CN112805905B - 驱动器 - Google Patents

Abstract

驱动器具备：第1马达，其具有第1定子和第1转子；第2马达，其以相对于第1马达在中心轴的轴线方向上隔开间隔的方式配置，并且具有第2定子和第2转子；轴构件，其沿着轴线方向贯穿第1转子和第2转子，在该轴构件的从第1转子朝向与第2转子所在侧相反的一侧突出的第1部分设有花键槽部，在该轴构件的从第2转子朝向与第1转子所在侧相反的一侧突出的第2部分设有外螺纹部；花键外筒，其与轴构件的花键槽部卡合，该花键外筒沿着花键槽部在轴线方向上引导轴构件，并且该花键外筒能够连同第1转子一起旋转而使轴构件沿绕中心轴的轴线的方向旋转；以及螺母构件，其设有与轴构件的外螺纹部相啮合的内螺纹部，该螺母构件能够连同第2转子一起旋转而使轴构件沿中心轴的轴线方向移动。

Description

驱动器

技术领域

本发明涉及一种驱动器。

背景技术

公知有一种进行旋转运动和直线运动的驱动器(参照专利文献1)。专利文献1所记载的驱动器具有滚珠丝杠和滚珠花键，使用滚珠丝杠的丝杠和滚珠花键的轴相连结的轴构件。在该结构中，滚珠丝杠的螺母进行旋转而使轴构件进行直线运动，滚珠花键的花键外筒进行旋转而使轴构件进行旋转运动。

另外，专利文献1的驱动器具备两轴一体型马达。两轴一体型马达具有第1转子和配置于第1转子的径向外侧的第2转子。在第1转子固定有螺母，通过螺母的旋转而使轴构件进行直线运动。通过第2转子而使轴构件进行旋转运动。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2013－230076号公报

发明内容

发明要解决的问题

专利文献1的驱动器具有在第1转子的径向外侧配置有第2转子的两轴一体型马达，因此存在难以减小占用空间的可能性。

本发明是鉴于上述情况而做出的，其目的在于，提供一种减小占用空间而谋求省空间化的驱动器。

用于解决问题的方案

本发明的驱动器具备：第1马达，其具有第1定子和第1转子，该第1转子能够相对于所述第1定子沿绕以中心轴为中心的轴线的方向旋转；第2马达，其以相对于所述第1马达在所述中心轴的轴线方向上隔开间隔的方式配置，并且具有第2定子和第2转子，该第2转子能够相对于所述第2定子旋转且与所述第1转子的所述中心轴同轴地配置；轴构件，其沿着所述轴线方向贯穿所述第1转子和所述第2转子，在该轴构件的第1部分的至少一部分设有沿着所述轴线方向延伸的花键槽部，在该轴构件的第2部分的至少一部分设有外螺纹部，该第1部分从所述第1转子朝向与所述第2转子所在侧相反的一侧地向所述轴线方向的一侧突出，该第2部分从所述第2转子朝向与所述第1转子所在侧相反的一侧地向所述轴线方向的另一侧突出；花键外筒，其与所述轴构件的所述花键槽部卡合，该花键外筒沿着该花键槽部在所述轴线方向上引导所述轴构件，并且该花键外筒能够连同所述第1转子一起旋转而使所述轴构件沿绕所述中心轴的轴线的方向旋转；以及螺母构件，在该螺母构件设有与所述轴构件的所述外螺纹部相啮合的内螺纹部，该螺母构件能够连同所述第2转子一起旋转而使所述轴构件沿所述中心轴的轴线方向移动。

在驱动器中，沿着中心轴的轴线方向配置花键外筒、第1马达、第2马达和螺母构件。因而，与具有在第1转子的径向外侧配置有第2转子的两轴一体型马达的驱动器相比，径向的大小减少而使占用空间变小，能够谋求省空间化。

另外，由于第1马达和第2马达分离，因此能够单独地设定各个马达的扭矩。并且，在轴构件的一端侧设有花键外筒，在轴构件的另一端侧设有螺母构件。因而，与花键外筒和螺母构件都设于轴构件的一端侧的情况相比，由花键外筒和螺母构件的旋转导致的轴构件的抖动、倾斜度变小。

作为期望的技术方案，所述轴构件的所述花键槽部的直径大于所述外螺纹部的直径。

在第1马达的驱动力的作用下，花键外筒沿绕中心轴的轴线的方向旋转，轴构件连同花键外筒一起旋转。在此，由于轴构件的花键槽部的直径大于外螺纹部的直径，因此，花键槽部的刚性高于外螺纹部的刚性。因而，在使轴构件旋转并在周向上的规定位置处停止的情况下，能够使轴构件在更接近该规定位置的位置处停止。另外，在直至轴构件到达周向上的规定位置为止地进行轴构件的旋转操作的情况下，能够缩短直至使其位于最终的规定位置为止的时间。

作为期望的技术方案，所述轴构件被分割成包含所述第1部分的轴和包含所述第2部分的丝杠，并且所述轴和丝杠借助连结构件相连结。

由此，在轴或丝杠产生了磨损等的情况下，仅更换轴或丝杠中的产生了磨损等的构件即可，因此能够谋求零部件成本的降低。

作为期望的技术方案，所述第1马达和第2马达是直接驱动马达。

直接驱动马达不经由减速机构而将产生的驱动力直接地传递至对象物。即，通过利用第1马达的驱动力直接使花键外筒旋转，能够使轴构件旋转。另外，通过利用第2马达的驱动力直接使螺母构件旋转，能够使轴构件直线运动。

作为期望的技术方案，在所述轴构件的第1部分的端部固定有臂安装构件，该臂安装构件支承供工件安装的臂部。

在轴构件的第1部分设有与所述花键槽部相卡合的花键外筒，因此，在轴构件旋转之际，抖动、倾斜度变小。因而，在臂安装构件和臂部旋转之际的抖动、倾斜度也变小，因此能够使工件稳定地旋转和升降。

作为期望的技术方案，该驱动器具备夹持机构，该夹持机构包含：筒夹，所述轴构件的第2部分贯穿该筒夹；以及缸体，其具有被所述轴构件的第2部分贯穿的活塞、容纳所述活塞的缸体管和对所述活塞施力的弹性构件，所述活塞具有卡盘部，该卡盘部在所述弹性构件的作用下与所述筒夹的外周面相接触，从而将所述筒夹按压于所述轴构件，当向所述缸体管的内部供给气体或液体时，所述筒夹离开所述轴构件。

采用该结构，弹性构件能够以使卡盘部接触于筒夹的外周面的方式进行施力。并且，卡盘部能够将筒夹按压于轴构件而夹持轴构件。另外，由于卡盘部是与筒夹的外周面相接触的结构，因此，在径向上与该外周面重叠。通过这样的结构，能够减小夹持机构的轴线方向上的尺寸。另外，通过向缸体管的内部供给气体或液体，能够松开轴构件。另外，在电源被切断的情况中，也能够利用夹持机构来保持轴构件。

作为期望的技术方案，所述外周面是随着接近所述卡盘部而直径变小的锥面，所述卡盘部是与所述外周面相对的倾斜面。

采用该结构，倾斜面能够在未向缸体管的内部供给气体或液体的情况下与锥面面接触。由此，同筒夹的外周面与卡盘部线接触或点接触的情况相比，能够增大在筒夹与卡盘部之间产生的摩擦力。因而，在筒夹夹持轴构件的情况下，能够抑制在筒夹的外周面和卡盘部之间发生滑动。

作为期望的技术方案，所述花键外筒的径向外侧借助滚动轴承由花键外筒用外壳支承。

在支承工件的轴构件受到来自工件的旋转力矩的情况下，轴构件有可能在相对于中心轴倾斜的方向上受力。在此，花键外筒的径向外侧借助轴承被花键外筒用外壳支承。因而，能够抑制花键外筒向与中心轴的轴线方向正交的径向的位移或振动。

作为期望的技术方案，在筒状部与所述第1部分之间形成有圆筒状的间隙，该筒状部设于在所述第1部分的顶端固定的臂安装构件且覆盖所述第1部分的外周。

由于通过该圆筒状的间隙而在所述第1部分与所述圆筒状的间隙的外部之间形成迷宫式构造，因此能够提高臂安装构件的内侧的防尘性和防水性。

发明的效果

根据本发明，能够提供一种减小占用空间而能够省空间化的驱动器。

附图说明

图1是第1实施方式的驱动器的剖视图。

图2是第1实施方式的驱动器的剖视图，示出轴构件的行程位于上限的状态。

图3是第2实施方式的驱动器的剖视图。

图4是第2实施方式的驱动器的剖视图，示出轴构件的行程位于上限的状态。

图5是第3实施方式的驱动器的剖视图。

图6是将图5的主要部分放大的剖视图。

图7是将图5的另外的主要部分放大的剖视图。

图8是第3实施方式的驱动器的剖视图，示出轴构件的行程位于上限的状态。

图9是第4实施方式的驱动器的剖视图。

图10是第4实施方式的驱动器的剖视图，示出轴构件的行程位于上限的状态。

具体实施方式

参照附图详细说明用于实施本发明的方式(实施方式)。本发明并不被以下的实施方式所记载的内容限定。此外，以下所记载的构成要件包含本领域技术人员能够容易设想的要件、实质上相同的要件。并且，以下所记载的构成要件能够适当地组合。

[第1实施方式]

图1是第1实施方式的驱动器的剖视图。图1的剖面是利用包含后述的第1转子和第2转子的中心轴AX在内的平面进行剖切而得到的剖面。图2是第1实施方式的驱动器的剖视图，示出轴构件的行程位于上限的状态。

如图1所示，驱动器1例如被用作拾取释放装置。驱动器1具备臂部80、第1马达M1、第2马达M2、轴构件SF、花键外筒61和螺母构件51。

以下，将与Z方向平行的方向中的从第1马达M1朝向臂部80去的方向作为上方进行说明，将与Z方向平行的方向中的从臂部80朝向第1马达M1去的方向作为下方进行说明。另外，臂部80的中心轴AX的轴线方向与Z方向相同。

臂部80例如是仅具有单个臂的悬臂的臂。驱动器1例如是以使臂部80的中心轴AX朝向Z方向的状态固定于固定台ST。臂部80固定在臂安装构件70之上。臂安装构件70借助螺栓固定于后述的轴63的上端。驱动器1使臂部80沿Z方向(直线运动方向、中心轴AX的轴线方向)上下移动，并使臂部80在与Z方向正交的平面内沿绕中心轴AX的轴线的方向旋转。在臂部80搭载有未图示的工件，因此能将工件移送至期望的位置。

第1马达M1具有第1定子10、第1转子20、第1马达外壳40和第1旋转检测部101。

在第1定子10的径向内侧配置有第1定子保持体11。第1定子10固定于第1定子保持体11。第1转子20配置于第1定子10的外周侧。第1转子20以中心轴AX为中心进行旋转。第1转子20具有第1转子托架21和第1转子芯22，该第1转子芯22固定于第1转子托架21的径向内侧且具有永磁体。第1转子托架21形成为以中心轴AX为中心的筒状。另外，第1转子托架21具有支承第1轴承31的外圈的外圈按压件21a。

第1定子10和第1转子20以中心轴AX为中心同轴地配置。第1转子20配置于第1定子10和第1定子保持体11的径向外侧，并相对于第1定子10相对旋转。换言之，第1转子20借助第1轴承31能够旋转地支承于第1定子10和第1定子保持体11。第1定子保持体11借助螺栓固定于第1马达外壳40。第1定子10绕中心轴AX设成筒状。

第1马达外壳40例如形成为圆筒状，并容纳第1马达M1。第1马达外壳40的上端开口，在该开口部设有第1盖构件111。第1盖构件111借助螺栓固定于第1转子托架21的外圈按压件21a。在第1盖构件111的径向中央部设有通孔，通孔被花键外筒61覆盖。在第1盖构件111的下表面设有向上方凹陷的凹部112。

在花键外筒61的下端部设有沿径向扩展的凸缘62。在凸缘62被插入于凹部112的状态下，凸缘62借助螺栓固定于第1盖构件111。另外，在第1马达外壳40的上端设有向径向外侧扩展的安装用凸缘40a。安装用凸缘40a载置于固定台ST的上表面，并能够借助螺栓固定于固定台ST。在第1盖构件111的外周端与第1马达外壳40的内周端之间形成有微小的间隙，第1盖构件111能够相对于第1马达外壳40旋转。

第1旋转检测部101例如是旋转变压器。第1旋转检测部101检测第1马达M1的旋转状态。第1旋转检测部101配置于第1轴承31的上侧。

第2马达M2以相对于第1马达M1在中心轴AX的轴线方向上排列的方式配置。第2马达M2具有第2定子10A、第2转子20A、第2马达外壳40A和第2旋转检测部101A。第1马达M1和第2马达M2是圆筒状的直接驱动马达。

第2转子20A配置于第2定子10A的外周侧。第2转子20A以中心轴AX为中心进行旋转。即，第2转子20A的中心轴与第1转子20的中心轴AX同轴。第2转子20A具有第2转子托架21A和第2转子芯22A，该第2转子芯22A固定于第2转子托架21A的径向内侧且具有永磁体。第2转子托架21A形成为以中心轴AX为中心的筒状。第2定子10A和第2转子20A以中心轴AX为中心同轴地配置。

第2转子20A配置于第2定子10A和第2定子保持体11A的径向外侧，并相对于第2定子10A和第2定子保持体11A相对旋转。换言之，第2转子20A借助第2轴承32能够旋转地支承于第2定子10A和第2定子保持体11A。第2定子10A固定于在第2定子10A的径向内侧配置的第2定子保持体11A。第2定子保持体11A借助螺栓固定于第2马达外壳40A。第2定子10A绕中心轴AX设成筒状。

在此，说明轴构件SF。轴构件SF具有上方的轴63和下方的丝杠53。轴63从臂安装构件70沿着中心轴AX的轴线方向延伸到连结部100。连结部100设于与第2旋转检测部101A并列的位置。轴63具有大径部631和小径部632。大径部631从臂安装构件70延伸到第1马达外壳40的下底部40b。

在大径部631的外周，以在周向上隔开间隔的方式设有多个沿中心轴AX的轴线方向延伸的花键槽部633。在花键外筒61的内周侧设有花键部，该花键部具有能够与花键槽部633卡合的多个凸部，该情况未图示。如此，轴构件SF具有第1部分S1，该第1部分S1从第1转子20朝向与第2转子20A所在侧相反的那一侧地向作为轴线方向的一侧的上方突出，在第1部分S1设有沿着轴线方向延伸的花键槽部633。花键槽部633和花键部经由多个滚珠卡合，由此，轴构件SF在轴线方向上被沿着花键部引导，并且轴构件SF连同第1转子20一起旋转，由此轴构件SF能够绕中心轴的轴线的方向旋转。此外，小径部632从大径部631的下端延伸到连结部100。如此，在第1部分S1，能够应用滚动引导的滚珠花键。

丝杠53从连结部100延伸到止挡件55。丝杠53具有上方的大径部531和下方的小径部532。在丝杠53的大径部531的顶端部(图1的上端部)，设有向上方突出的细径部531a。在细径部531a的外周设有外螺纹。在轴63的小径部632的下端部设有凹部632a。在凹部632a的内周设有与细径部531a的外螺纹相啮合的内螺纹。凹部632a的内周的内螺纹与细径部531a的外螺纹啮合。由此，轴63的小径部632和丝杠53的大径部531被连结成一体。即，轴63和丝杠53通过螺纹连结相连结。此外，在大径部531的外周形成有外螺纹部533。即，轴构件SF具有第2部分S2，该第2部分S2从第2转子20A朝向与第1转子20所在侧相反的一侧地向作为轴线方向的另一侧的下方突出，在第2部分S2设有外螺纹部533。另外，轴构件SF中的花键槽部633的直径D1大于外螺纹部533的直径D2。此外，花键槽部633的直径D1是大径和小径中的大径。外螺纹部533的直径D2是外径和内径(螺纹底径)中的外径。

第2马达外壳40A例如形成为圆筒状，并容纳第2马达M2。第2马达外壳40A的上端开口，在该开口部贯穿地设有轴构件SF。在开口部的外周，设有沿绕中心轴AX的轴线的方向呈环状延伸的上底部40Aa。上底部40Aa与第1马达外壳40的下底部40b抵接，且上底部40Aa借助螺栓固定于下底部40b。第2马达外壳40A的下底部40Ab也开口，该开口部被螺母用外壳42和止挡件用罩44覆盖。

螺母用外壳42具有上端凸缘42a、形成为从上端凸缘42a的内周端向下方延伸的筒状的筒状部42b和从筒状部42b的下端向内周侧延伸的底部42c。上端凸缘42a借助螺栓固定于第2马达外壳40A的下底部40Ab。止挡件用罩44借助螺栓固定于螺母用外壳42的底部42c。在底部42c设有通孔，丝杠53的小径部532贯穿该通孔地设置。

止挡件55通过螺母56安装于小径部532的下端。止挡件55是圆环形状的构件。止挡件55被丝杠53插入。在止挡件55的Z方向上侧配置有圆环形状的缓冲构件55a。缓冲构件55a例如是弹性体的聚氨酯橡胶。轴构件SF上升，止挡件55隔着缓冲构件55a碰触到螺母用外壳42的底部42c，从而能够限制轴构件SF的上升。在螺母用外壳42的内侧，容纳有螺母构件51和第2连结托架45。

在螺母构件51的内周侧设有内螺纹部。内螺纹部借助多个滚珠与轴构件SF的第2部分S2的外螺纹部533啮合。在螺母构件51的径向外侧配置有第2连结托架45。在螺母构件51的下端形成有向径向外侧扩展的凸缘部51a。凸缘部51a借助螺栓固定于第2连结托架45。在第2连结托架45的上端设有向径向外侧扩展的凸缘45a，凸缘45a借助螺栓固定于第1连结托架46。如此，在第2部分S2，能够应用滚动引导的滚珠丝杠。

第1连结托架46借助螺栓固定于第2转子托架21A。如此，螺母构件51、第2连结托架45、第1连结托架46和第2转子托架21A能够成为一体地旋转。详细而言，螺母构件51、第2连结托架45、第1连结托架46和第2转子托架21A借助第2轴承32能够旋转地支承于第2定子10A和第2定子保持体11A。

第2旋转检测部101A例如是旋转变压器。第2旋转检测部101A检测第2马达M2的旋转状态。第2旋转检测部101A配置于在轴向上与连结部100并列的位置。

接下来，说明驱动器1的动作。

首先，说明轴构件SF升降的(直线运动的)形态。在该形态中，仅第2马达M2工作，第1马达M1不工作。

如图1所示，当第2马达M2工作时，第2转子20A沿绕中心轴AX的轴线的方向旋转。详细而言，第2转子20A借助第2轴承32相对于第2定子10A和第2定子保持体11A绕中心轴AX旋转。此外，第1转子20不旋转。

螺母构件51与第2转子20A成为一体。因此，螺母构件51也与第2转子20A一体地沿绕中心轴AX的轴线的方向旋转。螺母构件51的内螺纹部与轴构件SF的第2部分S2的外螺纹部533啮合，因此，通过螺母构件51的旋转而使轴构件SF沿着轴线方向直线运动。详细而言，如图2所示，轴构件SF沿着轴线方向上升。此外，在该状态下，另外，轴构件SF上升，止挡件55隔着缓冲构件55a碰触到螺母用外壳42的底部42c而限制轴构件SF的上升。

接着，说明轴构件SF回转的(旋转的)形态。在该形态中，根据轴构件SF的Z方向的移动的方式而包含第1形态、第2形态和第3形态。

在第1形态中，第1马达M1工作，第2马达M2不工作。如所述那样，花键槽部633和花键部相啮合。由此，轴构件SF在轴线方向上被沿着花键外筒61的花键部引导。另外，轴构件SF借助花键外筒61连同第1转子20一起旋转，从而轴构件SF能够沿绕中心轴AX的轴线的方向旋转。并且，由于第2马达M2不工作，因此螺母构件51也不旋转。因此，当通过花键外筒61而使轴构件SF旋转时，会通过螺母构件51而使轴构件SF沿着轴线方向直线运动。由此，在第1形态中，轴构件SF与花键外筒61一体地旋转，并且相对于静止的螺母构件51相对地旋转从而沿Z方向直线运动。

在第2形态中，轴构件SF与花键外筒61一体地旋转，并且以轴构件SF的Z方向上的位置不发生变化的方式使螺母构件51旋转。因而，在第2形态中，使第1马达M1和第2马达M2两者都工作。即，对于由第1马达M1引起的旋转，与第1形态同样地，轴构件SF借助花键外筒61连同第1转子20一起旋转，由此轴构件SF能够沿绕中心轴AX的轴线的方向旋转。在第1形态中不使第2马达M2工作，但在第2形态中，使螺母构件51向与轴构件SF直线运动的方向相反的方向旋转。由此，在第2形态中，在轴构件SF的Z方向上的位置不变化的状态下，轴构件SF与花键外筒61一体地旋转。

在第3形态中，轴构件SF与花键外筒61一体地旋转，并且通过适当调整螺母构件51的转速而使轴构件SF进行直线运动的速度(Z方向上的移动速度)可变化。因而，在第3形态中，使第1马达M1和第2马达M2两者都工作。即，对于由第1马达M1引起的旋转，与第1形态和第2形态同样地，轴构件SF借助花键外筒61连同第1转子20一起旋转，由此轴构件SF能够沿绕中心轴AX的轴线的方向旋转。第2马达M2根据轴构件SF的期望的直线运动的速度来设定马达的转速。由此，在第3形态中，适当地调整轴构件SF的Z方向上的移动速度，并且轴构件SF与花键外筒61一体地旋转。

如以上说明那样，本实施方式的驱动器1具备：第1马达M1，其具有第1定子10和第1转子20，该第1转子20能够相对于第1定子10沿绕以中心轴AX为中心的轴线的方向旋转；第2马达M2，其以相对于第1马达M1在中心轴AX的轴线方向上隔开间隔的方式配置，并且具有第2定子10A和第2转子20A，该第2转子20A能够相对于第2定子10A旋转且与第1转子20的中心轴AX同轴地配置；轴构件SF，其沿着轴线方向贯穿第1转子20和第2转子20A，在该轴构件SF的第1部分S1的至少一部分设有沿着轴线方向延伸的花键槽部633，且在该轴构件SF的第2部分S2的至少一部分设有外螺纹部533，该第1部分S1从第1转子20朝向与第2转子20A所在侧相反的一侧地向轴线方向的一侧突出，该第2部分从第2转子20A朝向与第1转子20所在侧相反的一侧地向轴线方向的另一侧突出；花键外筒61，其与轴构件SF的花键槽部633卡合，该花键外筒61沿着花键槽部633在轴线方向上引导轴构件SF，并且该花键外筒61能够连同第1转子20一起旋转而使轴构件SF沿绕中心轴AX的轴线的方向旋转；以及螺母构件51，在该螺母构件51设有与轴构件SF的外螺纹部533相啮合的内螺纹部，该螺母构件51能够连同第2转子20A一起旋转而使轴构件SF沿中心轴AX的轴线方向移动。

在驱动器1中，沿着中心轴AX的轴线方向配置有花键外筒61、第1马达M1、第2马达M2、螺母构件51。因而，与具有在第1转子20的径向外侧配置有第2转子20A的两轴一体型马达的驱动器相比，径向的大小减少而使占用空间变小。

另外，轴构件SF的花键槽部633的直径大于外螺纹部533的直径。

在第1马达M1的驱动力的作用下，花键外筒61沿绕中心轴AX的轴线的方向旋转，轴构件SF连同花键外筒61一起旋转。在此，由于轴构件SF的花键槽部633的直径大于外螺纹部533的直径，因此，花键槽部633的刚性高于外螺纹部533的刚性。因而，在使轴构件SF旋转并在周向上的规定位置处停止的情况下，能够使轴构件SF在更接近该规定位置的位置处停止。另外，在直至轴构件SF到达周向上的规定位置为止地进行轴构件SF的旋转操作的情况下，能够缩短直至使其位于最终的规定位置为止的时间。

花键外筒61配置于第1马达M1的输出轴的附近，螺母构件51配置于第2马达M2的输出轴的附近。因而，第1马达M1的输出轴的抖动和倾斜度不易影响到花键外筒61，能够将花键外筒61精度良好地组装。第2马达M2的输出轴的抖动和倾斜度不易影响到螺母构件51，能够将螺母构件51精度良好地组装。

由于第1马达M1和第2马达M2分离，因此能够单独地设定各个马达的扭矩。

在轴构件SF的一端侧设有花键外筒61，在轴构件SF的另一端侧设有螺母构件51。因而，与花键外筒61和螺母构件51都设于轴构件SF的一端侧的情况相比，由花键外筒61和螺母构件51的旋转导致的轴构件SF的抖动、倾斜度变小。

在第1马达M1和第2马达M2各自之中，由于马达外壳与转子分离且马达外壳与定子分离，因此，能够进行马达的组装时精度的调整(定心)，由此能够精度良好地组装马达。

轴构件SF被分割成包含第1部分S1的轴63和包含第2部分S2的丝杠53，并且轴63和丝杠53通过螺纹连结相连结。

在轴63或丝杠53产生了磨损等的情况下，仅更换产生了磨损等的构件即可，因此能够谋求零部件成本的降低。

第1马达M1和第2马达M2是直接驱动马达。

直接驱动马达不经由减速机构而将产生的驱动力直接地传递至对象物。即，通过利用第1马达M1的驱动力直接使花键外筒61旋转，能够使轴构件SF旋转。另外，通过利用第2马达M2的驱动力直接使螺母构件51旋转，能够使轴构件SF直线运动。

在轴构件SF的第1部分S1的端部固定有臂安装构件70，臂安装构件70支承供工件安装的臂部80。

在轴构件SF的第1部分S1设有与花键槽部633相卡合的花键外筒61，因此，在轴构件SF旋转之际，抖动、倾斜度变小。因而，在臂安装构件70和臂部80旋转之际的抖动、倾斜度也变小，因此能够使工件稳定地旋转和升降。

[第2实施方式]

接着，说明第2实施方式的驱动器1A。对于与第1实施方式相同的结构部位，标注同一附图标记并省略说明。以下，以与第1实施方式不同之处为中心进行说明。

图3是第2实施方式的驱动器的剖视图，示出轴构件的行程位于下限的状态。图4是第2实施方式的驱动器的剖视图，示出轴构件的行程位于上限的状态。

第2实施方式在轴构件SF的构造上与第1实施方式不同。即，在第1实施方式中，轴构件SF被分割成上方的轴63和下方的丝杠53。丝杠53的大径部531和轴63的小径部632通过螺纹连结而连结成一体。

但是，第2实施方式的轴构件SF是上方的轴63和下方的丝杠53连成一体而形成的。例如，通过削去1根圆柱状的金属构件的外周部分而形成具有轴63的形状和丝杠53的形状的轴构件SF。另外，轴构件SF的花键槽部633的直径D1大于外螺纹部533的直径D2。在此，花键槽部633的直径D1是大径和小径中的大径。外螺纹部533的直径D2是外径和内径(螺纹底径)中的外径。

此外，轴构件SF的升降和回转与第1实施方式相同。另外，当在图3所示的轴构件SF的下限位置第2马达M2工作时，螺母构件51也连同第2转子20A一起地旋转，如图4所示，轴构件SF沿着轴线方向上升。

如以上说明那样，在本实施方式的驱动器1A中，轴构件SF是上方的轴63和下方的丝杠53连成一体而形成的。因而，与将轴63和丝杠53分割后连结在一起的情况相比，轴构件SF的刚性变高。

[第3实施方式]

接着，说明第3实施方式的驱动器1B。对于与第1实施方式和第2实施方式相同的结构部位，标注同一附图标记并省略说明。以下，以与第1实施方式不同之处为中心进行说明。

图5是第3实施方式的驱动器的剖视图。图6是将图5的主要部分放大的剖视图。图7是将图5的另外的主要部分放大的剖视图。图8是第3实施方式的驱动器的剖视图，示出轴构件的行程位于上限的状态。

在本实施方式中，主要是比第1马达M1靠上侧的部位(在图6中详细示出)和比螺母构件51靠下侧的部位(在图7中详细示出)与第1实施方式和第2实施方式不同。

臂安装构件70A与轴63的顶端(上端)连结。臂安装构件70A具有连结部71、筒状部72和盖部73。连结部71与轴63的缩径部63a连结。

如图6所示，筒状部72形成为圆筒状，并设成从连结部71向下方延伸的状态。筒状部72配置于比花键外筒用外壳43的第2筒状部432靠外侧的位置，并容纳第2筒状部432的上部432a。在筒状部72的下端设有凹部72a。凹部72a以内周面的下端被扩径的方式形成。在凹部72a配置有密封部77。

密封部77将在筒状部72与花键外筒用外壳43的第2筒状部432的上部432a之间形成的间隙密封。作为密封部77，例如举出使剖视时呈U字状或日文コ字状的构件形成为环状而成的构造等。密封部77例如能够使用可弹性变形的材料来形成。轴63成为被密封部77保护而不受外部影响的状态。此外，在凹部72a的下端部，形成有向内侧突出的突起部72b。通过该突起部72b来抑制密封部77的落下。

另外，在筒状部72与第2筒状部432的上部432a之间形成有圆筒状的间隙。通过该间隙而在轴63与外部之间形成有迷宫式构造，因此，能够提高防尘性和防水性。

盖部73通过螺栓安装于连结部71的盖部安装面71d。盖部73保护轴63的缩径部63a不受外部影响。

花键外筒用外壳43具有第1筒状部431和第2筒状部432。另外，在第1转子托架21的上端借助螺栓固定有第2盖构件111A。在第2盖构件111A的上端，借助螺栓固定有花键外筒61A的凸缘62A。

第1筒状部431具有配置于上下方向上的上侧的第1圆筒部431b、配置于第1圆筒部431b的下侧的台阶部431d和配置于台阶部431d的下侧的第2圆筒部431e。

向径向内侧延伸的接收部431a沿着周向呈圆环状设于第1圆筒部431b。在接收部431a的上表面设有向下方凹陷的凹部，在凹部容纳有O形环74。在第2筒状部432的下端面按压O形环74的状态下，第2筒状部432的下端部借助螺栓固定于第1筒状部431的接收部431a。在第2圆筒部431e的下端部431c的侧面形成有凹部，在凹部容纳有O形环75。

第1马达外壳40的上端部的内周面按压O形环75。在该状态下，第1筒状部431的下端部借助螺栓固定于第1马达外壳40的上端部。并且，在第1马达外壳40的上端部的外周面设有向径向内侧凹陷的凹部，在凹部容纳有O形环76。在固定台ST的内周面按压O形环76的状态下，第1马达外壳40的安装用凸缘40a借助螺栓固定于固定台ST的上表面。

如图6所示，在第1筒状部431，在第2圆筒部431e与连结托架34之间保持有第3轴承33。连结托架34固定于花键外筒61A的凸缘62A。因此，第3轴承33将花键外筒61和连结托架34支承为旋转自如。第3轴承33例如是滚动轴承。第3轴承33借助波形垫圈39a和按压构件39b支承于台阶部431d。第3轴承33被波形垫圈39a和按压构件39b向连结托架34侧按压。另外，第3轴承33通过第1筒状部431、第1马达外壳40和固定台ST而在径向上被支承。

在此，说明轴构件SF。轴构件SF具有上方的轴63和下方的丝杠53。轴63从臂安装构件70A沿着中心轴AX的轴线方向延伸到连结部100。连结部100设于在轴向上与第2旋转检测部101A并列的位置。轴63由缩径部63a、大径部63b和小径部632成为一体地构成。大径部63b具有配置于缩径部63a的下侧的第1大径部63b1、被容纳于第2筒状部432的内侧的第2大径部63b2和从花键外筒61A的上端延伸到第1马达外壳40的下底部40b的第3大径部63b3。在第3大径部63b3的外周，在周向上隔开间隔地设有多个沿中心轴AX的轴线方向延伸的花键槽部633。此外，轴构件SF中的比第1转子20的上端向上方突出且设有花键槽部633的部位是第1部分S1。

丝杠53从连结部100延伸到止挡件55。丝杠53具有上方的大径部531和下方的小径部532。在丝杠53的大径部531的上端部设有向上方突出的细径部531a。在细径部531a的外周设有外螺纹。在轴63的小径部632的下端部设有凹部632a。在凹部632a的内周设有与细径部531a的外螺纹相啮合的内螺纹。凹部632a的内周的内螺纹与细径部531a的外螺纹啮合。由此，轴63的小径部632和丝杠53的大径部531被连结成一体。即，轴63和丝杠53通过螺纹连结相连结。此外，在大径部531的外周形成有外螺纹部533。即，轴构件SF具有从第2转子20A朝向与第1转子20所在侧相反的方向地向作为轴线方向的另一侧的下方突出的第2部分S2，在第2部分S2设有外螺纹部533。此外，在小径部532的外周未设有外螺纹部。另外，轴构件SF的花键槽部633的直径D1大于外螺纹部533的直径D2。此外，花键槽部633的直径D1是大径和小径中的大径。外螺纹部533的直径D2是外径和内径(螺纹底径)中的外径。

如图7所示，夹持机构130包含丝杠53的小径部532、筒夹132和缸体134。筒夹132具备能够沿径向变形的把持部132A和大致筒形状的凸缘部132B。在把持部132A，沿Z方向形成有4个切槽(日文：スリ割り)。图7所示的剖视图示出沿着该切槽进行剖切而得到的剖面。切槽形成于在周向上以90度相隔的不同的位置。由此，把持部132A能够在径向上弹性变形。此外，切槽的数量、形状和位置并未特别限定。切槽只要以把持部132A能够在径向上弹性变形的方式形成即可。

在筒夹132插入有丝杠53的小径部532。筒夹132具备第1锥面132a、第2锥面132b、凹部132c和内周面132d。第1锥面132a是把持部132A的外周面。第1锥面132a是随着朝向Z方向下侧去而外径变小的倾斜面。也就是说，第1锥面132a是大致圆锥面的形状。

第2锥面132b是凸缘部132B的Z方向上侧的外周面。第2锥面132b是随着朝向Z方向上侧去而外径变小的倾斜面。也就是说，第2锥面132b是大致圆锥面的形状。凹部132c是形成于凸缘部132B的外周面的槽。凹部132c在Z方向上形成于第1锥面132a与第2锥面132b之间。内周面132d是与丝杠53的被夹持部53b相对的面。筒夹132配置成：即使在丝杠53在轴线方向上进行了最大限度移动的情况下，内周面132d也与丝杠53的被夹持部53b相对。

缸体134具备活塞136、缸体管138、第1密封构件160和第2密封构件162。另外，缸体134具备气体供给部163、固定构件144、止动部146、丝杠用外壳150和弹簧156。

在活塞136插入有丝杠53的小径部532。活塞136具备倾斜面136a、第1外侧面136b、第2外侧面136c、槽部136d、下表面136e、凹部136f和上表面136g。

倾斜面136a是活塞136的Z方向上侧的内周面。倾斜面136a以随着朝向Z方向上侧去而直径变大的方式倾斜。倾斜面136a在Z方向上与第1锥面132a重叠。通过这样的结构，在活塞136向Z方向上侧移动的情况下，倾斜面136a能够与第1锥面132a接触。并且，倾斜面136a能够在与第1锥面132a相接触的情况下将第1锥面132a向径向内侧按压。即，倾斜面136a是能够将把持部132A向径向内侧按压的卡盘部。倾斜面136a与第1锥面132a相对。即，倾斜面136a和第1锥面132a具有大致相同的倾斜度。倾斜面136a以在径向上与第1锥面132a重叠的方式配置。由此，能够减小活塞136和筒夹132所占据的空间的轴线方向上的尺寸。

第1外侧面136b和第2外侧面136c是活塞136的外侧面。第1外侧面136b位于比第2外侧面136c靠Z方向上侧的位置。第2外侧面136c的直径大于第1外侧面136b的直径。第1外侧面136b和第2外侧面136c以在径向上与第1锥面132a重叠的方式配置。槽部136d是形成于第1外侧面136b的矩形槽。槽部136d沿着第1外侧面136b的周向形成。下表面136e是活塞136的Z方向下侧的面。在下表面136e形成有向Z方向上侧凹陷的凹部136f。上表面136g是活塞136的Z方向上侧的面。

缸体管138是容纳活塞136的大致筒形状的构件。缸体管138具备筒状部138a、外径侧凸缘部138b、内径侧凸缘部138c、槽部138d、第1内侧面138e、第2内侧面138f和气体供给路径138g。筒状部138a是筒形状的构件。在筒状部138a的Z方向上侧的端部连接有外径侧凸缘部138b和内径侧凸缘部138c。外径侧凸缘部138b是形成为圆环状的凸缘面。外径侧凸缘部138b通过固定构件140固定于筒状部42b的下端。内径侧凸缘部138c形成为圆环状，且配置于比外径侧凸缘部138b靠径向内侧的位置。在内径侧凸缘部138c形成有台阶面142。台阶面142形成于内径侧凸缘部138c的Z方向上侧的端部。从Z方向上侧看，台阶面142是圆环形状。

第1内侧面138e是内径侧凸缘部138c的径向内侧的侧面。第1内侧面138e与第1外侧面136b相对。第2内侧面138f是筒状部138a的径向内侧的侧面。第2内侧面138f的直径大于第1内侧面138e的直径。第2内侧面138f与第2外侧面136c相对。第1内侧面138e和第2内侧面138f以在径向上与第1锥面132a重叠的方式配置。槽部138d是形成于第2内侧面138f的矩形槽。槽部138d沿着第2内侧面138f的周向形成。

气体供给路径138g是从缸体管138的外部贯通至缸体管138的内部的开口。在气体供给路径138g连接有气体供给配管158。气体供给路径138g和气体供给配管158例如隔着密封带被螺纹固定。

第1密封构件160是O形环。第1密封构件160配置于槽部136d。第1密封构件160将第1外侧面136b与第1内侧面138e之间的间隙填埋。由此，第1外侧面136b与第1内侧面138e之间的间隙被密封。

第2密封构件162是O形环。第2密封构件162配置于槽部138d。第2密封构件162将第2外侧面136c与第2内侧面138f之间的间隙填埋。由此，第2外侧面136c与第2内侧面138f之间的间隙被密封。通过这样的结构，从而形成由气体供给配管158、气体供给路径138g、第1外侧面136b、第2外侧面136c、第1内侧面138e、第2内侧面138f、第1密封构件160和第2密封构件162围成的压力室139。

气体供给部163是供给压缩空气的压缩机。气体供给部163与气体供给配管158连接。此外，气体供给部163所供给的气体不限定于压缩空气。气体供给部163例如也可以供给被压缩后的氮气。

固定构件144是圆环形状的板构件。固定构件144以径向外侧的下表面与台阶面142相接触的方式配置。另外，固定构件144的径向内侧的端部插入于凹部132c。

止动部146是圆环形状的构件。在止动部146插入有丝杠53的小径部532。止动部146具备与第2锥面132b相对的倾斜面146a。由此，止动部146能够限制筒夹132向Z方向上侧移动。另外，止动部146以与台阶面142一起夹着固定构件144的状态通过固定构件148固定于内径侧凸缘部138c。因而，止动部146将固定构件144的Z方向上的位置固定。并且，固定构件144的内径侧的端部插入于凹部132c。由此，固定构件144能够限制筒夹132向Z方向下侧移动。通过这样的结构，从而决定筒夹132的Z方向上的位置。

丝杠用外壳150借助缸体管138、螺母用外壳42、马达用外壳41和花键外筒用外壳43固定于固定台ST。丝杠用外壳150具有凸缘部150a、凸缘面150b、筒状部150c、凹部150d和盖构件150e。凸缘部150a形成为圆环状，并且通过固定构件152固定于筒状部138a的下端。凸缘面150b是凸缘部150a的Z方向上侧的面。

凸缘面150b与下表面136e相对。筒状部150c从凸缘部150a的内周向下方延伸。如图5所示，筒状部150c容纳丝杠53的下侧的端部。凹部150d是从凸缘面150b向Z方向下侧凹陷的凹部。盖构件150e是将筒状部150c的Z方向下侧封堵的构件。盖构件150e通过螺栓固定于筒状部150c的Z方向下侧的端面。由此，能够防止异物从Z方向下侧进入丝杠用外壳150的内部。

弹簧156是螺旋压缩弹簧。弹簧156的一个端部与凹部136f的底面相接触。弹簧156的另一个端部与凹部150d的底面相接触。因而，弹簧156被凹部136f的底面和凹部150d的底面压缩。丝杠用外壳150固定于固定台ST，因此，凹部150d的底面不会向Z轴向下侧移动。因而，弹簧156将活塞136向Z方向上侧按压。此外，弹簧156虽然是螺旋压缩弹簧，但并不限定于此。弹簧156只要是向使活塞136接近把持部132A的方向对活塞136施力的弹性构件即可。弹簧156例如也可以是方弹簧和圆锥形弹簧。另外，弹簧156可以配置有多个。

止挡件55通过螺母56安装于丝杠53的下端部。止挡件55是圆环形状的构件。止挡件55被丝杠53插入。在止挡件55的Z方向上侧配置有圆环形状的缓冲构件55a。缓冲构件55a例如是弹性体的聚氨酯橡胶。缓冲构件55a和止挡件55的外径r2大于凸缘部150a的内径r1。因而，在丝杠53上升了规定长度的量的情况下，止挡件55隔着缓冲构件55a与凸缘部150a相接触。由此，止挡件55能够限制丝杠53上升超过规定长度的量。

此外，轴构件SF的升降和回转与第1实施方式和第2实施方式相同。另外，当在图5所示的轴构件SF的下限位置第2马达M2工作时，螺母构件51也连同第2转子20A一起旋转，如图8所示，轴构件SF沿着轴线方向上升。

如以上说明那样，本实施方式的驱动器1B具备夹持机构130，该夹持机构130包含：筒夹132，轴构件SF的第2部分S2贯穿该筒夹132；以及缸体134，其具有被轴构件SF的第2部分贯穿的活塞136、容纳活塞136的缸体管138和对活塞136施力的弹性构件。活塞136具有倾斜面136a(卡盘部)，该倾斜面136a在弹性构件的作用下与筒夹132的外周面相接触，从而将筒夹132按压于轴构件SF，当向缸体管138的内部供给气体或液体时，筒夹132离开轴构件SF。

采用该结构，弹性构件能够以使卡盘部接触于筒夹132的外周面的方式进行施力。并且，卡盘部能够将筒夹132按压于轴构件SF而夹持轴构件。另外，由于卡盘部是与筒夹132的外周面相接触的结构，因此，在径向上与该外周面重叠。通过这样的结构，能够减小夹持机构130的轴线方向上的尺寸。另外，通过向缸体管138的内部供给气体或液体，能够松开轴构件SF。另外，在电源被切断的情况中，也能够利用夹持机构130来保持轴构件SF。

外周面是随着接近卡盘部而直径变小的锥面，卡盘部是与外周面相对的倾斜面136a。

采用该结构，第1锥面132a能够在未向缸体管138的内部供给气体或液体的情况下与锥面面接触。由此，同筒夹132的外周面与卡盘部线接触或点接触的情况相比，能够增大在筒夹132与卡盘部之间产生的摩擦力。因而，在筒夹夹持轴构件SF的情况下，能够抑制在筒夹132的外周面和卡盘部之间发生滑动。

花键外筒61A的径向外侧借助第3轴承33(滚动轴承)由花键外筒用外壳43支承。

例如，在利用臂部80支承工件且臂部80和工件的载荷的重心与中心轴AX不一致的情况、或受到臂部80和工件的旋转力矩的情况下，轴构件SF有可能在相对于中心轴AX倾斜的方向上受力。与此相对，由于第3轴承33借助波形垫圈39a和按压构件39b被第1筒状部431、第1马达外壳40和固定台ST在径向上支承，因此能够抑制花键外筒61A向与中心轴AX的轴线方向正交的径向的位移或振动。

在筒状部与第1部分S1之间形成有圆筒状的间隙，该筒状部设于在第1部分S1的顶端固定的臂安装构件70A且覆盖第1部分S1的外周。

由于通过圆筒状的间隙而在第1部分S1与圆筒状的间隙的外部之间形成迷宫式构造，因此能够提高臂安装构件70A的内侧的防尘性和防水性。

[第4实施方式]

接着，说明第4实施方式的驱动器1C。对于与第1实施方式、第2实施方式和第3实施方式相同的结构部位，标注同一附图标记并省略说明。以下，以与第3实施方式不同之处为中心进行说明。

图9是第4实施方式的驱动器的剖视图，示出轴构件的行程位于下限的状态。图10是第4实施方式的驱动器的剖视图，示出轴构件的行程位于上限的状态。

第4实施方式在轴构件SF的构造上与第3实施方式不同。

即，在第3实施方式中，轴构件SF被分割成上方的轴63和下方的丝杠53。丝杠53的大径部531和轴63的小径部632通过螺纹连结而连结成一体。

但是，第4实施方式的轴构件SF是上方的轴63和下方的丝杠53连成一体而形成的。例如，通过削去1根圆柱状的金属构件的外周部分而形成具有轴63的形状和丝杠53的形状的轴构件SF。另外，轴构件SF的花键槽部633的直径D1大于外螺纹部533的直径D2。在此，花键槽部633的直径D1是大径和小径中的大径。外螺纹部533的直径D2是外径和内径(螺纹底径)中的外径。

此外，轴构件SF的升降和回转与第1实施方式、第2实施方式和第3实施方式相同。另外，当在图9所示的轴构件SF的下限位置第2马达M2工作时，螺母构件51也连同第2转子20A一起地旋转，如图10所示，轴构件SF沿着轴线方向上升。

如以上说明那样，在本实施方式的驱动器1C中，轴构件SF是上方的轴63和下方的丝杠53连成一体而形成的。因而，与将轴63和丝杠53分割后连结在一起的情况相比，轴构件SF的刚性变高。

以上，说明了本发明的优选实施方式，但本发明不限定于上述实施方式所记载的内容。例如，说明了在轴构件SF中、轴63和丝杠53通过螺纹连结相连结的形态，但也可以将轴63的端部压入丝杠53的端部并进行连结。另外，也可以使用粘接剂将轴63和丝杠53连结起来。

附图标记说明

1、1A、1B、1C、驱动器；10、第1定子；10A、第2定子；130、夹持机构；132、筒夹；134、缸体；136、活塞；138、缸体管；20、第1转子；20A、第2转子；33、第3轴承(滚动轴承)；43、花键外筒用外壳；51、螺母构件；53、丝杠；533、外螺纹部；61、花键外筒；61A、花键外筒；63、轴；633、花键槽部；70、臂安装构件；70A、臂安装构件；72、筒状部；80、臂部；AX、中心轴；S1、第1部分；S2、第2部分；SF、轴构件；M1、第1马达；M2、第2马达。

Claims (8)

1.一种驱动器，其中，

该驱动器具备：

第1马达，其具有第1定子和第1转子，该第1转子能够相对于所述第1定子沿绕中心轴的轴线的方向旋转；

第2马达，其以相对于所述第1马达在所述中心轴的轴线方向上隔开间隔的方式配置，并且具有第2定子和第2转子，该第2转子能够相对于所述第2定子旋转且与所述第1转子的所述中心轴同轴地配置；

轴构件，其沿着所述轴线方向贯穿所述第1转子和所述第2转子，在该轴构件的第1部分的至少一部分设有沿着所述轴线方向延伸的花键槽部，在该轴构件的第2部分的至少一部分设有外螺纹部，该第1部分从所述第1转子朝向与所述第2转子所在侧相反的一侧地向所述轴线方向的一侧突出，该第2部分从所述第2转子朝向与所述第1转子所在侧相反的一侧地向所述轴线方向的另一侧突出；

花键外筒，其与所述轴构件的所述花键槽部卡合，该花键外筒沿着该花键槽部在所述轴线方向上引导所述轴构件，并且该花键外筒能够连同所述第1转子一起旋转而使所述轴构件沿绕所述中心轴的轴线的方向旋转；以及

螺母构件，在该螺母构件设有与所述轴构件的所述外螺纹部相啮合的内螺纹部，该螺母构件能够连同所述第2转子一起旋转而使所述轴构件沿所述中心轴的轴线方向移动，

所述轴构件的所述花键槽部的第1直径是大径和小径中的大径，所述外螺纹部的第2直径是外径和内径中的外径，

所述第1直径大于所述第2直径。

2.根据权利要求1所述的驱动器，其中，

所述轴构件被分割成包含所述第1部分的轴和包含所述第2部分的丝杠，并且所述轴和丝杠通过螺纹连结相连接。

3.根据权利要求1所述的驱动器，其中，

所述第1马达和所述第2马达是直接驱动马达。

4.根据权利要求1所述的驱动器，其中，

在所述轴构件的第1部分的端部固定有臂安装构件，该臂安装构件支承供工件安装的臂部。

5.根据权利要求1所述的驱动器，其中，

该驱动器具备夹持机构，该夹持机构包含：

筒夹，所述轴构件的第2部分贯穿该筒夹；以及

缸体，其具有被所述轴构件的第2部分贯穿的活塞、容纳所述活塞的缸体管和对所述活塞施力的弹性构件，

所述活塞具有卡盘部，该卡盘部在所述弹性构件的作用下与所述筒夹的外周面相接触，从而将所述筒夹按压于所述轴构件，

当向所述缸体管的内部供给气体或液体时，所述筒夹离开所述轴构件。

6.根据权利要求5所述的驱动器，其中，

所述外周面是随着接近所述卡盘部而直径变小的锥面，

所述卡盘部是与所述外周面相对的倾斜面。

7.根据权利要求1所述的驱动器，其中，

所述花键外筒的径向外侧借助滚动轴承由花键外筒用外壳支承。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的驱动器，其中，

在筒状部与所述第1部分之间形成有圆筒状的间隙，该筒状部设于在所述第1部分的顶端固定的臂安装构件且覆盖所述第1部分的外周。