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CN113073302B - Zmo靶材及其制备方法 - Google Patents

Zmo靶材及其制备方法 Download PDF

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CN113073302B CN202110381326.3A CN202110381326A CN113073302B CN 113073302 B CN113073302 B CN 113073302B CN 202110381326 A CN202110381326 A CN 202110381326A CN 113073302 B CN113073302 B CN 113073302B
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Abstract

本发明涉及一种ZMO靶材及其制备方法。ZMO靶材的制备方法包括如下步骤：将ZnO粉末、MgO粉末、Al2O3粉末、分散剂、粘接剂和水混合均匀，研磨后得到浆料；将浆料进行喷雾造粒，得到ZMO粉体；将ZMO粉体进行烧结，得到ZMO烧结粉体；在保护气体氛围下，将ZMO烧结粉体热喷涂于背靶上，得到ZMO靶坯；以及将ZMO靶坯进行抛光和加工处理，得到ZMO靶材。上述ZMO靶材的制备方法工艺简单，有利于提高生产效率。经试验证明，本发明的上述ZMO靶材的制备方法制备得到ZMO靶材的相对密度≥90％，ZMO靶材的电阻率≤5×10‑3Ω·cm，因此，通过上述ZMO靶材的制备方法能够得到致密度和导电性良好的高性能ZMO靶材。此外，本发明还涉及一种ZMO靶材的制备方法。

Description

ZMO靶材及其制备方法
技术领域
本发明涉及靶材技术领域，特别是涉及一种ZMO靶材及其制备方法。
背景技术
溅射镀膜就是在真空中利用荷能粒子轰击靶表面，使被轰击出的粒子沉积在基片上的技术。磁控溅射镀膜因具有低温和快速两大优点而被广泛应用，溅射镀膜对使用的靶材要求是晶粒细小且无组织缺陷。
氧化锌镁合金(ZnMgO，简写为ZMO)靶材是一种常用的溅射靶材。传统的制备ZMO靶材的方法例如：采用掺杂ⅢA族元素，通过冷等静压及高温烧结的制造方法，此方法设备昂贵、成本较高，难以实现大批量工厂化生产；也有采用常压固相烧结制备ZMO的方法，此方法烧结温度较高，对烧结炉设备要求很高，生产效率也不高。
发明内容
基于此，有必要提供一种制备工艺简单且效率较高的ZMO靶材及其制备方法。
一种ZMO靶材的制备方法，包括如下步骤：
将ZnO粉末、MgO粉末、Al2O3粉末、分散剂、粘接剂和水混合均匀，研磨后得到浆料；
将所述浆料进行喷雾造粒，得到ZMO粉体；
将所述ZMO粉体进行烧结，得到ZMO烧结粉体；
在保护气体氛围下，将所述ZMO烧结粉体热喷涂于背靶上，得到ZMO靶坯；以及
将所述ZMO靶坯进行抛光和加工处理，得到ZMO靶材。
上述ZMO靶材的制备方法工艺简单，有利于提高生产效率。经试验证明，本发明的上述ZMO靶材的制备方法制备得到ZMO靶材的相对密度≥90％，ZMO靶材的电阻率≤5×10-3Ω·cm，因此，通过上述ZMO靶材的制备方法能够得到致密度和导电性良好的高性能ZMO靶材。
在其中一个实施例中，所述ZnO粉末、所述MgO粉末、所述Al2O3粉末、所述分散剂、所述粘接剂与所述水的质量比为(80～85)：(15～20)：(0.1～1)：(0.5～5)：(0.5～5)：(90～99)。
在其中一个实施例中，所述研磨的操作为：进行两次球磨，第一次球磨的转速为200r/min～300r/min，第一次球磨的时间为9h～10h；第二次球磨的转速为150r/min～200r/min，第一次球磨的时间为1h～2h。
在其中一个实施例中，所述喷雾造粒的温度为200℃～300℃。
在其中一个实施例中，所述烧结的温度为1000℃～1300℃，保温时间为6h～8h。
在其中一个实施例中，所述保护气体为惰性气体或者氮气。
在其中一个实施例中，将所述ZMO烧结粉体热喷涂于背靶上的操作中，采用喷枪将所述ZMO烧结粉体热喷涂于背靶上，所述背靶的旋转速度为40r/min～100r/min，所述喷枪与所述背靶外表面的距离为100mm～150mm，所述喷枪的移动速度为400mm/min～600mm/min。
在其中一个实施例中，所述分散剂选自聚丙烯酰胺、聚羧酸铵盐、聚乙烯羧酸类和硬脂酸盐类中的至少一种。
在其中一个实施例中，所述粘接剂选自聚乙烯醇、丙烯酸乳液、羧甲基纤维素和聚丙烯酸酯中的至少一种。
本发明还提供一实施方式的ZMO靶材，由上述任一的ZMO靶材的制备方法制备得到。
经试验证明，本发明的上述ZMO靶材的制备方法制备得到ZMO靶材的相对密度≥90％，ZMO靶材的电阻率≤5×10-3Ω·cm，因此，通过上述ZMO靶材的制备方法能够得到致密度和导电性良好的高性能ZMO靶材。
附图说明
图1为本发明一实施方式的ZMO靶材的制备方法的流程图；
图2为测试实施例1～3和对比例1～5的ZMO靶材的电阻率的示意图。
具体实施方式
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似改进，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
请参见图1，一实施方式的ZMO靶材的制备方法，包括如下步骤：
S1、将ZnO粉末、MgO粉末、Al2O3粉末、分散剂、粘接剂和水混合均匀，研磨后得到浆料。
可以采用3N5纳米ZnO粉末、3N5纳米MgO粉末和3N5纳米Al2O3粉末作为原料。其中，Al2O3粉末能够提高ZMO靶材的导电性。
需要说明的是，ZnO粉末、MgO粉末、Al2O3粉末、分散剂、粘接剂和水的添加顺序不限。还可以按照计量的质量份数将ZnO粉末、MgO粉末、Al2O3粉末、分散剂、粘接剂和水一起混合，或者先将某几种原料混合，之后再添加剩余的原料。
在其中一个实施例中，ZnO粉末、MgO粉末、Al2O3粉末、分散剂、粘接剂与水的质量比为(80～85)：(15～20)：(0.1～1)：(0.5～5)：(0.5～5)：(90～99)。
在其中一个实施例中，研磨的操作为：进行两次球磨，第一次球磨的转速为200r/min～300r/min，第一次球磨的时间为9h～10h；第二次球磨的转速为150r/min～200r/min，第二次球磨的时间为1h～2h。通过上述条件下的两次球磨能够将各原料充分混合均匀。
在其中一个实施例中，分散剂选自聚丙烯酰胺、聚羧酸铵盐、聚乙烯羧酸类和硬脂酸盐类中的至少一种。这些种类的分散剂能够促使物料颗粒均匀分散于介质中，防止颗粒的沉降和凝聚。
在其中一个实施例中，粘接剂选自聚乙烯醇、丙烯酸乳液、羧甲基纤维素和聚丙烯酸酯中的至少一种。这些种类的粘接剂能够对ZnO粉末、MgO粉末和Al2O3粉末起到很好的粘接作用。
S2、将步骤S1得到的浆料进行喷雾造粒，得到ZMO粉体。
在其中一个实施例中，喷雾造粒的温度为200℃～300℃。喷雾造粒的温度例如可以为200℃、210℃、220℃、230℃、240℃、250℃、260℃、270℃、280℃、290℃或者300℃。上述喷雾造粒的温度能够将浆料充分干燥，并提高喷雾造粒的效率。
S3、将步骤S2得到的ZMO粉体进行烧结，得到ZMO烧结粉体。
在其中一个实施例中，烧结的温度为1000℃～1300℃，保温时间为6h～8h。烧结的温度例如可以为1000℃、1050℃、1100℃、1150℃、1200℃、1250℃、或者1300℃，保温时间例如可以为6h、7h或者8h。
步骤S3中，将ZMO粉体进行烧结之后能够增加ZMO粉体的致密度，从而得到具有一定致密度的ZMO烧结粉体。
S4、在保护气体氛围下，将步骤S3得到的ZMO烧结粉体热喷涂于背靶上，得到ZMO靶坯。
其中，热喷涂，是指将ZMO烧结粉体加热熔化，用高速气流将其雾化成极细的颗粒，并以很高的速度喷射到背靶表面，形成涂层。
其中，背靶指的是用于绑定靶材的载体，例如不锈钢或者合金材质的平板或者圆管。热喷涂之前，还可以包括将背靶加工后进行喷砂处理，并喷涂打底层的步骤。
在其中一个实施例中，保护气体为惰性气体或者氮气。在上述保护气体氛围下进行热喷涂能够防止喷涂粉体在熔融态与空气中的氧气接触，避免粉体再次被完全氧化而影响导电性。
在其中一个实施例中，将ZMO烧结粉体热喷涂于背靶上的操作中，采用喷枪将ZMO烧结粉体热喷涂于背靶上，背靶的旋转速度为40r/min～100r/min，喷枪与背靶外表面的距离为100mm～150mm，喷枪的移动速度为400mm/min～600mm/min。其中，喷枪的移动速度指的是喷枪朝产品(背靶)长度方向水平移动的速度。
将浆料喷雾造粒之后得到ZMO粉体，将ZMO粉体进行烧结之后再热喷涂于背靶上，能够增加ZMO靶材的致密度。
S5、将步骤S4得到的ZMO靶坯进行抛光和加工处理，得到ZMO靶材。
其中，将ZMO靶坯进行抛光后有利于应用端使用。其中，加工处理例如可以为倒角等。本发明制备得到的ZMO靶材可以为平面靶材或者旋转靶材。
上述ZMO靶材的制备方法工艺简单，有利于提高生产效率。经试验证明，本发明的上述ZMO靶材的制备方法制备得到ZMO靶材的相对密度≥90％，ZMO靶材的电阻率≤5×10-3Ω·cm，因此，通过上述ZMO靶材的制备方法能够得到致密度和导电性良好的高性能ZMO靶材。
其中，相对密度是指物质的密度与参考物质的密度在各自规定的条件下之比。靶材的相对密度是实际值除以理论值得到的数值。本发明的ZMO靶材的相对密度≥90％，上述相对密度较高，表明上述ZMO靶材的致密度较高。
其中，电阻率是用来表示各种物质电阻特性的物理量。某种物质所制成的原件(常温下20℃)的电阻与横截面积的乘积与长度的比值叫做这种物质的电阻率。本发明的ZMO靶材的电阻率≤5×10-3Ω·cm，表明ZMO靶材的导电性良好。
一实施方式的ZMO靶材，由上述任一的ZMO靶材的制备方法制备得到。
经试验证明，本发明的上述ZMO靶材的制备方法制备得到ZMO靶材的相对密度≥90％，ZMO靶材的电阻率≤5×10-3Ω·cm，因此，通过上述ZMO靶材的制备方法能够得到致密度和导电性良好的高性能ZMO靶材。
参照上述实施内容，为了使得本申请的技术方案更加具体清楚、易于理解，现对本申请技术方案进行举例，但是需要说明的是，本申请所要保护的内容不限于以下实施例1～实施例3。
实施例1
S1、将4000g ZnO粉末、950g MgO纳米粉体、50g Al2O3纳米粉体、50g聚丙烯酰胺、50g丙烯酸乳液与4900g水混合均匀，通过两次球磨工序后得到浆料；其中第一次球磨的转速为200r/min，第一次球磨的时间为9h；第二次球磨的转速为150r/min，第二次球磨的时间为2h。
S2、将步骤S1得到的浆料进行喷雾造粒，喷雾造粒的温度为250℃，得到ZMO粉体。
S3、将步骤S2得到的ZMO粉体用烧结炉进行烧结，烧结的温度为1000℃，保温8h，得到ZMO烧结粉体。
S4、将不锈钢背管加工后进行喷砂处理，并喷涂打底层；将步骤S3得到的ZMO烧结粉体与不锈钢背管通过热喷涂设备进行结合，喷涂时使用氩气进行气氛保护，得到ZMO靶坯。其中，不锈钢背管的旋转速度为60r/min，喷枪与不锈钢背管外表面的距离为100mm，喷枪的移动速度为400mm/min。
S5、将步骤S4得到的ZMO靶坯进行抛光和加工处理，得到实施例1的ZMO靶材。
实施例2
S1、将4100g ZnO粉末、875g MgO纳米粉体、25g Al2O3纳米粉体、25g聚丙烯酰胺、250g聚乙烯醇与4725g水混合均匀，通过两次球磨工序后得到浆料；其中第一次球磨的转速为300r/min，第一次球磨的时间为10h；第二次球磨的转速为180r/min，第二次球磨的时间为1h。
S2、将步骤S1得到的浆料进行喷雾造粒，喷雾造粒的温度为220℃，得到ZMO粉体。
S3、将步骤S2得到的ZMO粉体用烧结炉进行烧结，烧结的温度为1100℃，保温6h，得到ZMO烧结粉体。
S4、将不锈钢背管加工后进行喷砂处理，并喷涂打底层；将步骤S3得到的ZMO烧结粉体与不锈钢背管通过热喷涂设备进行结合，喷涂时使用氩气进行气氛保护，得到ZMO靶坯。其中，不锈钢背管的旋转速度为100r/min，喷枪与不锈钢背管外表面的距离为120mm，喷枪的移动速度为500mm/min。
S5、将步骤S4得到的ZMO靶坯进行抛光和加工处理，得到实施例2的ZMO靶材。
实施例3
S1、将4250g ZnO粉末、735g MgO纳米粉体、15g Al2O3纳米粉体、100gSOPROPHORSC(聚羧酸铵盐类物质)、150g丙烯酸乳液与4750g水混合均匀，通过两次球磨工序后得到浆料；其中第一次球磨的转速为260r/min，第一次球磨的时间为9.5h；第二次球磨的转速为170r/min，第二次球磨的时间为1.5h。
S2、将步骤S1得到的浆料进行喷雾造粒，喷雾造粒的温度为290℃，得到ZMO粉体。
S3、将步骤S2得到的ZMO粉体用烧结炉进行烧结，烧结的温度为1200℃，保温7h，得到ZMO烧结粉体。
S4、将不锈钢背管加工后进行喷砂处理，并喷涂打底层；将步骤S3得到的ZMO烧结粉体与不锈钢背管通过热喷涂设备进行结合，喷涂时使用氩气进行气氛保护，得到ZMO靶坯。其中，不锈钢背管的旋转速度为80r/min，喷枪与不锈钢背管外表面的距离为130mm，喷枪的移动速度为480mm/min。
S5、将步骤S4得到的ZMO靶坯进行抛光和加工处理，得到实施例3的ZMO靶材。
对比例1
S1、将4000g ZnO粉末、1000g MgO纳米粉体、50g聚丙烯酰胺、50g丙烯酸乳液与4900g水混合均匀，通过两次球磨工序后得到浆料；其中第一次球磨的转速为200r/min，第一次球磨的时间为9h；第二次球磨的转速为150r/min，第二次球磨的时间为2h。
S2、将步骤S1得到的浆料进行喷雾造粒，喷雾造粒的温度为250℃，得到ZMO粉体。
S3、将步骤S2得到的ZMO粉体用烧结炉进行烧结，烧结的温度为1000℃，保温8h，得到ZMO烧结粉体。
S4、将不锈钢背管加工后进行喷砂处理，并喷涂打底层；将步骤S3得到的ZMO烧结粉体与不锈钢背管通过热喷涂设备进行结合，喷涂时使用氩气进行气氛保护，得到ZMO靶坯。其中，不锈钢背管的旋转速度为60r/min，喷枪与不锈钢背管外表面的距离为100mm，喷枪的移动速度为400mm/min。
S5、将步骤S4得到的ZMO靶坯进行抛光和加工处理，得到对比例1的ZMO靶材。
对比例2
S1、将4000g ZnO粉末、950g MgO纳米粉体、50g Al2O3纳米粉体、50g聚丙烯酰胺、50g丙烯酸乳液与4900g水混合均匀，，通过两次球磨工序后得到浆料；其中第一次球磨的转速为200r/min，第一次球磨的时间为9h；第二次球磨的转速为150r/min，第二次球磨的时间为2h。
S2、将步骤S1得到的浆料进行喷雾造粒，喷雾造粒的温度为250℃，得到ZMO粉体。
S3、将步骤S2得到的ZMO粉体装入模具中，使用冷等静压成型，冷等静压的压力为250MPa，保压时间为10min，得到ZMO靶坯前体。
S4、将步骤S3得到的ZMO靶坯前体用烧结炉进行烧结，烧结的温度为1400℃，保温8h，得到ZMO靶坯。
S5、将步骤S4得到的ZMO靶坯进行抛光和加工处理，得到对比例2的ZMO靶材。
对比例3
S1、将4100g ZnO粉末、875g MgO纳米粉体、25g Al2O3纳米粉体、25g聚丙烯酰胺、250g聚乙烯醇与4725g水混合均匀，通过两次球磨工序后得到浆料；其中第一次球磨的转速为300r/min，第一次球磨的时间为10h；第二次球磨的转速为180r/min，第二次球磨的时间为1h。
S2、将步骤S1得到的浆料进行喷雾造粒，喷雾造粒的温度为220℃，得到ZMO粉体。
S3、将步骤S2得到的ZMO粉体装入模具中，使用冷等静压成型，冷等静压的压力为250MPa，保压时间为10min，得到ZMO靶坯前体。
S4、将步骤S3得到的ZMO靶坯前体用烧结炉进行烧结，烧结的温度为1400℃，保温8h，得到ZMO靶坯。
S5、将步骤S4得到的ZMO靶坯进行抛光和加工处理，得到对比例3的ZMO靶材。
对比例4
S1、将4250g ZnO粉末、735g MgO纳米粉体、15g Al2O3纳米粉体、100gSOPROPHORSC(聚羧酸铵盐类物质)、150g丙烯酸乳液与4750g水混合均匀，通过两次球磨工序后得到浆料；其中第一次球磨的转速为260r/min，第一次球磨的时间为9.5h；第二次球磨的转速为170r/min，第二次球磨的时间为1.5h。
S2、将步骤S1得到的浆料进行喷雾造粒，喷雾造粒的温度为290℃，得到ZMO粉体。
S3、将步骤S2得到的ZMO粉体装入模具中，使用冷等静压成型，冷等静压的压力为250MPa，保压时间为10min，得到ZMO靶坯前体。
S4、将步骤S3得到的ZMO靶坯前体用烧结炉进行烧结，烧结的温度为1400℃，保温8h，得到ZMO靶坯。
S5、将步骤S4得到的ZMO靶坯进行抛光和加工处理，得到对比例4的ZMO靶材。
对比例5
S1、将4000g ZnO粉末、950g MgO纳米粉体、50g Al2O3纳米粉体、50g聚丙烯酰胺、50g丙烯酸乳液与4900g水混合均匀，通过两次球磨工序后得到浆料；其中第一次球磨的转速为200r/min，第一次球磨的时间为9h；第二次球磨的转速为150r/min，第二次球磨的时间为2h。
S2、将步骤S1得到的浆料进行喷雾造粒，喷雾造粒的温度为250℃，得到ZMO粉体。
S3、将步骤S2得到的ZMO粉体用烧结炉进行烧结，烧结的温度为1000℃，保温8h，得到ZMO烧结粉体。
S4、将不锈钢背管加工后进行喷砂处理，并喷涂打底层；在空气氛围下，将步骤S3得到的ZMO烧结粉体与不锈钢背管通过热喷涂设备进行结合，得到ZMO靶坯。其中，不锈钢背管的旋转速度为60r/min，喷枪与不锈钢背管外表面的距离为100mm，喷枪的移动速度为400mm/min。
S5、将步骤S4得到的ZMO靶坯进行抛光和加工处理，得到对比例5的ZMO靶材。
性能测试：
(1)测试实施例1～3和对比例1～5的ZMO靶材的相对密度，得到结果如表1。测试过程为：采用阿基米德排水法测试ZMO靶材的实际密度，实际密度与理论密度的百分比则为相对密度值。
(2)测试实施例1～3和对比例1～5的ZMO靶材的电阻率，得到结果如表1。按照图2所示的方法测试材料的电阻率，测试过程为：将电流源连到待测样品100的两端，电压表的引线则按已知的距离L放置，根据样品的横截面积和电压表引线之间的距离计算出电阻率；计算公式如下：
ρ＝UA/IL
其中，ρ＝以厘米-欧姆为单位的电阻率；U＝电压表测量的电压；I＝电流源电流；A＝以平方厘米为单位的样品的横截面积(w×t)。
表1实施例1～3和对比例1～5的ZMO靶材的性能测试数据
实施例/对比例 相对密度 电阻率/Ω.cm
实施例1 92.6％ 2.7*10<sup>-3</sup>
实施例2 91.7％ 3.5*10<sup>-3</sup>
实施例3 91.7％ 3.8*10<sup>-3</sup>
对比例1 91％ 不导电
对比例2 90.8％ 7.2*10<sup>-3</sup>
对比例3 90.6％ 6.5*10<sup>-3</sup>
对比例4 90.2％ 6*10<sup>-3</sup>
对比例5 91.5％ 6.8*10<sup>-3</sup>
从表1可以得到以下结论：
(1)实施例1的ZMO靶材中含有Al2O3，实施例1的ZMO靶材的电阻率较低；对比例1的ZMO靶材中不含有Al2O3，对比例1的ZMO靶材不导电。这表明在原料中添加有Al2O3能够提高ZMO靶材的导电性。推测对比例1的ZMO靶材不导电的原因是，由于氧化锌和氧化镁都是满价化合物，同时氧化锌镁不存在低价态化合物，故无法形成价位缺陷，所以无法导电。
(2)实验例1～3的ZMO靶材分别与对比例2～4的ZMO靶材区别在于：实施例1～3的ZMO靶材的制备方法中，采用热喷涂的工艺将ZMO烧结粉体喷涂于不锈钢背管上，而对比例2～4的ZMO靶材的制备方法中则是采用冷等静压的方式对ZMO粉体进行成型。从表1可以看出，实施例1的ZMO靶材的相对密度大于对比例2的ZMO靶材的相对密度，实施例1的ZMO靶材的电阻率小于对比例2的ZMO靶材的电阻率；实施例2的ZMO靶材的相对密度大于对比例3的ZMO靶材的相对密度，实施例2的ZMO靶材的电阻率小于对比例3的ZMO靶材的电阻率；实施例3的ZMO靶材的相对密度大于对比例4的ZMO靶材的相对密度，实施例3的ZMO靶材的电阻率小于对比例4的ZMO靶材的电阻率。上述结果表明，与冷等静压成型制备ZMO靶材的工艺相比，本发明的ZMO靶材的制备方法采用烧结和热喷涂工艺结合的方式，能够制备得到致密度和导电性良好的高性能ZMO靶材。
(3)实施例1的ZMO靶材喷涂时使用氩气进行气氛保护，对比例5是在空气气氛下热喷涂。从表1可以看出，实施例1的ZMO靶材的相对密度略大于对比例5的ZMO靶材的相对密度，二者差距较小，实施例1的ZMO靶材的电阻率小于对比例5的ZMO靶材的电阻率。上述结果表明，本发明实施例1的ZMO靶材的制备方法过程中有氩气进行保护，有利于得到致密度和导电性良好的高性能ZMO靶材，其中氩气气氛保护主要对导电性做贡献，而对提高致密度的贡献不大，推测是由于氩气气氛能够防止喷涂粉体在熔融态与空气中的氧接触，避免粉体再次被完全氧化。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种ZMO靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
将ZnO粉末、MgO粉末、Al2O3粉末、分散剂、粘接剂和水混合均匀，研磨后得到浆料；
将所述浆料进行喷雾造粒，得到ZMO粉体；
将所述ZMO粉体进行烧结，得到ZMO烧结粉体；
在保护气体氛围下，将所述ZMO烧结粉体热喷涂于背靶上，得到ZMO靶坯；以及
将所述ZMO靶坯进行抛光和加工处理，得到ZMO靶材；
其中，所述ZnO粉末、所述MgO粉末、所述Al2O3粉末、所述分散剂、所述粘接剂与所述水的质量比为(80～85)：(15～20)：(0.1～1)：(0.5～5)：(0.5～5)：(90～99)；
所述烧结的温度为1000℃～1300℃，保温时间为6h～8h。
2.根据权利要求1所述的ZMO靶材的制备方法，其特征在于，所述研磨的操作为：进行两次球磨，第一次球磨的转速为200r/min～300r/min，第一次球磨的时间为9h～10h；第二次球磨的转速为150r/min～200r/min，第一次球磨的时间为1h～2h。
3.根据权利要求1所述的ZMO靶材的制备方法，其特征在于，所述喷雾造粒的温度为200℃～300℃。
4.根据权利要求1所述的ZMO靶材的制备方法，其特征在于，所述保护气体为惰性气体或者氮气。
5.根据权利要求1所述的ZMO靶材的制备方法，其特征在于，将所述ZMO烧结粉体热喷涂于背靶上的操作中，采用喷枪将所述ZMO烧结粉体热喷涂于背靶上，所述背靶的旋转速度为40r/min～100r/min，所述喷枪与所述背靶外表面的距离为100mm～150mm，所述喷枪的移动速度为400mm/min～600mm/min。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的ZMO靶材的制备方法，其特征在于，所述分散剂选自聚丙烯酰胺、聚羧酸铵盐、聚乙烯羧酸类和硬脂酸盐类中的至少一种。
7.根据权利要求1～5中任一项所述的ZMO靶材的制备方法，其特征在于，所述粘接剂选自聚乙烯醇、丙烯酸乳液、羧甲基纤维素和聚丙烯酸酯中的至少一种。
8.一种ZMO靶材，其特征在于，ZMO靶材由权利要求1～7中任一项所述的ZMO靶材的制备方法制备得到。
9.根据权利要求8所述的ZMO靶材，其特征在于，所述ZMO靶材的相对密度≥90％。
10.根据权利要求8所述的ZMO靶材，其特征在于，所述ZMO靶材的电阻率≤5×10-3Ω·cm。
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