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CN111702558B - 一种易变形工件的找正装置及方法 - Google Patents

一种易变形工件的找正装置及方法 Download PDF

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CN111702558B CN202010490259.4A CN202010490259A CN111702558B CN 111702558 B CN111702558 B CN 111702558B CN 202010490259 A CN202010490259 A CN 202010490259A CN 111702558 B CN111702558 B CN 111702558B
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Abstract

一种易变形工件的找正装置及方法，属于精密超精密加工领域，包括圆跳动测量系统、微纳米执行系统、夹具系统以及控制系统，圆跳动测量系统包括测量仪底座、横向调节滑杆、连接座、限位螺母、纵向调节滑杆、圆跳动测量仪；微纳米执行系统包括微纳米执行装置、限位装置；夹具系统主要包括夹具、连接板。微纳米执行装置中的微纳米执行器通过底座安装在滑块上；夹具一端与工件相连，另一端与主轴法兰相连；控制系统与圆跳动测量仪、微纳米执行器连接。本发明主要是通过真空吸力装置进行夹紧，通过控制系统对圆跳动所测量的误差进行分析，控制微纳米执行器动作来调整夹具位置，进而调整工件相对于主轴的位置。本发明不直接与工件相接触即可调整工件回转中心位置，避免工件损伤，且测量精度高。

Description

一种易变形工件的找正装置及方法
技术领域
本发明属于精密超精密加工领域，涉及一种易变形工件的找正装置及方法。
背景技术
易变形类工件，如薄壁回转类工件、软质工件等，是航空航天领域和精密物理实验中的一类关键零件，易变形类工件的加工目前主要通过超精密加工工艺来实现，随着对零件形位公差要求的不断提高，目前对易变形类工件的加工精度要求已经达到微米级甚至亚微米级，这就要求工件的定位精度必须达到微米级甚至亚微米级。但是目前常用的找正方法是通过机床的真空吸附装置将工件在水平方向上夹紧，然后再通过人工敲打或机械装置直接作用在工件外壁上来完成工件径向位置的调整，这种方法极其依赖于工人的技术水平，除此之外加工生产过程中如果遇到部分特殊的易变形工件刚性很差，应用传统的机械装置对工件进行找正时，工件的径向夹紧力会使得工件表面产生变形，不仅不能保证壁厚差及其轮廓度要求，甚至还会产生废件。
综上所述，提出了一种针对易变形类工件的找正装置及方法。
发明内容
针对现有技术存在的不足，本发明提出一种针对易变形类工件的找正装置及方法。本装置主要是通过真空吸附装置进行夹紧，控制微纳米执行器动作来调整夹具位置，进而间接调整工件相对于机床回转中心的位置。
为达到上述目的，本发明采用的技术方案为：
一种针对易变形类工件的找正装置，包括圆跳动测量系统、微纳米执行系统、夹具系统以及控制系统。
所述圆跳动测量系统包括测量仪底座4、横向调节滑杆5、连接座6、限位螺母7、纵向调节滑杆8、圆跳动测量仪9。所述圆跳动测量仪9通过测量仪底座4安装在横向调节滑杆5上且垂直于工件10的回转轴线。圆跳动测量仪9可以选用接触式测量仪或非接触式测量仪。在机床主轴1带动工件10旋转后，圆跳动测量仪9可以实现工件10的圆跳动测量，然后将各个数据点进行记录，输入到控制系统的控制器中。横向调节滑杆5通过连接座6与纵向调节滑杆8相连。纵向调节滑杆8与机床工作台11相连。根据不同的工件10的尺寸，通过横向调节滑杆5和纵向调节滑杆8来调整圆跳动测量仪9的位置。限位螺母7在连接座6上，通过调节限位螺母7，使圆跳动测量系统的位置固定。
所述微纳米执行系统包括微纳米执行装置3、限位装置12。
微纳米执行装置3有两个，每个装置分别包括燕尾滑槽31、滑块32、锁紧螺母33、执行器底座34、微纳米执行器35。两个微纳米执行装置3分别通过燕尾滑槽31的螺钉置于连接板14外圆两个相邻四等分点上且滑槽的方向过主轴1的回转中心。锁紧螺母33位于滑块32顶部，当滑块32运动到某一位置时，通过旋紧锁紧螺母33，可以实现微纳米执行装置3的固定。执行器底座34通过螺钉与滑块32相连。微纳米执行器35在执行器底座34上，其主要作用是通过接收控制系统的信号，产生一定量的位移，推动夹具13在连接板14上移动，间接调整工件10和机床回转轴线的相对位置。
所述的限位装置12有两个，每个限位装置12主要包括橡胶片121、弹簧顶座122、限位弹簧123、弹簧底座124、配重块125。两个限位装置12通过弹簧底座124的螺钉置于主轴法兰12外圆两个相邻四等分点上且分别与微纳米执行装置3相对。限位弹簧123一端与弹簧底座124相连，另一端与弹簧顶座122相连。通过限位弹簧123的弹力作用，将夹具13回转中心限定在一定范围内，防止夹具13偏离微纳米执行装置3的可调节区域。橡胶片121粘接在弹簧顶座122上，用于减少夹具13与限位装置12的硬接触，提高夹具13寿命。配重块125位于弹簧顶座122底部，主要用于平衡微纳米执行装置3和限位装置12在旋转过程中的质量偏心，减小圆跳动测量系统的测量误差。
所述的夹具系统主要包括夹具13和连接板14。夹具13主要有真空接头管螺纹孔131、顶丝132、气道133、堵头134、堵头螺纹孔135。夹具13一端与工件10相连，另一端通过机床主轴自带的真空吸力装置和工件10的压力的作用下与连接板14相连。连接板14与主轴法兰15相连。夹具13底部有四条气道133。顶丝132与气道133相连，用于形成封闭空间。真空接头管螺纹孔131位于夹具13底部，主要与机床主轴自带的真空吸力装置相连，实现真空吸附的功能。堵头螺纹孔135也位于夹具13底部，与真空接头管螺纹孔131相对，堵头螺纹孔135与堵头134配合使用，可以针对不同的工件形成不同的真空区A17和真空区B19，以提高装置整体通用性。当堵头134不旋入堵头螺纹孔135时，也会起到增大吸附力的作用，提高整体稳定性。夹具13在微纳米执行器35的作用下会发生移动，以此间接调整工件10和机床回转轴线的相对位置。
所述的控制系统为控制器，分别与圆跳动测量仪9和微纳米执行器35连接。与圆跳动测量仪9连接，用于把圆跳动测量系统传输来的数据点进行处理后，拟合出目前工件10中心的位置(X1,Y1)，计算出工件10中心与主轴回转中心(X0,Y0)的偏心量L，将需要水平和竖直方向微纳米执行器35移动的距离L1、L2转化为微纳米执行器35执行系统的动作指令，并发送给微纳米执行器35，使水平方向微纳米执行器35移动L2距离，然后再使得竖直方向微纳米执行器35移动L1距离，最终将工件10的径向圆跳动限定在要求范围内。与微纳米执行器35连接，控制微纳米执行器35运动，推动夹具13，最终使得工件回转中心到达指定位置。
一种针对易变形类工件的找正方法，包括以下步骤：
第一步，将连接板13安装在主轴法兰14上，安装微纳米执行装置3和限位装置12。
第二步，针对不同类型的工件，选择一种吸附方式。若工件不能与夹具13整体形成密闭空间，则将堵头134旋入堵头螺纹孔135中，形成真空区A17。否则，将堵头134取下，形成另一种真空区B19。
第三步，启动机床主轴自带的空吸力装置将工件10吸附在夹具13上，且将夹具5吸附在连接板13上。在限位装置12的作用下，使工件10的回转中心位于微纳米执行装置3的工作象限内。并通过传统的调整方式使工件10的跳动范围在5～30μm。
第四步，对微纳米执行器35的位置进行调整，使得微纳米执行器35距离夹具13外圆的距离小于微纳米执行器35工作量程的1/5，然后旋紧锁紧螺母33使得装置整体固定。
第五步，调整圆跳动测量仪9到达工件附近后固定，旋紧限位螺母7，启动圆跳动测量仪9，并启动机床的主轴1开始旋转，对工件10的径向跳动进行测量，然后停止机床主轴1的旋转，圆跳动测量仪9将所采集的数据点传输给控制器，控制器对数据进行拟合，将目前工件10的回转中心位置记为(X1,Y1)。
第六步，控制器对工件10回转中心(X1,Y1)与机床主轴回转中心(X0,Y0)的距离
Figure BDA0002520809710000031
和所偏离的夹角
Figure BDA0002520809710000032
信息输出给控制系统的控制器，控制器对结果进行分析计算编码，计算出应该使得水平方向微纳米执行器35移动相应的距离L2＝Lcosβ，竖直方向微纳米执行器35的相应移动距离为L1＝Lsinβ，并启动微纳米执行器35，使得水平方向的微纳米执行器35移动L2，使得竖直方向微纳米执行器35移动L1。
第七步，再次启动机床的主轴开始旋转，对工件10的径向跳动进行测量，如果不满足所要求的定位精度，主轴将停转，将所需调整的距离再次输入给反馈控制系统，再次进行步骤五-步骤七的调整工作，直到满足精度为止。如果测量结果满足要求的定位精度，则主轴不会停转。
本发明的有益效果为：
第一，本发明提供的机械调整装置不直接与工件相接触就可以调整工件回转中心位置，避免了与易变形工件直接接触而导致的工件损伤。夹具可以形成两种真空区，可以针对不同的工件有选择的使用，提高了装置整体的通用性。采用真空气吸力装置，防止夹具在移动过程中的滑移。限位装置可以将工件的回转中心限定在微纳米执行器的工作量程内。其中的配重块可以平衡安装微纳米执行装置所带来的偏心，减少工件震颤，提高测量精度。
第二，本发明通过控制系统控制微纳米执行器的移动来推动固定夹具，能够准确的对工件进行移动。且大部分操作为控制系统自动控制，自动化程度高。
附图说明
图1为本发明的总体外观图；图(a)中工件水平布置，图(b)中工件垂直布置；
图2为本发明的结构布置图；
图3为本发明的微纳米执行装置图；
图4为本发明的限位装置图；
图5为本发明的夹具结构图；(a)为剖视图，(b)为俯视图；
图6为实施例1薄壁轴套的工作原理图；
图7为实施例2薄壁筒状工件的工作原理图；
图8为本发明的工作流程图；
图9为本发明的工作原理图；
图10为本发明的计算说明图。
图中：1机床主轴；2主轴箱；3微纳米执行装置；4测量仪底座；5横向调节滑杆；6连接座；7限位螺母；8纵向调节滑杆；9圆跳动测量仪；10工件；11工作台；12限位装置；13夹具；14连接板；15主轴法兰；16薄壁轴套工件；17真空区A；18薄壁筒状工件；19真空区B；31燕尾滑槽；32滑块；33锁紧螺母；34执行器底座；35微纳米执行器；121橡胶片；122弹簧顶座；123限位弹簧；124弹簧底座；125配重块；131真空接头管螺纹孔；132顶丝；133气道；134堵头；135堵头螺纹孔。
具体实施方式
为使得本发明的发明目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，以下参照附图并结合具体实施方式来进一步描述本发明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施，本发明保护范围并不受限于该具体实施方式。显然，下面所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而非全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例1：
一种如图6所示的针对易变形类薄壁轴套工件16的找正装置，所述的找正装置包括圆跳动测量系统、微纳米执行系统、夹具系统以及控制系统。
所述圆跳动测量系统包括测量仪底座4、横向调节滑杆5、连接座6、限位螺母7、纵向调节滑杆8、圆跳动测量仪9。所述圆跳动测量仪9通过测量仪底座4安装在横向调节滑杆5上且垂直于工件10的回转轴线。圆跳动测量仪9可以选用接触式测量仪。横向调节滑杆5通过连接座6与纵向调节滑杆8相连。纵向调节滑杆8与机床工作台11相连。限位螺母7在连接座6上。
所述微纳米执行系统包括微纳米执行装置3、限位装置12。
微纳米执行装置3有两个，每个装置分别包括燕尾滑槽31、滑块32、锁紧螺母33、执行器底座34、微纳米执行器35。两个微纳米执行装置3分别通过燕尾滑槽31的螺钉置于连接板14外圆两个相邻四等分点上且滑槽的方向过主轴1的回转中心。锁紧螺母33位于滑块32顶部。执行器底座34通过螺钉与滑块32相连。微纳米执行器35在执行器底座34上。
所述的限位装置12有两个，每个限位装置12主要包括橡胶片121、弹簧顶座122、限位弹簧123、弹簧底座124、配重块125。两个限位装置12通过弹簧底座124的螺钉置于主轴法兰12外圆两个相邻四等分点上且分别与微纳米执行装置3相对。限位弹簧123一端与弹簧底座124相连，另一端与弹簧顶座122相连。橡胶片121粘接在弹簧顶座122上。配重块125位于弹簧顶座122底部。
所述的夹具系统主要包括夹具13和连接板14。夹具13主要有真空接头管螺纹孔131、顶丝132、气道133、堵头134、堵头螺纹孔135。夹具13一端与工件10相连，另一端通过机床主轴自带的真空吸力装置和工件10的压力的作用下与连接板14相连。连接板14与主轴法兰15相连。夹具13底部有四条气道133。顶丝132与气道133相连。堵头螺纹孔135也位于夹具13底部，与真空接头管螺纹孔131相对，堵头螺纹孔135与堵头134配合使用。
所述的控制系统为控制器，分别与圆跳动测量仪9和微纳米执行器35连接。
一种如图6所示针对易变形类薄壁轴套工件16的找正方法，定位流程如图9、10所示，包括以下步骤：
第一步，将连接板13安装在主轴法兰14上，安装微纳米执行装置3和限位装置12。
第二步，针对薄壁轴套工件16特点，将堵头134旋入堵头螺纹孔135中。
第三步，启动机床主轴自带的空吸力装置将薄壁轴套工件16吸附在夹具13上，且将夹具5吸附在连接板13上。在限位装置12的作用下，使薄壁轴套工件16的回转中心位于微纳米执行装置3的工作象限内。并通过传统的调整方式使薄壁轴套工件16跳动范围在5～30μm。
第四步，对微纳米执行器35的位置进行调整，使得微纳米执行器35距离夹具13外圆的距离小于微纳米执行器35工作量程的1/5，然后旋紧锁紧螺母33使得装置整体固定。
第五步，调整圆跳动测量仪9选用接触式测量仪，到达工件正上方使测头与工件微接触后固定，旋紧限位螺母7，启动圆跳动测量仪9，并启动机床的主轴1开始旋转，对薄壁轴套工件16的径向跳动进行测量，然后停止机床主轴1的旋转，圆跳动测量仪9将所采集的数据点传输给控制器，控制器对数据进行拟合，将目前薄壁轴套工件16的回转中心位置记为(X1,Y1)。
第六步，控制器对薄壁轴套工件16回转中心(X1,Y1)与机床主轴回转中心(X0,Y0)的距离
Figure BDA0002520809710000061
和所偏离的夹角
Figure BDA0002520809710000062
信息输出给控制系统的控制器，控制器对结果进行分析计算编码，计算出应该使得水平方向微纳米执行器35移动相应的距离L2＝Lcosβ，竖直方向微纳米执行器35的相应移动距离为L1＝Lsinβ，并启动微纳米执行器35，使得水平方向的微纳米执行器35移动L2，使得竖直方向微纳米执行器35移动L1。
第七步，再次启动机床的主轴开始旋转，对薄壁轴套工件16的径向跳动进行测量，如果不满足所要求的定位精度，主轴将停转，将所需调整的距离再次输入给反馈控制系统，再次进行步骤五-步骤七的调整工作，直到满足精度为止。如果测量结果满足要求的定位精度，则主轴不会停转。
实施例2：
一种如图7所示的针对易变形类薄壁筒状工件18的找正装置与实施例1类似，仅针对实施方法有一定差异。
一种如图7所示的针对易变形类薄壁筒状工件18的找正方法，定位流程如图9、10所示，包括以下步骤：
第一步，将连接板13安装在主轴法兰14上，安装微纳米执行装置3和限位装置12。
第二步，针对易变形类薄壁筒状工件18工件特点，将堵头134取下。
第三步，启动机床主轴自带的空吸力装置将薄壁筒状工件18吸附在夹具13上，且将夹具5吸附在连接板13上。在限位装置12的作用下，使薄壁筒状工件18的回转中心位于微纳米执行装置3的工作象限内。并通过传统的调整方式使薄壁筒状工件18的跳动范围在5～30μm。
第四步，对微纳米执行器35的位置进行调整，使得微纳米执行器35距离夹具13外圆的距离小于微纳米执行器35工作量程的1/5，然后旋紧锁紧螺母33使得装置整体固定。
第五步，圆跳动测量仪9选用非接触式测量仪，调整圆跳动测量仪9到达工件上方距工件一定10-12mm后固定，旋紧限位螺母7，启动圆跳动测量仪9，并启动机床的主轴1开始旋转，对薄壁筒状工件18的径向跳动进行测量，然后停止机床主轴1的旋转，圆跳动测量仪9将所采集的数据点传输给控制器，控制器对数据进行拟合，将目前薄壁筒状工件18的回转中心位置记为(X1,Y1)。
第六步，控制器对薄壁筒状工件18回转中心(X1,Y1)与机床主轴回转中心(X0,Y0)的距离
Figure BDA0002520809710000071
和所偏离的夹角
Figure BDA0002520809710000072
信息输出给控制系统的控制器，控制器对结果进行分析计算编码，计算出应该使得水平方向微纳米执行器35移动相应的距离L2＝Lcosβ，竖直方向微纳米执行器35的相应移动距离为L1＝Lsinβ，并启动微纳米执行器35，使得水平方向的微纳米执行器35移动L2，使得竖直方向微纳米执行器35移动L1。
第七步，再次启动机床的主轴开始旋转，对薄壁筒状工件18的径向跳动进行测量，如果不满足所要求的定位精度，主轴将停转，将所需调整的距离再次输入给反馈控制系统，再次进行步骤五-步骤七的调整工作，直到满足精度为止。如果测量结果满足要求的定位精度，则主轴不会停转。
以上所述实施例仅表达本发明的实施方式，但并不能因此而理解为对本发明专利的范围的限制，应当指出，对于本领域的技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些均属于本发明的保护范围。

Claims (3)

1.一种易变形工件的找正装置，其特征在于，所述的找正装置包括圆跳动测量系统、微纳米执行系统、夹具系统以及控制系统；
所述圆跳动测量系统包括测量仪底座(4)、横向滑杆(5)、连接座(6)、限位螺母(7)、纵向滑杆(8)、圆跳动测量仪(9)；所述圆跳动测量仪(9)通过测量仪底座(4)安装在横向滑杆(5)上且垂直于工件(10)的回转轴线；圆跳动测量仪(9)可以为接触式测量仪或非接触式测量仪；在机床主轴(1)带动工件(10)旋转后，圆跳动测量仪(9)可以实现工件(10)的圆跳动测量，然后将各个数据点进行记录，输入到控制系统的控制器中；横向滑杆(5)通过连接座(6)与纵向滑杆(8)相连；纵向滑杆(8)与机床工作台(11)相连；根据不同的工件(10)的尺寸，通过横向滑杆(5)和纵向滑杆(8)来调整圆跳动测量仪(9)的位置；限位螺母(7)在连接座(6)上，通过调节限位螺母(7)，使圆跳动测量系统的位置固定；
所述微纳米执行系统包括微纳米执行装置(3)、限位装置(12)；
微纳米执行装置(3)有两个，每个装置分别包括燕尾滑槽(31)、滑块(32)、锁紧螺母(33)、执行器底座(34)、微纳米执行器(35)；两个微纳米执行装置(3)分别通过燕尾滑槽(31)的螺钉置于连接板(14)外圆两个相邻四等分点上且滑槽的方向过主轴(1)的回转中心；锁紧螺母(33)位于滑块(32)顶部，当滑块(32)运动到某一位置时，通过旋紧锁紧螺母(33)，可以实现微纳米执行装置(3)的固定；执行器底座(34)通过螺钉与滑块(32)相连；微纳米执行器(35)在执行器底座(34)上，其主要作用是通过接收控制系统的信号，产生一定量的位移，推动夹具(13)在连接板(14)上移动，间接调整工件(10)和机床回转轴线的相对位置；
所述的限位装置(12)有两个，每个限位装置(12)主要包括橡胶片(121)、弹簧顶座(122)、限位弹簧(123)、弹簧底座(124)、配重块(125)；两个限位装置(12)通过弹簧底座(124)的螺钉置于主轴法兰(15)外圆两个相邻四等分点上且分别与微纳米执行装置(3)相对；限位弹簧(123)一端与弹簧底座(124)相连，另一端与弹簧顶座(122)相连；通过限位弹簧(123)的弹力作用，将夹具(13)回转中心限定在一定范围内，防止夹具(13)偏离微纳米执行装置(3)的可调节区域；橡胶片(121)粘接在弹簧顶座(122)上，用于减少夹具(13)与限位装置(12)的硬接触，提高夹具(13)寿命；配重块(125)位于弹簧顶座(122)底部，主要用于平衡微纳米执行装置3和限位装置12在旋转过程中的质量偏心，减小圆跳动测量系统的测量误差；
所述的夹具系统主要包括夹具(13)和连接板(14)；夹具(13)主要有真空接头管螺纹孔(131)、顶丝(132)、气道(133)、堵头(134)、堵头螺纹孔(135)；夹具(13)一端与工件(10)相连，另一端通过机床主轴自带的真空吸力装置和工件(10)的压力的作用下与连接板(14)相连；连接板(14)与主轴法兰(15)相连；夹具(13)底部有四条气道(133)；顶丝(132)与气道(133)相连，用于形成封闭空间；真空接头管螺纹孔(131)位于夹具(13)底部，主要与机床主轴自带的真空吸力装置相连，实现真空吸附的功能；堵头螺纹孔(135)也位于夹具(13)底部，与真空接头管螺纹孔(131)相对，堵头螺纹孔(135)与堵头(134)配合使用，可以针对不同的工件形成不同的真空区A(17)和真空区B(19)，以提高装置整体通用性；当堵头(134)不旋入堵头螺纹孔(135)时，也会起到增大吸附力的作用，提高整体稳定性；夹具(13)在微纳米执行器(35)的作用下会发生移动，以此间接调整工件(10)和机床回转轴线的相对位置；
所述的控制系统为控制器，分别与圆跳动测量仪(9)和微纳米执行器(35)连接；与圆跳动测量仪(9)连接，用于把圆跳动测量系统传输来的数据点进行处理后，拟合出目前工件(10)中心的位置(X1,Y1)，计算出工件(10)中心与主轴回转中心(X0,Y0)的偏心量L，将需要水平和竖直方向微纳米执行器(35)移动的距离L1、L2转化为微纳米执行器(35)执行系统的动作指令，并发送给微纳米执行器(35)，使水平方向微纳米执行器(35)移动L2距离，然后再使得竖直方向微纳米执行器(35)移动L1距离，最终将工件(10)的径向圆跳动限定在要求范围内；与微纳米执行器(35)连接，控制微纳米执行器(35)运动，推动夹具(13)，最终使得工件回转中心到达指定位置。
2.根据权利要求1所述的易变形工件的找正装置，其特征在于，圆跳动测量仪(9)可选为接触式测量仪或非接触式测量仪；通过调整夹具(13)的位置来间接调整工件位置，避免了与易变形工件的直接接触；通过夹具(13)中堵头螺纹孔(135)与堵头(134)配合使用，可以针对不同的工件形成不同的真空区A(17)和真空区B(19)；当堵头(134)不旋入堵头螺纹孔(135)时，也会起到增大吸附力的作用。
3.一种基于权利要求1或2所述的找正装置实现的易变形工件定位方法，其特征在于，包括以下步骤：
第一步，将连接板(14)安装在主轴法兰(15)上，安装微纳米执行装置(3)和限位装置(12)；
第二步，针对不同类型的工件，选择一种吸附方式；若工件不能与夹具(13)整体形成密闭空间，则将堵头(134)旋入堵头螺纹孔(135)中，形成真空区A(17)；否则，将堵头(134)取下，形成另一种真空区B(19)；
第三步，启动机床主轴自带的空吸力装置将工件(10)吸附在夹具(13)上，且将夹具(13)吸附在连接板(14)上；在限位装置(12)的作用下，使工件(10)的回转中心位于微纳米执行装置(3)的工作象限内；并通过传统的调整方式使工件(10)的跳动范围在5～30μm；
第四步，对微纳米执行器(35)的位置进行调整，使得微纳米执行器(35)距离夹具(13)外圆的距离小于微纳米执行器(35)工作量程的1/5，然后旋紧锁紧螺母(33)使得装置整体固定；
第五步，圆跳动测量仪(9)可选为接触式测量仪或非接触式测量仪，调整圆跳动测量仪(9)到达工件附近后固定，旋紧限位螺母(7)，启动圆跳动测量仪(9)，并启动机床的主轴(1)开始旋转，对工件(10)的径向跳动进行测量，然后停止机床主轴(1)的旋转，圆跳动测量仪(9)将所采集的数据点传输给控制器，控制器对数据进行拟合，将目前工件(10)的回转中心位置记为(X1,Y1)；
第六步，控制器对工件(10)回转中心(X1,Y1)与机床主轴回转中心(X0,Y0)的距离
Figure FDA0003026075330000031
和所偏离的夹角
Figure FDA0003026075330000032
信息输出给控制系统的控制器，控制器对结果进行分析计算编码，计算出应该使得水平方向微纳米执行器(35)移动相应的距离L2＝Lcosβ，竖直方向微纳米执行器(35)的相应移动距离为L1＝Lsinβ，并启动微纳米执行器(35)，使得水平方向的微纳米执行器(35)移动L2，使得竖直方向微纳米执行器(35)移动L1；
第七步，再次启动机床的主轴开始旋转，对工件(10)的径向跳动进行测量，如果不满足所要求的定位精度，主轴将停转，将所需调整的距离再次输入给反馈控制系统，再次进行步骤五-步骤七的调整工作，直到满足精度为止；如果测量结果满足要求的定位精度，则主轴不会停转。
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