CN114351091A - 工件载具的传送装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了工件载具的传送装置，包括：外框，所述外框的内部围拢形成工作空间；内框，位于所述工作空间内；传送轮组件，设置在所述内框中用以传送工件载具；升降驱动组件，安装于所述外框、且作用至所述内框的底部；第一导向机构，作用于所述外框和所述内框之间引导所述内框的升降。所述传送装置能够实现对工件载具的精准移动，提高工件加工效率。

Description

工件载具的传送装置

技术领域

本发明涉及真空镀膜设备技术领域，特别是涉及一种工件载具的传送装置。

背景技术

在真空镀膜过程中，往往需对固定于载具上的工件进行移动，包括水平方向和竖直方向的移动，使工件进入指定加工位置。目前，主要通过传送装置对工件载具进行移动，但大多数传送装置的传动稳定性较差，很难精准控制工件的移动以及加工位置的及时定位。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明提供了一种能够实现工件载具精准移动的传送装置。

本发明中，所述工件载具的传送装置包括：

外框，所述外框的内部围拢形成工作空间；

内框，位于所述工作空间内；

传送轮组件，设置在所述内框中用以传送工件载具；

升降驱动组件，安装于所述外框、且作用至所述内框的底部；

第一导向机构，作用于所述外框和所述内框之间、以引导所述内框的升降。

以下还提供了若干可选方式，但并不作为对上述总体方案的额外限定，仅仅是进一步的增补或优选，在没有技术或逻辑矛盾的前提下，各可选方式可单独针对上述总体方案进行组合，还可以是多个可选方式之间进行组合。

可选的，所述外框水平方向的一侧具有供工件载具传输的进出口。

可选的，所述内框的顶部设有与工件载具顶部相配合的第二导向机构。

可选的，所述第一导向机构包括：

导靴，固定于所述外框；

导轨，固定于所述内框、且与所述导靴相配合。

可选的，所述内框包括相对布置的底盘和顶壁，以及连接在所述底盘和顶壁之间的多根立柱，所述导轨固定于各所述立柱。

可选的，所述升降驱动组件包括：

第一驱动电机，安装于所述外框且处在所述内框的下方；

传动丝杆，立置安装于所述外框且与所述驱动电机联动，所述传动丝杆向上延伸穿过所述内框的底盘；

固定于所述底盘、且与所述传动丝杆相配合的螺母件。

可选的，所述传动丝杆为并排布置的两根，两根传动丝杆的顶端之间通过加强横杆相连。

可选的，所述第一驱动电机的输出轴分别与两根平置的传动轴联动，每根传动轴与对应的传动丝杆底端联动。

可选的，所述传送轮组件包括：

第二驱动电机，安装于所述内框；

两排传送轮，转动安装于所述内框；

同步件，传动连接于所述第二驱动电机和各传送轮之间。

可选的，所述传动丝杆穿过所述底盘的位置处在所述两排传送轮之间。

相比于现有技术，本发明工件载具的传送装置一方面通过传送轮组件保证工件载具沿水平移动的稳定性，另一方面利用升降驱动组件驱使内框在外框内发生竖直方向上的升降运动；该传送装置结构简单，能够精准控制工件载具的移动路径和速度。

附图说明

图1为一实施例中工件载具的传送装置的结构示意图；

图2为图1中内框的结构示意图；

图3为图2中A部放大图；

图4为另一视角下内框的结构示意图；

图5为图4中B部放大图；

图6为内框的剖视图；

图7为传送轮组件的结构示意图；

图8为图7的正视图；

图9为图7的俯视图。

图中附图标记说明如下：

100、外框；110、进出口；

200、内框；210、底盘；220、顶壁；230、立柱

300、传送轮组件；310、第二驱动电机；320、传送轮；321、张紧轮；322、滚轮；323、滚轮轴；324、主动滚轮轴；330、同步件；

400、升降驱动组件；410、第一驱动电机；411、输出轴；420、传动丝杆；430、螺母件；440、加强横杆；450、传动轴；

500、第一导向机构；510、导靴；520、导轨；

600、第二导向机构；610、磁导；620、导向板。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

需要说明的是，当组件被称为与另一个组件“连接”时，它可以直接与另一个组件连接或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件，它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是在于限制本发明。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

参考图1～9，一实施例提供了工件载具的传送装置，包括外框100、内框200、传送轮组件300和升降驱动组件400；其中外框100的内部围拢形成工作空间，内框200位于该工作空间内；传送轮组件300设置在内框200内用以在水平方向上传送工件载具；升降驱动组件400安装于外框100、且作用至内框200的底部，第一导向机构500作用于外框100和内框200之间。外框100通常固定设置，例如通过地脚固定在地面上。当对工件载具进行传送作业时，内框200经升降驱动组件400的驱动、并在第一导向机构500的引导下，相对于外框100发生升降运动，从而实现工件载具在竖直方向上的移动。

参考图1，外框100沿水平方向的一侧具有供工件载具传输的进出口110，限制了工件载具只能从外框100的单侧进出。

参考图2、3，第一导向机构500包括导靴510和导轨520，其中导靴510固定于外框100，导轨520固定于内框200，导靴510和导轨520相配合可引导内框200在外框100上的相对滑动。

进一步的，内框200包括相对布置的底盘210和顶壁220，二者之间通过多根立柱230连接，导轨520则固定于各立柱230。例如图2中，内框200整体为矩形框，沿长度方向的两侧等间隔布置有三个立柱230，且位于两端的立柱230上均设有导轨520；相应地，外框100与各导轨520的一侧至少固定有两个导靴510。

参考图4、图6，升降驱动组件400包括第一驱动电机410、传动丝杆420以及螺母件430；第一驱动电机410安装于外框100且处在内框200的下方；传动丝杆420立置安装于外框100且与驱动电机联动，其向上延伸穿过内框200的底盘210；螺母件430固定于底盘210且与传动丝杆420相配合。

具体地，传动丝杆420为并排布置的两根，两根传动丝杆420的顶端之间通过加强横杆440相连；第一驱动电机410的输出轴411分别与两根平置的传动轴450联动，每根传动轴450与对应的传动丝杆420底端联动；第一驱动电机410可采用伺服电机。

第一驱动电机410配置有换向器，使得传动丝杆420在上升和下降之间进行转换。

为了控制工件载具水平方向的传输路径和速度，内框200的顶部设有与工件载具的顶部相配合的第二导向机构600。参见图5，内框200的顶部配置有两组第二导向机构600，每组第二导向机构600包括磁导610和导向板620，磁导610通过导向板620固定于内框200的顶部。

参考图7～9，传送轮组件300包括第二驱动电机310、两排传送轮320和同步件，其中第二驱动电机310安装于内框200，可采用伺服电机；两排传送轮320转动安装于内框200；同步件传动连接于第二驱动电机310和各传送轮320之间。

例如一实施例中，每排传送轮320设有多个轮组，每个轮组包括两个张紧轮321和一个滚轮322，滚轮322一端设有滚轮轴323，其中滚轮轴323位于两张紧轮321之间，滚轮322位于张紧轮321的内侧；沿工件载具的传送方向，两端还设置有与第二驱动电机310联动的主动滚轮轴324；同步件330为绕置在张紧轮321和滚轮轴323上的同步带。传送装置在工作时，第二驱动电机310将动力传递至主动滚轮轴324，主动滚轮轴324通过同步带将动力传递至各滚轮轴323，并带动给各自滚轮322转动，在张紧轮321的调节下，保证所有滚轮322以相同速度旋转，从而提升传送稳定性。

为了避免干涉，传送丝杆穿过底盘210的位置处在两排传送轮320之间。

本发明中工件载具的传送装置通过传送轮组件300和升降驱动组件400分别实现了工件载具在水平和竖直方向的移动；该传送装置结构简单，能够精准控制工件载具的移动路径和速度。

以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。不同实施例中的技术特征体现在同一附图中时，可视为该附图也同时披露了所涉及的各个实施例的组合例。

以上实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.工件载具的传送装置，其特征在于，包括：

外框，所述外框的内部围拢形成工作空间；

内框，位于所述工作空间内；

传送轮组件，设置在所述内框中用以传送工件载具；

升降驱动组件，安装于所述外框、且作用至所述内框的底部；

第一导向机构，作用于所述外框和所述内框之间、以引导所述内框的升降。

2.根据权利要求1所述工件载具的传送装置，其特征在于，所述外框水平方向的一侧具有供工件载具传输的进出口。

3.根据权利要求1所述工件载具的传送装置，其特征在于，所述内框的顶部设有与工件载具顶部相配合的第二导向机构。

4.根据权利要求1所述工件载具的传送装置，其特征在于，所述第一导向机构包括：

导靴，固定于所述外框；

导轨，固定于所述内框、且与所述导靴相配合。

5.根据权利要求4所述工件载具的传送装置，其特征在于，所述内框包括相对布置的底盘和顶壁，以及连接在所述底盘和顶壁之间的多根立柱，所述导轨固定于各所述立柱。

6.根据权利要求1所述工件载具的传送装置，其特征在于，所述升降驱动组件包括：

第一驱动电机，安装于所述外框且处在所述内框的下方；

传动丝杆，立置安装于所述外框且与所述驱动电机联动，所述传动丝杆向上延伸穿过所述内框的底盘；

固定于所述底盘、且与所述传动丝杆相配合的螺母件。

7.根据权利要求6所述工件载具的传送装置，其特征在于，所述传动丝杆为并排布置的两根，两根传动丝杆的顶端之间通过加强横杆相连。

8.根据权利要求7所述工件载具的传送装置，其特征在于，所述第一驱动电机的输出轴分别与两根平置的传动轴联动，每根传动轴与对应的传动丝杆底端联动。

9.根据权利要求8所述工件载具的传送装置，其特征在于，所述传送轮组件包括：

第二驱动电机，安装于所述内框；

两排传送轮，转动安装于所述内框；

同步件，传动连接于所述第二驱动电机和各传送轮之间。

10.根据权利要求9所述工件载具的传送装置，其特征在于，所述传动丝杆穿过所述底盘的位置处在所述两排传送轮之间。

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