CN116774855A - 显示装置及其制备方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种显示装置的制备方法，显示装置包括：触控显示屏，触控显示屏具有相对设置的触控显示面和触觉反馈面，触控显示屏适于获取触控位置；位于触觉反馈面的超声换能器阵列，超声换能器阵列包括阵列排布的若干超声换能器，每个超声换能器适于单独工作；控制模组，控制模组具有输入端和输出端，输入端与触控显示屏电学连接，输出端与超声换能器电学连接，控制模组适于控制位于触控位置的超声换能器进行振动反馈。显示装置能够单独对触摸位置进行触觉再现，且能够同时对多个位置进行触觉再现，不仅提高了触觉反馈的灵活性，还有利于降低功耗。

Description

显示装置及其制备方法

技术领域

本发明涉及显示技术领域，具体涉及一种显示装置的制备方法。

背景技术

触控技术是继键盘、鼠标、语音输入后，使用最为广泛的计算机输入方式。用户只要用手指轻轻地触碰触控显示屏幕上的图符或文字就能够实现对主机的各种操作，使人机交互更为直截了当。随着科技的发展，部分触控显示屏幕还具有触觉反馈功能，触觉反馈功能有利于用户快速判断自身的操作是否有效。例如在用户驾驶车辆时，触控显示屏幕的触觉反馈能使用户及时得知操作有效，进而减少用户注意力的分散，提高驾驶安全性。目前具有触觉反馈功能的触控显示屏幕大多将偏心马达或线性马达等装置设置在振动片上，以在触控时驱动振动片振动，进而实现触觉反馈的。

然而，在用户触摸上述触控显示屏幕的某一位置后，整个触控显示屏幕都会发生振动，不仅功耗较大，还无法单独对触摸位置进行触觉再现，也无法同时对多个位置进行触觉再现，这限制了触控显示屏幕的应用。

发明内容

本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。

为此，第一方面，本发明提供一种显示装置，包括：触控显示屏，所述触控显示屏具有相对设置的触控显示面和触觉反馈面，所述触控显示屏适于获取触控位置；位于所述触觉反馈面的超声换能器阵列，所述超声换能器阵列包括阵列排布的若干超声换能器，每个所述超声换能器适于单独工作；控制模组，所述控制模组具有输入端和输出端，所述输入端与所述触控显示屏电学连接，所述输出端与所述超声换能器电学连接，所述控制模组适于控制位于所述触控位置的所述超声换能器进行振动反馈。

上述显示装置中，超声换能器阵列中的每个超声换能器均能够单独工作，这使得显示装置能够单独对触摸位置进行触觉再现，且能够同时对多个位置进行触觉再现，不仅提高了触觉反馈的灵活性，还有利于降低功耗。其次，超声换能器阵列位于触控显示屏背离触控显示面的另一侧，因此不会影响触控显示屏显示图像，且不占用触控显示屏的显示区的空间，有利于提高触控显示屏的分辨率。再次，超声换能器阵列中超声换能器具有较高的排布密度，有利于提高超声换能器进行触觉反馈的效果。此外，超声换能器阵列较为轻薄，有利于缩小显示装置的体积。

根据本发明的实施例，所述超声换能器阵列为压电微机械超声换能器阵列或电容式微机械超声换能器阵列。

根据本发明的实施例，所述压电微机械超声换能器阵列包括依次层叠设置的衬底、结构层、第一电极层、压电层和第二电极层；所述衬底具有阵列排布的若干通孔，所述结构层的部分表面暴露在所述通孔中；所述第一电极层和/或所述第二电极层为图形化电极层，所述图形化电极层包括阵列排布的若干子电极块，所述子电极块与所述通孔相对设置；所述衬底背离所述结构层的一侧表面朝向所述触觉反馈面。

根据本发明的实施例，所述压电微机械超声换能器还包括振动匹配层，所述振动匹配层位于所述第二电极层背离所述压电层的一侧表面。振动匹配层具有较低的声阻抗和较高的声速，能够有效得减少超声换能器所产生的超声波的反射和损耗，从而提高超声波的传递效率，进而提高振动强度，有利于提高触觉反馈效果。

根据本发明的实施例，所述第一电极层包括阵列排布的第一子电极块，所述第二电极层包括阵列排布的第二子电极块，所述第一子电极块、所述第二子电极块均与所述通孔相对设置，所述第二子电极块的面积小于所述第一子电极块的面积。由此，有利于获得更佳的振动效果，从而有利于获得更佳的触觉反馈效果。

根据本发明的实施例，所述第二子电极块的面积与所述第一子电极块的面积之比为0.5～0.8。

根据本发明的实施例，所述压电微机械超声换能器阵列包括依次层叠设置的密封层、衬底、结构层、第一电极层、压电层和第二电极层；所述衬底具有阵列排布的若干通孔，所述通孔、所述结构层和所述密封层构成密闭空腔；所述第一电极层和/或所述第二电极层为图形化电极层，所述图形化电极层包括阵列排布的若干子电极块，所述子电极块与所述通孔相对设置；所述第二电极层背离所述压电层的一侧表面朝向所述触觉反馈面。

根据本发明的实施例，所述密封层为振动匹配层。

根据本发明的实施例，所述触控显示屏包括基板，所述基板为柔性基板。由此，有利于提高振动传递效果，从而有利于提高触觉反馈效果。

第二方面，本发明提供一种显示装置的制备方法，包括：形成触控显示屏，所述触控显示屏具有相对设置的触控显示面和触觉反馈面，所述触控显示屏适于获取触控位置；形成超声换能器阵列，所述超声换能器阵列位于所述触觉反馈面，所述超声换能器阵列包括阵列排布的若干超声换能器，每个所述超声换能器适于单独工作；提供控制模组，所述控制模组具有输入端和输出端，将所述输入端与所述触控显示屏电学连接，将所述输出端与所述超声换能器电学连接，所述控制模组适于控制位于所述触控位置的所述超声换能器进行振动反馈。

根据本发明的实施例，所述显示装置的制备方法包括：形成所述触控显示屏；在形成所述触控显示屏之后，在所述触控显示屏的触觉反馈面形成所述超声换能器阵列。

根据本发明的实施例，在所述触觉反馈面形成所述超声换能器阵列的步骤包括：在所述触觉反馈面形成衬底，所述衬底具有阵列排布的若干通孔；在所述衬底背离所述触控显示屏的一侧表面形成结构层，所述通孔构成密闭空腔；在所述结构层背离所述触控显示屏的一侧表面形成第一电极层；在所述第一电极层背离所述触控显示屏的一侧表面形成整面的压电层；在所述压电层背离所述触控显示屏的一侧表面形成第二电极层；所述第一电极层和/或所述第二电极层为图形化电极层，所述图形化电极层包括阵列排布的子电极块，所述子电极块与所述通孔相对设置。

根据本发明的实施例，在所述触觉反馈面形成所述衬底的步骤包括：在所述触觉反馈面形成光刻胶层，对光刻胶层进行刻蚀，得到所述衬底。

根据本发明的实施例，在所述衬底背离所述触控显示屏的一侧表面形成结构层的步骤包括：预制所述结构层，将所述结构层黏贴到所述衬底背离所述触控显示屏的一侧表面。

根据本发明的实施例，在所述触觉反馈面形成所述超声换能器阵列的步骤还包括：在形成所述第二电极层之后，在所述第二电极层背离所述触控显示屏的一侧表面形成振动匹配层。

根据本发明的实施例，所述显示装置的制备方法包括：形成所述触控显示屏；形成所述超声换能器阵列；在形成所述触控显示屏和所述超声换能器阵列之后，将所述超声换能器阵列黏贴在所述触觉反馈面。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的显示装置的结构示意图；

图2为图1所示的一种显示装置的结构示意图；

图3为图2中衬底的俯视图；

图4为图1所示的另一种显示装置的结构示意图；

图5为图1所示的再一种显示装置的结构示意图；

图6-图11为图2中的显示装置制备过程中的结构示意图；

图12为图5中的超声换能器阵列的结构示意图；

图13为图4中的超声换能器阵列的结构示意图；

附图标记说明：

1-触控显示屏；2-超声换能器阵列；21-衬底；211-通孔；22-结构层；23-第一电极层；24-压电层；25-第二电极层；26-振动匹配层；3-粘结层。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

第一方面，参见图1，本发明提供一种显示装置，包括：

触控显示屏1，所述触控显示屏1具有相对设置的触控显示面和触觉反馈面，所述触控显示屏1适于获取触控位置；

位于所述触觉反馈面的超声换能器阵列2，所述超声换能器阵列2包括阵列排布的若干超声换能器，每个所述超声换能器适于单独工作；

控制模组，所述控制模组具有输入端和输出端，所述输入端与所述触控显示屏1电学连接，所述输出端与所述超声换能器电学连接，所述控制模组适于控制位于所述触控位置的所述超声换能器进行振动反馈。

上述显示装置中，超声换能器阵列2中的每个超声换能器均能够单独工作，这使得显示装置能够单独对触摸位置进行触觉再现，且能够同时对多个位置进行触觉再现，不仅提高了触觉反馈的灵活性，还有利于降低功耗。其次，超声换能器阵列2位于触控显示屏1背离触控显示面的另一侧，因此不会影响触控显示屏1显示图像，且不占用触控显示屏1的显示区的空间，有利于提高触控显示屏1的分辨率。再次，超声换能器阵列2中超声换能器具有较高的排布密度，有利于提高超声换能器进行触觉反馈的效果。此外，超声换能器阵列2较为轻薄，有利于缩小显示装置的体积。

具体的，上述显示装置实现触觉反馈的步骤如下：当用户触摸显示装置的触控显示面时，所述触控显示屏获取触控位置，并将触控位置信息传输至控制模组；控制模组接收到触控位置信息之后，向位于触控位置的若干超声换能器发出振动反馈信号；位于触控位置的若干超声换能器接收到振动反馈信号之后进行振动反馈。

需要说明的是，触控显示屏1的显示区具有若干发光件，发光件发光以显示图像。当超声换能器设置在相邻发光件之间时，超声换能器势必会占用显示区的空间，从而影响触控显示屏1的分辨率，降低触控显示屏1的显示效果，同时上述设置方式降低了超声换能器的排布密度，从而影响了超声换能器进行触觉反馈的效果。当超声换能器阵列2设置在触控显示面时，则会阻碍触控显示屏1的图像显示，影响触控显示屏1的显示效果。

根据本发明的实施例，所述超声换能器阵列2为压电微机械超声换能器阵列或电容式微机械超声换能器阵列。

优选的，所述超声换能器阵列2为压电微机械超声换能器阵列，当用户在触摸显示装置的触控显示面时，能够体验到较为真实的物理触觉。具体的，上述显示装置实现触觉反馈的步骤如下：当用户触摸显示装置的触控显示面时，超声换能器阵列2中的压电层24发生形变从而产生电信号，超声换能器阵列2将电信号传输至控制模组；控制模组根据上述电信号大小计算得到用户进行触控操作时的触控压力大小；当用户触摸显示装置的触控显示面时，所述触控显示屏1能够获取触控位置，并将触控位置信息传输至控制模组；控制模组接收到触控位置信息之后，向位于触控位置的若干超声换能器发出振动反馈信号，且振动反馈信号中携带了触控压力信息；位于触控位置的若干超声换能器接收到振动反馈信号之后进行振动反馈，触控位置的振动强度接近于用户触控操作时的触控压力，从而使用户体验到较为真实的物理触觉。

在第一种实施方式中，参见图2，所述压电微机械超声换能器阵列包括依次层叠设置的衬底21、结构层22、第一电极层23、压电层24和第二电极层25；参见图3，所述衬底21具有阵列排布的若干通孔211，所述结构层22的部分表面暴露在所述通孔211中；所述第一电极层23和/或所述第二电极层25为图形化电极层，所述图形化电极层包括阵列排布的若干子电极块，所述子电极块与所述通孔211相对设置；所述衬底21背离所述结构层22的一侧表面朝向所述触觉反馈面，所述通孔211、所述结构层22和触觉反馈面构成密闭空腔。超声换能器阵列2中超声换能器的数量与所述通孔211的数量相同，超声换能器的位置与通孔211的位置相对应。第一电极层23和第二电极层25均与控制模组电学连接，使每个超声换能器均能够被触控模组单独驱动。

具体的，衬底21的材料可以为单晶硅或光刻胶，也可以为其他材料；结构层22可以为金属薄膜或有机薄膜；压电层24可以为PZT(锆钛酸铅压电陶瓷)、AlN、ZnO等无机压电薄膜，也可以为PVDF(聚偏二氟乙烯)、PVDF-TrFE(偏氟乙烯三氟乙烯共聚物)、PDMS(聚二甲基硅氧烷)等有机压电膜层；第一电极层23和第二电极层25的材料可以为Mo、Ti、Pt等金属材料，也可以为ITO等透明导电材料。

进一步的，衬底21的厚度可以为10μm～50μm，如10μm、15μm、20μm、25μm、30μm、35μm、40μm、45μm或50μm；参见图3，通孔211在结构层22上的正投影的形状可以为圆形、矩形、六边形、八边形等形状，超声换能器阵列2中的若干通孔211的形状和尺寸可以相同也可以不同，子电极块的排布与通孔211的排布方式和形状相对应；当通孔211在结构层22上的正投影的形状为圆形时，通孔211的内径可以为50μm～500μm，如50μm、100μm、150μm、200μm、250μm、300μm、350μm、400μm、450μm或100μm。

在第一种实施方式中，继续参见图2，所述压电微机械超声换能器还包括振动匹配层26，所述振动匹配层26位于所述第二电极层25背离所述压电层24的一侧表面。振动匹配层26具有较低的声阻抗和较高的声速，能够有效得减少超声换能器所产生的超声波的反射和损耗，从而提高超声波的传递效率，进而提高振动强度，有利于提高触觉反馈效果。振动匹配层26可以为聚氨酯、聚乙烯等有机薄膜，也可以为其他材料。

在第一种实施方式中，优选的，所述第一电极层23和第二电极层25均为图形化电极层，该结构能够避免不同超声换能器之间的干扰，有利于精准实现触觉反馈。具体的，所述第一电极层23包括阵列排布的第一子电极块，所述第二电极层25包括阵列排布的第二子电极块，所述第一子电极块、所述第二子电极块均与所述通孔211相对设置。更优选的，所述第二子电极块的面积小于所述第一子电极块的面积，该设计有利于获得更佳的振动效果，从而有利于获得更佳的触觉反馈效果。示例性的，所述第二子电极块的面积与所述第一子电极块的面积之比为0.5～0.8，如0.5、0.55、0.6、0.65、0.7、0.75或0.8。

在第二种实施方式中，参见图4，所述压电微机械超声换能器阵列包括依次层叠设置的密封层、衬底21、结构层22、第一电极层23、压电层24和第二电极层25；所述衬底21具有阵列排布的若干通孔211，所述通孔211、所述结构层22和所述密封层构成密闭空腔；所述第一电极层23和/或所述第二电极层25为图形化电极层，所述图形化电极层包括阵列排布的若干子电极块，所述子电极块与所述通孔211相对设置；所述第二电极层25背离所述压电层24的一侧表面朝向所述触觉反馈面。超声换能器阵列2中超声换能器的数量与所述通孔211的数量相同，超声换能器的位置与通孔211的位置相对应。第一电极层23和第二电极层25均与控制模组电学连接，使每个超声换能器均能够被触控模组单独驱动。需要理解的是，第二种实施方式中的压电微机械超声换能器阵列中各个功能层的材料和结构可以与第一种实施方式中的压电微机械超声换能器阵列中各个功能层的材料和结构相同，在此不再赘述。

优选的，所述密封层为振动匹配层26。振动匹配层26具有较低的声阻抗和较高的声速，能够有效得减少超声换能器所产生的超声波的反射和损耗，从而提高超声波的传递效率，进而提高振动强度，有利于提高触觉反馈效果。振动匹配层26可以为聚氨酯、聚乙烯等有机薄膜，也可以为其他材料。

根据本发明的实施例，显示装置还可以包括位于触控显示屏1与超声换能器阵列2之间的粘结层，以将超声换能器阵列2固定在触控显示屏1的一侧表面。图4示出了采用粘结层3将压电微机械超声换能器阵列的第二电极层25和触控显示屏1固定在一起，图5示出了采用粘结层3将压电微机械超声换能器阵列的衬底21和触控显示屏1固定在一起，

根据本发明的实施例，所述触控显示屏1包括基板，所述基板为柔性基板，此时所述触控显示屏1为柔性触控显示屏，有利于提高振动传递效果，从而有利于提高触觉反馈效果。进一步的，当超声换能器阵列2为压电微机械超声换能器阵列时，所述基板为柔性基板还能够更好的将触控压力传递至压电层24，从而提高控制模组计算触控压力的精确程度，进而使用户体验到更为真实的物理触觉。

第二方面，本发明提供一种显示装置的制备方法，包括：

形成触控显示屏1，所述触控显示屏1具有相对设置的触控显示面和触觉反馈面，所述触控显示屏1适于获取触控位置；

形成超声换能器阵列2，所述超声换能器阵列2位于所述触觉反馈面，所述超声换能器阵列2包括阵列排布的若干超声换能器，每个所述超声换能器适于单独工作；

提供控制模组，所述控制模组具有输入端和输出端，将所述输入端与所述触控显示屏1电学连接，将所述输出端与所述超声换能器电学连接，所述控制模组适于控制位于所述触控位置的所述超声换能器进行振动反馈。

在第一种实施方式中，显示装置的制备方法包括以下步骤：形成触控显示屏1；在形成触控显示屏1之后，在触控显示屏1的触觉反馈面形成超声换能器阵列2。

作为第一种实施方式的一个具体示例，在所述触觉反馈面形成所述超声换能器阵列2的步骤包括：

参见图6，在所述触觉反馈面形成衬底21，所述衬底21具有阵列排布的若干通孔211；具体的，可以通过在所述触觉反馈面形成光刻胶层，并对光刻胶层进行刻蚀，以得到所述衬底21，所述衬底21也可以采用其他制备方法制得。

参见图7，在所述衬底21背离所述触控显示屏1的一侧表面形成结构层22，使所述通孔211构成密闭空腔；具体的，可以预制结构层22，再将结构层22黏贴到所述衬底21背离所述触控显示屏1的一侧表面，也可以采用其他方式在所述衬底21背离所述触控显示屏1的一侧表面形成所述结构层22。

参见图8，在所述结构层22背离所述触控显示屏1的一侧表面形成第一电极层23。

参见图9，在所述第一电极层23背离所述触控显示屏1的一侧表面形成整面的压电层24；具体的，采用旋涂或者磁控溅射等工艺形成所述压电层24。

参见图10，在所述压电层24背离所述触控显示屏1的一侧表面形成第二电极层25；

需要说明的是，所述第一电极层23和/或所述第二电极层25为图形化电极层，所述图形化电极层包括阵列排布且相互间隔的子电极块，所述子电极块与所述通孔211相对设置，图6中的第一电极层23和图8中的第二电极层25均为图形化电极层。图形化电极层的制备方法包括以下步骤：形成整面电极层，形成整面电极层的工艺包括但不限于真空蒸镀法、磁控溅射法；对整面电极层进行刻蚀，得到图形化电极层。

优选的，参见图11，在所述触觉反馈面形成所述超声换能器阵列2的步骤还包括：在形成所述第二电极层25之后，在所述第二电极层25背离所述触控显示屏1的一侧表面形成振动匹配层26。具体的，可以通过涂覆浆料等方式形成振动匹配层26。

在第二种实施方式中，所述显示装置的制备方法包括以下步骤：形成所述触控显示屏1；形成所述超声换能器阵列2；在形成所述触控显示屏1和所述超声换能器阵列2之后，将所述超声换能器阵列2黏贴在所述触觉反馈面。触控显示屏1和超声换能器阵列2均可以提前预制出来，有利于缩短制备显示装置所需的时间，从而提高生产效率。

作为第二种实施方式的一个具体示例，图12所示的超声换能器阵列2的制备方法包括以下步骤：

步骤S1a、提供初始衬底，初始衬底用以形成图12中的衬底21；具体的，初始衬底的材料包括但不限于单晶硅片。

步骤S2a、在初始衬底的一侧表面形成结构层22。

步骤S3a、在所述结构层22背离所述初始衬底的一侧表面形成第一电极层23。

步骤S4a、在第一电极层23背离所述初始衬底的一侧表面形成压电层24。

步骤S5a、在压电层24背离所述初始衬底的一侧表面形成第二电极层25。

步骤S6a、对初始衬底进行刻蚀，得到具有若干通孔211的衬底21；当初始衬底的材料为单晶硅时，对初始衬底进行刻蚀的方法包括但不限于深反应离子刻蚀方法。

在制备得到图12所示的超声换能器阵列2之后，将衬底21背离所述结构层22的一侧表面黏贴到触觉反馈面，得到图5所示的显示装置。

需要说明的是，所述第一电极层23和/或所述第二电极层25为图形化电极层；压电层24、图形化电极层均可按照第一种实施方式提供的方法形成，在此不再赘述；可以采用旋涂、贴附或者溅射等工艺形成结构层22。

优选的，继续图12，上述超声换能器阵列2的制备方法还包括：在形成第二电极层25后，对初始衬底进行刻蚀之前，在第二电极层25背离所述初始衬底的一侧表面形成振动匹配层26。振动匹配层26可按照第一种实施方式提供的方法形成，在此不再赘述。

作为第二种实施方式的另一具体示例，图13所示的超声换能器阵列2的制备方法包括以下步骤：

步骤S1b、提供初始衬底，初始衬底用以形成图13中的衬底21；具体的，初始衬底的材料包括但不限于单晶硅片。

步骤S2b、在初始衬底的一侧表面形成结构层22。

步骤S3b、在所述结构层22背离所述初始衬底的一侧表面形成第一电极层23。

步骤S4b、在第一电极层23背离所述初始衬底的一侧表面形成压电层24。

步骤S5b、在压电层24背离所述初始衬底的一侧表面形成第二电极层25。

步骤S6b、对初始衬底进行刻蚀，得到具有若干通孔211的衬底21；当初始衬底的材料为单晶硅时，对初始衬底进行刻蚀的方法包括但不限于深反应离子刻蚀方法。

步骤S7b、在衬底21背离结构层22的一侧表面粘贴密封层，所述通孔211、所述结构层22和所述密封层构成密闭空腔。优选的，密封层为振动匹配层26。

在制备得到上述超声换能器阵列2之后，将第二电极层25背离压电层24的一侧表面黏贴到触觉反馈面，得到图4所示的显示装置。

需要说明的是，所述第一电极层23和/或所述第二电极层25为图形化电极层；压电层24、图形化电极层均可按照第一种实施方式提供的方法形成，在此不再赘述；可以采用旋涂、贴附或者溅射等工艺形成结构层22。

文中术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施方式”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

Claims (11)

1.一种显示装置，其特征在于，包括：

触控显示屏，所述触控显示屏具有相对设置的触控显示面和触觉反馈面，所述触控显示屏适于获取触控位置；

位于所述触觉反馈面的超声换能器阵列，所述超声换能器阵列包括阵列排布的若干超声换能器，每个所述超声换能器适于单独工作；

控制模组，所述控制模组具有输入端和输出端，所述输入端与所述触控显示屏电学连接，所述输出端与所述超声换能器电学连接，所述控制模组适于控制位于所述触控位置的所述超声换能器进行振动反馈。

2.根据根据权利要求1所述的显示装置，其特征在于，所述超声换能器阵列为压电微机械超声换能器阵列或电容式微机械超声换能器阵列。

3.根据根据权利要求2所述的显示装置，其特征在于，所述压电微机械超声换能器阵列包括依次层叠设置的衬底、结构层、第一电极层、压电层和第二电极层；所述衬底具有阵列排布的若干通孔，所述结构层的部分表面暴露在所述通孔中；所述第一电极层和/或所述第二电极层为图形化电极层，所述图形化电极层包括阵列排布的若干子电极块，所述子电极块与所述通孔相对设置；所述衬底背离所述结构层的一侧表面朝向所述触觉反馈面；

优选的，所述压电微机械超声换能器还包括振动匹配层，所述振动匹配层位于所述第二电极层背离所述压电层的一侧表面。

4.根据根据权利要求3所述的显示装置，其特征在于，所述第一电极层包括阵列排布的第一子电极块，所述第二电极层包括阵列排布的第二子电极块，所述第一子电极块、所述第二子电极块均与所述通孔相对设置，所述第二子电极块的面积小于所述第一子电极块的面积；

优选的，所述第二子电极块的面积与所述第一子电极块的面积之比为0.5～0.8。

5.根据根据权利要求2所述的显示装置，其特征在于，所述压电微机械超声换能器阵列包括依次层叠设置的密封层、衬底、结构层、第一电极层、压电层和第二电极层；所述衬底具有阵列排布的若干通孔，所述通孔、所述结构层和所述密封层构成密闭空腔；所述第一电极层和/或所述第二电极层为图形化电极层，所述图形化电极层包括阵列排布的若干子电极块，所述子电极块与所述通孔相对设置；所述第二电极层背离所述压电层的一侧表面朝向所述触觉反馈面；

优选的，所述密封层为振动匹配层。

6.根据根据权利要求1所述的显示装置，其特征在于，所述触控显示屏包括基板，所述基板为柔性基板。

7.一种显示装置的制备方法，其特征在于，包括：

形成触控显示屏，所述触控显示屏具有相对设置的触控显示面和触觉反馈面，所述触控显示屏适于获取触控位置；

形成超声换能器阵列，所述超声换能器阵列位于所述触觉反馈面，所述超声换能器阵列包括阵列排布的若干超声换能器，每个所述超声换能器适于单独工作；

提供控制模组，所述控制模组具有输入端和输出端，将所述输入端与所述触控显示屏电学连接，将所述输出端与所述超声换能器电学连接，所述控制模组适于控制位于所述触控位置的所述超声换能器进行振动反馈。

8.根据权利要求7所述的显示装置的制备方法，其特征在于，包括：

形成所述触控显示屏；

在形成所述触控显示屏之后，在所述触控显示屏的触觉反馈面形成所述超声换能器阵列。

9.根据权利要求8所述的显示装置的制备方法，其特征在于，在所述触觉反馈面形成所述超声换能器阵列的步骤包括：

在所述触觉反馈面形成衬底，所述衬底具有阵列排布的若干通孔；

在所述衬底背离所述触控显示屏的一侧表面形成结构层，所述通孔构成密闭空腔；

在所述结构层背离所述触控显示屏的一侧表面形成第一电极层；

在所述第一电极层背离所述触控显示屏的一侧表面形成整面的压电层；

在所述压电层背离所述触控显示屏的一侧表面形成第二电极层；

所述第一电极层和/或所述第二电极层为图形化电极层，所述图形化电极层包括阵列排布的子电极块，所述子电极块与所述通孔相对设置；

优选的，在所述触觉反馈面形成所述衬底的步骤包括：在所述触觉反馈面形成光刻胶层，对光刻胶层进行刻蚀，得到所述衬底；

优选的，在所述衬底背离所述触控显示屏的一侧表面形成结构层的步骤包括：预制所述结构层，将所述结构层黏贴到所述衬底背离所述触控显示屏的一侧表面。

10.根据权利要求9所述的显示装置的制备方法，其特征在于，在所述触觉反馈面形成所述超声换能器阵列的步骤还包括：在形成所述第二电极层之后，在所述第二电极层背离所述触控显示屏的一侧表面形成振动匹配层。

11.根据权利要求7所述的显示装置的制备方法，其特征在于，包括：

形成所述触控显示屏；

形成所述超声换能器阵列；

在形成所述触控显示屏和所述超声换能器阵列之后，将所述超声换能器阵列黏贴在所述触觉反馈面。