CN111075949B - 阀装置及电磁阀 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种阀装置及电磁阀，其能够在闭阀状态下难以在阀室内残留流体。作为阀装置的电磁阀具备阀壳(1)、电磁驱动部(2)以及阀芯(3)，阀壳(1)具备主体部(1A)、一次管部(1B)以及二次管部(1C)。在主体部(1A)设有圆锥状的阀室(11)，阀室(11)具有随着朝向下方而内径变小的研钵状的阀座面(12)，在阀座面(12)的底部开口而设有流出端口(14)，在比流出端口(14)靠上方的阀座面(12)的中间部开口而设有流入端口(13)。阀芯(3)具备膜片(31)，在膜片(31)设有作为随着朝向下方而内径变小的圆锥面的一部分的紧贴面(34)。在阀芯(3)的闭阀位置，紧贴面(34)与阀座面(12)紧贴，从而流入端口(13)关闭。

Description

阀装置及电磁阀

技术领域

本发明涉及一种阀装置及电磁阀。

背景技术

一直以来，作为阀装置，利用具备阀室、阀芯、流入端口以及流出端口的电磁阀、电动阀，上述阀芯可在阀室内移动，上述流入端口与阀室连通并供流体导入，上述流出端口与阀室连通并供流体导出。作为这样的阀装置之一，提出有在分析装置等中使用且用于将流体(液体、试剂)送出预定量的电磁阀(例如，参照专利文献1)。专利文献1所记载的电磁阀具备：将阀室上下分成两半的膜片(阀芯)；在阀室的底面的大致中心开口的流入端口；以及在从底面的中心分离的位置开口的流出端口。

在该电磁阀中，在流入端口安装有具有弹性的阀座，该阀座的环状突出部向阀室侧突出设置。在电磁阀关闭时，首先通过下降的阀芯与环状突出部抵接，从而关闭流入端口，停止向阀室的流体的流入，然后阀芯进一步下降，从而按压环状突出部使其收缩，并且使膜片与阀室的底面紧贴，由此，使阀室的流体从流出端口流出。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平8-277960号公报

发明内容

发明所要解决的课题

然而，在如专利文献1所记载的现有的阀装置中，按压阀座的环状突出部使其收缩，并且使膜片与阀室的底面紧贴，因此膜片从其外周侧与底面开始抵接，环状突出部周边的内周侧最后与底面抵接。因此，在膜片的内周侧与阀室的底面抵接之前流出端口关闭，有可能在阀室内残留流体。另外，如果由于阀座的劣化、驱动力不足等原因而环状突出部不能足够地收缩，则环状突出部周边的膜片与阀室的底面之间可能会出现间隙，在该情况下也会产生在阀室内残留流体的问题。如果像这样在阀室内残留流体，则有时在下次开阀时的送出时流体量、浓度发生变化，导致因产生测量误差而引起的分析精度的下降。另外，在进行阀室的清洗的情况下，也有时由于残留的流体的影响，清洗水平下降。

本发明的目的在于提供一种阀装置及电磁阀，能够在关阀状态下难以在阀室内残留流体。

用于解决课题的方案

本发明的阀装置具备阀室、能够在上述阀室内移动的阀芯、与上述阀室连通并供流体导入的流入端口、以及与上述阀室连通并供流体导出的流出端口，上述阀装置的特征在于，上述阀室具有随着朝向下方而内径变小的研钵状的阀座面，在上述阀座面的底部开口而设有上述流出端口，在比上述流出端口靠上方的上述阀座面的中间部开口而设有上述流入端口，上述阀芯具有与上述阀座面对置设置的紧贴面，且设置成能够在从上述阀座面分离而打开上述流入端口的开阀位置和使上述紧贴面与上述阀座面紧贴而关闭上述流入端口的闭阀位置之间移动。

根据这样的本发明，通过在研钵状的阀座面的底部设有流出端口，且在比该流出端口靠上方的阀座面的中间部设有流入端口，从而流体易于沿着阀座面流向下方的流出端口，并且在闭阀位置使阀芯的紧贴面与阀座面紧贴而关闭流入端口，阻止向阀室的流体的流入，从而能够难以在阀室内残留流体。

此时，优选的是，上述阀芯随着从上述开阀位置朝向上述闭阀位置的闭阀移动，从位于比上述流入端口靠上方的上述阀座面的上端侧朝向上述流出端口逐渐扩展紧贴区域，并且使上述紧贴面与上述阀座面紧贴。

通过该结构，随着阀芯的闭阀移动，从阀座面的上端侧朝向流出端口逐渐扩展紧贴区域，并且紧贴面与阀座面紧贴，从而能够朝向流出端口挤压流体，能够更可靠地使流体从阀室内流出。

进一步地，优选的是，上述阀芯具有构成上述紧贴面且能够弹性变形的弹性体，在上述开阀位置，就上述紧贴面与上述阀座面的分隔距离而言，相比上述阀座面的上端侧，下端侧更宽，随着闭阀移动，上述弹性体弹性变形，从而逐渐扩展紧贴区域，并且使上述紧贴面与上述阀座面紧贴。

通过该结构，阀芯的紧贴面与阀座面的分隔距离在阀座面的下端侧扩大，并且随着闭阀移动，阀芯的弹性体弹性变形，逐渐扩展紧贴区域，并且紧贴面与阀座面紧贴，从而能够随着阀芯的闭阀移动从阀座面的上端侧依次使紧贴面抵接，能够更可靠地朝向流出端口挤压流体。

进一步地，优选的是，上述阀芯具有按压部，该按压部将上述弹性体从与上述紧贴面相反的一侧朝向上述流入端口按压。

根据该结构，阀芯具有按压部，通过利用该按压部朝向流入端口按压弹性体，能够在闭阀位置可靠地关闭流入端口，即使发生流入端口内的压力异常上升这样的情况，也能够抑制弹性体被该高压流体向上推而产生的阀泄漏。

另外，优选的是，上述阀芯具有施力部，该施力部将上述弹性体从与上述紧贴面相反的一侧朝向上述阀座面施力。

根据该结构，阀芯具有施力部，通过利用该施力部朝向阀座面对弹性体施力，能够在闭阀移动时使弹性体的紧贴面一边以适当的形状弯曲一边与阀座面抵接，并且在闭阀位置使弹性体与阀座面恰当地紧贴。

另外，优选的是，上述阀芯具有密封上述阀室的膜片，上述膜片的周边部紧贴保持于上述阀座面的上端缘，并且由上述膜片的上述阀室侧的表面构成上述紧贴面。

根据该结构，阀芯具有膜片，该膜片的周边部紧贴保持于阀座面的上端缘，从而能够随着闭阀移动从阀座面的上端缘依次使膜片表面的紧贴面抵接。另外，通过利用膜片密封阀室，能够防止流体向阀室之外的泄露。

本发明的电磁阀具备电磁驱动部，该电磁驱动部使在柱塞壳体内与吸引件对置配置的柱塞沿上述柱塞壳体的轴线方向移动而驱动阀芯，上述电磁阀的特征在于，具备上述任一个阀装置的上述阀室、上述阀芯、上述流入端口以及上述流出端口。

根据这样的本发明，能够实现与上述的阀装置带来的效果同样地在闭阀状态下难以在阀室内残留流体的电磁阀。

发明效果

根据本发明的阀装置及电磁阀，能够在闭阀状态下难以在阀室内残留流体。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式的电磁阀通电时的开阀状态的纵剖视图。

图2是表示上述电磁阀的非通电状态的闭阀状态的纵剖视图。

图3中的(A)～(C)是表示上述电磁阀的第一变形例的放大剖视图。

图4中的(A)～(C)是表示上述电磁阀的第二变形例的放大剖视图。

图5是表示上述电磁阀的第三变形例的放大剖视图。

图6中的(A)～(C)是表示上述电磁阀的第四变形例的放大剖视图。

图7是放大表示本发明的变形例的阀装置的主要部分的纵剖视图。

图中：

2—电磁驱动部，3—阀芯，11—阀室，12—阀座面，13—流入端口，14—流出端口，21—柱塞壳体，22—吸引件，23—柱塞，31—膜片，33—弹性体，34—紧贴面，35—按压部，36—施力部。

具体实施方式

基于图1～6对作为本发明的实施方式的阀装置的电磁阀进行说明。如图1、2所示，本实施方式的电磁阀具备阀壳1、电磁驱动部2以及阀芯3。此外，以下的说明中的“上下”的概念与图1、2的图面的上下对应。该电磁阀用于将从供给源供给来的流体向供给目标送出预定量。作为流体，能够任意选择药液等各种液体、各种气体等，也可以为气液二相制冷剂等气体和液体双方的状态。

阀壳1为树脂制的一体成形部件，具备整体大致圆柱状的主体部1A、从主体部1A向侧方突出且与供给源连接的管状的一次管部1B、以及从主体部1A向下方突出且与供给目标连接的管状的二次管部1C。此外，阀壳1不限于树脂制的一体成形部件，也可以是金属制，也可以是组合多个构件而构成。在主体部1A的电磁驱动部2侧的上端面形成有薄型圆环状的台阶部10，从该台阶部10朝向下部形成有以轴线X为中心线的圆锥状的阀室11。此外，该轴线X也是后述的柱塞壳体21的中心线。

阀室11具有随着朝向下方而内径变小的研钵状的阀座面12。另外，阀壳1具备：贯穿主体部1A及一次管部1B左右延伸，与阀室11连通并供流体导入的流入端口13；以及贯穿主体部1A及二次管部1C上下延伸，与阀室11连通并供流体导出的流出端口14。流出端口14在阀座面12的底部开口设置，流入端口13在主体部1A的内部向上方屈曲且在比流出端口14靠上方的阀座面12的中间部开口而设置。

电磁驱动部2具备由非磁性体构成的柱塞壳体21、固定于柱塞壳体21的上端且由磁性体构成的吸引件22、在柱塞壳体21内与吸引件22的下侧对置配置的柱塞23、以及配设于吸引件22与柱塞23之间的柱塞弹簧24。而且，电磁驱动部2具备配置于柱塞壳体21的外周的线圈架25、在线圈架25卷绕绕阻线而成的电磁线圈26、内置线圈架25和电磁线圈26的外壳27、确保从外壳27的下部朝向柱塞23及吸引件22的磁路的磁轭28、以及在外壳27的下表面位置紧固于柱塞壳体21的固定用环29。

柱塞壳体21在形成为圆筒状的内部划分出柱塞室21a，并且以利用其侧面的一部分覆盖吸引件22的方式通过焊接等固定于吸引件22。吸引件22具有在柱塞23侧开口的研钵状的吸引面22a和夹持于吸引件22与柱塞弹簧24之间的弹簧抵接部件22b。柱塞23以被吸引件22吸引的方式由适当的磁性体构成，且容纳于柱塞室21a内，并且在吸引件22侧具有锥形部23a和容纳柱塞弹簧24的弹簧容纳孔23b。而且，柱塞23具有与柱塞壳体21的内周面滑动接触的上下两层滑动接触环23c，且设置成能够沿轴线X方向移动。进一步地，柱塞23具有下方延伸的伸出轴部23d，在该伸出轴部23d的前端部保持膜片31，并且设有构成阀芯3的一部分的阀芯基部32。

阀芯3由膜片31和柱塞23的阀芯基部32构成。膜片31为橡胶制，且设为整体大致圆盘状的形状，而且在上表面中央部具有内卷边部31a，在外周部具有外卷边部31b。于是，通过内卷边部31a保持于伸出轴部23d与阀芯基部32之间保持，并且外卷边部31b夹持于固定用环29与阀壳1的台阶部10之间，从而膜片31被安装于阀壳1与电磁驱动部2之间。由此，膜片31气密密封阀壳1的阀室11和电磁驱动部2的柱塞室21a。膜片31具有形成为以轴线X为中心线的圆锥台状且能够弹性变形的弹性体33，在该弹性体33的下表面侧设有紧贴面34，该紧贴面34为随着朝向下方而内径变小的圆锥面的一部分，且具有与阀座面12大致相同的形状。

在以上的电磁阀中，在图1所示的通电时，即当对电磁线圈26通电时，在吸引件22与柱塞23之间产生吸引力，柱塞23及阀芯3上升，阀芯3的膜片31的紧贴面34从阀座面12分离，打开流入端口13及流出端口14，成为开阀状态。这样，本实施方式的电磁阀为通过通电成为开阀状态(开阀位置)的“通电打开规格”的电磁阀。在这样的开阀状态下，从流入端口13流入到阀室11的流体顺畅地从流出端口14流出。

另一方面，在图2所示的非通电时，即在对电磁线圈26未通电时，由于柱塞弹簧24的作用力，柱塞23及阀芯3向下方被施力，阀芯3的膜片31的紧贴面34与阀座面12紧贴而关闭流入端口13，成为闭阀状态(闭阀位置)。在这样的闭阀状态下，流入端口13的流体被阀芯3的膜片31阻挡而不会流入阀室11，阀室11的流体顺畅地从流出端口14流出，在阀室11不会残留流体。

此外，在本实施方式的电磁阀中，阀室11的阀座面12及阀芯3的紧贴面34分别为由圆锥面的一部分构成的大致相同形状，不限于在开阀状态下互相大致平行地设置，且随着闭阀移动大致整个面同时紧贴的形状。即，阀座面12及紧贴面34也可以是如下形状：随着阀芯3的闭阀移动，从位于比流入端口13靠上方的阀座面12的上端侧朝向流出端口14逐渐扩展紧贴区域，并且紧贴面34与阀座面12紧贴。进一步地，优选为如下形状：在开阀位置，紧贴面34与阀座面12的分隔距离在阀座面12的下端侧比上端侧宽，随着阀芯3的闭阀移动，膜片31的弹性体33弹性变形，从而逐渐扩展紧贴区域，并且紧贴面34与阀座面12紧贴。具体来说，能够采用如图3、4所示的阀座面12及紧贴面34的形状。

图3是表示本实施方式的电磁阀的第一变形例的放大剖视图。如图3的(A)所示，该第一变形例的电磁阀的阀座面12及紧贴面34分别由圆锥面的一部分构成，但相比阀座面12与轴线X所成的角度θ1，开阀开位置的阀芯3的紧贴面34与轴线X所成的角度θ2设定得更大，相比阀座面12的上端侧，在下端侧与紧贴面34的分隔距离更宽。如图3的(B)所示，就这样的阀座面12及紧贴面34而言，当阀芯3进行闭阀移动时，紧贴面34从阀座面12的上端侧开始紧贴，通过弹性体33的弹性变形，紧贴面34效仿阀座面12而变形，朝向下方逐渐扩展紧贴区域，并且朝向流出端口14挤压流体R。进一步地，如图3的(C)所示，当阀芯3下降到闭阀位置时，通过紧贴面34关闭流入端口13，由此，阀室11内的流体R无残留地从流出端口14流出。

图4是表示本实施方式的电磁阀的第二变形例的放大剖视图。如图4的(A)～(C)所示，就该第二变形例的电磁阀的阀座面12及紧贴面34而言，阀座面12在纵剖视下形成为向上凸的平滑的曲线(例如，圆弧状)，紧贴面34由圆锥面的一部分构成，相比阀座面12的上端侧，在下端侧与紧贴面34的分隔距离更宽。此外，不限于阀座面12，紧贴面34也可以在纵剖视下由向下凸的平滑的曲线构成。如图4的(B)所示，就这样的阀座面12及紧贴面34而言，当阀芯3进行闭阀移动时，紧贴面34从阀座面12的上端侧开始紧贴，通过弹性体33的弹性变形，紧贴面34效仿阀座面12而变形，朝向下方逐渐扩展紧贴区域，并且朝向流出端口14挤压流体R。进一步地，如图4的(C)所示，当阀芯3下降到闭阀位置时，通过紧贴面34关闭流入端口13，由此，阀室11内的流体R无残留地从流出端口14流出。

另外，在本实施方式的电磁阀中，阀芯3由膜片31和柱塞23的阀芯基部32构成，但也可以还具备以下的如图5、6所示的按压部、施力部。图5是表示本实施方式的电磁阀的第三变形例的放大剖视图。如图5所示，第三变形例的电磁阀的阀芯3具备按压部35，该按压部35从柱塞23的阀芯基部32向径向外侧突出，隔着膜片31的弹性体33与流入端口13对置。该按压部35具有与阀座面12大致平行的倾斜度，且以覆盖流入端口13的上方的方式设置，在阀芯3移动到闭阀位置时，从紧贴面34的相反侧朝向流入端口13按压弹性体33，即使发生流入端口13内的压力异常上升这样的情况，也能够抑制弹性体33被该高压的流体向上推而产生的阀泄漏。

图6是表示本实施方式的电磁阀的第四变形例的放大剖视图。如图6所示，第四变形例的电磁阀的阀芯3具备施力部36，该施力部36从柱塞23的阀芯基部32向径向外侧突出，隔着膜片31的弹性体33与阀座面12对置。该施力部36由与柱塞23分体的金属制或树脂制的板簧等构成，形成为覆盖弹性体33的与紧贴面34相反的一侧的整个圆盘状(碟状)。此外，施力部36只要通过随着阀芯3的闭阀移动弯曲而发挥作用力(复原力)，对弹性体33从与紧贴面34相反的一侧朝向阀座面施力即可，其材质、形状没有特别限制。另外，施力部36不限于与柱塞23分体的板簧等，也可以由与柱塞23一体地从阀芯基部32向径向外侧突出的薄板状的部位构成，通过该薄板状的部位弯曲而发挥作用力。

如图6的(B)所示，就具备这样的施力部36的阀芯3而言，当阀芯3进行闭阀移动时，紧贴面34从阀座面12的上端侧开始紧贴，施力部36利用其外周缘朝向阀座面12按压弹性体33，并且变形成向下凸的曲面状，由此使弹性体33施力，并且弹性变形成向下突出的曲面状。通过随着这样的阀芯3的闭阀移动的施力部36及弹性体33的变形，紧贴面34从阀座面12的上端侧朝向流出端口14逐渐扩展紧贴区域，并且与阀座面12紧贴，朝向流出端口14挤压流体R。进一步地，如图6的(C)所示，当阀芯3下降到闭阀位置时，施力部36及弹性体33成为沿着阀座面12的形状，通过紧贴面34与阀座面12紧贴而关闭流入端口13，由此，阀室11内的流体R无残留地从流出端口14流出。

根据以上的本实施方式，通过在研钵状的阀座面12的底部设有流出端口14，且在比该流出端口14靠上方的阀座面12的中间部设有流入端口13，从而流体易于沿着阀座面12流向下方的流出端口14，并且在闭阀位置，使阀芯3的紧贴面34与阀座面12紧贴而关闭流入端口13，阻止流体向阀室11的流入，从而能够难以在阀室11内残留流体。

另外，阀芯3具有膜片31，该膜片31的周边部紧贴保持于阀座面12的上端缘，从而能够随着闭阀移动从阀座面12的上端缘依次使膜片31的紧贴面34与阀座面12抵接。另外，通过利用膜片31密封阀室11和柱塞室21a，能够防止流体向阀室11之外的泄漏。

另外，如图3、4所示，阀芯3的紧贴面34与阀座面12的分隔距离在阀座面12的下端侧变宽，随着闭阀移动，阀芯3的弹性体33弹性变形，逐渐扩展紧贴区域，并且紧贴面34与阀座面12紧贴，从而能够朝向流出端口14挤压流体，能够更可靠地使流体流出而难以在阀室11内残留流体。

另外，如图5所示，如果阀芯3具有按压部35，则通过利用该按压部35朝向流入端口13按压弹性体33，能够在闭阀位置可靠地关闭流入端口13，即使发生流入端口13内的压力异常上升这样的情况，也能够抑制弹性体33被该高压的流体向上推而产生的阀泄漏。

另外，如图6所示，如果阀芯3具有施力部36，则通过利用该施力部36朝向阀座面12对弹性体33施力，能够在闭阀移动时使弹性体33的紧贴面34一边以适当的形状弯曲一边与阀座面12抵接，并且在闭阀位置使弹性体33与阀座面12恰当地紧贴。

此外，本发明不限于上述实施方式，包括能够实现本发明的目的的其它结构等，以下所示的变形等也包含在本发明内。例如，在上述实施方式中，作为本发明的阀装置示例了电磁阀，但阀装置也可以是电动阀，也可以是手动式的开闭阀等。另外，在上述实施方式的电磁阀中，阀芯3具有膜片31，在该膜片31设有紧贴面34，但阀芯不限于具有膜片，也可以是以下的如图7所示的阀芯。

图7是放大表示本发明的变形例的阀装置的主要部分的纵剖视图。该阀装置与上述实施方式的电磁阀相同地具备：具有阀室11、流入端口13以及流出端口14的阀壳1；以及具有弹性体33的阀芯3。阀室11具有研钵状的阀座面12，阀芯3的弹性体33为橡胶制，且构成为在整体圆柱状的下表面具有与阀座面12大致相同形状的紧贴面34。此外，弹性体33不限于橡胶制，也可以为树脂制，另外，也可以取代阀芯3的弹性体33而采用金属制，仅用橡胶制、树脂制的表面部件构成紧贴面34。该阀芯3由未图示的驱动单元进退驱动，设置成能够在如图7的(A)所示地紧贴面34从阀座面12分离而打开流入端口13的开阀位置和如图7的(B)所示地使紧贴面34与阀座面12紧贴而关闭流入端口13的闭阀位置之间移动。作为该驱动单元，也可以如上述实施方式的电磁驱动部2那样利用吸引件22与柱塞23的吸引力，也可以具有步进马达等旋转驱动部和螺杆进给机构。

通过这样的变形例的阀装置，也与上述实施方式同样地，通过在研钵状的阀座面12的底部设有流出端口14，且在比该流出端口14靠上方的阀座面12的中间部设有流入端口13，从而流体易于沿着阀座面12流向下方的流出端口14，并且在闭阀位置使阀芯3的紧贴面34与阀座面12紧贴而关闭流入端口13，阻止流体的向阀室11的流入，从而能够难以在阀室11内残留流体。

另外，在上述实施方式的第一、第二变形例中，构成为，阀芯3具有膜片31的弹性体33，并且在开阀位置紧贴面34与阀座面12的分隔距离在阀座面12的下端侧变宽，随着闭阀移动，弹性体33弹性变形，从而逐渐扩展紧贴区域，并且紧贴面34与阀座面12紧贴，但不限于该结构。即，也可以构成为，阀芯不具有弹性体，而阀座面由弹性体构成，通过该阀座面弹性变形而逐渐扩展紧贴区域，并且阀座面和紧贴面紧贴。进一步地，在上述实施方式中，构成为，阀芯3沿着轴线X直线进退移动，但不限于此，阀芯也可以一边随着曲线或者旋转运动一边移动，也可以构成为，通过这样的阀芯的移动，从阀座面的上端侧朝向下方逐渐扩展紧贴区域，并且阀座面和紧贴面紧贴。

以上，参照附图对本发明的实施方式进行了详细说明，但具体的结构不限于这些实施方式，即使具有不脱离本发明的主旨的范围的设计的变更等，也包含在本发明内。

Claims (8)

1.一种阀装置，具备阀室、能够在上述阀室内移动的阀芯、与上述阀室连通并供流体导入的流入端口、以及与上述阀室连通并供流体导出的流出端口，上述阀装置的特征在于，

上述阀室具有随着朝向下方而内径变小的研钵状的阀座面，在上述阀座面的底部开口而设有上述流出端口，在比上述流出端口靠上方的上述阀座面的中间部开口而设有上述流入端口，

上述阀芯具有与上述阀座面对置设置的紧贴面，且设置成能够在从上述阀座面分离而打开上述流入端口的开阀位置和使上述紧贴面与上述阀座面紧贴而关闭上述流入端口的闭阀位置之间移动。

2.根据权利要求1所述的阀装置，其特征在于，

上述阀芯随着从上述开阀位置朝向上述闭阀位置的闭阀移动，从位于比上述流入端口靠上方的上述阀座面的上端侧朝向上述流出端口逐渐扩展紧贴区域，并且使上述紧贴面与上述阀座面紧贴。

3.根据权利要求2所述的阀装置，其特征在于，

上述阀芯具有构成上述紧贴面且能够弹性变形的弹性体，在上述开阀位置，就上述紧贴面与上述阀座面的分隔距离而言，相比上述阀座面的上端侧，下端侧更宽，随着闭阀移动，上述弹性体弹性变形，从而逐渐扩展紧贴区域，并且使上述紧贴面与上述阀座面紧贴。

4.根据权利要求3所述的阀装置，其特征在于，

上述阀芯具有按压部，该按压部将上述弹性体从与上述紧贴面相反的一侧朝向上述流入端口按压。

5.根据权利要求3所述的阀装置，其特征在于，

上述阀芯具有施力部，该施力部将上述弹性体从与上述紧贴面相反的一侧朝向上述阀座面施力。

6.根据权利要求4所述的阀装置，其特征在于，

上述阀芯具有施力部，该施力部将上述弹性体从与上述紧贴面相反的一侧朝向上述阀座面施力。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的阀装置，其特征在于，

上述阀芯具有密封上述阀室的膜片，上述膜片的周边部紧贴保持于上述阀座面的上端缘，并且由上述膜片的上述阀室侧的表面构成上述紧贴面。

8.一种电磁阀，其具备电磁驱动部，该电磁驱动部使在柱塞壳体内与吸引件对置配置的柱塞沿上述柱塞壳体的轴线方向移动而驱动阀芯，上述电磁阀的特征在于，

具备权利要求1～7中任一项所述的阀装置的上述阀室、上述阀芯、上述流入端口以及上述流出端口。

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