CN113474856A

CN113474856A - 电感器

Info

Publication number: CN113474856A
Application number: CN202080016827.5A
Authority: CN
Inventors: 奥村圭佑; 古川佳宏
Original assignee: Nitto Denko Corp
Current assignee: Nitto Denko Corp
Priority date: 2019-03-12
Filing date: 2020-02-05
Publication date: 2021-10-01
Also published as: US20220165481A1; TW202101487A; KR20210137030A; TWI845611B; JP7362269B2; JP2020150065A; WO2020183993A1

Abstract

电感器(1)包括布线(35)和具有片形状并且埋设布线(35)的磁性层(4)。布线(35)具有导线(2)和配置于导线(2)的导线圆周面(7)的绝缘膜(3)。磁性层(4)包含40体积％以上的各向异性磁性颗粒(8)。在分别以沿着磁性层(4)的面方向的下述的第1平剖面(11)、第2平剖面(12)以及第3平剖面(13)中的、至少两个平剖面进行观察时，在与流动方向及厚度方向正交的第1方向上，在从绝缘膜(3)的第1方向外端缘(30)向外侧去50μm以内的附近区域(10)中，观察到各向异性磁性颗粒(8)沿流动方向取向的取向区域。第1平剖面(11)经过导线(2)的线段(L)的中点(MP)。第2平剖面(12)经过第1点(P1)，该第1点(P1)位于从中点(MP)向厚度方向一侧前进长度1/4L后所处的位置。第3平剖面(13)经过第2点(P2)，该第2点(P2)位于从中点(MP)向厚度方向另一侧前进长度1/4L后所处的位置。

Description

电感器

技术领域

本发明涉及一种电感器。

背景技术

以往，已知将电感器搭载于电子设备等，用作电压转换构件等的无源元件。

例如，提出了一种电感器，其具有由磁性体材料构成的长方体形状的基片主体部、和埋设于该基片主体部的内部的内部导体(例如参照下述专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平10-144526号公报

发明内容

发明要解决的问题

近年来，对电感器要求较高的等级的电感。但是，专利文献1的电感器存在无法满足上述要求这样的不良情况。

本发明提供电感优异的电感器。

用于解决问题的方案

本发明(1)包含一种电感器，其中，该电感器包括：布线，该布线具有导线和配置于所述导线的周面的绝缘膜；以及磁性层，在该磁性层埋设所述布线，所述磁性层含有40体积％以上的各向异性磁性颗粒，在分别以沿着与所述磁性层的厚度方向正交的面方向的第1平剖面、第2平剖面以及第3平剖面中的、至少两个所述平剖面进行观察时，在与所述流动方向及厚度方向正交的第1方向上，在从所述绝缘膜的外端缘向外侧去50μm以内的附近区域中，观察到所述各向异性磁性颗粒沿所述流动方向取向的取向区域。

所述第1平剖面经过将所述导线的所述厚度方向上的一端缘和另一端缘连接起来的线段L的中点。

所述第2平剖面经过第1点，该第1点位于从所述中点向所述厚度方向一侧前进所述线段L的1/4的长度即1/4L后所处的位置。

所述第3平剖面经过第2点，该第2点位于从所述中点向所述厚度方向另一侧前进所述长度即1/4L后所处的位置。

在该电感器中，在分别以第1平剖面、第2平剖面以及第3平剖面中的、至少两个平剖面进行观察时，在附近区域中，观察到各向异性磁性颗粒沿流动方向取向的取向区域。因此，在对电感器的电感产生较强影响的附近区域中，形成沿着流动方向的磁路。

另外，磁性层以40体积％以上这样较高的比例包含各向异性磁性颗粒。

因而，该电感器的电感优异。

本发明(2)包含(1)所记载的电感器，其中，在分别以所述第1平剖面、所述第2平剖面以及所述第3平剖面观察所述磁性层时，在所述附近区域中均观察到所述取向区域。

在该电感器1中，在所有第1平剖面、第2平剖面以及第3平剖面中，在附近区域中均观察到取向区域，因此，电感器的电感更加优异。

本发明(3)包含(1)或(2)所记载的电感器，其中，所述导线在以与沿着所述布线的方向正交的剖面进行观察时，具有大致圆形，所述各向异性磁性颗粒具有大致板状，在所述取向区域中，所述各向异性磁性颗粒的面方向沿着所述导线的周向。

在该电感器的取向区域中，各向异性磁性颗粒的面方向沿导线的周向取向。因此，形成包围导线的磁路。其结果是，电感更加优异。

发明的效果

本发明的电感器的电感优异。

附图说明

图1表示作为本发明的电感器的一实施方式的具体例的实施例1的纵剖面的SEM照片的图像处理图。

图2中的图2A～图2C是图1所示的电感器的第1平剖面的SEM照片的图像处理图，图2A表示第1平剖面的图，图2B表示图2A的放大图，图2C表示图2B的放大图。

图3中的图3A～图3C是图1所示的电感器的第2平剖面的SEM照片的图像处理图，图3A表示第2平剖面的图，图3B表示图3A的放大图，图3C表示图3B的放大图。

图4中的图4A～图4C是图1所示的电感器的第3平剖面的SEM照片的图像处理图，图4A表示第3平剖面的图，图4B表示图4A的放大图，图4C表示图4B的放大图。

图5中的图5A～图5C是对图1所示的电感器的制造进行说明的工序图，图5A表示准备第1磁性片和布线的工序，图5B表示利用第1磁性片埋设布线的工序和准备第2磁性片及第3磁性片的工序，图5C表示利用第2磁性片和第3磁性片夹着布线和第1磁性片的工序。

图6表示作为图1所示的电感器的变形例的具体例的实施例2的纵剖面的SEM照片的图像处理图。

图7表示作为本发明的电感器的变形例的具体例的实施例3的纵剖面的SEM照片的图像处理图。

图8中的图8A～图8C是图7所示的电感器的第1平剖面～第3平剖面的SEM照片的图像处理图，图8A表示第1平剖面的图，图8B表示第2平剖面的图，图8C表示第3平剖面的图。

图9中的图9A～图9B是比较例1的纵剖面～第1平剖面的SEM照片的图像处理图，图9A表示纵剖面的图，图9B表示第1平剖面的图。

图10表示比较例3的第1平剖面的SEM照片的图像处理图。

具体实施方式

基于在图1A～图4C中示出的SEM照片，说明本发明的电感器的一实施方式。

如图1所示，电感器1具有沿着与厚度方向正交的面方向(图2A～图4C中的沿着纸面的方向)延伸的形状。电感器1具有在厚度方向上相对的一面5和另一面6。一面5和另一面6彼此实际上平行，均具有大致平坦的形状。

电感器1具有布线35和磁性层4。

布线35在以与沿着布线35的方向正交的纵剖面16观察时，在电感器1中在面方向上彼此隔有间隔地设有多个。此外，在以下的说明中，对一个布线35进行说明，对于其他的布线35也是同样的。

如图2A所示，布线35具有沿着电感器1的面方向所含的一方向延伸的形状。另外，如图1所示，布线35在以纵剖面16观察时，具有大致圆形。

此外，“以纵剖面16观察时”包括制作沿着纵剖面16的切断面并对其进行了SEM观察时的情形。后述的在以纵剖面16、第1平剖面11、第2平剖面12以及第3平剖面13进行观察时，也与上述相同。

布线35具有导线2和绝缘膜3。

导线2具有沿着上述的一方向延伸的形状。另外，如图1所示，导线2在以沿着与流动方向(顺沿的方向)正交的方向的纵剖面16观察时，具有大致圆形。由此，导线2在以纵剖面16观察时，具有导线圆周面7。

作为导线2的材料，能够举出例如铜、银、金、铝、镍、它们的合金等金属导体，优选地举出铜。导线2既可以是单层构造，也可以是对芯导体(例如铜)的表面进行镀敷(例如镀镍)等而成的多层构造。

导线2的半径例如是25μm以上，优选为50μm以上，另外，例如是2000μm以下，优选为200μm以下。

绝缘膜3用于保护导线2不受化学药品、水的影响，并且防止导线2与磁性层4之间的短路。绝缘膜3在以纵剖面16观察时，配置于导线2的周面。具体而言，绝缘膜3在以纵剖面16观察时，覆盖导线2的整个导线圆周面7(外周面)。另外，绝缘膜3具有与导线2共有中心轴线(中心)的、剖视时呈大致圆环的形状。由此，绝缘膜3在以纵剖面16观察时，具有绝缘圆周面25。

作为绝缘膜3的材料，能够举出例如聚乙烯醇缩甲醛、聚酯、聚酯酰亚胺、聚酰胺(包含尼龙)、聚酰亚胺、聚酰胺酰亚胺、聚氨酯等绝缘性树脂。这些材料既可以单独使用1种，也可以组合使用两种以上。

绝缘膜3既可以由单层构成，也可以由多个层构成。

绝缘膜3的厚度在圆周方向的任意的位置处都在导线2的径向上大致均匀，例如是1μm以上，优选为3μm以上，另外，例如是100μm以下，优选为50μm以下。

导线2的半径相对于绝缘膜3的厚度之比例如是1以上，优选为10以上，例如是500以下，优选为100以下。

布线35的半径例如是25μm以上，优选为50μm以上，另外，例如是2000μm以下，优选为200μm以下。

磁性层4提高电感器1的电感。在磁性层4埋设有布线35。磁性层4在以纵剖面16观察时，配置于绝缘膜3的周面。

具体而言，磁性层4覆盖绝缘膜3的整个绝缘圆周面25(外周面)。

另外，磁性层4形成电感器1的外形。具体而言，磁性层4具有片形状，具有沿面方向延伸的矩形形状。更具体而言，磁性层4具有在厚度方向上相对的一面和另一面，磁性层4的一面形成电感器1的一面5，磁性层4的另一面形成电感器1的另一面6。

磁性层4含有各向异性磁性颗粒8。具体而言，磁性层4的材料为含有各向异性磁性颗粒8和粘结剂9的磁性组合物。优选的是，磁性层4为热固化性树脂组合物(包含各向异性磁性颗粒8和后述的热固化性成分的组合物)的固化体。

作为构成各向异性磁性颗粒8的磁性材料，能够举出例如软磁性体、硬磁性体。从电感的观点来看，优选地举出软磁性体。

作为软磁性体，能够举出例如以纯物质的状态含有1种金属元素的单一金属体、例如1种以上的金属元素(第1金属元素)与1种以上的金属元素(第2金属元素)和/或非金属元素(碳、氮、硅、磷等)的共融体(混合物)即合金体。这些材料能够单独使用或者组合使用。

作为单一金属体，能够举出例如仅由1种金属元素(第1金属元素)构成的金属单体。作为第1金属元素，能够从例如铁(Fe)、钴(Co)、镍(Ni)、以及其他能够作为软磁性体的第1金属元素而含有的金属元素之中进行适当选择。

另外，作为单一金属体，能够举出例如包括仅含有1种金属元素的芯和含有修饰该芯的表面的局部或全部的无机物和/或有机物的表面层的形态、例如含有第1金属元素的有机金属化合物、无机金属化合物分解(热分解等)后的形态等。作为后者的形态，更具体而言，能够举出含有铁作为第1金属元素的有机铁化合物(具体为羰基铁)热分解后的铁粉(有时称作羰基铁粉)等。此外，包括对仅含有1种金属元素的部分进行修饰的无机物和/或有机物的层的位置并不限定于上述那样的表面。此外，作为能够得到单一金属体的有机金属化合物、无机金属化合物，并没有特别限制，而是能够从能够得到软磁性体的单一金属体的公知或者惯用的有机金属化合物、无机金属化合物中适当选择。

合金体为1种以上的金属元素(第1金属元素)和1种以上的金属元素(第2金属元素)和/或非金属元素(碳、氮、硅、磷等)的共融体，只要能够作为软磁性体的合金体使用，则没有特别限制。

第1金属元素为合金体中的必要元素，能够举出例如铁(Fe)、钴(Co)、镍(Ni)等。此外，若第1金属元素为Fe，则合金体为Fe系合金，若第1金属元素为Co，则合金体为Co系合金，若第1金属元素为Ni，则合金体为Ni系合金。

第2金属元素是辅助性地在合金体中含有的元素(辅助成分)，且是与第1金属元素相容(共融)的金属元素，能够举出例如铁(Fe)(在第1金属元素是除Fe之外的元素的情况下)、钴(Co)(在第1金属元素是除Co之外的元素的情况下)、镍(Ni)(在第1金属元素是除Ni之外的元素的情况下)、铬(Cr)、铝(Al)、硅(Si)、铜(Cu)、银(Ag)、锰(Mn)、钙(Ca)、钡(Ba)、钛(Ti)、锆(Zr)、铪(Hf)、钒(V)、铌(Nb)、钽(Ta)、钼(Mo)、钨(W)、钌(Ru)、铑(Rh)、锌(Zn)、镓(Ga)、铟(In)、锗(Ge)、锡(Sn)、铅(Pb)、钪(Sc)、钇(Y)、锶(Sr)、各种稀土元素等。这些元素能够单独使用，或者组合两种以上使用。

非金属元素是辅助性地在合金体中含有的元素(辅助成分)，且是与第1金属元素相容(共融)的非金属元素，能够举出例如硼(B)、碳(C)、氮(N)、硅(Si)、磷(P)、硫(S)等。这些元素能够单独使用，或者组合两种以上使用。

作为合金体的一个例子的Fe系合金，能够举出例如磁性不锈钢(Fe-Cr-Al-Si合金)(包括电磁不锈钢)、铁硅铝(Fe-Si-Al合金)(包括超级铁硅铝)、坡莫合金(Fe-Ni合金)、Fe-Ni-Mo合金、Fe-Ni-Mo-Cu合金、Fe-Ni-Co合金、Fe-Cr合金、Fe-Cr-Al合金、Fe-Ni-Cr合金、Fe-Ni-Cr-Si合金、铜硅合金(Fe-Cu-Si合金)、Fe-Si合金、Fe-Si-B(-Cu-Nb)合金、Fe-B-Si-Cr合金、Fe-Si-Cr-Ni合金、Fe-Si-Cr合金、Fe-Si-Al-Ni-Cr合金、Fe-Ni-Si-Co合金、Fe-N合金、Fe-C合金、Fe-B合金、Fe-P合金、铁素体(包括不锈钢系铁素体、以及Mn-Mg系铁素体、Mn-Zn系铁素体、Ni-Zn系铁素体、Ni-Zn-Cu系铁素体、Cu-Zn系铁素体、Cu-Mg-Zn系铁素体等软磁铁素体)、珀明德铁钻系合金(Fe-Co合金)、Fe-Co-V合金、Fe基非晶合金等。

作为合金体的一个例子的Co系合金，能够举出例如Co-Ta-Zr、钴(Co)基非晶合金等。

作为合金体的一个例子的Ni系合金，能够举出例如Ni-Cr合金等。

在这些软磁性体中，从磁特性这一点来看，优选地举出合金体，更优选地举出Fe系合金，进一步优选地举出铁硅铝(Fe-Si-Al合金)。另外，作为软磁性体，优选地举出单一金属体，更优选地举出以纯物质的状态含有铁元素的单一金属体，进一步优选地举出铁单体或铁粉(羰基铁粉)。

作为各向异性磁性颗粒8的形状，从各向异性(或取向性)的观点来看，能够举出例如扁平状(板状)、针状等，从相对磁导率在面方向(二维)上良好的观点来看，优选地举出扁平状。此外，磁性层4除了含有各向异性磁性颗粒8之外，还能够含有非各向异性磁性颗粒。非各向异性磁性颗粒也可以具有例如球状、颗粒状、块状、丸粒状等形状。非各向异性磁性颗粒的平均粒径例如是0.1μm以上，优选为0.5μm以上，另外，例如是200μm以下，优选为150μm以下。

此外，扁平状的各向异性磁性颗粒8的扁平率(扁平度)例如是8以上，优选为15以上，另外，例如是500以下，优选为450以下。例如将各向异性磁性颗粒8的平均粒径(平均长度)(后述)除以各向异性磁性颗粒8的平均厚度得到的长宽比作为扁平率来计算。

各向异性磁性颗粒8的平均粒径(平均长度)例如是3.5μm以上，优选为10μm以上，另外，例如是200μm以下，优选为150μm以下。若各向异性磁性颗粒8为扁平状，则其平均厚度例如是0.1μm以上，优选为0.2μm以上，另外，例如是3.0μm以下，优选为2.5μm以下。

各向异性磁性颗粒8在磁性层4中的比例为40体积％以上，优选为45体积％以上，更优选为50体积％以上，进一步优选为55体积％以上，尤其优选为60体积％以上。若各向异性磁性颗粒8在磁性层4中的比例不满足上述下限，则电感器1无法得到优异的电感。

另外，各向异性磁性颗粒8在磁性层4中的比例例如是95体积％以下，优选为90体积％以下。若各向异性磁性颗粒8的比例为上述的上限以下，则电感器1具有优异的机械强度。

粘结剂9为在磁性层3内使各向异性磁性颗粒8分散的母体。另外，粘结剂9在磁性层3中向预定方向分散。

具体而言，作为粘结剂9，能够举出例如丙烯酸树脂等热塑性成分、例如环氧树脂组合物等热固化性成分。丙烯酸树脂包含例如含羧基的丙烯酸酯共聚物。环氧树脂组合物包含例如作为主剂的环氧树脂(甲酚酚醛清漆型环氧树脂等)、环氧树脂用固化剂(酚醛树脂等)、环氧树脂用固化促进剂(咪唑化合物等)。优选的是，粘结剂9含有热固化性成分的固化物。粘结剂9在磁性组合物中的比例为除了各向异性磁性颗粒8在磁性组合物中所占比例以外的剩余部分。

另外，在以纵剖面16观察磁性层4时，覆盖绝缘膜3的绝缘圆周面25的各向异性磁性颗粒8例如沿着导线2的周向取向。并且，若各向异性磁性颗粒8为扁平状，则在以纵剖面16观察磁性层4时，覆盖绝缘圆周面25的各向异性磁性颗粒8沿周向取向。

在分别以图2A～图2C所示的第1平剖面11、图3A～图3B所示的第2平剖面12以及图4A～图4B所示的第3平剖面13这3个平剖面进行观察时，在磁性层4中，观察到附近区域10和外侧区域20。即，在第1平剖面11、第2平剖面12以及第3平剖面13中，磁性层4具有附近区域10和外侧区域20。

第1平剖面11、第2平剖面12以及第3平剖面13如下那样被定义。

如图1所示，第1平剖面11为经过线段L的中点MP的中央平剖面，该线段L将导线2的厚度方向一端缘36和另一端缘37连接起来。第1平剖面11沿着电感器1的面方向。具体而言，第1平剖面11实际上与电感器1的厚度方向上的至少另一面6平行。

第2平剖面12为经过第1点P1的一平剖面，该第1点P1位于从中点MP向厚度方向一侧前进线段L的1/4的长度(1/4L)后所处的位置。第2平剖面12沿着电感器1的面方向。具体而言，第2平剖面12与第1平剖面11平行。

第3平剖面13为经过第2点P2的另一平剖面，该第2点P2位于从中点MP向厚度方向另一侧前进长度(1/4L)后所处的位置。第3平剖面33沿着电感器1的面方向。具体而言，第3平剖面33与第1平剖面11平行。

如图2B、图3B以及图4B所示，附近区域10和外侧区域20按该顺序在与流动方向及厚度方向正交的第1方向(相当于图2A～图4C的左右方向)上从绝缘膜3的外端缘30朝向第1方向外侧依次配置，附近区域10和外侧区域20之间无间隙地彼此连续。

附近区域10为在第1方向上从绝缘膜3的第1方向外端缘30起向外侧去50μm以内的区域，且是沿着流动方向的带状区域。另外，与接下来说明的外侧区域20相比，附近区域10为对电感器1的电感产生较强影响的部分。

外侧区域20具有第1外侧区域17、第2外侧区域18以及第3外侧区域19。第1外侧区域17、第2外侧区域18以及第3外侧区域19按该顺序朝向第1方向外侧并列配置。

第1外侧区域17与附近区域10的第1方向外侧的部分相邻。具体而言，第1外侧区域17为在第1方向上从绝缘膜3的第1方向外端缘30起向外侧去超过50μm且在75μm以内的区域，是沿着流动方向的带状区域。即，第1外侧区域17为距附近区域10的第1方向外端缘25μm以内的区域。

第2外侧区域18与第1外侧区域17的第1方向外侧的部分相邻。具体而言，第2外侧区域18为在第1方向上从绝缘膜3的第1方向外端缘30起向外侧去超过75μm且在95μm以下的区域，是沿着流动方向的带状区域。即，第2外侧区域18为距第1外侧区域17的第1方向外端缘20μm以内的区域。

第3外侧区域19与第2外侧区域18的第1方向外侧的部分相邻。具体而言，第3外侧区域19为在第1方向上从绝缘膜3的第1方向外端缘30起向外侧去超过95μm且在105μm以下的区域，是沿着流动方向的带状区域。即，第3外侧区域19为距第2外侧区域18的第1方向外端缘10μm以内的区域。

如图2A～图4C所示，在以第1平剖面11、第2平剖面12以及第3平剖面13中的任一平剖面进行观察时，至少在附近区域10都观察到各向异性磁性颗粒8以沿着电流方向的大致直线形状取向的取向区域。

在以上述平剖面进行观察时，将各向异性磁性颗粒8的直线方向和电流方向所成的角度为15度以下的情况定义为“各向异性磁性颗粒8沿流动方向取向”，另一方面，将上述的角度超过15度的情况定义为“各向异性磁性颗粒8未沿流动方向取向”。

取向区域为，沿流动方向取向的各向异性磁性颗粒8的数量相对于沿流动方向取向的各向异性磁性颗粒8的数量和未沿流动方向取向的各向异性磁性颗粒8的数量的总和的比例超过50％，优选为60％以上，更优选为70％以上，进一步优选为75％以上，尤其优选为80％以上的区域。

优选的是，在以第1平剖面11、第2平剖面12以及第3平剖面13中的任一平剖面进行观察时，都能够在附近区域10和第1外侧区域17观察到取向区域。

更优选的是，在以第1平剖面11、第2平剖面12以及第3平剖面13中的一个平剖面(第1平剖面11或第2平剖面12)、甚至以两个平剖面(例如第1平剖面11和第2平剖面12)进行观察时，在附近区域10、第1外侧区域17以及第2外侧区域18观察到取向区域。

尤其优选的是，在以第1平剖面11、第2平剖面12以及第3平剖面13中的一个平剖面(具体为第1平剖面11)进行观察时，在附近区域10、第1外侧区域17、第2外侧区域18以及第3外侧区域19观察到取向区域。

另外，优选的是，参照表2的实施例1那栏，如图2B所示，在以第1平剖面11进行观察时，在附近区域10、第1外侧区域17、第2外侧区域18以及第3外侧区域19观察到取向区域。另外，如图3B所示，在以第2平剖面12进行观察时，在附近区域10、第1外侧区域17以及第2外侧区域18观察到取向区域，但在第3外侧区域19未观察到取向区域。并且，如图4B所示，在以第3平剖面13进行观察时，在附近区域10和第1外侧区域17观察到取向区域，但在第2外侧区域18和第3外侧区域19未观察到取向区域。即，优选的是，如图2B、图3B以及图4B所示，在附近区域10和外侧区域20这两个区域都能观察到取向区域。

此外，在以上述的第1平剖面11、第2平剖面12以及第3平剖面13观察的取向区域中，观察到各向异性磁性颗粒8沿着流动方向取向，并且参照纵剖面16，各向异性磁性颗粒8沿着导线2的周向取向。如果各向异性磁性颗粒8本身的长宽比为100，并且如果以第1平剖面11观察到的长宽比、具体地说是在上述的剖视时的各向异性磁性颗粒8的纵横比(纵向长度l/横向长度w)(参照图2C、图3C以及图4C)例如为50以上，优选为75以上，则能够定义为各向异性磁性颗粒8沿着流动方向和导线2的周向取向。

若各向异性磁性颗粒8沿流动方向和周向这两个方向取向，则在磁性层4中形成包围导线2且沿着电流的磁路，由此，能够提高电感器1的电感。

另外，在以第1平剖面11、第2平剖面12以及第3平剖面13观察时，在外侧区域20中的比第3外侧区域19靠外侧的部分，也可以观察到取向区域，或者也可以观察不到取向区域。

此外，如图1所示，在以纵剖面16观察时，由取向方向不同的两种各向异性磁性颗粒8形成交叉部(顶部)50。在该一实施方式中，交叉部50位于比第3平剖面13靠厚度方向另一侧的位置。此外，交叉部50位于经过导线2的另一端缘37并且与第3平剖面13平行的第5剖面(未图示)的厚度方向一侧的位置。即，交叉部50位于第3平剖面13和第5剖面(未图示)之间。

磁性层4的厚度为导线2的半径的例如2倍以上，优选为3倍以上，另外，例如是20倍以下。具体而言，磁性层4的厚度例如是100μm以上，优选为200μm以上，另外，例如是2000μm以下，优选为1000μm以下。此外，磁性层4的厚度为磁性层4的一面5和另一面6之间的距离。

电感器1的厚度与上述的磁性层4的厚度相同。

为了得到该电感器1，例如，如图5A所示，首先，准备布线35，并且准备磁性片24，如图5B所示，接着，利用磁性片24集中埋设布线35，形成磁性层4。

磁性片24既可以是一片，另外，也能够包含多片。具体而言，磁性片24至少包含第1磁性片21(图5A)，优选为独立地包含第1磁性片21、第2磁性片22(图5B)以及第3磁性片23(图5B)。

第1磁性片21、第2磁性片22以及第3磁性片23各自的材料包含上述的各向异性磁性颗粒8和粘结剂9，具有沿面方向延伸的片形状。优选的是，第1磁性片21、第2磁性片22以及第3磁性片23分别作为B阶片来准备。各第1磁性片21、第2磁性片22以及第3磁性片23既可以为单层，另外，也可以由多层(具体为内侧片和位于相对于内侧片而言与导线2所在侧相反的一侧的外侧片等)构成。作为第1磁性片21、第2磁性片22以及第3磁性片23，能够举出例如日本特开2014-165363号、日本特开2015-92544号等所记载的软磁性热固化性贴附薄膜等。

如图5A的箭头和图5B所示，例如，首先，利用以实线表示的第1磁性片21埋设布线35(优选为对布线35进行热压)。由此，在第1磁性片21形成交叉部50。

如图5B的箭头和图5C所示，之后，根据需要，以将布线35和第1磁性片21在厚度方向上夹持的方式将第2磁性片22和第3磁性片23分别配置(优选为热压)于第1磁性片21的厚度方向一面和另一面。由此，形成具有一面5和另一面6的磁性层4。

然后，若磁性层4为B阶，则使之C阶化。

此外，在图5C中，示出了第1磁性片21和第2磁性片22的分界、以及第1磁性片21和第3磁性片23的分界，但根据图1的SEM照片可知，这些分界也可以不清楚。

而且，在该电感器1中，在分别以第1平剖面11、第2平剖面12以及第3平剖面13中的至少两个平剖面进行观察时，在对电感器1的电感产生较强的影响的附近区域10中，观察到各向异性磁性颗粒8沿流动方向取向的取向区域。因此，在附近区域10中，形成沿着流动方向的磁路。

另外，导线2在以纵剖面观察时，具有导线圆周面7，因此，在与这样的导线圆周面7相对的磁性层4中，各向异性磁性颗粒8更容易沿流动方向取向。

并且，磁性层4包含40体积％以上的各向异性磁性颗粒8。

因此，该电感器1的电感优异。

尤其在该一实施方式的电感器1中，在分别以第1平剖面11、第2平剖面12以及第3平剖面13这3个平剖面来观察磁性层4时，在附近区域10中观察到取向区域，因此，电感器1的电感进一步优异。

并且，在该电感器1的取向区域中，各向异性磁性颗粒8的面方向沿导线2的周向取向。因此，形成包围导线2的磁路。其结果是，电感进一步优异。

＜变形例＞

在变形例中，对于与一实施方式相同的构件和工序，标注相同的参照附图标记，省略其详细的说明。另外，变形例除了特殊说明的内容之外，能够起到与一实施方式相同的作用效果。并且，能够适当地组合一实施方式及其变形例。

在一实施方式中，如图2B、图3B以及图4B所示，在第1平剖面11、第2平剖面12以及第3平剖面13的任意平剖面的附近区域10中，都能观察到取向区域。

但是，观察到取向区域的剖面并不限定于上述的3个剖面中的全部剖面(3个)，也可以是两个。例如，虽然未作为第1平剖面11、第2平剖面12以及第3平剖面13画出，但参照表1的实施例2栏，在以第2平剖面12和第3平剖面13进行观察时，在附近区域10(以及第1外侧区域17和第2外侧区域18)中观察到取向区域，另一方面，在以第1平剖面11进行观察时，在附近区域10中未观察到取向区域。此外，在上述的变形例中，如图6所示，交叉部50例如位于第1平剖面11上。

另外，在上述的变形例中，在第2平剖面12和第3平剖面13中，在附近区域10中观察到取向区域，对此未图示。但是，作为3个平剖面中的两个平剖面，并不限定于上述的第2平剖面12和第3平剖面13，也可以是第1平剖面11和第2平剖面12(参照后述的图7～图8C)或者第1平剖面11和第3平剖面13。

此外，在以第1平剖面11和第2平剖面12进行观察时在附近区域10中观察到取向区域的情况下，在以第3平剖面13进行观察时，在附近区域10中未观察到取向区域。另外，在以第1平剖面11和第3平剖面13进行观察时在附近区域10中观察到取向区域的情况下，在以第2平剖面12进行观察时，在附近区域10中观察不到取向区域。

优选的是，如图1～图4C所示的一实施方式那样，在分别以第1平剖面11、第2平剖面12以及第3平剖面13进行观察时，在附近区域10中观察到取向区域。图1～图4C所示的一实施方式的电感器1与图6～图7C所示的变形例电感器1相比，电感更加优异。

另外，在一实施方式中，如图1所示，布线35和导线2在以纵剖面16观察时，呈大致圆形，但例如图7所示那样，也可以呈大致矩形。

该电感器1具有作为导线的一个例子的导体图案38、绝缘膜3以及磁性层4。此外，该电感器1为在3个平剖面中的两个平剖面即第1平剖面11和第2平剖面12中，在附近区域10中观察到取向区域的变形例。

导体图案38在以纵剖面16观察时，一体地具有在厚度方向上相对的一面39和另一面40、将一面39和另一面40的第1方向两端缘连结起来的两个连结面41。

一面39和另一面40均为平坦面，彼此平行。

而且，在图7所示的变形例中，绝缘膜3也可以覆盖导线2的整个外周面。

另外，导体图案38具有一面39和连结面41所形成的两个角部42，两个角部42分别构成弯曲部(弯曲面)。角部42的弯曲面的曲率半径例如是5μm以上，另外是30μm以下。

导体图案38的厚度为一面39和另一面40之间的距离。导体图案38的宽度为两个连结面41之间的平均距离，例如是20μm以上且1000μm以下。

绝缘膜3配置于导体图案38的一面39、另一面40以及连结面41。

磁性层4具有第1磁性层45和第2磁性层46。

第1磁性层45具有沿面方向延伸的大致板形状。第1磁性层45的材料为上述的磁性组合物。此外，在第1磁性层45中，各向异性磁性颗粒8沿流动方向和面方向取向。

第2磁性层46具有沿面方向延伸的片形状。第2磁性层46的厚度方向一面朝向厚度方向一侧暴露，第2磁性层46的另一面覆盖导体图案38的一面39和连结面41，与从导体图案38暴露的第1磁性层45的一面相接触。

在第2磁性层46中，与一面39相对的各向异性磁性颗粒8沿面方向和流动方向取向，与连结面41相对的各向异性磁性颗粒8如后述那样，沿着厚度方向和流动方向取向，另外，与角部42相对的各向异性磁性颗粒8沿着以角部42为中心的周向和流动方向取向。

而且，在该变形例中，在分别以第1平剖面11和第2平剖面12进行观察时，至少在附近区域10中观察到取向区域，对此未图示。不过，在以第3平剖面13进行观察时，允许在附近区域10中观察不到取向区域。

另外，导体图案38的角部42也可以不是弯曲部，即，也可以不具有弯曲面，对此未图示。角部42也可以是以如下角度弯折的弯折部，该角度例如为45度以上、60度以上、75度以上，而且例如为135度以下、120度以下、105度以下(更具体而言，为90度)。

另外，在一实施方式中，电感器1具有多个布线35，但也能够具有例如1个布线35。

在上述的说明中，使用距第1方向外端缘30的绝对距离来表示附近区域10的定义，但能够使用相对距离来表示，例如，若各向异性磁性颗粒8为扁平状，则能够定义为从第1方向外端缘30向第1方向外侧去相对于各向异性磁性颗粒8的平均厚度而言为0.08以内的区域。即，上述的距离与各向异性磁性颗粒8的平均厚度之比能够设为0.08。另外，与附近区域10同样地，第1外侧区域17能够定义为从第1方向外端缘30起向第1方向外侧去超过0.08且在0.13以内的区域，第2外侧区域18能够定义为距第1方向外端缘30超过0.13且在0.175以内的区域，第3外侧区域19能够定义为从第1方向外端缘30起向第1方向外侧去超过0.175且在0.225以内的区域。

另外，磁性层4中的各向异性磁性颗粒8的比例可以在磁性层4中均匀，另外，也可以随着远离各布线2而变高或变低。

为了制造磁性层4中的各向异性磁性颗粒8的比例随着远离布线35而变高的电感器1，例如，如图5B所示，将第2磁性片22中的各向异性磁性颗粒8的存在比例和第3磁性片23中的各向异性磁性颗粒8的存在比例设定为高于第1磁性片21中的各向异性磁性颗粒8的存在比例。

[实施例]

以下示出实施例和比较例，进一步具体地说明本发明。此外，本发明并不限定于任何实施例和比较例。另外，在以下的记载中使用的调配比例(含有比例)、物理性质值、参数等具体的数值能够替代为，在上述的“具体实施方式”中记载的与它们相对应的调配比例(含有比例)、物理性质值、参数等相应记载的上限(定义为“以下”、“小于”的数值)或下限(定义为“以上”、“超过”的数值)。

实施例1

在图1～图4C中画出的例子

＜基于一实施方式的电感器＞

基于一实施方式，制造出电感器1。具体而言，准备了具有半径为100μm的由铜构成的导线2和厚度为10μm的绝缘膜3的布线35。另外，准备第1磁性片21来作为B阶片。在表1中示出第1磁性片21的层结构和处理方法。

如图5A所示，接着，将第1磁性片21贴附(热压)于布线35。

如图5B所示，接着，准备第2磁性片22和第3磁性片23作为B阶片。在表1中示出第2磁性片22和第3磁性片23的层结构和处理方法。

如以图5B的箭头所示那样，利用第2磁性片22和第3磁性片23夹持布线35和第1磁性片21，将它们贴附(热压)在一起。

然后，使第1磁性片21、第2磁性片22以及第3磁性片23中的热固化性成分C阶化。

由此，利用由C阶的第1磁性片21、第2磁性片22以及第3磁性片23构成的磁性层4埋设布线35，如图1所示，制造出具有布线35和磁性层4的电感器1。

然后，对于得到的电感器1，实施纵剖面16、第1平剖面11、第2平剖面12以及第3平剖面13各自的SEM观察，尝试了取向区域的观察。在图1～图4C中示出它们的图像处理图，在表2中记载取向区域的观察结果。

实施例2

在图6中画出的例子

＜基于一实施方式的变形例的电感器的制造例＞

不使用第1磁性片21，仅使用第2磁性片22和第3磁性片23夹持布线35，除此之外，与实施例1同样地得到了图6所示的电感器1，实施了第1平剖面11、第2平剖面12以及第3平剖面13各自的SEM观察。

在表2中记载取向区域的观察结果。

实施例3

在图7～图8C中画出的例子

＜基于一实施方式的变形例的电感器的制造例＞

纵剖面16的剖面积(正剖面积)与实施例1相同，除了使用大致矩形的导线2之外，与实施例1同样地得到了电感器1，实施了第1平剖面11、第2平剖面12以及第3平剖面13各自的SEM观察。此外，第1磁性层45利用B阶片隔着绝缘膜3覆盖了导线2。

在表2中记载取向区域的观察结果。

比较例1

在图9A～图9B中画出的例子

与将相对于布线35粘贴时的第2磁性片22和第3磁性片23变更为C阶的固化体的实施例2同样地得到电感器1，实施了第1平剖面11、第2平剖面12以及第3平剖面13各自的SEM观察。

在表3中记载取向区域的观察结果。

比较例2

与使粘贴时的第2磁性片22和第3磁性片23变更为C阶的固化体的实施例3同样地得到了电感器1，实施了第1平剖面11、第2平剖面12以及第3平剖面13各自的SEM观察。

在表3中记载取向区域的观察结果。

比较例3

在图10中画出的例子

使用球状磁性颗粒(平均粒径为20μm，Fe-Si-Al合金)来替代各向异性磁性颗粒8，除此之外，与实施例11同样地得到电感器1，实施了第1平剖面11、第2平剖面12以及第3平剖面13各自的SEM观察。

在表3中记载取向区域的观察结果。

＜电感＞

使导线2的流动方向两端部的一端缘36从绝缘膜3和磁性层4暴露，使导线2的流动方向两端部与阻抗分析仪(Agilent公司制：4294A)相连接，求出电感器1的电感。

在表2和表3中示出这些结果。

[表1]

[表2]

[表3]

此外，上述发明是作为本发明的例示的实施方式而提供的，但这仅仅是例示，并非进行限定性的解释。该技术领域的技术人员所能够明确的本发明的变形例包含在前述的权利要求书中。

产业上的可利用性

电感器搭载于例如电子设备等。

附图标记说明

1、电感器；2、导线；3、绝缘膜；4、磁性层；8、各向异性磁性颗粒；10、附近区域；16、纵剖面；11、第1平剖面；12、第2平剖面；13、第3平剖面；15、取向区域；16、纵剖面；25、绝缘圆周面；35、布线；38、导体图案；L、线段；MP、中点；P1、第1点；P2、第2点。

Claims

1.一种电感器，其特征在于，

该电感器包括：

布线，该布线具有导线和配置于所述导线的周面的绝缘膜；以及

磁性层，在该磁性层埋设所述布线，

所述磁性层含有40体积％以上的各向异性磁性颗粒，

在分别以沿着与所述磁性层的厚度方向正交的面方向的第1平剖面、第2平剖面以及第3平剖面中的、至少两个所述平剖面进行观察时，在与所述流动方向及厚度方向正交的第1方向上，在从所述绝缘膜的外端缘向外侧去50μm以内的附近区域中，观察到所述各向异性磁性颗粒沿所述流动方向取向的取向区域，

所述第1平剖面经过将所述导线的所述厚度方向上的一端缘和另一端缘连接起来的线段L的中点，

所述第2平剖面经过第1点，该第1点位于从所述中点向所述厚度方向一侧前进所述线段L的1/4的长度即1/4L后所处的位置，

2.根据权利要求1所述的电感器，其特征在于，

在分别以所述第1平剖面、所述第2平剖面以及所述第3平剖面进行观察时，在所述附近区域中均观察到所述取向区域。

3.根据权利要求1或2所述的电感器，其特征在于，

所述导线在以与沿着所述布线的方向正交的剖面进行观察时，具有大致圆形，

所述各向异性磁性颗粒具有大致板状，

在所述取向区域中，所述各向异性磁性颗粒的面方向沿着所述导线的周向。