CN111665876A - 炉压异常的处理方法、设备及存储介质 - Google Patents

Abstract

本公开提供一种炉压异常的处理方法、设备及存储介质，涉及单晶炉控制系统领域，能够对炉压异常进行分类，并针对不同异常情况进行对应的炉压调节处理和报警处理。具体技术方案为：获取单晶炉炉体内的当前炉压；确定当前炉压与至少一个预设压强阈值的大小关系；根据大小关系进行相应的炉压调节处理和报警处理。本发明用于单晶炉炉压监控调节。

Description

炉压异常的处理方法、设备及存储介质

技术领域

本公开涉及单晶炉控制系统领域，尤其涉及一种炉压异常的处理方法、设备及存储介质。

背景技术

直拉单晶制造法(Czochralski，CZ法)是制备单晶硅的方法之一，在晶体硅制备过程中，需要向单晶炉的炉体内通入惰性气体，以保证晶体硅在惰性环境中生长。为了保证正常拉晶，现有的炉压检测处理系统，能够自动检测炉体内压强，当炉体内压强发生变化时，控制系统通过调节单晶炉的节流阀开度，使炉体内的炉压维持在晶体正常生长所需的压强范围内。

随着对拉晶成本降低的迫切需求，坩埚尺寸不断变大，坩埚内的容料量也越来越多，随之可能会出现一些设备异常、人为误操作等导致漏硅、埚裂等意外事故发生。在漏硅、埚裂等意外事故发生时，炉压会升高，超过晶体正常生长所需的压强范围。当节流阀调节幅度超过调节压强阈值时，现有炉压检测处理系统会进行报警处理，但是不能针对不同的炉压异常情况进行对应的异常处理，使得操作人员不能及时了解炉压异常情况以及进行相应的处理。

发明内容

本公开实施例提供一种炉压异常的处理方法、设备及存储介质，能够对炉压异常进行分类，并针对不同异常情况进行对应的炉压调节处理和报警处理。所述技术方案如下：

根据本公开实施例的第一方面，提供一种炉压异常的处理方法，该方法包括：

获取单晶炉炉体内的当前炉压；

确定当前炉压与至少一个预设压强阈值的大小关系；

根据大小关系进行相应的炉压调节处理和报警处理。

通过预先设置多个压强阈值，可以将炉压异常情况进行分类，并针对不同的异常情况进行对应的炉压调节处理，同时，针对不同的异常情况设置对应的报警提示，及时提醒人工确认，以便操作人员及时了解单晶炉的异常情况，提高监控效率。

在第一方面的第一种可能实现方式中，至少一个预设压强阈值包括：第一预设压强阈值、第二预设压强阈值，第一预设压强阈值小于第二预设压强阈值；

当前炉压与至少一个预设压强阈值的大小关系包括：当前炉压小于第一压强预设阈值、当前炉压大于或等于第一预设压强阈值且小于第二预设压强阈值、当前炉压大于或等于第二预设压强阈值。

在第一方面的第二种可能实现方式中，根据大小关系进行相应的炉压调节处理和报警处理包括：

在当前炉压小于第一预设压强阈值时，调节节流阀的开度；

在当前炉压大于或等于第一预设压强阈值且小于第二预设压强阈值时，调节节流阀的开度以及触发第一报警提示；

在当前炉压大于或等于第二预设压强阈值时，控制进气阀关闭及出气阀打开、调节节流阀开度至最大以及触发第三报警提示。

在第一方面的第三种可能实现方式中，在炉压大于或等于第一预设压强阈值且小于第二预设压强阈值时，调节节流阀的开度以及触发第一报警提示之后，方法还包括：

判断第一报警提示的报警持续时间是否超过预设时间阈值；

在报警持续时间超过预设时间阈值且当前炉压大于或等于第一预设压强阈值且小于第二预设压强阈值时，调节节流阀开度至最大并触发第二报警提示；

在报警持续时间超过预设报警时间且当前炉压小于第一预设压强阈值时，调节节流阀的开度并关闭报警提示。

在第一方面的第四种可能实现方式中，至少一个预设压强阈值还包括：第三预设压强阈值，第二预设压强阈值小于第三预设压强阈值；

当前炉压与至少一个预设压强阈值的大小关系还包括：当前炉压大于或等于第二预设压强阈值且小于第三预设压强阈值、当前炉压大于或等于第三预设压强阈值。

在第一方面的第五种可能实现方式中，根据大小关系进行相应的炉压调节处理和报警处理还包括：

在当前炉压大于或等于第二预设压强阈值且小于第三预设压强阈值时，控制进气阀关闭及出气阀打开、调节节流阀开度至最大以及触发第三报警提示；

在当前炉压大于或等于第三预设压强阈值时，控制进气阀关闭及出气阀打开、调节节流阀开度至最大、控制单晶炉中的坩埚下降以及触发第四报警提示。

在第一方面的第六种可能实现方式中，获取单晶炉炉体内的当前炉压之前，该方法还包括：

检测单晶炉的炉体加热器是否开启以及检测单晶炉是否为非停炉状态；

在单晶炉的炉体加热器开启且单晶炉为非停炉状态时，检测单晶炉的抽气装置是否开启；

获取单晶炉炉体内的炉压包括：在抽气装置开启时，获取单晶炉炉体内的当前炉压。

在第一方面的第七种可能实现方式中，在抽气装置未开启时，控制单晶炉的进气阀和出气阀处于关闭状态。

根据本公开实施例的第二方面，提供一种炉压异常的处理装置，包括：

获取模块，用于获取单晶炉炉体内的当前炉压；

确定模块，用于确定当前炉压与至少一个预设压强阈值的大小关系；

处理模块，用于根据大小关系进行相应的炉压调节处理和报警处理。

在第二方面的第一种可能实现方式中，至少一个预设压强阈值包括：第一预设压强阈值、第二预设压强阈值，第一预设压强阈值小于第二预设压强阈值；

当前炉压与至少一个预设压强阈值的大小关系包括：当前炉压小于第一压强预设阈值、当前炉压大于或等于第一预设压强阈值且小于第二预设压强阈值、当前炉压大于或等于第二预设压强阈值。

在第二方面的第二种可能实现方式中，

处理模块，用于在当前炉压小于第一预设压强阈值时，调节节流阀的开度；

处理模块，用于在当前炉压大于或等于第一预设压强阈值且小于第二预设压强阈值时，调节节流阀的开度以及触发第一报警提示；

处理模块，用于在当前炉压大于或等于第二预设压强阈值时，控制进气阀关闭及出气阀打开、调节节流阀开度至最大以及触发第三报警提示。

在第二方面的第三种可能实现方式中，炉压异常的处理装置还包括：判断模块；

判断模块，用于判断第一报警提示的报警持续时间是否超过预设时间阈值；

处理模块，用于在报警持续时间超过预设时间阈值且当前炉压大于或等于第一预设压强阈值且小于第二预设压强阈值时，调节节流阀开度至最大并触发第二报警提示；

处理模块，用于在报警持续时间超过预设报警时间且当前炉压小于第一预设压强阈值时，调节节流阀的开度并关闭报警提示。

在第二方面的第四种可能实现方式中，至少一个预设压强阈值还包括：第三预设压强阈值，第二预设压强阈值小于第三预设压强阈值；

当前炉压与至少一个预设压强阈值的大小关系还包括：当前炉压大于或等于第二预设压强阈值且小于第三预设压强阈值、当前炉压大于或等于第三预设压强阈值。

在第二方面的第五种可能实现方式中，处理模块，用于在当前炉压大于或等于第二预设压强阈值且小于第三预设压强阈值时，控制进气阀关闭及出气阀打开、调节节流阀开度至最大以及触发第三报警提示；

处理模块，用于在当前炉压大于或等于第三预设压强阈值时，控制进气阀关闭及出气阀打开、调节节流阀开度至最大、控制单晶炉中的坩埚下降以及触发第四报警提示。

在第二方面的第六种可能实现方式中，炉压异常的处理装置还包括：检测模块；

检测模块，用于检测单晶炉的炉体加热器是否开启以及检测单晶炉是否为非停炉状态；

检测模块，用于在单晶炉的炉体加热器开启且单晶炉为非停炉状态时，检测单晶炉的抽气装置是否开启；

获取模块，用于在抽气装置开启时，获取单晶炉炉体内的当前炉压。

在第二方面的第七种可能实现方式中，获取模块，用于通过炉压检测传感器获取单晶炉炉体内的当前炉压。

根据本公开实施例的第三方面，提供一种炉压异常的处理设备，炉压异常的处理设备包括处理器和存储器，存储器中存储有至少一条计算机指令，指令由处理器加载并执行以实现第一方面以及第一方面的任一实施例所描述的炉压异常的处理方法中所执行的步骤。

根据本公开实施例的第四方面，提供一种计算机可读存储介质，存储介质中存储有至少一条计算机指令，指令由处理器加载并执行以实现第一方面以及第一方面的任一实施例所描述的炉压异常的处理方法中所执行的步骤。

应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本公开。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并与说明书一起用于解释本公开的原理。

图1是本公开实施例提供的一种炉压异常的处理方法的流程图；

图2是本公开实施例提供的一种单晶炉的结构示意图；

图3是本公开实施例提供的一种炉压异常的处理方法的流程示意图；

图4是本公开实施例提供的一种炉压异常的处理方法的流程示意图；

图5是本公开实施例提供的一种炉压异常的处理装置的结构图；

图6是本公开实施例提供的一种炉压异常的处理装置的结构图；

图7是本公开实施例提供的一种炉压异常的处理装置的结构图；

图8是本公开实施例提供的一种炉压异常的处理设备的结构图。

10--单晶炉、11--提拉头、12--提拉绳、13--坩埚、14--进气管道、140--进气阀、15--排气管道、150--出气阀、151--节流阀、16--炉压检测器、20--晶棒。

具体实施方式

这里将详细地对示例性实施例进行说明，其示例表示在附图中。下面的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。以下示例性实施例中所描述的实施方式并不代表与本公开相一致的所有实施方式。相反，它们仅是与如所附权利要求书中所详述的、本公开的一些方面相一致的装置和方法的例子。

实施例一

本公开实施例提供一种炉压异常的处理方法，如图1所示，该炉压异常的处理方法包括以下步骤：

101、获取单晶炉炉体内的当前炉压。

在本公开的实施例中，获取单晶炉炉体内的炉压包括：接收炉压检测设备发送的单晶炉炉体内的当前炉压。炉压检测设备可以是压力传感器、压力测量仪等，炉压检测设备可以设置在单晶炉的排气管道、进气管道、单晶炉壳体等地方，只要能够检测炉体内的压强即可。

102、确定当前炉压与至少一个预设压强阈值的大小关系。

在第一个示例中，至少一个预设压强阈值包括第一预设压强阈值和第二预设压强阈值，第一预设压强阈值小于第二预设压强阈值。那么，确定当前炉压与至少一个预设压强阈值的大小关系包括：比较当前炉压与第一预设压强阈值、第二预设压强阈值的大小，因此，当前炉压与至少一个预设压强阈值的大小关系包括三种情况：

A1：当前炉压小于第一预设压强阈值；

A2：当前炉压大于或等于第一预设压强阈值且小于第二预设压强阈值；

A3：当前炉压大于或等于第二预设压强阈值。

在第二个示例中，至少一个预设压强阈值包括第一预设压强阈值、第二预设压强阈值、第三预设压强阈值，第一预设压强阈值小于第二预设压强阈值，第二预设压强阈值小于第三预设压强阈值。那么，当前炉压与至少一个预设压强阈值的大小关系包括四种情况：

B1：当前炉压小于第一预设压强阈值；

B2：当前炉压大于或等于第一预设压强阈值且小于第二预设压强阈值；

B3：当前炉压大于或等于第二预设压强阈值且小于第三预设压强阈值；

B4：当前炉压大于或等于第三预设压强阈值。

需要说明的是，第一个示例中和第二个示例中的第一预设压强阈值和第二预设压强阈值可以相同，也可以不同，具体根据晶体生长工艺、晶体品质要求、不同单晶炉的炉体结构等依据经验值综合确定。当然，还可以设置多个其他压强阈值。

103、根据大小关系进行相应的炉压调节处理和报警处理。

基于步骤102中的第一个示例所描述的大小关系，根据大小关系进行相应的炉压调节处理和报警处理包括：

在当前炉压小于第一预设压强阈值时，调节节流阀的开度；

在当前炉压大于或等于第一预设压强阈值且小于第二预设压强阈值时，调节节流阀的开度以及触发第一报警提示；

在当前炉压大于或等于第二预设压强阈值时，控制进气阀关闭及出气阀打开、调节节流阀开度至最大以及触发第三报警提示。

通过设置多个压强阈值，可以将炉压异常情形进行分类，针对不同异常情形进行有针对性的处理；同时，在炉压出现异常时，设置多个类型报警提示，有助于操作人员根据不同报警类型判断当前异常情况。需要说明的是，报警提示可以是不同类型的报警提示音，也可以是不同强度的报警提示音，或与不同颜色的报警灯等其他方式结合，能够产生多种不同类型的报警提示即可，本公开实施例对此不加任何限定。

进一步的，在第一报警触发后，判断第一报警提示的报警持续时间是否超过预设时间阈值；在报警持续时间超过预设时间阈值且当前炉压大于或等于第一预设压强阈值且小于第二预设压强阈值时，调节节流阀开度至最大并触发第二报警提示；在报警持续时间超过预设报警时间且当前炉压小于第一预设压强阈值时，调节节流阀的开度并关闭报警提示。通过设置报警持续时间，给出人工确认时间，便于人工排除设备自身存在的误报等故障，同时，在报警持续时间结束后对单晶炉炉体内的炉压再次进行判断，已进行对应的炉压异常处理调节。

基于步骤102中的第二个示例所描述的大小关系，根据大小关系进行相应的炉压调节处理和报警处理包括：

在当前炉压小于第一预设压强阈值时，调节节流阀的开度；

在当前炉压大于或等于第一预设压强阈值且小于第二预设压强阈值时，调节节流阀的开度以及触发第一报警提示；

在当前炉压大于或等于第二预设压强阈值且小于第三预设压强阈值时，控制进气阀关闭及出气阀打开、调节节流阀开度至最大以及触发第三报警提示；

在当前炉压大于或等于第三预设压强阈值时，控制进气阀关闭及出气阀打开、调节节流阀开度至最大、控制单晶炉中的坩埚下降以及触发第四报警提示。

本公开实施例提供的炉压异常的处理方法，获取单晶炉炉体内的当前炉压，确定当前炉压与至少一个预设压强阈值的大小关系，根据大小关系进行相应的炉压调节处理。通过预先设置多个压强阈值，可以将炉压异常情况进行分类，并针对不同的异常情况进行对应的炉压调节处理，同时，针对不同的异常情况设置对应的报警提示，及时提醒人工确认，以便操作人员及时了解单晶炉的异常情况，提高监控及处理效率。

实施例二

基于上述图1对应的实施例提供的炉压异常的处理方法，本公开另一实施例提供一种炉压异常的处理方法。在介绍本公开实施例之前，首先介绍单晶炉的结构。如图2所示为本公开实施例采用的单晶炉10，单晶炉10包括提拉头11、提拉绳12和坩埚13，坩埚13内容纳有硅料，在坩埚13底部和四周设置有加热器，加热器加热硅料以形成硅熔体。在晶体制备过程中，首先引入籽晶(图1中未示出)，籽晶一端与提拉绳12连接，另一端浸入硅熔体，然后由提拉头11控制提拉绳12上升，拉制晶棒20。

单晶炉10炉体壳体上设置有进气管道14和排气管道15，在进气管道14处设置有进气阀140，以控制气体进入炉体；在排气管道15处设置有出气阀150和节流阀151，出气阀150控制气体的流通，节流阀151控制气体流量。当然，节流阀也可以设置在进气管道。在排气管道15外还设置有抽气装置(图1中未示出)，抽气装置与排气管道15连通，抽气装置用于抽出炉体内的气体。在晶体生长过程中，从进气管道14向单晶炉10炉体内通入惰性气体，并由排气管道15排出，通过调节节流阀151的开度控制气体流量，进而调节炉体内的压强值，使炉体内压强维持在设定的范围内。

本公开实施例采用的炉压异常的处理系统，包括PLC(Programmable LogicController，可编程逻辑控制器)控制系统、炉压检测器和报警装置，PLC控制系统分别与炉压检测器和报警装置信号连接。PLC控制系统控制加热器、抽气装置、进气阀140、出气阀150和节流阀151等炉体上装置的工作状态。炉压检测器16采用压强传感器，设置在排气管道15上，当然也可以设置在单晶炉10其他地方，比如进气管道14、单晶炉10炉体壳体等，能够检测炉体内的压强值即可。报警装置设置有多个类型报警提示，具体地，采用3种或以上不同类报警提示音进行报警提示；当然，也可以根据报警提示音的强度进行多级报警提示，或与其他方式结合，能够产生多种不同类型的报警提示即可。

在本公开实施例中，PLC控制系统内设置三个炉压压强阈值，包括：一级压强阈值P1、二级压强阈值P2和三级压强阈值P3，P1<P2<P3；PLC控制系统根据单晶炉的压强值P与一级压强阈值P1、二级压强阈值P2和三级压强阈值P3的大小关系，由控制系统进行对应异常处理。同时，在报警装置中设置多类报警提示。

参照图3所示，本实施例提供的炉压异常的处理方法的流程示意图。具体的，包括：

在PLC控制系统启动后，PLC控制系统循环检测加热器是否开启、单晶炉是否为非停炉状态。在PLC控制系统检测出加热器未开启和/或单晶炉处于停炉状态时，继续循环检测。在PLC控制系统检测出加热器开启且单晶炉处于非停炉状态时，PLC控制系统检测抽气装置是否开启。在PLC控制系统检测抽气装置未开启时，PLC控制系统控制进气阀140、出气阀150处于关闭状态；在PLC控制系统检测抽气装置开启时，PLC控制系统开始实时判断炉体内的压强值P与多个压强阈值P1、P2、P3的大小关系，并进行对应的异常处理。

首先，PLC控制系统判断P是否小于P1，在PLC控制系统判断P小于P1时，对应的异常处理为控制系统自动调节节流阀开度。PLC控制系统自动调节节流阀151开度，调节气体流量以调节炉体内的压强值。该异常处理属于晶体生长过程炉体压强的正常处理。

然后，在PLC控制系统判断P不小于P1时，判断P是否大于或等于P1且小于P2，在P1≤P＜P2时，对应的异常处理为PLC控制系统自动调节节流阀151开度；报警装置采用一级报警提示，并设置报警持续时间T。

判断报警持续时间是否超过T，若超过报警持续时间T后，PLC控制系统判断炉体内的压强值P仍然是P1≤P＜P2，对应的异常处理为PLC控制系统调节节流阀开度至最大，报警装置采用二级报警提示；若超过报警持续时间T后，PLC控制系统判断炉体内的压强值P<P1，对应的异常处理为PLC控制系统自动调节节流阀开度，报警装置撤销报警提示。设置报警持续时间T，便于操作人员对该异常情况进行确认，排除设备自身存在的误报等故障。

其次，在PLC控制系统判断P不大于或等于P1且小于P2时，判断P是否大于或等于P2且小于P3。在P2≤P＜P3时，对应的异常处理为PLC控制系统控制进气阀处于关闭状态、出气阀处于打开状态，并调节节流阀开度至最大。报警装置采用三级报警提示。此时采用三级报警提示操作人员当前的炉体异常情况。

再次，在PLC控制系统判断P不满足大于或等于P2且小于P3时，判断P是否大于或等于P3，在P≥P3时，对应的异常处理为PLC控制系统控制进气阀处于关闭状态、出气阀处于打开状态，并调节节流阀开度至最大，并控制坩埚下降，使晶体与硅熔体脱离；报警装置采用四级报警提示。控制坩埚下降，使晶体与硅熔体脱离，停止晶体生长，减少对晶体品质的影响。

本公开实施例提供的炉压异常的处理方法，获取单晶炉炉体内的当前炉压，确定当前炉压与至少一个预设压强阈值的大小关系，根据大小关系进行相应的炉压调节处理。通过预先设置多个压强阈值，可以将炉压异常情况进行分类，并针对不同的异常情况进行对应的炉压调节处理，便于操作人员及时了解单晶炉的异常情况，提高监控及处理效率。

实施例三

基于上述图1对应的实施例提供的炉压异常的处理方法和图2所描述的单晶炉，本公开另一实施例提供一种炉压异常的处理方法。在本公开实施例中，采用如实施例二所述的炉压检测处理系统，PLC控制系统内设置两个炉压压强阈值，包括：一级压强阈值Y1和二级压强阈值Y2，PLC控制系统根据压强值P与一级压强阈值Y1和二级压强阈值Y2的大小关系，由PLC控制系统进行对应异常处理；报警装置根据压强值P与一级压强阈值Y1和二级压强阈值Y2的大小关系，报警装置采用对应类型报警提示。

如图4所示，为本实施例提供的炉压异常的处理方法流程示意图。具体的，包括：

在PLC控制系统启动后，PLC控制系统循环检测加热器是否开启、单晶炉是否为非停炉状态。在PLC控制系统检测出加热器未开启和/或单晶炉处于停炉状态时，继续循环检测。在PLC控制系统检测出加热器开启且单晶炉处于非停炉状态时，PLC控制系统检测抽气装置是否开启。在PLC控制系统检测抽气装置未开启时，PLC控制系统控制进气阀140、出气阀150处于关闭状态；在PLC控制系统检测抽气装置开启时，PLC控制系统开始实时判断炉体内的压强值P与多个压强阈值Y1、Y2的大小关系，并进行对应的异常处理。

首先，PLC控制系统判断炉压值P是否小于Y1，在P<Y1时，对应的异常处理为PLC控制系统自动调节节流阀151开度，调节气体流量以调节炉体内的压强值。

其次，PLC控制系统判断炉压值P是否大于或等于Y1且小于Y2，在Y1≤P＜Y2时，对应的异常处理为控制系统自动调节节流阀开度；报警装置采用一级报警提示，并设置报警持续时间T。

若超过报警持续时间T后，PLC控制系统判断炉体内的压强值P仍然是Y1≤P＜Y2，对应的异常处理为控制系统调节节流阀开度至最大，报警装置采用二级报警提示；若超过报警持续时间T后，PLC控制系统判断炉体内的压强值P，P<Y1，对应的异常处理为控制系统自动调节节流阀开度，报警装置撤销报警提示。

再次，PLC控制系统判断炉压值P是否大于或等于Y2，在P≥Y2时，对应的异常处理为PLC控制系统控制进气阀处于关闭状态、出气阀处于打开状态，并调节节流阀开度至最大，并控制坩埚下降，使晶体与硅熔体脱离；报警装置采用三级报警提示。

本公开实施例提供的炉压异常的处理方法，通过设置多个压强阈值，由控制系统判断炉体内压强的值P与压强阈值的大小关系，能够对不同异常情况进行对应的异常处理。同时，设置多级报警提示，对不同异常情况进行报警提示，及时提醒人工确认。另外，设置报警持续时间，利用控制系统自身优先进行处理，便于人工确认，消除设备自身误报等故障，进而便于操作人员及时了解单晶炉的异常情况，提高监控及处理效率。

实施例四

基于上述图1和图3对应的实施例中所描述的炉压异常的处理方法，下述为本公开装置实施例，可以用于执行本公开方法实施例。

本公开实施例提供一种炉压异常的处理装置，如图5所示，该炉压异常的处理装置50包括：获取模块501、确定模块502和处理模块503；

获取模块501，用于获取单晶炉炉体内的当前炉压；

确定模块502，用于确定当前炉压与至少一个预设压强阈值的大小关系；

处理模块503，用于根据大小关系进行相应的炉压调节处理和报警处理。

在一个实施例中，至少一个预设压强阈值包括：第一预设压强阈值、第二预设压强阈值，第一预设压强阈值小于第二预设压强阈值；

当前炉压与至少一个预设压强阈值的大小关系包括：当前炉压小于第一压强预设阈值、当前炉压大于或等于第一预设压强阈值且小于第二预设压强阈值、当前炉压大于或等于第二预设压强阈值。

在一个实施例中，处理模块503，用于在当前炉压小于第一预设压强阈值时，调节节流阀的开度；

处理模块503，用于在当前炉压大于或等于第一预设压强阈值且小于第二预设压强阈值时，调节节流阀的开度以及触发第一报警提示；

处理模块503，用于在当前炉压大于或等于第二预设压强阈值时，控制进气阀关闭及出气阀打开、调节节流阀开度至最大以及触发第三报警提示。

在一个实施例中，如图6所示，炉压异常的处理装置50还包括：判断模块504；

判断模块504，用于判断第一报警提示的报警持续时间是否超过预设时间阈值；

处理模块503，用于在报警持续时间超过预设时间阈值且当前炉压大于或等于第一预设压强阈值且小于第二预设压强阈值时，调节节流阀开度至最大并触发第二报警提示；

处理模块503，用于在报警持续时间超过预设报警时间且当前炉压小于第一预设压强阈值时，调节节流阀的开度并关闭报警提示。

在一个实施例中，至少一个预设压强阈值还包括：第三预设压强阈值，第二预设压强阈值小于第三预设压强阈值；

当前炉压与至少一个预设压强阈值的大小关系还包括：当前炉压大于或等于第二预设压强阈值且小于第三预设压强阈值、当前炉压大于或等于第三预设压强阈值。

在一个实施例中，处理模块503，用于在当前炉压大于或等于第二预设压强阈值且小于第三预设压强阈值时，控制进气阀关闭及出气阀打开、调节节流阀开度至最大以及触发第三报警提示；

处理模块503，用于在当前炉压大于或等于第三预设压强阈值时，控制进气阀关闭及出气阀打开、调节节流阀开度至最大、控制单晶炉中的坩埚下降以及触发第四报警提示。

在一个实施例中，如图7所示，炉压异常的处理装置50还包括：检测模块505；

检测模块505，用于检测单晶炉的炉体加热器是否开启以及检测单晶炉是否为非停炉状态；

检测模块505，用于在单晶炉的炉体加热器开启且单晶炉为非停炉状态时，检测单晶炉的抽气装置是否开启；

获取模块501，用于在抽气装置开启时，获取单晶炉炉体内的当前炉压。

在一个实施例中，获取模块501，用于通过炉压检测传感器获取单晶炉炉体内的当前炉压。

本公开实施例提供的炉压异常的处理装置，获取单晶炉炉体内的当前炉压，确定当前炉压与至少一个预设压强阈值的大小关系，根据大小关系进行相应的炉压调节处理。通过预先设置多个压强阈值，可以将炉压异常情况进行分类，并针对不同的异常情况进行对应的炉压调节处理，同时，针对不同的异常情况设置对应的报警提示，及时提醒人工确认，以便操作人员及时了解单晶炉的异常情况，提高监控及处理效率。

参考图8所示，本公开实施例还提供了一种炉压异常的处理设备，该炉压异常的处理设备包括接收器801、发射器802、存储器803和处理器804，该发射器802和存储器803分别与处理器804连接，存储器803中存储有至少一条计算机指令，处理器804用于加载并执行至少一条计算机指令，以实现上述图1对应的实施例中所描述的炉压异常的处理方法。

基于上述图1对应的实施例中所描述的炉压异常的处理方法，本公开实施例还提供一种计算机可读存储介质，例如，非临时性计算机可读存储介质可以是只读存储器(英文：Read Only Memory，ROM)、随机存取存储器(英文：Random Access Memory，RAM)、CD-ROM、磁带、软盘和光数据存储装置等。该存储介质上存储有至少一条计算机指令，用于执行上述图1对应的实施例中所描述的炉压异常的处理方法。

本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分步骤可以通过硬件来完成，也可以通过程序来指令相关的硬件完成，所述的程序可以存储于一种计算机可读存储介质中，上述提到的存储介质可以是只读存储器，磁盘或光盘等。

本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的公开后，将容易想到本公开的其它实施方案。本申请旨在涵盖本公开的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本公开的一般性原理并包括本公开未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本公开的真正范围和精神由下面的权利要求指出。

Claims (10)

1.一种炉压异常的处理方法，其特征在于，所述方法包括：

获取单晶炉炉体内的当前炉压；

确定所述当前炉压与至少一个预设压强阈值的大小关系；

根据所述大小关系进行相应的炉压调节处理和报警处理。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述至少一个预设压强阈值包括：第一预设压强阈值、第二预设压强阈值，所述第一预设压强阈值小于所述第二预设压强阈值；

所述当前炉压与至少一个预设压强阈值的大小关系包括：所述当前炉压小于所述第一压强预设阈值、所述当前炉压大于或等于所述第一预设压强阈值且小于所述第二预设压强阈值、所述当前炉压大于或等于所述第二预设压强阈值。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据所述大小关系进行相应的炉压调节处理和报警处理包括：

在所述当前炉压小于所述第一预设压强阈值时，调节节流阀的开度；

在所述当前炉压大于或等于所述第一预设压强阈值且小于所述第二预设压强阈值时，调节所述节流阀的开度以及触发第一报警提示；

在所述当前炉压大于或等于所述第二预设压强阈值时，控制进气阀关闭及出气阀打开、调节所述节流阀开度至最大以及触发第三报警提示。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，在所述炉压大于或等于所述第一预设压强阈值且小于所述第二预设压强阈值时，调节所述节流阀的开度以及触发第一报警提示之后，所述方法还包括：

判断所述第一报警提示的报警持续时间是否超过预设时间阈值；

在所述报警持续时间超过所述预设时间阈值且当前炉压大于或等于所述第一预设压强阈值且小于所述第二预设压强阈值时，调节所述节流阀开度至最大并触发第二报警提示；

在所述报警持续时间超过所述预设报警时间且当前炉压小于所述第一预设压强阈值时，调节所述节流阀的开度并关闭报警提示。

5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述至少一个预设压强阈值还包括：第三预设压强阈值，所述第二预设压强阈值小于所述第三预设压强阈值；

所述当前炉压与至少一个预设压强阈值的大小关系还包括：所述当前炉压大于或等于所述第二预设压强阈值且小于所述第三预设压强阈值、所述当前炉压大于或等于所述第三预设压强阈值。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述根据所述大小关系进行相应的炉压调节处理和报警处理还包括：

在所述当前炉压大于或等于所述第二预设压强阈值且小于所述第三预设压强阈值时，控制所述进气阀关闭及所述出气阀打开、调节所述节流阀开度至最大以及触发第三报警提示；

在所述当前炉压大于或等于所述第三预设压强阈值时，控制所述进气阀关闭及所述出气阀打开、调节所述节流阀开度至最大、控制所述单晶炉中的坩埚下降以及触发第四报警提示。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取单晶炉炉体内的当前炉压之前，所述方法还包括：

检测所述单晶炉的炉体加热器是否开启以及检测所述单晶炉是否为非停炉状态；

在所述单晶炉的炉体加热器开启且所述单晶炉为非停炉状态时，检测所述单晶炉的抽气装置是否开启；

所述获取单晶炉炉体内的炉压包括：在所述抽气装置开启时，获取所述单晶炉炉体内的当前炉压。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述获取所述单晶炉炉体内的当前炉压包括：

通过炉压检测传感器获取所述单晶炉炉体内的当前炉压。

9.一种炉压异常的处理设备，其特征在于，所述炉压异常的处理设备包括处理器和存储器，所述存储器中存储有至少一条计算机指令，所述指令由所述处理器加载并执行以实现权利要求1至权利要求8任一项所述的炉压异常的处理方法中所执行的步骤。

10.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述存储介质中存储有至少一条计算机指令，所述指令由处理器加载并执行以实现权利要求1至权利要求8任一项所述的炉压异常的处理方法中所执行的步骤。

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