附量忽略）。

根据一个优选实施方式，脱附区8出气口处的气体浓度大于预设浓度的最大值时，控制第一控制阀15开启、第二控制阀16关闭、第三控制阀17关闭、第四控制阀18开启、第五控制阀19开启，气体流向如图3所示。

脱附区8出气口处的气体浓度大于预设浓度的最大值时，也即是上胶机塔区1中低浓度的有机废气，经过分子筛转轮6浓缩处理后，浓缩气体的浓度过大，不利于浓缩气体的充分燃烧。此时，控制第一控制阀15开启、第二控制阀16关闭、第三控制阀17关闭、第四控制阀18开启、第五控制阀19开启，分子筛转轮6各区域的进气和出气流向如图3中箭头所示。具体为：上胶机塔区1中低浓度有机废气，大部分进入吸附区7，经吸附区7吸附后产生洁净气体，其余剩下的低浓度有机废气进入第一冷却区9进行冷却；吸附区7产生的大部分洁净气体回到上胶机塔区1，少部分洁净气体进入第二冷却区10中进行冷却；对第一冷却区9冷却后的低浓度有机废气和对第二冷却区10冷却后的洁净气体混合后进入热风交换室11变成高温气体；该高温气体进入脱附区8进行脱附，经脱附区8排出的气体将脱附区8吸附的有机废物带出，成为高浓度的有机废气，也即是浓缩后的有机废气；该浓缩后的有机废气可进入废气预热室12预热后，进入氧化燃烧室13燃烧。

该种方式，进入废气预热室12的浓缩有机废气的气体量为进入第一冷却区9中低浓度有机废气量和进入第二冷却区10中洁净气体量之和；同时进入废气预热室12的浓缩有机废气中的废物量为脱附区8的脱附量和进入第一冷却区9中低浓度有机废气中所含的废气量之和（由于第一冷却区9和第二冷却区10处的温度较高，其吸附能力极弱，低浓度有机废气经过时，其吸附量忽略），通过第二冷却区10中洁净气体的稀释作用，可降低浓缩气体浓度，同时还可确保对沸石分子筛的冷却效果。

根据一个优选实施方式，脱附区8出气口处的气体浓度小于预设浓度的最小值时，控制第一控制阀15开启、第二控制阀16关闭、第三控制阀17开启、第四控制阀18关闭、第五控制阀19开启，气体流向如图4所示。

脱附区8出气口处的气体浓度小于预设浓度的最小值时，也即是上胶机塔区1中低浓度的有机废气，经过分子筛转轮6浓缩处理后，浓缩气体的浓度过小，不利于浓缩气体的燃烧，需要借助天然气辅助燃烧。此时，控制第一控制阀15开启、第二控制阀16关闭、第三控制阀17开启、第四控制阀18关闭、第五控制阀19开启，分子筛转轮6各区域的进气和出气流向如图4中箭头所示。具体为：上胶机塔区1中低浓度有机废气，大部分进入吸附区7，经吸附区7吸附后产生洁净气体，其余剩下的低浓度有机废气进入第一冷却区9进行冷却；吸附区7产生的大部分洁净气体回到上胶机塔区1，少部分洁净气体进入第二冷却区10中进行冷却；对第一冷却区9冷却后的低浓度有机废气进入热风交换室11变成高温气体，对第二冷却区10冷却后的洁净气体回到上胶机塔区1；高温气体进入脱附区8进行脱附，经脱附区8排出的气体将脱附区8吸附的有机废物带出，成为高浓度的有机废气，也即是浓缩后的有机废气；该浓缩后的有机废气可进入废气预热室12预热后，进入氧化燃烧室13燃烧。

该种方式，进入废气预热室12的浓缩有机废气的气体量为进入第一冷却区9中低浓度有机废气量；同时进入废气预热室12的浓缩有机废气中的废物量为脱附区8的脱附量和进入第一冷却区9中低浓度有机废气中所含的废气量之和（由于第一冷却区9和第二冷却区10处的温度较高，其吸附能力极弱，低浓度有机废气经过时，其吸附量忽略），通过减少用做脱附气体的气体量，可提高浓缩气体浓度，同时还可确保对沸石分子筛的冷却效果。

根据一个优选实施方式，第一控制阀15处于开启状态、第二控制阀16处于关闭状态、第三控制阀17处于关闭状态、第四控制阀18处于开启状态、第五控制阀19处于开启状态，且脱附区8出气口处的气体浓度大于预设浓度的最大值时，还包括如下步骤：控制第一控制阀15的开度减小、第五控制阀19的开度增大。当脱附区8出气口处的气体浓度大于预设浓度的最大值时，通过调节各控制阀的开闭，脱附区8出气口处的气体浓度仍然过大，此时还可调节第一控制阀15和第五控制阀19的开度，也即是调节用于对第一冷却区9进行冷却的低浓度有机废气量和用于对第二冷却区10进行冷却的洁净气体量。具体的，通过控制第一控制阀15的开度减小、第五控制阀19的开度增大，也即是减小用于对第一冷却区9进行冷却的低浓度有机废气量，增大用于对第二冷却区10进行冷却的洁净气体量，由于对第一冷却区9进行冷却的低浓度有机废气和对第二冷却区10进行冷却的洁净气体均用作脱附气体，因而可增大用于脱附气体的洁净气体量，从而可进一步降低脱附区8出气口处的气体浓度。

根据一个优选实施方式，第一控制阀15处于开启状态、第二控制阀16处于关闭状态、第三控制阀17处于开启状态、第四控制阀18处于关闭状态、第五控制阀19处于开启状态，且脱附区8出气口处的气体浓度小于预设浓度的最小值时，还包括如下步骤：控制第一控制阀15的开度减小、第五控制阀19的开度增大。当脱附区8出气口处的气体浓度小于预设浓度的最小值时，通过调节各控制阀的开闭，脱附区8出气口处的气体浓度仍然过小，此时还可调节第一控制阀15和第五控制阀19的开度，也即是调节用于对第一冷却区9进行冷却的低浓度有机废气量和用于对第二冷却区10进行冷却的洁净气体量。具体的，通过控制第一控制阀15的开度减小、第五控制阀19的开度增大，也即是减小用于对第一冷却区9进行冷却的低浓度有机废气量，增大用于对第二冷却区10进行冷却的洁净气体量，由于对第二冷却区10冷却后的洁净气体回到上胶机塔区1中，因而可减少用于脱附的气体量，从而可进一步提高脱附区8出气口处的气体浓度。

需要说明的是，在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者装置不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者装置所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括该要素的过程、方法、物品或者装置中还存在另外的相同要素。此外，需要指出的是，本申请实施方式中的方法和装置的范围不限按示出或讨论的顺序来执行功能，还可包括根据所涉及的功能按基本同时的方式或按相反的顺序来执行功能，例如，可以按不同于所描述的次序来执行所描述的方法，并且还可以添加、省去、或组合各种步骤。另外，参照某些示例所描述的特征可在其他示例中被组合。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种低浓度废气处理系统，其特征在于，包括上胶机塔区（1）、过滤箱（2）、转轮浓缩装置（3）、VOCs氧化装置（4）和烟囱（5），所述转轮浓缩装置（3）包括分子筛转轮（6），所述分子筛转轮（6）具有彼此独立的吸附区（7）、脱附区（8）、第一冷却区（9）和第二冷却区（10），所述VOCs氧化装置（4）包括热风交换室（11）、废气预热室（12）和氧化燃烧室（13），

所述上胶机塔区（1）的出气口与所述过滤箱（2）的进气口连通，所述过滤箱（2）的出气口与所述吸附区（7）的进气口、所述第一冷却区（9）的进气口和所述第二冷却区（10）的进气口连通，所述吸附区（7）的出气口与所述上胶机塔区（1）的进气口和所述第二冷却区（10）的进气口连通，所述第一冷却区（9）的出气口和所述第二冷却区（10）的出气口与所述热风交换室（11）的进气口连通，所述第二冷却区（10）的出气口还与所述上胶机塔区（1）的进气口连通，所述热风交换室（11）的出气口与所述脱附区（8）的进气口连通，所述脱附区（8）的出气口与所述废气预热室（12）连通，所述废气预热室（12）的出气口与所述氧化燃烧室（13）连通，所述氧化燃烧室（13）的出气口与所述烟囱（5）连通，

所述脱附区（8）的出气口与所述废气预热室（12）的进气口之间设置有浓度传感器（14），所述低浓度废气处理系统还包括控制阀组，所述控制阀组基于所述浓度传感器（14）的检测结果，控制所述第二冷却区（10）的进气来源和出气流向，和/或控制所述第一冷却区（9）和所述第二冷却区（10）的进气量，并使所述浓度传感器（14）的检测结果处于预设范围内；

所述控制阀组包括第一控制阀（15）、第二控制阀（16）、第三控制阀（17）、第四控制阀（18）和第五控制阀（19），其中，所述第一控制阀（15）位于所述过滤箱（2）的出气口与所述第一冷却区（9）的进气口间，所述第二控制阀（16）位于所述过滤箱（2）的出气口与所述第二冷却区（10）的进气口间，所述第三控制阀（17）位于所述第二冷却区（10）的出气口与所述上胶机塔区（1）的进气口间，所述第四控制阀（18）位于所述第二冷却区（10）的出气口与所述热风交换室（11）的进气口间，所述第五控制阀（19）位于所述吸附区（7）的出气口与所述第二冷却区（10）的进气口间；

所述脱附区（8）出气口处的气体浓度处于预设浓度范围内时，第一控制阀（15）开启、第二控制阀（16）开启、第三控制阀（17）关闭、第四控制阀（18）开启、第五控制阀（19）关闭；

所述脱附区（8）出气口处的气体浓度大于预设浓度的最大值时，第一控制阀（15）开启、第二控制阀（16）关闭、第三控制阀（17）关闭、第四控制阀（18）开启、第五控制阀（19）开启；

所述脱附区（8）出气口处的气体浓度小于预设浓度的最小值时，第一控制阀（15）开启、第二控制阀（16）关闭、第三控制阀（17）开启、第四控制阀（18）关闭、第五控制阀（19）开启。

2.根据权利要求1所述的低浓度废气处理系统，其特征在于，所述吸附区（7）的进出口处分别设置有第一进气管（20）和第一出气管（21），所述脱附区（8）的进出口处分别设置有第二进气管（22）和第二出气管（23），所述第一冷却区（9）的进出口处分别设置有第三进气管（24）和第三出气管（25），所述第二冷却区（10）的进出口处分别设置有第四进气管（26）和第四出气管（27），其中，

所述第三进气管（24）和所述第四进气管（26）均与所述第一进气管（20）连通，并且所述第一控制阀（15）和所述第二控制阀（16）分别位于所述第三进气管（24）和所述第四进气管（26）上，

所述第四进气管（26）还与第一出气管（21）连通，所述第四出气管（27）与所述第一出气管（21）和所述第三出气管（25）连通，并且所述第三控制阀（17）位于所述第四出气管（27）上，所述第四控制阀（18）位于所述第一出气管（21）与所述第四进气管（26）之间的管路上，所述第五控制阀（19）位于所述第四出气管（27）与所述第三出气管（25）之间的管路上。

3.根据权利要求2所述的低浓度废气处理系统，其特征在于，所述第三出气管（25）具有第一管段（28）和第二管段（29），所述第一管段（28）与所述第一冷却区（9）的出气口连通，所述第二管段（29）的内径大于所述第一管段（28）的内径，并且所述第四出气管（27）与所述第二管段（29）连通。

4.根据权利要求1所述的低浓度废气处理系统，其特征在于，所述第一冷却区（9）靠近所述脱附区（8）设置。

5.根据权利要求1所述的低浓度废气处理系统，其特征在于，所述分子筛转轮（6）上设置有第一隔板（30）、第二隔板（31）、第三隔板（32）和第四隔板（33），所述第一隔板（30）、所述第二隔板（31）、所述第三隔板（32）和所述第四隔板（33）用于将所述分子筛转轮（6）分隔为彼此独立的吸附区（7）、脱附区（8）、第一冷却区（9）和第二冷却区（10）。

6.根据权利要求5所述的低浓度废气处理系统，其特征在于，所述第一冷却区（9）和所述第二冷却区（10）之间的所述第三隔板（32）相对于所述第二隔板（31）和所述第四隔板（33）可转动设置，并且所述第三隔板（32）基于所述第一冷却区（9）和/或所述第二冷却区（10）的进气量自动调节所述第一冷却区（9）和所述第二冷却区（10）的容积。

7.一种低浓度废气处理方法，是基于权利要求1至6中任一项所述的低浓度废气处理系统实现的，其特征在于，所述方法包括如下步骤：

步骤S100：获取脱附区（8）出气口处的气体浓度；

步骤S200：判断所述脱附区（8）出气口处的气体浓度与预设浓度的偏差；

步骤S300：所述脱附区（8）出气口处的气体浓度处于预设浓度范围之外时，调节第二冷却区（10）的进气来源和出气流向，和/或调节第一冷却区（9）和第二冷却区（10）的进气量，直至脱附区（8）出气口处的气体浓度处于预设浓度范围内。

8.根据权利要求7所述的低浓度废气处理方法，其特征在于，所述脱附区（8）出气口处的气体浓度处于预设浓度范围内时，控制第一控制阀（15）开启、第二控制阀（16）开启、第三控制阀（17）关闭、第四控制阀（18）开启、第五控制阀（19）关闭；

所述脱附区（8）出气口处的气体浓度大于预设浓度的最大值时，控制第一控制阀（15）开启、第二控制阀（16）关闭、第三控制阀（17）关闭、第四控制阀（18）开启、第五控制阀（19）开启；

所述脱附区（8）出气口处的气体浓度小于预设浓度的最小值时，控制第一控制阀（15）开启、第二控制阀（16）关闭、第三控制阀（17）开启、第四控制阀（18）关闭、第五控制阀（19）开启。

9.根据权利要求8所述的低浓度废气处理方法，其特征在于，第一控制阀（15）处于开启状态、第二控制阀（16）处于关闭状态、第三控制阀（17）处于关闭状态、第四控制阀（18）处于开启状态、第五控制阀（19）处于开启状态，且所述脱附区（8）出气口处的气体浓度大于预设浓度的最大值时，还包括如下步骤：控制第一控制阀（15）的开度减小、第五控制阀（19）的开度增大；

第一控制阀（15）处于开启状态、第二控制阀（16）处于关闭状态、第三控制阀（17）处于开启状态、第四控制阀（18）处于关闭状态、第五控制阀（19）处于开启状态，且所述脱附区（8）出气口处的气体浓度小于预设浓度的最小值时，还包括如下步骤：控制第一控制阀（15）的开度减小、第五控制阀（19）的开度增大。