CN110475467A - 输送装置、安装装置、输送方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供输送装置、安装装置、输送方法，其向1个缓冲部搬入多个基板而实现生产节拍提高。在输送路径上设置有使从上游装置搬入的基板(W)暂时地等待的大于或等于1个缓冲部的输送装置(40)，其特征在于，具有：存储部(37)，其对与基板尺寸相应地在规定的缓冲部中能够等待的基板的上限数进行存储；计数器(50)，其在每次从上游装置将基板搬入时对基板的搬入片数进行计数；控制部(35)，其向上游装置发送搬出许可信号而直至计数值达到上限数为止；以及止动器(T2)，其在规定的缓冲部中对基板的输送进行限制而使多个基板相接而等待。

Description

输送装置、安装装置、输送方法

技术领域

本发明涉及输送装置、安装装置及输送方法。

背景技术

作为安装装置，已知具有输送装置的安装装置，该输送装置设置有由搬入缓冲部、中央缓冲部、搬出缓冲部构成的多个缓冲部(例如，参照专利文献1)。专利文献1的输送装置是所谓的3缓冲部的输送装置，针对每个缓冲部设置有输送带和电动机。在搬入缓冲部中使基板等待，如果将基板从搬入缓冲部输送至中央缓冲部，则将基板夹紧而对部件进行安装。在安装完成后将基板的夹紧解除，将基板从中央缓冲部输送至搬出缓冲部，直至搬出至下一个工序为止使基板在搬出缓冲部中等待。

专利文献1：日本特开2011－014777号公报

但是，在现有的3缓冲部的输送装置中，与基板尺寸无关地，只能够向各缓冲部1片1片地搬入基板。因此，即使是基板尺寸相对于缓冲部小的短尺寸基板，也必须1片1片地处理，存在处理效率低的问题。

发明内容

本发明就是鉴于上述问题而提出的，其目的之一在于提供能够向1个缓冲部搬入多个基板而实现生产节拍提高的输送装置、安装装置及输送方法。

本发明的一个方式的输送装置，在输送路径上设置有使从上游装置搬入的基板暂时地等待的大于或等于1个缓冲部，该输送装置的特征在于，具有：存储部，其对与基板尺寸相应地在规定的缓冲部中能够等待的基板的上限数进行存储；计数器，其在每次从所述上游装置将基板搬入时对基板的搬入片数进行计数；控制部，其向所述上游装置发送搬出许可信号而直至计数值达到上限数为止；以及止动器，其在所述规定的缓冲部中对基板的输送进行限制而使多个基板相接而等待。

发明的效果

根据本发明，决定出与基板尺寸相对应的基板的上限数，通过从输送装置向上游装置的搬出许可信号的发送，从上游装置向规定的缓冲部将基板搬入而直至计数值达到上限数为止。由此，关于相对于规定的缓冲部而基板尺寸小的基板，在规定的缓冲部中以在输送方向上相接的状态使多个基板进行等待，因此能够在规定的缓冲部中将多个基板汇总而处理，实现生产节拍提高。

附图说明

图1是本实施方式的安装装置的示意图。

图2是本实施方式的输送装置的示意图。

图3是表示对比例的输送动作的一个例子的图。

图4A、图4B、图4C是表示向本实施方式的输送装置的搬入动作的一个例子的图。

图5A、图5B、图5C是表示本实施方式的中央缓冲部中的输送动作的一个例子的图。

图6A、图6B、图6C是表示本实施方式的搬入缓冲部中的输送动作的一个例子的图。

图7A、图7B是表示本实施方式的搬出缓冲部中的输送动作的一个例子的图。

图8A、图8B是表示本实施方式的中央缓冲部中的安装动作的一个例子的图。

标号的说明

1：安装装置

23：安装头

26：高度传感器(移动式的传感器)

35：控制部

37：存储部

40：输送装置

50：计数器(搬入传感器)

55：上游装置

B1：搬入缓冲部

B2：中央缓冲部(规定的缓冲部)

B3：搬出缓冲部

S1：等候传感器(其它传感器)

S2：停止传感器(固定式的传感器)

S3：搬出传感器(其它传感器)

S5：C搬出传感器(搬出传感器)

T1：等候止动器(其它止动器)

T2：中央止动器(止动器)

T3：搬出止动器(其它止动器)

W：基板

Wa：短尺寸基板(基板)

具体实施方式

下面，参照附图，对本实施方式的安装装置进行说明。图1是本实施方式的安装装置的示意图。此外，本实施方式的安装装置只不过是一个例子，能够适当变更。

如图1所示，安装装置1构成为将从供给器15供给的部件(未图示)通过安装头23安装于基板W的规定位置。在安装装置1的基台10的大致中央，配置有在X轴方向对基板W进行输送的输送装置40。输送装置40从X轴方向的一端侧将部件安装前的基板W向安装头23的下方搬入而定位，将部件安装后的基板W向X轴方向的另一端侧搬出。此外，关于输送装置40的详细内容在后面记述。另外，在隔着输送装置40的两侧，许多供给器15在X轴方向横向排列而配置。

在供给器15中可自由装卸地装载有带盘，在带盘卷绕有封装了许多部件的载料带(未图示)。各供给器15通过装置内的链轮的旋转，朝向被安装头23拾取的供给位置依次将部件送出。在安装头23的供给位置，从载料带将表面的外封带剥离，载料带的口袋内的部件向外部露出。此外，在本实施方式中，作为供给器15而例示出带式供给器，但也可以具有其它供给器。

在基台10上设置有使安装头23在X轴方向及Y轴方向移动的XY移动部20。XY移动部20具有：一对Y轴移动部21，它们与Y轴方向平行地延伸；以及X轴移动部22，其与X轴方向平行地延伸。一对Y轴移动部21支撑于在基台10的四角直立设置的支撑部(未图示)，X轴移动部22能够在Y轴方向移动地设置在一对Y轴移动部21上。安装头23能够在X轴方向移动地设置在X轴移动部22上。通过X轴移动部22和Y轴移动部21将安装头23水平移动而将部件从供给器15输送至基板W的期望的位置。

安装头23具有多个(在本实施方式中为3个)具备吸嘴24的安装头部25。安装头部25通过Z轴电动机(未图示)将吸嘴24在Z轴方向进行上下移动，并且通过θ电动机(未图示)将吸嘴24绕Z轴旋转。各吸嘴24与吸引源(未图示)连接，通过来自吸引源的吸引力对部件进行吸附保持。此外，安装头23的吸嘴24并不限定于上述的吸引吸嘴，只要能够从供给器15将部件取出而搭载于基板W即可，例如也可以由夹持吸嘴构成。

在安装头23设置有对从基板W起的高度进行检测的高度传感器26、对由吸嘴24保持的部件进行识别的部件识别部(未图示)。高度传感器26通过检查光的反射而对从基板W至吸嘴24为止的距离进行检测，基于检测结果对吸嘴24的上下方向的移动量进行控制。部件识别部通过在水平方向上相对的发光部和受光部，根据来自发光部的光被部件遮光后的遮光状态而识别出部件形状、吸附错误。此外，在部件识别部中，可以是从发光部朝向受光部而发出LED光，也可以是从发光部朝向受光部而发出激光。

另外，在安装头23设置有从正上方对基板W上的标记进行拍摄的基板拍摄部27和对由吸嘴24实现的部件的搭载动作进行拍摄的部件拍摄部28。基板拍摄部27从正上方对基板W上的标记进行拍摄，通过标记的俯视图像而在基板W中设定坐标系，并且对基板W的位置、翘曲等进行识别。部件拍摄部28除了对部件相对于供给器15的吸附前后进行拍摄以外，还对部件相对于基板W的搭载前后进行拍摄。通过这些部件图像对由吸嘴24实现的部件的有无吸附进行检查，并且对基板W中的部件的有无搭载进行检查。

在安装装置1的基台10上设置有下表面拍摄部31，其从正下方对吸附于吸嘴24的部件进行拍摄。下表面拍摄部31对由安装头23实现的输送中的部件进行拍摄，根据拍摄图像对部件的倾斜度、高度等进行识别。另外，在安装装置1的基台10上设置有自动更换机(ATC：Automatic Tool Changer)32，其与各种部件相应地准备有多个种类的吸嘴24。安装头23移动至自动更换机32，由此能够将安装头23装载中的吸嘴24拆下而换装为新的吸嘴24。

另外，在安装装置1设置有对装置各部进行集中控制的控制部35。控制部35由执行各种处理的处理器、存储器等构成。存储器根据用途由ROM(Read Only Memory)、RAM(Random Access Memory)等一个或多个存储介质构成。在存储器中，除了安装装置1整体的控制程序以外，还存储有使输送装置40执行后面记述的输送方法的程序等。通过控制部35对输送装置40、安装头23进行驱动，对部件相对于基板W的安装动作进行控制。

参照图2，对输送装置进行说明。图2是本实施方式的输送装置的示意图。图3是表示对比例的输送动作的一个例子的图。此外，本实施方式的输送装置只不过是一个例子，能够适当变更。

如图2所示，输送装置40由在输送方向排列的多个(在本实施方式中为3个)输送体41构成，针对每个输送体41设置有使从上游装置搬入的基板W暂时地等待的缓冲部。输送装置40的X轴方向的一端侧成为基板W的搬入口45，经过搬入口45而从其它安装装置、检查装置等上游装置(未图示)将基板W搬入。输送装置40的X轴方向的另一端侧成为基板W的搬出口46，经过搬出口46而向其它安装装置、回流焊炉等下游装置(未图示)将部件安装后的基板W搬出。

各输送体41的缓冲部由中央缓冲部B2、搬入缓冲部B1、搬出缓冲部B3构成。中央缓冲部B2是在夹紧基板W的状态下使其等待，针对基板W通过安装头23(参照图1)将部件进行安装的区域。搬入缓冲部B1是设置于中央缓冲部B2的上游侧，直至在中央缓冲部B2中部件的安装完成为止使下一个基板W等待的区域。搬出缓冲部B3是设置于中央缓冲部B2的下游侧，使在中央缓冲部B2中安装有部件的基板W直至能够向下游工序搬出为止进行等待的区域。

各输送体41是将在Y轴方向排列的左右一对输送带42卷绕于在X轴方向分离的驱动带轮43及从动带轮44而构成的。在各输送体41的驱动带轮43连结有电动机(未图示)，通过电动机使驱动带轮43进行旋转，由此将一对输送带42上的基板W在X轴方向进行输送。针对每个输送体41而设定有缓冲部，能够针对每个缓冲部对基板W单独地进行输送控制。此外，在本实施方式中，在1个输送体41设定有1个缓冲部的区域，但也可以在大于或等于1个输送体41设定有1个缓冲部的区域。

在输送装置40中，在搬入缓冲部B1中对基板W的输送进行限制的等候止动器T1、在中央缓冲部B2中对基板W的输送进行限制的中央止动器T2、在搬出缓冲部B3中对基板W的输送进行限制的搬出止动器T3各自设置于1对输送带42之间。各止动器T1－T3在各缓冲部B1－B3中能够相对于输送带42的输送面而进出。例如，在各止动器T1－T3各自连结有气缸等升降机构(未图示)，通过升降机构在从输送带42的输送面退避的退避位置和从输送带42的输送面凸出的凸出位置之间使各止动器T1－T3进行升降。

另外，在输送装置40设置有在各止动器T1－T3的近侧对各缓冲部B1－B3内的基板W进行检测的等候传感器S1、停止传感器S2、搬出传感器S3。如果由各传感器S1－S3检测到各缓冲部B1－B3内的基板W，则对电动机进行控制而在各输送体41中开始预备进给动作，以使得降低基板W的输送速度。通过在各输送体41中实施预备进给动作，从而基板W不会相对于各止动器T1－T3以高速状态进行碰撞，防止由碰撞的冲击引起的基板W的损坏、基板W上的部件偏移。

并且，在输送装置40设置有在各止动器T1－T3的远侧对从各缓冲部B1－B3搬出的基板W进行检测的I搬出传感器S4、C搬出传感器S5、O搬出传感器S6。在输送装置40的搬入口45，设置有作为对搬入至搬入缓冲部B1的基板W进行检测的搬入传感器起作用的计数器50。各传感器S1－S6、计数器50构成为通过受光部对从出射部射出的检测光进行受光，基于从出射部照射出检测光时的受光部的受光状态，对由输送带42输送的基板W光学地进行检测。

在输送装置40中，在一对输送带42的内侧，设置有在中央缓冲部B2中将基板W进行夹紧的夹紧部47。在夹紧部47设置有从下方将基板W顶起的一对顶起板48、以及从上方对顶起的基板W进行按压的一对按压板49。在一对顶起板48连结有气缸等升降机构(未图示)，通过升降机构将顶起板48在使基板W从输送路径浮起的夹紧位置和低于夹紧位置的解除位置之间进行升降。在夹紧部47中，通过顶起板48和按压板49从上下方向将基板W夹入，由此夹紧基板W。

另外，如图3所示，在通常的输送装置中，与基板尺寸无关地，相对于各缓冲部B1－B3只能使基板1片1片地等待。即使是基板尺寸小的短尺寸基板Wa，也只能向中央缓冲部B2搬入1片短尺寸基板Wa，必须1片1片地生产短尺寸基板Wa。特别地，在1片基板中仅安装1个的部件的情况下，为了1个的部件的安装必须使安装头23(参照图1)针对每个基板往复移动。另外，在更换为只使用于1个部件的吸嘴24(参照图1)的情况下，针对每个基板产生吸嘴24的更换时间。

因此，在本实施方式中，相对于各缓冲部B1－B3同时地搬入多个短尺寸基板Wa，在中央缓冲部B2中使多个短尺寸基板Wa排列而等待，将多个短尺寸基板Wa视作1个长尺寸基板而对部件进行安装。由此，在中央缓冲部B2中将多个短尺寸基板Wa汇总而生产，实现了生产节拍提高。特别地，即使是在1片基板中仅安装1个的部件，将多个部件汇总而安装于多个短尺寸基板Wa，能够缩短移动时间。即使在更换为只使用于1个部件的吸嘴24的情况下，通过一次的吸嘴更换而向多个短尺寸基板Wa进行安装，能够缩短吸嘴24的更换时间。

下面，参照图4A至图8B，对本实施方式的输送动作及安装动作进行说明。图4A、图4B、图4C是表示向本实施方式的输送装置的搬入动作的一个例子的图。图5A、图5B、图5C是表示本实施方式的中央缓冲部中的输送动作的一个例子的图。图6A、图6B、图6C是表示本实施方式的搬入缓冲部中的输送动作的一个例子的图。图7A、图7B是表示本实施方式的搬出缓冲部中的输送动作的一个例子的图。图8A、图8B是表示本实施方式的中央缓冲部中的安装动作的一个例子的图。此外，在这里对输送短尺寸基板的结构进行说明，但也能够输送通常尺寸的基板。

如图4A所示，在输送装置40中，使从上游装置55搬入的短尺寸基板Wa暂时地等待的3个缓冲部B1－B3被设定在输送路径上。另外，在输送装置40中，设置有对与基板尺寸相应地在中央缓冲部B2中能够等待的短尺寸基板Wa的上限数进行存储的存储部37。在存储部37中，存储有预先基于短尺寸基板Wa的基板尺寸而计算出的短尺寸基板Wa的上限数。短尺寸基板Wa的上限数是基于作为基板尺寸的输送方向的长度尺寸而计算的，例如，在通常基板的大致1/3的长度尺寸的短尺寸基板Wa的情况下作为上限数而将“3”存储于存储部37。

另外，在输送装置40中，设置有如上所述作为搬入传感器起作用的计数器50。计数器50在每次从上游装置55搬入短尺寸基板Wa时，将计数值递增而对基板W向搬入缓冲部B1的搬入片数进行计数。控制部35除了对装置各部的驱动进行控制以外，通过与上游装置55进行通信，从而还对来自上游装置55的短尺寸基板Wa的搬入片数进行限制。控制部35接收来自上游装置55的Board Available IN Signal等搬出请求信号，将Ready IN Signal等搬出许可信号返送至上游装置55，由此从上游装置55接受短尺寸基板Wa。

在该情况下，控制部35从计数器50取得计数值，并且从存储部37取得短尺寸基板Wa的上限数，朝向上游装置55发送搬出许可信号直至计数值达到上限数为止。在来自上游装置55的搬出请求信号中断时，即使计数值仍未达到上限数，也不将搬出请求信号的响应信号即搬出许可信号答复给上游装置55。即，直至计数值达到上限数为止，或直至来自上游装置55的搬出请求信号中断为止，持续发送搬出许可信号而许可短尺寸基板Wa从上游装置55向输送装置40的搬出。

在如上所述构成的输送装置40中，如果从上游装置55接收到搬出请求信号，则朝向上游装置55发送搬出许可信号。此时，中央止动器T2从输送带42凸出，等候止动器T1、搬出止动器T3(参照图2)定位于输送带42的下方。如果上游装置55接收到来自控制部35的搬出许可信号，则从上游装置55朝向输送装置40将短尺寸基板Wa搬出。如果短尺寸基板Wa经过计数器50，则计数器50的计数值递增，在控制部35中对计数器50的计数值和在存储部37中存储的上限数进行比较。

如图4B所示，在计数值少于上限数的情况下，再次从控制部35向上游装置55发送搬出许可信号，从上游装置55朝向输送装置40将短尺寸基板Wa搬出。计数器50的计数值递增，在控制部35中对计数器50的计数值和在存储部37中存储的上限数进行比较。而且，直至计数值达到上限数为止，重复上游装置55的搬出动作而将合计3片短尺寸基板Wa朝向中央缓冲部B2输送。通过设为上述方式，从而从上游装置55朝向中央缓冲部B2，以与基板尺寸相对应的上限数将短尺寸基板Wa送出。

另一方面，如图4C所示，在计数值达到上限数的情况下，将计数器50的计数值重置，并且停止从控制部35向上游装置55的搬出许可信号的发送。通过将搬出许可信号的发送停止，从而不会送出超过中央缓冲部B2的容许片数的短尺寸基板Wa。此外，在从上游装置55向控制部35的搬出请求信号中断时，即使计数值仍未达到上限数，也将从控制部35向上游装置55的搬出许可信号的发送停止。由此，针对少于上限数的数量的短尺寸基板Wa也能够实施安装处理。

如图5A所示，如果向中央缓冲部B2搬入了多个短尺寸基板Wa，则起始的短尺寸基板Wa在中央止动器T2的近侧由停止传感器S2进行检测。如果由停止传感器S2检测到短尺寸基板Wa，则由控制部35从通常输送切换为预备进给动作而在中央缓冲部B2中将输送速度降低。起始的短尺寸基板Wa以要与中央止动器T2接触的规定距离L1进行预备进给，起始的短尺寸基板Wa以低速状态与中央止动器T2接触。如果起始的短尺寸基板Wa以规定距离L1进行了预备进给，则从预备进给动作切换为通常输送而恢复输送速度。

如图5B所示，安装头23定位于中央缓冲部B2的上方，通过安装头23的高度传感器26对从起始算起第2个短尺寸基板Wa进行检测。此时，高度传感器26的检测位置设定于以与停止传感器S2和中央止动器T2的规定距离L1相同的距离从起始的短尺寸基板Wa的后端在输送方向分离的位置。如果第2个短尺寸基板Wa经过高度传感器26的下方，则高度传感器26的测量值以短尺寸基板Wa的厚度量变化，根据该测量值的变化而从起始算起检测到第2个短尺寸基板Wa。

如果通过高度传感器26检测到短尺寸基板Wa，则由控制部35从通常输送切换为预备进给动作而在中央缓冲部B2中将输送速度降低。第2个短尺寸基板Wa以要与起始的短尺寸基板Wa接触的规定距离L1进行预备进给，第2个短尺寸基板Wa以低速状态与起始的短尺寸基板Wa的后端接触。由此，通过中央止动器T2对基板输送进行限制，2片短尺寸基板Wa在中央缓冲部B2中在输送方向相接而等待。如果第2个短尺寸基板Wa以规定距离L1进行了预备进给，则从预备进给动作切换为通常输送而恢复输送速度。

如图5C所示，安装头23向后方移动，通过安装头23的高度传感器26对从起始算起第3个短尺寸基板Wa进行检测。此时，高度传感器26的检测位置设定为以与停止传感器S2和中央止动器T2的规定距离L1相同的距离从第2个短尺寸基板Wa的后端在输送方向上分离的位置。如果由高度传感器26检测到短尺寸基板Wa，则通过控制部35从通常输送切换为低速的预备进给动作。第3个短尺寸基板Wa以低速状态与第2个短尺寸基板Wa接触，由此3片短尺寸基板Wa在中央缓冲部B2中在输送方向相接而等待。

如上所述，起始的短尺寸基板Wa在中央止动器T2的近侧由停止传感器S2进行检测，后续的短尺寸基板Wa在前1个短尺寸基板Wa的后端近侧由安装头23的高度传感器26进行检测。而且，重复进行通常输送和预备进给动作的切换，直至短尺寸基板Wa与中央止动器T2接触为止将输送速度降低，直至后续的短尺寸基板Wa与前1个短尺寸基板Wa接触为止将输送速度降低。由此，抑制了起始的短尺寸基板Wa和中央止动器T2的高速状态的碰撞、基板彼此的高速状态的碰撞，抑制了由碰撞引起的基板的损坏、基板上的部件偏移。

如图6A所示，在中央缓冲部B2中多个短尺寸基板Wa由顶起板48从下方同时地顶起，由按压板49从上方对多个短尺寸基板Wa进行按压，由此被夹紧。如果多个短尺寸基板Wa被夹紧，则将多个短尺寸基板Wa视作1个长尺寸基板而由安装头23对部件进行安装。在该部件的安装动作中在搬入缓冲部B1中从输送带42使等候止动器T1凸出，与从上游装置55向控制部35的搬出请求信号相应地从控制部35向上游装置55发送搬出许可信号。

如果起始的短尺寸基板Wa搬入至搬入缓冲部B1，则通过计数器50对短尺寸基板Wa进行计数，在等候止动器T1的近侧由等候传感器S1对起始的短尺寸基板Wa进行检测。如果由等候传感器S1检测到短尺寸基板Wa，则通过控制部35从通常输送切换为预备进给动作而在搬入缓冲部B1中将输送速度降低。起始的短尺寸基板Wa以要与等候传感器S1接触的规定距离L1进行预备进给，起始的短尺寸基板Wa以低速状态与等候止动器T1接触。如果起始的短尺寸基板Wa以规定距离L1进行了预备进给，则从预备进给动作切换为通常输送而恢复输送速度。

如图6B所示，在中央缓冲部B2中在短尺寸基板Wa的安装动作时正在使用安装头23，因此在搬入缓冲部B1中取代安装头23的高度传感器26而是通过计数器50对第2个及其以后的短尺寸基板Wa进行检测。即，计数器50作为对短尺寸基板Wa向搬入缓冲部B1的搬入进行检测的搬入传感器起作用，在计数器50中计数为“2”，由此检测到从起始算起的第2个短尺寸基板Wa。另外，如果短尺寸基板Wa的后端经过计数器50的下方，则由计数器50进行的短尺寸基板Wa的检测被解除。

如果短尺寸基板Wa完全经过了计数器50的下方，由计数器50进行的短尺寸基板Wa的检测被解除，则通过控制部35从通常输送切换为低速的预备进给动作。第2个短尺寸基板Wa以要与起始的短尺寸基板Wa接触的规定距离L2进行预备进给，第2个短尺寸基板Wa以低速状态与起始的短尺寸基板Wa接触。由此，2片短尺寸基板Wa在搬入缓冲部B1中在输送方向相接而等待。如果第2个短尺寸基板Wa以规定距离L2进行了预备进给，则从预备进给动作切换为通常输送而恢复输送速度。

如图6C所示，在计数器50中计数为“3”，由此检测到从起始算起的第3个短尺寸基板Wa。如果短尺寸基板Wa完全经过了计数器50的下方，由计数器50进行的短尺寸基板Wa的检测被解除，则第3个短尺寸基板Wa以要与第2个短尺寸基板Wa接触的规定距离L3进行预备进给。第3个短尺寸基板Wa以低速状态与第2个短尺寸基板Wa接触，3片短尺寸基板Wa在搬入缓冲部B1中在输送方向相接而等待。另外，由于计数值达到上限数，因此计数器50的计数值被重置，并且停止从控制部35向上游装置55的搬出许可信号的发送。

此外，规定距离L2、L3是基于计数器50的短尺寸基板Wa的计数值而设定的。在计数值为“2”的情况下，从计数器50的检测位置至等候止动器T1为止的距离减去2片短尺寸基板Wa的输送方向上的长度尺寸而得到的长度作为规定距离L2而设定。另外，在计数值为“3”的情况下，从计数器50的检测位置至等候止动器T1为止的距离减去3片短尺寸基板Wa的输送方向上的长度尺寸而得到的长度作为规定距离L3而设定。规定距离L2、L3与规定距离L1相比设定得长，但由于是安装动作中的低速输送，因此不会对生产节拍造成大幅影响。

如上所述，起始的短尺寸基板Wa在等候止动器T1的近侧由等候传感器S1进行检测，后续的短尺寸基板Wa在前1个短尺寸基板Wa的后端近侧由计数器50进行检测。而且，重复进行通常输送和预备进给动作的切换，将输送速度降低而直至短尺寸基板Wa与等候止动器T1接触为止，将输送速度降低而直至后续的短尺寸基板Wa与前1个短尺寸基板Wa接触为止。由此，抑制了起始的短尺寸基板Wa和等候止动器T1的高速状态的碰撞、基板彼此的高速状态的碰撞，抑制了由碰撞引起的基板的损坏、基板上的部件偏移。

另外，在图6A、图6B、图6C中，例示出在安装动作中向搬入缓冲部B1搬入多个短尺寸基板Wa的结构而进行了说明，但从中央缓冲部B2向搬出缓冲部B3搬出多个短尺寸基板Wa的结构也以相同的顺序实施。在该情况下，取代计数器50而是使用C搬出传感器S5对基板从中央缓冲部B2向搬出缓冲部B3的搬出进行检测，对通常输送和预备进给动作进行切换而调整输送速度。由此，抑制了起始的短尺寸基板Wa和搬出止动器T3(参照图2)的高速状态的碰撞、基板彼此的高速状态的碰撞，抑制了由碰撞引起的基板的损坏、基板上的部件偏移。

如图7A所示，在搬出缓冲部B3中通过搬出止动器T3对基板输送进行限制，直至成为能够向下游装置搬出为止，3片短尺寸基板Wa以在输送方向相接的状态进行等待。因此，如图7B所示，在从搬出缓冲部B3向下游装置将短尺寸基板Wa搬出的情况下，通过控制部35在搬出缓冲部B3中将输送速度降低，搬出缓冲部B3的输送速度调整为比下游装置的输送速度低的速度。由此，通过搬出缓冲部B3和下游装置的输送速度的速度差，在搬出缓冲部B3中相接而等待的短尺寸基板Wa被1片1片地输送。

在搬出缓冲部B3中以比较低的速度(例如，300[mm/s])对短尺寸基板Wa进行输送，在下游装置的输送路径中以比较高的速度(例如，400[mm/s])对短尺寸基板Wa进行输送。由此，在搬出缓冲部B3中相接的基板彼此分离，朝向下游装置而1片1片地搬出短尺寸基板Wa。另外，通过O搬出传感器S6检测到从搬出缓冲部B3向下游装置1片1片地输送。此外，在下游装置是其它安装装置的情况下，也可以不改变搬出缓冲部B3的输送速度，从搬出缓冲部B3向下游装置将多个短尺寸基板Wa以相接的状态进行输送。

如图8A所示，在安装动作中，使用以在中央缓冲部B2中能够等待的上限数使短尺寸基板Wa在输送方向上相连的多个短尺寸基板Wa的生产程序。能够将通过该生产程序在输送方向上相接的多个短尺寸基板Wa视作由多个单位基板(电路基板)构成的多连片基板而对部件进行安装。能够相对于多个短尺寸基板Wa将部件汇总而进行安装，能够将安装头23的移动时间、吸嘴24(参照图1)的更换时间缩短而实现生产节拍提高。

如图8B所示，即使在中央缓冲部B2的基板数低于上限数的情况下，也能够相对于搬入至中央缓冲部B2的短尺寸基板Wa对部件进行安装。在计数器50(参照图2)的计数值少于上限数的情况下，在生产程序中以计数值的不足量将针对输送方向的上游侧的短尺寸基板Wa的安装处理跳过。在该情况下，可以将通过已有的标记检测功能、代码识别功能等无法对基板上的标记、代码进行识别的部分作为跳过电路而进行识别，可以识别为以计数器50的计数值的不足量在输送方向的上游侧存在跳过电路。

如以上所述，在本实施方式的输送装置40中，决定出与基板尺寸相对应的基板W的上限数，通过从输送装置40向上游装置55的搬出许可信号的发送，从上游装置55向中央缓冲部B2搬入基板而直至计数值达到上限数为止。由此，关于相对于中央缓冲部B2而基板尺寸小的短尺寸基板Wa，在中央缓冲部B2中以在输送方向相接的状态使多个短尺寸基板Wa进行等待，因此能够在中央缓冲部B2中将多个短尺寸基板Wa汇总而处理，实现生产节拍提高。

此外，在本实施方式中，对将本发明的技术应用于安装装置的输送装置的结构进行了说明，但并不限定于该结构。本发明的技术能够应用于对基板进行输送的输送装置，例如，也能够应用于检查装置的输送装置。

另外，在本实施方式中，关于作为大于或等于1个缓冲部而设置有搬入缓冲部、中央缓冲部、搬出缓冲部的输送装置进行了说明，但并不限定于该结构。在输送装置中，只要设置有针对多个基板汇总而进行处理的规定的缓冲部即可。因此，在输送装置中，可以仅设置中央缓冲部，也可以设置搬入缓冲部及中央缓冲部，也可以设置中央缓冲部及搬出缓冲部。

另外，在本实施方式中，输送体是在驱动带轮及从动带轮卷绕输送带而构成的，但并不限定于该结构。输送体只要能够对基板进行输送即可，例如，也可以由辊式输送机。

另外，在本实施方式中，作为固定式的传感器、其它传感器、搬出传感器，例示出光学地对基板进行检测的停止传感器、等候传感器、搬出传感器、I搬出传感器、C搬出传感器、O搬出传感器，但并不限定于该结构。各传感器只要是能够对基板进行检测的结构即可，例如，也可以由接触式的传感器构成。

另外，在本实施方式中，作为移动式的传感器，例示出在安装头设置的高度传感器，但并不限定于该结构。移动式的传感器只要是在前1个基板的后端近侧对多个基板中的后续的基板进行检测的结构即可，也可以与安装头的高度传感器分体地设置。

另外，在本实施方式中，设为计数器作为搬入传感器而起作用的结构，但并不限定于该结构。也可以在输送装置中将计数器和搬入传感器分体地设置。另外，计数器并不限定于光学地对基板进行检测而对搬入片数进行计数的结构，也可以与基板接触而对搬入片数进行计数。

另外，在本实施方式中，作为多个止动器而对能够升降的等候止动器、中央止动器、搬出止动器进行了说明，但并不限定于该结构。多个止动器只要能够在输送路径上进出即可，例如，也可以是通过摆动而在输送路径上进出的结构。

另外，在本实施方式中，设为在各缓冲部中使多个短尺寸基板等待的结构，但并不限定于该结构。只要缓冲部尺寸相对于基板尺寸较大，则也可以在各缓冲部中使多个通常尺寸的基板等待。

另外，在本实施方式中，设为对通常输送和预备进给动作进行切换的结构，但也可以不对通常输送和预备进给动作进行切换。

另外，在本实施方式中，部件只要能够相对于基板进行安装，则并不特别限定于电子部件。

另外，在本实施方式中，基板并不限定于印刷基板，也可以是在工具基板上载置的柔性基板。

另外，本实施方式的程序可以存储于存储介质。存储介质并不特别受到限定，也可以是光盘、光磁盘、闪存存储器等非易失性的记录介质。

另外，对本实施方式及变形例进行了说明，但作为其它实施方式，可以将上述实施方式及变形例整体或局部地进行组合。

另外，本发明的技术并不限定于上述的实施方式及变形例，在不脱离技术思路的主旨的范围可以进行各种变更、置换、变形。并且如果能够通过技术的进步或派生出的其它技术，通过其它方式实现本发明的技术思路，则可以使用该方法进行实施。因此，权利要求书涵盖可包含于本发明的技术思路的范围内的全部实施方式。

在下述中，对上述的实施方式中的特征点进行整理。

上述实施方式所记载的输送装置，在输送路径上设置有使从上游装置搬入的基板暂时地等待的大于或等于1个缓冲部，该输送装置的特征在于，具有：存储部，其对与基板尺寸相应地在规定的缓冲部中能够等待的基板的上限数进行存储；计数器，其在每次从上游装置将基板搬入时对基板的搬入片数进行计数；控制部，其向上游装置发送搬出许可信号而直至计数值达到上限数为止；以及止动器(等候止动器T1、中央止动器T2、搬出止动器T3的至少1个)，其在规定的缓冲部中对基板的输送进行限制而使多个基板相接而等待。

上述实施方式所记载的输送方法，是在输送路径上设置有使从上游装置搬入的基板暂时地等待的大于或等于1个缓冲部的输送装置的输送方法，该输送方法的特征在于，具有下述步骤：取得与基板尺寸相应地在规定的缓冲部中能够等待的基板的上限数；在每次从上游装置将基板搬入时对基板的搬入片数进行计数；向上游装置发送搬出许可信号而直至计数值达到上限数为止；以及在规定的缓冲部中对基板的输送进行限制而使多个基板相接而等待。

根据这些结构，决定出与基板尺寸相对应的基板的上限数，通过从输送装置向上游装置的搬出许可信号的发送，从上游装置向规定的缓冲部将基板搬入而直至计数值达到上限数为止。由此，关于相对于规定的缓冲部而基板尺寸小的基板，在规定的缓冲部中以在输送方向上相接的状态使多个基板进行等待，因此能够在规定的缓冲部中将多个基板汇总而处理，实现生产节拍提高。

在上述实施方式所记载的输送装置中，控制部在来自上游装置的搬出请求信号中断时，在计数值达到上限数之前将搬出许可信号的发送停止。根据该结构，即使在规定的缓冲部中等待的基板少于上限数的情况下，使从上游装置向规定的缓冲部的搬入停止，也能够转入至对在规定的缓冲部中等待的基板的处理动作。

在上述实施方式所记载的输送装置中，具有：固定式的传感器(停止传感器S3)，其在规定的缓冲部中在止动器的近侧对多个基板中的起始的基板进行检测；以及移动式的传感器，其在规定的缓冲部中在前1个基板的后端近侧对多个基板中的后续的基板进行检测，控制部进行控制，以使得在由固定式的传感器检测到起始的基板时将输送速度降低而直至起始的基板与止动器接触为止，在由移动式的传感器检测到后续的基板时将输送速度降低而直至后续的基板与前1个基板接触为止。根据该结构，起始的基板不会以高速状态与止动器碰撞，后续的基板不会以高速状态与前1个基板碰撞。由此，能够抑制止动器和基板的碰撞、由基板彼此的碰撞引起的损坏、基板上的部件偏移。

在上述实施方式所记载的输送装置中，移动式的传感器是在向基板安装部件的安装头设置的高度传感器。根据该结构，将安装头的高度传感器用作移动式的传感器，由此能够减少部件个数而减少成本。

在上述实施方式所记载的输送装置中，大于或等于1个缓冲部，是作为规定的缓冲部的中央缓冲部、中央缓冲部的上游侧的搬入缓冲部、中央缓冲部的下游侧的搬出缓冲部，该输送装置具有：在搬入缓冲部及搬出缓冲部中对基板的输送进行限制而使多个基板相接而等待的其它止动器(等候止动器T1、搬出止动器T3)、在搬入缓冲部及搬出缓冲部中在其它止动器的近侧对多个基板中的起始的基板进行检测的其它传感器(等候传感器S1、搬出传感器S3)、对从上游装置向搬入缓冲部的基板的搬入进行检测的搬入传感器及对从中央缓冲部向搬出缓冲部的基板的搬出进行检测的搬出传感器(C搬出传感器S5)，控制部进行控制，以使得在由其它传感器检测到起始的基板时将输送速度降低而直至起始的基板与其它止动器接触为止，在由搬入传感器及搬出传感器对后续的基板的检测被解除时将输送速度降低而直至后续的基板与前1个基板接触为止。根据该结构，在搬入缓冲部及搬出缓冲部中起始的基板不会以高速状态与止动器碰撞，后续的基板不会以高速状态与前1个基板碰撞。由此，能够抑制止动器和基板的碰撞、由基板彼此的碰撞引起的损坏、基板上的部件偏移。

在上述实施方式所记载的输送装置中，搬入传感器是计数器，在每次从上游装置向搬入缓冲部搬入基板时，对基板进行检测而对搬入片数进行计数。根据该结构，通过将计数器用作搬入传感器，从而能够减少部件个数而减少成本。

在上述实施方式所记载的输送装置中，控制部将搬出缓冲部的输送速度设为比下游装置的输送速度低的速度。根据该结构，即使在搬出缓冲部中多个基板以相接的状态进行等待，通过搬出缓冲部的输送速度和下游装置的输送速度的速度差，也能够1片1片地将基板分离而输送。

在上述实施方式所记载的输送装置中，所述输送装置在所述输送路径上设置有多个缓冲部，并且所述控制部在上游侧的缓冲部中使多个基板等待后，在向下游侧的缓冲部对基板进行输送时，将上游侧的缓冲部的输送速度设为比下游侧的缓冲部的输送速度低的速度。根据该结构，即使在上游侧的缓冲部中多个基板以相接的状态进行等待，通过上游侧的缓冲部的输送速度和下游侧的缓冲部的输送速度的速度差，也能够1片1片地将基板分离而输送。

上述实施方式所记载的安装装置的特征在于，具有上述的输送装置和向在规定的缓冲部中等待的多个基板安装部件的安装头。根据该结构，能够在规定的缓冲部中针对多个基板，汇总而对部件进行安装，实现生产节拍提高。

在上述实施方式所记载的安装装置中，安装头基于以在规定的缓冲部中能够等待的上限数将基板在输送方向上相连的多个基板的生产程序而对部件进行安装，在计数值少于上限数的情况下，在生产程序中以计数值的不足量将针对输送方向的上游侧的基板的安装处理跳过。根据该结构，即使在规定的缓冲部中等待的基板少于上限数的情况下，也能够使用生产程序而针对搬入至规定的缓冲部的基板安装部件。

Claims (11)

1.一种输送装置，其在输送路径上设置有使从上游装置搬入的基板暂时地等待的大于或等于1个缓冲部，

该输送装置的特征在于，具有：

存储部，其对与基板尺寸相应地在规定的缓冲部中能够等待的基板的上限数进行存储；

计数器，其在每次从所述上游装置将基板搬入时对基板的搬入片数进行计数；

控制部，其向所述上游装置发送搬出许可信号而直至计数值达到上限数为止；以及

止动器，其在所述规定的缓冲部中对基板的输送进行限制而使多个基板相接而等待。

2.根据权利要求1所述的输送装置，其特征在于，

所述控制部在来自所述上游装置的搬出请求信号中断时，在计数值达到上限数之前将搬出许可信号的发送停止。

3.根据权利要求1所述的输送装置，其特征在于，具有：

固定式的传感器，其在所述规定的缓冲部中在所述止动器的近侧对多个基板中的起始的基板进行检测；以及

移动式的传感器，其在所述规定的缓冲部中在前1个基板的后端近侧对多个基板中的后续的基板进行检测，

所述控制部进行控制，以使得在由所述固定式的传感器检测到起始的基板时将输送速度降低而直至起始的基板与所述止动器接触为止，在由所述移动式的传感器检测到后续的基板时将输送速度降低而直至后续的基板与前1个基板接触为止。

4.根据权利要求3所述的输送装置，其特征在于，

所述移动式的传感器是在向基板安装部件的安装头设置的高度传感器。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的输送装置，其特征在于，

所述大于或等于1个缓冲部，是作为所述规定的缓冲部的中央缓冲部、所述中央缓冲部的上游侧的搬入缓冲部、所述中央缓冲部的下游侧的搬出缓冲部，

该输送装置具有：

在所述搬入缓冲部及所述搬出缓冲部中对基板的输送进行限制而使多个基板相接而等待的其它止动器；

在所述搬入缓冲部及所述搬出缓冲部中在所述其它止动器的近侧对多个基板中的起始的基板进行检测的其它传感器；以及

对从所述上游装置向所述搬入缓冲部的基板的搬入进行检测的搬入传感器及对从所述中央缓冲部向所述搬出缓冲部的基板的搬出进行检测的搬出传感器，

所述控制部进行控制，以使得在由所述其它传感器检测到起始的基板时将输送速度降低而直至起始的基板与所述其它止动器接触为止，在由所述搬入传感器及所述搬出传感器对后续的基板的检测被解除时将输送速度降低而直至后续的基板与前1个基板接触为止。

6.根据权利要求5所述的输送装置，其特征在于，

所述搬入传感器是所述计数器，在每次从所述上游装置向所述搬入缓冲部搬入基板时，对基板进行检测而对搬入片数进行计数。

7.根据权利要求5或6所述的输送装置，其特征在于，

所述控制部将所述搬出缓冲部的输送速度设为比下游装置的输送速度低的速度。

8.根据权利要求1所述的输送装置，其特征在于，

所述输送装置在所述输送路径上设置有多个缓冲部，并且

所述控制部在上游侧的缓冲部中使多个基板等待后，在向下游侧的缓冲部输送基板时，将上游侧的缓冲部的输送速度设为比下游侧的缓冲部的输送速度低的速度。

9.一种安装装置，其特征在于，具有：

权利要求8所述的输送装置；以及

安装头，其向在所述规定的缓冲部中等待的多个基板安装部件。

10.根据权利要求9所述的安装装置，其特征在于，

所述安装头基于以在所述规定的缓冲部中能够等待的上限数将基板在输送方向上相连的多个基板的生产程序而对部件进行安装，

在计数值少于上限数的情况下，在生产程序中以计数值的不足量将针对输送方向的上游侧的基板的安装处理跳过。

11.一种输送方法，其是在输送路径上设置有使从上游装置搬入的基板暂时地等待的大于或等于1个缓冲部的输送装置的输送方法，

该输送方法的特征在于，具有下述步骤：

取得与基板尺寸相应地在规定的缓冲部中能够等待的基板的上限数；

在每次从所述上游装置将基板搬入时对基板的搬入片数进行计数；

向所述上游装置发送搬出许可信号而直至计数值达到上限数为止；以及

在所述规定的缓冲部中对基板的输送进行限制而使多个基板相接而等待。