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CN111386597A - 基板收纳容器的成形方法、模具和基板收纳容器 - Google Patents

基板收纳容器的成形方法、模具和基板收纳容器 Download PDF

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CN111386597A CN201880033627.3A CN201880033627A CN111386597A CN 111386597 A CN111386597 A CN 111386597A CN 201880033627 A CN201880033627 A CN 201880033627A CN 111386597 A CN111386597 A CN 111386597A
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Abstract

本发明提供基板收纳容器的成形方法、模具和基板收纳容器，基板收纳容器(1)的成形方法具有：容器主体成形工序，在具有定模(M2)和动模(M1)的模具(M)的内部的成形空间(M0)中，在正交于通过容器主体(2)的开口周缘部(28)的端缘整个周向的平面(P1)的方向(P2)相对于作为动模(M1)相对于定模(M2)的移动方向的水平方向(L1)，向成规定的角度(a2)的方向倾斜的状态下，对容器主体(2)进行成形；以及拉拔工序，使动模(M1)以从定模(M2)后退的方式移动，从动模(M1)拔出在成形空间(M0)中成形的容器主体(2)。

Description

基板收纳容器的成形方法、模具和基板收纳容器
技术领域
本发明涉及对由半导体晶片等构成的基板进行收纳、保管、输送、运输等时使用的基板收纳容器的成形方法、模具和基板收纳容器。
背景技术
作为用于收纳由半导体晶片构成的基板并在工厂内的工序中进行输送的基板收纳容器以往公知一种包括容器主体和盖体的结构的(例如参照专利文献1～专利文献4)。
容器主体的一端部具有形成有容器主体开口部的开口周缘部。容器主体的另一端部具有封闭的筒状的壁部。在容器主体内形成有基板收纳空间。基板收纳空间由壁部包围而形成，能够收纳多个基板。盖体能够相对于开口周缘部装拆，并且能够封闭容器主体开口部。侧方基板支承部以在基板收纳空间内成对的方式设置在壁部。盖体未封闭容器主体开口部时，侧方基板支承部能够在使相邻的基板彼此以规定的间隔分离而并列的状态下支承多个基板的边缘部。
在盖体的部分、且在封闭容器主体开口部时与基板收纳空间相对的部分设置有前部保持构件。由盖体封闭容器主体开口部时，前部保持构件能够支承多个基板的边缘部。此外，以与前部保持构件成对的方式在壁部设置有后侧基板支承部。后侧基板支承部能够支承多个基板的边缘部。由盖体封闭容器主体开口部时，后侧基板支承部与前部保持构件协同动作来支承多个基板，由此在使相邻的基板彼此以规定的间隔分离而并列的状态下保持多个基板。
现有技术文献
专利文献1：日本专利公开公报特开2016-186967号
专利文献2：日本专利公报4584023号
专利文献3：日本专利公报4030280号
专利文献4：日本专利公报4150465号
在以往的基板收纳容器中，需要相对于侧方基板支承部在X、Y、Z方向的各方向上将基板承载于精密的位置。这是因为在对基板进行各种处理来制作成半导体芯片的过程中，通过装置基板频繁地进出基板收纳容器，此时为了防止基板的破损、擦伤等。因此，一般来说，在承载基板的侧方基板支承部的上表面的部分即与基板接触的部分设置有突起，为了通过突起进行基板的精密的位置调整并成为相对于基板的最小的接触面积，突起具有与基板的外周点接触或线接触数毫米的形状。
通过注塑成形来成形并制造基板收纳容器。并且，为了形成所述突起，需要在对基板收纳容器进行成形的模具的对侧方基板支承部进行成形的部分刻有成为突起的形状的部分。但是，以往，相对于未将侧方基板支承部一体成形于容器主体的情况，在想要将侧方基板支承部一体成形于容器主体的内表面的情况下，从模具对容器主体进行脱模时，突起成为底切。因此，在一体成形的情况下需要在模具上设置滑动结构。
如果在模具上设置滑动结构，则模具的工作动作变得复杂，为了防止模具破损而需要降低动作速度。其结果，产生成形周期变长而生产效率下降的问题。此外，由于模具的结构复杂，所以难以为了吸收熔化树脂的热量而将使冷却水在模具内循环的模具的冷却回路以最佳回路设置在最佳的位置，从而产生冷却时间延长的问题。
发明内容
本发明的目的在于提供基板收纳容器的成形方法、模具和基板收纳容器，不在模具上设置滑动结构而能够将容器主体和侧方基板支承部一体成形。
本发明涉及一种基板收纳容器的成形方法，所述基板收纳容器包括：容器主体，在内部形成有能够收纳多个基板的基板收纳空间，在一端部具有开口周缘部，所述开口周缘部形成有与所述基板收纳空间连通的容器主体开口部；盖体，能够相对于所述开口周缘部装拆，能够以由所述开口周缘部包围的位置关系封闭所述容器主体开口部；以及侧方基板支承部，以在所述基板收纳空间内成对的方式一体成形地设置于所述容器主体，在所述盖体未封闭所述容器主体开口部时，能够在使所述多个基板中相邻的基板彼此以规定的间隔分离而并列的状态下支承所述多个基板的边缘部，所述侧方基板支承部形成为具有沿连接所述容器主体的一端部的所述容器主体开口部和所述容器主体的相对于所述一端部的另一端部的方向延伸的上表面和下表面的板状，所述侧方基板支承部的上表面具有在支承所述基板的边缘部时与所述基板接触的基板接触部，所述基板接触部具有凸块，所述凸块的顶部在支承所述基板的边缘部时与所述基板接触，所述容器主体和所述侧方基板支承部一体成形，所述基板收纳容器的成形方法的特征在于具有：容器主体成形工序，在具有定模和动模的模具的内部的成形空间中，在正交于通过所述容器主体的开口周缘部的端缘整个周向的平面的方向相对于作为所述动模相对于所述定模的移动方向的水平方向，向成规定的角度的方向倾斜的状态下，对所述容器主体进行成形；以及拉拔工序，使所述动模以从所述定模后退的方式移动，从所述动模拔出在所述成形空间中成形的所述容器主体。
此外，优选的是，所述凸块的所述容器主体的一端部的所述容器主体开口部侧和所述容器主体的另一端部侧分别由作为平坦面的一端部侧斜面和另一端部侧斜面构成，在所述容器主体成形工序中成形并位于所述成形空间的所述容器主体中的所述凸块的所述另一端部侧斜面以水平方向为基准倾斜的方向与正交于通过位于所述成形空间的所述容器主体的开口周缘部的端缘整个周向的平面的方向以水平方向为基准倾斜的方向，向将水平方向作为边界线的相同侧倾斜。此外，优选的是，所述规定的角度为0.1°以上、1°以下。
此外，本发明还涉及一种对基板收纳容器进行成形的模具，所述基板收纳容器包括：容器主体，在内部形成有能够收纳多个基板的基板收纳空间，在一端部具有开口周缘部，所述开口周缘部形成有与所述基板收纳空间连通的容器主体开口部；盖体，能够相对于所述开口周缘部装拆，能够以由所述开口周缘部包围的位置关系封闭所述容器主体开口部；以及侧方基板支承部，以在所述基板收纳空间内成对的方式一体成形地设置于所述容器主体，在所述盖体未封闭所述容器主体开口部时，能够在使所述多个基板中相邻的基板彼此以规定的间隔分离而并列的状态下支承所述多个基板的边缘部，所述侧方基板支承部形成为具有沿连接所述容器主体的一端部的所述容器主体开口部和所述容器主体的相对于所述一端部的另一端部的方向延伸的上表面和下表面的板状，所述侧方基板支承部的上表面具有在支承所述基板的边缘部时与所述基板接触的基板接触部，所述基板接触部具有凸块，所述凸块的顶部在支承所述基板的边缘部时与所述基板接触，所述容器主体和所述侧方基板支承部一体成形，所述模具的特征在于具有：定模；动模，能够相对于所述定模移动；以及成形空间，是由所述定模和所述动模形成的模具内部的成形空间，在正交于通过所述容器主体的开口周缘部的端缘整个周向的平面的方向相对于作为所述动模相对于所述定模的移动方向的水平方向，向成规定的角度的方向倾斜的状态下，对所述容器主体进行成形。
此外，优选的是，所述凸块的所述容器主体的一端部的所述容器主体开口部侧和所述容器主体的另一端部侧分别由作为平坦面的一端部侧斜面和另一端部侧斜面构成，位于所述成形空间的所述容器主体中的所述凸块的所述另一端部侧斜面以水平方向为基准倾斜的方向与正交于通过位于所述成形空间的所述容器主体的开口周缘部的端缘整个周向的平面的方向以水平方向为基准倾斜的方向，向将水平方向作为边界线的相同侧倾斜。此外，优选的是，所述规定的角度为0.1°以上、1°以下。
此外，本发明还涉及一种基板收纳容器，容器主体，在内部形成有能够收纳多个基板的基板收纳空间，在一端部具有开口周缘部，所述开口周缘部形成有与所述基板收纳空间连通的容器主体开口部；盖体，能够相对于所述开口周缘部装拆，能够以由所述开口周缘部包围的位置关系封闭所述容器主体开口部；以及侧方基板支承部，以在所述基板收纳空间内成对的方式一体成形地设置于所述容器主体，在所述盖体未封闭所述容器主体开口部时，能够在使所述多个基板中相邻的基板彼此以规定的间隔分离而并列的状态下支承所述多个基板的边缘部，所述侧方基板支承部形成为具有沿连接所述容器主体的一端部的所述容器主体开口部和所述容器主体的相对于所述一端部的另一端部的方向延伸的上表面和下表面的板状，所述侧方基板支承部的上表面具有在支承所述基板的边缘部时与所述基板接触的基板接触部，所述基板接触部具有凸块，所述凸块的顶部在支承所述基板的边缘部时与所述基板接触，所述凸块的所述容器主体的一端部的所述容器主体开口部侧和所述容器主体的另一端部侧分别由作为平坦面的一端部侧斜面和另一端部侧斜面构成。
此外，优选的是，平行于作为在具有定模和动模的模具的内部的成形空间中对所述容器主体进行成形后使动模移动的方向的水平方向产生移动方向线，所述容器主体中的所述凸块的所述另一端部侧斜面以所述移动方向线为基准倾斜的方向与正交于通过所述容器主体的开口周缘部的端缘整个周向的平面的方向以所述移动方向线为基准，向将所述移动方向线作为边界线的相同侧倾斜。
此外，优选的是，所述移动方向线与正交于通过所述容器主体的开口周缘部的端缘整个周向的平面的方向成规定的角度，所述规定的角度为0.1°以上、1°以下。
按照本发明，能够提供基板收纳容器的成形方法、模具和基板收纳容器，在模具上不设置滑动结构而能够将容器主体和侧方基板支承部一体成形。
附图说明
图1是表示在本发明一种实施方式的基板收纳容器1中收纳有多个基板W的情况的分解立体图。
图2是表示本发明一种实施方式的基板收纳容器1的容器主体2的上方立体图。
图3是表示本发明一种实施方式的基板收纳容器1的容器主体2的下方立体图。
图4是表示本发明一种实施方式的基板收纳容器1的容器主体2的侧剖视图。
图5是表示本发明一种实施方式的基板收纳容器1的容器主体2在模具M的成形空间M0中成形后模具M开模的情况的简要说明图。
图6是表示本发明一种实施方式的基板收纳容器1的基板支承板状部5的板部51的放大侧视图。
具体实施方式
下面，参照附图，对第一种实施方式的基板收纳容器1和模具M进行说明。
图1是表示在基板收纳容器1中收纳有多个基板W的情况的分解立体图。图2是表示基板收纳容器1的容器主体2的上方立体图。图3是表示基板收纳容器1的容器主体2的下方立体图。图4是表示基板收纳容器1的容器主体2的侧剖视图。
另外，在图4中，为了便于说明，省略了供气用过滤部90、肋235和顶部凸缘236的图示。
在此，为了便于说明，将从后述的容器主体2朝向盖体3的方向(图1中的从右上朝向左下的方向)定义为前方向D11，将其相反的方向定义为后方向D12，将它们一起定义为前后方向D1。此外，将从后述的下壁24朝向上壁23的方向(图1中的上方向)定义为上方向D21，将其相反的方向定义为下方向D22，将它们一起定义为上下方向D2。此外，将从后述的第二侧壁26朝向第一侧壁25的方向(图1中的从右下朝向左上的方向)定义为左方向D31，将其相反的方向定义为右方向D32，将它们一起定义为左右方向D3。在主要的附图中图示了表示这些方向的箭头。
此外，收纳于基板收纳容器1的基板W(参照图1)是圆盘状的硅晶片、玻璃晶片和蓝宝石晶片等，是用于工业的薄的基板。本实施方式中的基板W是直径300mm的硅晶片。
如图1所示，基板收纳容器1收纳由如上所述的硅晶片构成的基板W，用作在工厂内的工序中输送的工序内容器，或者用作发货容器，该发货容器用于通过陆运方式、空运方式和海运方式等运输方式来运输基板，该基板收纳容器1由容器主体2和盖体3构成。容器主体2包括作为侧方基板支承部的基板支承板状部5和后侧基板支承部6(参照图2等)，盖体3包括作为盖体侧基板支承部的未图示的前部保持构件。
容器主体2具有筒状的壁部20，该壁部20在一端部形成有容器主体开口部21而另一端部封闭。在容器主体2内形成有基板收纳空间27。基板收纳空间27由壁部20包围而形成。在壁部20的部分、且在形成有基板收纳空间27的部分设置有基板支承板状部5。如图1所示，在基板收纳空间27内能够收纳多个基板W。
基板支承板状部5在基板收纳空间27内以成对的方式与壁部20一体成形地设置。基板支承板状部5在盖体3未封闭容器主体开口部21时，通过与多个基板W的边缘部抵接，能够在使相邻的基板W彼此以规定的间隔分离而并列的状态下支承多个基板W的边缘部。后侧基板支承部6在基板支承板状部5的后侧以与基板支承板状部5一体成形的方式设置。
后侧基板支承部6(参照图2等)在基板收纳空间27内以与后述的未图示的前部保持构件成对的方式与壁部20一体成形地设置。后侧基板支承部6在盖体3封闭容器主体开口部21时，通过与多个基板W的边缘部抵接，能够支承多个基板W的边缘部的后部。
盖体3能够相对于形成容器主体开口部21的开口周缘部28(图1等)装拆，能够封闭容器主体开口部21。未图示的前部保持构件设置在盖体3的部分、且在盖体3封闭容器主体开口部21时与基板收纳空间27相对的部分。未图示的前部保持构件在基板收纳空间27的内部配置成与后侧基板支承部6成对。
未图示的前部保持构件在盖体3封闭容器主体开口部21时，通过与多个基板W的边缘部抵接，能够支承多个基板W的边缘部的前部。未图示的前部保持构件在盖体3封闭容器主体开口部21时，通过与后侧基板支承部6协同动作来支承多个基板W，以使相邻的基板W彼此以规定的间隔分离而并列的状态进行保持。
基板收纳容器1由塑料材料等树脂构成，在没有特别说明的情况下，作为该材料的树脂可以列举的是：聚碳酸酯、环烯烃聚合物、聚醚酰亚胺、聚醚酮、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚醚醚酮和液晶聚合物这种热塑性树脂或它们的合金等。在赋予导电性的情况下，在这些成形材料的树脂中选择性地添加碳纤维、碳粉、碳纳米管和导电性聚合物等导电性物质。此外，为了提高刚性，也可以添加玻璃纤维或碳纤维等。
以下，对各部分进行详细说明。
如图1所示，容器主体2的壁部20具有：后壁22、上壁23、下壁24、第一侧壁25和第二侧壁26。后壁22、上壁23、下壁24、第一侧壁25和第二侧壁26由上述材料构成且以一体成形的方式构成。
第一侧壁25与第二侧壁26相对，上壁23与下壁24相对。上壁23的后端、下壁24的后端、第一侧壁25的后端和第二侧壁26的后端全部与后壁22连接。上壁23的前端、下壁24的前端、第一侧壁25的前端和第二侧壁26的前端构成形成大体长方形状的容器主体开口部21的开口周缘部28。
开口周缘部28设置在容器主体2的一端部，后壁22位于容器主体2的另一端部。由壁部20的外表面形成的容器主体2的外形是箱状。壁部20的内表面、即后壁22的内表面、上壁23的内表面、下壁24的内表面、第一侧壁25的内表面和第二侧壁26的内表面形成由它们包围的基板收纳空间27。形成于开口周缘部28的容器主体开口部21与由壁部20包围而形成于容器主体2内部的基板收纳空间27连通。在基板收纳空间27中最多能够收纳25个基板W。
如图1所示，在上壁23和下壁24的部分、且在开口周缘部28的附近部分形成有向基板收纳空间27的外方凹陷的插销卡合凹部231A、231B、241A、241B。插销卡合凹部231A、231B、241A、241B在上壁23和下壁24的左右两端部附近各形成有一个、合计形成有四个。
如图1所示，在上壁23的外表面上与上壁23一体成形地设置有肋235。肋235提高了容器主体2的刚性。此外，在上壁23的中央部固定有顶部凸缘236。顶部凸缘236是如下构件：在AMHS(自动晶片输送系统)、PGV(晶片基板输送台车)等中悬挂基板收纳容器1时在基板收纳容器1中被钩挂而悬挂的部分。
如图3所示，在下壁24的四角，作为气道210(参照图4)形成有作为两种类的贯通孔的供气孔242和排气孔243(参照图1)。在本实施方式中，下壁24的前部的两个部位的贯通孔是用于排出容器主体2内部的气体的排气孔243，后部的两个部位的贯通孔是用于向容器主体2的内部供给气体的供气孔242。在作为供气孔242的贯通孔配置有供气用过滤部90，在作为排气孔243的贯通孔配置有排气用过滤部90A。因此，供气用过滤部90和排气用过滤部90A的内部的气体流道构成能够连通基板收纳空间27和容器主体2的外部空间的气道210的一部分。此外，供气用过滤部90和排气用过滤部90A配置于壁部20，在供气用过滤部90和排气用过滤部90A中，在容器主体2的外部的空间和基板收纳空间27之间气体能够通过。
基板支承板状部5分别设置于第一侧壁25和第二侧壁26，在左右方向D3上以成对的方式设置在基板收纳空间27内。具体地说，如图4等所示，基板支承板状部5具有板部51，该板部51形成为具有沿连接容器主体2的一端部的容器主体开口部21和容器主体2的相对于一端部的另一端部的后壁22的方向延伸的上表面和下表面的板状。板部51和容器主体2的壁部20的第一侧壁25、第二侧壁26由树脂材料一体成形而构成，板部51由第一侧壁25或第二侧壁26支承。
板部51具有板状的大体圆弧形状。分别在第一侧壁25和第二侧壁26沿上下方向D2各设置有25个、合计设置有50个板部51。相邻的板部51在上下方向D2上以10mm～12mm间隔相互分离并以平行的位置关系配置。另外，在位于最上方的板部51的上方还与板部51平行地配置有一个板状的构件59，但是这是对位于最上方而插入基板收纳空间27内的基板W在该插入时起到导向件作用的构件。
此外，设置于第一侧壁25的25个板部51和设置于第二侧壁26的25个板部51具有在左右方向D3上彼此相对的位置关系。此外，50个板部51和平行于板部51的起到板状的导向件作用的构件59具有与下壁24的内表面平行的位置关系。在板部51的上表面设置有凸块511、512。支承于板部51的基板W仅与凸块511、512的突出端接触而不与板部51面接触。
更具体地说，板部51的凸块511、512分别具有山脊的形状，该山脊形成于板部51的上表面并沿左右方向延伸，并且向前后方向分别向下倾斜，该山脊的顶部由连接向该前后方向分别向下倾斜的斜面的上端部之间的曲面构成。如图5所示，凸块511的容器主体2的容器主体开口部21侧(前方向D11侧)的板部51的上表面的部分由作为平坦面的一端部侧斜面5111构成。凸块511的容器主体2的后壁22侧(后方向D12侧)的板部51的上表面的部分由作为平坦面的另一端部侧斜面5112构成。
图5是表示基板收纳容器1的容器主体2在模具M的成形空间M0中成形后模具M开模的情况的简要说明图。另外，在图5中，为了便于说明，图示了在板部51支承基板W的情况，但是实际上在成形于模具M的动模M1的状态的容器主体2中，基板W并未支承于板部51。
此外，凸块512的容器主体2的容器主体开口部21侧的板部51的上表面的部分由作为平坦面的一端部侧斜面5121构成。一端部侧斜面5121的前端部与另一端部侧斜面5112的后端部连接。凸块512的容器主体2的后壁22侧的板部51的上表面的部分由作为平坦面的另一端部侧斜面5122构成。
如图6所示，在左右方向上的位于板部51的端缘的侧面形成有移动方向线5101。移动方向线5101以与水平方向平行的方式生成，所述水平方向是如后所述在具有定模M2和动模M1的模具M内部的成形空间M0中将容器主体2成形后，用于脱模的开模时使动模M1移动的方向。另一端部侧斜面5112、5122均向与如下倾斜方向相同侧倾斜：沿与通过容器主体2的开口周缘部28的端缘整个周向的平面P1正交的方向延伸的线P2以移动方向线5101为基准而倾斜的方向。
图6是表示基板收纳容器1的基板支承板状部5的板部51的放大侧视图。成形空间M0实际上在模具M开模前的状态下形成在动模M1和定模M2之间，但是为了便于说明，在图5中将容器主体2的位置图示为成形空间M0。
在此，“向相同侧倾斜”意味着如下情况：在考虑了平行于与成为基准的移动方向线5101平行的水平方向的线L1和相对于线L1倾斜的(不平行的)线A和线B的情况下，如果线L1以及线A、线B延长则必定产生交点，但是在从该交点沿线L1朝向一个方向前进时，线A和线B在将线L1作为边界线的相同侧离开线L1的情况下，线A和线B“向相同侧倾斜”。
具体地说，在本实施方式中，如果着眼于与移动方向线5101平行的水平方向的线L1(图5中的下侧的线L1)和沿与通过容器主体2的开口周缘部28的端缘整个周向的平面P1正交的方向延伸的线P2，则线L1和线P2在开口周缘部28产生交点，如果从该交点沿线L1朝向作为一个方向的后方向D12前进，则在将线L1作为边界线的图5中的上侧，线P2离开线L1。
接着，如果着眼于与移动方向线5101平行的水平方向的线L1(图5中的下侧的线L1)和另一端部侧斜面5112，则线L1和另一端部侧斜面5112在凸块111产生交点，如果从该交点沿线L1朝向作为一个方向的后方向D12前进，则在将线L1作为边界线的图5中的上侧，另一端部侧斜面5112离开线L1。
此外，如果着眼于与移动方向线5101平行的水平方向的线L1(图5中的下侧的线L1)和另一端部侧斜面5122，则线L1和另一端部侧斜面5122，虽然在图5中未图示，但是如果将另一端部侧斜面5122沿大体前方向D11延长，则产生与线L1公差的交点。如果从该交点沿线L1向作为一个方向的后方向D12前进，则在将线L1作为边界线的图5中的上侧，另一端部侧斜面5122离开线L1。由此，线P2与另一端部侧斜面5112和另一端部侧斜面5122以线L1为基准向相同侧倾斜。
在此，关于一端部侧斜面5111、5121，在考虑与线L1公差的交点的情况下，如果从交点沿线L1朝向后方向D12前进，则在将线L1作为边界线的图5中的上侧，一端部侧斜面5111、5121离开线L1。因此，线P2与一端部侧斜面5111、5121以线L1为基准向相同侧倾斜。因此，如后所述，使动模M1沿线L1移动来开模时，一端部侧斜面5111、5121和另一端部侧斜面5112、5122的全部相对于线L1未成为底切而形成有脱模斜度。另外，在板部51的下表面也同样未成为底切而形成有脱模斜度。
以与铅垂方向一致的垂直线V1为基准在图5所示的侧视图中平面P1倾斜的角度a1和线P2以水平方向的线L1为基准而倾斜的角度a2相等，是0.1°以上、1°以下，在本实施方式中是0.6°。这是因为如果小于0.1°，则不能得到凸块511、512的充分的突出量。此外，如果超过1°，则在容器主体2中的其他部分产生成为底切的部分的可能性升高。因此，通过使角度a1和角度a2为0.1°以上、1°以下，扩大了能够可靠地确保脱模斜度的范围，能够顺畅地进行脱模。
这种结构的基板支承板状部5能够在使多个基板W中相邻的基板W彼此以规定的间隔分离的状态下、且在相互平行的位置关系的状态下支承多个基板W的边缘部。
如图4所示，后侧基板支承部6具有后侧端缘支承部60。后侧端缘支承部60以在基板支承板状部5的板部51的后端部与板部51一体成形的方式构成。另外，后侧基板支承部6可以与基板支承板状部5分开、即后侧端缘支承部60可以由与基板支承板状部5的板部51分开(例如单独部件)构成的后部保持构件构成。
后侧端缘支承部60设置有与基板收纳空间27中能够收纳的每一个基板W对应的个数，具体地说设置有25个。配置于第一侧壁25和第二侧壁26的后侧端缘支承部60在前后方向D1上具有与后述的未图示的前部保持构件成对的位置关系。通过在基板收纳空间27内收纳基板W并关闭盖体3，后侧端缘支承部60夹持并支承基板W的边缘部的端缘。
如图2等所示，后壁22具有作为气体喷出喷嘴部的突出部8。突出部8为两个，并且成对，以肋状向容器主体开口部21突出，平行地从后壁22的上端部延伸至下端部。即，突出部8具有中空的柱状。突出部8的内部空间由隔壁部81分隔为前侧空间和后侧空间。
前侧空间构成气体流出前保持室803，后侧空间构成与气道210(参照图4等)连通的气体滞留室801，该气道210能够连通基板收纳空间27和容器主体2的外部空间。
突出部8具有将流入气道210的气体向基板收纳空间27供给的多个开口部802。气体滞留室801构成通过暂时存积吹扫气体并加压而在气道210和突出部8的开口部802之间以规定的量均匀地保持来自气道210的气体的气体均匀保持部，并且该气体均匀保持部构成能够使吹扫气体从多个开口部802以均匀化的流量流出的气体流量均匀化部。
作为气体的氮气等不活泼气体或除去了水分(1％以下)的干燥空气(以下称为吹扫气体)等能够通过气道210。如图4所示，气道210具有气体流入部211和水平方向延伸部212，水平方向延伸部212与气体滞留室801的下端部连接。
气体流入部211由圆筒状的气体供给装置连接部202的内部空间构成，该圆筒状的气体供给装置连接部202形成于下壁24的后端部并向下方向D22突出而形成供气孔242。水平方向延伸部212沿下壁24的外表面(下表面)在下壁24的外侧从气体流入部211的上端部向后方向D12(图4的右方向)延伸，并且由下壁24的外表面和与下壁24相比向下侧突出的下侧流道形成部203之间的空间构成。并且，与水平方向延伸部212连接的气体滞留室801如上所述由突出部8的后侧空间构成，并且从水平方向延伸部212的后端部向上方向D21延伸至后壁22的上端部。
在隔壁部81形成有吹扫气体从气体滞留室801流入的微小的流入口811。流入口811形成有多个，流入口811的总面积比开口部802的总面积小。
气体供给装置连接部202的下端部的开口构成供气孔242。在气体供给装置连接部202固定有供气用过滤部90。排气孔243由下壁24的贯通孔构成，在该贯通孔固定有排气用过滤部90A。排气用过滤部90A使气体通过设置在排气用过滤部90A内部的未图示的通气膜从容器主体2的外部空间向收纳空间27的方向、或从收纳空间27向容器主体2的外部空间的方向通过。此时，未图示的通气膜阻止包含于气体的颗粒等通过，从而进行气体的过滤。
如图1等所示，盖体3具有与容器主体2的开口周缘部28的形状大体一致的大体长方形状。盖体3能够相对于容器主体2的开口周缘部28装拆，通过在开口周缘部28安装盖体3，盖体3能够封闭容器主体开口部21。在盖体3的内表面(图1所示的盖体3背侧的面)、且在当盖体3封闭容器主体开口部21时与台阶部分的面(密封面281)相对的面上安装有环状的密封构件4，该台阶部分的面形成在紧邻开口周缘部28的后方向D12的位置上。密封构件4由能够弹性变形的聚酯系、聚烯烃系等各种热塑性弹性体和氟橡胶制品、硅橡胶制品等构成。密封构件4配置成环绕盖体3的外周缘部一周。
盖体3安装于开口周缘部28时，密封构件4由密封面281和盖体3的内表面夹持而弹性变形，盖体3以密封容器主体开口部21的状态封闭。通过从开口周缘部28取下盖体3，能够将基板W相对于容器主体2内的基板收纳空间27进出。
在盖体3中设置有插销机构。插销机构设置在盖体3的左右两端部附近，如图1所示，包括能够从盖体3的上边向上方向D21突出的两个上侧插销部32A和能够从盖体3的下边向下方向D22突出的两个未图示的下侧插销部。两个上侧插销部32A配置在盖体3上边的左右两端附近，两个未图示的下侧插销部配置在盖体3下边的左右两端附近。
在盖体3的外表面设置有操作部33。通过从盖体3的前侧对操作部33进行操作，能够使上侧插销部32A、未图示的下侧插销部分别从盖体3的上边、下边突出，此外，也能够成为分别不从上边、下边突出的状态。上侧插销部32A从盖体3的上边向上方向D21突出并与容器主体2的插销卡合凹部231A、231B卡合，并且，未图示的下侧插销部从盖体3的下边向下方向D22突出并与容器主体2的插销卡合凹部241A、241B卡合，由此盖体3固定于容器主体2的开口周缘部28。
在盖体3的内侧形成有向基板收纳空间27的外方凹陷的凹部(未图示)。在凹部(未图示)和凹部的外侧的盖体3的部分固定设置有前部保持构件(未图示)。
前部保持构件(未图示)具有前部保持构件基板承接部(未图示)。前部保持构件基板承接部(未图示)以在左右方向D3上以规定的间隔分离并成对的方式各配置有两个。以上述方式成对地各配置两个的前部保持构件基板承接部在上下方向D2上以并列的状态设置有25对。通过在基板收纳空间27内收纳基板W并关闭盖体3，前部保持构件基板承接部夹持并支承基板W的边缘部的端缘。
如上所述的基板收纳容器1的容器主体2通过如下方式成形而制造。
首先，进行容器主体成形工序。在容器主体成形工序中，如图5所示，在具有定模M2和动模M1的模具M内部的成形空间M0中，如上所述，在以开口周缘部28的上边为中心转动角度a1而倾斜成使包括容器主体的后壁22的后部抬起的状态下，对容器主体进行成形。以上是容器主体成形工序。
接着，进行拉拔工序。在拉拔工序中，在模具M内部的成形空间M0中，在容器主体2固化后，如图5所示，使动模M1以从定模M2后退的方式移动来进行开模。此时的动模M1的移动方向是水平方向，是沿着线L1的方向。因此，如上所述，使动模M1沿线L1移动来开模时，一端部侧斜面5111、5121和另一端部侧斜面5112、5122全部相对于线L1未成为底切而形成脱模斜度，因此对于一体成形有凸块511、512的容器主体2的板部51，能够使动模M1移动而开模来进行脱模。另外，容器主体2中的其他全部部分也未成为底切，对于容器主体2的整体，能够使动模M1移动而开模来进行脱模。
按照上述结构的本实施方式的基板收纳容器1，能够得到以下效果。
如上所述，将容器主体2和侧方基板支承部5一体成形的基板收纳容器1的成形方法具有：容器主体成形工序，在具有定模M2和动模M1的模具M的内部的成形空间M0中，在平行于与通过容器主体2的开口周缘部28的端缘整个周向的平面P1正交的方向的线P2相对于作为动模M1相对于定模M2的移动方向的水平方向，向成规定角度的方向a2倾斜的状态下，对容器主体2进行成形；以及拉拔工序，使动模M1以从定模M2后退的方式移动，从动模M1拔出在成形空间M0中成形的容器主体2。
并且，凸块511、512的容器主体2的一端部的容器主体开口部21侧和容器主体2的另一端部侧分别由作为平坦面的一端部侧斜面5111、5121和另一端部侧斜面5112、5122构成，在容器主体成形工序中成形并位于成形空间M0的容器主体2中的凸块511、512的另一端部侧斜面5112、5122以与水平方向平行的线L1为基准而倾斜的方向与在规定的角度a1(＝角度a2)的情况下线P2以线L1为基准而倾斜的方向，向以线L1为基准的相同侧倾斜，该线P2沿着与通过容器主体2的开口周缘部28的端缘整个周向的平面P1正交的方向。
通过上述结构，即使构成侧方基板支承部的板部51的上表面的基板接触部是具有凸块511、512的结构，在拔出所述容器主体2的拉拔工序中，凸块511、512的部分也不会成为底切而是形成脱模斜度。因此，能够将一体成形有形成有凸块511、512的板部51的容器主体2直接从动模M1拔出来进行脱模。
其结果，在对基板收纳容器1的容器主体2进行成形的模具M中，能够作为不设置滑动结构的结构，因此能够防止产生因滑动结构而产生的模具M的分割部，从而能够防止毛刺的产生，此外，能够抑制对容器主体2进行成形的模具M的费用，该容器主体2一体成形有形成有凸块511、512的板部51。由此，对于基板收纳容器1的容器主体2能够容易从动模M1拔出来进行脱模，因此能够抑制制造基板收纳容器1的容器主体2的费用。
此外，规定的角度a1(＝角度a2)是0.1°以上、1°以下。通过这种结构，能够得到凸块511、512的充分的突出量，并且能够在容器主体2的各部分中不产生底切。因此，通过将角度a1和角度a2作为0.1°以上、1°以下，可靠地扩大了能够确保脱模斜度的范围，从而能够顺畅地进行脱模。此外，能够充分地确保在基板W的下侧所需要的板部51和基板W之间的间隙，并且能够使基板W与凸块511、512点接触。
本发明并不限定于上述实施方式，能够在记载于权利要求的范围的技术范围内进行变形。
例如，在本实施方式中，凸块511、凸块512的双方设置于板部51，但是并不限定于这种结构。例如，可以在一个板部设置一个凸块。
此外，容器主体和盖体的形状、能够收纳于容器主体的基板W的个数和尺寸并不限定于本实施方式中的容器主体2和盖体3的形状、能够收纳于容器主体2的基板W的个数和尺寸。此外，本实施方式中的基板W是直径300mm的硅晶片，但是并不限定于该值。
此外，在本实施方式中，在下壁24的前部设置有两个排气用过滤部90A，并且在下壁24的后部设置有两个供气用过滤部90，但是并不限定于这种结构。例如，可以在下壁24的后部设置两个排气用过滤部90A，并且在下壁24的前部设置两个供气用过滤部90。此外，排气用过滤部和供气用过滤部可以不是各设置两个。此外，排气用过滤部90A并不限定于安装在下壁24。排气用过滤部90A可以安装于下壁24以外的壁部、盖体，例如可以安装于下壁和盖体的两方。
附图标记说明
1 基板收纳容器
2 容器主体
3盖体
5 基板支承板状部
21 容器主体开口部
27 基板收纳空间
28 开口周缘部
511、512 凸块(基板接触部)
5101 移动方向线
5111、5121 一端部侧斜面
5112、5122 另一端部侧斜面
D1 定模
D2 动模
L1 线
M 模具
M0 成形空间
P1 面
P2 线
W 基板
a1、a2 角度

Claims (9)

1.一种基板收纳容器的成形方法，
所述基板收纳容器包括：
容器主体，在内部形成有能够收纳多个基板的基板收纳空间，在一端部具有开口周缘部，所述开口周缘部形成有与所述基板收纳空间连通的容器主体开口部；
盖体，能够相对于所述开口周缘部装拆，能够以由所述开口周缘部包围的位置关系封闭所述容器主体开口部；以及
侧方基板支承部，以在所述基板收纳空间内成对的方式一体成形地设置于所述容器主体，在所述盖体未封闭所述容器主体开口部时，能够在使所述多个基板中相邻的基板彼此以规定的间隔分离而并列的状态下支承所述多个基板的边缘部，
所述侧方基板支承部形成为具有沿连接所述容器主体的一端部的所述容器主体开口部和所述容器主体的相对于所述一端部的另一端部的方向延伸的上表面和下表面的板状，
所述侧方基板支承部的上表面具有在支承所述基板的边缘部时与所述基板接触的基板接触部，
所述基板接触部具有凸块，所述凸块的顶部在支承所述基板的边缘部时与所述基板接触，所述容器主体和所述侧方基板支承部一体成形，
所述基板收纳容器的成形方法的特征在于具有：
容器主体成形工序，在具有定模和动模的模具的内部的成形空间中，在正交于通过所述容器主体的开口周缘部的端缘整个周向的平面的方向相对于作为所述动模相对于所述定模的移动方向的水平方向，向成规定的角度的方向倾斜的状态下，对所述容器主体进行成形；以及
拉拔工序，使所述动模以从所述定模后退的方式移动，从所述动模拔出在所述成形空间中成形的所述容器主体。
2.根据权利要求1所述的基板收纳容器的成形方法，其特征在于，
所述凸块的所述容器主体的一端部的所述容器主体开口部侧和所述容器主体的另一端部侧分别由作为平坦面的一端部侧斜面和另一端部侧斜面构成，
在所述容器主体成形工序中成形并位于所述成形空间的所述容器主体中的所述凸块的所述另一端部侧斜面以水平方向为基准倾斜的方向与正交于通过位于所述成形空间的所述容器主体的开口周缘部的端缘整个周向的平面的方向以水平方向为基准倾斜的方向，向将水平方向作为边界线的相同侧倾斜。
3.根据权利要求1或2所述的基板收纳容器的成形方法，其特征在于，所述规定的角度为0.1°以上、1°以下。
4.一种模具，用于对基板收纳容器进行成形，
所述基板收纳容器包括：
容器主体，在内部形成有能够收纳多个基板的基板收纳空间，在一端部具有开口周缘部，所述开口周缘部形成有与所述基板收纳空间连通的容器主体开口部；
盖体，能够相对于所述开口周缘部装拆，能够以由所述开口周缘部包围的位置关系封闭所述容器主体开口部；以及
侧方基板支承部，以在所述基板收纳空间内成对的方式一体成形地设置于所述容器主体，在所述盖体未封闭所述容器主体开口部时，能够在使所述多个基板中相邻的基板彼此以规定的间隔分离而并列的状态下支承所述多个基板的边缘部，
所述侧方基板支承部形成为具有沿连接所述容器主体的一端部的所述容器主体开口部和所述容器主体的相对于所述一端部的另一端部的方向延伸的上表面和下表面的板状，
所述侧方基板支承部的上表面具有在支承所述基板的边缘部时与所述基板接触的基板接触部，
所述基板接触部具有凸块，所述凸块的顶部在支承所述基板的边缘部时与所述基板接触，所述容器主体和所述侧方基板支承部一体成形，
所述模具的特征在于具有：
定模；
动模，能够相对于所述定模移动；以及
成形空间，是由所述定模和所述动模形成的模具内部的成形空间，在正交于通过所述容器主体的开口周缘部的端缘整个周向的平面的方向相对于作为所述动模相对于所述定模的移动方向的水平方向，向成规定的角度的方向倾斜的状态下，对所述容器主体进行成形。
5.根据权利要求4所述的模具，其特征在于，
所述凸块的所述容器主体的一端部的所述容器主体开口部侧和所述容器主体的另一端部侧分别由作为平坦面的一端部侧斜面和另一端部侧斜面构成，
位于所述成形空间的所述容器主体中的所述凸块的所述另一端部侧斜面以水平方向为基准倾斜的方向与正交于通过位于所述成形空间的所述容器主体的开口周缘部的端缘整个周向的平面的方向以水平方向为基准倾斜的方向，向将水平方向作为边界线的相同侧倾斜。
6.根据权利要求4或5所述的模具，其特征在于，所述规定的角度为0.1°以上、1°以下。
7.一种基板收纳容器，其特征在于包括：
容器主体，在内部形成有能够收纳多个基板的基板收纳空间，在一端部具有开口周缘部，所述开口周缘部形成有与所述基板收纳空间连通的容器主体开口部；
盖体，能够相对于所述开口周缘部装拆，能够以由所述开口周缘部包围的位置关系封闭所述容器主体开口部；以及
侧方基板支承部，以在所述基板收纳空间内成对的方式一体成形地设置于所述容器主体，在所述盖体未封闭所述容器主体开口部时，能够在使所述多个基板中相邻的基板彼此以规定的间隔分离而并列的状态下支承所述多个基板的边缘部，
所述侧方基板支承部形成为具有沿连接所述容器主体的一端部的所述容器主体开口部和所述容器主体的相对于所述一端部的另一端部的方向延伸的上表面和下表面的板状，
所述侧方基板支承部的上表面具有在支承所述基板的边缘部时与所述基板接触的基板接触部，
所述基板接触部具有凸块，所述凸块的顶部在支承所述基板的边缘部时与所述基板接触，
所述凸块的所述容器主体的一端部的所述容器主体开口部侧和所述容器主体的另一端部侧分别由作为平坦面的一端部侧斜面和另一端部侧斜面构成。
8.根据权利要求7所述的基板收纳容器，其特征在于，平行于作为在具有定模和动模的模具的内部的成形空间中对所述容器主体进行成形后使动模移动的方向的水平方向产生移动方向线，所述容器主体中的所述凸块的所述另一端部侧斜面以所述移动方向线为基准倾斜的方向与正交于通过所述容器主体的开口周缘部的端缘整个周向的平面的方向以所述移动方向线为基准，向将所述移动方向线作为边界线的相同侧倾斜。
9.根据权利要求8所述的基板收纳容器，其特征在于，
所述移动方向线与正交于通过所述容器主体的开口周缘部的端缘整个周向的平面的方向成规定的角度，
所述规定的角度为0.1°以上、1°以下。
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