CN111219978B - 中转装置及烘干设备 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种中转装置，其包括设置于处理箱内的、能够自下而上输送基板的第一传送机构以及能够自上而下输送基板第二传送机构；由此，基板在处理箱内能够经由第一传送机构和第二传送机构进行两次传送；一方面，通过第一传送机构和第二传送机构的两次传递，能够延长基板在处理箱内的停留时间，另一方面，通过第一传送机构和第二传送机构的反向传递，能够使得基板回到上料的底部或者顶部，方便基板进出。本申请还提供了一种烘干设备，其包括上述中转装置，通过加热组件能够对处理箱内进行加热；通过第一抽气组件，能够对处理箱内进行抽气，进而加速处理箱内气流流通；由此，提高烘干效率，并保证处理箱内温度稳定、确保烘干效果。

Description

中转装置及烘干设备

技术领域

本申请涉及自动化设备技术领域，具体涉及一种中转装置及烘干设备。

背景技术

处理基板时，可能需要对基板进行清洗、冷却、加热或者其他加工工艺；此时，基板需要长时间处于处理箱内。

传统设备、一实施方式中，基板进入处理箱后，会直接停留在处理箱内；待工艺结束，再将基板取出；可知，此实施方式中，后续待处理的基板需要等待前一批基板处理结束，再进行处理，工作效率低。

另一实施方式中，基板不停留，持续向前运输，但为了保证处理时间，需要将处理箱设置得比较长，以便于基板在处理箱内运输的时间正好满足处理时间的需要；可知，此实施方式中，设备整体占地大、制作成本高。

发明内容

本申请提供了一种中转装置及烘干设备，以解决现有技术中生产效率低、或者设备占地大的技术缺陷。

为解决上述技术问题，本申请采用的一个技术方案是：提供一种中转装置，其包括：第一传送机构，能够自下而上输送基板；第二传送机构，能够自上而下输送基板；转移机构，能够自第一传送机构接取基板、并将基板转移到第二传送机构中；或者，能够自第二传送机构接取基板、并将基板转移到第一传送机构中；处理箱，第一传送机构和第二传送机构设于处理箱内；其中，通过第一传送机构和第二传送机构的两次传递，能够延长基板在处理箱内的停留时间。

进一步地，第一传送机构和第二传送机构采用至少一组链式传送机构；链式传送机构包括：主动齿轮、从动齿轮以及套设在主动齿轮和从动齿轮上的链条；链条外侧间隔设置有多个能够承接基板的承托件；其中，主动齿轮由主动驱动件驱动、通过链条、能够带动从动齿轮旋转，进而使得链条循环流转；基板进入链式传送机构后，能被承托件承接，进而跟随链条进行流转。

进一步地，第一传送机构或第二传送机构包括两组相对设置的链式传送机构；两组链式传送机构的承托件相对，能够同时承接基板的两侧，以便于稳定地承接基板。

进一步地，转移机构包括至少一组搬运组件；搬运组件包括：搬运件，用于承接基板；第一转移驱动件，连接搬运件、并能够驱动搬运件沿水平方向运动；第二转移驱动件，连接搬运件、并能够驱动搬运件沿竖直方向运动；其中，搬运件承接基板后，第二转移驱动件驱动搬运件上升，使得基板脱离第一传送机构或第二传送机构；第二转移驱动件驱动搬运件平移，以将基板转移。

进一步地，转移机构包括两组搬运组件；两组搬运组件相对设置，能够搬运基板暴露在第一传送机构或第二传送机构外的两侧，进而保证基板的稳定搬运。

本申请还提供了一种烘干设备，其包括上述中转装置；其中，处理箱内设有烘干机构，烘干机构包括：加热组件，能够对处理箱内进行加热；第一抽气组件，能够对处理箱内进行抽气，进而加速处理箱内气流流通。

进一步地，加热组件包括加热棒，设于处理箱内、以对处理箱内进行加热；两组热电偶，其中一组设于加热棒一侧，能够检测加热温度；另一组设于第一抽气组件一侧，能够检测出风口温度。

进一步地，烘干机构还包括第二抽气组件，能够对处理箱内进行抽气，进而调控处理箱内的温度。

进一步地，烘干机构还包括循环风箱；第一传送机构和第二传送机构设于循环风箱内；加热组件连通循环风箱；第一抽气组件连通循环风箱；循环风箱的内壁面上开有气孔，气孔正对第一传送机构和第二传送机构。

进一步地，烘干设备还包括传送装置；传送装置穿过处理箱、能够向第一传送机构和第二传送机构中的一个输送基板、并能够接收第一传送机构和第二传送机构中的另一个输出的基板。

本申请提供了一种中转装置，其包括设置于处理箱内的、能够自下而上输送基板的第一传送机构以及能够自上而下输送基板第二传送机构；由此，基板进入第一传送机构，能够自下而上移动，到达顶部后，再由转移机构搬运至第二传送机构，再自上而下运移动；或者，基板进入第二传送机构，能够自上而下移动，到达底部后，再由转移机构搬运至第一传送机构，再自下而上运移动；一方面，通过第一传送机构和第二传送机构的两次传递，能够延长基板在处理箱内的停留时间，另一方面，通过第一传送机构和第二传送机构的反向传递，能够使得基板回到上料的底部或者顶部，方便基板进出。

本申请还提供了一种烘干设备，其包括上述中转装置，而处理箱内设有烘干机构，通过加热组件能够对处理箱内进行加热；通过第一抽气组件，能够对处理箱内进行抽气，进而加速处理箱内气流流通；由此，提高烘干效率，并保证处理箱内温度稳定、确保烘干效果。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图，其中：

图1是本申请提供的中转装置一实施例的结构示意图；

图2是本申请提供的中转装置另一实施例的结构示意图；

图3是本申请提供的烘干设备一实施例的结构示意图；

图4是图3中第一传送机构、第二传送机构及转移机构的结构示意图；

图5是本申请提供的第一传送机构、第二传送机构及转移机构的另一实施方式结构示意图；

图6是本申请提供的第一传送机构、第二传送机构及转移机构的又一实施方式俯视结构示意图；

图7是本申请提供的烘干设备另一实施例的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本申请保护的范围。

请参阅图1或图2，本申请揭示了一种中转装置，其包括：第一传送机构10，能够自下而上输送基板1；第二传送机构20，能够自上而下输送基板1；转移机构30，能够自第一传送机构10接取基板1、并将基板1转移到第二传送机构20中；或者，能够自第二传送机构20接取基板1、并将基板1转移到第一传送机构10中；处理箱40，第一传送机构10和第二传送机构20设于处理箱40内；其中，通过第一传送机构10和第二传送机构20的两次传递，能够延长基板1在处理箱40内的停留时间。

需要补充的是，处理箱40内设置有基板1处理所需的工艺设备；例如，基板1需要清洗时，处理箱40内设有淋水和出水设备；又例如，基板1需要冷却时，处理箱40内设有吹风和出风设备；还例如，基板1需要加热时，处理箱40内设有加热和通气设备……本申请并不对基板1的处理工艺做限定。

同理，处理箱40可以看作是个媒介，它并不一定是个封闭的箱体，它可以是个平台，以供工艺设备的安装；也可以是个虚拟的工位，并不存在结构，仅代表工艺设备安装的位置；当然，若处理箱40并不包括真实的机械机构，上文描述的“第一传送机构10和第二传送机构20设于处理箱40内”可理解为：第一传送机构10和第二传送机构20设于处理箱40所代表的工位。

一实施方式中，基板1在下方向前输送、进入处理箱40；此时，优选由第一传送机构10接收基板1、并带动基板1向上运动。可知，基板1向上运动的过程中，即可接受处理箱40内工艺设备的处理。基板1到达顶部后，转移机构30接取基板1、并将该基板1送入第二传送机构20；随后，第二传送机构20带动基板1向下运动。可知，基板1在转移和向下运动的过程中，也可接受处理箱40内工艺设备的处理。通过第一传送机构10和第二传送机构20的两次反向传送，既延长了基板1在处理箱40内的时间，又能够使得基板1重新回到下方，以便于基板1继续向前运输。

另一实施方式中，基板1在上方向前输送、进入处理箱40；此时，优选由第二传送机构20接收基板1、并带动基板1向下运动。可知，基板1在向下运动的过程中，即可接受处理箱40内工艺设备的处理。板1到达底部后，转移机构30接取基板1、并将该基板1送入第一传送机构10；随后，第一传送机构10带动基板1向上运动。可知，基板1在转移和向上运动的过程中，也可接受处理箱40内工艺设备的处理。

其他实施方式中，若传输需要，也可以实现同步中转上方输送而来和下方输送而来的基板1，只要转移机构30对应转移相应的基板1即可。

其中，上文所述的“顶部”和“底部”未必是指第一传送机构10和第二传送机构20输送的最高位置和最低位置，它可以是第一传送机构10和第二传送机构20输送的任一位置，只是在该位置处，转移机构30会取出基板1、进行转移。

容易理解的，通过第一传送机构10和第二传送机构20上下方向的运输路径，能够减少设备的占地。

需要解释的是，第一传送机构10和第二传送机构20可以并排设置，例如，参照图1，类似于并排的两个手扶电梯，一个向上运动，而另一个向下运动。第一传送机构10和第二传送机构20也可以相对设置，例如，参照图2，第一传送机构10和第二传送机构20沿基板1的传输方向(例如图示的左右方向)相对设置；其中，用于接收待处理基板1的传送机构在后，而用于输出处理好的基板1的传送机构在前；如此，基板1能够自然地进入在后的传送机构，并在处理完成后，经由在前传送机构输出，输出的基板1能够沿着预设的传输方向、继续向前运输。

还需要解释的是，第一传送机构10和第二传送机构20的传输路径，即上文所述的“自下而上”和“自上而下”，其可以是竖直的上下方向，即图1所示的情况；也可以是倾斜的上下方向，如图2所示，类似于电梯的传输情况、在水平和竖直方向均存在移动；如此，前者可以极限压缩设备水平方向的占地，而后者能够根据设备需要协调水平和竖直方向的占地。

另外，第一传送机构10和第二传送机构20可以是相互独立的、其传输路径互不干涉。第一传送机构10和第二传送机构20也可以是搭接的；例如，基板1在下方传输时，第一传送机构10的输出端与第二传送机构20的输入端相接；或者，基板1在上方传输时，第一传送机构10的输入端与第二传送机构20的输出端相接。只要能够实现基板1上下方向的运输即可，本申请不对具体设置构造做限定。

为了承接并传输多个基板1、实现持续基板1的持续处理，一实施方式中，第一传送机构10和第二传送机构20可以采用传送带。以第一传送机构10为例进行说明；第一传送机构10采用传送带组件，包括主动轮、从动轮以及套设在主动轮和从动轮上的传送带；传送带沿上下方向延伸，电机驱动主动轮、带动从动轮旋转后，传送带用以承接基板1的上表面自下而上流转。上料时，待处理的基板1被置于传送带上表面，随着传送带不断向上运动；当前上料的基板1向上移动一个工位后，下一个基板1可以随之被送到传送带上……由此，传送带可以同时向上输送多个基板1。当然，为了防止基板1脱离传送带1，传动带可以倾斜延伸；或者，传送带上可以设置固定件(如夹具、挡块或者吸盘等)以限定基板1的位置。

又一实施方式中，第一传送机构10和第二传送机构20还可以采用至少一组链式传送机构；链式传送机构包括：主动齿轮11、从动齿轮12以及套设在主动齿轮11和从动齿轮12上的链条13；链条13外侧间隔设置有多个能够承接基板1的承托件15；其中，主动齿轮11由主动驱动件14驱动、通过链条13、能够带动从动齿轮12旋转，进而使得链条13循环流转；基板1进入链式传送机构后，能被承托件15承接，进而跟随链条13进行流转。

具体参照图3至图7，链条13由若干链条块串接而成；各链条块外侧(也就是远离齿轮的一侧)均可以设置一个承托件15；各承托件15均能承接一个基板1，由此，链条13能够同时运载多个基板1。随着链条13的运动，靠近主动齿轮11和从动齿轮12的链条块会与齿轮啮合、并在齿轮的带动下换向位移；例如图3和图4中，主动齿轮11和从动齿轮12顺时针旋转，左侧的链条块自主动齿轮11向从动齿轮12运动时，其自下而上运动；而右侧的链条块自从动齿轮12向主动齿轮11运动时，其自上而下运动。如图可知，链条块不啮合齿轮、不在换向时，不管是自下而上运动、还是自上而下运动，承托件15呈水平状态，能够较为稳定地承托基板1。

容易想到的，一实施例中，第一传送机构10和第二传送机构20可以集合成一组链式传送机构。例如，参照图3和图4，第一传送机构10可看作是图示左侧链条13(自下而上运动)，而第二传送机构20可看作是图示右侧链条13(自上而下运动)，一根链条13即可实现基板1的两次反向传送。在此实施例中，通过调节主动齿轮11和从动齿轮12的大小和数量，能够方便地调节传送方向，以根据需要、调整基板1的传送方向为竖直方向、或者为不同斜率的倾斜方向。还需要解释的，在此实施例中，链条块啮合齿轮时，其上的承托件15随着链条块的换向逐渐倾斜，会导致基板1位移；为避免丢失或者损坏基板1，通过转移机构30接取齿轮处的基板1转移到另一侧。

又一实施例中，第一传送机构10和第二传送机构20是两组独立的链式传送机构。例如，参照图5，一组链式传送机构利用其以一侧链条13自下而上的运动，而另一组链式传送机构利用其以一侧链条13自上而下的运动，也能够实现基板1的两次反向传送。

对承托件15而言，其可以根据基板1版型需要，设置为任意能够托住基板1的构型，例如，承托件15可以采用板件，也可以采用杆件，还可以采用夹具、吸盘等构件。若有需要，可以对应调整链条13和齿轮的构型、以适应承托件15。

其他实施方式中，第一传送机构10和第二传送机构20可以采用传送辊、传送平台等机构，只要能够实现基板1的输送，本申请并不对具体结构做限定。

在基板1版型比较大的情况下，只通过一组链式传送机构、仅承托基板1一侧的话，基板1容易从承托件15上脱落，为此，第一传送机构10或第二传送机构20均包括两组相对设置的链式传送机构；两组链式传送机构的承托件15相对，能够同时承接基板1的两侧，以便于稳定地承接基板1。

第一传送机构10和第二传送机构20的结构近似，以第一传送机构10为例进行说明。可以参照图6，第一传送机构1包括两组、沿上下方向相对设置的链式传送机构，两组链式传送机构的齿轮旋转方向相反，如此，两组链式传送机构朝向对方的一侧链条13都是自下而上运动，以实现对基板1的稳定承托和传送。

更进一步地，第一传送机构10或第二传送机构20可以包括四组链式传送机构；四组链式传送机构分别设置在矩形的四个角上，以便于更稳定地承接基板1。具体参照图6，以第一传送机构10为例；其中，基板1主体大致呈长方体，四组链式传送机构分别设置在上下左右四个角上，且上方侧的两组链式传送机构的齿轮逆时针旋转，下方两组链式传送机构的齿轮顺时针旋转，以使得用以搬运基板1的链条13始终自下而上流转。

对转移机构30而言，其用于转移基板1。一实施方式中，转移机构30可以采用机器人、天车等搬运构件。另一实施方式中，转移机构30包括至少一组搬运组件；搬运组件包括：搬运件31，用于承接基板1；第一转移驱动件32，连接搬运件31、并能够驱动搬运件31沿水平方向运动；第二转移驱动件33，连接搬运件31、并能够驱动搬运件31沿竖直方向运动；其中，搬运件31承接基板1后，第二转移驱动件33驱动搬运件31上升，使得基板1脱离第一传送机构10或第二传送机构20；第二转移驱动件33驱动驱动搬运件31平移，以将基板1转移。

其中，搬运件31可以是吸盘、夹具等能够提取基板1的构件，或者，更简单的，搬运件31可以是托板、托杆。以基板1在下方向前传输为例，进行说明。一个基板1到达第一传送机构10顶部后，搬运件31接取该基板1；随后，第二转移驱动件33驱动搬运件31上升，使得基板1脱离第一传送机构10、以便于基板1转移；第一转移驱动件32水平移动搬运件31，使得搬运件31将基板1送至第二传送机构20顶部；第二转移驱动件33驱动搬运件31下降，使得基板1被第二传送机构20承接；第一转移驱动件32和第二转移驱动件33配合动作，使得搬运件31回到第一传送机构10顶部、以接取并转移下一个基板1。

需要说明的是，转移基板1的过程过，第一转移驱动件32和第二转移驱动件33可以同步驱动，使得基板1在上升的同时平移，在平移的同时下降；第一转移驱动件32和第二转移驱动件33也可以分步运动，待搬运件31运动到位后、再驱动搬运件31进行下一个动作。

其中，搬运件31可以设于第一转移驱动件32的输出端，第一转移驱动件32设于第二转移驱动件33的输出端；或者，搬运件31可以设于第二转移驱动件33的输出端，第二转移驱动件33设于第一转移驱动件32的输出端。而第一转移驱动件32和第二转移驱动件33可以采用电缸、直线模组等驱动构件。

进一步地，为了更稳定地转移基板1，转移机构30可以包括两组搬运组件；两组搬运组件相对设置，能够搬运基板1暴露在第一传送机构10或第二传送机构20外的两侧，进而保证基板1的稳定搬运。

例如，参照图6或图7，要从第一传送机构10顶部搬运基板1；此时，第一传送机构10托着基板1的前后两侧，而两组搬运组件分别位于第一传送机构10的左侧和右侧；一个基板1到达顶部后，第一转移驱动件32驱动其对应的搬运件31朝向另一个搬运件31运动，使得两个搬运件31靠近至承接基板1；接到基板1后，第二转移驱动件33驱动两个搬运件31同步上升，使得基板1脱离第一传送机构10，并保证搬运组件的水平移动不会被第一传送机构10干涉；随后，第一转移驱动件32驱动两个搬运件31同步朝向第二传送机构20移动，使得基板1到达第二传送机构20顶部；第二转移驱动件33再驱动两个搬运件31同步下降，使得基板1落入第二传送机构20中；基板1被第二传送机构20托住，两个搬运件31相互远离，松开基板1，再上升、平移，回到第一传送机构10。

需要解释的是，通过上文的描述可知，两组搬运组件至少包括两个搬运件31、两个第一转移驱动件32和一个第二转移驱动件33。一实施方式中，一个第一转移驱动件32用于驱动两个搬运件31相互靠近或远离，另一个第一转移驱动件32用于驱动两个搬运件31在第一传送机构10和第二传送机构20之间移动；另一实施方式中，两个第一转移驱动件32分别连接一个搬运件31，用于驱动两个搬运件31相互靠近或远离，也用于驱动两个搬运件31在第一传送机构10和第二传送机构20之间移动。而仅设置一个第二转移驱动件33，同时连接两个搬运件31，即可实现两个搬运件31的同步升降；当然，有需要的话，也可以设置两个第二转移驱动件33，分别连接一个搬运件31、以独立驱动对应的连接搬运件31升降。

本申请还揭示了一种烘干设备，其包括上述中转装置；其中，处理箱40内设有烘干机构，烘干机构包括：加热组件41，能够对处理箱40内进行加热；第一抽气组件42，能够对处理箱40内进行抽气，进而加速处理箱40内气流流通。

一具体实施方式中，基板1可以是涂覆导电胶后的电池片；为避免导电胶流动，需要烘干电池片表面；此时，处理箱40可以构成一个较为封闭的腔体，以便于烘干机构产生稳定的高温环境。加热组件41包括多组加热棒，能够提升处理箱40内的温度；为方便基板1进出，处理箱40上具有开口；同时，处理箱40还连通第一抽气组件42，开口进气，第一抽气组件42抽气，既能加快处理箱40内空气循环，提高烘干效率；又能控制温度，避免加热棒持续加热使得处理箱40内温度过高。

对第一抽气组件42而言，其可以包括多组连通处理箱40的气管，气管另一端连接抽气设备。若处理箱40体积较大，通过多组分布的气管，能够更好地实现及时的空气循环。

设置多组加热棒同理，若处理箱40体积较大，通过设置多组加热棒，能够根据需要，保证处理箱40内加热温度适宜。例如，空气存在对流，热空气向上流动，冷空气向下流动，会使得高处温度高，低处温度低；为此，需要沿竖直方向在处理箱40内设置多组加热棒，且自下而上，各加热棒的发热温度逐渐减小，以控制各高度的温度相同。又例如，烘干工艺需要随着位置变化改变温度时，根据位置的不同，各加热棒的发热温度不同。

进一步地，加热组件41还包括两组热电偶，其中一组设于加热棒一侧，能够检测加热温度；另一组设于第一抽气组件42一侧，能够检测出风口温度。

需要解释的是，加热棒存在多组时，设于加热棒一侧的一组热电偶也包括多个，热电偶与加热棒一一对应，以便于准确获得加热棒的发热温度，确保加热棒准确运行。而设于出风口的热电偶，是为了确认处理箱40内温度循环是否准确；通过测试出风口的温度，能够与加热棒处的加热温度对比，进而获知烘干过程中的温度损失，以便于补偿。对应的，第一抽气组件42包括多组气管时，在各气管连通处理箱40的位置附近均均可以设置一个热电偶，即对应第一抽气组件42、设有多个热电偶，各热电偶与各气管一一对应。以便于确认各个位置温度准确，进而确保整个设备的运行可靠。

进一步地，烘干机构还包括第二抽气组件43，能够对处理箱40内进行抽气，进而调控处理箱40内的温度。

与第一抽气组件42的区别在于，第一抽气组件42需要时时对处理箱40内抽气，以配合加热组件41实现稳定的烘干，而第二抽气组件43间歇工作；例如，处理箱40到达预设温度后，随着加热组件41的不断加热，处理箱40内温度还会升高(热电偶能够检测到)，此时，第二抽气组件43启动，抽取高温空气，使得外部的低温空气能够快速流入处理箱40，进而实现快速降温；温度回到预设后，第二抽气组件43停止工作。

同理，根据需要，第二抽气组件43也可以包括多组连通处理箱40的气管，气管另一端连接抽气设备。多组气管连通处理箱40的多个位置，以便于更好地实现降温抽气。

进一步地，第二抽气组件43的抽气功率比第一抽气组件42大，以便于更快地实现降温抽气。

进一步地，第二抽气组件43间歇工作，能够抽出处理箱40因为升温产生的废气，进一步保证使用安全。

另外，烘干机构还包括循环风箱44；第一传送机构10和第二传送机构20设于循环风箱44内；加热组件41连通循环风箱44；第一抽气组件42连通循环风箱44；循环风箱44的内壁面上开有气孔，气孔正对第一传送机构10和第二传送机构20、以便气流流通。

循环风箱44用于进一步限定加热环境，保证烘干机构对第一传送机构10和第二传送机构20工作。具体地，循环风箱44可以设置为环绕第一传送机构10和第二传送机构20的构型；例如，参照图7，循环风箱44可以看作由三个箱体构成，一个箱体面向第一传送机构10，另一个箱体面向第二传送机构20，而最后一个箱体连接这两个箱体(存在第二抽气组件43时，第二抽气组件43可以连通该最后一个箱体)，实现对第一传送机构10和第二传送机构20的围裹；循环风箱44呈下方开口的“口”字型，而第一传送机构10和第二传送机构20设于“口”的容置腔内，而转移机构30设置在开口一侧，以便于安装和动作。

对循环风箱44而言，可以设置其内部相互连通，加热组件41可以对循环风箱44内部进行加热，而第一抽气组件42可以对循环风箱44内部进行抽气；如此，加热的气体通过靠近加热组件41的气孔流向第一传送机构10和第二传送机构20、并向靠近第一抽气组件42的气孔流动。或者，连通加热组件41的箱体，与连通第一抽气组件42的箱体可以不连通；这样，连通加热组件41的箱体能够更好地发热，避免热量在连通的箱体内就被抽走，从而影响对第一传送机构10和第二传送机构20出的热空气流量。

为了保证气流流通时，较好地作用于基板1表面，循环风箱44内壁面上开设的气孔、可以设置在面向第一传送机构10和第二传送机构20的两个箱体内壁面上；即循环风箱44内壁面上开设有两组气孔，一组面向第一传送机构10，另一组面向第二传送机构20；同时，一组气孔靠近加热组件41，另一组气孔靠近第一抽气组件42；如此，加热组件41加热的空气，在被第一抽气组件42抽取时，会自然地穿过两组传送机构，进而提高烘干效率。进一步参照图7，连通加热组件41的箱体，其气孔开在左侧的内壁面上；连通第一抽气组件42的箱体，其气孔开在右侧的内壁面上；如此，左侧箱体内的热空气，经由第一抽气组件42自左向右抽出时，会自然流过第一传送机构10和第二传送机构20。

为了提高自动化程度，烘干设备还包括传送装置50；传送装置50穿过处理箱40、能够向第一传送机构10和第二传送机构20中的一个输送基板1、并能够接收第一传送机构10和第二传送机构20中的另一个输出的基板1。

一实施例中，传送装置50可以采用一组贯穿处理箱40的传送带组件；例如，参照图3或图7，基板1在下方、自左向右输送；此时，左侧的是第一传送机构10，能够接收底部传送而来的基板1；右侧的是第二传送机构20，能够从底部输出基板1；基板1随着第二传送机构20到底部后，会主动落在传送带上，进而随着传送带的向右运动、主动移出第二传送机构20，完成下料。

其他实施例中，传送装置50也可以采用两组传送带组件，一组传送带指向第一传送机构10，另一组传送带指向第二传送机构20，如此，一组传送带用于向传送机构上料，另一组传送带用于从传送机构中下料。

当然，容易想到的，如果基板1在上方传送，可以将传送装置50设置在第一传送机构10和第二传送机构20上方。

此外，术语“包括”和“具有”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤或部件的过程、方法、系统、产品或设备，没有限定于已列出的步骤或部件，而是可选地还包括没有列出的步骤或部件，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或部件。

以上所述仅为本申请的实施例，并非因此限制本申请的专利范围，凡是利用本申请说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本申请的专利保护范围内。

Claims (9)

1.一种中转装置，其特征在于，包括：

第一传送机构（10），能够自下而上输送基板（1）；

第二传送机构（20），能够自上而下输送基板（1）；

转移机构（30），能够自所述第一传送机构（10）接取基板（1）、并将所述基板（1）转移到所述第二传送机构（20）中；或者，能够自所述第二传送机构（20）接取基板（1）、并将所述基板（1）转移到所述第一传送机构（10）中；

处理箱（40），所述第一传送机构（10）和所述第二传送机构（20）设于所述处理箱（40）内；

其中，通过所述第一传送机构（10）和所述第二传送机构（20）的两次传递，能够延长基板（1）在所述处理箱（40）内的停留时间；所述第一传送机构（10）和所述第二传送机构（20）并排设置或相对设置；

所述第一传送机构（10）和所述第二传送机构（20）采用至少一组链式传送机构；所述链式传送机构包括：主动齿轮（11）、从动齿轮（12）以及套设在所述主动齿轮（11）和所述从动齿轮（12）上的链条（13）；

所述链条（13）外侧间隔设置有多个能够承接基板（1）的承托件（15）；

其中，所述主动齿轮（11）由主动驱动件（14）驱动、通过所述链条（13）、能够带动所述从动齿轮（12）旋转，进而使得所述链条（13）循环流转；基板（1）进入所述链式传送机构后，能被所述承托件（15）承接，进而跟随所述链条（13）进行流转。

2.根据权利要求1所述的中转装置，其特征在于，所述第一传送机构（10）或所述第二传送机构（20）包括两组相对设置的所述链式传送机构；

两组所述链式传送机构的所述承托件（15）相对，能够同时承接基板（1）的两侧，以便于稳定地承接基板（1）。

3.根据权利要求1所述的中转装置，其特征在于，所述转移机构（30）包括至少一组搬运组件；所述搬运组件包括：

搬运件（31），用于承接基板（1）；

第一转移驱动件（32），连接所述搬运件（31）、并能够驱动所述搬运件（31）沿水平方向运动；

第二转移驱动件（33），连接所述搬运件（31）、并能够驱动所述搬运件（31）沿竖直方向运动；

其中，所述搬运件（31）承接基板（1）后，所述第二转移驱动件（33）驱动所述搬运件（31）上升，使得所述基板（1）脱离所述第一传送机构（10）或所述第二传送机构（20）；所述第二转移驱动件（33）驱动所述搬运件（31）平移，以将所述基板（1）转移。

4.根据权利要求3所述的中转装置，其特征在于，所述转移机构（30）包括两组所述搬运组件；

两组所述搬运组件相对设置，能够搬运基板（1）暴露在所述第一传送机构（10）或所述第二传送机构（20）外的两侧，进而保证基板（1）的稳定搬运。

5.一种烘干设备，其特征在于，包括权利要求1-4任一项所述的中转装置；其中，所述处理箱（40）内设有烘干机构，所述烘干机构包括：

加热组件（41），能够对所述处理箱（40）内进行加热；

第一抽气组件（42），能够对所述处理箱（40）内进行抽气，进而加速所述处理箱（40）内气流流通。

6.根据权利要求5所述的烘干设备，其特征在于，所述加热组件（41）包括

加热棒，设于所述处理箱（40）内、以对所述处理箱（40）内进行加热；

两组热电偶，其中一组设于所述加热棒一侧，能够检测加热温度；另一组设于所述第一抽气组件（42）一侧，能够检测出风口温度。

7.根据权利要求5所述的烘干设备，其特征在于，所述烘干机构还包括第二抽气组件（43），能够对所述处理箱（40）内进行抽气，进而调控所述处理箱（40）内的温度。

8.根据权利要求5-7任一项所述的烘干设备，其特征在于，所述烘干机构还包括循环风箱（44）；所述第一传送机构（10）和所述第二传送机构（20）设于所述循环风箱（44）内；

所述加热组件（41）连通所述循环风箱（44）；所述第一抽气组件（42）连通所述循环风箱（44）；所述循环风箱（44）的内壁面上开有气孔，所述气孔正对所述第一传送机构（10）和所述第二传送机构（20）。

9.根据权利要求7所述的烘干设备，其特征在于，还包括传送装置（50）；所述传送装置（50）穿过所述处理箱（40）、能够向所述第一传送机构（10）和所述第二传送机构（20）中的一个输送基板（1）、并能够接收所述第一传送机构（10）和所述第二传送机构（20）中的另一个输出的基板（1）。