CN112083642B - 半导体工艺设备及其控制装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种半导体工艺设备中的控制装置，涉及半导体加工技术领域，该控制装置包括：控制模块、传输模块、切换模块和多个输入模块，切换模块与多个输入模块连接；切换模块用于响应于用户的操作，将多个输入模块中的一个输入模块与传输模块导通，并将其他输入模块与传输模块断开；传输模块还与控制模块连接，传输模块用于将接收到的输入模块的控制信号传输至控制模块。本发明还提供了一种半导体工艺设备。本发明可以防止多个输入模块同时对控制模块进行操作，避免由此引起的误操作，提高设备的安全性。

Description

半导体工艺设备及其控制装置

技术领域

本发明涉及半导体加工技术领域，具体涉及一种半导体工艺设备及其控制装置。

背景技术

目前，半导体工艺设备通常包括机台和附属设备，机台和附属设备分开放置且距离较远，但是，在对附属设备进行维护时，经常需要查看机台的状态，或者对机台进行控制，操作较为不便。

目前，通常采用远距离信号传输模块(例如延长器)来实现相距较远的两个控制端(例如一个本地控制端和一个远程控制端)对同一个被控端进行控制，图1为传统的半导体工艺设备的示意图，如图1所示，传统的半导体工艺设备包括信号传输模块1’、第一输入端2’、第二输入端3’和机台4’。其中，第一输入端2’和第二输入端3’均通过信号传输模块1’与机台4’连接。

在上述的半导体工艺设备中，第一输入端2’和第二输入端3’均可以对机台4’进行操作。但是第一输入端2’和第二输入端3’可能存在同时被工作人员操作的情况，容易导致误操作，存在一定安全风险。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种半导体工艺设备及其控制装置。

为了实现上述目的，本发明提供一种半导体工艺设备中的控制装置，其中，包括：控制模块、传输模块、切换模块和多个输入模块，所述切换模块与所述传输模块和多个所述输入模块连接；

所述切换模块用于响应于用户的操作将多个所述输入模块中的一个所述输入模块与所述传输模块导通，并将其他所述输入模块与所述传输模块断开；

所述传输模块还与所述控制模块连接，所述传输模块用于将接收到的所述输入模块的控制信号传输至所述控制模块。

可选地，多个所述输入模块包括：第一输入模块和第二输入模块；

所述传输模块包括：第一传输子模块和第二传输子模块，所述第一传输子模块与所述第二传输子模块连接；

所述控制模块和所述第一输入模块均与所述第一传输子模块连接，所述第一传输子模块用于将接收到的所述第一输入模块的控制信号传输至所述控制模块；

所述第二输入模块与所述第二传输子模块连接，所述第二传输子模块用于将接收到的所述第二输入模块的控制信号传输至所述第一传输子模块，所述第一传输子模块还用于将接收到的所述第二传输子模块的控制信号传输至所述控制模块。

可选地，所述切换模块包括：开关控制子模块和开关响应子模块；

所述第一输入模块、所述第一传输子模块和所述开关响应子模块均与所述开关控制子模块连接，所述第二输入模块和所述第二传输子模块均与所述开关响应子模块连接；

所述开关控制子模块用于响应于用户的操作将所述第一输入模块与所述第一传输子模块导通，并控制所述开关响应子模块将所述第二输入模块与所述第二传输子模块断开；或者，响应于用户的操作将所述第一输入模块与所述第一传输子模块断开，并控制所述开关响应子模块将所述第二输入模块与所述第二传输子模块导通。

可选地，所述开关控制子模块包括双刀双掷开关，所述开关响应子模块包括继电器，所述双刀双掷开关包括第一开关单元和第二开关单元，所述继电器包括响应单元和第三开关单元；

所述第一开关单元串联在所述第一输入模块与所述第一传输子模块之间，所述第二开关单元和所述响应单元串联在第一电压端和第二电压端之间，所述第三开关单元串联在所述第二输入模块与所述第二传输子模块之间；

其中，当所述第一开关单元导通时，所述第二开关单元断开，当所述第一开关单元断开时，所述第二开关单元导通；所述响应单元在所述第二开关单元导通，所述第一电压端和所述第二电压端之间形成导电通路时，控制所述第三开关单元导通，在所述第二开关单元断开，所述第一电压端和所述第二电压端之间断路时，控制所述第三开关单元断开。

可选地，所述切换模块包括：开关控制子模块、第一开关响应子模块和第二开关响应子模块，所述第一输入模块和所述第一传输子模块均与所述第一开关响应子模块连接，所述第二输入模块和所述第二传输子模块均与所述第二开关响应子模块连接，所述第一开关响应子模块和所述第二开关响应子模块均与所述开关控制子模块连接；

所述开关控制子模块用于响应于用户的操作控制所述第一开关响应子模块将所述第一输入模块与所述第一传输子模块导通，并控制所述第二开关响应子模块将所述第二输入模块与所述第二传输子模块断开；或者，响应于用户的操作控制所述第一开关响应子模块将所述第一输入模块与所述第一传输子模块断开，并控制所述第二开关响应子模块将所述第二输入模块与所述第二传输子模块导通。

可选地，所述开关控制子模块包括第一双刀双掷开关和第二双刀双掷开关，所述第一开关响应子模块包括第一继电器，所述第二开关响应子模块包括第二继电器，所述第一双刀双掷开关包括第一开关单元和第二开关单元，所述第二双刀双掷开关包括第三开关单元和第四开关单元，所述第一继电器包括第一响应单元和第五开关单元，所述第二继电器包括第二响应单元和第六开关单元；

所述第一开关单元、所述第三开关单元、所述第二响应单元串联在第一电压端和第二电压端之间，所述第二开关单元、所述第四开关单元、所述第一响应单元串联在第三电压端和第四电压端之间，所述第五开关单元串联在所述第一输入模块与所述第一传输子模块之间，所述第六开关单元串联在所述第二输入模块与所述第二传输子模块之间；

其中，所述第一开关单元包括第一开关和第二开关，所述第二开关单元包括第三开关和第四开关，所述第三开关单元包括第五开关和第六开关，所述第四开关单元包括第七开关和第八开关；

所述第一开关的第一端和所述第二开关的第一端均与所述第一电压端连接，所述第三开关的第一端和所述第四开关的第一端均与所述第三电压端连接，所述第五开关的两端分别与所述第一开关的第二端和所述第二响应单元连接，所述第六开关的两端分别与所述第二开关的第二端和所述第二响应单元连接，所述第七开关的两端分别与所述第四开关的第二端和所述第一响应单元连接，所述第八开关的两端分别与所述第三开关的第二端和所述第一响应单元连接，所述第一响应单元与所述第四电压端连接，所述第二响应单元与所述第二电压端连接。

可选地，所述开关控制子模块还包括：第七开关单元，所述第七开关单元串联在所述第二响应单元和所述第二电压端之间，所述第七开关单元用于控制所述第二响应单元与所述第二电压端导通或断开。

可选地，第一电压端和所述第三电压端为一个电压端，所述第二电压端和所述第四电压端为一个电压端。

可选地，所述控制装置还包括：指示模块，所述指示模块用于在所述第一输入模块与所述传输模块导通时输出第一指示信号，在所述第二输入模块与所述传输模块导通时输出第二指示信号。

本发明还提供一种半导体工艺设备，其中，包括：上述的控制装置。

有益效果：

采用本发明的控制装置，其可以通过切换模块使多个输入模块中只有一者具有操作权限，从而可以防止多个输入模块同时对控制模块进行操作，避免由此引起的误操作，提高设备的安全性。

附图说明

附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。在附图中：

图1为传统的半导体工艺设备的示意图；

图2为本发明实施例提供的控制装置的示意图；

图3为本发明实施例提供的控制装置的具体结构示意图之一；

图4为本发明实施例提供的控制装置的具体结构示意图之二；

图5为本发明实施例提供的控制装置的具体结构示意图之三；

图6为本发明实施例提供的半导体工艺设备的示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。

本发明实施例提供一种控制装置，图2为本发明实施例提供的控制装置的示意图，如图2所示，该控制装置包括：传输模块1、切换模块2、多个输入模块和控制模块5，切换模块2与传输模块1和多个输入模块连接。切换模块2用于响应于用户的操作，将多个输入模块中的一个输入模块与传输模块1导通，并将其他输入模块与传输模块1断开。传输模块1还与控制模块5连接，传输模块1用于将接收到的多个输入模块的控制信号传输至控制模块5。

具体地，以多个输入模块包括两个输入模块为例，如图2所示，两个输入模块分别为第一输入模块3和第二输入模块4，切换模块2可以响应于用户的操作，将第一输入模块3与传输模块1导通，并将第二输入模块4与传输模块1断开，此时，传输模块1接收到第一输入模块3的控制信号，并将第一输入模块3的控制信号传输至控制模块5，从而使第一输入模块3具有操作权限；或者，切换模块2还可以响应于用户的操作，将第二输入模块4与传输模块1导通，并将第一输入模块3与传输模块1断开，此时，传输模块1接收到第二输入模块4的控制信号，并将第二输入模块4的控制信号传输至控制模块5，从而使第二输入模块4的具有操作权限。

在本发明实施例中，控制模块5是指可对机台进行控制的部件，其一般设置在机台中，但是其也可以独立于机台设置，本发明不做限定。

综上，在本发明实施例中，可以通过切换模块2使多个输入模块中只有一个输入模块具有操作权限，从而可以防止多个输入模块同时对控制模块5进行操作，避免由此引起的误操作，提高设备的安全性。

下面结合图2至图5对本发明实施例提供的控制装置进行详细说明，具体地，图3为本发明实施例提供的控制装置的具体结构示意图之一，如图3所示，在一些具体实施例中，多个输入模块包括：第一输入模块3和第二输入模块4。传输模块1包括：第一传输子模块11和第二传输子模块12，第一传输子模块11与第二传输子模块12连接。控制模块5和第一输入模块3均与第一传输子模块11连接，第一传输子模块11用于将接收到的第一输入模块3的控制信号传输至控制模块5。第二输入模块4与第二传输子模块12连接，第二传输子模块12用于将接收到的第二输入模块4的控制信号传输至第一传输子模块11，第一传输子模块11还用于将接收到的第二传输子模块12的控制信号传输至控制模块5。

在本发明实施例中，第一传输子模块11和第二传输子模块12均可以为延长器，第一传输子模块11和第二传输子模块12可以通过网络连接，具体连接方式可以包括有线网络连接和无线网络连接。第一输入模块3包括键盘31和鼠标32，第二输入模块4包括键盘41和鼠标42，键盘31和鼠标32均可以通过通用串行总线(Universal Serial Bus，USB)与第一传输子模块11连接，键盘41和鼠标42均可以通过USB与第二传输子模块12连接。

在一些具体实施例中，切换模块2包括：开关控制子模块21和开关响应子模块22。第一输入模块3、第一传输子模块11和开关响应子模块22均与开关控制子模块21连接，第二输入模块4和第二传输子模块12均与开关响应子模块22连接。

开关控制子模块21用于响应于用户的操作将第一输入模块3与第一传输子模块11导通，并控制开关响应子模块22将第二输入模块4与第二传输子模块12断开；或者，响应于用户的操作将第一输入模块3与第一传输子模块11断开，并控制开关响应子模块22将第二输入模块4与第二传输子模块12导通。

在一些具体实施例中，开关控制子模块21包括双刀双掷开关，开关响应子模块22包括继电器，双刀双掷开关包括第一开关单元21a和第二开关单元21b，继电器包括响应单元22a和第三开关单元22b。第一开关单元21a串联在第一输入模块3与第一传输子模块11之间，第二开关单元21b和响应单元22a串联在第一电压端V1和第二电压端V2之间，第三开关单元22b串联在第二输入模块4与第二传输子模块12之间。其中，当第一开关单元21a导通时，第二开关单元21b断开，当第一开关单元21a断开时，第二开关单元21b导通。响应单元22a在第二开关单元21b导通，第一电压端V1和第二电压端V2之间形成导电通路时，控制第三开关单元22b导通，在第二开关单元21b断开，第一电压端V1和第二电压端V2之间断路时，控制第三开关单元22b断开。

在本发明实施例中，第一电压端V1可以与电源正极连接，第二电压端V2可以与电源负极连接。第一开关单元21a包括第一开关K1和第二开关K2，第二开关单元21b包括第三开关K3和第四开关K4，第三开关单元22b包括第五开关K5和第六开关K6。第一传输子模块11和第二传输子模块12均包括第一信号端和第二信号端，第一开关K1的两端可以分别与第一传输子模块11的第一信号端和第一输入模块3中的键盘31连接，第二开关K2的两端可以分别与第一传输子模块11的第二信号端和第一输入模块3中的鼠标连接，第三开关K3的两端可以分别与第一电压端V1和继电器的响应单元22a连接。第五开关K5的两端可以分别与第二传输子模块12的第一信号端和第二输入模块4的键盘连接，第六开关K6的两端可以分别与第二传输子模块12的第二信号端和第二输入模块4的鼠标连接。其中，第五开关K5和第六开关K6可以为常开开关。其中，上述的各开关与键盘/鼠标连接，可以为：开关与键盘/鼠标的USB电缆中的供电线连接。

在本发明实施例中，用户可以进行以下操作：

调整双刀双掷开关，使第一开关K1和第二开关K2均导通，第三开关K3和第四开关K4均断开，此时，第一电压端V1与第二电压端V2之间被断开，响应单元22a控制第五开关K5和第六开关K6断开，第一输入模块3中的键盘31和鼠标32均与第一传输子模块11导通，第一输入模块3获得操作权限。

或者，调整双刀双掷开关，使第一开关K1和第二开关K2均断开，第三开关K3和第四开关K4均导通，此时，第一电压端V1和第二电压端V2之间形成导电通路，响应单元22a控制第五开关K5和第六开关K6导通，第二输入模块4中的键盘41和鼠标42均与第二传输子模块12导通，第二输入模块4获得操作权限。

图4为本发明实施例提供的控制装置的具体结构示意图之二，如图4所示，在另一些具体实施例中，切换模块2包括：开关控制子模块21’、第一开关响应子模块22’和第二开关响应子模块23’，第一输入模块3和第一传输子模块11均与第一开关响应子模块22’连接，第二输入模块4和第二传输子模块12均与第二开关响应子模块23’连接，第一开关响应子模块22’和第二开关响应子模块23’均与开关控制子模块21’连接。开关控制子模块21’用于：响应于用户的操作控制第一开关响应子模块22’将第一输入模块3与第一传输子模块11导通，并控制第二开关响应子模块23’将第二输入模块4与第二传输子模块12断开；或者，响应于用户的操作控制第一开关响应子模块22’将第一输入模块3与第一传输子模块11断开，并控制第二开关响应子模块23’将第二输入模块4与第二传输子模块12断开。

在一些具体实施例中，开关控制子模块21’包括第一双刀双掷开关S1和第二双刀双掷开关S2，第一开关响应子模块22’包括第一继电器，第二开关响应子模块23’包括第二继电器，第一双刀双掷开关S1包括第一开关单元21a’和第二开关单元21b’，第二双刀双掷开关S2包括第三开关单元21c’和第四开关单元21d’，第一继电器包括第一响应单元22a’和第五开关单元22b’，第二继电器包括第二响应单元23a’和第六开关单元23b’。第一开关单元21a’、第三开关单元21c’、第二响应单元23a’串联在第一电压端V1’和第二电压端V2’之间，第二开关单元21b’、第四开关单元21d’、第一响应单元22a’串联在第三电压端V3’和第四电压端V4’之间，第五开关单元22b’串联在第一输入模块3与第一传输子模块11之间，第六开关单元23b’串联在第二输入模块4与第二传输子模块12之间。

其中，第一开关单元21a’包括第一开关K1’和第二开关K2’，第二开关单元21b’包括第三开关K3’和第四开关K4’，第三开关单元21c’包括第五开关K5’和第六开关K6’，第四开关单元21d’包括第七开关K7’和第八开关K8’。第一开关K1’的第一端和第二开关K2’的第一端均与第一电压端V1’连接，第三开关K3’的第一端和第四开关K4’的第一端均与第三电压端V3’连接，第五开关K5’的两端分别与第一开关K1’的第二端和第二响应单元23a’连接，第六开关K6’的两端分别与第二开关K2’的第二端和第二响应单元23a’连接，第七开关K7’的两端分别与第四开关K4’的第二端和第一响应单元22a’连接，第八开关K8’的两端分别与第三开关K3’的第二端和第一响应单元22a’连接，第一响应单元22a’与第四电压端V4’连接，第二响应单元23a’与第二电压端V2’连接。

在本发明实施例中，第一电压端V1’和第三电压端V3’可以为一个电压端，二者均与电源正极连接，第四电压端V4’和第二电压端V2’可以为一个电压端，二者均与电源负极连接。第五开关单元22b’包括：第九开关K9’和第十开关K10’，第六开关单元23b’包括：第十一开关K11’和第十二开关K12’，第一输入模块3和第二输入模块4均包括键盘和鼠标，第一传输子模块11和第二传输子模块12均包括第一信号端和第二信号端。第九开关K9’的两端分别与第一传输子模块11的第一信号端和第一输入模块3的键盘连接，第十开关K10’的两端分别与第一传输子模块11的第二信号端和第一输入模块3的鼠标连接，第十一开关K11’的两端分别与第二传输子模块12的第一信号端和第二输入模块4的键盘连接，第十二开关K12’的两端分别与第二传输子模块12的第二信号端和第二输入模块4的鼠标连接。其中，第九开关K9’、第十开关K10’、第十一开关K11’和第十二开关K12’均可以为常开开关。

在本发明实施例中，用户可以进行以下操作：

调整第一双刀双掷开关S1和第二双刀双掷开关S2，使第一双刀双掷开关S1的第一开关K1’和第三开关K3’均导通，第二开关K2’和第四开关K4’均断开，使第二双刀双掷开关S2的第五开关K5’和第七开关K7’均断开，第六开关K6’和第八开关K8’均导通，此时，第三电压端V3’、第三开关K3’、第八开关K8’和第四电压端V4’之间形成导电通路，第九开关K9’和第十开关K10’导通，第一输入模块3获得控制权限。

或者，调整第一双刀双掷开关S1和第二双刀双掷开关S2，使第一双刀双掷开关S1的第一开关K1’和第三开关K3’均导通，第二开关K2’和第四开关K4’均断开，使第二双刀双掷开关S2的第五开关K5’和第七开关K7’均导通，第六开关K6’和第八开关K8’均断开，此时，第一电压端V1’、第一开关K1’、第五开关K5’和第二电压端V2’之间形成导电通路，第十一开关K11’和第十二开关K12’导通，第二输入模块4获得控制权限。

可以理解的是，在本发明实施例中，用户还可以进行以下操作：

调整第一双刀双掷开关S1和第二双刀双掷开关S2，使第一双刀双掷开关S1的第一开关K1’和第三开关K3’均断开，第二开关K2’和第四开关K4’均导通，使第二双刀双掷开关S2的第五开关K5’和第七开关K7’均导通，第六开关K6’和第八开关K8’均断开，此时，第三电压端V3’、第四开关K4’、第七开关K7’和第四电压端V4’之间形成导电通路，第九开关K9’和第十开关K10’导通，第一输入模块3获得控制权限。

或者，调整第一双刀双掷开关S1和第二双刀双掷开关S2，使第一双刀双掷开关S1的第一开关K1’和第三开关K3’均断开，第二开关K2’和第四开关K4’均导通，使第二双刀双掷开关S2的第五开关K5’和第七开关K7’均断开，第六开关K6’和第八开关K8’均导通，此时，第一电压端V1’、第二开关K2’、第六开关K6’和第二电压端V2’之间形成导电通路，第十一开关K11’和第十二开关K12’导通，第二输入模块4获得控制权限。

基于本发明实施例提供的技术方案，工作人员在任意一个输入模块处都可以对由哪个输入模块获得控制权限进行控制。

图5为本发明实施例提供的控制装置的具体结构示意图之三，如图5所示，在一些具体实施例中，开关控制子模块21’还包括：第七开关单元24’，第七开关单元24’串联在第二响应单元23a’和第二电压端V2’之间，第七开关单元24’用于控制第二响应单元23a’与第二电压端V2’导通或断开。

在本发明实施例中，通过第七开关单元24’将第二响应单元23a’与第二电压端V2’断开，可以使第十一开关K11’和第十二开关K12’断开，此时，只有第一输入模块3可以获得控制权限，从而进一步提高了可靠性。

在一些具体实施例中，如图3至图5所示，切换装置还包括：第一显示模块61和第二显示模块62。第一显示模块61与第一传输子模块11连接，第二显示模块62与第二传输子模块12连接。第一传输子模块11还用于：将接收到的显示信号传输至第一显示模块61和第二传输子模块12，第二传输子模块12还用于：将接收到的显示信号传输至第二显示模块62。具体的，上述的显示模块可以是显示器。

在一些具体实施例中，控制装置还包括：指示模块(图中未示出)，指示模块用于在第一输入模块3与传输模块1导通时输出第一指示信号，在第二输入模块4与传输模块1导通时输出第二指示信号。其中，第一指示信号和第二指示信号可以为图像信号，也可以为声音或光信号。

本发明还提供一种半导体工艺设备，图6为本发明实施例提供的半导体工艺设备的示意图，如图6所示，该半导体工艺设备包括：上述的控制装置，控制装置包括传输模块1、切换模块2、多个输入模块和控制模块5，在本发明实施例中，多个输入模块可以包括两个输入模块，如图6所示，两个输入模块分别为第一输入模块3和第二输入模块4。

采用本发明实施提供的半导体工艺设备，其可以通过控制装置中的切换模块2使多个输入模块中只有一者具有操作权限，从而可以防止多个输入模块同时对控制模块5进行操作，避免由此引起的误操作，提高设备的安全性。

在一些具体实施例中，控制模块5包括：上位机51、下位机52和切换器53。控制装置中的传输模块1通过切换器53与上位机51和下位机52连接。

在本发明实施例中，切换器53可以是KVM(Keyboard、Video、Mouse)切换器，控制装置可以通过切换器53对上位机51或下位机52进行控制。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种半导体工艺设备中的控制装置，其特征在于，包括：控制模块、传输模块、切换模块和多个输入模块，所述切换模块与所述传输模块和多个所述输入模块连接；

多个所述输入模块包括：第一输入模块和第二输入模块；

所述切换模块用于响应于用户的操作，将所述第一输入模块与所述传输模块导通，并将所述第二输入模块与所述传输模块断开，以使所述第一输入模块具有操作权限；或者，将所述第二输入模块与所述传输模块导通，并将所述第一输入模块与所述传输模块断开，以使第二输入模块的具有操作权限，从而避免误操作，提高所述半导体工艺设备的安全性；

所述传输模块还与所述控制模块连接，所述传输模块用于将接收到的所述输入模块的控制信号传输至所述控制模块；

所述传输模块包括：第一传输子模块和第二传输子模块，所述第一传输子模块与所述第二传输子模块通过网络连接。

2.根据权利要求1所述的控制装置，其特征在于，

所述控制模块和所述第一输入模块均与所述第一传输子模块连接，所述第一传输子模块用于将接收到的所述第一输入模块的控制信号传输至所述控制模块；

所述第二输入模块与所述第二传输子模块连接，所述第二传输子模块用于将接收到的所述第二输入模块的控制信号传输至所述第一传输子模块，所述第一传输子模块还用于将接收到的所述第二传输子模块的控制信号传输至所述控制模块。

3.根据权利要求2所述的控制装置，其特征在于，所述切换模块包括：开关控制子模块和开关响应子模块；

所述第一输入模块、所述第一传输子模块和所述开关响应子模块均与所述开关控制子模块连接，所述第二输入模块和所述第二传输子模块均与所述开关响应子模块连接；

所述开关控制子模块用于响应于用户的操作将所述第一输入模块与所述第一传输子模块导通，并控制所述开关响应子模块将所述第二输入模块与所述第二传输子模块断开；或者，响应于用户的操作将所述第一输入模块与所述第一传输子模块断开，并控制所述开关响应子模块将所述第二输入模块与所述第二传输子模块导通。

4.根据权利要求3所述的控制装置，其特征在于，所述开关控制子模块包括双刀双掷开关，所述开关响应子模块包括继电器，所述双刀双掷开关包括第一开关单元和第二开关单元，所述继电器包括响应单元和第三开关单元；

所述第一开关单元串联在所述第一输入模块与所述第一传输子模块之间，所述第二开关单元和所述响应单元串联在第一电压端和第二电压端之间，所述第三开关单元串联在所述第二输入模块与所述第二传输子模块之间；

其中，当所述第一开关单元导通时，所述第二开关单元断开，当所述第一开关单元断开时，所述第二开关单元导通；所述响应单元在所述第二开关单元导通，所述第一电压端和所述第二电压端之间形成导电通路时，控制所述第三开关单元导通，在所述第二开关单元断开，所述第一电压端和所述第二电压端之间断路时，控制所述第三开关单元断开。

5.根据权利要求2所述的控制装置，其特征在于，所述切换模块包括：开关控制子模块、第一开关响应子模块和第二开关响应子模块，所述第一输入模块和所述第一传输子模块均与所述第一开关响应子模块连接，所述第二输入模块和所述第二传输子模块均与所述第二开关响应子模块连接，所述第一开关响应子模块和所述第二开关响应子模块均与所述开关控制子模块连接；

所述开关控制子模块用于响应于用户的操作控制所述第一开关响应子模块将所述第一输入模块与所述第一传输子模块导通，并控制所述第二开关响应子模块将所述第二输入模块与所述第二传输子模块断开；或者，响应于用户的操作控制所述第一开关响应子模块将所述第一输入模块与所述第一传输子模块断开，并控制所述第二开关响应子模块将所述第二输入模块与所述第二传输子模块导通。

6.根据权利要求5所述的控制装置，其特征在于，所述开关控制子模块包括第一双刀双掷开关和第二双刀双掷开关，所述第一开关响应子模块包括第一继电器，所述第二开关响应子模块包括第二继电器，所述第一双刀双掷开关包括第一开关单元和第二开关单元，所述第二双刀双掷开关包括第三开关单元和第四开关单元，所述第一继电器包括第一响应单元和第五开关单元，所述第二继电器包括第二响应单元和第六开关单元；

所述第一开关单元、所述第三开关单元、所述第二响应单元串联在第一电压端和第二电压端之间，所述第二开关单元、所述第四开关单元、所述第一响应单元串联在第三电压端和第四电压端之间，所述第五开关单元串联在所述第一输入模块与所述第一传输子模块之间，所述第六开关单元串联在所述第二输入模块与所述第二传输子模块之间；

其中，所述第一开关单元包括第一开关和第二开关，所述第二开关单元包括第三开关和第四开关，所述第三开关单元包括第五开关和第六开关，所述第四开关单元包括第七开关和第八开关；

所述第一开关的第一端和所述第二开关的第一端均与所述第一电压端连接，所述第三开关的第一端和所述第四开关的第一端均与所述第三电压端连接，所述第五开关的两端分别与所述第一开关的第二端和所述第二响应单元连接，所述第六开关的两端分别与所述第二开关的第二端和所述第二响应单元连接，所述第七开关的两端分别与所述第四开关的第二端和所述第一响应单元连接，所述第八开关的两端分别与所述第三开关的第二端和所述第一响应单元连接，所述第一响应单元与所述第四电压端连接，所述第二响应单元与所述第二电压端连接。

7.根据权利要求6所述的控制装置，其特征在于，所述开关控制子模块还包括：第七开关单元，所述第七开关单元串联在所述第二响应单元和所述第二电压端之间，所述第七开关单元用于控制所述第二响应单元与所述第二电压端导通或断开。

8.根据权利要求6所述的控制装置，其特征在于，所述第一电压端和所述第三电压端为一个电压端，所述第二电压端和所述第四电压端为一个电压端。

9.根据权利要求2至8中任一项所述的控制装置，其特征在于，所述控制装置还包括：指示模块，所述指示模块用于在所述第一输入模块与所述传输模块导通时输出第一指示信号，在所述第二输入模块与所述传输模块导通时输出第二指示信号。

10.一种半导体工艺设备，其特征在于，包括权利要求1至9中任一项所述的控制装置。