CN110791052B - 一种高可靠性环氧树脂组合物及其应用 - Google Patents
一种高可靠性环氧树脂组合物及其应用 Download PDFInfo
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- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims abstract description 70
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 title claims abstract description 67
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 title claims abstract description 67
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims abstract description 34
- -1 silicate compound Chemical class 0.000 claims abstract description 20
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims abstract description 19
- 239000003607 modifier Substances 0.000 claims abstract description 16
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 12
- RNFJDJUURJAICM-UHFFFAOYSA-N 2,2,4,4,6,6-hexaphenoxy-1,3,5-triaza-2$l^{5},4$l^{5},6$l^{5}-triphosphacyclohexa-1,3,5-triene Chemical compound N=1P(OC=2C=CC=CC=2)(OC=2C=CC=CC=2)=NP(OC=2C=CC=CC=2)(OC=2C=CC=CC=2)=NP=1(OC=1C=CC=CC=1)OC1=CC=CC=C1 RNFJDJUURJAICM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- 239000003063 flame retardant Substances 0.000 claims abstract description 5
- 239000007822 coupling agent Substances 0.000 claims abstract description 4
- 238000011049 filling Methods 0.000 claims abstract description 4
- ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N Triethylamine Chemical group CCN(CC)CC ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N imidazole Natural products C1=CNC=N1 RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- LLPKQRMDOFYSGZ-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-4-methylimidazole Natural products CC1=CN=C(C)N1 LLPKQRMDOFYSGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- 150000003512 tertiary amines Chemical group 0.000 claims description 6
- GQHTUMJGOHRCHB-UHFFFAOYSA-N 2,3,4,6,7,8,9,10-octahydropyrimido[1,2-a]azepine Chemical compound C1CCCCN2CCCN=C21 GQHTUMJGOHRCHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- DQUIAMCJEJUUJC-UHFFFAOYSA-N dibismuth;dioxido(oxo)silane Chemical group [Bi+3].[Bi+3].[O-][Si]([O-])=O.[O-][Si]([O-])=O.[O-][Si]([O-])=O DQUIAMCJEJUUJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- LXBGSDVWAMZHDD-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1h-imidazole Chemical compound CC1=NC=CN1 LXBGSDVWAMZHDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 4
- FTXPFQFOLRKRKF-UHFFFAOYSA-N 2-(5-methyl-1h-imidazol-2-yl)propanenitrile Chemical compound N#CC(C)C1=NC=C(C)N1 FTXPFQFOLRKRKF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- YTWBFUCJVWKCCK-UHFFFAOYSA-N 2-heptadecyl-1h-imidazole Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC1=NC=CN1 YTWBFUCJVWKCCK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- JLTDJTHDQAWBAV-UHFFFAOYSA-N N,N-dimethylaniline Chemical compound CN(C)C1=CC=CC=C1 JLTDJTHDQAWBAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 12
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 12
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 abstract description 7
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 abstract description 7
- 238000005476 soldering Methods 0.000 abstract description 4
- 239000004848 polyfunctional curative Substances 0.000 abstract description 3
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 239000002516 radical scavenger Substances 0.000 description 9
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 8
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 7
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 7
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 7
- 229920001568 phenolic resin Polymers 0.000 description 7
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 7
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 6
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 5
- 238000011161 development Methods 0.000 description 5
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 5
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 5
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 5
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 5
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 5
- UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N Naphthalene Chemical compound C1=CC=CC2=CC=CC=C21 UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N diphenyl Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=C1 ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 4
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 4
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 3
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 239000005350 fused silica glass Substances 0.000 description 3
- 239000011256 inorganic filler Substances 0.000 description 3
- 229910003475 inorganic filler Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 239000012778 molding material Substances 0.000 description 3
- 239000004843 novolac epoxy resin Substances 0.000 description 3
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 3
- QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 2-methylphenol;3-methylphenol;4-methylphenol Chemical compound CC1=CC=C(O)C=C1.CC1=CC=CC(O)=C1.CC1=CC=CC=C1O QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 2
- YKTSYUJCYHOUJP-UHFFFAOYSA-N [O--].[Al+3].[Al+3].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] Chemical compound [O--].[Al+3].[Al+3].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] YKTSYUJCYHOUJP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 150000001336 alkenes Chemical class 0.000 description 2
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 2
- 238000010009 beating Methods 0.000 description 2
- 239000004305 biphenyl Substances 0.000 description 2
- 235000010290 biphenyl Nutrition 0.000 description 2
- PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N bisphenol F Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1CC1=CC=C(O)C=C1 PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 2
- 239000004203 carnauba wax Substances 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 229930003836 cresol Natural products 0.000 description 2
- ZSWFCLXCOIISFI-UHFFFAOYSA-N cyclopentadiene Chemical compound C1C=CC=C1 ZSWFCLXCOIISFI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010494 dissociation reaction Methods 0.000 description 2
- 230000005593 dissociations Effects 0.000 description 2
- 238000005485 electric heating Methods 0.000 description 2
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 2
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 2
- 150000002460 imidazoles Chemical class 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- HCWCAKKEBCNQJP-UHFFFAOYSA-N magnesium orthosilicate Chemical compound [Mg+2].[Mg+2].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] HCWCAKKEBCNQJP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000391 magnesium silicate Substances 0.000 description 2
- 229910052919 magnesium silicate Inorganic materials 0.000 description 2
- 235000019792 magnesium silicate Nutrition 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- JRZJOMJEPLMPRA-UHFFFAOYSA-N olefin Natural products CCCCCCCC=C JRZJOMJEPLMPRA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005022 packaging material Substances 0.000 description 2
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 2
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 2
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 2
- 239000001993 wax Substances 0.000 description 2
- JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 1,2,3-triazine Chemical group C1=CN=NN=C1 JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WGPNLKPTYJCEKI-UHFFFAOYSA-N 1-ethyltetrazol-5-amine Chemical compound CCN1N=NN=C1N WGPNLKPTYJCEKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KJCVRFUGPWSIIH-UHFFFAOYSA-N 1-naphthol Chemical compound C1=CC=C2C(O)=CC=CC2=C1 KJCVRFUGPWSIIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HECLRDQVFMWTQS-RGOKHQFPSA-N 1755-01-7 Chemical compound C1[C@H]2[C@@H]3CC=C[C@@H]3[C@@H]1C=C2 HECLRDQVFMWTQS-RGOKHQFPSA-N 0.000 description 1
- SUEIINDYWPMJEW-UHFFFAOYSA-N 2-ethyltetrazol-5-amine Chemical compound CCN1N=NC(N)=N1 SUEIINDYWPMJEW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-6-methylphenol Chemical compound [CH]OC1=CC=CC([CH])=C1O KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AZUKLCJYWVMPML-UHFFFAOYSA-N 2-methyltetrazol-5-amine Chemical compound CN1N=NC(N)=N1 AZUKLCJYWVMPML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QCCVPOWMSULONB-UHFFFAOYSA-N 2-prop-2-enyltetrazol-5-amine Chemical compound NC=1N=NN(CC=C)N=1 QCCVPOWMSULONB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ULRPISSMEBPJLN-UHFFFAOYSA-N 2h-tetrazol-5-amine Chemical compound NC1=NN=NN1 ULRPISSMEBPJLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VPWNQTHUCYMVMZ-UHFFFAOYSA-N 4,4'-sulfonyldiphenol Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1S(=O)(=O)C1=CC=C(O)C=C1 VPWNQTHUCYMVMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229930185605 Bisphenol Natural products 0.000 description 1
- 235000010919 Copernicia prunifera Nutrition 0.000 description 1
- 244000180278 Copernicia prunifera Species 0.000 description 1
- 108050006002 RNA polymerase sigma factor FliA Proteins 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PJANXHGTPQOBST-VAWYXSNFSA-N Stilbene Natural products C=1C=CC=CC=1/C=C/C1=CC=CC=C1 PJANXHGTPQOBST-VAWYXSNFSA-N 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- WNROFYMDJYEPJX-UHFFFAOYSA-K aluminium hydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[OH-].[Al+3] WNROFYMDJYEPJX-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical group [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940058905 antimony compound for treatment of leishmaniasis and trypanosomiasis Drugs 0.000 description 1
- 150000001463 antimony compounds Chemical class 0.000 description 1
- 125000003710 aryl alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DUEPRVBVGDRKAG-UHFFFAOYSA-N carbofuran Chemical compound CNC(=O)OC1=CC=CC2=C1OC(C)(C)C2 DUEPRVBVGDRKAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 238000004587 chromatography analysis Methods 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 238000010411 cooking Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 229910002026 crystalline silica Inorganic materials 0.000 description 1
- XXBDWLFCJWSEKW-UHFFFAOYSA-N dimethylbenzylamine Chemical compound CN(C)CC1=CC=CC=C1 XXBDWLFCJWSEKW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000006056 electrooxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 1
- 229920006336 epoxy molding compound Polymers 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 1
- 238000001879 gelation Methods 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 description 1
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 230000008595 infiltration Effects 0.000 description 1
- 238000001764 infiltration Methods 0.000 description 1
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 1
- 230000009545 invasion Effects 0.000 description 1
- 238000011068 loading method Methods 0.000 description 1
- 150000004668 long chain fatty acids Chemical class 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000006082 mold release agent Substances 0.000 description 1
- 239000012768 molten material Substances 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 239000012188 paraffin wax Substances 0.000 description 1
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 1
- 230000037361 pathway Effects 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 239000005360 phosphosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 238000011417 postcuring Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 238000007873 sieving Methods 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- PJANXHGTPQOBST-UHFFFAOYSA-N stilbene Chemical compound C=1C=CC=CC=1C=CC1=CC=CC=C1 PJANXHGTPQOBST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000021286 stilbenes Nutrition 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 230000009182 swimming Effects 0.000 description 1
- 239000000454 talc Substances 0.000 description 1
- 229910052623 talc Inorganic materials 0.000 description 1
- AYEKOFBPNLCAJY-UHFFFAOYSA-O thiamine pyrophosphate Chemical compound CC1=C(CCOP(O)(=O)OP(O)(O)=O)SC=[N+]1CC1=CN=C(C)N=C1N AYEKOFBPNLCAJY-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- 238000004448 titration Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 238000001721 transfer moulding Methods 0.000 description 1
- 238000005303 weighing Methods 0.000 description 1
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
- C08L63/00—Compositions of epoxy resins; Compositions of derivatives of epoxy resins
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/28—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
- H01L23/29—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the material, e.g. carbon
- H01L23/293—Organic, e.g. plastic
- H01L23/295—Organic, e.g. plastic containing a filler
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
- C08L2201/00—Properties
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
- C08L2203/00—Applications
- C08L2203/20—Applications use in electrical or conductive gadgets
- C08L2203/206—Applications use in electrical or conductive gadgets use in coating or encapsulating of electronic parts
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
- C08L2205/00—Polymer mixtures characterised by other features
- C08L2205/03—Polymer mixtures characterised by other features containing three or more polymers in a blend
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- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
本发明涉及环氧树脂及其应用技术领域,具体地说,是一种高可靠性环氧树脂组合物及其应用,其主要成分包括环氧树脂、硬化剂、阻燃剂、硬化促进剂、无机填充材料、偶联剂、离子捕捉剂、密着改质剂;所述的离子捕捉剂为硅酸盐化合物,选用的离子捕捉剂,具有较强的离子捕捉能力和较好的耐热性能,可有效降低Na+、Cl-含量,同时复配使用密着改质剂,增强环氧树脂组合物对金属框架粘接性能,可以耐回流焊,电气性能稳定,满足军工类电子产品对可靠性的要求。
Description
技术领域
本发明涉及环氧树脂及其应用技术领域,具体地说,是一种高可靠性环氧树脂组合物及其应用。
背景技术
环氧树脂组合物固化后具有优异的机械、耐热、耐酸碱及电气性质,因此广泛应用于3C(计算机、通讯、消费性电子产品)产业中的IC封装材料,以保护芯片、导线及线路使其免于受到空气中的水气、灰尘以及其他外力的伤害,提高芯片的使用寿命与可靠度。近年来,伴随半导体封装体的小型化及高集成化发展,对环氧树脂组合物的性能要求越来越高。
尤其是军工类电子,对塑封器件各方面性能要求较高。既要保证环氧树脂组合物与芯片、框架的粘着力,又要保证环氧树脂组合物的电气性能稳定性,避免漏电、腐蚀。
对塑封器件而言,湿气渗入是影响其气密性导致失效的重要原因之一。湿气渗入器件主要有两条途径:1)由于树脂本身的透湿率与吸水性,水气会直接通过环氧树脂组合物包封层本体扩散到芯片表面;2)通过环氧树脂组合物包封层与金属框架间的间隙,然后再沿着内引线与塑封料的封接界面进入器件芯片表面。
当湿气通过这两条途径到达芯片表面时,在表面形成一层导电水膜,并将塑封料中游离的Na+、Cl-离子也随之带入,在电位差的作为下,会加速对芯片表面铝布线的电化学腐蚀,最终导致电路内引线开路。随着电路集成度的不断提高,铝布线越来越细,因此,铝布线腐蚀对器件寿命的影响就越发严重。
其腐蚀机理均可归结为铝与离子沾污物的化学反应:由于水汽的浸入,加速了水解物质(Na+、Cl-)从树脂中的离解,同时也加速芯片表面钝化膜磷硅玻璃离解出(PO4)3-。腐蚀过程中离解出的物质由于其物理特性改变,例如脆性增加、接触电阻值增加、热膨胀系数发生变化等,在器件使用或贮存过程中随着温度及加载电压的变化,会表现出电参数漂移、漏电流过大,甚至短路或开路等失效模式,且有些失效模式不稳定,在一定条件下有可能恢复部分器件功能,但是只要发生了腐蚀,对器件的长期可靠性将埋下隐患。因此,降低塑封料中的Na+、Cl-离子,可有效的降低腐蚀、避免漏电,保证器件的正常使用功能以及延长其使用寿命,引进有效的离子捕捉剂可有效的降低离子含量。
同时复配使用合适的密着改质剂以有效增强环氧树脂组合物与金属框架间的粘接力,从而避免在接触界面产生间隙,导致水汽的入侵。
发明内容
本发明提供一种高可靠性环氧树脂组合物,选用的离子捕捉剂,具有较强的离子捕捉能力和较好的耐热性能,可有效降低Na+、Cl-含量,同时复配使用密着改质剂,增强环氧树脂组合物对金属框架粘接性能,可以耐回流焊,电气性能稳定,满足军工类电子产品对可靠性的要求。
本发明采用的具体技术方案如下:
一种高可靠性环氧树脂组合物,其主要成分包括环氧树脂、硬化剂、阻燃剂、硬化促进剂、无机填充材料、偶联剂、离子捕捉剂、密着改质剂;所述的离子捕捉剂为硅酸盐化合物;所述的密着改质剂含有式(1)、式(2)、式(3)化合物中的至少一种
本发明的进一步改进,离子捕捉剂选自硅酸铋、硅酸铝、硅酸镁中的至少一种,优选为硅酸铋。
本发明的进一步改进,离子捕捉剂的含量为0.1-0.6重量%。
本发明的进一步改进,密着改质剂的含量为0.1-2.0重量%。
本发明的进一步改进,硬化促进剂为三级胺、咪唑化合物、含氮杂环类化合物或其混合物。
本发明的进一步改进,三级胺为三乙基胺、二甲基苯胺、苯甲基二甲氨、 N,N-二甲基-胺基甲基酚或其混合物;所述咪唑化合物为2-甲基咪唑、2-甲基-4- 甲基咪唑、2-十七烷基咪唑、1-氰乙基-4-甲基咪唑或其混合物;且所述含氮杂环类化合物为1,8-二氮杂双环[5,4,0]十一碳-7-烯。
本发明还披露了该高可靠性环氧树脂组合物的应用,可以作为封装材料用于半导体器件的封装。
本发明的有益效果:本发明披露的高可靠性环氧树脂组合物,选用的离子捕捉剂,具有较强的离子捕捉能力和较好的耐热性能,可有效降低Na+、Cl-含量,同时复配使用密着改质剂,增强环氧树脂组合物对金属框架粘接性能,可以耐回流焊,电气性能稳定,满足军工类电子产品对可靠性的要求。
具体实施方式
为了加深对本发明的理解,下面将结合实施例对本发明做进一步详细描述,该实施例仅用于解释本发明,并不对本发明的保护范围构成限定。
本发明所述离子捕捉剂包为硅酸盐化合物,不仅具有较强的离子捕捉能力和较好的耐热性能,且纯度较高,本身也几乎不释放杂质离子,对封装材料几乎没有不良影响,不包含RoHS限用物质。
在本发明中,所用离子捕捉剂的含量,相对于组成物的总重量,为介于0.1 到0.6重量%,如果离子捕捉剂含量未满0.1重量%,塑封料中会有较多的Na+、 Cl-离子,导致封装器件漏电、腐蚀,影响其功能和寿命;如果离子捕捉剂含量超过0.6%,Na+、Cl-离子不再呈现明显的下降趋势,达到捕捉离子的限度,还会增加成本,甚至存在不可预知的隐患。因此,要严格控制离子捕捉剂的使用量,既要保证较低的Na+、Cl-离子含量,又要避免其它风险。
可用于本发明组合物的环氧树脂是本领域技术人员所熟知的,并无特殊限制,例如但不限于含有两或多个官能基的环氧树脂,其包含但不限于双酚环氧树脂、双酚A型环氧树脂、双酚F型环氧树脂、双酚S型环氧树脂、联苯型环氧树脂、三苯酚甲烷型环氧树脂、萘酚型环氧树脂、芪型环氧树脂、含有三嗪核结构的环氧树脂、酚醛型酚醛环氧树脂、酚醛型烷基酚醛环氧树脂、改质酚醛环氧树脂、双环戊二烯环氧树脂或其混合物,优选为酚醛型烷基酚醛环氧树脂、联苯型环氧树脂或其混合物。
市售环氧树脂例子包括:CNE-200ELA(长春化学制);ESCN-195XL、(住友化学制);YX-4000H、(三菱化学制);N-670(日本DIC制);JECN-801(江环化学制);
NC-3000H(日本化药制);HP-5000(日本DIC制);HP-7200(日本DIC制);NPEB-400(南亚环氧树脂制)。
根据本发明,所述环氧树脂可单独使用两种或多种以混合物形式使用。所述环氧树脂的用量,相对于组成物的总重量,一般为介于2到15重量%,优选地介于6到12重量%。
本发明的一种高可靠性环氧树脂组合物中所使用的硬化剂,需搭配环氧树脂来使用,这是本领域技术人员所熟知的,例如但不限于酚系树脂。可用于本发明的酚系树脂含有两个或多个羟基官能基;其包含(但不限于)酚醛清漆树脂、甲酚酚醛清漆树脂、三酚烷基酚、芳烷基树脂、萘型酚醛树脂、环戊二烯型酚醛树脂或其混合物,优选为甲酚酚醛树脂、萘型酚醛树脂或其混合物。
市售酚系树脂例子包括:TD-2131(日本DIC制);HRJ-1583(Schenectady公司制);MEHC-7800-4S(明和化学制);MEHC-7800-4(明和化学制);PK-7500(金隆化学制);KPH-F3065(KOLON制)。
在本发明的一种高可靠性环氧树脂组合物中,所用硬化剂的含量,相对于组成物的总重量,为介于2到10重量%,优选地介于3到8重量%。
本发明的一种高可靠性环氧树脂组合物中所使用的硬化促进剂,可加快环氧树脂的环氧基基团与硬化剂中酚系羟基基团之间的硬化反应。可用于本发明中的硬化促进剂包含(但不限于)三级胺、咪唑化合物、含氮杂环类化合物或其混合物。其中,三级胺的实例包括(但不限于):三乙基胺、二甲基苯胺、苯甲基二甲氨、N,N-二甲基-胺基甲基酚或其混合物。咪唑化合物的实例包括(但不限于): 2-甲基咪唑、2-甲基-4-甲基咪唑、2-十七烷基咪唑、1-氰乙基-4-甲基咪唑或其混合物;且所述含氮杂环类化合物的实例包括(但不限于)1,8-二氮杂双环[5,4,0] 十一碳-7-烯(DBU)。优选使用2-甲基咪唑、1,8-二氮杂双环[5,4,0]十一碳-7-烯或其混合物作为本发明的硬化促进剂。
本发明的一种高可靠性环氧树脂组合物中,所述硬化促进剂的用量,以组成物总重量计,为0.01到1重量%,优选为0.1到0.3重量%。
可用于本发明的一种高可靠性环氧树脂组合物中的无机填充物包含(但不限于)熔融型二氧化硅、结晶型二氧化硅、滑石粉、氧化铝、氮化硅或其混合物,优选为熔融型二氧化硅。基于可模制性和焊料抗性的平衡,所加入无机填充物的量,以组成物总重量计,为介于70到95重量%。如果无机填充物的含量少于70 重量%,由于湿气吸收的增加,将降低树脂组成物的焊料性;如果其含量高于95 重量%,模制中树脂组成物的流动性降低,容易引起填充失效。
此外,本发明的一种高可靠性环氧树脂组合物中可任选地包含本领域技术人员所熟知的各种添加剂,例如硅烷偶合剂(例如2,3-环氧丙基丙基三甲氧基硅烷或β-(3,4-环氧环己烷)乙基三甲氧基硅烷)、脱模剂(例如石蜡、棕榈蜡、长链脂肪酸或其金属盐、聚乙烯/烯烃合成蜡等)和着色剂(例如碳黑)。
本发明的一种高可靠性环氧树脂组合物中所使用的阻燃剂不含卤素或锑化合物,且最终组成物中的卤素原子与锑原子的含量(源自树脂制备过程中无法避免使用的触媒或添加剂),以组成物总重量计,低于0.1重量%,故可达到环保要求。
本发明的一种高可靠性环氧树脂组合物中除了具有优良的阻燃性外,并具有优良的流动成型性与固化性,操作性佳,且使用所述环氧树脂组合物封装的组件具有优异的粘附力、耐回流焊性、电气稳定性与耐湿性特点,大大的提高了成品的可靠性。
以下实施例用于对本发明作进一步说明,而非用以限制本发明的保护范围。任何此技术领域中的一般技术人员,可轻易达成的修正及改变,均包括于本案说明书所揭示内容之内。
实施例1-9与比较例1
根据以下描述的方式制备实施例1-9与比较例1的一种一种高可靠性环氧树脂组合物中,其组成如表1所列。
将各组份以表1所列的重量份在室温下使用混合器将各成份混合,温度控制在60~120℃,以双轴搅拌机高温熔融捏合,获得环氧树脂组合物。
表1比较例1-9与实施例1
表1中各成分资料如下所述:
环氧树脂1:YX-4000H,熔点:106℃,环氧当量:193g/eq,购自三菱化学。
酚系树脂1:MEHC-7800-4S,软化点:63℃,OH当量:167g/eq,购自日本明和。
球型熔融二氧化硅:SS-0183R,购自韩国KOSEM。
氢氧化铝:购自SHOWA DENKO公司。
TPP:购自日本上泳公司。
偶联剂:2-甲基-5-氨基-2H-四氮唑、2-乙基-2H-四唑-5-胺、1-乙基-1H-四唑-5-胺、2-丙-2-烯基四唑-5-胺、5-氨基四氮唑及其改性物中的至少一种,均购自安耐吉,试剂级。
离子捕捉剂:离子捕捉剂1-3分别为硅酸铋、硅酸铝、硅酸镁;均购自百灵威试剂,试剂级。
密着改质剂:密着改质剂1-3分子结构式分别如下式(1)-式(3)所示:
脱模剂:由0.1重量份棕榈蜡(Carnauba No.1,购自东亚化成公司)及0.2 重量份聚乙烯/烯烃合成蜡(PED-522,购自Clariant公司)组成。
碳黑:MA-600,购自日本三菱公司。
测试方法:
螺旋流动:此测量是依据EMMI-1-66,使用一个模具以测量螺旋流动,在175℃的模制温度下,于注射合模压力在6.9MPa之下,且硬化时间在120秒的条件下,所测得到螺旋流动的长度,其单位用cm表示。
胶化时间:此方法测定环氧树脂成型材料的成型固化特性及混合均匀性。将上述组合物倾倒于175±2℃电热盘中心上,并立即用压舌棒撵摊平面积约为 5cm2,从组合物熔融开始按下秒表计时,用压舌棒以1次/秒的频率撵粉料,待粉料逐渐由流体变成凝胶态时为终点,读取所用时间。以同样的方法操作两次(两次测得值不大于2s),凝胶化时间取两次测试值的平均。
金属粘接力测试:此方法测定环氧树脂成型材料与不同金属在不同温度条件下的粘接力大小。将上述组合物倾倒于模具中,而模制温度在175℃,于6.9MPa 的注射压力之下,且硬化时间为120秒,将环氧树脂成型材料封装到金属表面,再用推晶机测试不同金属在不同温度下的粘接力,每个测试平行样五组,取平均值统计如表2:
阻燃性:使用低压转进注型机器模制测试片(127mm×12.7mm且有三种厚度1.0mm、2.0mm和3.0mm),而模制温度在175℃,于6.9MPa的注射压力之下且硬化时间为120秒,接着于175℃作后硬化8小时。之后依据UL-94垂直的方法测量ΣF,Flaming的时间,且判定其阻燃性。
判断标准:
Flaming:燃烧的火焰 Glowing:红热状态,没有引起火焰
肖氏硬度:参照GB2411-80的测试标准,通过传递模塑法使16P SOP (20mm*6.5mm*3.3mm)成型,成型条件为:金属模具温度为175±3℃,注射压力70±5kg/cm2,固化时间2分钟。采用肖氏硬度计在模具打开后10秒时测定成型产品的表面硬度。
熔融粘度:使用高化流变仪(CFT-500D)测试EMC的熔融粘度,根据粘度的高低选择量具的孔径。安装上量具后,启动软件开始对量具加热,使其恒温至 175±1℃.用电子天平称取适量EMC样品(一般约2g),用打饼机打成尺寸为Φ0.5mm,高1.0mm圆柱形样品.将样品快速放于流变仪中按开始键测试,熔料从小孔流出,仪器自动计算并显示熔融粘度值。
Na+、Cl-、电导:取适量环氧模塑料于温度为175±3℃电热盘上辗平,使其固化,从电热板上将固化后的材料铲下,置于175±5℃的烘箱中后固化6小时,待后固化后的料片冷却至室温后,研磨粉碎并过80目筛,制备萃取液。取萃取液,用原子吸收光谱仪测其Na+离子含量,用滴定法测其Cl-离子含量,用电导率仪测其电导率。
吸湿性:用环氧树脂组合物制出的样条(尺寸*高度3mm),将成型后的吸水率样条经175℃下进行8小时的后固化处理后,置于高压蒸煮仪(PCT) 的置物篮中,在121℃条件下高压蒸煮24小时后,测试其吸水重量增加率。
耐回流焊性:用环氧树脂组合物对SSOP24(Ag)进行封装(半导体组件的尺寸为8.0*3.0mm,引线框KFC),成型条件为:金属模具温度为175±3℃,注射压力70±5kg/cm2,固化时间为1.5分钟。而且,在175℃下进行8小时的后固化处理,然而将得到的封装件置于温度为85℃,相对湿度为85%的环境中保持 168hrs。此后,将封装件经过三次IR Reflow:
再采用扫描声层析技术测量环氧树脂组合物固化产品的剥离面积,即固化的环氧树脂组合物从引线框基底材料表面剥离的面积,剥离率由下列公式计算:
[剥离率]={(剥离面积)/(半导体组件的表面积)*100%}
样品数目n=10。剥离率的单位为%。
测试结果:上述所得测试结果纪录于表2:
表2
如表2的结果所示,离子捕捉剂与密着改质剂复配使用时,在提高对银框架优异的高温粘接性能的同时,降低了环氧树脂组合物的Na+、Cl-含量及电导率。尤其是离子捕捉剂硅酸铋与上述密着改质剂复配时,结果更为良好。
由以上可知:根据本实施方式,可以提供一种适用于军工电子的高可靠性环氧树脂组成物及半导体器件。
虽然本发明的较佳具体实施例揭露如上,然其并非用以限定本发明,任何于此技术领域中具有通常知识者,在不脱离本发明的精神和范围内所可达成的变化与润饰,均涵盖于本发明的保护范围内。
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征及优点。本行业的技术人员应该了解,本发明不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理,在不脱离本发明精神和范围的前提下,本发明还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (4)
2.根据权利要求1所述的高可靠性环氧树脂组合物,其特征在于,所述硬化促进剂为三级胺、咪唑化合物、含氮杂环类化合物或其混合物。
3.根据权利要求2所述的高可靠性环氧树脂组合物,其特征在于,所述三级胺为三乙基胺、二甲基苯胺、苯甲基二甲氨、N,N-二甲基-胺基甲基酚或其混合物,所述咪唑化合物为2-甲基咪唑、2-甲基-4-甲基咪唑、2-十七烷基咪唑、1-氰乙基-4-甲基咪唑或其混合物;且所述含氮杂环类化合物为1,8-二氮杂双环[5,4,0]十一碳-7-烯。
4.一种半导体器件,其特征在于,由权利要求1所述的环氧树脂组合物封装而成。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201911006417.8A CN110791052B (zh) | 2019-10-22 | 2019-10-22 | 一种高可靠性环氧树脂组合物及其应用 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201911006417.8A CN110791052B (zh) | 2019-10-22 | 2019-10-22 | 一种高可靠性环氧树脂组合物及其应用 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN110791052A CN110791052A (zh) | 2020-02-14 |
CN110791052B true CN110791052B (zh) | 2023-07-07 |
Family
ID=69440553
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201911006417.8A Active CN110791052B (zh) | 2019-10-22 | 2019-10-22 | 一种高可靠性环氧树脂组合物及其应用 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN110791052B (zh) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN117487315A (zh) * | 2023-11-10 | 2024-02-02 | 昆山兴凯半导体材料有限公司 | 一种环氧树脂组合物 |
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JP2003313399A (ja) * | 2002-04-18 | 2003-11-06 | Nitto Denko Corp | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物およびそれを用いた半導体装置 |
CN108485185A (zh) * | 2018-03-19 | 2018-09-04 | 长兴电子材料(昆山)有限公司 | 一种高信赖性高流动性车用类环氧树脂组成物及其应用 |
WO2018198992A1 (ja) * | 2017-04-28 | 2018-11-01 | 日立化成株式会社 | 液状封止樹脂組成物、電子部品装置及び電子部品装置の製造方法 |
-
2019
- 2019-10-22 CN CN201911006417.8A patent/CN110791052B/zh active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH06107905A (ja) * | 1992-09-25 | 1994-04-19 | Nippon Steel Chem Co Ltd | 電子材料用エポキシ樹脂組成物 |
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CN108485185A (zh) * | 2018-03-19 | 2018-09-04 | 长兴电子材料(昆山)有限公司 | 一种高信赖性高流动性车用类环氧树脂组成物及其应用 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN110791052A (zh) | 2020-02-14 |
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PB01 | Publication | ||
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SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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CB02 | Change of applicant information | ||
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Address after: 215000 No. 267, Qingyang Middle Road, Kunshan Development Zone, Suzhou, Jiangsu Applicant after: Kunshan Xingkai semiconductor material Co.,Ltd. Address before: 215300 No.267 middle Qingyang Road, Kunshan Development Zone, Suzhou City, Jiangsu Province Applicant before: CHANGXING ELECTRONIC MATERIAL (KUNSHAN) Co.,Ltd. |
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GR01 | Patent grant | ||
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