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CN115609115B - 90度全自动深腔楔键合头装置 - Google Patents

90度全自动深腔楔键合头装置 Download PDF

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CN115609115B CN202211532805.1A CN202211532805A CN115609115B CN 115609115 B CN115609115 B CN 115609115B CN 202211532805 A CN202211532805 A CN 202211532805A CN 115609115 B CN115609115 B CN 115609115B
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wire clamping
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Ningbo Advance Automation Technology Co ltd
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Abstract

本发明涉及一种90度全自动深腔楔键合头装置,包括键合头座、劈刀、位于劈刀上方的主线夹机构,所述劈刀底部侧面上倾斜设有用于通过引线的过线孔。还包括至少具有与劈刀相对设置的线夹片的辅线夹机构和用于调节线夹片与劈刀相对位置的六自由度调节机构,所述六自由度调节机构包括前后平移调节机构、上下平移调节机构、扭摆角度调节机构、左右平移及俯仰角度调节机构、左右角度调节机构;线夹片间隔设置在劈刀一侧且至少部分地覆盖过线孔,使引线由线夹片约束引导进入过线孔。本结构增设可六自由度调节的辅线夹机构,在辅助主线夹机构断线的同时约束引线晃动,并且灵活安装调节,降低线夹片与劈刀的加工及装配误差,提高键合精度及兼容性。

Description

90度全自动深腔楔键合头装置
技术领域
本发明涉及引线键合机技术领域,尤其涉及一种90度全自动深腔楔键合头装置。
背景技术
在引线键合领域,楔焊不同于球焊,一焊之前,无烧球过程,所以金丝在劈刀底部的倾斜过线孔内是处于自由状态,这就导致一焊点很容易歪斜,而且起弧过程中,由于金丝晃动,又容易导致线弧不直,焊出 “U”型,这就存在邻近线弧“搭在一起”的隐患。另外,在线夹片与劈刀的距离和平行度要求都在微米级的情况下,由于加工和装配误差,导致二者之间的实际位置很难达到理论位置,所以线夹片六自由度的调节功能,在此就显得尤为重要。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于克服上述问题,而提出了一种90度全自动深腔楔键合头装置,增设可六自由度调节的辅线夹机构,在有效辅助主线夹机构断线的同时约束引线晃动,并且灵活安装调节,保证辅线夹的线夹片与劈刀之间的加工及装配误差小,便于工艺人员操作、兼容不同劈刀类型,从而满足自动机更高的键合精度及兼容性。
本发明的技术方案为:
90度全自动深腔楔键合头装置,包括键合头座、劈刀、位于劈刀上方的主线夹机构,所述劈刀底部侧面上倾斜设有用于通过引线的过线孔,还包括有至少具有与劈刀相对设置的线夹片的辅线夹机构和用于调节线夹片与劈刀相对位置的六自由度调节机构,所述六自由度调节机构包括前后平移调节机构、上下平移调节机构、扭摆角度调节机构、左右平移及俯仰角度调节机构、左右角度调节机构;所述线夹片间隔地设置在劈刀一侧且至少部分地覆盖过线孔,使引线由线夹片约束引导进入过线孔。
进一步地,本发明所述的90度全自动深腔楔键合头装置中,所述主线夹机构与辅线夹机构对应设有前后滑槽和前后滑块并通过前后滑槽和前后滑块呈前后滑移连接,所述前后平移调节机构包括前后调节座、调节螺钉一、定位螺钉一,所述前后调节座与辅线夹机构固定,所述调节螺钉一沿前后方向连接前后调节座、主线夹机构并构成差动螺纹结构,通过调节螺钉一的旋转推动前后调节座、辅线夹机构而致使线夹片前后平移;所述前后滑槽的一侧壁为可向另一相对侧壁靠拢的弹性变形壁,所述定位螺钉一贯穿弹性变形壁并与主线夹机构螺纹连接,通过定位螺钉一抵推弹性变形壁使前后滑槽两相对槽壁夹紧定位前后滑块。
进一步地,本发明所述的90度全自动深腔楔键合头装置中,所述主线夹机构与辅线夹机构在上下方向上呈固定连接,所述上下平移调节机构包括上下调节座、调节螺钉二、定位螺钉二,所述上下调节座与主线夹机构对应设有上下滑槽和上下滑块并通过上下滑槽和上下滑块呈上下滑移连接,所述调节螺钉二沿上下方向连接上下调节座、主线夹机构并构成差动螺纹结构,通过调节螺钉二的旋转推动主线夹机构、辅线夹机构而致使线夹片上下平移;所述上下滑槽的一侧壁为可向另一相对侧壁靠拢的弹性变形壁,所述定位螺钉二贯穿弹性变形壁并与上下调节座螺纹连接,通过定位螺钉二抵推弹性变形壁使上下滑槽两相对槽壁夹紧定位上下滑块。
进一步地,本发明所述的90度全自动深腔楔键合头装置中,所述上下调节座固定连接有线夹基座,所述键合头座与线夹基座之间在前后方向上呈滑移连接且两者设有相对应的定位孔二和前后向延伸的调节长孔,定位孔二与调节长孔之间还设有调节螺钉六,所述调节螺钉六贯穿调节长孔并连接在定位孔二内使键合头座与线夹基座抵紧并止动定位。
进一步地,本发明所述的90度全自动深腔楔键合头装置中,所述辅线夹机构还包括有辅线夹驱动机构和与之活动连接的调节基座,调节基座用于连接线夹片;所述调节基座与前后调节座之间设有手动开合机构,手动开合机构包括可转动设置的凸轮和拉紧连接在前后调节座与调节基座自由端之间的预紧拉簧,所述凸轮的凸轮面抵推调节基座相对辅线夹驱动机构开合,致使线夹片相对劈刀开合。
进一步地,本发明所述的90度全自动深腔楔键合头装置中,所述扭摆角度调节机构包括沿左右方向设置的调节螺钉三,所述调节螺钉三固定可转动连接辅线夹驱动机构,所述调节基座与调节螺钉三螺纹配合,通过调节螺钉三的旋转推动调节基座而致使线夹片扭摆;所述调节基座上还螺纹连接有定位螺钉三,所述定位螺钉三垂直抵触调节螺钉三并止动定位。
进一步地,本发明所述的90度全自动深腔楔键合头装置中,所述左右平移及俯仰角度调节机构包括转轴一、调节块、调节螺钉四,所述转轴一沿左右方向设置并连接线夹片,所述调节基座与调节块共同组成用于容纳转轴一的容纳壁,转轴一可在该容纳壁内左右平移或俯仰转动而致使线夹片同步动作,所述调节螺钉四连接调节基座与调节块使容纳壁与转轴一相抵触并止动配合。
进一步地,本发明所述的90度全自动深腔楔键合头装置中,所述转轴一上连接有用于安装线夹片的线夹片座;所述左右角度调节机构包括固定在线夹片上的转轴二、设置在线夹片的至少一个调节孔一、对应设置在线夹片座上的至少一个定位孔一和至少一个同时贯穿连接调节孔一和定位孔一的调节螺钉五,所述转轴二沿前后方向穿设在线夹片座内,转轴二相对线夹片座周向转动、轴向固定,通过转轴二的转动带动线夹片左右旋转,所述调节孔一相对于调节螺钉五具有调节余量,所述调节螺钉五贯穿调节孔一并连接在定位孔一内使线夹片与线夹片座抵紧并止动定位。
进一步地,本发明所述的90度全自动深腔楔键合头装置中,所述主线夹机构包括主线夹驱动机构,所述主线夹驱动机构和辅线夹驱动机构均包括有放大件和置于放大件内的压电陶瓷驱动器。
进一步地,本发明所述的90度全自动深腔楔键合头装置中,所述线夹片下端向劈刀侧弯折,缩小劈刀与线夹片整体厚度,以此满足近壁类深腔器件的焊接。
本发明的有益效果是:
1、本发明增设了具有六自由度调节功能的辅线夹机构,不仅能够有效辅助主线夹机构断线,并且可以有效约束引线晃动,保证焊点一致性和线弧稳定性;针对辅线夹机构的线夹片可实现前后平移、上下平移、左右平移、俯仰角度、扭摆角度、左右角度等六个自由度的灵活调节,以此弥补线夹片与劈刀之间的加工及装配误差,便于工艺人员操作,兼容不同劈刀类型,从而满足自动机更高的键合精度及兼容性。
2、本发明的调节方式简单,纯机械方式实现,便于操作,且不会额外增加设备的工作负载。
3、本发明的辅线夹机构具有凸轮式手动开合功能,便于实现线夹片与劈刀之间的开合操作,为工艺人员提供足够的穿线操作空间。
4、本发明的主线夹机构具有前后方向粗调功能,可灵活调节其与劈刀的前后位置关系,以自由选择使用实心、空心劈刀。
附图说明
图1为本发明的原理示意图。
图2为本发明主、辅线夹机构的立体结构示意图。
图3为图2的局部爆炸示意图一。
图4为本发明的三向平移示意图。
图5为线夹片对引线进行约束引导的局部放大示意图。
图6为图2的爆炸示意图二。
具体实施方式
现结合附图对本发明作进一步的说明:
参照图1和图5,本实施例所述的90度全自动深腔楔键合头装置,包括Z基座1、Z滑块2、旋转轴3、键合头座4、平行四边形机构5、换能器6、劈刀7以及位于劈刀7上方的主线夹机构8,平行四边形机构5连接于键合头座4上且其前端通过换能器6连接劈刀7,键合头座4固定在旋转轴3上,旋转轴3连接在Z滑块2上,旋转轴3相对Z滑块2周向转动、轴向固定,且Z滑块2与Z基座1滑移连接。所述劈刀7底部侧面上倾斜设有用于通过引线的过线孔701。根据焊线工艺要求不同,过线孔701的倾斜角度可选用30度、45度、90度或其他角度。
参照图1、图2和图5,本实施例还包括有至少具有与劈刀7相对设置的线夹片903的辅线夹机构9和用于调节线夹片903与劈刀7相对位置的六自由度调节机构,所述六自由度调节机构包括前后平移调节机构、上下平移调节机构、扭摆角度调节机构、左右平移及俯仰角度调节机构、左右角度调节机构;所述线夹片903间隔地设置在劈刀7一侧,下端向劈刀7侧弯折,且至少部分地覆盖过线孔701,使引线由线夹片903约束引导进入过线孔701。
参照图2、图4和图6,所述主线夹机构8与辅线夹机构9对应设有前后滑槽28和前后滑块29并通过前后滑槽28和前后滑块29呈前后滑移连接,所述前后平移调节机构包括前后调节座10、调节螺钉一11、定位螺钉一12,所述前后调节座10与辅线夹机构9固定,所述调节螺钉一11沿前后方向连接前后调节座10、主线夹机构8并构成差动螺纹结构,通过调节螺钉一11的旋转推动前后调节座10、辅线夹机构9而致使线夹片903前后平移;所述前后滑槽28的一侧壁为可向另一相对侧壁靠拢的弹性变形壁,所述定位螺钉一12贯穿弹性变形壁并与主线夹机构8螺纹连接,通过定位螺钉一12抵推弹性变形壁使前后滑槽28两相对槽壁夹紧定位前后滑块29。具体的,所述调节螺钉一11的差动螺纹结构包括设于调节螺钉一11上的两个螺距不同的螺纹段,所述前后调节座10、主线夹机构8分别与两螺纹段螺纹配合。
所述主线夹机构8与辅线夹机构9在上下方向上呈固定连接,所述上下平移调节机构包括上下调节座13、调节螺钉二14、定位螺钉二15,所述上下调节座13与主线夹机构8对应设有上下滑槽30和上下滑块31并通过上下滑槽30和上下滑块31呈上下滑移连接,所述调节螺钉二14沿上下方向连接上下调节座13、主线夹机构8并构成差动螺纹结构,通过调节螺钉二14的旋转推动主线夹机构8、辅线夹机构9而致使线夹片903上下平移;所述上下滑槽30的一侧壁为可向另一相对侧壁靠拢的弹性变形壁,所述定位螺钉二15贯穿弹性变形壁并与上下调节座13螺纹连接,通过定位螺钉二15抵推弹性变形壁使上下滑槽30两相对槽壁夹紧定位上下滑块31。具体的,所述调节螺钉二14的差动螺纹结构包括设于调节螺钉二14上的两个螺距不同的螺纹段,所述主线夹机构8、上下调节座13分别与两螺纹段螺纹配合。
在本实施例中,所述前后滑槽28、上下滑槽30均采用燕尾槽结构,保证其只能沿规定方向滑移而不松脱。
所述辅线夹机构9还包括有辅线夹驱动机构901和与之活动连接的调节基座902,调节基座902用于连接线夹片903;所述调节基座902与前后调节座10之间设有手动开合机构,手动开合机构包括可转动设置的凸轮16和拉紧连接在前后调节座10与调节基座902自由端之间的预紧拉簧17,所述凸轮16的凸轮面抵推调节基座902相对辅线夹驱动机构901开合,致使线夹片903相对劈刀7开合。具体的,本结构中辅线夹驱动机构901与调节基座902之间通过一个可承受较大弯曲变形的铰链弹簧片904连接,在凸轮16抵推调节基座902后,铰链弹簧片904弯曲变形,实现开合。
结合图2和图3,所述扭摆角度调节机构包括沿左右方向设置的调节螺钉三18,所述调节螺钉三18固定可转动连接辅线夹驱动机构901,所述调节基座902与调节螺钉三18螺纹配合,通过调节螺钉三18的旋转推动调节基座902而致使线夹片903扭摆;所述调节基座902上还螺纹连接有定位螺钉三19,所述定位螺钉三19垂直抵触调节螺钉三18并止动定位。
所述左右平移及俯仰角度调节机构包括转轴一20、调节块21、调节螺钉四22,所述转轴一20沿左右方向设置并连接线夹片903,所述调节基座902与调节块21共同组成用于容纳转轴一20的容纳壁,转轴一20可在该容纳壁内左右平移或俯仰转动而致使线夹片903同步动作,所述调节螺钉四22连接调节基座902与调节块21使容纳壁与转轴一20相抵触并止动配合。
所述转轴一20上连接有用于安装线夹片903的线夹片座23;所述左右角度调节机构包括固定在线夹片903上的转轴二24、设置在线夹片903的至少一个调节孔一、对应设置在线夹片座23上的至少一个定位孔一和至少一个同时贯穿连接调节孔一和定位孔一的调节螺钉五25,所述转轴二24沿前后方向穿设在线夹片座23内,转轴二24相对线夹片座23周向转动、轴向固定,通过转轴二24的转动带动线夹片903左右旋转,所述调节孔一相对于调节螺钉五25具有调节余量,所述调节螺钉五25贯穿调节孔一并连接在定位孔一内使线夹片903与线夹片座23抵紧并止动定位。
所述上下调节座13固定连接有线夹基座26,所述键合头座4与线夹基座26之间在前后方向上呈滑移连接且两者设有相对应的定位孔二和前后向延伸的调节长孔,定位孔二与调节长孔之间还设有调节螺钉六27,所述调节螺钉六27贯穿调节长孔并连接在定位孔二内使键合头座4与线夹基座26抵紧并止动定位。
所述主线夹机构8包括主线夹驱动机构,所述主线夹驱动机构和辅线夹驱动机构901均包括有放大件和置于放大件内的压电陶瓷驱动器。相比于直线电机驱动方式,响应更快,而且迟滞小,刚度高,能很大程度上满足自动机高速焊线的需求。
本发明利用旋转轴3的旋转运动可满足360度任意角度焊接,总行程超1周,无死角;最大腔深可达16mm,基本可以满足市面上绝大多数带有腔深类型半导体器件的键合工艺。采用高寿命平行四边形机构5提供力控,配合电机力补偿功能、光栅系统,保证焊接力的高可靠性。且在平行四边形机构5上连接拉簧结构,使分离力可调,在装配环节,就能保证每一套键合头初始力的一致性。采用直线电机驱动Z滑块2在Z基座1上Z向滑移,满足焊接完毕后的扯丝动作,结合光栅系统对键合机高速运行下的位置进行精准反馈。主线夹机构8功能主要是二焊之后,将引线扯断。辅线夹机构9主要是协助焊接起弧过程中,给劈刀7内的金丝一个约束,以保证打线线弧的一致性,而且能辅助断丝。
本发明具有线夹前后粗调的功能,利用线夹基座26相对于键合头座4的前后滑移调节并由调节螺钉六27锁止定位,满足主线夹机构8前后方向的位移粗调,可使楔焊自动机选择使用实心劈刀和空心劈刀这两类常用劈刀。其中,采用实心劈刀7时,引线经劈刀7与线夹片903之间的空隙引导约束,竖直向下后倾斜穿入过线孔701;采用空心劈刀7时,引线先经劈刀7内的中空孔引导竖直向下穿出后进入劈刀7与线夹片903的空隙,经其引导约束后倾斜穿入过线孔701。
辅线夹机构9附带手动开合功能,通过凸轮16上的手动转柄带动凸轮16旋转抵推调节基座902,使线夹片903可相对劈刀7向外打开,两者间隙变大,便于工艺人员在劈刀7的过线孔701中穿丝引线。
辅线夹机构9具有六自由度调节功能,包括:前后方向、上下方向、左右方向、俯仰角度、扭摆角度、左右角度调节。
前后方向的平移微调,对金丝的约束至关重要,通常的调节指标是,线夹片903与劈刀7之间的距离为1.5-2倍的丝径,当然距离调节的或远或近,是可以通过上位机的线夹参数来弥补,但这无形中就额外增加了压电陶瓷的工作负载(大参数工作)。本发明采用纯机械调节方式,先松开定位螺钉一12,再旋转调节螺钉一11,利用前后调节座10、辅线夹机构9在旋转相同周数下的螺距差,实现辅线夹机构9相对于主线夹机构8前后位移的精密调节,从而带动线夹片903相对劈刀7前后调节,调节后通过定位螺钉一12锁止。
上下方向的平移微调,可以满足线夹片903对劈刀过线孔701的覆盖度,因为不同类型劈刀7和不同金线直径的覆盖指标是不一样的,有的是覆盖全孔,有的是半孔。首先松开定位螺钉二15,旋转调节螺钉二14,利用差动螺纹原理,将线夹片903调节到合适位置,再旋紧定位螺钉二15即可。
左右方向的平移和俯仰角度调节,是通过旋松调节螺钉四22,调节基座902与调节块21的容纳壁与转轴一20之间松开,使其能自由灵活的左右平移或俯仰转动,调节至合适位置后再旋紧调节螺钉四22止动转轴一20。其中左右方向平移是满足线夹片903与劈刀7左右对称,这样在打近壁器件时,确保线夹片903不撞到器件;俯仰角度调节,主要是为了满足线夹片903压金丝时的压线角度与压线面积大小,因为根据不同丝径及材质需求,该压线指标工艺是不一样的。
扭摆角度调节,是为了克服线夹片903底端压线面存在的尺寸公差以及装配环节引进的误差,避免线夹片903与劈刀7之间带有角度时导致线弧扭摆及一焊点歪斜的问题。旋转调节螺钉三18,通过调节基座902一端在调节螺钉三18上的螺纹配合移动,使调节基座902协同线夹片903扭摆,并由定位螺钉三19旋紧,以此实现线夹片903与劈刀7之间扭摆角度的调节,确保线夹片903压线面与劈刀7后端面达到微米级的平行度指标。
左右角度调节,为了保证线夹片903与劈刀7在左右方向上重合,避免因为加工与装配导致的累计误差导致二者不重合,通过松开调节螺钉五25,适当旋转转轴二24使线夹片903相对线夹片座23旋转至与劈刀7左右重合,旋紧调节螺钉五25使线夹片903与线夹片座23锁紧止动。
本文中所描述的具体实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效,而非用于限制本发明。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下,对上述实施例进行修饰或改变。因此,但凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本发明所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变,仍应由本发明的权利要求所涵盖。

Claims (8)

1.90度全自动深腔楔键合头装置,包括键合头座、劈刀、位于劈刀上方的主线夹机构,所述劈刀底部侧面上倾斜设有用于通过引线的过线孔,其特征在于:还包括有至少具有与劈刀相对设置的线夹片的辅线夹机构和用于调节线夹片与劈刀相对位置的六自由度调节机构,所述六自由度调节机构包括前后平移调节机构、上下平移调节机构、扭摆角度调节机构、左右平移及俯仰角度调节机构、左右角度调节机构;所述线夹片间隔地设置在劈刀一侧且至少部分地覆盖过线孔,使引线由线夹片约束引导进入过线孔;
所述主线夹机构与辅线夹机构对应设有前后滑槽和前后滑块并通过前后滑槽和前后滑块呈前后滑移连接,所述前后平移调节机构包括前后调节座、调节螺钉一,所述前后调节座与辅线夹机构固定,所述调节螺钉一沿前后方向连接前后调节座、主线夹机构并构成差动螺纹结构,通过调节螺钉一的旋转推动前后调节座、辅线夹机构而致使线夹片前后平移;
所述主线夹机构与辅线夹机构在上下方向上呈固定连接,所述上下平移调节机构包括上下调节座、调节螺钉二,所述上下调节座与主线夹机构对应设有上下滑槽和上下滑块并通过上下滑槽和上下滑块呈上下滑移连接,所述调节螺钉二沿上下方向连接上下调节座、主线夹机构并构成差动螺纹结构,通过调节螺钉二的旋转推动主线夹机构、辅线夹机构而致使线夹片上下平移;
所述辅线夹机构还包括有辅线夹驱动机构和与之活动连接的调节基座,调节基座用于连接线夹片;
所述扭摆角度调节机构包括沿左右方向设置的调节螺钉三,所述调节螺钉三固定可转动连接辅线夹驱动机构,所述调节基座与调节螺钉三螺纹配合,通过调节螺钉三的旋转推动调节基座而致使线夹片扭摆;
所述左右平移及俯仰角度调节机构包括转轴一、调节块、调节螺钉四,所述转轴一沿左右方向设置并连接线夹片,所述调节基座与调节块共同组成用于容纳转轴一的容纳壁,转轴一可在该容纳壁内左右平移或俯仰转动而致使线夹片同步动作,所述调节螺钉四连接调节基座与调节块使容纳壁与转轴一相抵触并止动配合;
所述转轴一上连接有用于安装线夹片的线夹片座;所述左右角度调节机构包括固定在线夹片上的转轴二、设置在线夹片的至少一个调节孔一、对应设置在线夹片座上的至少一个定位孔一和至少一个同时贯穿连接调节孔一和定位孔一的调节螺钉五,所述转轴二沿前后方向穿设在线夹片座内,转轴二相对线夹片座周向转动、轴向固定,通过转轴二的转动带动线夹片左右旋转,所述调节孔一相对于调节螺钉五具有调节余量,所述调节螺钉五贯穿调节孔一并连接在定位孔一内使线夹片与线夹片座抵紧并止动定位。
2.根据权利要求1所述的90度全自动深腔楔键合头装置,其特征在于:所述前后平移调节机构还包括定位螺钉一,所述前后滑槽的一侧壁为可向另一相对侧壁靠拢的弹性变形壁,所述定位螺钉一贯穿弹性变形壁并与主线夹机构螺纹连接,通过定位螺钉一抵推弹性变形壁使前后滑槽两相对槽壁夹紧定位前后滑块。
3.根据权利要求1或2所述的90度全自动深腔楔键合头装置,其特征在于:所述上下平移调节机构还包括定位螺钉二,所述上下滑槽的一侧壁为可向另一相对侧壁靠拢的弹性变形壁,所述定位螺钉二贯穿弹性变形壁并与上下调节座螺纹连接,通过定位螺钉二抵推弹性变形壁使上下滑槽两相对槽壁夹紧定位上下滑块。
4.根据权利要求3所述的90度全自动深腔楔键合头装置,其特征在于:所述上下调节座固定连接有线夹基座,所述键合头座与线夹基座之间在前后方向上呈滑移连接且两者设有相对应的定位孔二和前后向延伸的调节长孔,定位孔二与调节长孔之间还设有调节螺钉六,所述调节螺钉六贯穿调节长孔并连接在定位孔二内使键合头座与线夹基座抵紧并止动定位。
5.根据权利要求2所述的90度全自动深腔楔键合头装置,其特征在于:所述调节基座与前后调节座之间设有手动开合机构,手动开合机构包括可转动设置的凸轮和拉紧连接在前后调节座与调节基座自由端之间的预紧拉簧,所述凸轮的凸轮面抵推调节基座相对辅线夹驱动机构开合,致使线夹片相对劈刀开合。
6.根据权利要求5所述的90度全自动深腔楔键合头装置,其特征在于:所述调节基座上还螺纹连接有定位螺钉三,所述定位螺钉三垂直抵触调节螺钉三并止动定位。
7.根据权利要求5所述的90度全自动深腔楔键合头装置,其特征在于:所述主线夹机构包括主线夹驱动机构,所述主线夹驱动机构和辅线夹驱动机构均包括有放大件和置于放大件内的压电陶瓷驱动器。
8.根据权利要求1所述的90度全自动深腔楔键合头装置,其特征在于:所述线夹片下端向劈刀侧弯折。
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