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WO2025017865A1 - 基板収納容器 - Google Patents

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Info

Publication number
WO2025017865A1
WO2025017865A1 PCT/JP2023/026410 JP2023026410W WO2025017865A1 WO 2025017865 A1 WO2025017865 A1 WO 2025017865A1 JP 2023026410 W JP2023026410 W JP 2023026410W WO 2025017865 A1 WO2025017865 A1 WO 2025017865A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
substrate
container body
substrate storage
lid
wall
Prior art date
Application number
PCT/JP2023/026410
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
隆二 福田
Original Assignee
ミライアル株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ミライアル株式会社 filed Critical ミライアル株式会社
Priority to PCT/JP2023/026410 priority Critical patent/WO2025017865A1/ja
Publication of WO2025017865A1 publication Critical patent/WO2025017865A1/ja

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Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders

Definitions

  • the present invention relates to a substrate storage container used for storing, transporting, shipping, etc., substrates such as semiconductor wafers, reticles, and printed circuit boards.
  • Patent Document 1 As a substrate storage container for storing various substrates, a container having a container body and a lid has been known for some time (see, for example, Patent Document 1).
  • One end of the container body has a container body opening.
  • the other end of the container body has a closed cylindrical wall.
  • a substrate storage space is formed within the container body.
  • the substrate storage space is surrounded by the wall and is capable of storing a substrate.
  • the lid is detachable from the container body opening and is capable of closing the container body opening.
  • the side substrate support portions are provided on the wall portions in a pair within the substrate storage space. When the container body opening is not closed by the lid, the side substrate support portions are capable of supporting the edges of adjacent substrates in a state in which the substrates are arranged in parallel with a predetermined distance between them.
  • a front retainer (lid-side substrate support portion) is provided on the portion of the lid that faces the substrate storage space when the container body opening is closed.
  • the front retainer is capable of supporting the edge of the substrate when the container body opening is closed by the lid.
  • a rear substrate support portion is provided on the wall portion so as to pair with the front retainer.
  • the rear substrate support portion is capable of supporting the edge of the substrate.
  • the present invention aims to provide a substrate storage container that can prevent damage to substrates caused by protrusions caused by ejection pin marks and steps caused by resin pieces that occur on the parts that make up the substrate storage container and that come into contact with the ejection pin.
  • the present invention relates to a substrate storage container comprising a container body having a container body opening formed at one end on the front side and a cylindrical wall portion whose other end on the rear side is closed by a back wall, the inner surface of the wall portion forming a substrate storage space capable of storing a plurality of substrates and communicating with the container body opening, and a lid body that is detachable from the container body opening and capable of closing the container body opening, in which a recess recessed in a direction away from the substrate is formed in a portion of the member that abuts against an ejection pin that pushes out the member when the member constituting at least one of the container body and the lid body is released from a mold that forms the member, and in which a portion of the member that abuts against the edge of the substrate is formed.
  • the members are preferably provided on the container body so as to form a pair within the substrate storage space, and have lateral substrate support parts capable of supporting the edges of the substrates when the container body opening is not blocked by the lid, with adjacent substrates among the substrates arranged in parallel and spaced apart at a predetermined distance from each other.
  • the member has a lid-side substrate support portion that is disposed in a portion of the lid that faces the substrate storage space when the container body opening is closed by the lid, and that is capable of supporting the edges of the multiple substrates when the container body opening is closed by the lid.
  • a plurality of the recesses are formed and that the plurality of recesses are arranged in a straight line. It is also preferable that a plurality of the recesses are formed and that the plurality of recesses are arranged in a zigzag pattern.
  • the present invention provides a substrate storage container that can prevent damage to substrates caused by protrusions caused by ejection pin marks or steps caused by resin pieces that are generated on the components that make up the substrate storage container and that come into contact with the ejection pin.
  • FIG. 1 is an exploded perspective view showing a state in which a plurality of substrates W are stored in a substrate storage container 1 according to an embodiment of the present invention.
  • 1 is a top perspective view showing a container body 2 of a substrate storage container 1 according to an embodiment of the present invention.
  • 1 is a bottom perspective view showing a container body 2 of a substrate storage container 1 according to an embodiment of the present invention.
  • 4 is a side cross-sectional view showing the container body 2 taken along line AA in FIG. 3.
  • 4 is an enlarged perspective view showing an upper part of the front part of the substrate support plate-shaped portion 5 shown in FIG. 3.
  • 2 is a left side view showing a substrate supporting plate-shaped portion 5 of a substrate storage container 1 according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 7 is an enlarged perspective view showing an upper part of the rear part of the substrate support plate-shaped portion 5 shown in FIG. 6.
  • 2 is a rear view showing the lid 3 of the substrate storage container 1 according to the embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 is a rear view showing the front retainer 7 of the cover 3 according to the embodiment of the present invention.
  • FIG. 10 is an enlarged perspective view showing an upper portion of the front retainer 7 shown in FIG. 9 .
  • FIG. 11 is a rear view showing a modified example of the front retainer 7 according to the embodiment of the present invention.
  • the substrate storage container 1 According to the present embodiment, the substrate storage container 1 according to the present embodiment will be described with reference to the drawings.
  • the direction from the container body 2 to the lid body 3 described later (the direction from the upper right to the lower left in FIG. 1) is defined as the front direction D11
  • the opposite direction is defined as the rear direction D12
  • the direction from the lower wall 24 to the upper wall 23 described later (the upward direction in FIG. 1) is defined as the upward direction D21
  • the opposite direction is defined as the downward direction D22, and these are collectively defined as the up-down direction D2.
  • the direction from the second side wall 26 to the first side wall 25 described later is defined as the left direction D31
  • the opposite direction is defined as the right direction D32
  • these are collectively defined as the left-right direction D3. Arrows indicating these directions are illustrated in the main drawings.
  • the substrates W (see FIG. 1) stored in the substrate storage container 1 are disk-shaped silicon wafers, glass wafers, sapphire wafers, etc., and are thin wafers used in industry.
  • the substrates W are silicon wafers with a diameter of 300 mm.
  • the substrate storage container 1 is used to store substrates W made of silicon wafers as described above and to be used as an in-process container for transporting them in processes within a factory, or as a shipping container for transporting substrates by land, air, sea or other transport means, and is composed of a container body 2 and a lid 3.
  • the container body 2 has a substrate support plate portion 5 as a side substrate support portion, and a rear substrate support portion 6.
  • the lid 3 has a front retainer 7 as a lid-side substrate support portion.
  • the container body 2 has a cylindrical wall portion 20 with a container body opening 21 formed at one end and a closed other end.
  • a substrate storage space 27 is formed within the container body 2.
  • the substrate storage space 27 is surrounded by the wall portion 20.
  • a substrate support plate portion 5 is disposed in the portion of the wall portion 20 that forms the substrate storage space 27. As shown in FIG. 1, a plurality of substrates W can be stored in the substrate storage space 27.
  • the substrate support plate parts 5 are interior components arranged in a pair within the substrate storage space 27, and are removably fixed to the wall part 20.
  • the substrate support plate parts 5 abut against the edges of the substrates W, thereby supporting the edges of the substrates W while arranging adjacent substrates W in parallel and spaced apart at a predetermined distance from each other.
  • a rear substrate support part 6 is integrally formed with the substrate support plate part 5.
  • the rear substrate support portion 6 is provided on the wall portion 20 so as to pair with the front retainer 7 (described later) within the substrate storage space 27.
  • the rear substrate support portion 6 is capable of supporting the rear portions of the edges of the substrates W by abutting against the edges of the substrates W.
  • the lid body 3 is detachable from the opening periphery 28 that forms the container body opening 21, and is capable of closing the container body opening 21.
  • the front retainer 7 is provided on a portion of the lid body 3 that faces the substrate storage space 27 when the container body opening 21 is closed by the lid body 3.
  • the front retainer is disposed inside the substrate storage space 27 so as to form a pair with the rear substrate support portion 6.
  • the front retainer can support the front of the edges of the multiple substrates W by abutting against the edges of the multiple substrates W.
  • the front retainer cooperates with the rear substrate support portion 6 to support the multiple substrates W, thereby holding adjacent substrates W in parallel with a predetermined distance between them.
  • the substrate storage container 1 is made of resin such as plastic material, and unless otherwise specified, examples of the resin material include thermoplastic resins such as polycarbonate, cycloolefin polymer, polyetherimide, polyetherketone, polybutylene terephthalate, polyetheretherketone, and liquid crystal polymer, as well as alloys of these.
  • thermoplastic resins such as polycarbonate, cycloolefin polymer, polyetherimide, polyetherketone, polybutylene terephthalate, polyetheretherketone, and liquid crystal polymer, as well as alloys of these.
  • conductive substances such as carbon fiber, carbon powder, carbon nanotubes, and conductive polymers are selectively added. It is also possible to add glass fiber or carbon fiber to increase rigidity.
  • the wall part 20 of the container body 2 has a back wall 22, an upper wall 23, a lower wall 24, a first side wall 25, and a second side wall 26.
  • the back wall 22, the upper wall 23, the lower wall 24, the first side wall 25, and the second side wall 26 are made of the above-mentioned materials and are integrally molded.
  • the first side wall 25 and the second side wall 26 face each other, and the upper wall 23 and the lower wall 24 face each other.
  • the rear end of the upper wall 23, the rear end of the lower wall 24, the rear end of the first side wall 25, and the rear end of the second side wall 26 are all connected to the rear wall 22.
  • the front end of the upper wall 23, the front end of the lower wall 24, the front end of the first side wall 25, and the front end of the second side wall 26 constitute the opening periphery 28 that forms the container body opening 21, which has a substantially rectangular shape.
  • the opening periphery 28 is provided at one end of the container body 2, and the rear wall 22 is located at the other end of the container body 2.
  • the outer shape of the container body 2 formed by the outer surfaces of the walls 20 is box-shaped.
  • the inner surfaces of the walls 20, i.e., the inner surface of the rear wall 22, the inner surface of the upper wall 23, the inner surface of the lower wall 24, the inner surface of the first side wall 25, and the inner surface of the second side wall 26, form a substrate storage space 27 surrounded by these.
  • the container body opening 21 formed at the opening periphery 28 is surrounded by the walls 20 and communicates with the substrate storage space 27 formed inside the container body 2. A maximum of 25 substrates W can be stored in the substrate storage space 27.
  • latch engagement recesses 231A, 231B, 241A, and 241B are formed that are recessed toward the outside of the board storage space 27.
  • a total of four latch engagement recesses 231A, 231B, 241A, and 241B are formed, one each near the left and right ends of the upper wall 23 and the lower wall 24.
  • Ribs 235 are formed integrally with the upper wall 23 on the outer surface of the upper wall 23.
  • the ribs 235 increase the rigidity of the container body 2.
  • a top flange 236 is fixed to the center of the upper wall 23.
  • the top flange 236 is a member that is hung on the substrate storage container 1 when suspending the substrate storage container 1 in an AMHS (automated wafer transport system), PGV (wafer substrate transport vehicle), etc.
  • a bottom plate 244 is fixed to the lower wall 24.
  • the bottom plate 244 has a plate shape that faces almost the entire lower surface that constitutes the outer surface of the lower wall 24, and is fixed to the lower wall 24.
  • Two types of through holes, air supply holes 242 and exhaust holes 243, are formed near the four corners of the bottom wall 24.
  • the two through holes in the front part of the bottom wall 24 are exhaust holes 243 for discharging gas from inside the container body 2
  • the two through holes in the rear part are air supply holes 242 for supplying gas into the container body 2.
  • the air supply filter section 98 is disposed in the through hole serving as the air supply hole 242 as an additional part, and the exhaust filter section 99 is disposed in the through hole serving as the exhaust hole 243. That is, the gas flow paths inside the air supply filter section 98 and the exhaust filter section 99 constitute a part of the air passage that can communicate between the substrate storage space 27 and the space outside the container body 2.
  • the air supply filter section 98 and the exhaust filter section 99 are disposed in the wall section 20, and the air supply filter section 98 and the exhaust filter section 99 allow the gas to pass between the space outside the container body 2 and the substrate storage space 27 via a filter (not shown).
  • the purge gas supplied to the air supply filter section 98 is configured to be supplied to the substrate storage space 27.
  • the exhaust filter section 99 is configured to allow the gas to pass from the substrate storage space 27 to the space outside the container body 2.
  • the back wall 22 has a protrusion 8 serving as a gas ejection nozzle.
  • Two protrusions 8 are provided in pairs.
  • the protrusions 8 are fixed to the bottom wall 24 of the container body 2 by being inserted, by a plug-in structure, into holes formed in the bottom wall 24 of the container body 2 near the two air supply holes 242, one at a time, so that the bases of the protrusions are airtightly connected to the internal air passage of the air supply filter section 98.
  • the upper part of the protrusion 8, which is the tip side part of the protrusion 8, is fixed to the back wall 22 constituting the wall section 20 by snap-fitting, welding, or the like.
  • the pair of protrusions 8 protrude in a rib-like manner toward the container body opening 21 and extend parallel to the upper end of the rear wall 22 from the lower end.
  • the protrusions 8 have a hollow columnar shape.
  • the protrusion 8 supplies the gas that has flowed into the air passage, which is a gas flow path inside the air supply filter section 98 and which can connect the substrate storage space 27 to the space outside the container body 2, to the substrate storage space 27.
  • the board support plate-shaped parts 5 are provided on the first side wall 25 and the second side wall 26, respectively, and are interior components arranged in pairs in the left-right direction D3 within the board storage space 27. Specifically, as shown in Fig. 4 etc., the board support plate-shaped part 5 has a board part 51 and a support wall 52 as a board part support part. The board part 51 and the support wall 52 are formed by integrally molding a resin material, and the board part 51 is supported by the support wall 52.
  • the plate portions 51 have a generally arc-shaped plate shape. 25 plate portions 51 are provided on each of the first side wall 25 and the second side wall 26 in the vertical direction D2, for a total of 50 plate portions 51. Adjacent plate portions 51 are spaced apart in the vertical direction D2 at intervals of 10 mm to 12 mm and arranged in a parallel positional relationship. Note that above the topmost plate portion 51, another plate-shaped member 59 is arranged parallel to the plate portion 51; this member is located at the top and acts as a guide for the substrate W being inserted into the substrate storage space 27.
  • the 25 plate portions 51 provided on the first side wall 25 and the 25 plate portions 51 provided on the second side wall 26 are positioned opposite each other in the left-right direction D3.
  • the 50 plate portions 51 and the member 59 acting as a plate-shaped guide parallel to the plate portions 51 are positioned parallel to the inner surface of the bottom wall 24.
  • the upper surface of the plate portions 51 has protrusions 511 and 512.
  • the substrate W supported by the plate portions 51 contacts only the protruding ends of the protrusions 511 and 512 and does not contact the plate portions 51 at their surfaces.
  • the support wall 52 has a plate shape extending in the up-down direction D2 and approximately the front-rear direction D1. As shown in FIG. 4 etc., the support wall 52 has a predetermined length in the longitudinal direction of the plate portion 51, and includes a support wall 52-1 at the front end of the board support plate portion 5, a support wall 52-2 at a portion slightly forward of the center, and a support wall 52-3 at the rear end of the board support plate portion 5, and is connected to the side edge of the plate portion 51.
  • the plate-shaped support wall 52 curves along the outer edge of the plate portion 51 toward the board storage space 27.
  • the 25 plate portions 51 provided on the first side wall 25 are connected to the support wall 52 provided on the first side wall 25 side.
  • the 25 plate portions 51 provided on the second side wall 26 are connected to the support wall 52 provided on the second side wall 26 side.
  • the support walls 52 are fixed to the first side wall 25 and the second side wall 26, respectively.
  • the substrate support plate portion 5 configured in this manner can support the edges of multiple substrates W, with adjacent substrates W spaced apart at a predetermined distance and parallel to each other.
  • the support wall 52 is formed with a recess 521 and a protrusion 522.
  • the recess 521 is a portion of the support wall 52 that abuts against an ejection pin (not shown) that pushes out the support wall 52 of the substrate support plate 5 when the molded substrate support plate 5 is released from a mold (not shown) that molds the substrate support plate 5, and is also formed in the portion of the support wall 52 that abuts against the edge of the substrate W when the substrate W is inserted into or removed from the substrate storage space 27.
  • the recess 521 is recessed toward the outside of the container body 2, which is the direction away from the substrate W stored in the substrate storage space 27.
  • a plurality of recesses 521 are formed, and are arranged side by side in the vertical direction D2 on the support wall 52-1 forward of the protrusion 511 and on the support wall 52-2 in a portion slightly forward of the center.
  • the recesses 521 are disposed one by one between adjacent plate portions 51 in the up-down direction D2, or between the plate portion 51 and the plate-shaped member 59.
  • the recesses 521 (521-1) formed at the front end of the support wall 52 are disposed in a zigzag pattern from front to back, and the recesses 521 (521-2) formed in the support wall 52-2 are disposed in a straight line. In this way, by disposing the recesses in a zigzag pattern and in a straight line, it is possible to make it easier to push out the recesses using the ejection pin, compared to disposing the recesses in only one of the two ways.
  • the portion in which this recess 521 is formed is a portion that contacts the left and right sides of the substrate W to guide the substrate W when it is inserted into or removed from the container body 2, and is therefore a portion of the container body 2 that cannot be designed not to come into contact with the substrate W. In other words, this is because it is a portion that needs to be located as close to the substrate W as possible. For this reason, the opening of the recess 521 is formed in a chamfered shape so as not to damage the substrate W when it comes into contact with the substrate W and to prevent the creation of burrs (edges) during demolding.
  • the recess 521 has a cylindrical shape with a length in the axial direction shorter than its diameter.
  • the diameter of the recess 521 is greater than the diameter of the push pin (not shown) that pushes out the support wall 52.
  • the depth of the recess 521 is 0.05 mm or more and 0.2 mm or less. The reason for making the depth 0.05 mm or more is that if it is less than 0.05 mm, the step caused by the protrusions and resin pieces generated on the support wall 52 when the support wall 52 abuts against the push pin (not shown) that pushes out the support wall 52 is larger, and the effect of preventing the step from abutting against the substrate W cannot be obtained.
  • the reason for making the depth 0.2 mm or less is that it is unlikely that the step caused by the protrusions and resin pieces generated on the support wall 52 when the support wall 52 abuts against the push pin (not shown) that pushes out the support wall 52 will exceed 0.2 mm, and the recess would be deeper than necessary to obtain the effect of preventing the step from abutting against the substrate W.
  • the protrusion 522 is a portion of the support wall 52 that comes into contact with an ejection pin (not shown) that pushes out the support wall 52 of the substrate support plate 5 when the molded substrate support plate 5 is released from a mold (not shown) that molds the substrate support plate 5, and is positioned and formed in a portion of the support wall 52 that does not come into contact with the edge of the substrate W and is always spaced apart from the edge of the substrate W.
  • the convex portion 522 (see FIG. 4) on the side of the container body 2 that faces the substrate storage space 27 (hereinafter referred to as the "inside of the support wall 52"), which is closer to the center of the container body 2, is formed to protrude inward of the container body 2 in the direction approaching the substrates W stored in the substrate storage space 27.
  • the convex portion 522 (see FIG. 6) on the outer side of the substrate storage space 27 (hereinafter referred to as the "outside of the support wall 52"), which is the side of the container body 2 that faces the wall 20, is formed to protrude outward of the container body 2, which is the direction away from the substrates W stored in the substrate storage space 27.
  • the protrusions 522 There are multiple protrusions 522, and the protrusions 522 (522-1) on the inside of the support wall 52 are arranged in a straight line in the vertical direction D2 at the rear end of the support wall 52-3 rearward of the rear board support portion 6, as shown in FIG. 4.
  • the multiple protrusions 522-1 are arranged at predetermined intervals so that one is arranged for every 2 to 3 boards W stored in the board storage space 27, and the number of protrusions is different between the upper and lower halves of the support wall 52-3.
  • the protrusions 522 (522-2) are arranged in the middle of the rear extension extending rearward from the rear end of the support wall 52.
  • the convex portions 522 (522-3) are arranged in a straight line in the vertical direction D2 on the support wall 52-1.
  • the multiple convex portions 522-3 are arranged at a predetermined interval so that one is located at the upper end of the support wall 52-1, the lower end, a quarter of the support wall 52-1 from the top in the vertical direction D2, and a quarter of the support wall 52-1 from the bottom in the vertical direction D2.
  • Multiple convex portions 522 (522-3) are also arranged in a straight line in the vertical direction D2 on the support wall 52-3.
  • the protrusion 522 has a cylindrical shape with a length in the axial direction shorter than its diameter.
  • the diameter of the protrusion 522 is larger than the diameter of the ejection pin (not shown) that pushes out the support wall 52, but is not limited to this and may be the same as or smaller than the diameter of the ejection pin.
  • the height of the protrusion 522 is between 0.05 mm and 0.2 mm. It is set to 0.05 mm or more because if it is less than 0.05 mm, the height is too low and it is difficult to check for the presence or absence of dust that may adhere to the substrate W. It is set to 0.2 mm or less because if it is too high, it may get in the way.
  • the rear side substrate support portion 6 has a rear side edge support portion 60.
  • the rear side edge support portion 60 is configured by being integrally molded with the plate portion 51 and the support wall 52 at the rear end portion of the plate portion 51 of the substrate support plate portion 5. Therefore, the substrate support plate portion 5 as a side substrate support portion and the rear side substrate support portion 6 configure a single combined interior part that is fixed to the container body 2 inside the container body 2.
  • the rear side substrate support portion 6 may be configured as a separate body from the substrate support plate portion 5, i.e., the rear side edge support portion 60 may be configured as a separate body from the plate portion 51 of the substrate support plate portion 5.
  • the number of rear edge support portions 60 is set to correspond to each substrate W that can be stored in the substrate storage space 27, specifically 25.
  • the rear edge support portions 60 arranged on the first side wall 25 and the second side wall 26 are positioned in a paired relationship in the front-to-rear direction D1 with the front retainer 7, which will be described later.
  • the rear edge support portions 60 clamp and support the edge of the substrate W.
  • the lid body 3 has a generally rectangular shape that generally matches the shape of the opening peripheral portion 28 of the container body 2.
  • the lid body 3 is detachable from the opening peripheral portion 28 of the container body 2, and by attaching the lid body 3 to the opening peripheral portion 28, the lid body 3 can close the container body opening 21 in a positional relationship in which it is surrounded by the opening peripheral portion 28.
  • a ring-shaped sealing member 4 is attached to the inner surface of the lid 3 (the back surface of the lid 3 shown in FIG. 1) that faces the surface (sealing surface 281) of the step formed in the position in the direction D12 immediately behind the opening periphery 28 when the lid 3 is closing the container body opening 21, so as to go around the outer periphery of the lid 3.
  • the sealing member 4 is arranged so as to go around the lid 3.
  • the sealing member 4 is made of various thermoplastic elastomers such as elastically deformable polyesters and polyolefins, fluororubber, silicone rubber, etc.
  • the sealing member 4 When the lid body 3 is attached to the opening periphery 28, the sealing member 4 is sandwiched between the sealing surface 281 of the container body 2 and the inner surface of the lid body 3 and elastically deforms. In other words, by interposing the sealing member 4 between the lid body 3 and the container body 2, the lid body 3 can close the container body opening 21 while the lid body 3 and the opening periphery 28 are spaced apart without abutting each other. By removing the lid body 3 from the opening periphery 28, the substrate W can be inserted and removed from the substrate storage space 27 inside the container body 2.
  • the lid body 3 is provided with a latch mechanism.
  • the latch mechanism is provided near both the left and right ends of the lid body 3, and as shown in FIG. 1, includes two upper latch portions 32A, 32A that can protrude in an upward direction D21 from the top edge of the lid body 3, and two lower latch portions 32B, 32B that can protrude in a downward direction D22 from the bottom edge of the lid body 3.
  • the two upper latch portions 32A, 32A are located near both the left and right ends of the top edge of the lid body 3, and the two lower latch portions 32B, 32B are located near both the left and right ends of the bottom edge of the lid body 3.
  • An operating portion 33 is provided on the outer surface of the lid body 3.
  • the upper latch portions 32A, 32A and the lower latch portions 32B, 32B can be made to protrude from the upper and lower sides of the lid body 3, or can be made not to protrude from the upper and lower sides.
  • the upper latch portions 32A, 32A protrude in the upward direction D21 from the upper side of the lid body 3 and engage with the latch engagement recesses 231A, 231B of the container body 2, and the lower latch portions 32B, 32B protrude in the downward direction D22 from the lower side of the lid body 3 and engage with the latch engagement recesses 241A, 241B of the container body 2, thereby fixing the lid body 3 to the container body opening 21 of the container body 2.
  • a recess 34 is formed on the inside of the lid 3, recessed outward from the board storage space 27.
  • the recess 34 is formed in the center of the lid 3 in the left-right direction D3, has a width that is about one-third of the width of the lid 3 in the left-right direction D3, and is formed in the vertical direction D2 from near the upper end to near the lower end of the lid 3.
  • a front retainer 7 is provided in the recess 34. That is, the front retainer 7 is disposed in a portion of the lid 3 that forms the substrate storage space 27 when the container body opening 21 of the container body 2 is closed, i.e., in a portion that faces the substrate storage space 27.
  • the front retainer 7 is made up of front retainer part 7-1 and front retainer part 7-2, which are separate and have the same shape, and has a pair of vertical frame bodies 71 extending parallel to the vertical direction D2, front retainer legs 72, and a front retainer board receiving part 73 as a cover-side board support part.
  • the pair of vertical frame bodies 71, front retainer legs 72, and front retainer board receiving part 73 are integrally molded from resin.
  • the front retainer board receiving part 73 constitutes the cover-side board support part.
  • the front retainer board receiving portions 73 are arranged in a straight line at a predetermined interval in the vertical direction D2. There are 25 front retainer board receiving portions 73 arranged in this manner in the vertical direction D2.
  • the vertical frame 71 is provided with a protrusion 711.
  • the protrusion 711 is formed in a portion of the vertical frame 71 that abuts against an ejection pin (not shown) that pushes out the vertical frame 71 of the molded front retainer portion 7-1 and front retainer portion 7-2 when the molded front retainer portion 7-1 and front retainer portion 7-2 are released from a mold (not shown) that molds the board support plate portion 5.
  • the convex portions 711 (see Figures 9 and 10) on the side of the container body 2 that faces the substrate storage space 27 (hereinafter referred to as the "inside of the vertical frame body 71"), which is the side closer to the center of the container body 2, are formed to protrude toward the inside of the container body 2, which is the direction approaching the substrates W stored in the substrate storage space 27.
  • Multiple convex portions 711 are formed on the vertical frame body 71 and arranged in a straight line at predetermined intervals so that the number of convex portions 711 differs between the upper and lower halves of the vertical frame body 71.
  • the substrate storage container 1 According to the substrate storage container 1 according to this embodiment having the above configuration, the following effects can be obtained.
  • the substrate supporting plate portion 5, which is a component constituting the container body 2 is released from the mold that forms the substrate supporting plate portion 5, a recess 521 that is recessed in a direction away from the substrate W is formed in the portion of the substrate supporting plate portion 5 that abuts against the edge of the substrate W and that abuts against the ejection pin that pushes out the substrate supporting plate portion 5.
  • protrusions caused by the ejection pin marks and steps caused by resin pieces caused by the ejection pin coming into contact with the substrate support plate-shaped portion 5, which is a component that constitutes the substrate storage container 1, are contained within the recess 521 and do not protrude from the recess 521.
  • This makes it possible to eliminate damage to the substrates W, and provides a substrate storage container 1 that is capable of avoiding damage to the substrates W.
  • the member in which the recess 521 is provided is provided in the container body 2 so as to form a pair within the substrate storage space 27, and has a substrate support plate portion 5 as a lateral substrate support portion capable of supporting the edges of the substrates W when adjacent substrates W among the substrates W are arranged in parallel and spaced apart from each other by a predetermined distance when the container body opening 21 is not closed by the lid 3.
  • a substrate support plate portion 5 as a lateral substrate support portion capable of supporting the edges of the substrates W when adjacent substrates W among the substrates W are arranged in parallel and spaced apart from each other by a predetermined distance when the container body opening 21 is not closed by the lid 3.
  • multiple recesses 521 are formed, and the multiple recesses 521 are arranged in a straight line. This makes it possible to push the substrate support plate-shaped portion 5 out of the mold by the ejection pins arranged in a straight line.
  • multiple recesses 521 are formed, and the multiple recesses 521 are arranged in a zigzag pattern. This allows the push-out pins arranged in a zigzag pattern to ensure a wide area for the pushed-out portion, and makes it possible to push out the substrate support plate-shaped portion 5 from the mold on two offset lines that form a zigzag pattern.
  • the substrate support plate portion 5 and the front retainer 7, which are components constituting the container body 2 and the lid body 3, are released from the molds that mold the substrate support plate portion 5 and the front retainer 7, respectively, the portions of the substrate support plate portion 5 and the front retainer 7 that come into contact with the ejection pins that push out the substrate support plate portion 5 and the front retainer 7, respectively, are formed with convex portions 522 and 711, respectively.
  • the convex portions 522 and 711 are arranged in the portions of the substrate support plate portion 5 and front retainer 7 that do not come into contact with the edge of the substrate W and are always spaced apart from the edge of the substrate W. This makes it possible to prevent the aforementioned dirt and dust from accumulating in the portions of the substrate support plate portion 5 and front retainer 7 that do not always come into contact with the substrate W, and also makes cleaning easy.
  • the convex portions 522-3 and 522-4 protrude in a direction away from the substrate W, while the convex portions 522-1 and 522-2 protrude in a direction approaching the substrate W.
  • the member on which the convex portion 522 is provided is provided on the container body 2 so as to form a pair within the substrate storage space 27, and has a substrate support plate portion 5 as a lateral substrate support portion capable of supporting the edges of the plurality of substrates W when the adjacent substrates W among the plurality of substrates W are arranged in parallel and spaced apart from each other by a predetermined distance when the container body opening 21 is not closed by the lid body 3.
  • a substrate support plate portion 5 as a lateral substrate support portion capable of supporting the edges of the plurality of substrates W when the adjacent substrates W among the plurality of substrates W are arranged in parallel and spaced apart from each other by a predetermined distance when the container body opening 21 is not closed by the lid body 3.
  • the support wall 52-1 at the front end of the substrate support plate part 5 and the support wall 52-3 at the rear end of the substrate support plate part 5 are disposed on the substrate support plate part 5. This makes it possible to prevent dirt and dust caused by friction from accumulating on the aforementioned step on the substrate support plate part 5 in the part of the substrate support plate part 5 that does not contact the substrate W. Furthermore, even if dust accumulates on the convex part 522, it can be easily cleaned.
  • the convex portion 522 is disposed on the portion of the substrate support plate portion 5 that faces the container body 2. This makes it possible to prevent dirt and dust caused by friction from accumulating on the aforementioned step on the side opposite the side of the substrate support plate portion 5 that faces the substrate W. Furthermore, even if dust accumulates on the convex portion 522, it can be easily cleaned.
  • the member on which the convex portion 711 is provided is a part of the lid body 3, which is arranged in a portion facing the substrate storage space 27 when the container body opening 21 is closed by the lid body 3, and has a front retainer 7 as a lid body-side substrate support portion capable of supporting the edges of multiple substrates W when the container body opening 21 is closed by the lid body 3.
  • a front retainer 7 as a lid body-side substrate support portion capable of supporting the edges of multiple substrates W when the container body opening 21 is closed by the lid body 3.
  • multiple convex portions 522 and convex portions 711 are formed, and the convex portions 522 and convex portions 711 are arranged in a straight line. This makes it possible to push the substrate support plate portion 5 and the front retainer 7 out of the mold by the ejection pins arranged in a straight line.
  • the front retainer 7 is provided with a protrusion 711, but this is not limited to this.
  • the vertical frame 71 of the front retainer 7A may be formed with a recess 711A instead of the protrusion 711.
  • the member in which the recess 711A is provided is a part of the lid body 3, which is arranged in a portion facing the substrate storage space 27 when the container body opening 21 is closed by the lid body 3, and has a front retainer 7A as a lid body-side substrate support part capable of supporting the edges of multiple substrates W when the container body opening 21 is closed by the lid body 3.
  • the convex portions 522-1 and 522-2 are formed to protrude inwardly of the container body 2, which is the direction toward the substrate W stored in the substrate storage space 27, and the convex portions 522-3 and 522-4 are formed to protrude outwardly of the container body 2, which is the direction away from the substrate W stored in the substrate storage space 27, but this is not limiting.
  • the convex portions are formed to protrude in at least one of the direction away from the substrate and the direction toward the substrate.
  • the convex portions 522-1, 522-2, 522-3, and 522-4 are provided on the support wall 52-1 at the front end of the board support plate portion 5 and the support wall 52-3 at the rear end of the board support plate portion 5, but this is not limited to this. It is sufficient that the convex portions are each disposed at at least one of the front end of the side board support portion, the rear end of the side board support portion, and the center of the side board support portion in the front-to-rear direction.
  • the recess 521 and the protrusion 522 are provided on the substrate support plate portion 5, and the protrusion 711 and the recess 711A are provided on the front retainer 7 and the front retainer 7A, but this is not limited to the above.
  • the protrusion and the recess may be provided on at least one of the members constituting the container body and the lid.
  • the shapes of the container body and the lid body, and the number and dimensions of the substrates W that can be stored in the container body are not limited to the shapes of the container body 2 and the lid body 3, and the number and dimensions of the substrates W that can be stored in the container body 2 in this embodiment.
  • Substrate storage container 2 Container body 3 Lid 5 Substrate support plate portion (side substrate support portion) 6: Rear side substrate support portion 7: Front retainer (lid body side substrate support portion) 20 Wall portion 21 Container body opening 25 First side wall (side wall) 26 Second side wall (side wall) 27 Substrate storage space 522, 711 Convex portion 521, 711A Concave portion W Substrate

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Abstract

前側の一端部に容器本体開口部２１が形成され、後ろ側の他端部が奥壁２２によって閉塞された筒状の壁部２０を備え、壁部２０の内面によって、複数の基板Ｗを収納可能であり容器本体開口部２１に連通する基板収納空間２７が形成された容器本体２と、容器本体開口部２１に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能な蓋体３と、を備える、基板収納容器２であって、容器本体２と蓋体３との少なくとも一つを構成する部材５、７を成形する金型から部材５、７を離型する際に、部材５、７を押し出す押し出しピンに当接する部材５、７の部分であって、基板Ｗの縁部に当接する部材５、７の部分には、基板Ｗから離間する方向へ窪んだ凹部５２１が形成されている基板収納容器１である。

Description

基板収納容器
　本発明は、半導体ウェーハ、レチクル、プリント基板などの基板を収納、保管、搬送、輸送等する際に使用される基板収納容器に関する。
　各種基板を収納する基板収納容器としては、容器本体と蓋体とを備える構成のものが、従来より知られている（例えば、特許文献１参照）。
　容器本体の一端部は、容器本体開口部を有する。容器本体の他端部は、閉塞された筒状の壁部を有する。容器本体内には基板収納空間が形成されている。基板収納空間は、壁部により取り囲まれて形成されており、基板を収納可能である。蓋体は、容器本体開口部に対して着脱可能であり、容器本体開口部を閉塞可能である。側方基板支持部は、基板収納空間内において対をなすように壁部に設けられている。側方基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されていないときに、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、基板の縁部を支持可能である。
　蓋体の部分であって容器本体開口部を閉塞しているときに基板収納空間に対向する部分には、フロントリテーナ（蓋体側基板支持部）が設けられている。フロントリテーナは、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、基板の縁部を支持可能である。また、フロントリテーナと対をなすようにして、奥側基板支持部が壁部に設けられている。奥側基板支持部は、基板の縁部を支持可能である。奥側基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、フロントリテーナと協働して基板を支持することにより、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、基板を支持する。
特開２０１６－００４９４９公報
　従来の基板収納容器を構成する部品を、金型により成形した後に金型から取り出す際には、押し出しピンにより突き出して、金型から取り出す。この際、押し出しピンが当接する当該部品の部分に押し出しピンの跡による突起や樹脂片が発生して段差が出来てしまい、基板を出し入れする際や、収納して搬送する際に、振動等で基板を損傷する問題が発生していた。
　本発明は、押し出しピンが当接する、基板収納容器を構成する部品に生じた押し出しピンの跡による突起や樹脂片による段差が、基板を損傷することを回避することが可能な基板収納容器を提供することを目的とする。
　本発明は、前側の一端部に容器本体開口部が形成され、後ろ側の他端部が奥壁によって閉塞された筒状の壁部を備え、前記壁部の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、を備える、基板収納容器であって、前記容器本体と前記蓋体との少なくとも一つを構成する部材を成形する金型から前記部材を離型する際に、前記部材を押し出す押し出しピンに当接する前記部材の部分であって、前記基板の縁部に当接する前記部材の部分には、前記基板から離間する方向へ窪んだ凹部が形成されている基板収納容器に関する。
　前記部材は、前記基板収納空間内において対をなすように、前記容器本体に設けられ、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されていないときに、前記複数の基板のうちの隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、前記複数の基板の縁部を支持可能な側方基板支持部を有することが好ましい。
　また、前記部材は、前記蓋体の部分であって前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記基板収納空間に対向する部分に配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記複数の基板の縁部を支持可能な蓋体側基板支持部を有することが好ましい。
　また、前記凹部は、複数形成され、前記複数の凹部は、一直線状に配置されていることが好ましい。また、前記凹部は、複数形成され、前記複数の凹部は、ジグザグ状に配置されていることが好ましい。
　本発明によれば、押し出しピンが当接する、基板収納容器を構成する部品に生じた押し出しピンの跡による突起や樹脂片による段差が、基板を損傷することを回避することが可能な基板収納容器を提供することができる。
本発明の実施形態に係る基板収納容器１に複数の基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。 本発明の実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す上方斜視図である。 本発明の実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す下方斜視図である。 図３のＡ－Ａ線で切断した容器本体２を示す側方断面図である。 図３に示す基板支持板状部５の前部の上部を示す拡大斜視図である。 本発明の実施形態に係る基板収納容器１の基板支持板状部５を示す左側面図である。 図６に示す基板支持板状部５の後部の上部を示す拡大斜視図である。 本発明の実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３を示す背面図である。 本発明の実施形態に係る蓋体３のフロントリテーナ７を示す背面図である。 図９に示すフロントリテーナ７の上部を示す拡大斜視図である。 本発明の実施形態に係るフロントリテーナ７の変形例を示す背面図である。
〔基板収納容器１の全体構成〕
　以下、本実施形態による基板収納容器１について、図面を参照しながら説明する。ここで、説明の便宜上、後述の容器本体２から蓋体３へ向かう方向（図１における右上から左下へ向かう方向）を前方向Ｄ１１と定義し、その反対の方向を後方向Ｄ１２と定義し、これらをあわせて前後方向Ｄ１と定義する。また、後述の下壁２４から上壁２３へと向かう方向（図１における上方向）を上方向Ｄ２１と定義し、その反対の方向を下方向Ｄ２２と定義し、これらをあわせて上下方向Ｄ２と定義する。また、後述する第２側壁２６から第１側壁２５へと向かう方向（図１における右下から左上へ向かう方向）を左方向Ｄ３１と定義し、その反対の方向を右方向Ｄ３２と定義し、これらをあわせて左右方向Ｄ３と定義する。主要な図面には、これらの方向を示す矢印を図示している。
　また、基板収納容器１に収納される基板Ｗ（図１参照）は、円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。本実施形態における基板Ｗは、直径３００ｍｍのシリコンウェーハである。
　図１～図４に示すように、基板収納容器１は、上述のようなシリコンウェーハからなる基板Ｗを収納して、工場内の工程において搬送する工程内容器として用いられたり、陸運手段・空運手段・海運手段等の輸送手段により基板を輸送するための出荷容器として用いられたりするものであり、容器本体２と、蓋体３とから構成される。容器本体２は、側方基板支持部としての基板支持板状部５と、奥側基板支持部６とを備えている。蓋体３は、蓋体側基板支持部としてのフロントリテーナ７を備えている。
　容器本体２は、一端部に容器本体開口部２１が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を有する。容器本体２内には基板収納空間２７が形成されている。基板収納空間２７は、壁部２０により取り囲まれて形成されている。壁部２０の部分であって基板収納空間２７を形成している部分には、基板支持板状部５が配置されている。基板収納空間２７には、図１に示すように、複数の基板Ｗを収納可能である。
　基板支持板状部５は、基板収納空間２７内において対をなすように配置された内装部品であり、壁部２０に着脱可能に固定されて設けられている。基板支持板状部５は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。基板支持板状部５の奥側には、奥側基板支持部６が基板支持板状部５と一体成形されて設けられている。
　奥側基板支持部６は、基板収納空間２７内において後述するフロントリテーナ７と対をなすように壁部２０に設けられている。奥側基板支持部６は、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、複数の基板Ｗの縁部の後部を支持可能である。
　蓋体３は、容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能である。フロントリテーナ７は、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分に設けられている。フロントリテーナは、基板収納空間２７の内部において奥側基板支持部６と対をなすように配置されている。
　フロントリテーナは、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより複数の基板Ｗの縁部の前部を支持可能である。フロントリテーナは、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、奥側基板支持部６と協働して複数の基板Ｗを支持することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で保持する。
　基板収納容器１は、プラスチック材等の樹脂で構成されており、特に説明が無い場合には、その材料の樹脂としては、たとえば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等が上げられる。これらの成形材料の樹脂には、導電性を付与する場合には、カーボン繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、導電性ポリマー等の導電性物質が選択的に添加される。また、剛性を上げるためにガラス繊維や炭素繊維等を添加することも可能である。
〔容器本体２〕
　以下、各部について、詳細に説明する。図１～図４に示すように、容器本体２の壁部２０は、奥壁２２と上壁２３と下壁２４と第１側壁２５と第２側壁２６とを有する。奥壁２２、上壁２３、下壁２４、第１側壁２５、及び第２側壁２６は、上述した材料により構成されており、一体成形されて構成されている。
　第１側壁２５と第２側壁２６とは対向しており、上壁２３と下壁２４とは対向している。上壁２３の後端、下壁２４の後端、第１側壁２５の後端、及び第２側壁２６の後端は、全て奥壁２２に接続されている。上壁２３の前端、下壁２４の前端、第１側壁２５の前端、及び第２側壁２６の前端は、略長方形状をした容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８を構成する。
　開口周縁部２８は、容器本体２の一端部に設けられており、奥壁２２は、容器本体２の他端部に位置している。壁部２０の外面により形成される容器本体２の外形は箱状である。壁部２０の内面、即ち、奥壁２２の内面、上壁２３の内面、下壁２４の内面、第１側壁２５の内面、及び第２側壁２６の内面は、これらによって取り囲まれた基板収納空間２７を形成している。開口周縁部２８に形成された容器本体開口部２１は、壁部２０により取り囲まれて容器本体２の内部に形成された基板収納空間２７に連通している。基板収納空間２７には、最大で２５枚の基板Ｗを収納可能である。
　上壁２３及び下壁２４の部分であって、開口周縁部２８の近傍の部分には、基板収納空間２７の外方へ向かって窪んだラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂが形成されている。ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂは、上壁２３及び下壁２４の左右両端部近傍に１つずつ、計４つ形成されている。
　上壁２３の外面においては、リブ２３５が、上壁２３と一体成形されて設けられている。リブ２３５は、容器本体２の剛性を高める。また、上壁２３の中央部には、トップフランジ２３６が固定される。トップフランジ２３６は、ＡＭＨＳ（自動ウェーハ搬送システム）、ＰＧＶ（ウェーハ基板搬送台車）等において基板収納容器１を吊り下げる際に、基板収納容器１において掛けられて吊り下げられる部分となる部材である。
　下壁２４には、ボトムプレート２４４が固定されている。ボトムプレート２４４は、下壁２４の外面を構成する下面の略全面に対向して配置される板状を有しており、下壁２４に固定されている。
　下壁２４の四隅近傍には、２種類の貫通孔である給気孔２４２と排気孔２４３が形成されている。本実施形態においては、下壁２４の前部の２箇所の貫通孔は、容器本体２の内部の気体を排出するための排気孔２４３であり、後部の２箇所の貫通孔は、容器本体２の内部に気体を給気するための給気孔２４２である。
　給気孔２４２としての貫通孔には、付加部品としての給気用フィルタ部９８が配置されており、排気孔２４３としての貫通孔には、排気用フィルタ部９９が配置されている。即ち、給気用フィルタ部９８及び排気用フィルタ部９９の内部の気体の流路は、基板収納空間２７と容器本体２の外部の空間とを連通可能な通気路の一部を構成する。また、給気用フィルタ部９８と排気用フィルタ部９９とは、壁部２０に配置されており、給気用フィルタ部９８と排気用フィルタ部９９とにおいては、容器本体２の外部の空間と基板収納空間２７との間でフィルタ（図示せず）を介して気体が通過可能である。給気用フィルタ部９８に供給されたパージガスは、基板収納空間２７へ供給されるように構成されている。排気用フィルタ部９９は、基板収納空間２７から容器本体２の外部の空間へ気体を通過可能に構成されている。
〔突出部８〕
　奥壁２２は、気体噴出ノズル部としての突出部８を有している。突出部８は、２つで対をなして設けられている。突出部８は、突出部の基部が、給気用フィルタ部９８の内部の通気路に気密に連通するように、２つの給気孔２４２の近傍の容器本体２の下壁２４の部分に形成された穴に、１つずつ計２つ差し込み構造により差し込まれることにより、容器本体２の下壁２４に固定されている。また、突出部８の先端側の部分である突出部８の上部は、スナップフィット、又は、溶着等により、壁部２０を構成する奥壁２２に固定されている。
　この構成により、一対の突出部８は、リブ状に容器本体開口部２１へ向って突出し、平行に奥壁２２の上端部から下端部に至るまで延びている。突出部８は中空の柱状を有している。
　突出部８は、基板収納空間２７と容器本体２の外部の空間とを連通可能な、給気用フィルタ部９８の内部の気体の流路である通気路に流入した気体を、基板収納空間２７に供給する。
〔基板支持板状部５〕
　基板支持板状部５は、第１側壁２５及び第２側壁２６にそれぞれ設けられており、左右方向Ｄ３において対をなすようにして基板収納空間２７内に配置された内装部品である。具体的には、図４等に示すように、基板支持板状部５は、板部５１と板部支持部としての支持壁５２とを有している。板部５１と支持壁５２は、樹脂材料が一体成形されて構成されており、板部５１は、支持壁５２によって支持されている。
　板部５１は、板状の略弧形状を有している。板部５１は、第１側壁２５、第２側壁２６それぞれに、上下方向Ｄ２に２５枚ずつ計５０枚設けられている。隣接する板部５１は、上下方向Ｄ２において１０ｍｍ～１２ｍｍ間隔で互いに離間して平行な位置関係で配置されている。なお、最も上に位置する板部５１の上方には、もう一枚板部５１と平行に板状の部材５９が配置されているが、これは、最も上に位置して基板収納空間２７内へ挿入される基板Ｗに対して、当該挿入の際のガイドの役割をする部材である。
　また、第１側壁２５に設けられた２５枚の板部５１と、第２側壁２６に設けられた２５枚の板部５１とは、互いに左右方向Ｄ３において対向する位置関係を有している。また、５０枚の板部５１、及び、板部５１と平行な板状のガイドの役割をする部材５９は、下壁２４の内面に平行な位置関係を有している。板部５１の上面には、凸部５１１、５１２が設けられている。板部５１に支持された基板Ｗは、凸部５１１、５１２の突出端にのみ接触し、面で板部５１に接触しない。
　支持壁５２は、上下方向Ｄ２及び略前後方向Ｄ１に延びる板状を有している。支持壁５２は、図４等に示すように、板部５１の長手方向においてそれぞれ所定の長さを有して、基板支持板状部５の前端部の支持壁５２－１、中央よりも僅かに前側の部分の支持壁５２－２、及び、基板支持板状部５の後端部の支持壁５２－３を有しており、板部５１の側端縁に接続されている。板状の支持壁５２は、板部５１の外側端縁に沿って基板収納空間２７へ湾曲している。
　即ち、第１側壁２５に設けられた２５枚の板部５１は、第１側壁２５側に設けられた支持壁５２に接続されている。同様に、第２側壁２６に設けられた２５枚の板部５１は、第２側壁２６側に設けられた支持壁５２に接続されている。支持壁５２は、第１側壁２５、第２側壁２６にそれぞれ固定される。
　このような構成の基板支持板状部５は、複数の基板Ｗのうちの隣接する基板Ｗ同士を、所定の間隔で離間した状態で且つ互いに平行な位置関係とした状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。
　支持壁５２には、図４～図７に示すように、凹部５２１と凸部５２２とが形成されている。凹部５２１は、基板支持板状部５を成形する図示しない金型から、成形した基板支持板状部５を離型する際に、基板支持板状部５の支持壁５２を押し出す図示しない押し出しピンに当接する支持壁５２の部分であって、且つ、基板Ｗを基板収納空間２７に対して出し入れする際に、基板Ｗの縁部に当接する支持壁５２の部分に形成されている。
　具体的には、凹部５２１は、基板収納空間２７に収納された基板Ｗから離間する方向である容器本体２の外方へ向かって窪んで形成されている。凹部５２１は、複数形成されており、凸部５１１よりも前側の支持壁５２－１と、中央よりも僅かに前側の部分の支持壁５２－２とに、上下方向Ｄ２に並べられて配置されている。
　凹部５２１（凹部５２１－１、５２１－２）は、それぞれ上下方向Ｄ２に隣接する板部５１と板部５１との間、又は、板部５１と板状の部材５９との間に、１つずつ配置されている。支持壁５２の前端部に形成された凹部５２１（５２１－１）は、前後にジグザグ状に配置され、支持壁５２－２に形成された凹部５２１（５２１－２）は、一直線状に配置されている。このように、ジグザグ状と一直線状とに配置することにより、いずれか一方のみによる配置をする場合と比較して、押し出しピンによる押し出しを容易とすることが可能である。
　この凹部５２１が形成されている部分は、基板Ｗを容器本体２に対して出し入れする際に、基板Ｗの左右に当接して基板Ｗをガイドする部分であるため、容器本体２において基板Ｗと接触しないように設計することができない部分である。即ち、極力基板Ｗに近い位置にする必要がある部分だからである。このため、凹部５２１の開口部は、基板Ｗに当接した際に、離型の際にカエリ(エッヂ)が出来ないように、基板Ｗを損傷しない形状に面取り形状に形成されている。
　凹部５２１は、直径よりも軸心方向の長さの方が短い円柱形状を有している。凹部５２１の直径は、支持壁５２を押し出す図示しない押し出しピンの直径よりも大きい。凹部５２１の深さは、０．０５ｍｍ以上０．２ｍｍ以下である。０．０５ｍｍ以上としたのは、０．０５ｍｍ未満では、支持壁５２を押し出す図示しない押し出しピンに、支持壁５２が当接することにより支持壁５２に生じた突起や樹脂片による段差の方が大きく、この段差が基板Ｗに当接することを回避する効果を得ることができないからである。０．２ｍｍ以下としたのは、支持壁５２を押し出す図示しない押し出しピンに、支持壁５２が当接することにより支持壁５２に生じた突起や樹脂片による段差が、０．２ｍｍを超えることは考えにくく、この段差が基板Ｗに当接することを回避する効果を得ることに対して、必要以上に深い凹部となってしまうからである。
　凸部５２２は、基板支持板状部５を成形する図示しない金型から、成形した基板支持板状部５を離型する際に、基板支持板状部５の支持壁５２を押し出す図示しない押し出しピンに当接する支持壁５２の部分であって、且つ、基板Ｗの縁部に当接せずに常に基板Ｗの縁部から離間している支持壁５２の部分に配置されて形成されている。
　具体的には、容器本体２の中央寄りの側である基板収納空間２７側（以下、「支持壁５２の内側」と言う）の凸部５２２（図４参照）は、基板収納空間２７に収納された基板Ｗに接近する方向である容器本体２の内方へ向かって突出して形成されている。容器本体２の壁部２０寄りの側である基板収納空間２７の外方側（以下、「支持壁５２の外側」と言う）の凸部５２２（図６参照）は、基板収納空間２７に収納された基板Ｗから離間する方向である容器本体２の外方へ向かって突出して形成されている。
　凸部５２２は、複数形成されており、支持壁５２の内側の凸部５２２（５２２－１）は、図４に示すように、奥側基板支持部６よりも後側の支持壁５２－３の後端部において、上下方向Ｄ２に一直線状に並べられて配置されている。上下方向Ｄ２において複数の凸部５２２－１は、基板収納空間２７に収納された基板Ｗの２～３枚に対して１つずつ配置されるように、且つ、支持壁５２－３の上半分と下半分とで異なる個数となるように所定の間隔で配置されている。また、支持壁５２の内側においては、凸部５２２（５２２－２）は、支持壁５２の後端部から後側へ延びる後方延出部の途中の部分にも配置されている。
　また、支持壁５２の外側においては、図６に示すように凸部５２２（５２２－３）は、支持壁５２－１において、上下方向Ｄ２に一直線状に並べられて配置されている。上下方向Ｄ２において複数の凸部５２２－３は、支持壁５２－１の上端部と、下端部と、支持壁５２－１の上下方向Ｄ２における上から４分の１の位置の部分と、支持壁５２－１の上下方向Ｄ２における下から４分の１の位置の部分とに、それぞれ１つずつ配置されるように、所定の間隔で配置されている。また、凸部５２２（５２２－３）は、支持壁５２－３にも、上下方向Ｄ２に一直線状に並べられて複数配置されている。
　凸部５２２は、直径よりも軸心方向の長さの方が短い円柱形状を有している。凸部５２２の直径は、支持壁５２を押し出す図示しない押し出しピンの直径よりも大きいが、これに限定されず、押し出しピンの直径と同じか小さくてもよい。
　凸部５２２の高さは、０．０５ｍｍ以上０．２ｍｍ以下である。０．０５ｍｍ以上としたのは、０．０５ｍｍ未満では、高さが低すぎて、基板Ｗに付着するような塵の有無の確認が困難であるからである。０．２ｍｍ以下としたのは、高さが高すぎて、邪魔になるおそれがあるからである。
〔奥側基板支持部６〕
　図４に示すように、奥側基板支持部６は、奥側端縁支持部６０を有している。奥側端縁支持部６０は、基板支持板状部５の板部５１の後端部に、板部５１及び支持壁５２と一体成形されて構成されている。従って、側方基板支持部としての基板支持板状部５と、奥側基板支持部６とは、容器本体２の内部において容器本体２に対して固定される結合した１つの内装部品を構成する。なお、奥側基板支持部６は、基板支持板状部５とは別体、即ち、奥側端縁支持部６０は、基板支持板状部５の板部５１とは別体で構成されていてもよい。
　奥側端縁支持部６０は、基板収納空間２７に収納可能な基板Ｗの一枚毎に対応した個数、具体的には、２５個設けられている。第１側壁２５及び第２側壁２６に配置された奥側端縁支持部６０は、前後方向Ｄ１において、後述するフロントリテーナ７と対をなすような位置関係を有している。基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され、蓋体３が閉じられることにより、奥側端縁支持部６０は、基板Ｗの縁部の端縁を挟持して支持する。
〔蓋体３〕
　図１に示すように、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８の形状と略一致する略長方形状を有している。蓋体３は容器本体２の開口周縁部２８に対して着脱可能であり、開口周縁部２８に蓋体３が装着されることにより、蓋体３は、開口周縁部２８によって取り囲まれる位置関係で、容器本体開口部２１を閉塞可能である。
　蓋体３の内面（図１に示す蓋体３の裏側の面）であって、蓋体３が容器本体開口部２１を閉塞しているときの開口周縁部２８のすぐ後方向Ｄ１２の位置に形成された段差の部分の面（シール面２８１）に対向する面には、蓋体３の外周縁部を一周するように、環状のシール部材４が取り付けられている。シール部材４は、蓋体３を一周するように配置されている。シール部材４は、弾性変形可能なポリエステル系、ポリオレフィン系など各種熱可塑性エラストマー、フッ素ゴム製、シリコンゴム製等である。
　蓋体３が開口周縁部２８に装着されたときに、シール部材４は、容器本体２のシール面２８１と蓋体３の内面とにより挟まれて弾性変形する。即ち、蓋体３と容器本体２との間にシール部材４が介在することにより、蓋体３と開口周縁部２８とが互いに当接せずに離間した状態で、蓋体３は、容器本体開口部２１を閉塞可能である。開口周縁部２８から蓋体３が取り外されることにより、容器本体２内の基板収納空間２７に対して、基板Ｗを出し入れ可能となる。
　蓋体３においては、ラッチ機構が設けられている。ラッチ機構は、蓋体３の左右両端部近傍に設けられており、図１に示すように、蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出可能な２つの上側ラッチ部３２Ａ、３２Ａと、蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出可能な２つの下側ラッチ部３２Ｂ、３２Ｂと、を備えている。２つの上側ラッチ部３２Ａ、３２Ａは、蓋体３の上辺の左右両端近傍に配置されており、２つの下側ラッチ部３２Ｂ、３２Ｂは、蓋体３の下辺の左右両端近傍に配置されている。
　蓋体３の外面においては操作部３３が設けられている。操作部３３を蓋体３の前側から操作することにより、上側ラッチ部３２Ａ、３２Ａ、下側ラッチ部３２Ｂ、３２Ｂを蓋体３の上辺、下辺から突出させることができ、又は、上辺、下辺から突出させない状態とすることができる。上側ラッチ部３２Ａ、３２Ａが蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂに係合し、且つ、下側ラッチ部３２Ｂ、３２Ｂが蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２４１Ａ、２４１Ｂに係合することにより、蓋体３は、容器本体２の容器本体開口部２１に固定される。
　蓋体３の内側においては、基板収納空間２７の外方へ窪んだ凹部３４が形成されている。凹部３４は、蓋体３の左右方向Ｄ３の中央位置において、蓋体３の左右方向Ｄ３における幅の３分の１程度の幅を有して、上下方向Ｄ２に蓋体３の上端部近傍から下端部近傍に至るまで形成されている。
　凹部３４においては、フロントリテーナ７が設けられている。即ち、フロントリテーナ７は、蓋体３の部分であって容器本体２の容器本体開口部２１を閉塞しているときに基板収納空間２７を形成している部分、即ち、基板収納空間２７に対向する部分に配置されている。
　フロントリテーナ７は、図９に示すように、別体で構成された同一形状のフロントリテーナ部７－１と、フロントリテーナ部７－２と、により構成されており、上下方向Ｄ２に平行に延びる一対の縦枠体７１と、フロントリテーナ脚部７２と、蓋体側基板支持部としてのフロントリテーナ基板受け部７３とを有している。フロントリテーナ部７－１、フロントリテーナ部７－２のそれぞれにおいて、一対の縦枠体７１、フロントリテーナ脚部７２、及びフロントリテーナ基板受け部７３は、樹脂により一体成形されている。フロントリテーナ基板受け部７３は、蓋体側基板支持部を構成する。
　フロントリテーナ基板受け部７３は、上下方向Ｄ２に所定の間隔で離間して一直線状に配置されている。このように配置されたフロントリテーナ基板受け部７３は、上下方向Ｄ２に２５個設けられている。
　縦枠体７１には、図９等に示すように、凸部７１１が設けられている。凸部７１１は、基板支持板状部５を成形する図示しない金型から、成形したフロントリテーナ部７－１、フロントリテーナ部７－２を離型する際に、成形したフロントリテーナ部７－１、フロントリテーナ部７－２の縦枠体７１を押し出す図示しない押し出しピンに当接する縦枠体７１の部分に形成されている。
　具体的には、容器本体２の中央寄りの側である基板収納空間２７側（以下、「縦枠体７１の内側」と言う）の凸部７１１（図９～図１０参照）は、基板収納空間２７に収納された基板Ｗに接近する方向である容器本体２の内方へ向かって突出して形成されている。凸部７１１は、縦枠体７１において、縦枠体７１の上半分と下半分とで異なる個数となるように所定の間隔で一直線状に並べられて複数形成されている。
〔実施形態の効果〕
　上記構成の本実施形態に係る基板収納容器１によれば、以下のような効果を得ることができる。
　本実施形態に係る基板収納容器１においては、容器本体２を構成する部材である基板支持板状部５を成形する金型から、基板支持板状部５を離型する際に、基板支持板状部５を押し出す押し出しピンに当接する部分であって、基板Ｗの縁部に当接する基板支持板状部５の部分には、基板Ｗから離間する方向へ窪んだ凹部５２１が形成されている。
　これにより、基板収納容器１を構成する部品である基板支持板状部５に、押し出しピンが当接することにより生じた押し出しピンの跡による突起や樹脂片による段差が、凹部５２１内に収容され、凹部５２１から突出していない状態となる。このため、基板収納空間２７に対する基板Ｗの出し入れや、基板収納容器１に基板Ｗを収納した状態での基板収納容器１の搬送時に、基板収納空間２７に収納された基板Ｗに、当該段差が接触して干渉したり引っ掛かったりすることを、回避することが可能となる。このため、基板Ｗへのダメージを無くすことが可能となり、基板Ｗを損傷することを回避することが可能な基板収納容器１を、提供することができる。
　また、本実施形態に係る基板収納容器１においては、凹部５２１が設けられている部材は、基板収納空間２７内において対をなすように、容器本体２に設けられ、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、複数の基板Ｗのうちの隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能な側方基板支持部としての基板支持板状部５を有する。これにより、基板支持板状部５において生じた前述の段差が、基板収納空間２７に収納された基板Ｗに接触して干渉したり引っ掛かったりすることを、回避することが可能となる。
　また、本実施形態に係る基板収納容器１においては、凹部５２１は、複数形成され、複数の凹部５２１は、一直線状に配置されている。これにより、一直線状に配置された押し出しピンにより、基板支持板状部５を金型から押し出すことが可能となる。
　また、本実施形態に係る基板収納容器１においては、凹部５２１は、複数形成され、複数の凹部５２１は、ジグザグ状に配置されている。これにより、ジグザグ状に配置された押し出しピンにより、押し出す部分の面積が広く確保されジグザグ状を形成する２つのずれたラインにおいて、基板支持板状部５を金型から押し出すことが可能となる。
　また、本実施形態に係る基板収納容器１においては、容器本体２と蓋体３とを構成する部材である基板支持板状部５とフロントリテーナ７とをそれぞれを成形する金型から、基板支持板状部５とフロントリテーナ７とをそれぞれ離型する際に、基板支持板状部５とフロントリテーナ７とをそれぞれ押し出す押し出しピンに当接する基板支持板状部５とフロントリテーナ７との部分には、凸部５２２、凸部７１１がそれぞれ形成されている。
　これにより、基板収納容器１を構成する部品である基板支持板状部５、フロントリテーナ７に、押し出しピンが当接することにより生じた押し出しピンの跡による突起や樹脂片による段差に、押し出しピンと、基板支持板状部５、フロントリテーナ７とが摺動することで、擦れにより発生した汚れ、塵が溜まることを抑えることが可能となる。また、凸部５２２、凸部７１１の突出端面において塵が溜まった場合であっても、塵の有無の確認が容易であるため、容易に清掃を行うことが可能となる。この結果、基板Ｗが汚染されることを抑えることが可能な基板収納容器１を、提供することができる。
　また、本実施形態に係る基板収納容器１においては、凸部５２２、凸部７１１は、基板Ｗの縁部に当接せずに常に基板Ｗの縁部から離間している基板支持板状部５、フロントリテーナ７の部分に配置されている。これにより、常に基板Ｗに当接しない基板支持板状部５、フロントリテーナ７の部分において、前述の汚れ、塵が溜まることを抑えることが可能となり、また、容易に清掃を行うことが可能となる。
　また、本実施形態に係る基板収納容器１においては、凸部５２２－３、凸部５２２－４は、基板Ｗから離間する方向へ突出し、凸部５２２－１、凸部５２２－２は、基板Ｗに接近する方向へ突出する。これにより、基板支持板状部５を構成する支持壁５２の内側及び外側において凸部５２２を設けた構成とすることが可能となる。
　また、本実施形態に係る基板収納容器１においては、凸部５２２が設けられている部材は、基板収納空間２７内において対をなすように、容器本体２に設けられ、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、複数の基板Ｗのうちの隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能な側方基板支持部としての基板支持板状部５を有する。これにより、基板支持板状部５に生じた前述の段差において、擦れにより発生した汚れ、塵が溜まることを抑えることが可能となる。また、凸部５２２において塵が溜まった場合であっても、容易に清掃を行うことが可能となる。
　また、本実施形態に係る基板収納容器１においては、基板支持板状部５の前端部の支持壁５２－１、及び、基板支持板状部５の後端部の支持壁５２－３にそれぞれ配置されている。これにより、基板Ｗに当接しない基板支持板状部５の部分において、基板支持板状部５に生じた前述の段差に、擦れにより発生した汚れ、塵が溜まることを抑えることが可能となる。また、凸部５２２において塵が溜まった場合であっても、容易に清掃を行うことが可能となる。
　また、本実施形態に係る基板収納容器１においては、凸部５２２は、容器本体２に対向する基板支持板状部５の部分に配置されている。これにより、基板Ｗに対向する基板支持板状部５の側に対する反対側において、前述の段差に、擦れにより発生した汚れ、塵が溜まることを抑えることが可能となる。また、凸部５２２において塵が溜まった場合であっても、容易に清掃を行うことが可能となる。
　また、本実施形態に係る基板収納容器１においては、凸部７１１が設けられている部材は、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分に配置され、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部を支持可能な蓋体側基板支持部としてのフロントリテーナ７を有する。これにより、フロントリテーナ７において生じた前述の段差に、擦れにより発生した汚れ、塵が溜まることを抑えることが可能となる。また、凸部５２２において塵が溜まった場合であっても、容易に清掃を行うことが可能となる。
　また、本実施形態に係る基板収納容器１においては、凸部５２２、凸部７１１は、複数形成され、凸部５２２、凸部７１１は、一直線状に配置されている。これにより、一直線状に配置された押し出しピンにより、基板支持板状部５、フロントリテーナ７を金型から押し出すことが可能となる。
〔変形例〕
　本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された技術的範囲において変形が可能である。
　例えば、フロントリテーナ７には、凸部７１１が設けられていたが、これに限定されない。例えば、図１１に示すように、フロントリテーナ７Ａの縦枠体７１には、凸部７１１に代えて、凹部７１１Ａが形成されていてもよい。
　この場合、凹部７１１Ａは、凹部５２１と同様に、直径よりも軸心方向の長さの方が短い円柱形状を有している。凹部７１１Ａの直径は、縦枠体７１を押し出す図示しない押し出しピンの直径よりも大きい。凹部７１１Ａの深さについても、凹部５２１と同様である。
　即ち、本実施形態に係る基板収納容器１の変形例においては、凹部７１１Ａが設けられている部材は、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分に配置され、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部を支持可能な蓋体側基板支持部としてのフロントリテーナ７Ａを有する。これにより、フロントリテーナ７Ａにおいて生じた前述の段差が、基板収納空間２７に収納された基板Ｗに接触して干渉したり引っ掛かったりすることを、回避することが可能となる。
　また、本実施形態に係る基板収納容器１においては、凸部５２２－１、凸部５２２－２は、基板収納空間２７に収納された基板Ｗに接近する方向である容器本体２の内方へ向かって突出して形成され、凸部５２２－３、凸部５２２－４は、基板収納空間２７に収納された基板Ｗから離間する方向である容器本体２の外方へ向かって突出して形成されていたが、これに限定されない。例えば凸部は、基板から離間する方向と、基板に接近する方向とのうちの少なくとも一方へ突出して形成されていればよい。
　また、支持壁５２においては、凸部５２２－１、凸部５２２－２、凸部５２２－３、凸部５２２－４は、基板支持板状部５の前端部の支持壁５２－１、基板支持板状部５の後端部の支持壁５２－３に設けられていたが、これに限定されない。凸部は、側方基板支持部の前側の端部と、側方基板支持部の後側の端部と、前後方向における側方基板支持部の中央部と、のうちの少なくとも１つにそれぞれ配置されていればよい。
　また、凹部５２１、凸部５２２は基板支持板状部５に設けられ、凸部７１１、凹部７１１Ａは、フロントリテーナ７、フロントリテーナ７Ａに設けられていたが、これに限定されない。凸部、凹部は、容器本体と蓋体との少なくとも一つを構成する部材に設けられればよい。
　また、容器本体及び蓋体の形状、容器本体に収納可能な基板の枚数や寸法は、本実施形態における容器本体２及び蓋体３の形状、容器本体２に収納可能な基板Ｗの枚数や寸法に限定されない。
１　基板収納容器
２　容器本体
３　蓋体
５　基板支持板状部（側方基板支持部）
６　奥側基板支持部
７　フロントリテーナ（蓋体側基板支持部）
２０　壁部
２１　容器本体開口部
２５　第１側壁（側壁）
２６　第２側壁（側壁）
２７　基板収納空間
５２２、７１１　凸部
５２１、７１１Ａ　凹部
Ｗ　基板

Claims (5)

  1. 　前側の一端部に容器本体開口部が形成され、後ろ側の他端部が奥壁によって閉塞された筒状の壁部を備え、前記壁部の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、
    　前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、を備える、基板収納容器であって、
    　前記容器本体と前記蓋体との少なくとも一つを構成する部材を成形する金型から前記部材を離型する際に、前記部材を押し出す押し出しピンに当接する前記部材の部分であって、前記基板の縁部に当接する前記部材の部分には、前記基板から離間する方向へ窪んだ凹部が形成されている基板収納容器。
  2. 　前記部材は、前記基板収納空間内において対をなすように、前記容器本体に設けられ、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されていないときに、前記複数の基板のうちの隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、前記複数の基板の縁部を支持可能な側方基板支持部を有する請求項１に記載の基板収納容器。
  3. 　前記部材は、前記蓋体の部分であって前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記基板収納空間に対向する部分に配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記複数の基板の縁部を支持可能な蓋体側基板支持部を有する請求項１に記載の基板収納容器。
  4. 　前記凹部は、複数形成され、前記複数の凹部は、一直線状に配置されている請求項１～請求項３のいずれかに記載の基板収納容器。
  5. 　前記凹部は、複数形成され、前記複数の凹部は、ジグザグ状に配置されている請求項１～請求項３のいずれかに記載の基板収納容器。
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